JP4047456B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板やICパッケージ、ハイブリッド用基板およびMCM(Multi Chip Module )などの回路基板における回路部品の端子浮きや良否を検査する回路基板検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の回路基板検査装置として、出願人は、図16に示すインサーキットテスタ71を既に開発している。このインサーキットテスタ71は、同図に示すように、X−Y移動機構5、回路基板保持部72、検査用治具73,74、モータ76,77および制御部79を備えて構成されている。X−Y移動機構5は、移動機構51,52からなり、移動機構51のスライダ51aを移動させるためのレール51bがフレーム80に固定され、移動機構52のスライダ52aを移動させるためのレール52bが移動機構51のスライダ51aに固定されている。このX−Y移動機構5は、制御部79の制御に従ってスライダ51a,52aがそれぞれ移動させられることにより、回路基板保持部72に保持されている検査対象回路基板Pを任意のX−Y方向に移動させる。一方、回路基板保持部72は、X−Y移動機構5における移動機構52のスライダ52aに固定された平板状の保持板21からなり、保持板21の上面と検査対象回路基板Pの上面とが面一となるように検査対象回路基板Pを保持する。また、保持板21には、保持状態の検査対象回路基板Pの下面にプロービングが可能となるように、プロービング用孔21aが形成されている。
【0003】
検査用治具73は、ベース35に固定された把持部32と、ヘッド部32aから先端が突出するように把持部32によって把持された複数のピンプローブ31,31・・(以下、総称して「ピンプローブ31」ともいう)とを備えている。また、検査用治具74は、ベース45に固定された把持部42と、ヘッド部42aから先端が突出するように把持部42によって把持された複数のピンプローブ41,41・・(以下、総称して「ピンプローブ41」ともいう)とを備えている。この場合、ピンプローブ31,41は、その内部に配設されている弾性部材によって先端部31a,41aが検査対象回路基板P側に付勢されている。(同図では、インサーキットテスタ71の構成の理解を容易にするために、ピンプローブ31,41の構造および数、並びにピンプローブ31,41の後端に接続されている信号ケーブルの図示を省略する)。また、ベース35,45が、ボールネジ76a,77aを介してモータ76,77にそれぞれ連結されており、把持部32,42によってそれぞれ把持されているピンプローブ31,41は、フレーム80に固定されているモータ76,77の回転に応じて上下動させられる。
【0004】
このインサーキットテスタ71による回路基板検査では、まず、同図に示すように、X−Y移動機構5のスライダ51a,52aをそれぞれ移動させることにより、回路基板保持部72に保持された状態の検査対象回路基板Pをヘッド部32aとヘッド部42aとの間(プロービング位置)に位置させる。次に、モータ76,77を作動させてボールネジ76a,77aを回転させることにより、同図の矢印Aの示す方向で検査用治具73を上動させると共に、矢印Bの示す方向で検査用治具74を下動させる。これにより、ヘッド部32a,42aが、検査対象回路基板Pの下面および上面に向けてそれぞれ移動させられ、検査用治具73,74をさらに上下動させることにより,図17に示すように、ピンプローブ31,41の先端部31a,41aが、検査対象回路基板Pの下面および上面にそれぞれ接触させられ、この状態では、検査対象回路基板Pは、両ピンプローブ31,41によって挟持される。この後、ピンプローブ31,41を介して所定の電流を導通させることにより、検査対象回路基板Pに対する電気的検査を行う。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、出願人が既に開発しているインサーキットテスタ71には、以下の改善すべき課題がある。
第1に、このインサーキットテスタ71では、検査用治具73,74が、別個独立したモータ76,77によってそれぞれ上動および下動させられている。このため、ピンプローブ31,41を検査対象回路基板Pに同時に接触させることが困難である。したがって、例えば、ピンプローブ31が、ピンプローブ41よりも先に検査対象回路基板Pに接触させられたときには、図18に示すように、同図の矢印Aの方向で上動させられたピンプローブ31によって、検査対象回路基板Pが上方に持ち上げられて保持板21から脱落してしまうことがあるという課題がある。逆に、ピンプローブ41が、ピンプローブ31よりも先に検査対象回路基板Pに接触させられたときには、図19に示すように、同図の矢印Bの方向で下動させられたピンプローブ41によって、検査対象回路基板Pが下側に撓まされてしまい、最悪の場合には、検査対象回路基板Pの破損、ピンプローブ41に対する過剰な加圧によるピンプローブ先端部の変形や内蔵スプリングの劣化または破損(以下、総称して、「ピンプローブの破損」ともいう)、および把持部42の破壊を招くことがあるという課題がある。特に、ピンプローブ41は、非常に高価であるため、破損した場合には、多大な損害となる。さらに、回路基板保持部72が過剰に加圧された場合、その力がスライダ52に加わる結果、スライダ52の精度が狂い、インサーキットテスタ71全体としての再調整が必要となる事態が生じることがある。
【0006】
この場合、検査用治具73,74の上下動を監視するためのセンサを設け、検査用治具73が所定の高さよりも上動させられたり、検査用治具74が所定の高さよりも下動させられたりしたときに、モータ76,77の回転を停止する方法を採用することも考えられる。しかし、モータ76,77が検査用治具73,74を高速に移動させているため、センサの異常検知に基づいてモータ76,77の回転を停止させたとしても、間に合わないおそれがある。
【0007】
第2に、例えば、移動機構51のスライダ51aが所定の位置まで移動させられる以前に検査用治具73,74を上下動させた場合には、図20に示すように、検査対象回路基板Pがプロービング位置まで移動させられていないため、ピンプローブ31,41の先端部31a,41aが、回路基板保持部72の保持板21を挟み込んでしまうことがある。かかる場合には、ピンプローブ31,41の先端部31a,41a、保持板21および把持部32,42の破壊を招くことがあるという課題がある。
【0008】
本発明は、かかる改善点に鑑みてなされたものであり、検査対象の回路基板、ピンプローブおよび検査用治具などの破損を防止することが可能な回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1記載の回路基板検査装置は、検査対象の回路基板を保持すると共に上下動可能に構成された回路基板保持手段と、回路基板保持手段の上面および下面のいずれか一方の面側から回路基板保持手段に向けて移動手段によって移動させられると共に、その移動方向に伸縮自在に構成されて回路基板保持手段を押圧する押圧部材が配設された第1の検査用治具と、押圧部材の押圧によって回路基板保持手段が移動させられたときに回路基板に対して一方の面とは逆側の他方の面側から押圧する弾性部材を有する第2の検査用治具と、両検査用治具の少なくとも一方に配設されると共に回路基板保持手段が押圧部材によって押圧されかつ回路基板が弾性部材によって押圧されているときの回路基板に接触するように伸縮自在にそれぞれ構成された複数のピンプローブとを備え、移動手段によって第1の検査用治具を移動させたときに、各ピンプローブの先端部が回路基板に接触するのに先立って押圧部材が回路基板保持手段を押圧して移動させるように構成されていることを特徴とする。
【0010】
この回路基板検査装置では、移動手段が、回路基板を保持した状態の回路基板保持手段側に向けて第1の検査用治具を移動させると、第1の検査用治具に配設されている押圧部材が、回路基板保持手段に接触する。次いで、第1の検査用治具がさらに移動させられると、押圧部材が、若干圧縮させられた状態で第2の検査用治具に向けて回路基板保持手段を押圧しつつ移動させる。この場合、第1の検査用治具にピンプローブが配設されているときには、そのピンプローブが回路基板に接触させられないで移動するため、その際のピンプローブおよび検査対象の回路基板の破損が防止される。また、第1の検査用治具に取り付けられたピンプローブの押圧によって回路基板が浮き上がって回路基板保持手段から脱落してしまうことを防止することが可能となる。この後、第1の検査用治具がさらに移動させられると、第2の検査用治具に配設されている弾性部材が、回路基板に接触することにより第1の検査用治具側に回路基板を付勢する。この際には、押圧部材がさらに圧縮させられることにより、第1の検査用治具に配設されているピンプローブが回路基板に接触させられる。また、第2の検査用治具にピンプローブが配設されているときには、そのピンプローブも回路基板に接触させられ、第1および第2の検査用治具に取り付けられたピンプローブによる押圧が均衡する位置に回路基板が配置されることになる。これにより、所定のプロービング位置でピンプローブを回路基板に接触させることが可能になると共に、第1および第2の検査用治具にそれぞれ配設された両ピンプローブが同時に回路基板に接触させられるため、回路基板に対して一方の側のピンプローブが先に回路基板に接触させられることに起因する回路基板およびピンプローブの破損を防止することが可能となる。また、1つの移動手段を配設すればよいため、装置のコストダウンを図ることが可能となる。
【0011】
請求項2記載の回路基板検査装置は、請求項1記載の回路基板検査装置において、第1の検査用治具による押圧が所定圧を超えたときにその押圧を吸収するための圧力吸収用弾性部材を備えていることを特徴とする。
【0012】
例えば、何等かの原因によって押圧部材の伸縮が妨げられたり、移動手段が第1の検査用治具を過移動させたりした場合、第1の検査用治具による押圧が所定圧を超えることがある。かかる場合、この回路基板検査装置では、圧力吸収用弾性部材が所定圧を超えた押圧を吸収する。したがって、回路基板に対するピンプローブの過剰な加圧、並びに第1および第2の検査用治具に対する過剰な加圧が阻止されるため、ピンプローブを含む検査用治具および回路基板の破損を防止することが可能となる。
【0013】
請求項3記載の回路基板検査装置は、請求項1または2記載の回路基板検査装置において、弾性部材は、複数のピンプローブで構成されていることを特徴とする。
【0014】
この回路基板検査装置では、回路基板が第1の検査用治具の押圧部材によって第2の検査用治具側に移動させられた際に、第2の検査用治具に配設されたピンプローブが、その反発力によって回路基板を第1の検査用治具側に押圧する。したがって、回路基板の両面にプロービングを行うことが可能になると共に、ピンプローブが第2の検査用治具の弾性部材を兼用するため、その分、回路基板検査装置の部品点数を低減することが可能となる。
【0015】
請求項4記載の回路基板検査装置は、請求項1から3のいずれかに記載の回路基板検査装置において、回路基板保持手段に当接することにより、第1の検査用治具の押圧によって複数のピンプローブが過剰に圧縮されることを阻止する保護用ストッパを備えていることを特徴とする。
【0016】
この回路基板検査装置では、何等かの原因に起因して第1の検査用治具の押圧によってピンプローブが所定量よりも圧縮されそうになった場合、保護用ストッパが、回路基板保持手段に当接することにより、ピンプローブが過剰に圧縮されることを阻止する。したがって、回路基板に対するピンプローブの過剰な加圧、並びに第1および第2の検査用治具に対する過剰な加圧が防止され、これにより、ピンプローブを含む検査用治具および回路基板の破損を防止することが可能となる。
【0017】
請求項5記載の回路基板検査装置は、請求項1から4のいずれかに記載の回路基板検査装置において、第1の検査用治具の移動位置を検出する第1の位置検出手段を備え、第1の位置検出手段の検出移動位置に基づき第1の検査用治具が基準位置を通過するときに移動手段を停止させることを特徴とする。
【0018】
この回路基板検査装置では、第1の検査用治具が所定の位置を通過した際に、第1の位置検出手段が、第1の検査用治具の通過を検出し、この際に、移動手段が停止させられる。したがって、第1の検査用治具の過移動が阻止されるため、回路基板検査装置自身および回路基板の破損を防止することが可能となる。この場合、第1の検査用治具が高速に移動させられているときであって、第1の検査用治具の過移動に対する移動手段の停止措置が間に合わないときには、圧力吸収用弾性部材が、第1の検査用治具による所定圧を超えた押圧を吸収する。
【0019】
請求項6記載の回路基板検査装置は、請求項1から5のいずれかに記載の回路基板検査装置において、第1の検査用治具の押圧によって回路基板保持手段が移動したときの移動方向に対する第1の検査用治具の位置を検出する第2の位置検出手段と、回路基板保持手段の移動開始を検出する移動開始検出手段とを備え、回路基板保持手段は、保持している回路基板の基板面よりも第1の検査用治具によって押圧される部位が第1の検査用治具側に突出するように構成され、移動手段によって第1の検査用治具を移動させたときに、移動開始検出手段によって回路基板保持手段の移動開始が検出された時点における第1の検査用治具の位置を第2の位置検出手段によって検出し、第2の位置検出手段の検出位置に応じて移動手段を停止させることを特徴とする。
【0020】
回路基板保持手段が正常位置から位置ずれしている場合、移動手段によって第1の検査用治具が移動させられたときに、回路基板に接触すべきピンプローブが、回路基板保持手段を押圧することによって回路基板保持手段を移動させてしまうおそれがある。この回路基板検査装置では、正常時において第1の検査用治具によって押圧される回路基板保持手段の部位が、保持している回路基板の基板面よりも第1の検査用治具側に突出している。このため、例えば、第1の検査用治具の押圧部材が回路基板保持手段を押圧せず、かつ第1の検査用治具に配設したピンプローブが回路基板保持手段を押圧することがある。かかる場合には、正常時に押圧部材が回路基板保持手段を押圧して移動させる位置よりも、その移動方向の手前で回路基板保持手段が移動し始める。このため、回路基板保持手段が移動し始めた際(移動開始検出手段によって回路基板保持手段の移動開始が検出された時点)における第2の位置検出手段によって検出された第1の検査用治具の位置が所定位置の手前のときには、移動手段が停止させられる。したがって、回路基板保持手段の位置ずれに起因しての、ピンプローブ、第1および第2の検査用治具および回路基板保持手段の破損を防止することが可能となる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る回路基板検査装置の好適な実施の形態について説明する。なお、出願人が既に開発しているインサーキットテスタ71と同一の構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【0022】
最初に、本発明における回路基板検査装置に相当するインサーキットテスタ1の構成について図1,2を参照して説明する。
【0023】
インサーキットテスタ1は、図1に示すように、回路基板保持部2、検査用治具3,4、X−Y移動機構5、モータ6、スプリング7,7・・(以下、総称して、「スプリング7」ともいう)、フォトセンサ8a,8b,8cおよび制御部9を備えて構成されている。回路基板保持部2は、本発明における回路基板保持手段に相当する保持板21、および移動機構22を備えている。保持板21は、平板状に形成されており、その厚みT(図2参照)を検査対象回路基板Pの板厚に応じて変更することにより、種々の板厚の検査対象回路基板Pにプロービングを行うことができる。また、保持板21は、保持している検査対象回路基板Pの板厚よりも厚く形成され、その下面が保持状態の検査対象回路基板Pの下面(本発明における基板面)よりも下側に突出している。移動機構22は、X−Y移動機構5の移動機構52におけるスライダ52aに固定されたレール22bと、レール22bに沿って保持板21を上下動可能に構成されたスライダ22aとから構成されている。この移動機構22は、検査用治具3を上下動させる際に、保持板21を滑らか、かつ水平状態で上下動させることができ、常態においては、図1に示すように、回路基板保持部2および検査対象回路基板P等の自重によって最下端に位置されられている。
【0024】
検査用治具3は、本発明における第1の検査用治具に相当し、図1,2の両図に示すように、底部がボールネジ6aを介してモータ6に連結された有底角筒状のベース35と、ベース35の上方開口部を覆うように固定された樹脂製の把持部32と、把持部32によって把持された複数のピンプローブ31と、本発明における押圧部材に相当するプッシャ33,33・・(以下、総称して、「プッシャ33」ともいう)と、本発明における保護用ストッパに相当しベース35に固定された金属製のストッパ34,34・・(以下、総称して、「ストッパ34」ともいう)とを備えている。また、検査用治具4は、本発明における第2の検査用治具に相当し、両図に示すように、上方の底部がスプリング7を介してフレーム10に連結固定された有底角筒状のベース45と、ベース45に固定された樹脂製の把持部42と、把持部42によって把持された複数のピンプローブ41と、本発明における保護用ストッパに相当しベース45に固定された金属製のストッパ44,44・・(以下、総称して、「ストッパ44」ともいう)とを備えている。
【0025】
把持部32,42は、図2に示すように、ピンプローブ31,41の各先端部31a,41aをヘッド部32a,42aから例えば0.6mm程度突出させた状態でピンプローブ31,41を把持する。また、ピンプローブ31,41は、全体が例えば2cm程度の棒状に形成されており、極小径のパイプの内側に、先端部と一体的に形成されたプッシュロッドが、スプリングと共に収納されている。これにより、検査対象回路基板Pに接触させられた際に、先端部31a,41aは、把持部32,42側にそれぞれ押し込まれると共に、スプリングの反発力によって検査対象回路基板Pの下面側および上面側にそれぞれ付勢される。この際、その先端部31a,41aは、それぞれ例えば0.4mm程度ストロークされることにより、検査対象回路基板Pに対して適度に付勢される。プッシャ33は、同図に示すように、スプリングによって上方に付勢されている(以下、このスプリングを含めて「プッシャ33」ともいう)。
【0026】
モータ6は、本発明における移動手段に相当し、フレーム10に固定されている。また、モータ6は、制御部9の制御に従い、ボールネジ6aを介して検査用治具3を上下動させる。スプリング7は、本発明における圧力吸収用弾性部材に相当し、一端がフレーム10に固定されると共に、他端が検査用治具4のベース45に連結固定されている。フォトセンサ8aは、本発明における第2の位置検出手段に相当し、検査用治具3の上下方向の位置を検出する。また、フォトセンサ8bは、本発明における移動開始検出手段に相当し、回路基板保持部2の移動開始を検出する。さらに、フォトセンサ8cは、本発明における第1の位置検出手段に相当し、移動機構22の上下方向の位置を検出することにより、回路基板保持部2の上下方向に対する位置、および検査用治具3の上下方向に対する位置を間接的に検出する。なお、これらのフォトセンサ8a〜8cのセンサ信号は制御部9に出力される。一方、制御部9は、X−Y移動機構5のスライダ51a,52aに対するX−Y方向への移動制御、モータ6の回転制御、およびフォトセンサ8a〜8cのセンサ信号に基づくモータ6の停止制御などを実行する。
【0027】
次に、インサーキットテスタ1を用いた検査対象回路基板Pに対するプロービング時の動作を図面を参照して説明する。
【0028】
まず、回路基板保持部2に検査対象回路基板Pを保持させた後に、X−Y移動機構5のスライダ51a,52aをそれぞれ移動させることにより回路基板保持部2を移動させ、図1に示すように、検査用治具3のヘッド部32aおよび検査用治具4のヘッド部42aの間に検査対象回路基板Pを位置させる。次に、モータ6を作動させてボールネジ6aを回転させることにより、同図の矢印Aの方向で検査用治具3を上動させる。これにより、プッシャ33が回路基板保持部2の保持板21の下面に接触する。この際に、制御部9は、プッシャ33が保持板21に近づくにつれ、モータ6の回転を徐々に低速に制御する。これにより、プッシャ33が保持板21に接触した際における検査対象回路基板Pの保持板21からの跳ね上がりが防止される。
【0029】
検査用治具3をさらに上動させると、図3に示すように、プッシャ33が、若干押し込められた状態で回路基板保持部2を上方に押圧する。このときのピンプローブ31の先端部31aは、図4に示すように、検査対象回路基板Pの下面と離間している。したがって、プッシャ33が配設されていない場合と比較し、ピンプローブ31に対する不要な加圧がない分、ピンプローブ31の弾性力の低下や、先端部31aの変形が防止される。
【0030】
この状態で検査用治具3をさらに上動させると、移動機構22のレール22bに沿ってスライダ22aが上動するため、検査対象回路基板Pを保持した状態の回路基板保持部2が検査用治具3と共に上動する。これにより、図5,6に示すように、ピンプローブ41の先端部41aが検査対象回路基板Pの上面に接触する。この際に、制御部9がモータ6の回転をさらに低速に制御することにより、ピンプローブ41の先端部41aは、検査対象回路基板Pに緩やかに接触させられる。引き続き検査用治具3を上動させると、図7,8に示すように、ピンプローブ41の弾性力によってプッシャ33がさらに押し込められる結果、ピンプローブ31が、検査対象回路基板Pの下面に接触する。この際には、両ピンプローブ31,41は、検査対象回路基板Pの両面に付勢された状態でそれぞれ接触させられる。この後に、制御部9は、保持板21が所定位置に達した時にモータ6を停止させた後に、図外の信号ケーブルおよびピンプローブ31,41を介して検査対象回路基板P上の回路パターンに所定の電流を導通させることにより、電気的検査を実行する。
【0031】
一方、ピンプローブ41の弾性力の低下およびモータ6による過剰な押圧などに起因して、必要以上に保持板21が検査用治具4側に押し上げられることにより、ピンプローブ41が所定量以上に圧縮させられるおそれがある。かかる場合、このインサーキットテスタ1では、図9に示すように、ストッパ44が保持板21の上面に当接する。この場合、ストッパ44は、その下面が把持部42の最下端面であるヘッド部42aの下面よりも下側に突出するように形成されている。したがって、この際には、図10に示すように、ヘッド部42aの下面と検査対象回路基板Pとが離間させられた状態となる。このため、ピンプローブ41またはヘッド部42aによる検査対象回路基板Pに対する過剰な加圧が防止される結果、ピンプローブ41、検査対象回路基板Pおよび把持部42の破損が防止される。
【0032】
また、ピンプローブ31やプッシャ33の弾性力の低下およびモータ6による過剰な押圧などに起因して、ピンプローブ31が所定量以上に圧縮させられようとしたときには、図11に示すように、ストッパ34が回路基板保持部2の保持板21における下面に当接する。この場合、ストッパ34は、その上面が把持部32の最上端面であるヘッド部32aの上面よりも上側に突出するように形成されている。したがって、この際には、図12に示すように、ヘッド部32aの上面と検査対象回路基板Pとが離間させられた状態となる。このため、ピンプローブ31またはヘッド部32aによる検査対象回路基板Pに対する過剰な加圧が防止される結果、ピンプローブ31、検査対象回路基板Pおよび把持部32の破損が防止される。
【0033】
さらに、図13に示すように、X−Y移動機構5におけるスライダ51aの移動が完了する以前の検査用治具3の上動制御の実行などの制御異常が生じた場合には、ピンプローブ31の先端部31aが回路基板保持部2における保持板21の下面に当接させられた状態で回路基板保持部2を上動させるおそれがある。かかる場合には、図14に示すように、ピンプローブ31,41が保持板21を挟み込んでしまう。この際には、プッシャ33が保持板21に当接しないで、ピンプローブ31が保持板21に接触させられる。したがって、回路基板保持部2が上動し始めた時の検査用治具3の位置が、正常プロービング時の位置よりも低い位置となる。この場合、制御部9は、回路基板保持部2の上動開始によってフォトセンサ8bからセンサ信号が出力された時に、フォトセンサ8aのセンサ信号を監視することにより、検査用治具3の位置が正常時よりも低位置であるか否かを判別する。この際に、低位置であると判別したときには、制御部9は、モータ6を停止させることにより検査用治具3の上動を停止させる。この結果、ピンプローブ31,41による保持板21の挟み込みが防止されるため、ピンプローブ31,41、把持部32,42および検査対象回路基板Pの破損が防止される。
【0034】
また、このインサーキットテスタ1では非常に高速なプロービング処理が行われるため、フォトセンサ8a,8bのセンサ信号に基づいてモータ6を停止させたとしても、両ピンプローブ31,41による保持板21の挟み込み状態が生じるおそれがもある。かかる場合、このインサーキットテスタ1では、図15に示すように、スプリング7が圧縮させられることにより、ピンプローブ31,41が過剰に圧縮される事態が防止される。この結果、過剰な加圧に起因してのピンプローブ31,41および把持部32,42の破損が防止される。なお、同図では、両ピンプローブ31,41による保持板21の挟み込み状態を示しているが、両ピンプローブ31,41が検査対象回路基板Pを正常に接触しているときであっても、例えば、ピンプローブ31によって検査対象回路基板Pが過剰に加圧されたときには、スプリング7が圧縮させられることにより、ピンローブ31,41および検査対象回路基板Pの破損が防止されると共に、把持部32,42の強度を超えての加圧が防止されることにより、把持部32,42の破損を防止することもできる。
【0035】
以上のように、このインサーキットテスタ1では、ピンプローブ31,41や検査対象回路基板Pに対する過剰な加圧や、制御異常による両ピンプローブ31,41による保持板21の挟み込みなどが生じようとする際に、種々の保護制御が実行される。このため、検査対象回路基板P、ピンプローブ30,41および把持部32,42などの破損が確実に防止される。
【0036】
なお、本発明は、上記本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、スプリング7を検査用治具4のベース45とフレーム10との間に配設しているが、検査用治具3のベース35とボールネジ6aとの間や、モータ6とフレーム10との間にスプリング7を配設するように構成することもできる。また、本発明の実施の形態では、ストッパ34,44をベース35,45にそれぞれ固定しているが、ストッパ34,44を、回路基板保持部2の保持板21の下面側および上面側に固定したり、保持板21と一体的に形成したりすることもできる。さらに、本発明の実施の形態では、プッシャ33を検査用治具3側のみに配設しているが、検査用治具4にも配設することにより、検査対象回路基板Pに対し、より確実にピンプローブ31,41を同時に接触させることもできる。さらに、本発明における位置検出手段は、フォトセンサに限らず、リミットスイッチなどの各種のセンサ、スイッチ、およびモータ6に直結したエンコーダなどを用いることができる。
【0037】
また、本発明の実施の形態では、回路基板保持部2をX−Y移動機構5に固定すると共に、回路基板保持部2が検査用治具3,4に対してX−Y方向に移動する構成を採用しているが、回路基板保持部2に対して検査用治具3,4が移動する構成を採用することもできる。さらに、モータ6を上方の位置に配設し、検査用治具4を下動させる構成を採用することもできる。
【0038】
【発明の効果】
以上のように、請求項1記載の回路基板検査装置によれば、第1および第2の検査用治具にピンプローブをそれぞれ配設させた場合、その両ピンプローブを同時に回路基板に接触させることができるため、回路基板に対して一方の側のピンプローブのみが接触させられることに起因する回路基板、ピンプローブ、並びに第1および第2の検査用治具の破損を防止することができる。また、1つの移動手段を配設すればよいため、装置のコストダウンを図ることもできる。
【0039】
また、請求項2記載の回路基板検査装置によれば、圧力吸収用弾性部材が第1の検査用治具による押圧が所定圧を超えたときにその押圧を吸収することにより、回路基板に対するピンプローブの過剰な加圧、並びに第1および第2の検査用治具に対する過剰な加圧を防止することができ、これにより、ピンプローブを含む検査用治具および回路基板の破損を防止することができる。
【0040】
さらに、請求項3記載の回路基板検査装置によれば、複数のピンプローブで弾性部材を構成したことにより、回路基板の両面にプロービングを行うことができると共に、ピンプローブが第2の検査用治具の弾性部材を兼用する分、回路基板検査装置の部品点数の低減およびコストダウンを図ることができる。
【0041】
また、請求項4記載の回路基板検査装置によれば、保護用ストッパが回路基板保持手段に当接して複数のピンプローブが過剰に圧縮されることを阻止することにより、回路基板に対するピンプローブの過剰な加圧、並びに第1および第2の検査用治具に対する過剰な加圧を防止することができ、これにより、ピンプローブを含む検査用治具および回路基板の破損を防止することができる。
【0042】
さらに、請求項5記載の回路基板検査装置によれば、第1の位置検出手段の検出移動位置に基づき第1の検査用治具が基準位置を通過するときに移動手段を停止させることにより、第1の検査用治具の過移動を防止することができるため、回路基板検査装置自身および回路基板の破損を防止することができる。
【0043】
また、請求項6記載の回路基板検査装置によれば、第2の位置検出手段の検出位置に応じて移動手段を停止させることにより、回路基板保持手段の位置ずれに起因しての、ピンプローブ、第1および第2の検査用治具および回路基板保持手段の破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタの正面から見た断面図である。
【図2】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタにおける回路基板保持部近傍の断面図である。
【図3】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタにおいてプッシャが保持板に接触しているときの保持板近傍の断面図である。
【図4】 図3の状態のときのピンプローブおよび検査対象回路基板の近傍の断面図である。
【図5】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタにおいて上方に配置されているピンプローブが検査対象回路基板に接触しているときの保持板近傍の断面図である。
【図6】 図5の状態のときの保持板近傍の断面図である。
【図7】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタにおいてすべてのピンプローブが検査対象回路基板に接触しているときの保持板近傍の断面図である。
【図8】 図7の状態のときの保持板近傍の断面図である。
【図9】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタにおいてストッパ44が回路基板保持部に当接しているときの検査用治具4近傍の断面図である。
【図10】 図9の状態のときの検査対象回路基板近傍の断面図である。
【図11】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタにおいてストッパ34が回路基板保持部に当接しているときの検査用治具4近傍の断面図である。
【図12】 図11の状態のときの検査対象回路基板近傍の断面図である。
【図13】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタにおいてピンプローブ31が保持板に接触しているときの断面図である。
【図14】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタにおいてすべてのピンプローブが保持板に接触しているときの断面図である。
【図15】 本発明の実施の形態に係るインサーキットテスタにおいてスプリング7が圧縮状態のときの断面図である。
【図16】 出願人が既に開発しているインサーキットテスタの正面から見た断面図である。
【図17】 出願人が既に開発しているインサーキットテスタにおいて正常にプロービングされているときの保持板近傍の断面図である。
【図18】 出願人が既に開発しているインサーキットテスタにおいてピンプローブ31が検査対象回路基板を押し上げているときの保持板近傍の断面図である。
【図19】 出願人が既に開発しているインサーキットテスタにおいてピンプローブ41が検査対象回路基板を押し込んでいるときの保持板近傍の断面図である。
【図20】 出願人が既に開発しているインサーキットテスタにおいて両ピンプローブ31,41が保持板を挟み込んでいるときの保持板近傍の断面図である。
【符号の説明】
1 インサーキットテスタ
2 回路基板保持部
3 検査用治具
4 検査用治具
6 モータ
7 スプリング
8a〜8c フォトセンサ
21 保持板
31 ピンプローブ
32 把持部
33 プッシャ
34 ストッパ
41 ピンプローブ
42 把持部
44 ストッパ
P 検査対象回路基板
Claims (6)
- 検査対象の回路基板を保持すると共に上下動可能に構成された回路基板保持手段と、前記回路基板保持手段の上面および下面のいずれか一方の面側から当該回路基板保持手段に向けて移動手段によって移動させられると共に、その移動方向に伸縮自在に構成されて前記回路基板保持手段を押圧する押圧部材が配設された第1の検査用治具と、当該押圧部材の押圧によって前記回路基板保持手段が移動させられたときに前記回路基板に対して前記一方の面とは逆側の他方の面側から押圧する弾性部材を有する第2の検査用治具と、前記両検査用治具の少なくとも一方に配設されると共に前記回路基板保持手段が前記押圧部材によって押圧されかつ前記回路基板が前記弾性部材によって押圧されているときの当該回路基板に接触するように伸縮自在にそれぞれ構成された複数のピンプローブとを備え、前記移動手段によって前記第1の検査用治具を移動させたときに、前記各ピンプローブの先端部が前記回路基板に接触するのに先立って前記押圧部材が前記回路基板保持手段を押圧して移動させるように構成されていることを特徴とする回路基板検査装置。
- 前記第1の検査用治具による押圧が所定圧を超えたときにその押圧を吸収するための圧力吸収用弾性部材を備えていることを特徴とする請求項1記載の回路基板検査装置。
- 前記弾性部材は、複数の前記ピンプローブで構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の回路基板検査装置。
- 前記回路基板保持手段に当接することにより、前記第1の検査用治具の押圧によって前記複数のピンプローブが過剰に圧縮されることを阻止する保護用ストッパを備えていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の回路基板検査装置。
- 前記第1の検査用治具の移動位置を検出する第1の位置検出手段を備え、当該第1の位置検出手段の検出移動位置に基づき前記第1の検査用治具が基準位置を通過するときに前記移動手段を停止させることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の回路基板検査装置。
- 前記第1の検査用治具の押圧によって前記回路基板保持手段が移動したときの当該移動方向に対する当該第1の検査用治具の位置を検出する第2の位置検出手段と、前記回路基板保持手段の移動開始を検出する移動開始検出手段とを備え、
前記回路基板保持手段は、保持している前記回路基板の基板面よりも前記第1の検査用治具によって押圧される部位が当該第1の検査用治具側に突出するように構成され、
前記移動手段によって前記第1の検査用治具を移動させたときに、前記移動開始検出手段によって前記回路基板保持手段の移動開始が検出された時点における当該第1の検査用治具の位置を前記第2の位置検出手段によって検出し、当該第2の位置検出手段の検出位置に応じて前記移動手段を停止させることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の回路基板検査装置。
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