JP4846764B2 - ワイヤープローブ用治具並びに検査装置 - Google Patents
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(0.15−0.11)+(0.17−0.15)=0.06となり、
ずらせ幅は、0.06mmということになる。尚、このずらせ幅は、ワイヤープローブ8を薄板プレート5cのプローブガイド孔11の小径部11aに対し、完全に固定させるか、或は摩擦抵抗の範囲にとどめるかによって違いが出てくるものであり、以上のずらせ幅に限定されるものではない。本発明は、摩擦抵抗による程度の固定でも、十分に効果があることを確認している。また、小径部11aの上側と小径部22aの下側のいずれか一方、或は双方に面取り、アール等を施すことは必要に応じて任意に選択できる事項である。
尚、指示記号25のものは、固定ネジ23を緩めたり、締め付けたりするためのドライバー用の挿入孔である。この挿入孔25は、固定ネジを下部プレート部5の下面側から固定ネジ23を取り付けた場合には不要となる。
3 被検査基板
4 電極基板
5 下部プレート部
5d 雌ネジ孔
7 上部プレート部
8 ワイヤープローブ
9 プローブガイド孔
10 プローブガイド孔
11 プローブガイド孔
16 プローブガイド孔
17 プローブガイド孔
18 プローブガイド孔
20 固定プレート
20a 取付ガイド孔
20b 位置決め孔
20c 雌ネジ孔
21 位置決めピン
22 プローブ固定孔
Claims (13)
- 各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る上部プレート部と、同じく各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る下部プレート部とを離間対向させて設けた被検査基板の導通検査や動作特性検査等を行う際に用いられるワイヤープローブ用治具であって、前記上部プレート部と及び又は下部プレート部との間に複数のプローブ固定孔を有する固定プレートを上下方向へ移動可能に設けたことを特徴とする、ワイヤープローブ用治具。
- 各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る上部プレート部と、同じく各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る下部プレート部とを離間対向させて設けた被検査基板の導通検査や動作特性検査等を行う際に用いられるワイヤープローブ用治具であって、前記上部プレート部と及び又は下部プレート部との間に複数のプローブ固定孔を有する固定プレートを移動可能に設け、前記プローブガイド孔及びプローブ固定孔を通してワイヤープローブを前記上部プレート部と下部プレート部及び前記固定プレート部に装着させた後、前記固定プレートを上下方向へ移動させて前記ワイヤープローブを前記上部プレート部及び又は前記下部プレート部に固定させることを特徴とする、ワイヤープローブ用治具。
- 前記固定プレートを前記上部プレート部の側に上下方向へ移動可能に設けたことを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 前記固定プレートを前記下部プレート部の側に上下方向へ移動可能に設けたことを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 前記固定プレートを前記下部プレート部及び又は上部プレート部の互いの対向面側にそれぞれ上下方向へ移動可能に設けたことを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 前記固定プレートを前記上部プレート部及び又は下部プレート部を構成する薄板プレートとしたことを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 前記固定プレートを上下方向へ移動させる場合、当該固定プレートに設けるプローブ固定孔は、このプローブ固定孔と接して固定される下部プレート部のプローブガイド孔に対し、芯をずらせてあることを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 前記固定プレートに設けるプローブ固定孔の小径部は、前記固定プレートに接する下部プレート部及び又は上部プレート部に設けたプローブガイド孔の小径部より同等若しくは大径に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 前記固定プレートに設けるプローブ固定孔の小径部は、傾斜して設けられていることを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 前記ワイヤープローブは、前記固定プレートと前記上部プレート部の間に、撓み可能に装着されることを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 前記ワイヤープローブは、前記下部プレート部及び又は下部プレート部に設けたプローブガイド孔に少し傾斜して装着されることを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 前記上部プレート部及び又は下部プレート部にその上面又は下面の側から接する前記固定プレートに設けるプローブ固定孔の大径部は、前記下部プレート部及び又は上部プレート部に設けるプローブガイド孔の小径部と対向するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載のワイヤープローブ用治具。
- 被検査基板の導通検査や動作特性検査を行うものであって、請求項1乃至12のいずれか1項に記載のワイヤープローブ用治具を用いることを特徴とする、検査装置
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