JP5397619B2 - 基板検査用の検査治具 - Google Patents

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Description

本発明は、被検査物の検査対象部上に予め設定される検査点と検査装置とを電気的に接続する検査治具に関する。
検査治具は、接触子やプローブを経由して、被検査物が有する検査対象部に、検査装置から電流或いは電気信号を所定検査位置に供給するとともに、検査対象部から電気信号を検出することによって、検査対象部の電気的特性の検出、動作試験の実施等をするために用いられる。
被検査物としては、例えば、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や、半導体ウェハや半導体チップやCSP(Chip size package)などの半導体装置が該当する。
本明細書では、これらの上記の被検査物を総称して「被検査物」とし、被検査物に形成される検査対象部を「対象部」と称する。
例えば、被検査物が基板であり、それに搭載されるIC等の半導体回路や抵抗器などの電気・電子部品である場合には、基板に形成された対象部が、配線や電極となる。その場合には、対象部の配線が、それらに電気信号を正確に伝達できることを保証するため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに形成された配線上の所定の検査点間の抵抗値等の電気的特性を測定して、その配線の良否を判断している。
具体的には、その配線の良否の判定は、各検査点に、電流供給用端子及び/又は電圧測定用のプローブの先端を当接させて、そのプローブの電流供給用端子から検査点に測定用電流を供給するとともに検査点に当接させたプローブの先端間の配線に生じた電圧を測定し、それらの供給電流と測定した電圧とから所定の検査点間における配線の抵抗値を算出することによって行われている。
また、基板検査装置を用いて検査用基板の検査を行う際には、治具移動手段を移動させて基板検査治具の検査用のプローブ(接触ピン)を検査用基板の接触部分に当接させ、それにより所定の検査を行い、検査が終了すると、治具移動手段を移動させて検査治具を検査用基板から遠ざける、という制御が行われている。
特開平2008−197009 特許文献1には、支柱によって固定された検査対象の電子部品側の支持板と検査機器側の支持板とを備え、検査機器側の支持板に端部が固定され、電子部品側の支持板に検査プローブのヘッド側が挿通された検査治具が開示されている。
その検査用プローブは、バネ性を有し、検査対象の電子部品の検査点を検査用プローブのヘッドの先端面に接触させて強く押し当て押し込むと、バネ性により撓んで復元可能な程度に座屈する。
近年になって検査対象の基板の複雑化や微細化が進み、基板に設定される検査点がより細かく又は小さく形成されることになるために、検査用プローブの径もより小さく形成されている。このため、治具移動手段を移動させて検査治具の検査用プローブを検査用基板の検査点に当接させる際に、その検査用プローブの先端がずれ動いたり、揺れ動いたり、振れ動いたりしてその先端が所定の検査点に正確に当接させることが困難な場合がある。
特許文献1では、検査プローブのヘッドが電子部品側の支持板から突出しており、電子部品の検査点を検査プローブのヘッドの先端面に接触させて強く押し当てて、そのヘッドを電子部品側の支持板内に押し込むことによって、検査プローブをバネ性により撓ませている。
そのため、検査プローブはヘッドプレートに設けられる貫通孔に貫通して保持されているが、検査プローブが検査点に押圧されると、ヘッドプレートの貫通孔からの検査プローブの出量(突出量)に変化が生じるため、検査プローブの先端部が検査点を押す力が変化することになり、検査プローブのヘッドの先端面が正確に電子部品の検査点に接触しないことがあったり、また、電子部品が検査プローブのヘッドの先端面を押し下げて電子部品側の支持板に当接するまでの間に、そのヘッドの先端面が検査点からずれ動いたりすることがある。また、上記の如き動作により検査プローブがヘッドプレートの貫通孔の側壁と摺動することになり、検査プローブ表面のめっきがはがれたり、表面に傷が付いたりする問題を有していた。
そこで、本発明は、検査用プローブの先端部がずれ動くことなく正確な位置に保持することにより、微小な検査点の所定の位置に正確にその検査用プローブの先端を当接させることを可能とする基板検査用の検査治具を提供することを目的とする。
また、本発明は、検査用プローブの先端を検査用基板の検査点に正確に当接させた状態を保持することができる基板検査用の検査治具を提供することを目的とする。
また、本発明は、検査用プローブの先端を検査部に強く押し付ける際に、その先端が検査部からずれ動くことのない基板検査用の検査治具を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、検査用プローブの先端を検査用基板の部分に当接させる際に、その検査用プローブの先端が折れ曲がったり湾曲したりする等の変形を防止することができる基板検査用の検査治具を提供することを目的とする。
そこで、本発明に係る被検査物の電気的特性を測定するための測定装置に用いられる検査治具は、各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備えることを特徴とする。
その検査治具において、前記第1の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、該ヘッドプレートと前記支持棒とが嵌り合うような相補的な形状を持つようにしてもよい。
その検査治具において、前記第2の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、該ヘッドプレートと前記支持棒とが嵌り合うような相補的な形状を持つようにしてもよい。
その検査治具において、前記相補的な形状に関して、前記支持棒には、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の円錐台が形成され、前記ヘッドプレートには、該円錐台の円錐面の形状に対応する、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の円錐台形状の孔が形成されるようにしてもよい。
その検査治具において、前記相補的な形状に関して、前記支持棒には、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の円錐台が形成され、前記ヘッドプレートには、該円錐台の円錐面の形状に対応する、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の円錐台形状の孔が形成されるようにしてもよい。
その検査治具において、前記支持棒にはばね部が環装され、該ばね部が前記ヘッドプレートを前記ベースプレートから離れる方向に付勢するようにしてもよい。
その検査治具において、前記ヘッドプレートに凹部が形成されていて、前記プローブの前記先端部が、該凹部を形成する底面から僅かに突出していてもよい。
その基板検査用の検査治具において、前記ヘッドプレートの前記孔に挿通されていない前記プローブの少なくとも一部に、前記ヘッドプレートの前記孔の径よりも大きくなる大径部が形成されていて、該大径部が前記ヘッドプレートに係止されるようにしてもよい。
また、本発明に係る被検査物の電気的特性を測定するための測定装置は、各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備える、検査治具と、該検査治具の前記ベースプレートの前記電極に電気的に接続されて、前記被検査物の電気的特性を測定するための信号を制御及び処理する装置とを備えることを特徴とする。
本発明によると、検査用プローブの先端部を正確な位置に保持することにより、微小な検査点の所定の位置に正確にその検査用プローブの先端を当接させることができる。
本発明によると、検査用プローブの先端を検査用基板の検査点に正確に当接させた状態を保持することができる。
本発明によると、検査用プローブの先端を検査部に強く押し付ける際に、その先端が検査部からずれ動くことを防ぐことができる。
また、本発明によると、検査用プローブの先端を検査用基板の部分に当接させる際に、その検査用プローブの先端が折れ曲がったり湾曲したりする等の変形を防止することができる。
さらに、本発明によると、検査用プローブの先端を検査用基板の部分に当接させて検査を行った後に、その検査用プローブの先端に付着した酸化膜の破片やはんだ屑等のごみを容易に取り除いたり、それらが検査用プローブから外れやすくしたりすることができる。
図1は、本発明の一実施例に係る基板検査用の検査治具を簡略化して示す一部断面を含む正面図である。 図2Aは、図1の基板検査用の検査治具の一点鎖線20で示す部分を拡大した一部断面を含む正面図である。 図2Bは、図2Aに示す部分の一部を取り出した正面図である。 図2Cは、図2Aに示す部分の動きを説明するための一部断面を含む正面図である。 図3は、図1の基板検査用の検査治具の一点鎖線30で示す部分を拡大した一部断面を含む正面図である。 図4は、図3に示す部分の使用状態を説明するためにその図から一部を抜き出して簡略化して示す一部断面を含む正面図である。 図5は、本発明に係る基板検査用の検査治具の他の実施形態に関するもので、図2Aに示す部分の他の実施形態に係るものを示す一部断面を含む正面図である。 図6は、本発明に係る基板検査用の検査治具の支持棒の他の実施形態に関するもので、一部断面を含む正面図である。 図7は、本発明に係る基板検査用の検査治具のさらに他の実施形態に関するものを簡略化して示す一部断面を含む正面図である。
[検査治具の概要]
図1は、本発明の一実施形態に係る検査治具10の一部断面を示す側面概略図である。なお、全図において、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔、隙間等は、理解の容易のために、適宜、拡大・縮小・変形・簡略化等をしている。また、図の説明の際の上下・左右の表現は、その図に向かった状態での位置関係を表すものとする。
検査治具10は、ヘッドプレート11、ベースプレート14、基台15及び支持棒13を備える。ヘッドプレート11、ベースプレート14及び基台15は、樹脂材料等の絶縁材料からなる板状の部材である。支持棒13の後端部は、ベースプレート14を貫通して基台15に固定されている。支持棒13の先端部は、後述するように、ヘッドプレート11が支持棒13に沿って移動できるように、ヘッドプレート11に取り付けられている。また、支持棒13には、ばね部材12が環装されていて、ヘッドプレート11を支持棒13の軸線に沿って図1に向かって上方に付勢している。
ヘッドプレート11には、簡略化して説明すると、複数の貫通孔11hが形成されており、貫通孔11hにはプローブ17の先端部17aが挿入されていて、後述する通り、その先端部17aは、その貫通孔によって基板等の検査対象物の検査点へ案内される。ただし、先端部17aは、後述する通り、貫通孔11hからは突出しているが、ヘッドプレート11の上面から突出せずにそれから引っ込んだ位置に保持されていることが好ましい。
ヘッドプレート11は、例えば、図1に示すように3枚のプレート11a,11b,11cから構成されていて、それらのプレート11a,11b,11cは互いに固定されている。また、詳しくは後述の通り、それらのプレートには、貫通孔11hを構成する貫通孔11ah,11bh,11chが形成されている。
ベースプレート14及び基台15には、それぞれ、貫通孔14h,15hが形成されている。ベースプレート14の貫通孔14hにはプローブの後端部17bが挿入されており、基台15の貫通孔15hには電極15bが埋め込まれている。その電極15bにはプローブ17の後端部17bが電気的に接続される。また、電極15bにはライン16が接続されており、そのライン16は、基台15の中を通って配線されて、図示せぬ電気的特性等の検査のためのスキャナに電気的に接続される。なお、ここでは、ベースプレートと基台とを別々のものとして説明したが、ベースプレートに電極を設けて基台を省略してもよい。
プローブ17の直径は、例えば、約40から60μmであり、プローブ17としては、例えば、ステンレス鋼からなる弾性を有するピアノ線やタングステン(W)等を用いることができ、先端部及び後端部を除いて周面を絶縁被覆することが望ましい。
特に、図示しないが、絶縁被覆部が形成されるプローブ17の直径は、少なくともいずれかの貫通孔11ah、11bh、11chよりも大きくなるように形成されることが好ましい。このように形成されることにより、プローブ17が貫通孔に確実に係止されることになるからである。なお、図1で示される如く、プローブ17は湾曲して保持されることになるため、貫通孔11hの側壁とプローブ17が係止されて固定されることもできる。例えば、プローブ17のその部分に突出形状のものを形成したり、その部分の径を大きくしたり、その部分の絶縁被膜の厚さを厚くしたりするようにしてもよい。
上述の如く、プローブ17は、貫通孔11hに係止されて固定されることになるので、貫通孔11hからの突出量は、少なくとも係止時の突出量より多くなることはない。押圧力を一定に保つことができる。
基板検査時には、プローブ17は、ヘッドプレート11とベースプレート14との間の空間において湾曲することができ、それが直線状に戻ろうとする付勢力によって、プローブ17の先端部を所定の検査点(対象部)に適切な圧力で押し当てることができ、同時に、プローブの後端部を電極15bに適切な圧力で押し当てることができる。
図2Aは、図1において一点鎖線20で囲む位置を拡大した一部断面を含む正面図である。図2Bは、図2Aから支持棒13のみを取り出したものである。図2Cは、ヘッドプレート11が移動する際の状態を説明するための図である。
図2Bに明瞭に示すように、支持棒13の先端部分は、大円を上底とし小円を下底とするように配置された円錐台形状の第1位置確定部13aと、小円を上底とし大円を下底とするように配置された円錐台形状の第2位置確定部13cと、第1位置確定部13aと第2位置確定部13cとを連結する円柱状の案内部13bとからなる。
また、図2Aに示すように、ヘッドプレート11のプレート11aには、第1位置確定部13aの上底と下底との間の円錐面の形状に対応する形状の孔が形成されており、ヘッドプレート11のプレート11cには、第2位置確定部13cの上底と下底との間の円錐面の形状に対応する形状の孔が形成されている。このため、第1位置確定部13aが、プレート11aのその孔に嵌ると、プレート11aの位置が一定の位置に確定されることになり、また、図2Cに示すように、プレート11cが下降して、第2位置確定部13cがプレート11cの孔に嵌ると、プレート11cの位置が一定の位置に確定されることになる。それらの位置の確定によって、ヘッドプレート11に保持されているプローブ17の先端部17aが、それぞれの場合に、所定の位置に確実に保持されることになる。すなわち、プローブ17の先端部17aを正確に所定の位置に配置することができるようになる。
また、ヘッドプレート11のプレート11bには、案内部13bの外周面の形状に対応する円柱形状の孔が形成されていて、案内部13bがその孔内で軸線方向に移動することができる。なお、案内部13bの外周面と孔を形成する面との間の隙間が大きいと、案内部13bに沿ってプレート11bが移動する際に、そのプレートがその隙間の距離だけぶれることが起こり得る。そのぶれによって、ヘッドプレート11に保持されているプローブ17の先端部17aの位置が隙間の大きさに応じて大きくぶれることになるため、その隙間は小さいことが望ましい。
支持棒13の第1位置確定部13aとヘッドプレート11のそれに対応する相補的な形状の孔とによって、また、支持棒13の第2位置確定部13cとヘッドプレート11のそれに対応する相補的な形状の孔とによって、それぞれ、位置確定手段が構成される。
図2A及び図2Cに示すように、ヘッドプレート11のプレート11aの上面には、検査基板40の一部が載置される基板保持部11uが固定されており、図2Cに示すように、検査基板40の押し下げに伴いそれとともにヘッドプレート11が押し下げられている。それにより、プレート11cの孔に支持棒13の第2位置確定部13cが嵌り込み、プレート11cの位置が所定の位置に確定されている。また、ヘッドプレート11が押し下げられることによってばね部12が押し下げられて収縮するため、ばね部12はヘッドプレート11を押し戻す付勢力を有している。
すなわち、ヘッドプレート11は、図2Aの位置(第1の位置)と図2Cの位置(第2の位置)との間を往復移動することができる。その際、図2Aの位置では、プローブ17の先端部17aには、検査基板40の所定の検査点は接触していないか又は接触しているだけで押圧力が加わっていない状態にある。また、図2Cの位置では、ヘッドプレート11が最も押し下げられていて、プローブ17の先端部17aが、検査基板40の検査点の適切な位置に、最も適切な押圧力で押しつけられた状態にある。
図2Aに示すように、ヘッドプレート11に支持棒13を取り付ける方法としては、例えば、支持棒13の第1位置確定部13aを案内部13bとは別体に形成し、例えば、第1位置確定部13aに雄ねじを取り付け、案内部13bにそれと嵌合する雌ねじを形成し、第1位置確定部13aを取り付けない状態でヘッドプレート11の貫通孔11hに支持棒13を案内部13bを先端として挿入し、それから、第1位置確定部13aの雄ねじを案内部13bの雌ねじにねじ込んで第1位置確定部13aを案内部13bに固定するという方法を用いることができる。
図3は、図1の基板検査用の検査治具10の一点鎖線30で示す部分を拡大した一部断面を含む正面図である。図3に示すように、ヘッドプレート11のプレート11a,11b,11cには、それぞれ、貫通孔11ah,11bh,11chが形成されている。それらの孔は整列していて、それらに、プローブ17が挿通されている。それらの貫通孔の直径は、例えば、約40〜100μm内の任意の大きさでよい。
また、図3に示すように、プレート11a,11b,11cには、それぞれ、大径の予備孔22,23,24が形成されている。大径の予備孔22,23,24は、各プレートに厚みを持たせて一定の強度を確保する一方、貫通孔11ah,11bh,11chを形成しやすくするために形成されているものであるため、プレートの厚さによっては、必ずしも形成しなければならないというものではない。
ヘッドプレート11のプレート11aの上面には、凹部21が形成されている。プレート11aの孔に挿入されているプローブ17の先端部17aは、凹部21を形成する底面から突出するが、プレート11aの上面より下方に位置する。凹部21の深さは、例えば、約100〜200μmであり、後述の通り、その凹部に検査基板40の検査点のバンプ42(図4)が入り込むことができる。また、その凹部21の底面からプローブ17の先端部17aの先端面までの距離は、例えば、50〜100μmである。
図4(A)及び図4(B)は、ヘッドプレート11とプローブ17との関係を説明するために、図3に示す部分から一部を抜き出して示す一部断面を含む正面図である。
図4(A)では、検査基板40がヘッドプレート11のプレート11aに接近しているが、まだ、それに接していなく、検査治具10は、検査開始待ちの状態にある。また、その図に示すように、プレート11aの上面には凹部21が形成されており、プローブ17の先端部17aが、凹部21の底面から僅かな長さだけ上方に突出している。この状態では、ヘッドプレート11と支持棒13とは図2Aに示す位置関係にある。すなわち、プレート11aが確定した位置に保持されているため、プローブ17の先端部17aが所定の位置に正確に保持されている状態である。
また、図4(A)には示していないが、プローブ17のヘッドプレート11cの孔から下方に位置する部分に、その孔の径よりも大きな大径部が形成されている。
図4(B)では、検査基板40上の配線パターンのバンプ42にプローブ17の先端部17aが当接し、さらに、検査基板40の下降に伴い、ヘッドプレート11が距離Sだけ押し下げられている。その際には、図2Cに示すように、支持棒13の位置確定部13cが、プレート11cの円錐台形状の孔に嵌合する。
その場合、ヘッドプレート11とベースプレート14との間が距離Sだけ短くなるが、大径部がプローブ17のヘッドプレート11cの底面側に係止されるため、プローブ17は湾曲して、その距離Sの変化分を吸収することになる。一方、バンプ42にプローブ17の先端部17aが当接した後は、上記のように、大径部がヘッドプレート11cの底面側に係止されるため、プローブ17の先端部17aが凹部21の底面から突出する量に変化はない。このため、先端部17aが、バンプから押されて移動する際に、その先端部17aが、そのバンプの表面の所定の位置からずれたりすることを防ぐことができる。
図4(B)に示す状態では、次に、図示せぬスキャナ19から複数のプローブ17を経由して複数のバンプ42に検査用の信号を順次選択的に供給するとともに、それらのバンプ42から検査用の信号を受信することにより、複数のバンプ42の間の配線抵抗値を検出したり導通の有無を判断したりすることができる。
[他の実施形態]
図5は、図2Aから図2Cまでに示す部分の他の実施形態を示す。その図に示すように、支持棒13−1は、大円を上底とし小円を下底とするように配置された円錐台形状の位置確定部13a−1と円柱状の案内部13b−1とからなり、図2A等の支持棒13の円錐台形状の第2位置確定部13cに相当する構成は備えていない。
また、図5の実施形態では、ヘッドプレート11−1は互いに固定されたプレート11a−1,11b−1,11c−1からなる。ヘッドプレート11−1のプレート11a−1には、位置確定部13a−1の上底と下底との間の円錐面の形状に対応する形状の孔が形成されており、プレート11b−1及び11c−1には、案内部13b−1の外周面の形状に対応する形状の孔が形成されていて、案内部13b−1がその孔内で移動することができる。
図5の実施形態においても、図示していないが、図2Aの実施形態と同様に、支持棒13−1の周囲にばね部12を環装させて、通常、ヘッドプレート11−1を上方に向けて付勢するようにしている。
また、図5の実施形態においても、図2Aの実施形態と同様に、案内部13b−1の外周面とプレート11b−1及び11c−1の孔との間の隙間が大きいと、案内部13b−1に沿ってプレート11b−1及び11c−1が、移動する際にその隙間の大きさだけぶれることによって、ヘッドプレート11−1に保持されているプローブ17の先端部17aの位置が大きくぶれることになるため、その隙間は小さいことが望ましい。
図5において、実線で示す支持棒13−1の位置は、図2Aにおける支持棒13の位置に対応するもので、検査基板40の検査点の例えばバンプに、プローブ17の先端部17aが接触したが、まだ、その先端部はまだ押し下げられていない状態にある。この位置においては、図示していないばね部によって、ヘッドプレート11−1が押し上げられており、それにより、支持棒13−1の位置確定部13a−1が、プレート11a−1の孔に嵌り込むことによって、ヘッドプレート11−1の位置を一定の位置に確定することができる。それにより、プローブ17の先端部17aの位置も所定の位置に確定されることになる。
一方、破線で示す支持棒13−1の位置は、図2Cにおける支持棒13の位置に対応するもので、検査基板40の下面が基板保持部11u−1に当接するとともに、検査基板40上の配線パターンのバンプ42にプローブ17の先端部17aが当接した状態で、バンプ42及び検査基板40が、それぞれ、プローブ17の先端部17a及び基板保持部11u−1に押圧力を加えて、ヘッドプレート11−1を押し下げたものである。その結果、案内部13−bがプレート11b−1及び11c−1の孔に沿って移動している。
図6(A)は、本発明の他の実施例に係る支持棒13−2を示す一部断面を含む正面図である。支持棒13−2は、ヘッドプレート11に固定されるプランジャー61と、それと係合するストッパー部62と、円筒状の本体部63とを備える。図6(B)は、図6(A)からストッパー部62を抜き出して示す拡大図である。
ストッパー部62は、係止部62aと本体部62bとからなり、内部に、プランジャー61が移動自在となる貫通孔62inが形成されている。本体部62bの下端部に位置する貫通孔62inは傾斜面62cを有する。傾斜面62cの傾斜角度は、例えば、図6(B)に示すように、対向する位置にある傾斜面62cの延長線が約90度で交わるようにしてもよい。
ストッパー部62の係止部62aは、円筒状の本体部63の上端部に係止されており、また、円筒状の本体部63のしぼり部63pとストッパー部62のしぼり部62pとを、例えば、かしめているため、円筒状の本体部63がストッパー部62に固定されている。
プランジャー61は、連結部61aと傾斜部61bと案内部61cと突出部61とからなる。連結部61aは、ストッパー部62の貫通孔in内を移動できる大きさの外径を有し、内部に、ヘッドプレート11に例えばねじ止めするための内ねじ61inが形成されている。
プランジャー61の傾斜部61bは、ストッパー部62の貫通孔62inの傾斜面62cと係合する角度に形成されている。また、プランジャー61の案内部61cは、円筒状の本体部63の内部の貫通孔内を移動することができる。
本体部63の内部の貫通孔には、コイル状に形成されたばね部63sが配置されていて、その下端部は本体部63の突起部に係止されており、上端部はプランジャー61の案内部61cの底面に当接している。ばね部63sは、案内部61cを押し上げるように付勢力を発揮するもので、それにより、案内部61cが持ち上げられて、プランジャー61の傾斜部61bが、ストッパー部62の貫通孔62inの傾斜面62cと係合する。その係合により、プランジャー61の位置が確定されることになる。
図6の実施例によると、ヘッドプレート11にプランジャー61の上端部が例えばねじ止めされており、基板の検査前においては、ばね部63sの付勢力によって、プランジャー61の傾斜部61bがストッパー部62の貫通孔62inの傾斜面62cと係合している。それにより、プローブの先端の位置を所定の位置に保持することができる。
検査の際に、ヘッドプレートとともにプランジャー61が押し下げられると、案内部61cがばね部63sの付勢力に抗して押し下げられるため、傾斜部61bが傾斜面62cから離れる。
検査が終了すると、ヘッドプレートが元の位置に戻るため、ばね部63sの付勢力によって案内部61cが押し戻されて、傾斜部61bが傾斜面62cに係合する。それにより、再度、プローブの先端の位置を所定の位置に保持することができるようになる。
図7は、図1の検査治具10の他の実施形態に係る検査治具10−1である。検査治具10−1はさらに他の実施例に係る支持棒13−3を備える点で、検査治具10とは異なっている。
支持棒13−3は、本体部13−3dと、その中間部に配置された、その支持棒の軸線方向に沿って収縮自在な弾性部13−3rと、この弾性部13−3rが収縮する際に折れ曲がったりよじれたりすることを防ぐための軸心部13−3cとを備える。弾性部13−3rは、例えば、ゴム部材から構成されていて、軸線方向に沿って両側から押圧力が加わると収縮し、その押圧力から解放されると元の状態に復元できるものである。また、支持棒13−3の上端部は互いに固定されたプレート11a−2,11b−2,11c−2からなるヘッドプレート11−2に固定されている。
図7の実施形態によると、検査基板40を下降すると、検査基板40の下面がヘッドプレート11−2のプレート11a−2の上面に当接し、それとともに、検査基板40上の配線パターンのバンプ42にプローブ17の先端部17aが当接する。その際、支持棒13−3の上端部は互いに固定されたプレート11a−2,11b−2,11c−2からなるヘッドプレート11−2に固定されているため、プローブ17の先端部17aは、バンプ42の所定の位置に正確に当接することができる。
その状態で、検査基板40を下降させて、ヘッドプレート11−2を押し下げると、弾性部13−3rが軸心部13−3cに沿って収縮する。この場合、弾性部13−3rが収縮した分だけ、ヘッドプレート11−2とベースプレート14との間の距離が短くなるため、それを吸収するようにプローブ17は湾曲する。そのプローブの湾曲の戻ろうとする力によって、適正な圧力で、プローブ17の先端部17aをバンプに押しつけることができるとともに、プローブ17の後端部17bを電極15bに押しつけることもできる。
一方、検査基板40を上昇させると、弾性部13−3rの弾性力によってヘッドプレート11−2が元の位置に戻る。
上記の実施形態によると、検査点にプローブの先端部が接触する際には、支持棒13−3は所定の位置に保持されているため、ヘッドプレートにはぶれが生じず、プローブの先端部は、検査点の正確な位置に当接することができる。
また、その当接後も、軸心部13−3cに沿って検査点及びプローブは同時に移動するため、それらの間で横すべりが生じない。
また、上記の実施形態では、凹部21に1つのバンプ42が収容された構成を示したが、凹部21の大きさはそれに限定されるものではなく、いくつものバンプを収容できる大きさをもつことができる。
以上、本発明に係る基板検査用の検査治具のいくつかの実施形態について説明したが、本発明はそれらの実施形態に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれるものであり、また、本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められることを承知されたい。
10,10−1・・・基板検査用の検査治具
11,11−1,11−2・・・ヘッドプレート
11a,11b,11c・・・プレート
11a−1,11b−1,11c−1・・・プレート
11a−2,11b−2,11c−2・・・プレート
11ah,11bh,11ch・・・貫通孔
13,13−1,13−2,13−3・・・支持棒
14・・・ベースプレート
15・・・基台
17・・・プローブ
21・・・凹部
22,23,24・・・予備孔
13a,13c,13a−1・・・位置確定部
13b,13b−1・・・案内部
40・・・検査基板
42・・・バンプ
61・・・プランジャー
62・・・ストッパー部
63・・・円筒状の本体部

Claims (9)

  1. 被検査物の電気的特性を測定するための測定装置に用いられる基板検査用の検査治具であって、
    各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、
    該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、
    前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、
    前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備え
    前記位置確定手段は、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の上側位置確定部を有し、前記ヘッドプレートには、該上側位置確定部の形状に対応する、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の孔が形成され、前記第1の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、前記ヘッドプレートの孔と前記上側位置確定部が嵌り合うように構成されていることを特徴とする基板検査用の検査治具。
  2. 被検査物の電気的特性を測定するための測定装置に用いられる基板検査用の検査治具であって、
    各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、
    該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、
    前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、
    前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備え
    前記位置確定手段は、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の下側位置確定部を有し、前記ヘッドプレートには、該下側位置確定部の形状に対応する、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の孔が形成され、前記第2の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、前記ヘッドプレートの孔と前記下側位置確定部とが嵌り合うように構成されていることを特徴とする基板検査用の検査治具。
  3. 被検査物の電気的特性を測定するための測定装置に用いられる基板検査用の検査治具であって、
    各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、
    該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、
    前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、
    前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備え
    前記ヘッドプレートの前記孔に挿通されていない前記プローブの少なくとも一部に、前記ヘッドプレートの前記孔の径よりも大きくなる大径部が形成されていて、該大径部が前記ヘッドプレートに係止される基板検査用の検査治具。
  4. 請求項1又は3記載の基板検査用の検査治具において、
    前記位置確定手段は、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の下側位置確定部を有し、前記ヘッドプレートには、該下側位置確定部の形状に対応する、大円を下底とし小円を上底とする円錐台形状の孔が形成され、前記第2の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、前記ヘッドプレートの孔と前記下側位置確定部とが嵌り合うように構成されていることを特徴とする基板検査用の検査治具。
  5. 請求項2又は3記載の基板検査用の検査治具において、
    前記位置確定手段は、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の上側位置確定部を有し、前記ヘッドプレートには、該上側位置確定部の形状に対応する、大円を上底とし小円を下底とする円錐台形状の孔が形成され、前記第1の位置に前記ヘッドプレートが保持された時に、前記ヘッドプレートの孔と前記上側位置確定部とが嵌り合うように構成されていることを特徴とする基板検査用の検査治具。
  6. 請求項1から5のいずれか1項記載の基板検査用の検査治具において、前記支持棒にはばね部が環装され、該ばね部が前記ヘッドプレートを前記ベースプレートから離れる方向に付勢する、基板検査用の検査治具。
  7. 請求項1から6のいずれか1項記載の基板検査用の検査治具において、前記ヘッドプレートに凹部が形成されていて、前記プローブの前記先端部が、該凹部を形成する底面から僅かに突出している、基板検査用の検査治具。
  8. 請求項1、2、4〜7のいずれか1項記載の基板検査用の検査治具において、前記ヘッドプレートの前記孔に挿通されていない前記プローブの少なくとも一部に、前記ヘッドプレートの前記孔の径よりも大きくなる大径部が形成されていて、該大径部が前記ヘッドプレートに係止される、基板検査用の検査治具。
  9. 被検査物の電気的特性を測定するための測定装置であって、
    各々が、前記被検査物の所定の対象部に接触させるための先端部と、前記測定装置に電気的に接続される後端部とを有する複数のプローブと、該複数のプローブの前記先端部が挿通される孔を有するヘッドプレートと、前記複数のプローブの前記後端部を前記測定装置に電気的に接続するための電極を備えるベースプレートと、前記ヘッドプレートと前記ベースプレートとの間に設けられていて、前記ヘッドプレートを第1の位置から第2の位置まで軸線方向に沿って移動可能とし、少なくとも前記第1の位置において前記ヘッドプレートを所定の位置に保持する位置確定手段を備える支持棒とを備える、検査治具と、
    該検査治具の前記ベースプレートの前記電極に電気的に接続されて、前記被検査物の電気的特性を測定するための信号を制御及び処理する装置とを備え
    前記検査治具は請求項1〜8のいずれか1項記載の基板検査用の検査治具であることを特徴とする測定装置。
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