JP2010066051A - プローブユニットおよび検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】プローブ間のピッチの狭小化を実現する。
【解決手段】複数のプローブ１１を保持する保持部１２を備え、保持部１２は、挿通孔４１が形成された保持板３１と、挿通孔４２が形成されて保持板３１に平行な第１の向きにスライド可能に配設された保持板３２と、挿通孔４３が形成されて第１の向きとは逆向きの第２の向きにスライド可能に保持板３１と保持板３２との間に配設された保持板３３とを備え、互いに隣接する一対のプローブ１１は、各先端部１１ａ側が一対の挿通孔４１に個別に挿通させられると共に各基端部１１ｂ側が１つの挿通孔４２および１つの挿通孔４３に挿通させられた状態において、各保持板３２，３３が第１の向きおよび第２の向きにそれぞれスライドさせられることによって各先端部１１ａのピッチが挿通孔４１のピッチよりも狭くなるように弾性変形させられた状態で保持されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、複数のプローブを備えたプローブユニット、およびそのプローブユニットを備えて検査対象体に対する電気的検査を実行可能に構成された検査装置に関するものである。

この種のプローブユニットとして、特開２０００−２９２４３９号公報に開示されたプローブユニット（垂直作動型プローブユニット）が知られている。このプローブユニットは、中央部に座屈部を有する複数のプローブと、各プローブが接続される配線パターンが形成された基板と、複数の貫通孔がそれぞれ形成された上側保持基板および下側保持基板を備えたプローブ保持部材とを備えて構成されている。この場合、このプローブユニットでは、各プローブが、上側保持基板の貫通孔および下側保持基板の貫通孔に貫通させられた状態で保持（固定）されている。
特開２０００−２９２４３９号公報（第３頁、第２図）

ところが、上記のプローブユニットを含む従来のこの種のプローブユニットには、解決すべき以下の課題がある。すなわち、従来のこの種のプローブユニットでは、上側保持基板および下側保持基板にそれぞれ形成された各貫通孔に各プローブの基端部側および先端部側を貫通せることで、プローブを保持している。この場合、この種のプローブユニットでは、導体パターンの配置に合わせてプローブを配置する必要があるため、近年の導体パターンの微細化および峡ピッチ化に伴って隣接するプローブ間のピッチ、つまり隣接する貫通孔間のピッチも狭小化している。しかしながら、工作機械によって保持基板に貫通孔を形成する際の貫通孔のピッチの狭小化には限界があり、この限界を超えるような狭ピッチでの貫通孔の形成は困難である。このため、従来のプローブユニットでは、プローブ間のピッチのさらなる狭小化が困難となっており、この点を解決し得る新たなプローブユニットの開発が望まれている。

本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、プローブ間のピッチの狭小化を実現し得るプローブユニットおよび検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載のプローブユニットは、弾性変形可能な複数のプローブと、当該各プローブを保持する保持部とを備えたプローブユニットであって、前記保持部は、前記各プローブの各々の先端部側を挿通させる第１挿通孔が形成された第１保持板と、前記各プローブの各々の基端部側を挿通させる第２挿通孔が形成されると共に前記第１保持板に平行な第１の向きにスライド可能に当該第１保持板に対向するように配設された第２保持板と、前記各基端部側を挿通させる第３挿通孔が形成されると共に前記第１保持板と前記第２保持板との間において前記第１の向きとは逆向きの第２の向きにスライド可能に当該第１保持板に対向するように配設された第３保持板とを備え、互いに隣接する一対の前記プローブは、各々の前記先端部側が一対の前記第１挿通孔に個別に挿通させられると共に各々の前記基端部側が１つの前記第２挿通孔および１つの前記第３挿通孔に挿通させられた状態において、前記第２保持板および前記第３保持板が前記第１の向きおよび前記第２の向きにそれぞれスライドさせられることによって当該各先端部のピッチが当該一対の第１挿通孔のピッチよりも狭くなるように弾性変形させられた状態で前記保持部によって保持されている。

また、請求項２記載のプローブユニットは、請求項１記載のプローブユニットにおいて、前記保持部は、前記第２保持板および前記第３保持板がスライドさせられる前の状態において前記各プローブを非変形状態で挿通可能な位置に前記各挿通孔が位置するように構成されている。

また、請求項３記載のプローブユニットは、請求項１または２記載のプローブユニットにおいて、前記保持部は、スライドさせられた前記第２保持板および前記第３保持板をその位置に固定可能な固定部を備えている。

また、請求項４記載の検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニットと、検査対象体に接触させた当該プローブユニットを介して入力した電気信号に基づいて当該検査対象体に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている。

請求項１記載のプローブユニットでは、第１の向きにスライド可能に配設された第２保持板と第２の向きにスライド可能に配設された第３保持板とを備えて保持部が構成され、互いに隣接する一対のプローブの各々の各先端部側が第１保持板の一対の第１挿通孔に個別に挿通させられると共に各々の基端部側が第２保持板の１つの第２挿通孔および第３保持板の１つの挿通孔にまとめて挿通させられている。このため、このプローブユニットでは、第２保持板および第３保持板を第１の向きおよび第２の向きにそれぞれスライドさせることで、各先端部のピッチが各第１挿通孔のピッチよりも狭ピッチとなるように各プローブを弾性変形させることができる。この結果、このプローブユニットでは、工作機械によって第１挿通孔を形成する際に可能な第１挿通孔間の最小のピッチよりも、先端部のピッチをさらに狭小化することができる。したがって、このプローブユニットによれば、従来の回路基板よりもさらに狭ピッチの導体パターンを有する回路基板を確実に検査することができる。

また、請求項２記載のプローブユニットによれば、第２保持板および第３保持板がスライドさせられる前の状態において各プローブを非変形状態で挿通可能な位置に各挿通孔が位置するように保持部を構成したことにより、プローブユニットの組立てに際して、プローブを各挿通孔に容易に挿通させることができるため、数多くのプローブを保持部にセットする作業を効率的に行うことができる。

また、請求項３記載のプローブユニットによれば、スライドさせられた第２保持板および第３保持板をその位置に固定可能な固定部を備えて保持部を構成したことにより、両保持板をスライドさせることによって弾性変形させたプローブをその状態でその位置に確実に維持することができる。

また、請求項４記載の検査装置によれば、請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニットを備えたことにより、上記した各プローブユニットが有する効果と同様の効果を実現することができる。

以下、本発明に係るプローブユニットおよび検査装置の最良の形態について、図面を参照して説明する。

最初に、図１に示す回路基板検査装置１の構成について説明する。回路基板検査装置１は、本発明に係る検査装置の一例であって、例えば、回路基板１００（本発明における検査対象体の一例）に対する所定の電気的検査を実行可能に構成されている。具体的には、回路基板検査装置１は、同図に示すように、プローブユニット２、移動機構３、基板保持部４、検査部５および制御部６を備えて構成されている。

プローブユニット２は、図２に示すように、複数のプローブ１１、保持部１２および電極板１３（図３参照）を備えて構成されている。プローブ１１は、本発明に係るプローブの一例であって、図５に示すように、先端部１１ａが鋭利に形成されて直径が５０μｍの針状（円柱状）に構成されている。また、プローブ１１は、導電性を有する金属材料（一例として、ベリリウム銅合金、ＳＫＨ（高速度工具鋼）およびタングステン鋼など）によって弾性変形可能に構成されている。また、プローブ１１における先端部１１ａおよび基端部１１ｂを除く部分には、絶縁性を有するコーティング材料（一例として、テフロン（登録商標）等のフッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリエステルおよびポリイミドなど）を用いたコーティング処理が施されている。なお、上記した図２，３，５および後述する図４，６〜８では、発明の理解を容易とするため、各構成要素の寸法を実際とは異なる寸法で図示している。

保持部１２は、図２に示すように、２枚の側板２１、および４枚の保持板３１〜３４を備えて構成されている。側板２１は、非導電性を有する樹脂材料等によって矩形の板状に形成されている。また、側板２１には、同図に示すように、保持板３２，３３をスライド可能に支持するための段部２１ａが形成されている。また、側板２１の段部２１ａには、図３，４に示すように、固定ピン６１を挿通可能な挿入孔５１ａ，５１ｂが形成されている。

保持板３１は、本発明における第１保持板に相当し、非導電性を有する樹脂材料等によって矩形の板状に形成されている。また、保持板３１は、図２に示すように、各側板２１の一端部（同図における下端部）にその両側部が固定されている。さらに、保持板３１には、図３に示すように、プローブ１１の先端部１１ａ側を挿通させるための複数の挿通孔４１（本発明における第１挿通孔）が形成されている。この場合、このプローブユニット２では、一例として、挿通孔４１の直径が６０μｍに規定され、隣り合う一対の挿通孔４１間の最小のピッチ（両挿通孔４１における各々の中心間の最短の長さ）が７０μｍに規定されている。

保持板３２は、本発明における第２保持板に相当し、非導電性を有する樹脂材料等によって矩形の板状に形成されている。また、保持板３２は、図２に示すように、保持板３３を介して各側板２１の段部２１ａにその両側部が支持されることにより、保持板３１に対向するようにして（保持板３１に平行となるように）配設されると共に、保持板３１に平行な第１の向き（図６に示す矢印Ａの向き）にスライドすることが可能となっている。また、保持板３２には、図３に示すように、プローブ１１の基端部１１ｂ側を挿通させるための複数の挿通孔４２（本発明における第２挿通孔）が形成されている。この場合、このプローブユニット２では、挿通孔４２が、２本のプローブ１１の基端部１１ｂ側をまとめて挿通可能な大きさ（一例として、直径が１１０μｍ）に規定されている。また、保持板３２には、図３，４に示すように、固定ピン６１を挿通可能な挿入孔５２ａ，５２ｂが両側部にそれぞれ形成されている。

保持板３３は、本発明における第３保持板に相当し、非導電性を有する樹脂材料等によって矩形の板状に形成されている。また、保持板３３は、図２に示すように、各側板２１の段部２１ａにその両側部が支持されることにより、保持板３１に対向するようにして（保持板３１に平行となるように）保持板３１と保持板３２との間に配設されると共に、上記した第１の向きとは逆向きの第２の向き（図７に示す矢印Ｂの向き）にスライドすることが可能となっている。また、保持板３３には、図３に示すように、プローブ１１の基端部１１ｂ側を挿通させるための複数の挿通孔４３（本発明における第３挿通孔）が形成されている。この場合、挿通孔４３の直径は、例えば挿通孔４２と同じ直径（この例では、１１０μｍ）に規定されている。また、保持板３３には、図３，４に示すように、固定ピン６１を挿通可能な挿入孔５３ａ，５３ｂが両側部にそれぞれ形成されている。

保持板３４は、非導電性を有する樹脂材料等によって矩形の板状に形成されている。また、保持板３４には、図３に示すように、プローブ１１の基端部１１ｂ側を挿通させるための複数の挿通孔４４が形成されている。この場合、各挿通孔４４の直径は、例えば保持板３１の各挿通孔４１と同じ直径（この例では、６０μｍ）に規定されている。また、各挿通孔４４は、保持板３１の各挿通孔４１と同じ配置パターンで形成されている。また、保持板３４は、図２に示すように、保持板３１に対して平行に対向し、かつ挿通孔４４および挿通孔４１における各々の中心が直線上に位置するようにしてその両側部が各側板２１の他端部（同図における上端部）に固定されている。

この場合、このプローブユニット２は、図４，５に示すように、上記した第１の向きおよび第２の向きにそれぞれスライドさせる前の位置（以下、この位置を「初期位置」ともいう）に保持板３２および保持板３３がそれぞれ位置している状態において、プローブ１１を非変形状態（真っ直ぐな状態）で挿通可能な位置に各挿通孔４１〜４４が位置するように構成されている。また、このプローブユニット２では、図４に示すように、保持板３２および保持板３３が初期位置に位置している状態において、側板２１の挿入孔５１ａ、保持板３２の挿入孔５２ａ、および保持板３３の挿入孔５３ａにおける各々の中心が直線上に位置するように各挿入孔５１ａ，５２ａ，５３ａの形成位置が規定されている。このため、同図に示すように、保持板３２，３３を初期位置に位置させて、各挿入孔５１ａ，５２ａ，５３ａに固定ピン６１を挿入することにより、保持板３２，３３を初期位置に固定することが可能となっている。さらに、このプローブユニット２では、図２に示すように、上記した第１の向きおよび第２の向きにそれぞれスライドさせた位置（以下、この位置を「スライド位置」ともいう）に保持板３２および保持板３３がそれぞれ位置している状態において、側板２１の挿入孔５１ｂ、保持板３２の挿入孔５２ｂ、および保持板３３の挿入孔５３ｂにおける各々の中心が直線上に位置するように各挿入孔５１ｂ，５２ｂ，５３ｂの形成位置が規定されている。このため、図３に示すように、保持板３２，３３をスライド位置に位置させて、各挿入孔５１ｂ，５２ｂ，５３ｂに固定ピン６１を挿入することにより、保持板３２，３３をスライド位置に固定することが可能となっている。なお、各挿入孔５１ｂ，５２ｂ，５３ｂおよび固定ピン６１によって本発明における固定部が構成される。

電極板１３は、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されて、図３に示すように、保持部１２における保持板３４の一面側（同図における上側）に取り付けられている。また、電極板１３には、各プローブ１１の基端部１１ｂにそれぞれ接触する複数の電極１３ａが嵌め込まれており、各電極１３ａには、プローブ１１と検査部５とを電気的に接続するためのケーブル１３ｂがそれぞれ接続されている。

移動機構３は、制御部６の制御に従い、基板保持部４に対して接離する方向にプローブユニット２を移動させる。基板保持部４は、回路基板１００を保持可能に構成されている。検査部５は、制御部６の制御に従い、プローブユニット２のプローブ１１を介して入力した電気信号に基づいて回路基板１００に対する所定の電気的検査（例えば、断線検査や短絡検査）を実行する。制御部６は、移動機構３および検査部５を制御する。

次に、プローブユニット２の組立て方法について、図面を参照して説明する。

まず、図４に示すように、保持部１２の保持板３２および保持板３３を初期位置に位置させた状態で、側板２１の挿入孔５１ａ、保持板３２の挿入孔５２ａ、および保持板３３の挿入孔５３ａに固定ピン６１を挿入することによって保持板３２，３３を初期位置に固定する。次いで、プローブ１１を保持部１２にセットする。具体的には、同図および図５に示すように、プローブ１１を挿通孔４４，４２，４３，４１にこの順序で挿通させて、先端部１１ａを保持板３１の外側（図５における下側）に突出させる。この場合、このプローブユニット２では、保持板３２および保持板３３が初期位置にそれぞれ位置している状態では、プローブ１１を真っ直ぐな状態で挿通可能な位置に各挿通孔４１〜３４が位置している。このため、プローブ１１を各挿通孔４４，４２，４３，４１に容易に挿通させることが可能な結果、数多くのプローブ１１を保持部１２にセットする作業を効率的に行うことが可能となっている。

続いて、すべてのプローブ１１を保持部１２にセットした後に、固定ピン６１を挿入孔５１ａ，５２ａ，５３ａから引き抜く。次いで、図６に示すように、保持板３２を矢印Ａの向き（第１の向きに）にスライドさせてスライド位置に位置させる。この際に、保持板３２の挿通孔４２に挿通されている一対のプローブ１１における一方（矢印Ａの向きにおいて手前側に位置するプローブ１１：同図における左側のプローブ１１）の基端部１１ｂ側が挿通孔４２の内面によって矢印Ａの向きに押圧される。この結果、そのプローブ１１が隣接する他方のプローブ１１（矢印Ａの向きにおいて奥側に位置するプローブ１１：同図における右側のプローブ１１）側に弾性変形（湾曲）させられて、保持板３１の挿通孔４１に挿通されているそのプローブ１１の先端部１１ａが隣接する他方のプローブ１１の先端部１１ａ側（挿通孔４２の内面における他方のプローブ１１側）に押し付けられる。

続いて、図７に示すように、保持板３３を矢印Ｂの向き（第２の向きに）にスライドさせてスライド位置に位置させる。この際に、保持板３３の挿通孔４３に挿通されている一対のプローブ１１における他方（矢印Ｂの向きにおいて手前側に位置するプローブ１１：同図における右側のプローブ１１）の基端部１１ｂが挿通孔４３の内面によって矢印Ｂの向きに押圧される。この結果、そのプローブ１１が隣接する一方のプローブ１１（矢印Ｂの向きにおいて奥側に位置するプローブ１１：同図における左側のプローブ１１）側に弾性変形（湾曲）させられて、保持板３１の挿通孔４１に挿通されているそのプローブ１１の先端部１１ａが隣接する一方のプローブ１１の先端部１１ａ側（挿通孔４２の内面における一方のプローブ１１側）に押し付けられる。

次いで、図３に示すように、保持板３２および保持板３３をスライド位置に位置させた状態で、側板２１の挿入孔５１ｂ、保持板３２の挿入孔５２ｂ、および保持板３３の挿入孔５３ｂに固定ピン６１を挿入することによって保持板３２，３３をスライド位置に固定する。続いて、同図に示すように、保持板３４の一面側（同図における上側）に電極板１３を取り付ける。以上によりプローブユニット２の組立てが完了する。

この場合、このプローブユニット２では、一対のプローブ１１における各々の先端部１１ａが上記したようにそれぞれ押し付けられることにより、図３に示すように、各先端部１１ａが互いに近接する。このため、各先端部１１ａが挿通されている一対の挿通孔４１のピッチよりも各先端部１１ａのピッチを狭小化する（この例では、各先端部１１ａのピッチを６０μｍとする）ことが可能となっている。なお、プローブユニット２に備えられている全てのプローブ１１における先端部１１ａのピッチが狭小化されている必要はなく、必要とされる部位のプローブ１１（各プローブ１１のうちの一部）のみが狭小化されていればよい。

次に、回路基板検査装置１を用いて回路基板１００に対する電気的検査を行う方法について、図面を参照して説明する。

まず、基板保持部４に回路基板１００を固定する。次いで、回路基板検査装置１を作動させる。この際に、制御部６が、移動機構３を制御することにより、図８に示すように、回路基板１００に対して近接する向きにプローブユニット２を移動させる。続いて、制御部６は、プローブユニット２の各プローブ１１における先端部１１ａが回路基板１００の導体パターン（図示せず）に接触した位置から所定距離だけプローブユニット２を更に移動させる。この場合、このプローブユニット２では、プローブ１１が事前に弾性変形（湾曲）させられている。このため、同図に示すように、プローブユニット２の移動に伴ってプローブ１１の先端部１１ａが保持板３１側に移動させられたときに、プローブ１１の湾曲量が増加すると共に、湾曲量の増加に起因する弾性力によって先端部１１ａが回路基板１００の導体パターンに確実に接触する。また、プローブ１１の湾曲量の増加に起因する弾性力により、基端部１１ｂも電極板１３の電極１３ａに確実に接触する。

次いで、検査部５が、制御部６の制御に従い、プローブ１１を介して入力した電気信号に基づいて回路基板１００対する電気的検査を実行する。続いて、回路基板１００に対する検査を終了したときには、制御部６は、移動機構３を制御して、回路基板１００から離間する向きにプローブユニット２を移動させる。

この場合、このプローブユニット２では、上記したように、各先端部１１ａのピッチを、各先端部１１ａが挿通されている一対の挿通孔４１のピッチよりも狭小化することが可能となっている。このため、このプローブユニット２では、従来の回路基板１００よりもさらに狭ピッチの導体パターンを有する回路基板１００を確実に検査することが可能となっている。

このように、このプローブユニット２および回路基板検査装置１では、第１の向きにスライド可能に配設された保持板３２と第２の向きにスライド可能に配設された保持板３３とを備えて保持部１２が構成され、互いに隣接する一対のプローブ１１の各々の各先端部１１ａ側が保持板３１の挿通孔４１に個別に挿通させられると共に各々の基端部１１ｂ側が保持板３２の１つの挿通孔４２および保持板３３の１つの挿通孔４３にまとめて挿通させられている。このため、このプローブユニット２および回路基板検査装置１では、保持板３２および保持板３３を第１の向きおよび第２の向きにそれぞれスライドさせることで、各先端部１１ａのピッチが各挿通孔４１のピッチよりも狭ピッチとなるように各プローブ１１を弾性変形させることができる。この結果、このプローブユニット２および回路基板検査装置１では、工作機械によって挿通孔４１を形成する際に可能な挿通孔４１間の最小のピッチよりも、先端部１１ａのピッチをさらに狭小化することができる。したがって、このプローブユニット２および回路基板検査装置１によれば、従来の回路基板１００よりもさらに狭ピッチの導体パターンを有する回路基板１００を確実に検査することができる。

また、このプローブユニット２および回路基板検査装置１によれば、保持板３２，３３が初期位置に位置している状態においてプローブ１１を非変形状態で挿通可能な位置に各挿通孔４１，４２，４３が位置するように保持部１２を構成したことにより、プローブユニット２の組立てに際して、プローブ１１を各挿通孔４１，４２，４３に容易に挿通させることができるため、数多くのプローブ１１を保持部１２にセットする作業を効率的に行うことができる。

さらに、このプローブユニット２および回路基板検査装置１によれば、保持板３２，３３をスライド位置に固定可能に保持部１２を構成したことにより、両保持板３２，３３をスライドさせることによって弾性変形させたプローブ１１をその状態でその位置に確実に維持することができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、上記したプローブ１１の直径や上記した各挿通孔４１，４２，４３，４４の直径は一例であって、任意に規定することができる。また、挿通孔４１のピッチや配置パターンも、検査対象の回路基板１００における導体パターンの形状や配置パターンに合わせて任意に規定することができる。また、プローブ１１の基端部１１ｂ側を１つの挿通孔４２，４３にまとめて挿通させる構成を、必ずしもプローブユニット２における全てのプローブ１１について適用する必要はなく、先端部１１ａ間のピッチを挿通孔４１間のピッチよりも狭小化する必要のあるプローブ１１についてのみ上記の構成を適用し、他のプローブ１１については、１つの基端部１１ｂを１つの挿通孔４２，４３に個別に挿通させてもよい。

また、保持板３４を備えて保持部１２を構成した例について上記したが、保持板３４を備えていない構成を採用することもできる。この場合、例えば、保持板３４に代えて電極板１３によってプローブ１１の基端部１１ｂを保持させる構成を採用することもできる。具体的には、全てのプローブ１１を、保持板３１の挿通孔４１、保持板３２の挿通孔４２、および保持板３３の挿通孔４３に挿通させた後に、各プローブ１１の基端部１１ｂと電極板１３とを接着剤等を用いて固定すると共に電極板１３を側板２１に固定する構成を採用することができる。

回路基板検査装置１の構成を示す構成図である。 プローブユニット２の斜視図である。 プローブユニット２の断面図である。 プローブユニット２の組立て方法を説明するための第１の説明図である。 プローブユニット２の組立て方法を説明するための第２の説明図である。 プローブユニット２の組立て方法を説明するための第３の説明図である。 プローブユニット２の組立て方法を説明するための第４の説明図である。 回路基板検査装置１を用いた検査の方法を説明するための説明図である。

符号の説明

１ 回路基板検査装置
２ プローブユニット
５ 検査部
１１ プローブ
１１ａ 先端部
１１ｂ 基端部
１２ 保持部
３１，３２，３３ 保持板
４１，４２，４３ 挿通孔
５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ 挿入孔
６１ 固定ピン
Ａ 矢印
Ｂ 矢印

Claims (4)

1. 弾性変形可能な複数のプローブと、当該各プローブを保持する保持部とを備えたプローブユニットであって、
   前記保持部は、前記各プローブの各々の先端部側を挿通させる第１挿通孔が形成された第１保持板と、前記各プローブの各々の基端部側を挿通させる第２挿通孔が形成されると共に前記第１保持板に平行な第１の向きにスライド可能に当該第１保持板に対向するように配設された第２保持板と、前記各基端部側を挿通させる第３挿通孔が形成されると共に前記第１保持板と前記第２保持板との間において前記第１の向きとは逆向きの第２の向きにスライド可能に当該第１保持板に対向するように配設された第３保持板とを備え、
   互いに隣接する一対の前記プローブは、各々の前記先端部側が一対の前記第１挿通孔に個別に挿通させられると共に各々の前記基端部側が１つの前記第２挿通孔および１つの前記第３挿通孔に挿通させられた状態において、前記第２保持板および前記第３保持板が前記第１の向きおよび前記第２の向きにそれぞれスライドさせられることによって当該各先端部のピッチが当該一対の第１挿通孔のピッチよりも狭くなるように弾性変形させられた状態で前記保持部によって保持されているプローブユニット。
2. 前記保持部は、前記第２保持板および前記第３保持板がスライドさせられる前の状態において前記各プローブを非変形状態で挿通可能な位置に前記各挿通孔が位置するように構成されている請求項１記載のプローブユニット。
3. 前記保持部は、スライドさせられた前記第２保持板および前記第３保持板をその位置に固定可能な固定部を備えている請求項１または２記載のプローブユニット。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニットと、検査対象体に接触させた当該プローブユニットを介して入力した電気信号に基づいて当該検査対象体に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている検査装置。

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