JP2013003002A - プローブユニットおよび回路基板検査装置 - Google Patents
プローブユニットおよび回路基板検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013003002A JP2013003002A JP2011135253A JP2011135253A JP2013003002A JP 2013003002 A JP2013003002 A JP 2013003002A JP 2011135253 A JP2011135253 A JP 2011135253A JP 2011135253 A JP2011135253 A JP 2011135253A JP 2013003002 A JP2013003002 A JP 2013003002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- tip
- insertion hole
- probe unit
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】第1挿通孔31aが形成された第1支持部31および第2挿通孔32aが形成された第2支持部32を有する本体部11と、先端部21および基端部22が第1挿通孔31aおよび第2挿通孔32aにそれぞれ挿通された状態で本体部11によって支持されて中央部23がプロービング時に湾曲可能に構成されると共に中央部23の直径が第1挿通孔31aの直径よりも大径となる厚みで中央部23の周面に第1絶縁層24が形成されたプローブピン12とを備え、プローブピン12における先端部21の表面の一部であって回路基板100の端子101に接触する部位を除く予め決め規定された先端領域Aには、先端領域Aの直径が第1挿通孔31aの直径よりも小径となる厚みで第2絶縁層25が形成されている。
【選択図】図3
Description
2,2a,2b プローブユニット
5 検査部
6 制御部
11 本体部
12,12a,12b プローブピン
21 先端部
21b 端面
21c 周面
21d,21e 小径部
22 基端部
23 中央部
24 第1絶縁層
25 第2絶縁層
31 第1支持部
31a 第1挿通孔
32 第2支持部
32a 第2挿通孔
41,42 支持板
41a,42a 挿通孔
100 回路基板
101 端子
A 先端領域
D1,D4,D5 直径
Claims (5)
- 第1挿通孔が形成された板状の第1支持部および当該第1支持部に対して対向配置されると共に第2挿通孔が形成された板状の第2支持部を有する本体部と、先端部および基端部が前記第1挿通孔および前記第2挿通孔にそれぞれ挿通された状態で前記本体部によって支持されて前記第1支持部および前記第2支持部の間に位置する中央部がプロービング時に湾曲可能に構成されると共に当該中央部の直径が前記第1挿通孔の直径よりも大径となる厚みで当該中央部の周面に第1絶縁層が形成されたプローブピンとを備えたプローブユニットであって、
前記プローブピンにおける前記先端部の表面の一部であってプロービング対象体に接触する部位を除く予め決め規定された先端領域には、当該先端領域の直径が前記第1挿通孔の直径よりも小径となる厚みで第2絶縁層が形成されているプローブユニット。 - 前記中央部の周面および前記先端領域に前記第2絶縁層が連続的に形成され、前記第1絶縁層は前記中央部に形成された前記第2絶縁層の上部に上層として形成されている請求項1記載のプローブユニット。
- 前記プローブピンは、前記先端部が一様な太さの円柱状に形成され、
前記先端部の周面の全域が前記先端領域として規定されている請求項1または2記載のプローブユニット。 - 前記プローブピンは、前記先端部が先端に向かうに従って小径となる小径部を有して構成され、
前記先端部における当該小径部を除く部分の周面が前記先端領域として規定されている請求項1または2記載のプローブユニット。 - 請求項1から4のいずれかに記載のプローブユニットと、プロービング対象体としての回路基板に接触させた前記プローブユニットの前記プローブピンを介して入出力した電気信号に基づいて当該回路基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている回路基板検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011135253A JP2013003002A (ja) | 2011-06-17 | 2011-06-17 | プローブユニットおよび回路基板検査装置 |
TW101117174A TWI542889B (zh) | 2011-06-03 | 2012-05-15 | A detection unit, a circuit board detection device, and a detection unit manufacturing method |
KR1020120054828A KR101883009B1 (ko) | 2011-06-03 | 2012-05-23 | 프로브 유닛, 회로 기판 검사 장치 및 프로브 유닛 제조 방법 |
CN2012101797816A CN102998493A (zh) | 2011-06-03 | 2012-06-01 | 探头单元、电路基板检查装置以及探头单元制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011135253A JP2013003002A (ja) | 2011-06-17 | 2011-06-17 | プローブユニットおよび回路基板検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013003002A true JP2013003002A (ja) | 2013-01-07 |
Family
ID=47671712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011135253A Pending JP2013003002A (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-17 | プローブユニットおよび回路基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013003002A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020183912A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | 東京特殊電線株式会社 | プローブユニット及びそれに用いるプローブ針 |
KR102265359B1 (ko) * | 2021-01-26 | 2021-06-15 | 주식회사 메디션 | 도전성 박막을 이용한 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006226702A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Nidec-Read Corp | 基板検査用治具、基板検査装置及び検査用接触子 |
JP2007322369A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Totoku Electric Co Ltd | コンタクトプローブ及びその製造方法 |
JP2008102070A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Hioki Ee Corp | 電子部品検査プローブ |
JP2008196905A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Totoku Electric Co Ltd | コンタクトプローブ、その使用方法及びその製造方法 |
JP2008286788A (ja) * | 2007-04-17 | 2008-11-27 | Nidec-Read Corp | 基板検査用治具 |
JP2008298555A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Hioki Ee Corp | プローブユニット、プローブピンおよび回路基板検査装置 |
JP2010066051A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Hioki Ee Corp | プローブユニットおよび検査装置 |
-
2011
- 2011-06-17 JP JP2011135253A patent/JP2013003002A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006226702A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Nidec-Read Corp | 基板検査用治具、基板検査装置及び検査用接触子 |
JP2007322369A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Totoku Electric Co Ltd | コンタクトプローブ及びその製造方法 |
JP2008102070A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Hioki Ee Corp | 電子部品検査プローブ |
JP2008196905A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Totoku Electric Co Ltd | コンタクトプローブ、その使用方法及びその製造方法 |
JP2008286788A (ja) * | 2007-04-17 | 2008-11-27 | Nidec-Read Corp | 基板検査用治具 |
JP2008298555A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Hioki Ee Corp | プローブユニット、プローブピンおよび回路基板検査装置 |
JP2010066051A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Hioki Ee Corp | プローブユニットおよび検査装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020183912A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | 東京特殊電線株式会社 | プローブユニット及びそれに用いるプローブ針 |
KR102265359B1 (ko) * | 2021-01-26 | 2021-06-15 | 주식회사 메디션 | 도전성 박막을 이용한 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4965341B2 (ja) | プローブユニットおよび回路基板検査装置 | |
KR101883009B1 (ko) | 프로브 유닛, 회로 기판 검사 장치 및 프로브 유닛 제조 방법 | |
JP3849948B1 (ja) | 基板検査用治具及び検査用プローブ | |
JP5103566B2 (ja) | 電気接触子およびそれを備える検査冶具 | |
EP2871483A1 (en) | Inspection jig | |
KR101011360B1 (ko) | 검사 지그 및 그 검사 장치 | |
JP2018054427A (ja) | プローブ、プローブカード及び接触検査装置 | |
JP2007017234A (ja) | 検査装置用ソケット | |
WO2014017426A1 (ja) | プローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット製造方法 | |
JP5179301B2 (ja) | プローブユニットおよび検査装置 | |
JP2006226702A (ja) | 基板検査用治具、基板検査装置及び検査用接触子 | |
JP2006234428A (ja) | コンタクトプローブおよび検査装置 | |
JP2010153156A (ja) | コネクタ | |
JP2013003002A (ja) | プローブユニットおよび回路基板検査装置 | |
JP2011203087A (ja) | コンタクトプローブ | |
JP4955458B2 (ja) | プローブユニットおよび回路基板検査装置 | |
US20080106288A1 (en) | Circuit boards including removable test point portions and configurable testing platforms | |
JP2009047512A (ja) | 検査冶具および検査装置 | |
JP6170176B2 (ja) | ソケット取付構造およびばね部材 | |
JP2007232558A (ja) | 電子部品検査プローブ | |
JP2008197009A (ja) | 電子部品検査プローブ | |
JP5323741B2 (ja) | プローブユニットおよび回路基板検査装置 | |
JP2019053002A (ja) | 接触端子、検査治具、及び検査装置 | |
JP2007322179A (ja) | 基板検査用治具及びこの治具を備える基板検査装置 | |
JP2007033363A (ja) | プローブ、プローブユニットおよび回路基板検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140523 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150217 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150417 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150929 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160308 |