JP2008039639A - 接触式計測用プローブ - Google Patents

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Abstract

【課題】
被計測物を損傷することなく、被計測物と良好に接触できる接触式計測用プローブを提供する。
【解決手段】
プローブ5は上下駆動機構に取り付けられ、その先端が上方から電気回路に接触して電気計測器に信号を伝えるプローブにおいて、円錐の先端部3と棒状本体4とからなり、円錐の根元径が棒状本体4より細径である。
【選択図】 図2

Description

本発明は、プリント基板上の導通確認などをフライングテスタ等の駆動機構に連結した検査機器で計測を行うための接触式計測用プローブに関するものである。
電気機器に組み込まれるプリント基板、集積回路、液晶パネル等の電子部品は、電気機器に組み込まれる前に、プリントパターンや回路、素子等の導通確認、絶縁確認、動作確認のような電気的性能検査が行なわれる。中でも、フライングテスタ等の検査機器は、ロボットアームを用いているのでフィクスチャーレスであり、また4端子法を採用しているので高精度であることから広く用いられている。
性能検査の際、フライングテスタ等の検査機器を電子部品に接続するため、接触式計測用プローブが用いられる。このプローブを、検査ポイントへ接触させてから、導通確認等の所期の性能検査が行なわれる。
接触式計測用プローブは、X−Y−Z駆動機構に搭載される(図1参照)。X−Y−Z駆動機構は、X-Y平面駆動機構及び上下駆動機構からなる。X-Y平面駆動機構により、Z軸ユニット8に取付けられたプローブ5を平面方向に駆動させる。そして上下駆動機構により、プローブ5を降下させ、検査ポイント2に接触させる。こうして、被計測物であるプリント基板10を検査機器と導通させ、電気的性能検査を行う。
接触式計測用プローブとして、特許文献1に、先端部分が円錐形状のプローブピンが記載されている。しかし、この場合、図5(a)に示すように、プローブの先端の角度が鈍角であると、検査ポイント表面上ですべりを生じたり、検査ポイント表面を覆っているフラックスを突き破ることができず接触不良を起こしたりしやすい。一方、図5(b)に示すように、プローブの先端の角度が鋭角であると、検査ポイント表面に深く刺さるため、深い接触跡を残したり、さらには被計測物自体を突き破ったりすることがある。また、計測後にささった接触式計測用プローブが被計測物からプローブが抜けにくい場合がある。
また、特許文献2に、先端部分を球状に形成しているプローブピンが記載されている。しかし、この場合、図5(c)に示すように、先端部が球状であるため、検査ポイント表面上ですべりを生じたり、検査ポイント表面を覆っているフラックスやハンダを突き破ることができず接触不良を起こしたりしやすい。
特開2001−41979号公報 特開平10−38919号公報
本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、被計測物を損傷することなく、被計測物と良好に接触できる接触式計測用プローブを提供することを目的とする。
前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項1に記載された接触式計測用プローブは、上下駆動機構に取り付けられ、その先端が上方から電気回路に接触して電気計測器に信号を伝えるプローブにおいて、円錐の先端部と棒状本体とからなり、該円錐の根元径が棒状本体より細径であることを特徴とする。
請求項2に記載の接触式計測用プローブは、請求項1に記載されたもので、前記上下駆動機構がX-Y平面駆動機構に取り付けられていることを特徴とする。
請求項3に記載の接触式計測用プローブは、請求項1に記載されたもので、該円錐の根元が棒状本体の平面端に固設されていることを特徴とする。
請求項4に記載の接触式計測用プローブは、請求項1に記載されたもので、該円錐の根元が棒状本体の球面端に固設されていることを特徴とする。
本発明の接触式計測用プローブは、先端が円錐形状であるので、被計測物の検査ポイント表面上ですべりが起きにくく、しかも検査ポイント表面を覆っているフラックスを突き破ることができるため、接触性に優れている。また、接触式計測用プローブは最大でも円錐の先端部のみが検査ポイントにささる構造になっているので、該先端部の大きさを適宜変更することにより、ささりの限界を設定できる。これにより、被計測物自体の突き破りを防止することができる。さらに、ささった接触式計測用プローブが検査ポイントから離れる際の力を必要最小限に抑えることができる。また、軸に対して対称なので、位置決めをしやすく、検査ポイントに正確に接触できる。
本発明の接触式計測用プローブは、プリント基板、集積回路(IC)ソケット、液晶パネル、半導体のような各種電子部品について、導通確認、絶縁確認、動作確認、抵抗値測定のような性能検査をするのに、用いられる。
以下、本発明の実施例を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。
図1は、本発明を適用する接触式計測用プローブを搭載したフライングテスタで計測を行っている状態の要部を示す斜視図である。テスタのフライング部は、X軸ユニット6、Y軸ユニット7、Z軸ユニット8を有している。X軸ユニット6、Y軸ユニット7は、Z軸ユニット8に取付けられたプローブ5を平面方向(X−Y)に駆動する機構である。Z軸ユニット8はプローブ5を垂直(Z)に駆動する上下駆動機構である。Z軸ユニット8の下方であって、テスタの資料台(不図示)には計測すべき集積回路1が接着されたプリント基板10が乗せられる。したがって、プローブ5はZ軸ユニット8によりプリント基板10の検査ポイント2に接触、離脱できる。
図2は、本発明を適用する一実施例のプローブ5の要部である先端近傍部分を示す拡大側面図である。このプローブ5が図1のフライングテスタに搭載される。プローブ5の先端は、断面が円の円錐であり、錐角が30°である。円錐の先端部3の根元が、棒状本体4の球面端に固設された形状に加工されている。
フライングテスタで計測の際には、Z軸ユニット8によりプローブ5をプリント基板10から離しておき、X軸ユニット6及びY軸ユニット7を操作して、プリント基板10の上を平面方向に移動させる。そして、プローブ5を検査ポイント2上まで移動させたところで、Z軸ユニット8により下げ、プローブ5の先端をプリント基板10の検査ポイント2に接触させる。こうして、プリント基板10をプローブ5及び各ユニット内のリード線を介してテスタと導通させ、電気的性能検査を行う。
このとき、プローブ5は、図4に示すように、万一必要以上の力が加わった場合でも、最大で円錐の先端部3までしかささらない構造になっている。あらかじめ被計測物にあった大きさの円錐の先端部3を設定しておけば、被計測物自体の突き破りを防止することができる。
図3は、本発明を適用する別な実施例のプローブ5の要部である先端近傍部分を示す拡大側面図である。プローブ5の先端は、錐角が30°である円錐の先端部3の根元が、棒状本体4の平面端に固設された形状に加工されている。
本発明を適用する接触式計測用プローブを搭載したフライングテスタの要部の使用途中を示す斜視図である。
本発明を適用する接触式計測用プローブの先端近傍を示す部分図である。
本発明を適用する別な接触式計測用プローブの先端近傍を示す部分図である。
本発明を適用する接触式計測用プローブの使用途中を示す部分図である。
従来の接触式計測用プローブを示す図である。
符号の説明
1は集積回路、2は検査ポイント、3は円錐の先端部、4は棒状本体、5はプローブ、6はX軸ユニット、7はY軸ユニット、8はZ軸ユニット、10はプリント基板である。

Claims (4)

  1. 上下駆動機構に取り付けられ、その先端が上方から電気回路に接触して電気計測器に信号を伝えるプローブにおいて、円錐の先端部と棒状本体とからなり、該円錐の根元径が棒状本体より細径であることを特徴とする接触式計測用プローブ。
  2. 前記上下駆動機構がX-Y平面駆動機構に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の接触式計測用プローブ。
  3. 該円錐の根元が棒状本体の平面端に固設されていることを特徴とする請求項1に記載の接触式計測用プローブ。
  4. 該円錐の根元が棒状本体の球面端に固設されていることを特徴とする請求項1に記載の接触式計測用プローブ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108630222A (zh) * 2017-03-21 2018-10-09 株式会社东芝 信号处理系统、信号处理方法以及信号处理程序
JP2018179879A (ja) * 2017-04-19 2018-11-15 株式会社ティ・ディ・シー 半導体装置用のプローブ針

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01150861A (ja) * 1987-12-08 1989-06-13 Seiko Epson Corp コンタクトプロープ
JPH04330749A (ja) * 1991-02-07 1992-11-18 Nitto Denko Corp 半導体検査装置
JPH0541425A (ja) * 1990-11-30 1993-02-19 Tokyo Electron Yamanashi Kk プローブ針
JPH06148237A (ja) * 1992-11-07 1994-05-27 Mita Ind Co Ltd プリント配線検査用コンタクトピン
JPH09113536A (ja) * 1995-10-18 1997-05-02 Hioki Ee Corp 基板検査用プローブ
JPH10132851A (ja) * 1996-10-29 1998-05-22 Fujitsu Ltd プローブ針
JPH10221367A (ja) * 1997-01-31 1998-08-21 Sayama Precision Ind Co ボールグリッドアレイ用のプローブ
JP2005249693A (ja) * 2004-03-05 2005-09-15 Okutekku:Kk プローブ及びその製造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01150861A (ja) * 1987-12-08 1989-06-13 Seiko Epson Corp コンタクトプロープ
JPH0541425A (ja) * 1990-11-30 1993-02-19 Tokyo Electron Yamanashi Kk プローブ針
JPH04330749A (ja) * 1991-02-07 1992-11-18 Nitto Denko Corp 半導体検査装置
JPH06148237A (ja) * 1992-11-07 1994-05-27 Mita Ind Co Ltd プリント配線検査用コンタクトピン
JPH09113536A (ja) * 1995-10-18 1997-05-02 Hioki Ee Corp 基板検査用プローブ
JPH10132851A (ja) * 1996-10-29 1998-05-22 Fujitsu Ltd プローブ針
JPH10221367A (ja) * 1997-01-31 1998-08-21 Sayama Precision Ind Co ボールグリッドアレイ用のプローブ
JP2005249693A (ja) * 2004-03-05 2005-09-15 Okutekku:Kk プローブ及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108630222A (zh) * 2017-03-21 2018-10-09 株式会社东芝 信号处理系统、信号处理方法以及信号处理程序
CN108630222B (zh) * 2017-03-21 2021-10-08 株式会社东芝 信号处理系统以及信号处理方法
JP2018179879A (ja) * 2017-04-19 2018-11-15 株式会社ティ・ディ・シー 半導体装置用のプローブ針

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