JP6881354B2 - 検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

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Description

本開示は、検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。
カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極あるいは実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。
このような検査を行う治具としては、例えば、特許文献１に記載された電子部品用ソケットがある。この電子部品用ソケットは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトを有する電極部と、この電極を内部に収容するソケット本体とを備えている。前記電子部品用ソケットでは、電極部が一対のコンタクトを結んだ配列方向に沿って伸縮することにより、各コンタクトがこの配列方向に沿って往復移動して電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してその配列方向で接触するように構成されている。
特開２００２−１３４２０２号公報
近年、検査装置および検査対象物の多様化に伴って、各コンタクトが同一方向に沿って検査対象物に対して接近し、その接近方向で接触する、いわゆる直線型の前記電子部品用ソケットでは対応することが困難な場合が増えている。
例えば、ディスプレイモジュールの検査は、ディスプレイパネル上に電極部が配置された状態で行われる場合がある。このような検査に前記電子部品用ソケットを用いると、一方のコンタクトがディスプレイパネル上の電極部に接近方向で接触し、他方のコンタクトが検査装置に接触するが、ディスプレイパネルが有機ＥＬのような強度の弱い材料で構成されていると、前記プローブピンが接近方向で接触したときにディスプレイに過度な力が作用してしまい、ディスプレイパネルが割れてしまう可能性がある。
本開示は、接触子の接点部を検査対象物に対する接近方向とは異なる方向で接触させることが可能な検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置を提供することを目的とする。
本開示の一例の検査ユニットは、
検査対象物に接触可能な第１接点部と検査装置に接触可能な第２接点部が両端部にそれぞれ設けられた接触子と、
前記第１接点部が外部に露出した状態で前記接触子を内部に収容するハウジングと
をそれぞれ有し、第１方向に沿って並んで配置された第１検査治具および第２検査治具を備え、
前記第１検査治具および前記第２検査治具の少なくとも一方が、前記第１方向に沿って移動可能に配置され、
前記第１方向に交差する第２方向から前記第１接点部の各々に前記検査対象物を相対的に接近させた状態で、前記第１検査治具および前記第２検査治具の少なくとも一方を前記第１方向に沿って移動させることで、前記第１接点部の各々が、前記第１方向において前記検査対象物に接触する。
また、本開示の一例の検査装置は、
前記検査ユニットを少なくとも１つ備えた。
前記検査ユニットによれば、第１検査治具および第２検査治具の少なくとも一方が、第１方向に沿って移動可能に配置され、第２方向から第１接点部の各々に検査対象物を接近させた状態で、第１検査治具および第２検査治具のいずれかを第１方向に沿って移動させることで、第１接点部の各々が第１方向において検査対象物に接触する。これにより、接触子の第１接点部を検査対象物に対する第２方向（すなわち、接近方向）とは異なる第１方向で接触可能な検査ユニットを実現できる。
また、前記検査装置によれば、前記検査ユニットにより、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査装置を実現できる。
本開示の一実施形態の検査ユニットを示す斜視図。 図１のII-II線に沿った断面図。 図１の検査ユニットに基板対基板コネクタを接触させるときの動作を説明するための第１の模式図。 図１の検査ユニットに基板対基板コネクタを接触させるときの動作を説明するための第２の模式図。 図１の検査ユニットに基板対基板コネクタを接触させるときの動作を説明するための第３の模式図。 図１の検査ユニットに基板対基板コネクタを接触させるときの動作を説明するための第４の模式図。 図１の検査ユニットの第１の変形例を示す断面図。 図１の検査ユニットの第２の変形例を示す斜視図。 図８のIX-IX線に沿った断面図。 図１の検査ユニットの第３の変形例を示す斜視図。 図１０のXI-XI線に沿った断面図。
以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
本開示の一実施形態の検査ユニット１は、図１に示すように、第１検査治具２および第２検査治具３を備え、図２に示すように、第１方向Ｘに沿って隙間４を空けて並んで配置されている。
第１検査治具２および第２検査治具３の各々は、図２に示すように、導電性の接触子１０と、この接触子１０を内部に収容する絶縁性のハウジング２０とを有している。この検査ユニット１では、一例として、図１に示すように、第１検査治具２および第２検査治具３の各々が、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙに延びる棒状の接触子１０を複数有している。各検査治具２、３の接触子１０は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに直交する第３方向Ｚに沿って等間隔で一列に配置されている。
各接触子１０は、図２に示すように、その延在方向の両端部にそれぞれ設けられた第１接点部１１および第２接点部１２を有している。第１接点部１１は、検査対象物（例えば、ディスプレイパネル上に配置された基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１）に接触可能に構成され、第２接点部１２は、検査装置の基板１００の表面に設けられた端子１０１に接触可能に構成されている。
なお、この実施形態では、検査装置の基板１００および基板対基板コネクタ１１０は、基板１００の端子１０１が基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１にＹ方向で対向するように配置されている。また、図示していないが、ディスプレイパネルは、基板対基板コネクタ１１０に対して検査装置の基板１００の第２方向Ｙにおける反対側に配置されている。すなわち、ディスプレイパネルと検査装置の基板１００との間に、基板対基板コネクタ１１０が位置している。
各ハウジング２０は、図２に示すように、その内部に接触子１０を収容可能な複数の収容部２１を有している。各収容部２１の第２方向Ｙの両端部には、それぞれ開口部２２、２３が設けられている。各接触子１０は、その両端部が開口部２２、２３からハウジング２０の外部に突出して、各接点部１１、１２がハウジング２０の外部に露出した状態で、各収容部２１に収容されている。すなわち、前記検査ユニット１では、第１接点部１１に加えて第２接点部１２もハウジング２０の外部に露出している。
また、検査ユニット１は、図２に示すように、第１検査治具２および第２検査治具３の間の隙間４に配置され、第１検査治具２のハウジング２０および第２検査治具３のハウジング２０に接続された可動部３０を備えている。この可動部３０は、第１方向Ｘに伸縮する弾性部材（例えば、コイルばね）を有し、第１検査治具２および第２検査治具３の各々を第１方向Ｘに独立して進退移動させることができるように構成されている。
なお、この実施形態では、各検査治具２、３の移動に伴って、各検査治具２、３の接触子１０の第２接点部１２が接触した端子１０１を有する基板１００もそれぞれ第１方向Ｘに独立して進退移動する。
さらに、検査ユニット１は、図２に示すように、第１方向Ｘにおいて、第１検査治具２および第２検査治具３と並んで配置された第１移動規制部４１および第２移動規制部４２を備えている。第１移動規制部４１および第２移動規制部４２の各々は、一例として、絶縁性の剛体で構成されている。
第１移動規制部４１は、第１方向Ｘにおいて、第１検査治具２に対する第２検査治具３の反対側に隙間５を空けて配置され、第２移動規制部４２は、第２検査治具３に対する第１検査治具２の反対側に隙間６を空けて配置されている。すなわち、第１移動規制部４１と第２検査治具３との間に第１検査治具２が配置され、第２移動規制部４２と第１検査治具２との間に第２検査治具３が配置されている。
図２に示すように、第１移動規制部４１は、第１検査治具２の第１方向Ｘでかつ第２検査治具３から離れる方向（すなわち、図２の左向き）への移動を規制する。また、第２移動規制部４２は、第２検査治具３の第１方向Ｘでかつ第１検査治具２から離れる方向（すなわち、図２の右向き）への移動を規制する。
なお、前記検査ユニット１では、第１移動規制部４１および第２移動規制部４２は、一例として、検査装置の基板１００に固定されている。
続いて、図３〜図６を参照して、前記検査ユニット１の各第１接点部１１を検査対象物（例えば、基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１）に接続させるときの動作について説明する。なお、基板対基板コネクタ１１０は、第２方向Ｙに開口する２つの凹部１１２を有し、この凹部１１２の第１方向Ｘにおける外側面に電極部１１１がそれぞれ設けられている。
まず、図３に示すように、第１検査治具２および第２検査治具３に対して、第１方向Ｘでかつ相互に接近させる方向の外力を加え、各検査治具２、３を可動部３０の弾性力に抗して矢印Ａ方向にそれぞれ移動させて、各検査治具２、３の接触子１０の第１接点部１１を基板対基板コネクタ１１０の２つの凹部１１２に対向させる。
そして、図４に示すように、基板対基板コネクタ１１０を第２方向Ｙでかつ検査ユニット１に接近する方向（すなわち、図４の矢印Ｂ方向）に移動させて、図５に示すように、各検査治具２、３の接触子１０の第１接点部１１が、基板対基板コネクタ１１０の凹部１１２の内部でかつ凹部１１２の底面１１３に接触しない挿入位置に位置させる。
このとき、第１接点部１１が凹部１１２の第１方向Ｘに対向する一対の側面の一方に接触しながら凹部１１２内の挿入位置まで移動するように、基板対基板コネクタ１１０を検査ユニット１に相対的に接近させてもよいし、第１接点部１１が凹部１１２の第１方向Ｘに対向する一対の側面の一方に接触せずに凹部１１２内の挿入位置まで移動するように、基板対基板コネクタ１１０を検査ユニット１に相対的に接近させてもよい。
各検査治具２、３の接触子１０の第１接点部１１が挿入位置まで移動すると、各検査治具２、３に加えていた外力を解放して、各検査治具２、３を可動部３０の弾性部材の復帰力により第１方向Ｘでかつ相互に離れる方向（すなわち、図５の矢印Ｃ方向）にそれぞれ移動させる。これにより、図６に示すように、各検査治具２、３の接触子１０の第１接点部１１が、基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に接触する接触位置まで移動して、検査ユニット１と基板対基板コネクタ１１０とが電気的に接続される。
前記検査ユニット１では、第１検査治具２および第２検査治具３が第１方向Ｘに沿ってそれぞれ移動可能に並んで配置され、第２方向Ｙから第１接点部１１の各々に基板対基板コネクタ１１０を接近させた状態で、第１検査治具２および第２検査治具３を第１方向Ｘに沿って移動させることで、第１接点部１１の各々が、第１方向Ｘにおいて基板対基板コネクタ１１０に接触する。これにより、接触子１０の第１接点部１１を基板対基板コネクタ１１０に対する第２方向Ｙ（すなわち、接近方向）とは異なる第１方向Ｘで接触させることができるので、基板対基板コネクタ１１０を介してディスプレイパネルに対して接近方向に過度な力が作用することなく、ディスプレイパネルの破損を防止可能な検査ユニット１を実現できる。
また、前記検査ユニット１が、第１検査治具２および第２検査治具３を第１方向Ｘに移動させる可動部３０をさらに備えている。この可動部３０により、第１検査治具２および第２検査治具３を第１方向Ｘに容易に移動させることができる。
また、可動部３０が、第１検査治具２のハウジング２０および第２検査治具３のハウジング２０に接続され、第１方向Ｘに伸縮する弾性部材を有している。これにより、第１方向Ｘにおいて、各検査治具２、３の接触子１０の第１接点部１１を基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に押圧することができるので、第１接点部１１と基板対基板コネクタ１１０との間の接触信頼性を高めることができる。
また、前記検査ユニット１が、第１方向Ｘにおいて、第１検査治具２および第２検査治具３と並んで配置された第１移動規制部４１をさらに備え、第１移動規制部４１と第２検査治具３との間に第１検査治具２が配置され、第１移動規制部４１によって第１検査治具２の第１方向Ｘでかつ第２検査治具３から離れる方向への移動が規制される。例えば、第１検査治具２が第１方向Ｘでかつ第２検査治具３から離れる方向に移動したときに、第１検査治具２の接触子１０の第１接点部１１に過剰な力が加えられて第１検査治具２の接触子１０が破損するのを、第１移動規制部４１により防止できる。
また、前記検査ユニット１が、第１方向Ｘにおいて、第１移動規制部４１、第１検査治具２および第２検査治具３と並んで配置された第２移動規制部４２をさらに備え、第２移動規制部４２と第１検査治具２との間に第２検査治具３が配置され、第２移動規制部４２によって第２検査治具３の第１方向Ｘでかつ第１検査治具２から離れる方向への移動が規制される。例えば、第２検査治具３が第１方向Ｘでかつ第１検査治具２から離れる方向に移動したときに、第２検査治具３の接触子１０の第１接点部１１に過剰な力が加えられて第２検査治具３の接触子１０が破損するのを、第２移動規制部４２により防止できる。
なお、各移動規制部材４１、４２と各検査治具２、３のハウジング２０との間の各隙間５、６は、各接触子１０の第１接点部１１と基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１との間の接圧を確保しつつ、第１検査治具２の接触子１０の第１接点部１１に過剰な力が加えられて第１検査治具２の接触子１０が破損するのを防止できるように構成されている。例えば、各隙間５、６の第１方向Ｘの寸法は、第１接点部１１を基板対基板コネクタ１１０の凹部１１２の側面に接触した状態で挿入したときの第１方向Ｘにおける第１接点部１１と凹部１１２の側面との間の最短距離以上、基板対基板コネクタ１１０の凹部１１２の第１方向Ｘの寸法以下の範囲内にあるように構成することができる。
また、前記検査装置によれば、前記検査ユニット１により、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査装置を実現できる。
なお、第１検査治具２および第２検査治具３は、その少なくとも一方が第１方向Ｘに沿って移動可能に配置されていればよい。例えば、図７に示すように、第１検査治具２を検査装置の基板１００に固定して、第２検査治具３と第２移動規制部４１との間に可動部３０を設けてもよい。この場合、可動部３０は、第１検査治具２および第２検査治具３の少なくともいずれか（図７では、第２検査治具３）を第１方向Ｘに沿って移動させるように構成されている。なお、図７に示す検査ユニット１では、第１移動規制部４１を省略している。
第１検査治具２および第２検査治具３の各接触子１０は、検査対象物に接触可能な第１接点部１１と検査装置に接触可能な第２接点部１２が両端部にそれぞれ設けられていればよく、検査ユニット１の設計等に応じて、任意の構成の接触子１０を用いることができる。例えば、図８および図９に示すように、第１方向Ｘに延びる直線帯部１３と、直線帯部１３に接続された湾曲帯部１４とが交互に連続する蛇行形状を有する接触子１０を用いることもできる。また、例えば、第１接点部１１および第２接点部１２の各々は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、形状および位置などを適宜変更することができる。
可動部３０、第１移動規制部４１および第２移動規制部４２は、省略することもできる。例えば、可動部３０を省略した場合、ユーザが、手動で第１検査治具２および第２検査治具３の各々を移動させることで、各第１接点部１１を第１方向Ｘにおいて基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に接触させることができる。
可動部３０は、第１方向Ｘに伸縮する弾性部材に限らず、第１検査治具２および第２検査治具３の少なくとも一方を第１方向Ｘに移動させることができる任意の構成を採用できる。また、第１検査治具２のハウジング２０および第２検査治具３のハウジング２０に接続されている場合に限らず、例えば、第１検査治具２の第２接点部１２が接続されている検査装置の基板１００と、第２検査治具３の第２接点部１２が接続されている検査装置の基板１００とに接続されていてもよい。
検査ユニット１は、検査装置の様々な態様に応じて、その構成を適宜変更することができる。例えば、図１０および図１１に示すように、対向するように配置された検査装置の一対の基板１００の各端子１０１と、一対の基板１００が対向する方向に交差（例えば、直交）する方向に配置された基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１とに接触可能に、検査ユニット１を構成することもできる。
図１０および図１１に示す検査ユニット１では、各検査治具２、３が、第１方向Ｘに沿って延びる接触子１０の第１接点部１１側の端部が、第１方向Ｘにおいて相互に対向するように配置されている。各検査治具２、３の接触子１０の第１接点部１１側の端部は、第１方向Ｘから第２方向Ｙに屈曲しており、その先端部に第１接点部１１が設けられている。各第１接点部１１は、第２方向Ｙにおいて、基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に接触可能に配置されている。また、各検査治具２、３の接触子１０の第２接点部１２は、第１方向Ｘに対向する一対の基板１００の端子１０１に、それぞれ第１方向Ｘで接触可能に配置されている。
また、図１０および図１１に示す検査ユニット１では、検査装置の一対の基板１００と共に各検査治具２、３を第１方向Ｘに移動させることができる可動部（図示せず）を有し、この可動部によって、第１接点部１１の各々が、第１方向Ｘにおいて基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に接触可能に構成されている。
なお、図１０および図１１に示す検査ユニット１の各検査治具２、３は、第１方向Ｘに延びる直線帯部１３と、直線帯部１３に接続された湾曲帯部１４とが交互に連続する蛇行形状を有する接触子１０を備えている。
以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
本開示の第１態様の検査ユニット１は、
検査対象物に接触可能な第１接点部１１と検査装置に接触可能な第２接点部１２が両端部にそれぞれ設けられた接触子１０と、
前記第１接点部１１が外部に露出した状態で前記接触子１０を内部に収容するハウジング２０と
をそれぞれ有し、第１方向に沿って並んで配置された第１検査治具２および第２検査治具３を備え、
前記第１検査治具２および前記第２検査治具３の少なくとも一方が、前記第１方向Ｘに沿って移動可能に配置され、
前記第１方向Ｘに交差する第２方向Ｙから前記第１接点部１１の各々に前記検査対象物を接近させた状態で、前記第１検査治具２および前記第２検査治具３の少なくとも一方を前記第１方向Ｘに沿って移動させることで、前記第１接点部１１の各々が、前記第１方向Ｘにおいて前記検査対象物に接触する。
第１態様の検査ユニットによれば、接触子１０の第１接点部１１を検査対象物に対する第２方向Ｙ（すなわち、接近方向）とは異なる第１方向Ｘで接触可能な検査ユニット１を実現できる。
本開示の第２態様の検査ユニット１は、
前記第１検査治具２および前記第２検査治具３の少なくとも一方を前記第１方向Ｘに移動させる可動部３０をさらに備える。
第２態様の検査ユニット１によれば、可動部３０により、第１検査治具２および第２検査治具３を第１方向Ｘに容易に移動させることができる。
本開示の第３態様の検査ユニット１は、
前記可動部３０が、前記第１方向Ｘに伸縮する弾性部材を有する。
第３態様の検査ユニット１によれば、第１方向Ｘにおいて、各検査治具２、３の接触子１０の第１接点部１１を検査対象物に押圧することができるので、第１接点部１１と検査対象物との間の接触信頼性を高めることができる。
本開示の第４態様の検査ユニット１は、
前記第１方向Ｘにおいて、前記第１検査治具２および前記第２検査治具３と並んで配置された移動規制部４１をさらに備え、
前記移動規制部４１と前記第２検査治具３との間に前記第１検査治具２が配置され、前記移動規制部４１によって前記第１検査治具２の前記第１方向Ｘでかつ前記第２検査治具３から離れる方向への移動が規制される。
第４態様の検査ユニット１によれば、第１移動規制部４１により、例えば、第１検査治具２が、第１方向Ｘでかつ第２検査治具３から離れる方向に移動したときに、第１検査治具２の接触子１０の第１接点部１１および第２接点部１２に過剰な力が加えられて第１検査治具２の接触子１０が破損するのを防止できる。
本開示の第５態様の検査ユニット１は、
前記移動規制部が第１移動規制部４１であり、
前記第１方向Ｘにおいて、前記第１移動規制部４１、前記第１検査治具２および前記第２検査治具３と並んで配置された第２移動規制部４２をさらに備え、
前記第２移動規制部４２と前記第１検査治具２との間に前記第２検査治具３が配置され、前記第２移動規制部４２によって前記第２検査治具３の前記第１方向Ｘでかつ前記第１検査治具２から離れる方向への移動が規制される。
第５態様の検査ユニット１によれば、第２移動規制部４２により、例えば、第２検査治具３が、第１方向Ｘでかつ第１検査治具２から離れる方向に移動したときに、第２検査治具３の接触子１０の第１接点部１１および第２接点部１２に過剰な力が加えられて第２検査治具３の接触子１０が破損するのを防止できる。
本開示の第６態様の検査装置は、
前記態様の検査ユニット１を少なくとも１つ備えた。
第６態様の検査装置によれば、検査ユニット１により、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査装置を実現できる。
なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
本開示の検査ユニットは、例えば、液晶パネルの検査装置に適用できる。
本開示の検査装置は、例えば、液晶パネルの検査に用いることができる。
１ 検査ユニット
２ 第１検査治具
３ 第２検査治具
４、５、６ 隙間
１０ 接触子
１１ 第１接点部
１２ 第２接点部
１３ 直線帯部
１４ 湾曲帯部
２０ ハウジング
２１ 収容部
２２、２３ 開口部
３０ 可動部
４１ 第１移動規制部
４２ 第２移動規制部
１００ 基板
１０１ 端子
１１０ 基板対基板コネクタ
１１１ 電極部
１１２ 凹部
１１３ 底面
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向
Ｚ 第３方向
Ａ、Ｂ、Ｃ 方向

Claims (6)

  1. 第１方向に沿って並んで配置された第１検査治具および第２検査治具を備え、
    前記第１検査治具および前記第２検査治具の各々が、
    前記第１方向に交差する第２方向の一端に設けられ、検査対象物に接触可能な第１接点部と、前記第２方向の他端に設けられ、検査装置に接触可能な第２接点部とを有する単一部材で構成された接触子と、
    前記第１接点部が外部に露出した状態で前記接触子を内部に収容するハウジングと
    を有し、
    前記第１検査治具および前記第２検査治具の少なくとも一方が、前記第１方向に沿って移動可能に配置され、
    前記第２方向から前記第１接点部の各々に前記検査対象物を相対的に接近させた状態で、前記第１検査治具および前記第２検査治具の少なくとも一方を前記第１方向に沿って移動させることで、前記第１接点部の各々が、前記第１方向において前記検査対象物に接触する、検査ユニット。
  2. 前記第１検査治具および前記第２検査治具の少なくとも一方を前記第１方向に移動させる可動部をさらに備える、請求項１の検査ユニット。
  3. 前記可動部が、前記第１方向に伸縮する弾性部材を有する、請求項２の検査ユニット。
  4. 前記第１検査治具および前記第２検査治具と前記第１方向において並んで配置されている前記第１検査治具に前記第１方向において接触可能に配置された移動規制部をさらに備え、
    前記移動規制部と前記第２検査治具との間に前記第１検査治具が配置され、前記移動規制部によって前記第１検査治具の前記第１方向でかつ前記第２検査治具から離れる方向への移動が規制される、請求項１から３のいずれか１つの検査ユニット。
  5. 前記移動規制部が第１移動規制部であり、
    前記第１移動規制部、前記第１検査治具および前記第２検査治具と前記第１方向において並んで配置されていると共に、前記第１移動規制部との間に前記第１検査治具および前記第２検査治具が位置して前記第２検査治具に前記第１方向において接触可能に配置された第２移動規制部をさらに備え、
    前記第２移動規制部と前記第１検査治具との間に前記第２検査治具が配置され、前記第２移動規制部によって前記第２検査治具の前記第１方向でかつ前記第１検査治具から離れる方向への移動が規制される、請求項４の検査ユニット。
  6. 請求項１〜５のいずれか１つの検査ユニットを少なくとも１つ備えた検査装置。
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