KR20110053181A

KR20110053181A - 기판검사용의 검사치구

Info

Publication number: KR20110053181A
Application number: KR1020100105054A
Authority: KR
Inventors: 노리히로 오타; 다다카즈 미야타케
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2009-11-13
Filing date: 2010-10-27
Publication date: 2011-05-19
Also published as: JP2011106867A; JP5397619B2; TW201126184A; KR101157883B1; TWI412768B

Abstract

(과제)
검사용 프로브의 선단부를 정확한 위치에 지지함으로써 미소한 검사점의 소정의 위치에 정확하게 그 검사용 프로브의 선단을 접촉시킨다.
(해결수단)
검사치구는, 피검사물의 전기적 특성을 측정하기 위한 측정장치에 사용되고, 피검사물의 소정의 대상부에 접촉시키기 위한 선단부와, 측정장치에 전기적으로 접속되는 후단부를 각각 구비하는 복수의 프로브와, 복수의 프로브의 선단부가 삽입되는 구멍을 구비하는 헤드 플레이트와, 복수의 프로브의 후단부를 측정장치에 전기적으로 접속하기 위한 전극을 구비하는 베이스 플레이트와, 헤드 플레이트와 베이스 플레이트의 사이에 설치되어 있고 헤드 플레이트를 제1위치로부터 제2위치까지 축선방향을 따라 이동 가능하게 하고 적어도 제1위치에 있어서 헤드 플레이트를 소정의 위치에 지지하는 위치확정수단을 구비하는 지지막대를 구비한다.

Description

기판검사용의 검사치구{THE FIXTURE FOR CIRCUIT BOARD INSPECTION}

본 발명은, 피검사물의 검사대상부 상에 미리 설정되는 검사점(檢査點)과 검사장치(檢査裝置)를 전기적으로 접속하는 검사치구(檢査治具)에 관한 것이다.

검사치구는 검사장치로부터 전류 또는 전기신호를 접촉자(接觸子)나 프로브(probe)를 경유하여, 피검사물이 구비하는 검사대상부에 있어서의 소정의 검사위치에 공급함과 아울러, 검사대상부로부터 전기신호를 검출함으로써 검사대상부의 전기적 특성의 검출, 동작시험의 실시 등을 하기 위하여 이용된다.

피검사물로서는 예를 들면 프린트 배선기판(print 配線基板), 플렉시블 기판(flexible 基板), 세라믹 다층배선기판(ceramic 多層配線基板), 액정 디스플레이(液晶 display)나 플라즈마 디스플레이용(plasma display用)의 전극판(電極板) 및 반도체 패키지용의 패키지 기판(package 基板)이나 필름 캐리어(film carrier) 등 여러 가지의 기판이나, 반도체 웨이퍼나 반도체 칩이나 CSP(Chip size package) 등의 반도체 장치가 해당한다.

본 명세서에서는, 이들 상기의 피검사물을 총칭하여 「피검사물」이라고 하고, 피검사물에 형성되는 검사대상부를 「대상부」라고 부른다.

예를 들면 피검사물이 기판이고, 이것에 탑재되는 IC 등의 반도체 회로나 저항기 등의 전기·전자부품이 있는 경우에는, 기판에 형성된 대상부가 배선이나 전극이 된다. 이 경우에는 대상부의 배선이 이들에게 전기신호를 정확하게 전달할 수 있는 것을 보증하기 위하여, 전기·전자부품을 실장하기 전의 프린트 배선기판, 액정패널이나 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 배선 상의 소정 검사점 사이의 저항값 등의 전기적 특성을 측정하여, 그 배선의 양부(良否)를 판단하고 있다.

구체적으로는, 그 배선의 양부 판정은 각 검사점에 전류공급용 단자 및/또는 전압측정용 프로브의 선단을 접촉시키고, 그 프로브의 전류공급용 단자로부터 검사점으로 측정용 전류를 공급함과 아울러 검사점에 접촉시킨 프로브의 선단 사이의 배선에 발생한 전압을 측정하고, 이들 공급전류와 측정한 전압으로부터 소정의 검사점 사이에 있어서의 배선의 저항값을 산출함으로써 이루어지고 있다.

또한 기판검사장치를 사용하여 검사용 기판을 검사할 때에는, 치구이동수단(治具移動手段)을 이동시켜서 기판검사치구(基板檢査治具)의 검사용 프로브(접촉핀)를 검사용 기판의 접촉부분에 접촉시키고, 이것에 의하여 소정의 검사를 하고, 검사가 종료되면, 치구이동수단을 이동시켜서 검사치구를 검사용 기판으로부터 멀어지게 하는 제어가 이루어지고 있다.

일본국 공개특허공보 특개2008-197009

상기 특허문헌1에는, 지주(支柱)에 의하여 고정된 검사대상인 전자부품측의 지지판(支持板)과 검사기기측의 지지판을 구비하고, 검사기기측의 지지판에 단부(端部)가 고정되고, 전자부품측의 지지판에 검사 프로브의 헤드측이 삽입된 검사치구가 개시되어 있다.

이 검사용 프로브는, 스프링 성질을 구비하여 검사대상인 전자부품의 검사점을 검사용 프로브의 헤드의 선단면에 접촉시켜서 강하게 가압하여 압입하면, 스프링 성질에 의하여 휘어져서 복원될 수 있을 정도로 좌굴(buckling)된다.

최근에는 검사대상인 기판의 복잡화나 미세화가 진행되어 기판에 설정되는 검사점이 더 가늘게 또는 작게 형성되기 때문에, 검사용 프로브의 지름도 더 작게 형성되고 있다. 이 때문에 치구이동수단을 이동시켜서 검사치구의 검사용 프로브를 검사용 기판의 검사점에 접촉시킬 때에, 그 검사용 프로브의 선단이 어긋나도록 움직이거나, 흔들리도록 움직이거나, 진동하도록 움직이거나 하여 그 선단이 소정의 검사점에 정확하게 접촉되는 것이 어려운 경우가 있다.

특허문헌1에서는, 검사 프로브의 헤드가 전자부품측의 지지판으로 돌출되어 있어, 전자부품의 검사점을 검사 프로브의 헤드의 선단면에 접촉시켜서 강하게 가압하여, 그 헤드를 전자부품측의 지지판 내로 압입함으로써 검사 프로브를 스프링 성질에 의하여 휘어지도록 하고 있다.

이 때문에 검사 프로브는 헤드 플레이트에 형성되는 관통구멍을 관통하여 지지되어 있지만, 검사 프로브가 검사점에 가압되면 헤드 플레이트의 관통구멍으로부터 검사 프로브가 나오는 양(돌출량(突出量))에 변화가 생기기 때문에, 검사 프로브의 선단부가 검사점을 가압하는 힘이 변화하게 되어, 검사 프로브의 헤드의 선단면이 정확하게 전자부품의 검사점에 접촉되지 않는 경우가 있거나, 또한 전자부품이 검사 프로브의 헤드의 선단면을 밀어 내려서 전자부품측의 지지판에 접촉되기까지의 사이에, 그 헤드의 선단면이 검사점으로부터 어긋나도록 움직이거나 하는 경우가 있다. 또한 상기와 같은 동작에 의하여 검사 프로브가 헤드 플레이트의 관통구멍의 측벽과 슬라이딩(sliding) 하게 되어 검사 프로브 표면의 도금이 벗겨지거나, 표면에 상처가 나거나 하는 문제를 가지고 있었다.

여기에서 본 발명은, 검사용 프로브의 선단부가 어긋나도록 움직이지 않고 정확한 위치에 지지됨으로써, 미소한 검사점의 소정 위치에 정확하게 그 검사용 프로브의 선단을 접촉시키는 것을 가능하게 하는 기판검사용의 검사치구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명은, 검사용 프로브의 선단을 검사용 기판의 검사점에 정확하게 접촉시킨 상태를 지지할 수 있는 기판검사용의 검사치구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명은, 검사용 프로브의 선단을 검사부에 강하게 가압할 때에, 그 선단이 검사부로부터 어긋나도록 움직이지 않는 기판검사용의 검사치구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명은, 검사용 프로브의 선단을 검사용 기판의 부분에 접촉시킬 때에, 그 검사용 프로브의 선단이 절곡(折曲)되거나 만곡(彎曲)되거나 하는 등의 변형을 방지할 수 있는 기판검사용의 검사치구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

여기에서 본 발명에 관한 피검사물의 전기적 특성을 측정하기 위한 측정장치에 사용되는 검사치구(檢査治具)는, 상기 피검사물의 소정의 대상부에 접촉시키기 위한 선단부(先端部)와, 상기 측정장치에 전기적으로 접속되는 후단부(後端部)를 각각 구비하는 복수의 프로브(probe)와, 상기 복수의 프로브의 상기 선단부가 삽입되는 구멍을 구비하는 헤드 플레이트(head plate)와, 상기 복수의 프로브의 상기 후단부를 상기 측정장치에 전기적으로 접속하기 위한 전극(電極)을 구비하는 베이스 플레이트(base plate)와, 상기 헤드 플레이트와 상기 베이스 플레이트 사이에 설치되어 있어, 상기 헤드 플레이트를 제1위치로부터 제2위치까지 축선방향(軸線方向)을 따라 이동 가능하게 하고, 적어도 상기 제1위치에 있어서 상기 헤드 플레이트를 소정의 위치에 지지하는 위치확정수단(位置確定手段)을 구비하는 지지막대를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이 검사치구에 있어서, 상기 제1위치에 상기 헤드 플레이트가 지지되었을 때에, 상기 헤드 플레이트와 상기 지지막대가 결합하도록 상보적(相補的)인 형상을 가지도록 하여도 좋다.

이 검사치구에 있어서, 상기 제2위치에 상기 헤드 플레이트가 지지되었을 때에, 상기 헤드 플레이트와 상기 지지막대가 결합하도록 상보적인 형상을 가지도록 하여도 좋다.

이 검사치구에 있어서, 상기 상보적인 형상에 관하여, 상기 지지막대에는, 큰 원을 상측 밑바닥으로 하고 작은 원을 하측 밑바닥으로 하는 원뿔대 형상의 원뿔대가 형성되고, 상기 헤드 플레이트에는, 상기 원뿔대의 원추면의 형상에 대응하는, 큰 원을 상측 밑바닥으로 하고 작은 원을 하측 밑바닥으로 하는 원뿔대 형상의 구멍이 형성되도록 하여도 좋다.

이 검사치구에 있어서, 상기 상보적인 형상에 관하여, 상기 지지막대에는, 큰 원을 하측 밑바닥으로 하고 작은 원을 상측 밑바닥으로 하는 원뿔대 형상의 원뿔대가 형성되고, 상기 헤드 플레이트에는, 상기 원뿔대의 원추면의 형상에 대응하는, 큰 원을 하측 밑바닥으로 하고 작은 원을 상측 밑바닥으로 하는 원뿔대 형상의 구멍이 형성되도록 하여도 좋다.

이 검사치구에 있어서, 상기 지지막대에는 스프링부(spring部)가 고리 모양으로 장착되고, 상기 스프링부가 상기 헤드 플레이트를 상기 베이스 플레이트로부터 멀어지는 방향으로 가압하도록 하여도 좋다.

이 검사치구에 있어서, 상기 헤드 플레이트에 오목부가 형성되어 있고, 상기 프로브의 상기 선단부가, 상기 오목부를 형성하는 저면(底面)으로부터 돌출되어 있어도 좋다. 여기에서 「저면으로부터 돌출」이라는 것은 「저면으로부터 약간 돌출」이라는 것을 의미한다. '약간'에 대한 상한과 하한은 당업자의 수준에서 환경에 따라 적절하게 변경될 수 있는 설계사항에 속한다. 이하, 본 명세서에서 동일하다.

이 기판검사용의 검사치구에 있어서, 상기 헤드 플레이트의 상기 구멍에 삽입되어 있지 않은 상기 프로브의 적어도 일부에, 상기 헤드 플레이트의 상기 구멍의 지름보다 커지게 되는 대경부(大徑部)가 형성되어 있고, 상기 대경부가 상기 헤드 플레이트에 결합되도록 하여도 좋다.

또한 본 발명에 관한 피검사물의 전기적 특성을 측정하기 위한 측정장치는, 피검사물의 전기적 특성을 측정하기 위한 측정장치(測定裝置)로서, 상기 피검사물의 소정의 대상부에 접촉시키기 위한 선단부와, 상기 측정장치에 전기적으로 접속되는 후단부를 각각 구비하는 복수의 프로브와, 상기 복수의 프로브의 상기 선단부가 삽입되는 구멍을 구비하는 헤드 플레이트와, 상기 복수의 프로브의 상기 후단부를 상기 측정장치에 전기적으로 접속하기 위한 전극을 구비하는 베이스 플레이트와, 상기 헤드 플레이트와 상기 베이스 플레이트 사이에 설치되어 있고 상기 헤드 플레이트를 제1위치로부터 제2위치까지 축선방향을 따라 이동 가능하게 하고 적어도 상기 제1위치에 있어서 상기 헤드 플레이트를 소정의 위치에 지지하는 위치확정수단을 구비하는 지지막대를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사치구와, 상기 검사치구에 있어서 상기 베이스 플레이트의 상기 전극에 전기적으로 접속되어, 상기 피검사물의 전기적 특성을 측정하기 위한 신호를 제어 및 처리하는 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 검사용 프로브의 선단부를 정확한 위치에 지지함으로써 미소한 검사점의 소정 위치에 정확하게 그 검사용 프로브의 선단을 접촉시킬 수 있다.

본 발명에 의하면, 검사용 프로브의 선단을 검사용 기판의 검사점에 정확하게 접촉시킨 상태를 지지할 수 있다.

본 발명에 의하면, 검사용 프로브의 선단을 검사부에 강하게 가압할 때에 그 선단이 검사부로부터 어긋나도록 움직이는 것을 방지할 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 검사용 프로브의 선단을 검사용 기판의 부분에 접촉시킬 때에 그 검사용 프로브의 선단이 절곡되거나 만곡되거나 하는 등의 변형을 방지할 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 검사용 프로브의 선단을 검사용 기판의 부분에 접촉시켜서 검사를 한 후에, 그 검사용 프로브의 선단에 부착된 산화막(酸化膜)의 파편이나 솔더(solder) 부스러기 등의 쓰레기를 용이하게 제거하거나, 이들이 검사용 프로브로부터 빠지기 쉽게 하거나 할 수 있다.

도1은 본 발명의 한 실시예에 관한 기판검사용의 검사치구를 간략하게 하여 나타내는 것이고 일부에 단면을 포함하는 측면도이다.
도2(a)는 도1의 기판검사용의 검사치구에 있어서 일점쇄선(20)으로 나타나 있는 부분을 확대한 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다.
도2(b)는 도2(a)에 나타나 있는 부분에 있어서 일부를 추출한 정면도이다.
도2(c)는 도2(a)에 나타나 있는 부분의 움직임을 설명하기 위한 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다.
도3은 도1의 기판검사용의 검사치구에 있어서 일점쇄선(30)으로 나타나 있는 부분을 확대한 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다.
도4는 도3에 나타나 있는 부분의 사용상태를 설명하기 위하여 이 도면으로부터 일부를 추출하여 간략하게 한 것을 나타내는 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다.
도5는 본 발명에 관한 기판검사용의 검사치구의 다른 실시예에 관한 것으로서, 도2(a)에 나타나 있는 부분의 다른 실시예에 관한 것을 나타내는 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다.
도6은 본 발명에 관한 기판검사용의 검사치구의 지지막대의 다른 실시예에 관한 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다.
도7은 본 발명에 관한 기판검사용의 검사치구의 또 다른 실시예에 관한 것을 간략하게 하여 나타내는 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다.

[검사치구의 개요]

도1은 본 발명의 한 실시예에 관한 검사치구(10)에 있어서 일부에 단면을 포함하여 나타내는 측면개략도이다. 또 전체 도면에 있어서, 각 부재의 두께, 길이, 형상, 부재 상호간의 간격, 틈 등은 이해를 용이하게 하기 위하여 적당하게 확대·축소·변형·간략화 등을 하였다. 또한 도면을 설명할 때에 있어서 상하·좌우의 표현은, 그 도면을 향한 상태에서의 위치관계를 나타내는 것으로 한다.

검사치구(檢査治具)(10)는, 헤드 플레이트(head plate)(11), 베이스 플레이트(14)(base plate), 기대(基臺)(15) 및 지지막대(13)를 구비한다. 헤드 플레이트(11), 베이스 플레이트(14) 및 기대(15)는 수지재료(樹脂材料) 등의 절연재료(絶緣材料)로 이루어지는 판자 모양의 부재이다. 지지막대(13)의 후단부는 베이스 플레이트(14)를 관통하여 기대(15)에 고정되어 있다. 지지막대(13)의 선단부는, 후술하는 바와 같이 헤드 플레이트(11)가 지지막대(13)를 따라 이동할 수 있도록 헤드 플레이트(11)에 부착되어 있다. 또한 지지막대(13)에는 스프링 부재(spring 部材)(12)가 고리 모양으로 장착되어 있어, 헤드 플레이트(11)를 지지막대(13)의 축선(軸線)을 따라 도1에 있어서 상방으로 가압하고 있다.

헤드 플레이트(11)에는 간략하게 설명하면 복수의 관통구멍(11h)이 형성되어 있고, 관통구멍(11h)에는 프로브(probe)(17)의 선단부(先端部)(17a)가 삽입되어 있고, 후술하는 바와 같이 이 선단부(17a)는 이 관통구멍에 의하여 기판 등의 검사대상물의 검사점으로 안내된다. 다만 선단부(17a)는 후술하는 바와 같이 관통구멍(11h)으로부터는 돌출되어 있지만, 헤드 플레이트(11)의 상면으로부터 돌출되지 않고 그것으로부터 안쪽으로 들어간 위치에 지지되어 있는 것이 바람직하다.

헤드 플레이트(11)는 예를 들면 도1에 나타나 있는 바와 같이 3매의 플레이트(11a, 1lb, 11c)로 구성되어 있고, 이들 플레이트(11a, 1lb, 11c)는 서로 고정되어 있다. 또한 상세하게는 후술하는 바와 같이 이들 플레이트에는 관통구멍(11h)을 구성하는 관통구멍(11ah, 11bh, 11ch)이 형성되어 있다.

베이스 플레이트(14) 및 기대(15)에는 각각 관통구멍(14h, 15h)이 형성되어 있다. 베이스 플레이트(14)의 관통구멍(14h)에는 프로브의 후단부(後端部)(17b)가 삽입되어 있고, 기대(15)의 관통구멍(15h)에는 전극(電極)(15b)이 매립되어 있다. 이 전극(15b)에는 프로브(17)의 후단부(17b)가 전기적으로 접속된다. 또한 전극(15b)에는 라인(line)(16)이 접속되어 있고, 이 라인(16)은 기대(15) 내를 통하여 배선되어, 도면에 나타나 있지 않은 전기적 특성 등의 검사를 하기 위한 스캐너(scanner)에 전기적으로 접속된다. 또 여기에서는 베이스 플레이트와 기대를 별개의 것으로 하여 설명하였지만, 베이스 플레이트에 전극을 설치하고 기대를 생략하여도 좋다.

프로브(17)의 지름은 예를 들면 약 40에서 60㎛이고, 프로브(17)로서는 예를 들면 스테인레스강(stainless steel)으로 이루어지고 탄성을 구비하는 피아노선(piano wire)이나 텅스텐(W) 등을 사용할 수 있고, 선단부 및 후단부를 제외하고 둘레의 면을 절연피복(絶緣被覆)하는 것이 바람직하다.

특히 도면에는 나타내지 않았지만, 절연피복부가 형성되는 프로브(17)의 지름은 적어도 어느 하나의 관통구멍(11ah, 11bh, 11ch)보다 커지도록 형성하는 것이 바람직하다. 이렇게 형성함으로써 프로브(17)가 관통구멍에 확실하게 결합되기 때문이다. 또 도1에 나타나 있는 바와 같이 프로브(17)는 만곡(彎曲)되어 지지되는 것이기 때문에, 관통구멍(11h)의 측벽과 프로브(17)가 결합되어 고정될 수도 있다. 예를 들면 프로브(17)에 있어서 그 부분으로 돌출된 형상의 것을 형성하거나, 그 부분의 지름을 크게 하거나, 그 부분의 절연피막의 두께를 두껍게 하거나 하여도 좋다.

상기한 바와 같이 프로브(17)는 관통구멍(11h)에 결합되어 고정되기 때문에, 관통구멍(11h)으로부터의 돌출량은 적어도 결합할 때의 돌출량보다 많아지는 것은 아니다. 따라서 압력을 일정하게 유지할 수 있다.

기판을 검사할 때에는, 프로브(17)는 헤드 플레이트(11)와 베이스 플레이트(14) 사이의 공간에 있어서 만곡될 수 있고, 이것이 직선 모양으로 되돌아가려고 하는 탄성력에 의하여 프로브(17)의 선단부를 소정의 검사점(대상부)에 적절한 압력으로 가압할 수 있고, 동시에 프로브의 후단부를 전극(15b)에 적절한 압력으로 가압할 수 있다.

도2(a)는 도1에 있어서 일점쇄선(20)으로 둘러싸인 위치를 확대한 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다. 도2(b)는 도2(a)에서 지지막대(13)만을 추출하여 나타내는 도면이다. 도2(c)는 헤드 플레이트(11)가 이동할 때의 상태를 설명하기 위한 도면이다.

도2(b)에 명료하게 나타나 있는 바와 같이 지지막대(13)의 선단부분은, 큰 원을 상측 밑바닥으로 하고 작은 원을 하측 밑바닥이 되도록 배치한 원뿔대 형상의 제1위치확정부(第一位置確定部)(13a)와, 작은 원을 상측 밑바닥으로 하고 큰 원을 하측 밑바닥이 되도록 배치한 원뿔대 형상의 제2위치확정부(13c)와, 제1위치확정부(13a)와 제2위치확정부(13c)를 연결하는 원기둥 모양의 안내부(案內部)(13b)로 이루어진다.

또한 도2(a)에 나타나 있는 바와 같이 헤드 플레이트(11)의 플레이트(11a)에는, 제1위치확정부(13a)에 있어서 상측 밑바닥과 하측 밑바닥 사이의 원추면 형상에 대응하는 형상의 구멍이 형성되어 있고, 헤드 플레이트(11)의 플레이트(11c)에는, 제2위치확정부(13c)에 있어서 상측 밑바닥과 하측 밑바닥 사이의 원추면 형상에 대응하는 형상의 구멍이 형성되어 있다. 이 때문에 제1위치확정부(13a)가 플레이트(11a)의 그 구멍에 삽입되면, 플레이트(11a)의 위치가 일정한 위치로 확정되고, 또한 도2(c)에 나타나 있는 바와 같이 플레이트(11c)가 하강하여 제2위치확정부(13c)가 플레이트(11c)의 구멍에 삽입되면, 플레이트(11c)의 위치가 일정한 위치로 확정된다. 이들 위치의 확정에 의하여 헤드 플레이트(11)에 지지되어 있는 프로브(17)의 선단부(17a)가 각각의 경우에 있어서 소정의 위치에 확실하게 지지된다. 즉 프로브(17)의 선단부(17a)를 정확하게 소정의 위치에 배치할 수 있다.

또한 헤드 플레이트(11)의 플레이트(1lb)에는 안내부(13b)의 외주면 형상에 대응하는 원기둥 형상의 구멍이 형성되어 있어, 안내부(13b)가 그 구멍 내에서 축선방향으로 이동할 수 있다. 또 안내부(13b)의 외주면과 구멍을 형성하는 면 사이의 틈이 크면, 안내부(13b)를 따라 플레이트(1lb)가 이동할 때에 이 플레이트가 그 틈의 거리만큼 흔들림을 발생시킬 수 있다. 이 흔들림에 의하여 헤드 플레이트(11)에 지지되어 있는 프로브(17)의 선단부(17a)의 위치가 틈의 크기에 따라 크게 흔들리기 때문에, 그 틈은 작은 것이 바람직하다.

지지막대(13)의 제1위치확정부(13a)와 헤드 플레이트(11)에 있어서 이에 대응하는 상보적(相補的)인 형상의 구멍에 의하여, 또한 지지막대(13)의 제2위치확정부(13c)와 헤드 플레이트(11)에 있어서 이에 대응하는 상보적인 형상의 구멍에 의하여 각각 위치확정수단이 구성된다.

도2(a) 및 도2(c)에 나타나 있는 바와 같이 헤드 플레이트(11)에 있어서 플레이트(11a)의 상면에는, 검사기판(檢査基板)(40)의 일부가 재치(載置)되는 기판지지부(基板支持部)(11u)가 고정되어 있고, 도2(c)에 나타나 있는 바와 같이 검사기판(40)의 밀어 내리기에 따라 그것과 함께 헤드 플레이트(11)가 밀려서 내려가고 있다. 이에 따라 플레이트(11c)의 구멍에 지지막대(13)의 제2위치확정부(13c)가 삽입되어, 플레이트(11c)의 위치가 소정의 위치로 확정되어 있다. 또한 헤드 플레이트(11)를 밀어 내림으로써 스프링부(spring部)(12)가 밀려 내려가서 수축되기 때문에, 스프링부(12)는 헤드 플레이트(11)를 되돌리는 탄성력을 구비하고 있다.

즉 헤드 플레이트(11)는, 도2(a)의 위치(제1위치)와 도2(c)의 위치(제2위치) 사이를 왕복이동할 수 있다. 이 때에 도2(a)의 위치에서는, 프로브(17)의 선단부(17a)에는 검사기판(40)의 소정의 검사점은 접촉되어 있지 않거나 또는 접촉만 되어 있는 것으로 압력이 가해지지 않고 있는 상태에 있다. 또한 도2(c)의 위치에서는, 헤드 플레이트(11)가 가장 많이 밀려 내려가 있어, 프로브(17)의 선단부(17a)가 검사기판(40)에 있어서 검사점의 적절한 위치에 가장 적절한 압력으로 가압된 상태에 있다.

도2(a)에 나타나 있는 바와 같이 헤드 플레이트(11)에 지지막대(13)를 부착하는 방법으로서는, 예를 들면 지지막대(13)의 제1위치확정부(13a)를 안내부(13b)와는 별체(別體)로 형성하고, 제1위치확정부(13a)에 볼트를 부착하고, 안내부(13b)에 이것과 결합하는 너트를 형성하고, 제1위치확정부(13a)를 부착하지 않은 상태에서 헤드 플레이트(11)의 관통구멍(11h)에 지지막대(13)를 안내부(13b)를 선단으로 하여 삽입하고, 이것으로부터 제1위치확정부(13a)의 볼트를 안내부(13b)의 너트에 체결하여 제1위치확정부(13a)를 안내부(13b)에 고정하는 방법을 사용할 수 있다.

도3은 도1에 있어서 기판검사용의 검사치구(10)의 일점쇄선(30)으로 나타나 있는 부분을 확대한 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다. 도3에 나타나 있는 바와 같이 헤드 플레이트(11)의 플레이트(11a, 1lb, 11c)에는 각각 관통구멍(11ah, 11bh, 11ch)이 형성되어 있다. 이들 구멍은 정렬되어 있고, 이들에 프로브(17)가 삽입되어 있다. 이들 관통구멍의 지름은 예를 들면 약 40∼100㎛ 내의 임의 크기이더라도 좋다.

또한 도3에 나타나 있는 바와 같이 플레이트(11a, 1lb, 11c)에는 각각 큰 직경의 예비구멍(22, 23, 24)이 형성되어 있다. 큰 직경의 예비구멍(22, 23, 24)은 각 플레이트에 두께를 갖게 하여 일정한 강도를 확보하는 한편, 관통구멍(11ah, 11bh, 11ch)을 형성하기 쉽게 하기 위하여 형성되어 있는 것이기 때문에, 플레이트의 두께에 따라서는 반드시 형성하여야만 하는 것은 아니다.

헤드 플레이트(11)에 있어서 플레이트(11a)의 상면에는 오목부(21)가 형성되어 있다. 플레이트(11a)의 구멍에 삽입되어 있는 프로브(17)의 선단부(17a)는 오목부(21)를 형성하는 저면으로부터 돌출되지만, 플레이트(11a)의 상면보다 하방에 위치한다. 오목부(21)의 깊이는 예를 들면 약 100∼200㎛이고, 후술하는 바와 같이 이 오목부에 검사기판(40)의 검사점의 범프(bump)(42)(도4)가 삽입될 수 있다. 또한 이 오목부(21)의 저면으로부터 프로브(17)에 있어서 선단부(17a)의 선단면까지의 거리는 예를 들면 50∼100㎛이다.

도4(a) 및 도4(b)는 헤드 플레이트(11)와 프로브(17)의 관계를 설명하기 위하여 도3에 나타나 있는 부분으로부터 일부를 추출하여 나타내는 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다.

도4(a)에서는 검사기판(40)이 헤드 플레이트(11)의 플레이트(11a)에 접근하고 있지만, 아직 이것에 접촉되지 않아 검사치구(10)는 검사시작 대기의 상태에 있다. 또한 이 도면에 나타나 있는 바와 같이 플레이트(11a)의 상면에는 오목부(21)가 형성되어 있고, 프로브(17)의 선단부(17a)가 오목부(21)의 저면으로부터 약간의 길이만큼 상방으로 돌출되어 있다. 이 상태에서는, 헤드 플레이트(11)와 지지막대(13)는 도2(a)에 나타나 있는 위치관계에 있다. 즉 플레이트(11a)가 확정된 위치에 지지되어 있기 때문에, 프로브(17)의 선단부(17a)가 소정의 위치에 정확하게 지지되어 있는 상태이다.

또한 도4(a)에는 나타나 있지 않지만, 프로브(17)에 있어서 플레이트(11c)의 구멍으로부터 하방에 위치하는 부분에, 그 구멍의 지름보다 큰 대경부(大徑部)가 형성되어 있다.

도4(b)에서는, 검사기판(40) 상에 있어서 배선패턴(配線 pattern)의 범프(42)에 프로브(17)의 선단부(17a)가 접촉되고, 검사기판(40)의 하강에 따라 헤드 플레이트(11)가 거리(S)만큼 더 밀려 내려가 있다. 이 때에는 도2(c)에 나타나 있는 바와 같이 지지막대(13)의 위치확정부(13c)가 플레이트(11c)의 원뿔대 형상의 구멍에 결합된다.

이 경우에 헤드 플레이트(11)와 베이스 플레이트(14)의 사이가 거리(S)만큼 짧아지지만, 대경부가 헤드 플레이트(11)에 있어서 플레이트(11c)의 저면측에 결합되기 때문에, 프로브(17)는 만곡하게 되어 그 거리(S)의 변화분을 흡수한다. 한편 범프(42)에 프로브(17)의 선단부(17a)가 접촉된 후에는, 상기한 바와 같이 대경부가 플레이트(11c)의 저면측에 결합되기 때문에, 프로브(17)의 선단부(17a)가 오목부(21)의 저면으로부터 돌출되는 양에 변화는 없다. 이 때문에 선단부(17a)가 범프로부터 가압되어 이동할 때에, 이 선단부(17a)가 이 범프 표면의 소정 위치로부터 어긋나거나 하는 것을 방지할 수 있다.

도4(b)에 나타나 있는 상태에서는, 다음에 도면에 나타내지 않은 스캐너로부터 복수의 프로브(17)를 경유하여 복수의 범프(42)에 검사용의 신호를 순차적으로 선택적으로 공급함과 아울러, 이들 범프(42)로부터 검사용의 신호를 수신함으로써 복수의 범프(42) 사이의 배선저항값을 검출하거나 도통(導通)의 유무를 판단하거나 할 수 있다.

[다른 실시예]

도5는 도2(a)에서부터 도2(c)까지에 나타나 있는 부분의 다른 실시예를 나타낸다. 이 도면에 나타나 있는 바와 같이 지지막대(13-1)는 큰 원을 상측 밑바닥으로 하고 작은 원을 하측 밑바닥이 되도록 배치한 원뿔대 형상의 위치확정부(13a-1)와 원기둥 모양의 안내부(13b-1)로 이루어지고, 도2(a) 등의 지지막대(13)에 있어서 원뿔대 형상의 제2위치확정부(13c)에 상당하는 구성은 구비하지 않고 있다.

또한 도5의 실시예에서는 헤드 플레이트(11-1)는 서로 고정된 플레이트(11a-1, 1lb-1, 11c-1)로 이루어진다. 헤드 플레이트(11-1)의 플레이트(11a-1)에는 위치확정부(13a-1)에 있어서 상측 밑바닥과 하측 밑바닥 사이의 원추면 형상에 대응하는 형상의 구멍이 형성되어 있고, 플레이트(1lb-1) 및 플레이트(11c-1)에는 안내부(13b-1)에 있어서 외주면의 형상에 대응하는 형상의 구멍이 형성되고 있어, 안내부(13b-1)가 그 구멍 내에서 이동할 수 있다.

도5의 실시예에 있어서도 도면에 나타내지 않았지만, 도2(a)의 실시예와 마찬가지로 지지막대(13-1)의 둘레에 스프링부(12)를 고리 모양으로 장착시켜서, 보통의 경우에는 헤드 플레이트(11-1)를 상방을 향하여 가압하도록 되어 있다.

또한 도5의 실시예에 있어서도 도2(a)의 실시예와 마찬가지로 안내부(13b-1)의 외주면과 플레이트(1lb-1) 및 플레이트(11c-1)의 구멍 사이의 틈이 크면, 안내부(13b-1)를 따라 플레이트(1lb-1) 및 플레이트(11c-1)가 이동할 때에 그 틈의 크기만큼 흔들림으로써 헤드 플레이트(11-1)에 지지되어 있는 프로브(17)의 선단부(17a)의 위치가 크게 흔들리기 때문에, 그 틈은 작은 것이 바람직하다.

도5에 있어서, 실선으로 나타나 있는 지지막대(13-1)의 위치는 도2(a)에 있어서의 지지막대(13)의 위치에 대응하는 것으로, 검사기판(40)에 있어서 검사점의 예를 들면 범프에 프로브(17)의 선단부(17a)가 접촉되었지만, 그 선단부는 아직 밀려 내려가지 않은 상태에 있다. 이 위치에 있어서는, 도면에 나타나 있지 않은 스프링부에 의하여 헤드 플레이트(11-1)를 밀어 올릴 수 있고, 이에 따라 지지막대(13-1)의 위치확정부(13a-1)가 플레이트(11a-1)의 구멍에 삽입됨으로써 헤드 플레이트(11-1)의 위치를 일정한 위치로 확정할 수 있다. 이에 따라 프로브(17)의 선단부(17a)의 위치도 소정의 위치로 확정된다.

한편 파선으로 나타나 있는 지지막대(13-1)의 위치는 도2(c)에 있어서의 지지막대(13)의 위치에 대응하는 것으로, 검사기판(40)의 하면이 기판지지부(11u-1)에 접촉됨과 아울러, 검사기판(40) 상에 있어서 배선패턴의 범프(42)에 프로브(17)의 선단부(17a)가 접촉된 상태에서, 범프(42) 및 검사기판(40)이 각각 프로브(17)의 선단부(17a) 및 기판지지부(11u-1)에 압력을 가하여 헤드 플레이트(11-1)를 밀어 내린 것이다. 그 결과 안내부(13b-1)가 플레이트(1lb-1) 및 플레이트(11c-1)의 구멍을 따라 이동하고 있다.

도6(A)는 본 발명의 다른 실시예에 관한 지지막대(13-2)를 나타내는 것이고 일부에 단면을 포함하는 정면도이다. 지지막대(13-2)는, 헤드 플레이트(11)에 고정되는 플런저(plunger)(61)와, 이것과 결합하는 스토퍼부(stopper部)(62)와, 원통 모양의 본체부(本體部)(63)를 구비한다. 도6(b)는 도6(A)에서 스토퍼부(62)를 추출하여 나타내는 확대도이다.

스토퍼부(62)는 결합부(結合部)(62a)와 본체부(62b)로 이루어지고, 내부에 플런저(61)가 이동할 수 있는 관통구멍(62in)이 형성되어 있다. 본체부(62b)의 관통구멍(62in)은 그 하단부에 위치하는 경사면(傾斜面)(62c)을 구비한다. 경사면(62c)의 경사각도는, 예를 들면 도6(b)에 나타나 있는 바와 같이 대향(對向)하는 위치에 있는 경사면(62c)의 연장선이 약 90도로 교차하여도 좋다.

스토퍼부(62)의 결합부(62a)는 원통 모양의 본체부(63)의 상단부에 결합되어 있고 또한 원통 모양의 본체부(63)의 조임부(63p)와 스토퍼부(62)의 조임부(62p)를 예를 들면 코킹(caulking)하고 있기 때문에, 원통 모양의 본체부(63)가 스토퍼부(62)에 고정되어 있다.

플런저(61)는 연결부(連結部)(61a)와 경사부(傾斜部)(6lb)와 안내부(案內部)(61c)와 돌출부(61d)로 이루어진다. 연결부(61a)는 스토퍼부(62)의 관통구멍(62in) 내를 이동할 수 있는 크기의 외경을 구비하고, 헤드 플레이트(11)에 예를 들면 나사로 고정하기 위한 내측 나사(61in)가 연결부(61a)의 내부에 형성되어 있다.

플런저(61)의 경사부(6lb)는 스토퍼부(62)에 있어서 관통구멍(62in)의 경사면(62c)과 결합하는 각도로 형성되어 있다. 또한 플런저(61)의 안내부(61c)는 원통 모양의 본체부(63)의 내부의 관통구멍 내를 이동할 수 있다.

본체부(63)의 내부의 관통구멍에는 코일 모양으로 형성된 스프링부(63s)가 배치되어 있고, 그 하단부는 본체부(63)의 돌기부에 결합되어 있고, 상단부는 플런저(61)의 안내부(61c)의 저면에 접촉되어 있다. 스프링부(63s)는 안내부(61c)를 밀어 올리도록 탄성력을 발휘하는 것으로, 이에 따라 안내부(61c)를 들어올려서 플런저(61)의 경사부(6lb)가 스토퍼부(62)의 관통구멍(62in)의 경사면(62c)과 결합한다. 이 결합에 의하여 플런저(61)의 위치가 확정된다.

도6의 실시예에 의하면, 헤드 플레이트(11)에 플런저(61)의 상단부가 예를 들면 나사로 고정되어 있어 기판을 검사하기 전에 있어서는, 스프링부(63s)의 탄성력에 의하여 플런저(61)의 경사부(6lb)가 스토퍼부(62)의 관통구멍(62in)의 경사면(62c)과 결합되어 있다. 이에 따라 프로브의 선단 위치를 소정의 위치에 지지할 수 있다.

검사를 할 때에 헤드 플레이트와 함께 플런저(61)를 밀어 내리면, 안내부(61c)가 스프링부(63s)의 탄성력에 저항하여 밀려 내려가기 때문에, 경사부(6lb)가 경사면(62c)으로부터 떨어진다.

검사가 종료되면 헤드 플레이트가 원래의 위치로 되돌아가기 때문에, 스프링부(63s)의 탄성력에 의하여 안내부(61c)가 되돌려져서 경사부(6lb)가 경사면(62c)에 결합된다. 이에 따라 다시 프로브의 선단 위치를 소정의 위치에 지지할 수 있다.

도7은 도1에 있어서의 검사치구(10)의 다른 실시예에 관한 검사치구(10-1)이다. 검사치구(10-1)는 다른 실시예에 관한 지지막대(13-3)를 더 구비하는 점에서 검사치구(10)와는 다르게 되어 있다.

지지막대(13-3)는, 본체부(13-3d)와, 그 중간부에 배치되고 이 지지막대의 축선방향을 따라 수축 가능한 탄성부(彈性部)(13-3r)와, 이 탄성부(13-3r)가 수축될 때에 절곡(折曲)되거나 비틀어지거나 하는 것을 방지하기 위한 축심부(軸心部)(13-3c)를 구비한다. 탄성부(13-3r)는 예를 들면 고무 부재로 구성되어 있어, 축선방향을 따라 양측으로부터 압력이 가해지면 수축되고, 그 압력으로부터 해제되면 원래의 상태로 복원될 수 있다. 또한 지지막대(13-3)의 상단부는 서로 고정된 플레이트(11a-2, 1lb-2, 11c-2)로 이루어지는 헤드 플레이트(11-2)에 고정되어 있다.

도7의 실시예에 의하면, 검사기판(40)을 하강시키면 검사기판(40)의 하면이 헤드 플레이트(11-2)의 플레이트(11a-2)의 상면에 접촉되고, 이와 함께 검사기판(40) 상에 있어서 배선패턴의 범프(42)에 프로브(17)의 선단부(17a)가 접촉된다. 이 때에 지지막대(13-3)의 상단부는 서로 고정된 플레이트(11a-2, 1lb-2, 11c-2)로 이루어지는 헤드 플레이트(11-2)에 고정되어 있기 때문에, 프로브(17)의 선단부(17a)는 범프(42)의 소정 위치에 정확하게 접촉될 수 있다.

이 상태에서 검사기판(40)을 하강시켜서 헤드 플레이트(11-2)를 밀어 내리면, 탄성부(13-3r)가 축심부(13-3c)를 따라 수축된다. 이 경우에 탄성부(13-3r)가 수축된 만큼 헤드 플레이트(11-2)와 베이스 플레이트(14) 사이의 거리가 짧아지기 때문에, 이것을 흡수하도록 프로브(17)는 만곡된다. 이 프로브의 만곡에 의한 되돌아가려고 하는 힘에 의하여 적정한 압력으로 프로브(17)의 선단부(17a)를 범프에 가압할 수 있음과 아울러, 프로브(17)의 후단부(17b)를 전극(15b)에 가압할 수도 있다.

한편 검사기판(40)을 상승시키면, 탄성부(13-3r)의 탄성력에 의하여 헤드 플레이트(11-2)가 원래의 위치로 되돌아간다.

상기 실시예에 의하면, 검사점에 프로브의 선단부가 접촉될 때에는 지지막대(13-3)는 소정의 위치에 지지되어 있기 때문에, 헤드 플레이트에는 흔들림이 발생하지 않아 프로브의 선단부는 검사점의 정확한 위치에 접촉될 수 있다.

또한 이러한 접촉 후에도 축심부(13-3c)를 따라 검사점 및 프로브는 동시에 이동하기 때문에, 이들 사이에서 옆으로 미끄러짐이 발생하지 않는다.

또한 상기한 실시예에서는 오목부(21)에 1개의 범프(42)가 수용된 구성을 나타내었지만, 오목부(21)의 크기는 이것에 한정되는 것이 아니라 몇 개의 범프를 수용할 수 있는 크기를 가질 수 있다.

이상, 본 발명에 관한 기판검사용 검사치구의 몇 개의 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이들 실시예에 구속되는 것이 아니라 당업자가 용이하게 할 수 있는 추가, 삭제, 개변(modification) 등은 본 발명에 포함되는 것이며, 또한 본 발명의 기술적 범위는 첨부된 특허청구범위의 기재에 의하여 정해지는 것으로 한다.

10, 10-1 : 기판검사용의 검사치구
11, 11-1, 11-2 : 헤드 플레이트
11a, 1lb, 11c : 플레이트
11a-1, 1lb-1, 11c-1 : 플레이트
11a-2, 1lb-2, 11c-2 : 플레이트
11ah, 11bh, 11ch : 관통구멍
13, 13-1, 13-2, 13-3 : 지지막대
14 : 베이스 플레이트
15 : 기대
17 : 프로브
21 : 오목부
22, 23, 24 : 예비구멍
13a, 13c, 13a-1 : 위치확정부
13b, 13b-1 : 안내부
40 : 검사기판
42 : 범프
61 : 플런저
62 : 스토퍼부
63 : 원통 모양의 본체부

Claims

피검사물의 전기적 특성을 측정하기 위한 측정장치에 사용되는 검사치구(檢査治具)로서,
상기 피검사물의 소정의 대상부에 접촉시키기 위한 선단부(先端部)와, 상기 측정장치에 전기적으로 접속되는 후단부(後端部)를 각각 구비하는 복수의 프로브(probe)와,
상기 복수의 프로브의 상기 선단부가 삽입되는 구멍을 구비하는 헤드 플레이트(head plate)와,
상기 복수의 프로브의 상기 후단부를 상기 측정장치에 전기적으로 접속하기 위한 전극(電極)을 구비하는 베이스 플레이트(base plate)와,
상기 헤드 플레이트와 상기 베이스 플레이트 사이에 설치되어 있어, 상기 헤드 플레이트를 제1위치로부터 제2위치까지 축선방향(軸線方向)을 따라 이동 가능하게 하고, 적어도 상기 제1위치에 있어서 상기 헤드 플레이트를 소정의 위치에 지지하는 위치확정수단(位置確定手段)을 구비하는 지지막대를
구비하는 것을 특징으로 하는 검사치구.
제1항에 있어서,
상기 제1위치에 상기 헤드 플레이트가 지지되었을 때에, 상기 헤드 플레이트와 상기 지지막대가 결합하도록 상보적(相補的)인 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사치구.
제1항에 있어서,
상기 제2위치에 상기 헤드 플레이트가 지지되었을 때에, 상기 헤드 플레이트와 상기 지지막대가 결합하도록 상보적인 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사치구.
제2항에 있어서,
상기 상보적인 형상에 관하여, 상기 지지막대에는, 큰 원을 상측 밑바닥으로 하고 작은 원을 하측 밑바닥으로 하는 원뿔대 형상의 원뿔대가 형성되고, 상기 헤드 플레이트에는, 상기 원뿔대의 원추면의 형상에 대응하는, 큰 원을 상측 밑바닥으로 하고 작은 원을 하측 밑바닥으로 하는 원뿔대 형상의 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사치구.
제3항에 있어서,
상기 상보적인 형상에 관하여, 상기 지지막대에는, 큰 원을 하측 밑바닥으로 하고 작은 원을 상측 밑바닥으로 하는 원뿔대 형상의 원뿔대가 형성되고, 상기 헤드 플레이트에는, 상기 원뿔대의 원추면의 형상에 대응하는, 큰 원을 하측 밑바닥으로 하고 작은 원을 상측 밑바닥으로 하는 원뿔대 형상의 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사치구.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 지지막대에는 스프링부(spring部)가 고리 모양으로 장착되고, 상기 스프링부가 상기 헤드 플레이트를 상기 베이스 플레이트로부터 멀어지는 방향으로 가압하는 것을 특징으로 하는 검사치구.
제1항에 있어서,
상기 헤드 플레이트에 오목부가 형성되어 있고, 상기 프로브의 상기 선단부가, 상기 오목부를 형성하는 저면(底面)으로부터 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 검사치구.
제1항에 있어서,
상기 헤드 플레이트의 상기 구멍에 삽입되어 있지 않은 상기 프로브의 적어도 일부에, 상기 헤드 플레이트의 상기 구멍의 지름보다 커지게 되는 대경부(大徑部)가 형성되어 있고, 상기 대경부가 상기 헤드 플레이트에 결합되는 것을 특징으로 하는 검사치구.
피검사물의 전기적 특성을 측정하기 위한 측정장치(測定裝置)로서,
상기 피검사물의 소정의 대상부에 접촉시키기 위한 선단부와, 상기 측정장치에 전기적으로 접속되는 후단부를 각각 구비하는 복수의 프로브와, 상기 복수의 프로브의 상기 선단부가 삽입되는 구멍을 구비하는 헤드 플레이트와, 상기 복수의 프로브의 상기 후단부를 상기 측정장치에 전기적으로 접속하기 위한 전극을 구비하는 베이스 플레이트와, 상기 헤드 플레이트와 상기 베이스 플레이트 사이에 설치되어 있고 상기 헤드 플레이트를 제1위치로부터 제2위치까지 축선방향을 따라 이동 가능하게 하고 적어도 상기 제1위치에 있어서 상기 헤드 플레이트를 소정의 위치에 지지하는 위치확정수단을 구비하는 지지막대를 구비하는 검사치구와,
상기 검사치구에 있어서 상기 베이스 플레이트의 상기 전극에 전기적으로 접속되어, 상기 피검사물의 전기적 특성을 측정하기 위한 신호를 제어 및 처리하는 장치를
구비하는 것을 특징으로 하는 측정장치.