WO2017217042A1 - プローブピン - Google Patents

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WO2017217042A1
WO2017217042A1 PCT/JP2017/010192 JP2017010192W WO2017217042A1 WO 2017217042 A1 WO2017217042 A1 WO 2017217042A1 JP 2017010192 W JP2017010192 W JP 2017010192W WO 2017217042 A1 WO2017217042 A1 WO 2017217042A1
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contact
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probe pin
leg portions
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宏真 寺西
貴浩 酒井
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オムロン株式会社
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    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Definitions

  • the present invention relates to a probe pin.
  • a continuity test and an operation characteristic test are generally performed in the manufacturing process.
  • probe pins are used to connect FPC contact electrodes for connection to a main body board installed in an electronic component module, or an electrode unit such as a mounted board-to-board connector and an inspection device. Is done.
  • Such probe pins include those described in Patent Document 1, for example.
  • the probe pin is composed of an elastic part that expands and contracts in the longitudinal direction and one contact part provided at each end of the elastic part in the longitudinal direction.
  • the probe pin is in contact with the inspection object and the inspection device at one contact portion, for example, when the terminal of the inspection object is a concave contact such as a female connector of the board-to-board connector, In some cases, the contact portion of the pin and the concave contact of the inspection object cannot be stably connected, and contact reliability cannot be ensured.
  • an object of the present invention is to provide a probe pin that can be stably connected to a concave contact.
  • the probe pin of one embodiment of the present invention is An elastic part that expands and contracts along the longitudinal direction; A pair of leg portions extending from one end of the elastic portion along the longitudinal direction and capable of bending in a direction approaching each other, disposed at the tips of the pair of leg portions, A first contact portion having a pair of contact portions that are urged by the elastic portion in a direction along the longitudinal direction and can contact a concave contact of the inspection object; A second contact portion biased in a direction opposite to the biasing direction of the first contact portion by the elastic portion and electrically connected to the first contact portion; With There is a gap between the pair of legs.
  • the pair of contact portions of the pair of leg portions contact the concave contact while the pair of leg portions bend in a direction approaching the concave contact, so that the connection to the concave contact is stable. it can.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.
  • the top view of the probe pin of FIG. Sectional drawing which shows the state before contacting the concave contact of the female connector of the probe pin of FIG. Sectional drawing which shows the state which contacted the concave contact of the female connector of the probe pin of FIG.
  • the top view which shows the 1st example of the probe pin of FIG.
  • a probe pin 10 according to an embodiment of the present invention is used in a state of being accommodated in a socket 1 attached to a substrate 90 of an inspection apparatus, for example, as shown in FIG. Yes.
  • a plurality of pairs of storage portions 2 are provided symmetrically with respect to the center line CL 0, and probe pins 10 are stored in the storage portions 2.
  • Each storage portion 2 includes a groove portion 3 in which the probe pin 10 can be stored, and a through-hole 4 provided in the bottom surface of the groove portion 3. As shown in FIG. 1, the storage portion 2 extends along the center line CL 0 of the socket 1. Are arranged at regular intervals.
  • the probe pin 10 includes an elastic portion 20, and a first contact portion 30 and a second contact portion 40 provided at both ends of the elastic portion 20 in the longitudinal direction.
  • the probe pin 10 is a thin plate and has conductivity, and is integrally formed by, for example, an electroforming method.
  • the width direction of the plate surface of the probe pin 10 is the X direction
  • the plate thickness direction of the probe pin 10 orthogonal to the X direction is the Y direction
  • the longitudinal direction of the elastic portion 20 orthogonal to the XY direction is the longitudinal direction. Let it be the Z direction.
  • the elastic portion 20 has a meandering shape in which straight portions 21 and curved portions 22 are alternately continued along the Z direction, and extends and contracts along the Z direction.
  • the straight portion 21 is parallel to the X direction in the no-load state shown in FIG.
  • the bending portion 22 includes a first bending portion 221 located on the right side in the X direction and a second bending portion 222 located on the left side in the X direction, and serves as a tangent line connecting the apexes of the adjacent first bending portions 221.
  • the straight line L1 and the straight line L2 as a tangent line connecting the apexes of the adjacent second bending portions 222 are parallel to the X direction.
  • a through hole 23 that penetrates in the plate thickness direction (Y direction) and extends along a meandering shape is formed in the intermediate portion in the width direction of each linear portion 21 of the elastic portion 20 and the intermediate portion in the width direction of each curved portion 22. Is provided. Thereby, the spring property of the elastic part 20 is improved.
  • the first contact portion 30 includes a support portion 31 connected to the lower end in the Z direction of the elastic portion 20 and a pair of legs that extend downward from the support portion 31 in the Z direction and can be bent.
  • Part 32,33, and a pair of contact part 321,331 arrange
  • the pair of contact portions 321 and 331 are connected by the connecting portion 70 and can be urged downward in the Z direction by the elastic portion 20 via the pair of leg portions 32 and 33.
  • the support portion 31 has a substantially rectangular shape in plan view along the Y direction.
  • the support portion 31 comes into contact with the groove portion 3 of the storage portion 2 and Support.
  • the support portion 31 is a tangent line connecting the straight line L1 that is a tangent line that connects the second curved portions 222 adjacent to each other in the longitudinal direction of the elastic portion 20 and the first curved portion 221 that is adjacent to the longitudinal direction of the elastic portion 20.
  • the width W2 is substantially the same as the width W1 which is the shortest distance between the straight line L2.
  • the lower end of the elastic part 20 in the Z direction is connected to the left side of the support part 31 in the X direction and the upper side in the Z direction.
  • a pair of leg portions 32 and 33 are connected to the left side of the support portion 31 in the X direction and the lower side in the Z direction. That is, the center line CL1 in the X direction extending in the Z direction of the elastic part 20 and the center line CL2 in the X direction extending in the Z direction of the pair of leg portions 32 and 33 do not coincide with each other and are shifted from each other.
  • the elastic portion 20 and the pair of leg portions 32 and 33 are connected via one end portion in the X direction of the support portion 31 that is out of the X-direction center line CL1 extending in the Z direction of the elastic portion 20. .
  • Each of the pair of leg portions 32 and 33 extends along the Z direction and is provided asymmetrically with respect to the center line CL2 in the X direction.
  • a gap 34 that can be deformed in a direction approaching each other is provided between the pair of leg portions 32 and 33.
  • the pair of leg portions 32 and 33 are connected by a leg connecting portion 71.
  • the leg connecting portion 71 is provided at the boundary between the pair of leg portions 32 and 33 and the pair of contact portions 321 and 331, and divides the gap 34 into two in the Z direction.
  • the orientation of the pair of legs 32 and 33 can be adjusted by the gap 34 on the pair of legs 32 and 33 (upper side in the Z direction), for example, when the pair of legs 32 and 33 are brought into contact with the concave contact
  • the positional deviation between the pair of contact portions 321 and 331 and the concave contact can be adjusted.
  • each of the pair of leg portions 32 and 33 can be bent in a direction approaching the center line CL2 in the X direction of the pair of leg portions 32 and 33 (that is, in a direction approaching each other). That is, the leg 32 on the left in the X direction can bend toward the right in the X direction, and the leg 33 on the right in the X direction can be bent toward the left in the X direction.
  • the pair of contact portions 321 and 331 at the tips of the pair of leg portions 32 and 33 are in contact with the concave contacts. It is slidable in the direction approaching each other.
  • Each of the pair of contact portions 321 and 331 at the distal ends (lower ends in the Z direction) of the pair of leg portions 32 and 33 is provided with a curved surface 35 that can contact the concave contact.
  • the curved surfaces 35 of the pair of contact portions 321 and 331 are integrated through the contact connecting portion 70. That is, the contact connecting part 70 has a curved surface 72 that is continuous with the curved surface 35 of the pair of contact parts 321, 331, and connects the pair of leg parts 32, 33 in a frame shape.
  • the biasing direction of the elastic portion 20, that is, the lower side of the Z direction is formed on the outer surface opposite to the inner surface facing the contact portion 331 on the right side in the X direction of the contact portion 321 on the left side in the X direction of the pair of legs 32 and 33.
  • inclined surfaces 36 that are flat or curved concave surfaces that approach each other toward the side.
  • the second contact portion 40 includes a base portion 41 connected to the upper end in the Z direction of the elastic portion 20, and a pair of protrusion portions 42 protruding upward from the base portion 41 in the Z direction. Electrically connected.
  • the second contact portion 40 is urged toward the upper side in the Z direction by the elastic portion 20, that is, in a direction opposite to the urging direction of the first contact portion 30.
  • the base 41 has a substantially rectangular shape in plan view along the Y direction.
  • the upper end of the elastic portion 20 in the Z direction is connected to the left side of the base portion 41 in the X direction and the lower side in the Z direction.
  • the pair of projecting portions 42 are provided symmetrically with respect to the center line CL1 of the elastic portion 20 in the X direction.
  • Each of the pair of protrusions 42 is curved so that the tip (upper end in the Z direction) protrudes upward in the Z direction, and is provided on the substrate 90 of the inspection apparatus while being housed in the socket 1.
  • the terminal 91 (shown in FIG. 2) is brought into contact.
  • each of the pair of projecting portions 42 is provided with a through hole 43 penetrating in the thickness direction (Y direction).
  • each protrusion 42 is elastically deformed when it contacts the terminal 91 of the substrate 90 and presses the terminal 91 by its elastic force, so that the contact reliability between the probe pin 10 and the inspection apparatus is improved. be able to.
  • the protrusions 42 of the probe pins 10 adjacent in the Y direction can be reduced. Further, by making the protrusions 42 as a pair, stable contact with the substrate 90 of the inspection apparatus is possible.
  • the concave contact 81 is a pair of contact portions 82 facing each other in the direction (X direction) intersecting the insertion direction (Z direction) of the probe pin 10 on the opposing surface in the concave portion of the inspection object 80. , 83.
  • a deformable gap 84 is provided between the pair of contact portions 82 and 83.
  • each probe pin 10 is inspected in a state where the pair of leg portions 32, 33 of each probe pin 10 is positioned in the gap 84 between the pair of contact portions 82, 83 of the concave contact 81.
  • the outer surfaces of the curved surfaces 35 of the pair of contact portions 321 and 331 of the pair of leg portions 32 and 33 and the pair of contact portions 82 and 83 of the concave contact 81 come into contact with each other.
  • Each probe pin 10 is further brought closer to the inspection object 80, and a pair of legs 32 of each probe pin 10 is inserted into a gap 84 between the pair of contact parts 82, 83 of each concave contact 81 of the inspection object 80.
  • the pair of leg portions 32, 33 pushes the pair of contact portions 82, 83 of the concave contact 81 away from each other.
  • the pair of contact portions 82 and 83 of the contact 81 bend the pair of leg portions 32 and 33 toward each other.
  • the pair of leg portions 32 and 33 move while sliding while the outer surfaces thereof are in contact with the pair of contact portions 82 and 83 of the concave contact 81.
  • the pair of leg portions 32 and 33 are in contact with the pair of contact portions 82 and 83 of the concave contact 81 when the probe pin 10 is inserted into and removed from the inspection object 80. Move while sliding, that is, wiping. For this reason, even if foreign matter is adhered on the pair of outer surfaces of the pair of contact portions 321 and 331 of the pair of leg portions 32 and 33 or on the surface of the pair of contact portions 82 and 83 of the concave contact 81. Since the foreign matter is scraped off by wiping between the pair of contact portions 321, 331 of the pair of leg portions 32, 33 and the pair of contact portions 82, 83 of the concave contact 81, contact failure is avoided by the foreign matter. Reliability can be secured.
  • each of the pair of leg portions 32 and 33 can be bent in a direction approaching each other, and a gap 34 that can be deformed in a direction approaching each other is provided between the pair of leg portions 32 and 33. ing. Thereby, the distance which a pair of contact part 321,331 of a pair of leg parts 32,33 moves in the state which contacted a pair of contact part 82,83 of the concave contact 81 can be lengthened, and a wiping effect is improved. be able to.
  • the first contact portion 30 has a leg connecting portion 71 that connects the pair of leg portions 32 and 33.
  • the leg connecting portion 71 By adjusting the position of the leg connecting portion 71, the amount of bending of the pair of leg portions 32 and 33 can be adjusted.
  • the first contact part 30 has a contact connecting part 70 for connecting the pair of contact parts 321 and 331 of the pair of leg parts 32 and 33.
  • the center line CL1 extending in the Z direction (longitudinal direction) of the elastic portion 20 and the center line CL2 extending in the Z direction of the pair of leg portions 32 and 33 do not coincide with each other and are shifted from each other. Therefore, when the two probe pins 10 are housed in the pair of housing portions 2 of the socket 1, the pair of leg portions 32 and 33 are arranged so that the center line CL2 coincides with the center line CL1 of the elastic portion 20. In the state in which the pair of leg portions 32 and 33 are disposed at the end portions of the support portions 31 of the two probe pins 10 that are close to each other, the pitch between the two concave contact points 81 adjacent to the inspection object 80 is narrowed. The narrow pitch can be dealt with.
  • the pair of contact portions 321 and 331 at the tip ends of the pair of leg portions 32 and 33 are provided with curved surfaces 35, and are arranged on the outer surfaces of the pair of leg portions 32 and 33 toward the urging direction of the elastic portion 20.
  • An approaching flat or curved concave surface 36 is provided. As a result, the pair of legs 32 and 33 can be smoothly guided into the gap 84 of the concave contact 81 of the inspection object 80.
  • the probe pin 10 has a gap 34 that can be deformed in a direction approaching each other between a pair of contact portions 321 and 331 of a pair of leg portions 32 and 33 that can be bent in a direction approaching each other. , Can continue to ensure stable contact.
  • the pair of leg portions 32 and 33 is not limited to a configuration in which both of the legs 32 and 33 can be bent, and it is sufficient that at least one of them can be bent.
  • the curved surface 35 and the inclined surface 36 of the pair of leg portions 32 and 33 may be omitted, or may be provided on one or both of the pair of leg portions 32 and 33. Further, only the curved surface 35 may be provided, or only the inclined surface 36 may be provided. However, in order to ensure a more stable contact with the concave contact 81, it is better to arrange the curved surface 35 or the inclined surface 36.
  • the probe When it is not necessary to deal with the narrow pitch, the probe is so arranged that the center line CL1 extending in the Z direction of the elastic portion 20 and the center line CL2 extending in the Z direction of the pair of leg portions 32 and 33 coincide with each other.
  • the pin 10 may be configured.
  • the contact connecting portion 70 may be configured to have an inclined surface 73 continuous with the curved surface 35 of the pair of contact portions 321, 331, for example, as shown in FIG. .
  • the gap 34 between the pair of leg portions 32 and 33 is not limited to being divided, and may be integrated with the leg connecting portion 71 omitted as shown in FIG.
  • the contact connecting portion 70 can be omitted as shown in FIGS.
  • the contact connecting portion 70 can be omitted as shown in FIGS.
  • the pair of leg portions 32, 33 can be easily inserted into the gap 84 of the concave contact 81 of the inspection object 80.
  • the pair of leg portions 32 and 33 may be provided symmetrically with respect to the center line CL2 extending in the longitudinal direction, as shown in FIGS. 8 and 9, or as shown in FIG. You may provide so that it may differ.
  • the probe pin 10 is not limited to the case where the elastic portion 20 and the first and second contact portions 30 and 40 are integrally formed.
  • the first contact portion 130 and the second contact portion 140 may be configured separately.
  • each of the first contact portion 130 and the second contact portion 140 is connected so that part of the first contact portion 130 and the second contact portion 140 are located inside the coil spring 120 as an elastic body and the plate surfaces are orthogonal to each other.
  • the direction along the plate surface of the first contact portion 130 is defined as the Y direction
  • the direction along the plate surface of the second contact portion 140 is defined as the X direction
  • directions orthogonal to the X direction and the Y direction are defined. Let it be the Z direction.
  • the first contact portion 130 has an insertion portion 37 that extends upward from the support portion 31 in the Z direction and is disposed inside the coil spring 120.
  • the insertion portion 37 is provided with a through hole 38 that penetrates in the plate thickness direction (X direction) and extends along the Z direction.
  • the second contact portion 140 has a pair of elastic pieces 44 and 45 that extend downward from the base portion 41 in the Z direction and are disposed inside the coil spring 120.
  • a gap larger than the plate thickness of the first contact portion 130 is provided between the pair of elastic pieces 44 and 45.
  • a protrusion 46 that can be fitted into the through hole 38 of the first contact portion 130 is provided at the tip of one elastic piece 44. By fitting the protrusion 46 into the through hole 38, the first contact portion 130 and the second contact portion 140 are connected. Further, at the tip of the other elastic piece 45, the surface between the through hole 38 of the insertion portion 37 of the first contact portion 130 and the support portion 31 when the first contact portion 130 and the second contact portion 140 are connected.
  • a protrusion 47 is provided in contact with.
  • the coil spring 120 is supported at both ends by the support portion 31 of the first contact portion 130 and the base portion 41 of the second contact portion in a state where the first contact portion 130 and the second contact portion 140 are connected. It is designed to be compressed.
  • the probe pin of the first aspect of the present invention is An elastic part that expands and contracts along the longitudinal direction; A pair of leg portions extending from one end of the elastic portion along the longitudinal direction and capable of bending in a direction approaching each other, disposed at the tips of the pair of leg portions, A first contact portion having a pair of contact portions that are urged by the elastic portion in a direction along the longitudinal direction and can contact a concave contact of the inspection object; A second contact portion disposed at the other end of the elastic portion and biased in a direction opposite to a biasing direction of the first contact portion by the elastic portion and electrically connected to the first contact portion; With There is a gap between the pair of legs.
  • the pair of contact portions can be stably connected to the concave contact by contacting the concave contact while the pair of leg portions freely bend in a direction approaching the concave contact. .
  • the pair of contact portions of the pair of leg portions move while sliding in contact with the concave contact portions, due to the wiping effect, the pair of contact portions of the pair of leg portions and the foreign matter attached to the surface of the concave contact points. Conduction failure can be avoided.
  • the probe pin of the second aspect of the present invention is A contact connecting portion for connecting the pair of contact portions of the pair of leg portions;
  • the probe pin of the second aspect since the pair of contact portions are integrated, it is easy to insert the pair of leg portions into the concave contact of the inspection object.
  • the probe pin of the third aspect of the present invention is 3.
  • the amount of bending of the pair of leg portions can be adjusted by adjusting the position of the leg connecting portion.
  • the probe pin of the fourth aspect of the present invention is The center line along the longitudinal direction of the pair of leg portions is shifted from the center line along the longitudinal direction of the elastic portion.
  • the center line along the longitudinal direction is different from the state in which the pair of legs are arranged so that the center line along the longitudinal direction coincides with the center line along the longitudinal direction of the elastic portion.
  • the pair of leg portions are arranged so as not to coincide with the center line along the longitudinal direction of the elastic portion and can be displaced from each other, it can correspond to a narrow pitch in which the pitch of two adjacent concave contact points of the inspection object is narrowed. it can.
  • the probe pin of the fifth aspect of the present invention is Each of the pair of contact portions of the pair of leg portions of the first contact portion has a curved surface.
  • the pair of legs can be smoothly guided to the concave contact.
  • the probe pin of the sixth aspect of the present invention is At least one of the surfaces of the pair of leg portions of the first contact portion opposite to the surfaces of the pair of contact portions facing each other has inclined surfaces that approach each other toward the biasing direction of the elastic portion. is doing.
  • the pair of legs can be smoothly guided to the concave contact.
  • the probe pin of the present invention can be applied to, for example, an inspection unit used for inspection of a liquid crystal panel having a female connector as a terminal.

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Abstract

プローブピン（１０）が、弾性部（２０）と、弾性部（２０）の一端から長手方向に沿って延在しかつ互いに接近する方向に撓み可能な一対の脚部（３２，３３）を有し、一対の脚部（３２，３３）の先端に配置されかつ一対の脚部（３２，３３）を介して弾性部（２０）により長手方向に沿った方向に付勢されかつ検査対象物の凹接点に接触可能な一対の接点部（３２１，３３１）を有する第１接触部（３０）と、弾性部（２０）の他端に配置されかつ第１接触部（３０）と電気的に接続された第２接触部（４０）と、を備え、一対の脚部（３２，３３）の間に、隙間（３４）を有している。

Description

プローブピン
　本発明は、プローブピンに関する。
　カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極、あるいは、実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。
　このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、長手方向に伸縮する弾性部と、この弾性部の長手方向の両端にそれぞれ設けられた１つの接点部とで構成されている。
特開２００８－５１６３９８号公報
　しかし、前記プローブピンでは、検査対象物および検査装置と１つの接点部とで接触するため、例えば、検査対象物の端子が基板対基板コネクタの雌側のコネクタ等の凹接点である場合、プローブピンの接点部と検査対象物の凹接点とを安定して接続することができず、接触信頼性を確保できない場合がある。
　そこで、本発明は、凹接点に安定して接続できるプローブピンを提供することを課題とする。
　本発明の一態様のプローブピンは、
　長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
　前記弾性部の一端から前記長手方向に沿って延在しかつ互いに接近する方向に撓み可能な一対の脚部を有し、前記一対の脚部の先端に配置されかつ前記一対の脚部を介して前記弾性部により前記長手方向に沿った方向に付勢されかつ検査対象物の凹接点に接触可能な一対の接点部を有する第１接触部と、
　前記弾性部により前記第１接触部の付勢方向とは反対方向に付勢され、前記第１接触部と電気的に接続された第２接触部と、
を備え、
　前記一対の脚部の間に、隙間を有している。
　前記態様のプローブピンによれば、一対の脚部が凹接点に対して接近する方向に撓みつつ、一対の脚部の一対の接点部が凹接点に接触するので、凹接点に安定して接続できる。
本発明の一実施形態のプローブピンの使用状態を説明するための斜視図。 図１のII－II線に沿った断面図。 本発明の一実施形態のプローブピンの斜視図。 図３のプローブピンの平面図。 図３のプローブピンの雌コネクタの凹接点に接触する前の状態を示す断面図。 図３のプローブピンの雌コネクタの凹接点に接触した状態を示す断面図。 図３のプローブピンの第１の例を示す平面図。 図３のプローブピンの第２の例を示す平面図。 図８のプローブピンの雌コネクタの凹接点に接触した状態を示す断面図。 図３のプローブピンの第３の例を示す平面図。 図３のプローブピンの第４の例を示す斜視図。
　以下、本発明の一実施形態を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
　本発明の一実施形態のプローブピン１０は、例えば、図１に示すように、検査装置の基板９０に取り付けられたソケット１に収納された状態で使用され、ソケット１と共に検査ユニットを構成している。このソケット１では、図２に示すように、複数対の収納部２が中心線ＣＬ０に対して対称に設けられており、この収納部２にプローブピン１０が収納されている。
　各収納部２は、プローブピン１０を収納可能な溝部３と、溝部３の底面に設けられた貫通孔４とで構成されており、図１に示すように、ソケット１の中心線ＣＬ０に沿って等間隔で配置されている。
　プローブピン１０は、図３に示すように、弾性部２０と、この弾性部２０の長手方向の両端に設けられた第１接触部３０および第２接触部４０とを備えている。このプローブピン１０は、薄板で導電性を有し、例えば電鋳法で一体に形成されている。
　なお、以下の説明において、プローブピン１０の板面の幅方向をＸ方向とし、Ｘ方向に直交するプローブピン１０の板厚方向をＹ方向とし、ＸＹ方向に直交する弾性部２０の長手方向をＺ方向とする。
　弾性部２０は、図４に示すように、Ｚ方向に沿って直線部２１と湾曲部２２とが交互に連続する蛇行形状を有し、Ｚ方向に沿って伸縮するようになっている。
　直線部２１は、図４に示す無負荷状態では、Ｘ方向に対して平行になっている。湾曲部２２は、Ｘ方向の右側に位置する第１湾曲部２２１と、Ｘ方向の左側に位置する第２湾曲部２２２とを有し、隣接する第１湾曲部２２１の頂点同士を結ぶ接線としての直線Ｌ１と、隣接する第２湾曲部２２２の頂点同士を結ぶ接線としての直線Ｌ２とが、Ｘ方向に対して平行になっている。
　また、弾性部２０の各直線部２１の幅方向の中間部と各湾曲部２２の幅方向の中間部には、板厚方向（Ｙ方向）に貫通しかつ蛇行形状に沿って延びる貫通孔２３が設けられている。これにより、弾性部２０のばね性を高めている。
　第１接触部３０は、図４に示すように、弾性部２０のＺ方向の下端に連結された支持部３１と、この支持部３１からＺ方向の下側に延びて撓み可能な一対の脚部３２，３３と、検査対象物の凹接点に接触可能に一対の脚部３２，３３の先端に配置された一対の接点部３２１，３３１とを有している。この一対の接点部３２１，３３１は、連結部７０により連結されていると共に、一対の脚部３２，３３を介して、弾性部２０によりＺ方向の下側に向かって付勢可能である。
　支持部３１は、Ｙ方向に沿った平面視において略矩形状を有し、ソケット１の収納部２にプローブピン１０を収納したときに、収納部２の溝部３に当接して、プローブピン１０を支持する。この支持部３１は、弾性部２０の長手方向に隣接する第２湾曲部２２２同士を結ぶ接線である直線Ｌ１と、弾性部２０の長手方向に隣接する第１湾曲部２２１同士を結ぶ接線である直線Ｌ２との間の最短距離である幅Ｗ１と略同じ幅Ｗ２を有している。
　支持部３１のＸ方向の左側かつＺ方向の上側には、弾性部２０のＺ方向の下端が連結されている。また、支持部３１のＸ方向の左側かつＺ方向の下側には、一対の脚部３２，３３が連結されている。すなわち、弾性部２０のＺ方向に延びるＸ方向の中心線ＣＬ１と、一対の脚部３２，３３のＺ方向に伸びるＸ方向の中心線ＣＬ２とは、一致せず、互いにずれている。言い換えれば、弾性部２０のＺ方向に延びるＸ方向の中心線ＣＬ１から外れた支持部３１のＸ方向の一端部を介して、弾性部２０と一対の脚部３２，３３とが連結されている。
　一対の脚部３２，３３の各々は、Ｚ方向に沿って延びており、Ｘ方向の中心線ＣＬ２に対して非対称に設けられている。この一対の脚部３２，３３の間には、互いに接近する方向に変形可能な隙間３４が設けられている。また、一対の脚部３２，３３は、脚連結部７１により連結されている。この脚連結部７１は、一対の脚部３２，３３と一対の接点部３２１，３３１との境界に設けられており、隙間３４をＺ方向に２分割している。一対の脚部３２，３３側（Ｚ方向上側）の隙間３４により、一対の脚部３２，３３の方向付けを調整できるので、例えば、一対の脚部３２，３３を凹接点に接触させるときの一対の接点部３２１，３３１と凹接点との間の位置ずれを調整できる。
　また、一対の脚部３２，３３の各々は、一対の脚部３２，３３のＸ方向の中心線ＣＬ２に近づく方向に（すなわち、互いに接近する方向に）撓み可能になっている。すなわち、Ｘ方向左側の脚部３２は、Ｘ方向の右側に向かって、Ｘ方向右側の脚部３３は、Ｘ方向の左側に向かって、撓み可能である。言い換えれば、一対の脚部３２，３３が検査対象物の凹接点に挿入されるとき、一対の脚部３２，３３の先端の一対の接点部３２１，３３１の各々が、凹接点と接触しながら互いに接近する方向に摺動可能としている。
　一対の脚部３２，３３の先端（Ｚ方向の下端）の一対の接点部３２１，３３１の各々には、凹接点に接触可能な湾曲面３５が設けられている。この一対の接点部３２１，３３１の湾曲面３５は、接点連結部７０を介して一体化されている。すなわち、接点連結部７０は、一対の接点部３２１，３３１の湾曲面３５と連続する湾曲面７２を有し、一対の脚部３２，３３を枠状に連結している。
　また、一対の脚部３２，３３のＸ方向左側の接点部３２１のＸ方向右側の接点部３３１に向かい合う内面とは反対側の外面に、弾性部２０の付勢方向、すなわち、Ｚ方向の下側に向かうに従って互いに接近する平面または湾曲凹面の傾斜面３６が設けられている。
　第２接触部４０は、弾性部２０のＺ方向の上端に連結された基部４１と、この基部４１からＺ方向の上側に突出した一対の突出部４２とを有し、第１接触部３０と電気的に接続されている。この第２接触部４０は、弾性部２０によりＺ方向の上側に向かって、すなわち、第１接触部３０の付勢方向とは反対方向に付勢される。
　基部４１は、Ｙ方向に沿った平面視において略矩形状を有している。この基部４１のＸ方向の左側かつＺ方向の下側には、弾性部２０のＺ方向の上端が連結されている。
　一対の突出部４２は、弾性部２０のＸ方向の中心線ＣＬ１に対して対称に設けられている。この一対の突出部４２の各々は、その先端（Ｚ方向の上端）が、Ｚ方向上側に突出するように湾曲しており、ソケット１に収納された状態で、検査装置の基板９０に設けられた端子９１（図２に示す）に接触するようになっている。
　また、一対の突出部４２の各々には、板厚方向（Ｙ方向）に貫通した貫通孔４３が設けられている。これにより、各突出部４２が、基板９０の端子９１に接触したときに弾性変形して、その弾性力により端子９１を押圧するので、プローブピン１０と検査装置との間の接触信頼性を高めることができる。
　なお、一対の突出部４２を基部４１の両端に設けることによって、プローブピン１０をソケット１に収納したときに、図２に示すように、Ｙ方向に隣接するプローブピン１０の突出部４２との間のピッチＰ１を小さくすることができる。また、突出部４２を一対とすることで、検査装置の基板９０に対する安定した接触が可能になる。
　次に、図５および図６を参照して、２本のプローブピン１０をソケット１の一対の収納部２に収納した状態で、検査対象物８０の隣接した２つの凹接点８１に接触させる場合の動作について説明する。なお、凹接点８１は、検査対象物８０の凹部内の対向する面において、プローブピン１０の挿入方向（Ｚ方向）に対して交差する方向（Ｘ方向）に相互に対向する一対の接点部８２，８３を有している。そして、この一対の接点部８２，８３の間には、変形可能な隙間８４が設けられている。
　図５に示すように、各プローブピン１０の一対の脚部３２，３３が、凹接点８１の一対の接点部８２，８３の間の隙間８４に位置した状態で、各プローブピン１０を検査対象物８０に向かって近づけていくと、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１の各湾曲面３５の外面と凹接点８１の一対の接点部８２，８３とが接触する。
　各プローブピン１０を検査対象物８０に向かってさらに近づけて、検査対象物８０の各凹接点８１の一対の接点部８２、８３の間の隙間８４に、各プローブピン１０の一対の脚部３２，３３を挿入していくと、図６に示すように、一対の脚部３２，３３が、凹接点８１の一対の接点部８２、８３を互いに離れる方向に押し広げる一方、押し広げられた凹接点８１の一対の接点部８２、８３が、一対の脚部３２，３３を互いに接近する方向に撓ませる。このとき、一対の脚部３２，３３は、その外面が凹接点８１の一対の接点部８２、８３と接触した状態で、滑りながら移動する。
　一方、各プローブピン１０を検査対象物８０から離して、一対の脚部３２，３３を検査対象物８０の凹接点８１の隙間８４から抜去していくと、凹接点８１の一対の接点部８２，８３が互いに接近する方向に復帰すると共に、一対の脚部３２，３３が互いに離れる方向に復帰する。このとき、一対の脚部３２，３３は、その外面が凹接点８１の一対の接点部８２、８３と接触した状態で、滑りながら移動する。
　このように、一実施形態のプローブピン１０では、プローブピン１０の検査対象物８０への挿抜時に、一対の脚部３２，３３が、凹接点８１の一対の接点部８２、８３と接触した状態で滑りながら、すなわち、ワイピングしながら移動する。このため、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１の一対の外面上あるいは凹接点８１の一対の接点部８２，８３の表面上に異物が付着している場合であっても、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１と凹接点８１の一対の接点部８２，８３との間のワイピングにより異物を擦り取るので、異物による導通不良を回避して、接触信頼性を確保できる。
　また、一対の脚部３２，３３の各々が、互いに接近する方向に撓み可能になっており、この一対の脚部３２，３３の間に、互いに接近する方向に変形可能な隙間３４を有している。これにより、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１が、凹接点８１の一対の接点部８２，８３に接触した状態で移動する距離を長くすることができ、ワイピング効果を高めることができる。
　また、第１接触部３０が、一対の脚部３２，３３を連結する脚連結部７１を有している。脚連結部７１の位置を調整することにより、一対の脚部３２，３３の撓み量を調整できる。
　また、第１接触部３０が、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１を連結する接点連結部７０を有している。これにより、一対の接点部３２１，３３１が一体化されるので、一対の脚部３２，３３の検査対象物８０の凹接点８１の隙間８４への挿入が容易になる。
　また、弾性部２０のＺ方向（長手方向）に延びる中心線ＣＬ１と、一対の脚部３２，３３のＺ方向に延びる中心線ＣＬ２とは、一致せず、互いにずれている。よって、２つのプローブピン１０をソケット１の一対の収納部２に収納するとき、中心線ＣＬ２が弾性部２０の中心線ＣＬ１と一致するように一対の脚部３２，３３を配置した状態に対して、２つのプローブピン１０の各支持部３１の互いに接近した側の端部に一対の脚部３２，３３を配置した状態では、検査対象物８０の隣接する２つの凹接点８１のピッチを狭くした狭ピッチに対応することができる。
　また、一対の脚部３２，３３の先端の一対の接点部３２１，３３１に、湾曲面３５が設けられ、一対の脚部３２，３３の外面に、弾性部２０の付勢方向に向かうに従って互いに接近する平面または湾曲凹面の傾斜面３６が設けられている。これにより、検査対象物８０の凹接点８１の隙間８４に一対の脚部３２，３３をスムーズに案内することができる。
　なお、プローブピン１０は、互いに接近する方向に撓み可能な一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１の間に、互いに接近する方向に変形可能な隙間３４を有していれば、安定した接触を確保し続けることができる。
　例えば、一対の脚部３２，３３は、両方とも撓み可能な構成に限定されるものではなく、少なくとも一方が撓み可能であればよい。
　また、一対の脚部３２，３３の湾曲面３５および傾斜面３６は、省略してもよいし、一対の脚部３２，３３のいずれか一方または両方に設けてもよい。また、湾曲面３５のみ設けてもよいし、傾斜面３６のみ設けてもよい。ただし、凹接点８１に対する、より安定した接触を確保するためには、湾曲面３５又は傾斜面３６を配置したほうがよい。
　また、狭ピッチに対応する必要がない場合には、弾性部２０のＺ方向に伸びる中心線ＣＬ１と、一対の脚部３２，３３のＺ方向に伸びる中心線ＣＬ２とが一致するように、プローブピン１０を構成してもよい。
　また、接点連結部７０は、湾曲面７２に代えて、例えば、図７に示すように、一対の接点部３２１，３３１の湾曲面３５に連続する傾斜面７３を有するように構成してもよい。なお、一対の脚部３２，３３の間の隙間３４は、分割する場合に限らず、図７に示すように、脚連結部７１を省略して一体にしてもよい。
　また、接点連結部７０は、図８，図９に示すように、省略することができる。この場合、例えば、一対の接点部３２１，３３１の外面の各々に傾斜面３６を設けることで、一対の脚部３２，３３の検査対象物８０の凹接点８１の隙間８４への挿入が容易になる。
　なお、一対の脚部３２，３３は、図８，図９に示すように、長手方向に延びる中心線ＣＬ２に対して対称に設けてもよいし、図１０に示すように、長手方向の長さが異なるように設けてもよい。
　また、プローブピン１０は、弾性部２０および第１，第２接触部３０，４０を一体に形成する場合に限らない。例えば、図１１に示すように、第１接触部１３０および第２接触部１４０をそれぞれ別体に構成してもよい。
　この場合、第１接触部１３０および第２接触部１４０の各々は、その一部が弾性体としてのコイルばね１２０の内部に位置し、板面が相互に直交するように連結されている。なお、図７では、第１接触部１３０の板面に沿った方向をＹ方向とし、第２接触部１４０の板面に沿った方向をＸ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。
　第１接触部１３０は、支持部３１からＺ方向の上側に延びると共に、コイルばね１２０の内部に配置される挿入部３７を有している。この挿入部３７には、板厚方向（Ｘ方向）に貫通しかつＺ方向に沿って延びる貫通孔３８が設けられている。
　第２接触部１４０は、基部４１からＺ方向の下側に延びると共に、コイルばね１２０の内部に配置される一対の弾性片４４，４５を有している。この一対の弾性片４４，４５の間には、第１接触部１３０の板厚よりも大きい隙間が設けられている。一方の弾性片４４の先端には、第１接触部１３０の貫通孔３８に嵌合可能な突起４６が設けられている。この突起４６を貫通孔３８に嵌合することで、第１接触部１３０および第２接触部１４０が連結されている。また、他方の弾性片４５の先端には、第１接触部１３０および第２接触部１４０を連結したときに第１接触部１３０の挿入部３７の貫通孔３８と支持部３１との間の表面に接触する突起４７が設けられている。
　なお、コイルばね１２０は、第１接触部１３０および第２接触部１４０を連結した状態では、その両端が第１接触部１３０の支持部３１と第２接触部の基部４１とで支持され、常時圧縮されるようになっている。
　
　以上、図面を参照して本発明における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本発明の種々の態様について説明する。
　本発明の第１態様のプローブピンは、
　長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
　前記弾性部の一端から前記長手方向に沿って延在しかつ互いに接近する方向に撓み可能な一対の脚部を有し、前記一対の脚部の先端に配置されかつ前記一対の脚部を介して前記弾性部により前記長手方向に沿った方向に付勢されかつ検査対象物の凹接点に接触可能な一対の接点部を有する第１接触部と、
　前記弾性部の他端に配置されかつ前記弾性部により前記第１接触部の付勢方向とは反対方向に付勢されかつ前記第１接触部と電気的に接続された第２接触部と、
を備え、
　前記一対の脚部の間に、隙間を有している。
　第１態様のプローブピンによれば、一対の脚部が凹接点に対して接近する方向に自在に撓みつつ、一対の接点部が凹接点に接触することにより、凹接点に安定して接続できる。また、一対の脚部の一対の接点部と凹接点と相互に接触した状態で滑りながら移動するので、ワイピング効果により、一対の脚部の一対の接触部および凹接点の表面に付着した異物による導通不良を回避できる。
　本発明の第２態様のプローブピンは、
　前記一対の脚部の前記一対の接点部を連結する接点連結部を有している。
　第２態様のプローブピンによれば、一対の接点部が一体化されるので、一対の脚部の検査対象物の凹接点への挿入が容易になる。
　本発明の第３態様のプローブピンは、
　前記第１接触部が、前記一対の脚部と前記一対の接点部との境界に設けられ、前記一対の脚部を連結する脚連結部を有する、請求項１または２に記載のプローブピン。
　第３態様のプローブピンによれば、脚連結部の位置を調整することにより、一対の脚部の撓み量を調整できる。
　本発明の第４態様のプローブピンは、
　前記一対の脚部の前記長手方向沿いの中心線と、前記弾性部の前記長手方向沿いの中心線とがずれている。
　第４態様のプローブピンによれば、長手方向沿いの中心線が弾性部の長手方向沿いの中心線と一致するように一対の脚部を配置した状態に対して、長手方向沿いの中心線が弾性部の長手方向沿いの中心線と一致せず、互いにずれるように一対の脚部を配置した状態では、検査対象物の隣接する２つの凹接点のピッチを狭くした狭ピッチに対応することができる。
　本発明の第５態様のプローブピンは、
　前記第１接点部の前記一対の脚部の前記一対の接点部の各々が、湾曲面を有している。
　第５態様のプローブピンによれば、一対の脚部を凹接点にスムーズに案内することができる。
本発明の第６態様のプローブピンは、
　前記第１接触部の前記一対の脚部の前記一対の接点部の相互に向かい合う面とは反対側の面の少なくとも一方に、前記弾性部の付勢方向に向かうに従って互いに接近する傾斜面を有している。
　第６態様のプローブピンによれば、一対の脚部を凹接点にスムーズに案内することができる。
　なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
　本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
　本発明のプローブピンは、例えば、端子として雌コネクタを有する液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。
１　ソケット
２　収納部
３　溝部
４　貫通孔
１０　プローブピン
２０　弾性部
１２０　コイルばね
２１　直線部
２２　湾曲部
２３　貫通孔
２２１　第１湾曲部
２２２　第２湾曲部
３０，１３０　第１接触部
３１　支持部
３２，３３、１３２，１３３　脚部
３２１，３３１　接点部
３４　隙間
３５　湾曲面
３６　傾斜面
３７　挿入部
３８　貫通孔
４０，１４０　第２接触部
４１　基部
４２　突出部
４３　貫通孔
４４，４５　弾性片
４６，４７　突起
７０　接点連結部
７１　脚連結部
７２　湾曲面
７３　傾斜面
８０　検査対象物
８１　凹接点
８２，８３　接点部
８４　隙間
９０　基板
９１　端子
ＣＬ０　（ソケットの）中心線
ＣＬ１　（弾性部の）中心線
ＣＬ２　（一対の脚部の）中心線
Ｌ１　（第１湾曲部の頂点を結ぶ）直線
Ｌ２　（第２湾曲部の頂点を結ぶ）直線
Ｗ１　弾性部の幅
Ｗ２　支持部の幅
Ｐ１　（隣接プローブピンの突出部間の）ピッチ
Ｐ２　（隣接するプローブピンの脚部間の）ピッチ

Claims (6)

  1. 　長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
    　前記弾性部の一端から前記長手方向に沿って延在しかつ互いに接近する方向に撓み可能な一対の脚部を有し、前記一対の脚部の先端に配置されかつ前記一対の脚部を介して前記弾性部により前記長手方向に沿った方向に付勢されかつ検査対象物の凹接点に接触可能な一対の接点部を有する第１接触部と、
    　前記弾性部の他端に配置されかつ前記弾性部により前記第１接触部の付勢方向とは反対方向に付勢されかつ前記第１接触部と電気的に接続された第２接触部と、
    を備え、
    　前記一対の脚部の間に、隙間を有している、プローブピン。
  2. 　前記第１接触部が、前記一対の脚部の前記一対の接点部を連結する接点連結部を有している、請求項１に記載のプローブピン。
  3. 　前記第１接触部が、前記一対の脚部と前記一対の接点部との境界に設けられ、前記一対の脚部を連結する脚連結部を有する、請求項１または２に記載のプローブピン。
  4. 　前記一対の脚部の前記長手方向沿いの中心線と、前記弾性部の前記長手方向沿いの中心線とがずれている、請求項１から３のいずれか１つに記載のプローブピン。
  5. 　前記第１接触部の前記一対の脚部の前記一対の接点部の各々が、湾曲面を有している、請求項１から４のいずれか１つに記載のプローブピン。
  6. 　前記第１接触部の前記一対の脚部の前記一対の接点部の相互に向かい合う面とは反対側の面の少なくとも一方に、前記弾性部の付勢方向に向かうに従って互いに接近する傾斜面を有している、請求項１から５のいずれか１つに記載のプローブピン。
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