JP5101060B2 - プローブカードの平行度調整機構 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るプローブカードの平行度調整機構の構成を示す断面図である。同図においては、導電性材料からなる複数のプローブ1を収容するプローブカード101と、プローブカード101が取り付けられ、検査対象であるウェハ31の電気特性検査を行うプローバ201の要部とを示している。
図4は、本発明の実施の形態2に係るプローブカードの平行度調整機構の構成を示す図である。プローブカード102は、配線基板2を補強する補強部材11の中心部に孔部111が設けられている。上記以外のプローブカード102の構成は、プローブカード101の構成と同じである。
図5は、本発明の実施の形態3に係るプローブカードの平行度調整機構の構成を示す図である。プローブカード103は、配線が設けられた配線基板12と、配線基板12を補強する補強部材13と、を備える。また、プローブカード103は、上記実施の形態1で説明したプローブカード101が具備するのとそれぞれ同じ構成を有するインターポーザ4、スペーストランスフォーマ5、プローブヘッド6、保持部材7、およびリーフスプリング8を具備している。
図7は、本発明の実施の形態4に係るプローブカードの平行度調整機構を構成を示す図である。プローブカード104は、配線が設けられた配線基板14と、配線基板14を補強する補強部材15と、を備える。配線基板14の周縁部付近には、板厚方向に貫通する複数の孔部141が形成されている。また、補強部材15の周縁部付近には、取り付け時に配線基板14の孔部141と同軸的に連通する孔部151が形成されている。孔部141および151の内周面にはねじ山(図示せず)が形成されており、プローブカード104の平行度を調整する調整ねじ26が補強部材15の上面側から取り付けられている。なお、ここで説明した以外のプローブカード104の構成は、上記実施の形態1で説明したプローブカード101の構成と同様である。
図8は、本発明の実施の形態5に係るプローブカードの平行度調整機構の構成を示す図である。プローブカード105は、配線が設けられた配線基板16と、配線基板16を補強する補強部材17と、を備える。配線基板16の周縁部付近には、板厚方向に貫通する複数の孔部161が形成されている。また、補強部材17の周縁部付近には、取り付け時に配線基板16の孔部161と同軸的に連通する孔部171が形成され、その内側面には、後述する締結ねじ27を取り付け可能なねじ山が設けられている(図示せず)。これらの孔部161および171は、取り付け基準面S2上の同一円周上の中心対称な位置に形成されている。なお、ここで説明した以外のプローブカード105の構成は、上記実施の形態1で説明したプローブカード101の構成と同様である。
ここまで、本発明を実施するための最良の形態として、実施の形態1〜5を詳述してきたが、本発明はそれらの実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、実施の形態4でプローブカードホルダ303に形成したくぼみ332と同様のくぼみを、他の実施の形態における調整ねじの先端に当接する位置に形成してもよい。
2、12、14、16 配線基板
3、11、13、15、17 補強部材
4 インターポーザ
5 スペーストランスフォーマ
6 プローブヘッド
7 保持部材
8 リーフスプリング
9 オスコネクタ
21、23、27 締結ねじ
22、24、25、26 調整ねじ
31 ウェハ
51 接続端子
61、62 ポスト部材
101、102、103、104、105 プローブカード
111、121、141、151、161、171、212、213、232、322、411、421、422 孔部
201、202、203、204、205 プローバ
211、231 フレーム部材
211a、231a 外周部
211b、231b 中央部
211c 連結部
221 支持部材
301、302、303、304 プローブカードホルダ
301a、302a、303a、304a 主板部
311、321、331、341 中空部
332 くぼみ
401、402 ドッキング部材
501 端子座
611、621 凹部
701 ウェハチャック
S1、S2 取り付け基準面
Claims (7)
- 検査対象であるウェハと検査用の信号を生成する回路構造との間を電気的に接続する複数のプローブを保持するプローブカードと、前記プローブカードを取り付けるプローバとを有し、前記プローブカードの前記ウェハに対する平行度を調整するプローブカードの平行度調整機構であって、
前記プローバは、
下方に位置する表面を前記プローブカードの前記プローバへの取り付け基準面とするフレーム部材と、
前記フレーム部材と前記プローブカードとの間に介在し、前記フレーム部材および前記プローブカードのいずれか一方に締結され、前記フレーム部材および前記プローブカードの他方の表面と密着する表面を有するドッキング部材と、を含み、
前記取り付け基準面に対して前記プローブカードの傾斜度を変更する傾斜度変更手段を備えたことを特徴とするプローブカードの平行度調整機構。 - 前記ドッキング部材は、前記フレーム部材に締結され、
前記傾斜度変更手段は、
前記ドッキング部材を前記フレーム部材に対して移動させることを特徴とする請求項1記載のプローブカードの平行度調整機構。 - 前記傾斜度変更手段は、
前記取り付け基準面の円周上に配置され、前記取り付け基準面と直交する方向に進退自在となるように前記フレーム部材に取り付けられ、先端が前記ドッキング部材の表面に当接可能な少なくとも3本の調整ねじを含むことを特徴とする請求項2記載のプローブカードの平行度調整機構。 - 前記ドッキング部材の前記調整ねじの先端が当接する位置に芯出し用のくぼみを設けたことを特徴とする請求項3記載のプローブカードの平行度調整機構。
- 前記ドッキング部材は、前記プローブカードに締結され、
前記傾斜度変更手段は、
前記プローブカードを前記ドッキング部材に対して移動させることを特徴とする請求項1記載のプローブカードの平行度調整機構。 - 前記傾斜度変更手段は、
前記取り付け基準面の円周上に配置され、前記取り付け基準面と直交する方向に進退自在となるように前記ドッキング部材に取り付けられ、先端が前記プローブカードの表面に当接可能な少なくとも3本の調整ねじを含むことを特徴とする請求項5記載のプローブカードの平行度調整機構。 - 前記プローブカードの前記調整ねじの先端が当接する位置に芯出し用のくぼみを設けたことを特徴とする請求項6記載のプローブカードの平行度調整機構。
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