JP5397619B2 - 基板検査用の検査治具 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る検査治具10の一部断面を示す側面概略図である。なお、全図において、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔、隙間等は、理解の容易のために、適宜、拡大・縮小・変形・簡略化等をしている。また、図の説明の際の上下・左右の表現は、その図に向かった状態での位置関係を表すものとする。
図5は、図2Aから図2Cまでに示す部分の他の実施形態を示す。その図に示すように、支持棒13−1は、大円を上底とし小円を下底とするように配置された円錐台形状の位置確定部13a−1と円柱状の案内部13b−1とからなり、図2A等の支持棒13の円錐台形状の第2位置確定部13cに相当する構成は備えていない。
11,11−1,11−2・・・ヘッドプレート
11a,11b,11c・・・プレート
11a−1,11b−1,11c−1・・・プレート
11a−2,11b−2,11c−2・・・プレート
11ah,11bh,11ch・・・貫通孔
13,13−1,13−2,13−3・・・支持棒
14・・・ベースプレート
15・・・基台
17・・・プローブ
21・・・凹部
22,23,24・・・予備孔
13a,13c,13a−1・・・位置確定部
13b,13b−1・・・案内部
40・・・検査基板
42・・・バンプ
61・・・プランジャー
62・・・ストッパー部
63・・・円筒状の本体部
Claims (9)
- 被検査物の電気的特性を測定するための測定装置に用いられる基板検査用の検査治具であって、
各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、
該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、
前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、
前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備え、
前記位置確定手段は、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の上側位置確定部を有し、前記ヘッドプレートには、該上側位置確定部の形状に対応する、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の孔が形成され、前記第1の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、前記ヘッドプレートの孔と前記上側位置確定部が嵌り合うように構成されていることを特徴とする、基板検査用の検査治具。 - 被検査物の電気的特性を測定するための測定装置に用いられる基板検査用の検査治具であって、
各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、
該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、
前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、
前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備え、
前記位置確定手段は、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の下側位置確定部を有し、前記ヘッドプレートには、該下側位置確定部の形状に対応する、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の孔が形成され、前記第2の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、前記ヘッドプレートの孔と前記下側位置確定部とが嵌り合うように構成されていることを特徴とする、基板検査用の検査治具。 - 被検査物の電気的特性を測定するための測定装置に用いられる基板検査用の検査治具であって、
各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、
該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、
前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、
前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備え、
前記ヘッドプレートの前記孔に挿通されていない前記プローブの少なくとも一部に、前記ヘッドプレートの前記孔の径よりも大きくなる大径部が形成されていて、該大径部が前記ヘッドプレートに係止される、基板検査用の検査治具。 - 請求項1又は3記載の基板検査用の検査治具において、
前記位置確定手段は、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の下側位置確定部を有し、前記ヘッドプレートには、該下側位置確定部の形状に対応する、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の孔が形成され、前記第2の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、前記ヘッドプレートの孔と前記下側位置確定部とが嵌り合うように構成されていることを特徴とする、基板検査用の検査治具。 - 請求項2又は3記載の基板検査用の検査治具において、
前記位置確定手段は、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の上側位置確定部を有し、前記ヘッドプレートには、該上側位置確定部の形状に対応する、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の孔が形成され、前記第1の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、前記ヘッドプレートの孔と前記上側位置確定部とが嵌り合うように構成されていることを特徴とする、基板検査用の検査治具。 - 請求項1から5のいずれか1項記載の基板検査用の検査治具において、前記支持棒にはばね部が環装され、該ばね部が前記ヘッドプレートを前記ベースプレートから離れる方向に付勢する、基板検査用の検査治具。
- 請求項1から6のいずれか1項記載の基板検査用の検査治具において、前記ヘッドプレートに凹部が形成されていて、前記プローブの前記先端部が、該凹部を形成する底面から僅かに突出している、基板検査用の検査治具。
- 請求項1、2、4〜7のいずれか1項記載の基板検査用の検査治具において、前記ヘッドプレートの前記孔に挿通されていない前記プローブの少なくとも一部に、前記ヘッドプレートの前記孔の径よりも大きくなる大径部が形成されていて、該大径部が前記ヘッドプレートに係止される、基板検査用の検査治具。
- 被検査物の電気的特性を測定するための測定装置であって、
各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備える、検査治具と、
該検査治具の前記ベースプレートの前記電極に電気的に接続されて、前記被検査物の電気的特性を測定するための信号を制御及び処理する装置とを備え、
前記検査治具は請求項1〜8のいずれか1項記載の基板検査用の検査治具であることを特徴とする測定装置。
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