JP6641818B2 - プローブピン、および、これを備えた検査治具 - Google Patents

Description

本発明は、プローブピン、および、このプローブピンを備えた検査治具に関する。

従来、プローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、一端にコンタクト部が設けられた同一形状の２つのコンタクトピンと、コイルばねとを備えている。そして、２つのコンタクトピンが、コンタクト部が露出するようにコイルばねの両端からそれぞれ挿入されており、コイルばねの内部で、互いに直交し、かつ、スライド移動可能に結合されている。

特開２００８−５１６３９８号公報

ところで、近年、被検査物の複雑化および多様化に伴い、被検査物の端子の配置に制限が課せられる場合が増えている。例えば、被検査物の端子の配置制限により、被検査物の端子を検査装置の端子と同一直線状に配置できない場合、前記プローブピンでは、両端のコンタクト部が被検査物の端子と検査装置の端子とに同時に接触できず、導通検査を行えない。

そこで、本発明は、被検査物の複雑化および多様化に対応できるプローブピン、および、このプローブピンを備えた検査治具を提供することを課題とする。

本発明のプローブピンは、前記課題を解決すべく、中心線に沿って伸縮するコイルばねと、前記コイルばねの一端から前記中心線に沿って前記コイルばねの内部に挿入された導電性の第１プランジャと、前記コイルばねの他端から前記中心線に沿って前記コイルばねの内部に挿入された導電性の第２プランジャと、を備え、前記第１プランジャが、前記コイルばねの内部に挿入された第１挿入部と、前記第１挿入部に連続すると共に、前記中心線に沿って往復移動可能な第１接点が設けられた第１接触部と、前記第１接触部の前記第１挿入部との境界部分に設けられ、前記中心線に交差する方向に延びると共に、前記コイルばねを支持する第１支持部と、を有し、前記第２プランジャが、前記コイルばねの内部に挿入され、かつ、前記第１挿入部にスライド移動可能に連結された第２挿入部と、前記中心線と交差する方向に往復移動可能な第２接点が設けられた第２接触部と、前記第２接触部の前記第２挿入部との境界部分に設けられ、前記中心線に交差する方向に延びると共に、前記コイルばねを支持する第２支持部と、を有する。

本発明のプローブピンによれば、コイルばねの中心線に沿って往復移動可能な第１接点と、コイルばねの中心線と交差する方向に直交する方向に往復移動可能な第２接点とを備えている。このため、例えば、被検査物の端子を検査装置の端子と同一直線状に配置できない場合であっても、被検査物の端子と検査装置の端子とに同時に接触できる。

本発明の実施形態としては、前記第２接触部が、荷重が加えられていない状態である自然状態に復帰するように前記第２接点を付勢する弾性部を有し、この弾性部の弾性力によって、前記第２接点の往復移動が行われる構成としてもよい。

本実施形態によれば、第２接点の往復移動が弾性部の弾性力により行われる。このため、コイルばね等の他の弾性部材を用いることなく第２接点を往復移動させることができるので、部品点数が少なくなり、製造コストを低減できる。

本発明の検査治具は、被検査物の一対の対向面にそれぞれ設けられた端子と、基板上に設けられた端子との間の導通検査を行うための検査治具であって、前記被検査物が挿入される検査部を有するハウジングと、前記被検査物が前記検査部に挿入されたときに前記被検査物の端子に前記第２接点が接触し、かつ、前記基板上に前記ハウジングを取り付けたときに前記基板の端子に前記第１接点が接触できるように、前記ハウジング内に着脱可能に収納されている、前記プローブピンと、を備える。

本発明の検査治具によれば、前記プローブピンを備えているので、被検査物の複雑化および多様化に対応できる。

本発明の実施形態としては、前記ハウジングが、前記第１，第２接触部の少なくとも一部が露出するように前記プローブピンを保持する第１ハウジングと、前記第１ハウジングに連結されると共に、前記検査部と、前記検査部に連通し、かつ、前記第２接点が往復移動できるように前記第２接触部を収納する収納部と、が設けられた第２ハウジングと、を有し、前記プローブピンの第２支持部が、前記第１，第２ハウジングにより挟持されている。

本実施形態によれば、プローブピンの第２支持部が第１，第２ハウジングで挟持されるので、プローブピンを容易に着脱できる。このため、複数のプローブピンの１つが壊れたとしても、この壊れたプローブピンのみを簡単に取り替えることができる。

本発明の第１実施形態のプローブピンを備えた検査治具の斜視図である。 図１のII-II線に沿った断面図である。 図１の検査治具の分解斜視図である。 本発明の第１実施形態のプローブピンの斜視図である。 図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。 図４のプローブピンの分解斜視図である。 図１の検査治具の検査状態を説明するための斜視図である。 図７のVIII-VIII線に沿った断面図である。 本発明の第２実施形態のプローブピンの斜視図である。 本発明の第１実施形態のプローブピンを備えた他の検査治具の斜視図である。 図１０のXI-XI線に沿った断面図である。 図１０の検査治具の分解斜視図である。 図１０の検査治具の検査状態を説明するための斜視図である。

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、図面に表された構成を説明するうえで、「上」、「下」、「左」、「右」等の方向を示す用語、及びそれらを含む別の用語を使用するが、それらの用語を使用する目的は図面を通じて実施形態の理解を容易にするためである。したがって、それらの用語は本発明の実施形態が実際に使用されるときの方向を示すものとは限らないし、それらの用語によって特許請求の範囲に記載された発明の技術的範囲が限定的に解釈されるべきでない。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態のプローブピン３を備えた検査治具１は、図１〜図３に示すように、ハウジング２と、このハウジング２内に収納された複数のプローブピン３とを備えている。

ハウジング２は、図１に示すように、上面視矩形状を有し、第１ハウジングの一例の下部ハウジング１０と、下部ハウジング１０上（図１のＺ方向の上側）に設けられた第２ハウジングの一例の上部ハウジング２０とで構成されている。

下部ハウジング１０は、図３に示すように、複数のプローブピン３を保持するための保持部１１と、下部ハウジング１０および上部ハウジング２０を位置決めするための係合突部１２と、下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とを固定すると共に、ハウジング２を基板等に固定するための取付孔１３とを有している。

保持部１１は、下部ハウジング１０をＺ方向に貫通する貫通孔１１１と、この貫通孔１１１に連通し、かつ、下部ハウジング１０の上面にＹ方向に沿って延びるように設けられた保持溝部１１２とで構成されている。この保持部１１は、下部ハウジング１０の上面に、Ｘ方向に沿って延びる平行な２つの列を成すように、等間隔で配置されている。保持部１１の２つの列は、図２に示すように、後述するプローブピン３の第２接点４７が相互に対向するように、短手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて配置されている。

係合突部１２は、下部ハウジング１０の上面からＺ方向の上側に向かって突出するように設けられている。また、この係合突部１２は、下部ハウジング１０のＸ方向の両端部の保持部１１と取付孔１３との間に、下部ハウジング１０のＸ方向に延びる長側の両辺に対向するように配置されている。

取付孔１３は、Ｚ方向に貫通し、かつ、締結部材を挿入可能な形状を有し、下部ハウジング１０のＸ方向の両端に配置されている（図３では一方のみ示す）。

上部ハウジング２０は、図３に示すように、被検査物を支持するための支持部２１，２２と、被検査物が挿入され、通電試験を行うための検査部２３と、下部ハウジング１０および上部ハウジング２０を位置決めするための係合受部２４と、上部ハウジング２０を基板等に固定するための取付孔２５とを有している。

支持部２１，２２は、上部ハウジング２０の上面からＺ方向に突出するように設けられ、上部ハウジング２０のＸ方向の両端にそれぞれ配置されている。この支持部２１，２２の相互に対向する側面には、Ｚ方向に延びる支持溝部２６，２７がそれぞれ設けられている。この支持溝部２６，２７は、図２に示すように、溝部２６１，２７１（図２では一方のみ示す）と、溝部２６１，２７１のＺ方向の上側に連続する導入部２６２，２７２（図２では一方のみ示す）とで構成されている。溝部２６１，２７１は、略同一の幅を有している。また、導入部２６２，２７２は、Ｚ方向の上側に向かって次第に大きくなる幅を有している。

検査部２３は、上部ハウジング２０の上面にＸ方向に沿って設けられ、図２に示すように、Ｚ方向に貫通している。この検査部２３は、下部ハウジング１０に上部ハウジング２０を固定したときに、下部ハウジング１０の保持部１１の列の間に位置するように配置されている。また、検査部２３は、Ｘ方向の両端が支持溝部２６，２７とそれぞれ連通している。

係合受部２４は、下部ハウジング１０に上部ハウジング２０を固定したときに、下部ハウジング１０の係合突部１２が係合可能に設けられている。この係合受部２４は、支持部２１，２２のＸ方向の外側かつＺ方向の下側の両隅部に配置されている。

取付孔２５は、Ｚ方向に貫通し、かつ、締結部材を挿入可能な形状を有している。この取付孔２５は、下部ハウジング１０に上部ハウジング２０を固定したときに、下部ハウジング１０の取付孔１３に一致するように配置されている（図３では一方のみ示す）。

また、上部ハウジング２０の底面には、図２に示すように、後述するプローブピン３の第２接点４７を往復動作可能に収納するための複数の収納部２８が設けられている。この複数の収納部２８は、保持部１１の各々に対応しており、下部ハウジング１０に上部ハウジング２０を固定したときに、対応する保持部１１と連通するように配置されている。また、収納部２８は、そのＹ方向の幅Ｌ１が、保持部１１の保持溝部１１２のＹ方向の長さＬ２よりも小さくなるように設けられている。

プローブピン３は、図４〜図６に示すように、第１プランジャ３０と、第２プランジャ４０と、コイルばね５０とで構成されている。第１，第２プランジャ３０，４０は、各々導電性を有しており、例えば電鋳法で形成されている。

第１実施形態のプローブピン３では、第１プランジャ３０は、コイルばね５０の一端からコイルばね５０のＺ方向に延びる中心線ＣＬ１に沿って挿入されている。また、第２プランジャ４０は、その主要面が第１プランジャ３０の主要面と直交するように、コイルばね５０の他端から中心線ＣＬ１（図５に示す）に沿って挿入されている。

なお、第１プランジャ３０の板厚方向（Ｘ方向）に直交する面を主要面とし、第２プランジャ４０の板厚方向（Ｙ方向）に直交する面を主要面とする。また、主要面に直交する板厚方向に平行な面を側面とする。

第１プランジャ３０は、図６に示すように、略同一の板厚で、幅方向（Ｙ方向）に対称な矩形の板形状を有している。この第１プランジャ３０は、コイルばね５０の内部に挿入された第１挿入部３１と、この第１挿入部３１と一体成形された第１接触部３２とで構成されている。

第１挿入部３１は、その主要面の先端側（図６の上側）に、第１挿入部３１を貫通するガイド溝３３が設けられている。このガイド溝３３は、第１挿入部３１の長手方向（図６の上下方向）に延びる矩形状で、第２プランジャ４０の板厚よりも大きい幅を有している。

第１接触部３２は、その先端（図６の下側）に設けられた第１接点３４と、第１接触部３２と第１挿入部３１との境界部分に設けられた第１支持部３５とを有している。第１接点３４は、主要面視円弧状を有している。また、第１支持部３５は、第１接触部３２の両側面から突出するように設けられており、中心線ＣＬ１に直交する方向に延びている。この第１支持部３５は、その先端間の距離がコイルばね５０の直径よりも大きく、コイルばね５０のＺ方向の下側の端部を支持するようになっている。

なお、第１プランジャ３０の中心線は、コイルばね５０の中心線ＣＬ１と一致している。

第２プランジャ４０は、図６に示すように、略同一の板厚を有し、コイルばね５０の内部に挿入された第２挿入部４１と、この第２挿入部４１と一体成形された第２接触部４２とで構成されている。

第２挿入部４１は、中心線ＣＬ１に沿って延びる第１，第２弾性片４３，４４で構成されている。第１，第２弾性片４３，４４は、第１プランジャ３０の板厚よりも大きい間隔を空けて、互いに略平行に配置されている。また、第１，第２弾性片４３，４４は、長さが異なっており、第１弾性片４３が第２弾性片４４よりも短くなるように設けられている。

第１弾性片４３の第２弾性片４４に対向する内側面の先端には、ガイド突起４３１が突出するように設けられている。また、第２弾性片４４の第１弾性片４３に対向する内側面の先端には、接触突起４４１が突出するように設けられている。

第２接触部４２は、第２挿入部４１が接続された第２支持部４５と、この第２支持部４５からＺ方向の上側に向かって突出する弾性部４６とで構成されている。

第２支持部４５は、矩形の平板形状を有し、Ｘ方向（中心線ＣＬ１に直交する方向）に延びている。この第２支持部４５は、その両端４５１，４５２間の距離Ｌ１がコイルばね５０の直径よりも大きく、コイルばね５０のＺ方向の上側の端部を支持するようになっている。また、第２支持部４５は、中心線ＣＬ１からＸ方向の右側の端４５１までの距離Ｌ２よりも中心線ＣＬ１からＸ方向の左側の端４５２までの距離Ｌ３の方が大きくなるように設けられている。

弾性部４６は、中心線ＣＬ１に対して異なる角度で配置された連続する３つの直線部４６１，４６２，４６３で構成されている。第１直線部４６１は、第２支持部４５から中心線ＣＬ１に沿って延びている。第２直線部４６１は、第１直線部４６１のＺ方向の上側の端部に連続し、第１直線部４６１と鋭角を成すように延びている。第３直線部４６３は、第２直線部４６２のＺ方向の下側の端部に連続し、第２直線部４６２と鈍角を成すように延びている。

各直線部４６１，４６２，４６３の接続部分はそれぞれ湾曲しており、第２直線部４６２と第３直線部４６３との接続部分が第２接点４７を構成している。この第２接点４７は、図５に示すように、中心線ＣＬ１からの距離Ｌ４が、中心線ＣＬ１から第２支持部４５のＸ方向の右側の端４５１までの距離Ｌ２よりも大きくなるように配置されている。

なお、図５に示す自然状態の第２接点４７に荷重を加え、Ｘ方向に押し込んだ後、第２接点４７に加えた力を解放すると、第２接点４７は、弾性部４６によって付勢され、自然状態に復帰する。すなわち、弾性部４６の弾性力によって、第２接点４７のＸ方向の往復移動が行われる。

また、第１，第２プランジャ３０，４０は、図５に示すように、第２プランジャ４０の第１弾性片４３のガイド突起４３１が、第１プランジャ３０のガイド溝３３に嵌合し、かつ、第２プランジャ４０の第２弾性片４４の接触突起４４１が第１プランジャ３０の第１挿入部３１の主要面と接触した状態で、スライド移動可能に連結されている。

コイルばね５０は、例えば、炭素鋼あるいはステンレス鋼からなり、その中心線ＣＬ１（図５に示す）に沿って伸縮するように形成されている。このコイルばね５０は、第１プランジャ３０の第１挿入部３１および第２プランジャ４０の第２挿入部４１を挿入可能な内径を有している。また、このコイルばね５０は、図２に示すように、下部ハウジング１０の保持部１１の貫通孔１１１に挿入可能な外径を有している。

なお、コイルばね５０は、図４に示すように、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とが互いに連結された状態では、その両端が、第１プランジャ３０の第１支持部３５と、第２プランジャ４０の第２支持部４５とで支持され、常時圧縮されるようにバネ長が調整されている。

次に、第１実施形態のプローブピン３を備える検査治具１の組立工程について説明する。

最初に、プローブピン３を組み立てる。まず、コイルばね５０の一端側から中心線ＣＬ１に沿って第１プランジャ３０の第１挿入部３１を挿入する一方、コイルばね５０の他端側から中心線ＣＬ１に沿って第２プランジャ４０の第２挿入部４１を挿入する。このとき、第１，第２プランジャ３０，４０は、各主要面が相互に直交するように挿入される。

第１，第２プランジャ３０，４０をコイルばね５０の内部に挿入していくと、第２プランジャ４０の接触突起４４１が、第１プランジャ３０の第１挿入部３１の主要面と接触し、かつ、第２プランジャ４０のガイド突起４３１が、第１プランジャ３０のガイド溝３３に挿入され、第１，第２プランジャ３０，４０が相互に連結される。これにより、プローブピン３が組み立てられる。

プローブピン３の組み立てが完了すると、このプローブピン３を下部ハウジング１０の保持部１１に組み付ける。このとき、図２に示すように、プローブピン３は、第１プランジャ３０をＺ方向の上側から保持部１１の貫通孔１１１に挿入し、第２支持部４５を保持溝部１１２に挿入する。これにより、プローブピン３は、第１接点３４を含む第１接触部３２の一部が下部ハウジング１０のＺ方向の下側に露出し、かつ、第２接点４７を含む第２接触部４２の一部が下部ハウジング１０のＺ方向の上側に露出した状態で、下部ハウジング１０に保持される。

全ての保持部１１にプローブピン３を組み付けた後、下部ハウジング１０のＺ方向の上側から上部ハウジング２０を取り付ける。このとき、下部ハウジング１０のＺ方向の上側に露出している第２接触部４２が、上部ハウジング２０の底面の収納部２８に収納され、第２接点４７が検査部２３内に配置される。また、図２に示すように、第２支持部４５が、下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とで挟持され、プローブピン３が固定される。

そして、図７に示すように、一体となった下部ハウジング１０の取付孔１３と上部ハウジング２０の取付孔２５に締結部材１０６を挿入し、検査治具１を基板１００に固定する。このとき、検査治具１は、図８に示すように、プローブピン３の第１接点３４と基板１００の端子１０５とが接触するように固定される。こうして、検査治具１の組立工程が終了する。

このようにして組み立てた検査治具１は、両面基板のような両面に電極のあるデバイス２００の導通試験に用いられる。この導通試験は、図７に示すように、デバイス２００を検査部２３に挿入して行われる。このとき、デバイス２００は、X方向の両端が保持溝部１１２に保持され、また、図８に示すように、一対の対向面に設けられている端子２０５がプローブピン３の第２接点４７と接触するように、検査部２３に挿入される。

第１実施形態のプローブピン３では、コイルばね５０の中心線ＣＬ１に沿って往復移動可能な第１接点３４と、コイルばね５０の中心線ＣＬ１と交差する方向に直交する方向に往復移動可能な第２接点４７とを備えている。このため、例えば、被検査物の端子を検査装置の端子と同一直線状に配置できない場合であっても、被検査物の端子と検査装置の端子とに同時に接触できる。

また、第２プランジャ４０の第２接点４７の往復移動が弾性部４６の弾性力により行われる。このため、コイルばね等の他の弾性部材を用いることなく第２接点４７を往復移動させることができるので、部品点数が少なくなり、製造コストを低減できる。

また、検査治具１は、第１実施形態のプローブピン３を備えているので、被検査物の複雑化および多様化に対応できる。

また、プローブピン３の第２支持部４５が、下部ハウジング１０および上部ハウジング２０で挟持されているので、プローブピン３を容易に着脱できる。このため、複数のプローブピン３の１つが壊れたとしても、この壊れたプローブピン３のみを簡単に取り替えることができる。

（第２実施形態）
図９は、第２実施形態のプローブピン１０３を示す斜視図である。この第２実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。

第２実施形態のプローブピン１０３は、図９に示すように、第２プランジャ４０に波状を有する弾性部１４６を設けている点で、第１実施形態のプローブピン３と異なっている。

弾性部１４６には、板厚方向に貫通する貫通孔１４７が設けられている。これにより、第２接点４７の復帰力を調整することができる。

このように、第２プランジャ４０の弾性部は、第２接点４７がコイルばね５０の中心線ＣＬ１と交差する方向に往復移動可能であれば、任意の形状および構造を採用することができる。

（その他の実施形態）
第１，第２実施形態のプローブピン３，１０３は、図７に示すように、デバイス２００の導通試験に用いる検査治具１に限らない。例えば、図１０〜図１３に示すように、ＬＥＤ素子２１０の導通試験に用いる検査治具１０１に用いることもできる。なお、図１０〜図１３では、第１実施形態のプローブピン３を示している。

検査治具１０１は、図１０〜図１２に示すように、下部ハウジング１１０と上部ハウジング１２０とで構成された略正方体のハウジング１０２と、ハウジング１０２内に収納された４本のプローブピン３とを備えている。

下部ハウジング１１０は、図１２に示すように、４つの保持部１１と、各隅部に設けられた取付孔１３とを有している。

保持部１１は、下部ハウジング１０をＺ方向に貫通する貫通孔１１１と、この貫通孔１１１に連通し、かつ、下部ハウジング１０の上面にＹ方向に沿って延びるように設けられた保持溝部１１２とで構成されている。この保持部１１は、下部ハウジング１１０の上面に、Ｘ方向に沿って延びる平行な２つの列を成すように、等間隔で配置されている。また、保持部１１の２つの列は、図１１に示すように、プローブピン３の第２接点４７が相互に対向するように、Ｙ方向に間隔を空けて配置されている。

また、上部ハウジング１２０は、中央部に設けられた検査部２３と、各隅部に設けられた取付孔２５とを有している。

この検査治具１０１の導通試験は、図１３に示すように、基板１００上に固定され、ＬＥＤ素子２１０を検査部２３に挿入して行われる。このとき、ＬＥＤ素子２１０は、図示していないが、一対の対向面に設けられている端子がプローブピン３の第２接点４７と接触するように、検査部２３に挿入される。

第１プランジャ３０の第１接点３４の形状は、円弧状に限らず、三角形あるいは四角形等、プローブピンの設計等に応じて、適宜選択できる。

第２プランジャ４０の第１弾性片４３のガイド突起４３１は、第１プランジャ３０のガイド溝３３に挿入嵌合できると共に、ガイド溝３３内をスライド移動できるものであればよく、形状、大きさ等は、適宜選択できる。

第２プランジャ４０の第２支持部４５は、コイルばね５０を支持することができ、かつ、下部ハウジング１０および上部ハウジング２０に挟持されることができればよく、形状、大きさ等は、適宜選択できる。

下部ハウジング１０の保持部１１は、用いるプローブピンに応じて、形状、大きさ等を適宜選択できる。

第１，第２プランジャ３０，４０の板厚は、同一に限らず、部分により異なる板厚を有するようにしてもよい。

第１，第２プランジャ３０，４０は、設計に応じて、めっき，コーティング等の表面処理を行うこともできる。

第１，第２プランジャ３０，４０は、電鋳法に限らず、可能であれば、任意の製造方法を採用することができる。

第１プランジャ３０にガイド溝３３を設け、第２プランジャ４０に第１，第２弾性片４３，４４を設けているが、これに限らない。例えば、第１プランジャに第１，第２弾性片を設け、第２プランジャにガイド溝を設けてもよい。

第１，第２プランジャ３０，４０は、コイルばね５０の両端からそれぞれ挿入したときに、相互にスライド移動可能かつ導通可能に連結できるものであれば、任意の構成を採用できる。

前記実施形態で述べた構成要素は、適宜、組み合わせてもよく、また、適宜、選択、置換、あるいは、削除してもよいことは、勿論である。

本発明に係るプローブピンおよび検査治具は、前記実施形態に限らず、他の半導体集積回路および半導体デバイス等の検査ユニットに適用できる。

１，１０１ 検査治具
２，１０２ ハウジング
３，１０３ プローブピン
１０，１１０ 下部ハウジング（第１ハウジング）
１１ 保持部
１１１ 貫通孔
１１２ 保持溝部
１２ 係合突部
１３ 取付孔
２０，１２０ 上部ハウジング（第２ハウジング）
２１，２２ 支持部
２３ 検査部
２４ 係合受部
２５ 取付孔
２６，２７ 支持溝部
２６１，２７１ 溝部
２６２，２７２ 導入部
２８ 収納部
３０ 第１プランジャ
３１ 第１挿入部
３２ 第１接触部
３３ ガイド溝
３４ 第１接点
３５ 第１支持部
４０ 第２プランジャ
４１ 第２挿入部
４２ 第２接触部
４３ 第１弾性片
４３１ ガイド突起
４４ 第２弾性片
４４１ 接触突起
４５ 第２支持部
４６ 弾性部
４６１ 第１直線部
４６２ 第２直線部
４６３ 第３直線部
４７ 第２接点
５０ コイルばね
１００ 基板
１０５ 端子
１０６ 締結部材
２００ デバイス
２０５ 端子
２１０ ＬＥＤ素子

Claims (4)

1. 中心線に沿って伸縮するコイルばねと、
   前記コイルばねの一端から前記中心線に沿って前記コイルばねの内部に挿入された導電性の第１プランジャと、
   前記コイルばねの他端から前記中心線に沿って前記コイルばねの内部に挿入された導電性の第２プランジャと、
   を備え、
   前記第１プランジャが、
   前記コイルばねの内部に挿入された第１挿入部と、
   前記第１挿入部に連続しかつ前記中心線に沿って延びていると共に、前記中心線の延在方向でかつ前記コイルばねから遠い方の端部に、前記中心線に沿って往復移動可能な第１接点が設けられた第１接触部と、
   前記第１接触部の前記第１挿入部との境界部分に設けられ、前記中心線に交差する方向に延びると共に、前記コイルばねを支持する第１支持部と、
   を有し、
   前記第２プランジャが、
   前記コイルばねの内部に挿入され、かつ、前記第１挿入部にスライド移動可能に連結された第２挿入部と、
   前記中心線と交差する方向に往復移動可能な第２接点が設けられた第２接触部と、
   前記第２接触部の前記第２挿入部との境界部分に設けられ、前記中心線に交差する方向に延びると共に、前記コイルばねを支持する第２支持部と、
   を有し、
   前記第２接触部が、
   前記中心線に沿って延びる本体部と、前記本体部から前記中心線に交差する方向に弾性変形可能に延びると共に、前記中心線に交差する方向でかつ前記本体部から遠い方の端部に前記第２接点が配置されたばね部とを有する弾性部を有し、
   前記弾性部の弾性力によって前記第２接点の往復移動が行われる、プローブピン。
2. 前記弾性部が、
   前記中心線の延在方向に沿って前記第２支持部から離れる方向に延びて前記本体部を構成する第１直線部と、前記ばね部を構成する第２直線部および第３直線部とを有し、
   前記第２直線部が、
   前記第１直線部の前記第２支持部から遠い方の端部から、前記中心線に交差しかつ前記第２支持部に向かう方向に延びると共に、前記第２支持部に接近するに従って前記第１直線部から離れる方向に延びており、
   前記第３直線部が、
   前記第２直線部における前記第２支持部に近い方の端部から、前記第２直線部の延在方向に交差しかつ前記第２支持部に向かう方向に延びると共に、前記第２支持部に接近するに従って前記第１直線部に接近する方向に延びており、
   前記第２直線部と前記第３直線部との接続部分に、前記第２接点が配置されている、請求項１に記載のプローブピン。
3. 被検査物の一対の対向面にそれぞれ設けられた端子と、前記被検査物の前記一対の対向面の各々に交差する方向に沿って延びる基板の表面上に設けられた端子との間の導通検査を行うための検査治具であって、
   前記被検査物が挿入される検査部を有するハウジングと、
   前記被検査物が前記検査部に挿入されたときに前記被検査物の端子に前記第２接点が接触し、かつ、前記基板上に前記ハウジングを取り付けたときに前記基板の端子に前記第１接点が接触できるように、前記ハウジング内に着脱可能に収納されている、請求項１または２に記載のプローブピンと、
   を備える、検査治具。
4. 前記ハウジングが、
   前記第１接触部および前記第２接触部の少なくとも一部が露出するように前記プローブピンを保持する第１ハウジングと、
   前記第１ハウジングに連結されると共に、前記検査部と、前記検査部に連通し、かつ、前記第２接点が往復移動できるように前記第２接触部を収納する収納部と、が設けられた第２ハウジングと、
   を有し、
   前記プローブピンの前記第２支持部が、前記第１，第２ハウジングにより挟持されている、請求項３に記載の検査治具。

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