KR101886536B1

KR101886536B1 - 접촉력을 조절할 수 있는 스트레이트 니들 프로브 카드

Info

Publication number: KR101886536B1
Application number: KR1020160179676A
Authority: KR
Inventors: 이재복; 황덕하
Original assignee: 주식회사 텝스
Priority date: 2016-12-27
Filing date: 2016-12-27
Publication date: 2018-08-07
Also published as: KR20180075834A; CN110088633A; TW201823732A; WO2018124737A1; US20190377002A1

Abstract

본 발명의 프로브 카드에 의하면, 스트레이트 니들이 삽입된 상태에서 제2 플레이트와 니들 낙하방지 플레이트를 제1 플레이트에 대하여 제1 방향으로 이동시킬 때 그 이동량을 조절할 수 있도록 함으로써, 스트레이트 니들의 벤딩정도(곡률)를 조절할 수 있게 되며, 결과적으로 니들의 구조의 변경 없이도 니들의 접촉력을 조절할 수 있게 된다. 이에 따라 웨이퍼 타입(Cu-필러, WLCSP, Al 패드) 및 특성에 따라 테스트 대상 웨이퍼에 최적화된 프로브 니들의 접촉력을 적용할 수 있게 된다. 또한, 간단한 구조의 스트레이트 니들을 그대로 사용할 수 있으므로, 니들 제작의 불량률을 낮출 수 있고 제작비용을 저렴하게 할 수 있으며, 니들 삽입공정 및 고장난 니들의 교체 역시 용이하게 된다. 또한, 니들간의 피치를 작게 할 수 있어, 미세 피치의 프로브 카드 제작에 유리하게 된다.

Description

접촉력을 조절할 수 있는 스트레이트 니들 프로브 카드{STRAIGHT NEEDLE PROBE CARD WITH ADJUSTABLE PROBE FORCE}

본 발명은 스트레이트 니들 프로브 카드에 관한 것으로, 특히 스트레이트 니들(straight needle)의 접촉력(contact force or probe force)을 용이하게 조절할 수 있는 프로브 카드에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼상에 형성된 복수의 반도체 장치(예컨대, DRAM, NAND Flash Memory 등)는, 패키징 비용의 절감을 위해, 각 반도체 장치별로 다이싱되어 패키징되기 전에 웨이퍼 레벨에서 그 양부를 테스트받게 된다. 이를 위해 반도체 테스터로부터의 테스트 신호를 웨이퍼상의 반도체 장치의 패드(pad)에 전달하는데 사용되는 것이 프로브 카드이다. 구체적으로, 프로브 카드는 니들 형태의 프로브 핀을 포함하며, 이 프로브 니들이 웨이퍼상의 반도체 장치의 패드에 접촉함으로써 반도체 테스터로부터의 테스트 신호를 반도체 장치의 패드에 인가하게 된다. 이때 프로브 니들과 반도체 장치의 패드간의 확실한 접촉을 위해 프로브 니들은 일정한 접촉력을 가지고 반도체 장치의 패드에 접촉하게 되며, 이로 인해 어쩔 수 없이 패드가 손상을 입게 된다.

프로브 카드의 프로브 니들이 접촉되는 웨이퍼상의 패드는 알루미늄으로 된 패드가 일반적이지만, 알루미늄결정 입계크기나 합금원소 등에 따라 패드의 강도가 달라지며, 특히, 최근 들어, Al-패드 대신에 WLCSP(Wafer Level Chip Scale Packaging)용 범프(bump)나, 구리로 된 필러(pillar) 등 다양한 형태 및 재질의 패드가 사용되고 있다. 프로브 니들에 의한 웨이퍼상의 패드에의 손상을 최소화하기 위해서는, 웨이퍼상의 패드의 형상이나 재질에 따라 프로브 니들이 패드를 접촉하는 접촉력이 달라져야 한다.

이를 위해 종래의 프로브 카드에서는 니들의 구조를 변경하여 프로브 니들의 접촉력을 조절하여 왔다. 그러나, 테스트 대상이 되는 웨이퍼의 종류에 따라 포고 니들(pogo needle), 캔틸레버 니들(cantilever needle), 버클링 니들(buckling needle) 등의 복잡한 구조의 다른 니들을 사용하여야 하기 때문에, 웨이퍼 특성별로 서로 다른 니들을 개발할 필요가 있으며, 프로브 니들의 재고 관리에도 어려움이 있었다.

특히, 수직형 프로브 카드(vertical probe card)에 있어서, 코브라(cobra) 니들과 같은 버클링 니들을 사용하는 경우 니들 구조상 피치를 작게 하는데 제약이 있으며, 사용도중 고장난 니들의 교체시 프로브 카드의 플레이트를 해체하여야 하는 번거로움이 있었다.

본 발명은 이러한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 구체적으로, 프로브 카드, 특히, 스트레이트 니들을 사용하는 프로브 카드에서 니들의 구조 자체를 변경하지 않고도 용이하게 접촉력을 조절할 수 있는 프로브 카드를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 프로브 카드는, 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 검사대상체와 마주보도록 설치되는 제1 플레이트와; 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 제1 플레이트 위에 제1 플레이트에 대해 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 제2 플레이트와; 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 사이에 제1 플레이트 및 제2 플레이트 각각에 대해 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 니들 낙하방지 플레이트와; 제1 플레이트, 제2 플레이트 및 니들 낙하 방지 플레이트 상호간의 제1 방향으로의 상대적인 이동량을 조절하기 위한 이동량 조절수단을 포함한다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 카드의 단면도.
도 2는 본 발명의 프로브카드를 구성하는 각 플레이트의 평면도.
도 3은 본 발명의 제2 가이드 플레이트와 니들 낙하방지 플레이트의 상대적 이동량의 조절을 설명하기 위한 개념도.

이하, 본 발명의 실시형태에 관해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다. 여기서, 본 명세서에 개시되는 특정의 구조적 및 기능적 상세 사항은 단지 예시적인 실시형태를 설명하려는 목적으로 기술된 것임에 유의한다. 따라서, 이하 설명하는 프로브 카드는 본 발명의 기술 사상을 구체화하기 위한 것으로, 특정적인 기재가 없는 한 본 발명을 이하의 것으로 한정하지 않는다. 또한, 어느 한 실시형태에 있어 설명하는 내용은, 다른 실시형태에도 적용 가능하다. 따라서, 실시형태는 다양한 변형과 대안적인 형태를 취할 수 있고, 이러한 실시형태를 본 명세서에 개시된 특정 형태로 한정하려는 것은 아니며, 이와 반대로 본 발명의 실시형태는 본 발명의 범위 내에 속하는 모든 변형, 동등물 및 대안을 포함할 수 있음을 이해하여야 한다.

또한, 도면에 관한 설명 전체에 걸쳐서 동일한 참조부호는 동일한 요소를 나타낸다.

또한, 본 명세서에 사용되는 “및/또는”이라는 표현은 하나 이상의 관련 항목 중 임의의 항목 및 그 모든 조합을 포함한다.

또한, 본 명세서에서 사용하는 용어는 단지 특정 실시형태를 설명하기 위한 것이며, 실시형태의 한정을 의도하는 것은 아니다. 본 명세서에서 사용되는 “어느”, “어떤” 및 “그”와 같은 표현은 문맥상 명확하게 달리 표현하지 않는다면 복수의 형태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

또한, 본 명세서에서 사용되는 “포함한다”, 및/또는 “포함하는”과 같은 용어는 설명된 특징, 단계, 동작 요소 및/또는 성분의 존재를 특정하는 것이지, 하나 이상의 다른 특징, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 그 그룹의 존재 또는 추가를 배제하는 것은 아니다. 공간 관련 용어는 도면에 도시된 방향 외에 사용 또는 동작 중인 디바이스의 다른 방향도 포함한다는 것을 이해하여야 한다.

또한, 일부 대안적인 구현에서, 도면에 표기된 순서와 다르게 기능/동작이 발생할 수 있다는 것에 유의해야 한다. 예를 들어, 연속으로 도시된 2개의 도면이 실제로는 동시에 실행될 수 있거나, 때로는 관련 기능/동작에 따라 역순으로 실행될 수도 있다.

본 발명은 스트레이트 니들의 구조를 그대로 사용하면서도 니들의 벤딩 정도를 정밀하게 조절함으로써 프로브 니들이 웨이퍼의 패드에 접촉하는 힘을 용이하게 조절할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 스트레이트 니들 프로브 카드의 구조를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 스트레이트 니들 프로브 카드의 단면도를 도시한다. 본 발명의 프로브 카드는, 테스트 대상인 반도체 웨이퍼와 마주하며, 프로브 니들(1)이 삽입되는 복수개의 니들홀(10)이 형성된 제1 가이드 플레이트(제1 플레이트; 2)와, 제1 가이드 플레이드 위측에 설치되고, 복수개의 니들홀(10)을 가지며, 제1 가이드 플레이트(2)에 대하여 스트레이트 니들의 벤딩(bending) 방향(제1 방향)으로 상대적으로 이동 가능한 제2 가이드 플레이트(제2 플레이트; 3), 및 제1 가이드 플레이트(2)와 제2 가이드 플레이트(3)의 사이에 설치되며, 제1 가이드 플레이트(2)와 제2 가이드 플레이트(3)에 대해 각각 제1 방향으로 상대적으로 이동가능한 니들 낙하방지 플레이트(4)를 포함한다.

도 1의 (a)는 제1 가이드 플레이트(2), 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 니들홀(10)이 모두 동심으로 되어 스트레이트 니들(10)이 삽입되어 있는 상태를 나타내고, 도 1의 (b)는 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)가 제1 방향으로 제1 가이드 플레이트(2)에 대하여 상대적으로 이동된 상태를 나타낸다.

제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 제1 가이드 플레이트(2)에 대한 상대적인 이동에 의하여 스트레이트 니들(1)은 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이 휘어지게 되는데, 후술하는 바와 같이, 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 상대적 이동량을 조절함으로써, 스트레이트 니들의 휘어지는 정도를 조절할 수 있게 되며, 이에 의해 스트레이트 니들이 웨이퍼의 패드나 범프 등에 접촉되는 접촉력을 조절할 수 있게 된다.

플레이트들을 제1 방향으로 상대적으로 이동함에 있어서, 제1 가이드 플레이트(2)에 대한 니들 낙하방지 플레이트(4)의 상대적 이동량을 제1 가이드 플레이트(2)에 대한 제2 가이드 플레이트(3)의 상대적 이동량보다 더 크게 함으로써, 스트레이트 니들(1)은 니들 낙하방지 플레이트(4)의 니들홀(10)의 일측 내벽면에 탄성력에 의해 접촉하게 되며, 테스트 도중 플레이트에 수직인 방향으로 접촉력이 가해지더라도 니들의 낙하가 방지된다. 이에 대해서는, 도 3을 참조하여 후술한다.

본 발명에 따른 프로브 카드는 간섭 방지 가이드 필름(5) 및/또는 제3 가이드 플레이트(제3 플레이트; 6)를 더 포함할 수 있다. 간섭방지 가이드 필름(5)은 니들의 길이 등이 균일하지 않은 상황에서 스트레이트 니들이 휘어짐으로 인해 니들간에 서로 간섭이 발생하는 것을 방지한다. 제3 가이드 플레이트(6)는 니들의 휘어짐으로 인해 니들이 반도체 웨이퍼의 패드나 범프 등에 수직으로 접촉하지 못하고 경사져서 접촉되는 것을 방지한다.

도 1에 도시된 플레이트들(예컨대, 제1 가이드 플레이트나, 제2 가이드 플레이트 등)의 높이는 테스트 대상인 웨이퍼의 특성에 따라 달리 설정될 수 있다. 도 1에 도시된 플레이트들의 높이를 달리 하는 대신, 다른 플레이트의 높이는 변화시키지 않고, 도 1에 도시된 바와 같이, 별도의 높이 조절 플레이트(7)를 사용할 수도 있다. 높이 조절 플레이트(7)의 기능 및 효과에 대해서는 후술한다.

도 2는 본 발명에 따른 스트레이트 니들 프로브 카드의 제1 가이드 플레이트(2), 제2 가이드 플레이트(3), 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 개념적인 평면도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 제1 가이드 플레이트(2), 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)는, 스트레이트 니들이 삽입되는 니들홀(10), 플레이트간의 상대적인 이동량을 조절하기 위한 이동량 조절수단으로서의 이동량 조절홀(21, 31, 41) 및 플레이트들의 상대적인 이동을 가이드하기 위한 가이드 수단으로서의 이동 방향 가이드홀(22, 32, 42)을 포함한다.

여기서, 니들홀(10)은 설명의 편의상 하나만을 도시하였으나, 실제는 한번에 테스트되는 반도체 장치(DUT)의 개수에 따라 복수의 니들홀이 형성된다. 니들홀(10)의 사이즈는 테스트 대상인 웨이퍼의 특성에 따라 다른 크기를 가질 수 있다.

이동량 조절홀(21, 31, 41)은 설정하고자 하는 이동거리의 개수에 따라 복수개가 형성된다. 이동량 조절홀(21, 31, 41) 중 제1방향으로 제일 끝에 위치하는 것을 제1 이동량 조절홀(211, 311, 411)이라 할 때, 예컨대, 2개의 이동거리를 설정하고자 하는 경우에는 제1 이동량 조절홀 이외에 추가로 2개의 이동량 조절홀을 형성하여, 총 3개를 형성하면 되며, 4개의 이동거리를 설정가능토록 하고자 하는 경우에는 총 5개의 이동량 조절홀을 형성하면 된다. 이동량 조절홀(21, 31, 41)은 제1 방향으로 1열로 형성되어도 되나, 도 2에 도시된 바와 같이, 2열로 형성함으로써, 보다 안정적으로 각 플레이트를 원하는 위치에 고정시킬 수 있게 된다.

제2 가이드 플레이트(3)와 니들 낙하방지 플레이트의 이동거리는 제2 가이드 플레이트(3)와 니들 낙하방지 플레이트의 이동량 조절홀(31, 41)과 제1 가이드 플레이트(2)의 대응하는 이동량 조절홀(21)간의 제1 방향으로의 거리에 의해 정해진다. 예컨대, 3개의 플레이트의 제2 이동량 조절홀(212, 312, 412)의 제1 방향으로의 상대적 거리가 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 제1 가이드 플레이트(2)에 대한 제1 이동 거리를 결정한다. 이런 방식으로 각 플레이트마다 설정하고자 하는 이동거리의 개수에 비례하여 이동량 조절홀을 형성함으로써, 이동거리가 매우 촘촘하게 설정되어야 하는 경우라도, 어느 한 플레이트에 형성되는 이동량 조절홀간의 거리를 충분히 확보할 수 있게 되어, 플레이트의 강도를 유지할 수 있게 되며, 플레이트의 가공도 간편해진다.

각 플레이트에 형성된 제1 이동량 조절홀(211, 311, 411)로부터 니들홀(10)까지의 거리는 각 플레이트에서 모두 동일하게 형성된다. 따라서, 제2 가이드 플레이트(3)의 제1 이동량 조절홀(311)과 니들 방지낙하 플레이트(4)의 제1 이동량 조절홀(411)이 제1 가이드 플레이트(2)의 제1 이동량 조절홀(211)과 동심이 되도록 제2 가이드 플레이트(3)와 니들 낙하방지 플레이트(4)를 상대적으로 이동시키면, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 각 플레이트에 형성된 니들홀들도 모두 동심이 되고, 스트레이트 니들(1)을 니들홀(10)에 삽입할 수 있게 된다. 니들홀(10)의 니들 삽입 작업을 위해, 제1 이동량 조절홀(211,311,411)을 관통하도록 플레이트 고정핀(8, 고정수단)을 삽입하여, 각 플레이트의 제1 방향으로의 위치를 고정한다.

이동량 조절홀(21, 31, 41)은 원형홀로 형성되나, 이러한 형상으로 한정되는 것은 아니며, 그 사이즈 역시 특정 크기로 한정되는 것은 아니다.

가이드홀(22,32,42)은 제2 가이드 플레이트(3)와 니들 낙하방지 플레이트(4)가 제1 가이드 플레이트(2)에 대하여 제1방향으로 상대적으로 이동할 때, 각각의 플레이트가 제1방향에 대해 기울어진 상태로 이동하는 것을 방지하고, 이동 방향을 일정하게 하기 위한 것이다. 가이드홀(22,32,42)은 제1 방향으로의 장공의 형태로 형성되는 것이 바람직하며, 플레이트의 이동방향을 더욱 안정적으로 가이드하기 위해 제1방향에 수직한 방향(제2 방향)으로 2개가 형성되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 실시형태에서는, 플레이트간의 상대적인 이동량 조절수단으로서 이동량 조절홀(21, 31, 41)을 채택하고 있으며, 이러한 이동량 조절홀(21, 31, 41)에 고정핀(8)을 삽입하여 플레이트들의 제1 방향 위치를 고정시키는 구성을 채택하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 플레이트 들간의 제1 방향으로의 상대적 이동량을 조절할 수 있고, 이동된 플레이트를 고정시킬 수 있는 한 다른 기계적, 전기적, 자기적 수단이 사용될 수도 있다.

또한, 본 발명의 실시형태에서는 플레이트간의 상대적 이동을 가이드하기 위한 가이드 수단으로서 제1 방향으로 길쭉한 형태의 장공인 가이드홀을 채택하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 플레이트의 이동 방향을 가이드할 수 있는 한 다른 기계적, 전기적, 자기적 가이드 수단이 사용될 수도 있다.

이하, 도 3을 참조하여, 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)를 제1 가이드 플레이트(2)에 대하여 제1 방향으로 상대적으로 이동시켜 이동량을 조절하는 과정에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.

우선, 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 제1 이동량 조절홀(311, 411)이 제1 가이드 플레이트(2)의 제1 이동량 조절홀(211)과 동심이 되도록, 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)를 제1 방향으로 이동시키며, 동심이 된 제1 이동량 조절홀(211, 311, 411)에 고정핀(8)을 삽입하여 플레이트들의 제1 방향으로의 위치를 고정시킨다. 이에 의해, 각 플레이트에 형성된 복수의 니들홀(10) 역시 상하로 동심이 되며, 니들홀(10)에 스트레이트 니들(1)을 각각 삽입한다.

니들홀(10)에 니들(1)이 삽입된 후, 플레이트 고정핀(8)을 제1 이동량 조절홀(211, 311, 411)로부터 제거하고, 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 제2 이동량 조절홀(312, 412)들이 제1 가이드 플레이트(2)의 제2 이동량 조절홀(212)과 동심이 되도록 제2 가이드 플레이트(3)와 니들 낙하방지 플레이트(4)를 제1 가이드 플레이트(2)에 대하여 상대적으로 이동시킨 후, 고정핀(8)을 제2 이동량 조절홀(212,312,412)에 삽입하여 각 플레이트의 제1 방향으로의 위치를 고정한다.

이러한 플레이트의 상대적 이동에 의하여, 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 니들홀(10)이 도 3의 참조번호 110으로 표시된 위치로 이동하게 됨으로써, 니들홀(10)에 삽입되어 있는 스트레이트 니들은 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 그 상대적인 이동량에 의해 결정되는 곡률로 휘어지게 된다. 특히, 니들 낙하방지 플레이트(4)의 제2 이동량 조절홀(412)과 제1 이동량 조절홀(411)사이의 거리가 제2 가이드 플레이트(3)의 제2 이동량 조절홀(312)과 제1 이동량 조절홀(311) 사이의 거리보다 길기 때문에, 휘어진 스트레이트 니들이 니들 낙하방지 플레이트(4)의 니들홀(10)의 내벽면(제1 방향의 반대방향측 내벽면)에 탄성력을 가지고 밀착된다. 또한, 스트레이트 니들(1)은 제1 가이드 플레이트(2) 및 제2 가이드 플레이트(3)의 니들홀(10)의 제1 방향측 내벽면에 탄성력을 가지고 밀착된다. 이에 의해, 스트레이트 니들의 낙하가 방지된다.

스트레이트 니들의 휘어지는 곡률은 제2 가이드 플레이트(3)와 니들 낙하방지 플레이트(4)의 제1가이드 플레이트(2)에 대한 상대적 이동거리 및/또는 제2 가이드 플레이트(3)의 이동량 조절홀과 이에 대응하는 니들 낙하방지 플레이트(4)의 이동량 조절홀의 상대적인 형성위치에 따라 달라질 수 있으며, 스트레이트 니들이 반도체 웨이퍼의 패드나 범프를 접촉하는 힘은 스트레이트 니들의 벤딩구간의 곡률에 따라서 달라지게 된다. 즉, 제1 방향으로의 이동량이 커질수록 니들의 벤딩구간의 곡률은 커지며, 니들이 웨이퍼의 패드나 범프에 접촉하는 접촉력은 작아지게 된다.

마찬가지로, 제2 가이드 플레이트(3)와 니들 낙하방지 플레이트(4)의 다른 이동량 조절홀들을 대응하는 제1 가이드 플레이트(2)의 이동량 조절홀과 동심이 되도록 상대적으로 이동시킴으로써, 플레이트간의 상대적인 이동량을 조절할 수 있으며, 이에 따라 간단한 구조의 스트레이트 니들을 그대로 사용하면서도, 니들의 벤딩구간의 곡률, 결국, 니들의 접촉력을 조절할 수 있게 된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 카드는 제1 가이드 플레이트(2)와 제2 가이드 플레이트(3) 사이에 높이 조절 플레이트(7)를 추가로 포함 할 수 있다. 프로브 카드의 높이 조절 플레이트(7)의 높이를 테스트 대상 웨이퍼의 구조 내지 특성에 따라 달리함으로써, 스트레이트 니들(1)의 벤딩구간의 곡률을 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 제1 방향으로의 상대적 이동에 의한 조절과는 독립적으로 조절할 수 있게 된다. 즉, 제1 방향으로의 제2 가이드 플레이트(3) 및 니들 낙하방지 플레이트(4)의 상대적 이동량을 일정하게 하더라도, 높이 조절 플레이트(7)의 높이를 높임으로써, 니들의 벤딩구간의 곡률을 작게 할 수 있으며, 이에 따라 니들의 접촉력을 크게 할 수 있다.

높이 조절 플레이트(7)를 추가로 포함함으로써, 스트레이트 니들의 곡률을 보다 정밀하게 제어할 수 있으며, 이에 따라 니들의 접촉력 역시 보다 정밀하게 조절할 수 있게 된다. 또한, 다른 플레이트의 높이를 테스트 대상 웨이퍼의 특성에 맞춰 모두 변경하는 대신, 높이 조절 플레이트(7)의 높이를 조절함으로써 테스트 대상 웨이퍼의 특성에 맞는 높이를 설정할 수 있게 되므로, 테스트 대상 웨이퍼의 특성에 따라 다른 높이를 가지는 가이드 플레이트들을 별도로 제작할 필요가 없게 된다.

특정 용어를 취하여 본 발명을 설명하였지만, 그 특정 용어는 한정적인 것이 아니라 단지 포괄적이고 설명적인 의미로 사용된 것이므로, 그에 따라 해석되어야 한다. 따라서, 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고도 그 형태나 상세 사항에 있어 다양한 변화가 이루어질 수 있다는 것이 본 기술 분야의 통상의 기술자에게 이해될 것이다.

이상, 예시적인 실시형태를 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시형태로 한정되지 않음을 또한 이해해야 한다. 또한 상술한 실시형태는 서로 조합하여 실시될 수 있음은 자명하다. 이하의 특허청구범위는 그러한 모든 변형과 등가의 구조 그리고 기능을 아우르도록 최광의로 해석되어야 한다.

Claims

스트레이트 니들의 접촉력을 조절할 수 있는 프로브 카드에 있어서,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 테스트 대상체와 마주보도록 설치되는 제1 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트 위에 상기 제1 플레이트에 대해 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 제2 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 상기 제1 플레이트 및 상기 제2 플레이트 각각에 대해 상기 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 니들 낙하방지 플레이트, 및
상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하 방지 플레이트 상호간의 제1 방향으로의 상대적인 이동량을 조절하기 위한 이동량 조절수단
을 포함하고,
상기 이동량 조절수단은 상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하방지 플레이트 각각에 제1 방향으로 형성된 복수의 이동량 조절홀을 포함하는, 스트레이트 니들 프로브 카드.
스트레이트 니들의 접촉력을 조절할 수 있는 프로브 카드에 있어서,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 테스트 대상체와 마주보도록 설치되는 제1 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트 위에 상기 제1 플레이트에 대해 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 제2 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 상기 제1 플레이트 및 상기 제2 플레이트 각각에 대해 상기 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 니들 낙하방지 플레이트,
상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하 방지 플레이트 상호간의 제1 방향으로의 상대적인 이동량을 조절하기 위한 이동량 조절수단, 및
상기 제1 플레이트와 상기 니들 낙하방지 플레이트 사이에 설치되는 높이 조절 플레이트를 포함하고,
상기 이동량 조절수단은 상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하방지 플레이트 각각에 제1 방향으로 형성된 복수의 이동량 조절홀을 포함하는, 스트레이트 니들 프로브 카드.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 이동량 조절홀은 제1 방향으로 2열로 형성되는, 스트레이트 니들 프로브 카드.
스트레이트 니들의 접촉력을 조절할 수 있는 프로브 카드에 있어서,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 테스트 대상체와 마주보도록 설치되는 제1 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트 위에 상기 제1 플레이트에 대해 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 제2 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 상기 제1 플레이트 및 상기 제2 플레이트 각각에 대해 상기 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 니들 낙하방지 플레이트, 및
상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하 방지 플레이트 상호간의 제1 방향으로의 상대적인 이동량을 조절하기 위한 이동량 조절수단
을 포함하고,
상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하방지 플레이트에는 이들 플레이트의 상기 제1 방향으로 이동을 가이드하기 위한 가이드 수단이 형성되고,
상기 가이드 수단은 상기 제1 방향으로 길쭉한 형태의 장공인 가이드홀을 포함하고,
상기 가이드홀은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 2개가 형성되는, 스트레이트 니들 프로브 카드.
스트레이트 니들의 접촉력을 조절할 수 있는 프로브 카드에 있어서,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 테스트 대상체와 마주보도록 설치되는 제1 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트 위에 상기 제1 플레이트에 대해 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 제2 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 상기 제1 플레이트 및 상기 제2 플레이트 각각에 대해 상기 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 니들 낙하방지 플레이트,
상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하 방지 플레이트 상호간의 제1 방향으로의 상대적인 이동량을 조절하기 위한 이동량 조절수단, 및
상기 제1 플레이트와 상기 니들 낙하방지 플레이트 사이에 설치되는 높이 조절 플레이트를 포함하고,
상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하방지 플레이트에는 이들 플레이트의 상기 제1 방향으로 이동을 가이드하기 위한 가이드 수단이 형성되고,
상기 가이드 수단은 상기 제1 방향으로 길쭉한 형태의 장공인 가이드홀을 포함하고,
상기 가이드홀은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 2개가 형성되는, 스트레이트 니들 프로브 카드.
스트레이트 니들의 접촉력을 조절할 수 있는 프로브 카드에 있어서,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 테스트 대상체와 마주보도록 설치되는 제1 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트 위에 상기 제1 플레이트에 대해 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 제2 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 상기 제1 플레이트 및 상기 제2 플레이트 각각에 대해 상기 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 니들 낙하방지 플레이트,
상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하 방지 플레이트 상호간의 제1 방향으로의 상대적인 이동량을 조절하기 위한 이동량 조절수단, 및
복수의 니들홀을 포함하며, 상기 니들 낙하방지 플레이트와 상기 제1 플레이트 사이에 설치되는 간섭방지 가이드 필름을 포함하는, 스트레이트 니들 프로브 카드.
스트레이트 니들의 접촉력을 조절할 수 있는 프로브 카드에 있어서,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 테스트 대상체와 마주보도록 설치되는 제1 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트 위에 상기 제1 플레이트에 대해 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 제2 플레이트,
상기 스트레이트 니들이 삽입되는 복수의 니들홀을 가지며, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 상기 제1 플레이트 및 상기 제2 플레이트 각각에 대해 상기 제1 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 설치되는 니들 낙하방지 플레이트,
상기 제1 플레이트, 상기 제2 플레이트 및 상기 니들 낙하 방지 플레이트 상호간의 제1 방향으로의 상대적인 이동량을 조절하기 위한 이동량 조절수단,
상기 제1 플레이트와 상기 니들 낙하방지 플레이트 사이에 설치되는 높이 조절 플레이트, 및
복수의 니들홀을 포함하며, 상기 니들 낙하방지 플레이트와 상기 제1 플레이트 사이에 설치되는 간섭방지 가이드 필름을 포함하는, 스트레이트 니들 프로브 카드.
제6항 또는 제7항에 있어서,
복수의 니들홀을 포함하며, 상기 제1 플레이트와 상기 간섭방지 가이드 필름 사이에 설치되는 제3 플레이트를 더 포함하는, 스트레이트 니들 프로브 카드.
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