JP5179301B2 - プローブユニットおよび検査装置 - Google Patents
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Description
2 プローブユニット
5 検査部
11 プローブ
11a 先端部
11b 基端部
12 保持部
31,32,33 保持板
41,42,43 挿通孔
51b,52b,53b 挿入孔
61 固定ピン
A 矢印
B 矢印
Claims (4)
- 弾性変形可能な複数のプローブと、当該各プローブを保持する保持部とを備えたプローブユニットであって、
前記保持部は、前記各プローブの各々の先端部側を挿通させる第1挿通孔が形成された第1保持板と、前記各プローブの各々の基端部側を挿通させる第2挿通孔が形成されると共に前記第1保持板に平行な第1の向きにスライド可能に当該第1保持板に対向するように配設された第2保持板と、前記各基端部側を挿通させる第3挿通孔が形成されると共に前記第1保持板と前記第2保持板との間において前記第1の向きとは逆向きの第2の向きにスライド可能に当該第1保持板に対向するように配設された第3保持板とを備え、
互いに隣接する一対の前記プローブは、各々の前記先端部側が一対の前記第1挿通孔に個別に挿通させられると共に各々の前記基端部側が1つの前記第2挿通孔および1つの前記第3挿通孔に挿通させられた状態において、前記第2保持板および前記第3保持板が前記第1の向きおよび前記第2の向きにそれぞれスライドさせられることによって当該各先端部のピッチが当該一対の第1挿通孔のピッチよりも狭くなるように弾性変形させられた状態で前記保持部によって保持されているプローブユニット。 - 前記保持部は、前記第2保持板および前記第3保持板がスライドさせられる前の状態において前記各プローブを非変形状態で挿通可能な位置に前記各挿通孔が位置するように構成されている請求項1記載のプローブユニット。
- 前記保持部は、スライドさせられた前記第2保持板および前記第3保持板をその位置に固定可能な固定部を備えている請求項1または2記載のプローブユニット。
- 請求項1から3のいずれかに記載のプローブユニットと、検査対象体に接触させた当該プローブユニットを介して入力した電気信号に基づいて当該検査対象体に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている検査装置。
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