JPWO2019138505A1 - プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

Abstract

プローブピンが、弾性部、第１接触部および第２接触部を備える。弾性部が、延在方向の一端部が第１接触部に接続された第１直線部と、延在方向の一端部が第１直線部のその延在方向の他端部に接続された湾曲部と、延在方向の一端部が湾曲部のその延在方向の他端部に接続された第２直線部とを有し、湾曲部の中心角が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように構成されている。

Description

本開示は、プローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極、あるいは、実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトと、一対のコンタクト間に介在して一対のコンタクトを接続する蛇行部とを備えている。前記プローブピンでは、蛇行部により、各コンタクトと電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子との間の接圧を確保して、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対する接触信頼性を高めている。

特開２００２−１３４２０２号公報

近年、電子部品モジュール間で送受信される情報量の増大などに伴って、電子部品モジュールの検査に用いるプローブピンにも高周波領域の信号に対応することが要請されている。

しかし、特許文献１のプローブピンでは、高周波領域の信号に必ずしも十分に対応できているとはいえず、電子部品モジュールの検査時にプローブピンを流れる高周波領域の信号の損失が大きくなる場合があった。

本開示は、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性を確保しつつ、高周波領域の信号の損失を低減できるプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置を提供することを目的とする。

本開示の一例のプローブピンは、
長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の前記長手方向の第１端部に接続された板状の第１接触部と、
前記第１接触部に対して直列的に配置され、前記弾性部の前記長手方向の第２端部に接続された板状の第２接触部と
を備え、
前記弾性部が、
前記長手方向に交差する方向に延びると共に、その延在方向の一端部が前記第１接触部に接続された第１直線部と、
前記長手方向に交差する方向でかつ前記第１接触部から離れる方向に突出した円弧状に延びていると共に、その延在方向の一端部が前記第１直線部のその延在方向の他端部に接続された湾曲部と、
前記長手方向に交差する方向に延びると共に、その延在方向の一端部が前記湾曲部のその延在方向の他端部に接続された第２直線部と
を有し、
前記湾曲部の中心角が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように構成されている。

また、本開示の一例の検査治具は、
前記プローブピンと、
前記プローブピンを収容可能な収容部を有するハウジングと
を備え、
前記プローブピンが、前記湾曲部の中心角が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように、前記収容部に収容されている。

また、本開示の一例の検査ユニットは、
前記検査治具を少なくとも１つ備えた。

また、本開示の一例の検査装置は、
前記検査ユニットを少なくとも１つ備えた。

前記プローブピンによれば、弾性部が、プローブピンの長手方向に交差する方向に延びて延在方向の一端部が第１接触部に接続された第１直線部と、プローブピンの長手方向に交差する方向でかつ第１接触部から離れる方向に突出した円弧状に延びて延在方向の一端部が第１直線部のその延在方向の他端部に接続された湾曲部と、プローブピンの長手方向に交差する方向に延びて延在方向の一端部が湾曲部のその延在方向の他端部に接続された第２直線部とを有し、湾曲部の中心角が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように構成されている。これにより、プローブピンの長手方向における第１直線部と第２直線部との間に距離を設けることができるので、例えば、第１直線部を流れる高周波領域の信号の第２直線部を流れる高周波領域の信号に対する干渉を低減できる。その結果、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性を確保しつつ、高周波領域の信号の損失を低減できるプローブピンを実現できる。

また、前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の高周波領域の信号の損失が少ない検査治具を実現できる。

また、前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の高周波領域の信号の損失が少ない検査ユニットを実現できる。

また、前記検査装置によれば、前記検査ユニットにより、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の高周波領域の信号の損失が少ない検査装置を実現できる。

本開示の一実施形態の検査ユニットを示す断面斜視図。 図１のII-II線に沿った断面図。 本開示の一実施形態のプローブピンを示す斜視図。 図３のプローブピンの平面図。 図３のプローブピンの弾性部の拡大平面図。 比較例のプローブピンを用いたインサーションロスおよびリターンロスの測定結果を示す図。 実施例のプローブピンのプローブピンを用いたインサーションロスおよびリターンロスの測定結果を示す図。 図３のプローブピンの第１の変形例を示す弾性部の拡大平面図。 図３のプローブピンの第２の変形例を示す平面図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本開示の一実施形態のプローブピン１０は、導電性を有し、例えば、図１および図２に示すように、ソケット３に収容された状態で使用され、ソケット３と共に検査治具２を構成する。この検査治具２には、一例として、複数の細長い薄板状のプローブピン１０が収容されている。

また、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成している。検査ユニット１は、図１に示すように、一例として、複数の検査治具２が組み込まれた略直方体状のベースハウジング４を備えている。このベースハウジング４は、略矩形板状の第１ハウジング５と、この第１ハウジング５の板厚方向に積み重ねられた第２ハウジング６とで構成されている。

ソケット３は、図２に示すように、各プローブピン１０を収容可能な複数の収容部７を有し、第１ハウジング５および第２ハウジング６で保持されている。各収容部７は、ソケット３とベースハウジング４の第２ハウジング６とで取り囲まれており、後述する第１接点部１２１および第２接点部１３１がソケット３およびベースハウジング４の外部にそれぞれ露出した状態で、各プローブピン１０を収容可能に構成されている。

なお、図２に示すように、第１接点部１２１は、一例として、検査装置の基板（例えば、ＰＣＢパッド）１００に設けられた端子に接触可能に構成されている。また、第２接点部１３１は、一例として、検査対象物（例えば、基板対基板（ＢｔｏＢ）コネクタ）１１０の端子１２０に接触可能に構成されている。

各プローブピン１０は、図３に示すように、その長手方向（すなわち、図３の上下方向）に沿って伸縮する弾性部１１と、弾性部１１の長手方向の第１端部１１１に接続された板状の第１接触部１２と、弾性部１１の長手方向の第２端部１１２に接続された板状の第２接触部１３とを備えている。このプローブピン１０では、例えば、電鋳法で形成され、弾性部１１、第１接触部１２および第２接触部１３が一体に構成されている。

弾性部１１は、図４に示すように、第１接触部１２の板厚方向（すなわち、図４の紙面貫通方向）から見て、蛇行形状を有し、相互に隙間２３を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片）２１、２２を有している。各帯状弾性片２１、２２は、細長い帯状を有し、プローブピン１０の長手方向における一端部である第１端部２１１が第１接触部１２に接続され、プローブピン１０の長手方向における他端部である第２端部２１２が第２接触部１３に接続されている。

詳しくは、図５に示すように、各帯状弾性片２１、２２は、４つの帯状の直線部（すなわち、第１直線部３１、３２と、第２直線部５１、５２と、第３直線部７１、７２と、第４直線部９１、９２）と、３つの帯状の湾曲部（すなわち、第１湾曲部４１、４２と、第２湾曲部６１、６２と、第３湾曲部８１、８２）とを有している。

第１直線部３１、３２は、プローブピン１０の長手方向に交差する方向（例えば、直交方向）に延びていると共に、その延在方向の一端部が第１接触部１２に接続されて、第１端部２１１、２２１を構成している。なお、第１直線部３１、３２は、プローブピン１０の長手方向に交差する方向（例えば、直交する方向）から第１接触部１２に接続されている。

第１湾曲部４１、４２は、プローブピン１０の長手方向に交差する方向でかつ第１接触部１２から離れる方向に突出し、かつ、９０度よりも大きく１８０度よりも小さい中心角θ１に対する円弧に沿って延びている。また、第１湾曲部４１、４２は、その延在方向の一端部が第１直線部３１、３２のその延在方向の他端部に接続されている。

第２直線部５１、５２は、プローブピン１０の長手方向に交差する方向に延びていると共に、その延在方向の一端部が第１湾曲部４１、４２のその延在方向の他端部に接続されている。この第２直線部５１、５２は、その延在方向の一端部から他端部に向かうにつれて（すなわち、第１湾曲部４１、４２から離れるにつれて）、プローブピン１０の長手方向において、第１直線部３１、３２から離れる方向に延びている。

第２湾曲部６１、６２は、プローブピン１０の長手方向に交差する方向でかつ第１接触部１２に接近する方向に突出し、かつ、９０度よりも大きく１８０度よりも小さい中心角θ２に対する円弧に沿って延びている。また、第２湾曲部６１、６２は、その延在方向の一端部が第２直線部５１、５２のその延在方向の他端部に接続されている。

第３直線部７１、７２は、プローブピン１０の長手方向に交差する方向に延びていると共に、その延在方向の一端部が第２湾曲部６１、６２のその延在方向の他端部に接続されている。この第３直線部７１、７２は、その延在方向の一端部から他端部に向かうにつれて（すなわち、第２湾曲部６１、６２から離れるにつれて）、プローブピン１０の長手方向において、第２直線部５１、５２から離れる方向に延びている。

第３湾曲部８１、８２は、プローブピン１０の長手方向に交差する方向でかつ第１接触部１２から離れる方向に突出し、かつ、９０度よりも大きく１８０度よりも小さい中心角θ３に対する円弧に沿って延びている。また、第３湾曲部８１、８２は、その延在方向の一端部が第３直線部７１、７２のその延在方向の他端部に接続されている。

第４直線部９１、９２は、プローブピン１０の長手方向に交差する方向（例えば、直交方向）に延びていると共に、その延在方向の一端部が第３湾曲部８１、８２のその延在方向の他端部に接続されている。この第４直線部９１、９２は、その延在方向の一端部から他端部に向かうにつれて（すなわち、第３湾曲部８１、８２から離れるにつれて）、プローブピン１０の長手方向において、第３直線部７１、７２から離れる方向に延びている。また、第４直線部９１、９２は、その延在方向の他端部が第２接触部１３に接続されて、第２端部２１２、２２２を構成している。なお、第４直線部９１、９２は、プローブピン１０の長手方向から第２接触部１３に接続されている。

前記プローブピン１０では、第１直線部３１、３２および第４直線部９１、９２は、第２湾曲部６１、６２の曲率中心を通りかつプローブピン１０の長手方向に直交する方向に延びる直線Ｌ１に対して対称に配置されている。また、第２直線部５１、５２および第３直線部７１、７２は、直線Ｌ１に対して対称に配置され、第１湾曲部４１、４２および第３湾曲部８１、８２は、直線Ｌ１に対して対称に配置されている。

また、各帯状弾性片２１、２２の幅（すなわち、各帯状弾性片２１、２２の第１端部２１１、２２１および第２端部２１２、２２２間の経路の延在方向に直交する幅方向の長さ）Ｗ１、Ｗ２が、隣接する帯状弾性片２１、２２間の最短距離Ｗ３よりも小さくなるように構成されている。なお、図５には、一例として、第１湾曲部４１、４２間の直線距離を最短距離Ｗ５として示している。

第１接触部１２は、図４に示すように、プローブピン１０の長手方向に沿って延び、その延在方向の一端部が弾性部１１の第１端部１１１に接続されている。第１接触部１２の延在方向の他端部には、第１接点部１２１が設けられている。また、第２接触部１３は、図４に示すように、プローブピン１０の長手方向に沿って延び、その延在方向の一端部が弾性部１１の第２端部１１２に接続されている。第２接触部１３の延在方向の他端部には、第２接点部１３１が設けられている。

第１接触部１２および第２接触部１３の各々は、プローブピン１０の長手方向沿いに延びる仮想直線Ｌ２に沿って直列的に配置されている。すなわち、図５に示すように、弾性部１１の各直線部３１、３２、５１、５２、７１、７２、９１、９２と、第１湾曲部４１、４２および第３湾曲部８１、８２は、仮想直線Ｌ２に対して同じ側（すなわち、第１接触部１２の幅方向の一方側）に配置され、第２湾曲部６１、６２は、第１接触部１２および第２接触部１３の間でかつ仮想直線Ｌ２に沿って直列的に配置されている。

図４に示すように、第１接触部１２のその延在方向の中間部における幅方向の一方側には、支持部１２２が設けられている。支持部１２２は、第１接触部１２の板厚方向から見て、第１接触部１から、プローブピン１０の長手方向に交差する方向（例えば、直交方向）でかつ仮想直線Ｌ３に対する第１直線部３１、３２側に向かって突出している。

図２に示すように、ソケット３の収容部７にプローブピン１０を収容したとき、第１接触部１２の支持部１２２は、プローブピン１０の長手方向における第１接点部１２１側の面が、収容部７を構成する第２ハウジング６の第１ハウジング５に対向する面に当接するように構成されている。また、プローブピン１０は、その長手方向における第２接点部１３１側の面が収容部７を構成するソケット３の第２ハウジング６に対向する面に、帯状弾性片２１の第４直線部９１が当接するように構成されている。すなわち、第１接触部１２の支持部１２２および帯状弾性片２１の第４直線部９１により、プローブピン１０が収容部７の内部で支持されるように構成されている。

ソケット３の収容部７に収容された状態においても、各湾曲部４１、４２、６１、６２、８１、８２の中心角θ１、θ２、θ３は、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように構成されている。

なお、第１接触部１２の支持部１２２を省略して、帯状弾性片２１の第１直線部３１が、第２ハウジング６の第１ハウジング５に対向する面に当接するように構成してもよい。すなわち、帯状弾性片２１の第１直線部３１および第４直線部９１により、プローブピン１０が収容部７の内部で支持されるように構成してもよい。

また、図４に示すように、第２接触部１３のプローブピン１０の長手方向における弾性部１１側の端部には、第２接触部１３を板厚方向に貫通する貫通孔部１３２が設けられている。この貫通孔部１３２は、プローブピン１０の長手方向に延びて、帯状弾性片２１、２２の間の隙間２３に接続されている。この貫通孔部１３２により、第２接触部１３に発生する応力を分散させている。

ところで、第１湾曲部４１、４２の中心角θ１が、９０度以下であった場合、第１接触部１２および第２接触部１３を直列的に配置することができず、また、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性を確保できる弾性力を備えた弾性部１１を得ることが困難になる。

また、第１湾曲部４１、４２の中心角θ１が、１８０度以上であった場合、第１直線部３１、３２と第２直線部５１、５２との間に十分な距離を設けることができないため、例えば、第１直線部３１、３２を流れる高周波領域の信号が、第２直線部５１、５２を流れる高周波領域の信号に対して干渉し、高周波領域の信号の損失を低減するのが困難になる。

これに対して、前記プローブピン１０では、弾性部１１が、プローブピン１０の長手方向に交差する方向に延びて延在方向の一端部１１１が第１接触部１２に接続された第１直線部３１、３２と、プローブピン１０の長手方向に交差する方向でかつ第１接触部１２から離れる方向に突出した円弧状に延びて延在方向の一端部が第１直線部３１、３２のその延在方向の他端部に接続された第１湾曲部４１、４２と、プローブピン１０の長手方向に交差する方向に延びて延在方向の一端部が第１湾曲部４１、４２のその延在方向の他端部に接続された第２直線部５１、５２とを有し、第１湾曲部４１、４２の中心角θ１が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように構成されている。これにより、プローブピン１０の長手方向における第１直線部３１、３２と第２直線部５１、５２との間に距離を設けることができるので、例えば、第１直線部３１、３２を流れる高周波領域の信号の第２直線部５１、５２を流れる高周波領域の信号に対する干渉を低減できる。その結果、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性を確保しつつ、高周波領域の信号の損失を低減できるプローブピン１０を実現できる。

ここで、各湾曲部４１、４２、６１、６２、８１、８２の中心角θ１、θ２、θ３が全て１８０度のプローブピン１０（以下、比較例のプローブピンという）と、各湾曲部４１、４２、６１、６２、８１、８２の中心角θ１、θ２、θ３が全て１５０度のプローブピン１０（以下、実施例のプローブピンという）とについて、インサーションロスおよびリターンロスを測定した。

図６に示すように、比較例のプローブピンでは、１４．２８Ｇｂｐｓの信号に対して−１ｄＢのインサーションロスが発生し、１３．４０Ｇｂｐｓの信号に対して−１０ｄＢのリターンロスが発生した。一方、図７に示すように、実施例のプローブピンでは、３０．６０Ｇｂｐｓの信号に対して−１ｄＢのインサーションロスが発生し、３０．２４Ｇｂｐｓの信号に対して−１０ｄＢのリターンロスが発生した。すなわち、第１湾曲部４１、４２の中心角θ１が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるようにプローブピン１０を構成することで、高周波領域の信号の損失を低減できることができた。

また、前記プローブピン１０によれば、弾性部１１が、相互に隙間２３を空けて配置された複数の帯状弾性片で構成され、各帯状弾性片２１、２２の幅Ｗ１、Ｗ２が、隣接する帯状弾性片２１、２２間の最短距離Ｗ３よりも小さくなるように構成されている。これにより、例えば、第１接点部１２１および第２接点部１３１の各々が検査対象物および検査装置に対して接触して各帯状弾性片２１、２２がプローブピン１０の長手方向に圧縮されたときでも、各帯状弾性片２１、２２同士の接触を防止することができ、高い接触信頼性を確保できるプローブピン１０を実現できる。

また、前記検査治具２によれば、プローブピン１０により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の高周波領域の信号の損失が少ない検査治具２を実現できる。

また、前記検査ユニット１によれば、検査治具２により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の高周波領域の信号の損失が少ない検査ユニット２を実現できる。

なお、前記検査ユニット１は、検査装置の一部を構成することができる。このような検査装置によれば、検査ユニット１により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の高周波領域の信号の損失が少ない検査装置を実現できる。

弾性部１１は、第１直線部３１、３２、第１湾曲部４１、４２および第２直線部５１、５２を有し、第１湾曲部４１、４２の中心角が９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように構成されていればよい。

例えば、弾性部１１は、図８に示すように、第１直線部３１、３２、第１湾曲部４１、４２および第２直線部５１、５２のみで構成してもよい。

また、弾性部１１は、相互に隙間２３を空けて配置された２つの帯状弾性片２１、２２を有する場合に限らない。弾性部１１は、例えば、図９に示すように、相互に隙間を空けて配置された４つの帯状弾性片２１、２２、２４、２５を有していてもよいし、図示していないが、１つの帯状弾性片を有していてもよい。

各帯状弾性片２１、２２の幅Ｗ１、Ｗ２は、隣接する帯状弾性片２１、２２間の最短距離Ｗ３よりも小さい場合に限らず、大きくてもよい。

第１接触部１２および第２接触部１３は、プローブピン１０の設計等に応じて、その形状等を適宜変更できる。例えば、第２接触部１３は、図９に示すように、プローブピン１０の長手方向に沿って延びる一対の脚部１３３、１３４の先端部のそれぞれに設けてもよい。すなわち、第１接点部１２１および第２接点部１３１の各々は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、形状および位置などを適宜変更することができる。

検査治具２およびベースハウジング４は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、その構成を適宜変更することができる。すなわち、検査治具２およびベースハウジング４を汎用化して、検査ユニット１（ひいては検査装置）の生産性を向上させることができる。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様のプローブピン１０は、
長手方向に沿って伸縮する弾性部１１と、
前記弾性部１１の前記長手方向の第１端部１１１に接続された板状の第１接触部１２と、
前記第１接触部１２に対して直列的に配置され、前記弾性部１１の前記長手方向の第２端部１１２に接続された板状の第２接触部１３と
を備え、
前記弾性部１１が、
前記長手方向に交差する方向に延びると共に、その延在方向の一端部が前記第１接触部に接続された第１直線部３１と、
前記長手方向に交差する方向でかつ前記第１接触部１２から離れる方向に突出した円弧状に延びていると共に、その延在方向の一端部が前記第１直線部３１のその延在方向の他端部に接続された湾曲部４１と、
前記長手方向に交差する方向に延びると共に、その延在方向の一端部が前記湾曲部４１のその延在方向の他端部に接続された第２直線部５１と
を有し、
前記湾曲部４１の中心角θ１が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように構成されている。

第１態様のプローブピン１０によれば、プローブピン１０の長手方向における第１直線部３１と第２直線部５１との間に距離を設けることができるので、例えば、第１直線部３１を流れる高周波領域の信号の第２直線部５１を流れる高周波領域の信号に対する干渉を低減できる。その結果、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性を確保しつつ、高周波領域の信号の損失を低減できるプローブピン１０を実現できる。

本開示の第２態様のプローブピン１０は、
前記弾性部１１が、相互に隙間２３を空けて配置された複数の帯状弾性片２１、２２で構成され、
前記複数の帯状弾性片２１、２２の各々の幅Ｗ１、Ｗ２が、隣接する前記複数の帯状弾性片２１、２２間の最短距離Ｗ３よりも小さくなるように構成されている。

第２態様のプローブピン１０によれば、例えば、第１接点部１２１および第２接点部１３１の各々が検査対象物および検査装置に対して接触して各帯状弾性片２１、２２がプローブピン１０の長手方向に圧縮されたときでも、各帯状弾性片２１、２２同士の接触を防止することができ、高い接触信頼性を確保できるプローブピン１０を実現できる。

本開示の第３態様の検査治具２は、
前記プローブピン１０と、
前記プローブピン１０を収容可能な収容部７を有するソケット３と
を備え、
前記プローブピン１０が、前記湾曲部４１の中心角が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように、前記収容部７に収容されている。

第３態様の検査治具２によれば、プローブピン１０により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の高周波領域の信号の損失が少ない検査治具２を実現できる。

本開示の第４態様の検査ユニット１は、
前記検査治具を少なくとも１つ備えた。

第４態様の検査ユニット１によれば、検査治具２により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の高周波領域の信号の損失が少ない検査ユニット２を実現できる。

本開示の第５態様の検査装置は、
前記検査ユニット１を少なくとも１つ備えた。

第４態様の検査装置によれば、検査ユニット１により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の高周波領域の信号の損失が少ない検査装置を実現できる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示のプローブピンは、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査治具に適用できる。

本開示の検査治具は、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。

本開示の検査ユニットは、例えば、液晶パネルの検査装置に適用できる。

本開示の検査装置は、例えば、液晶パネルの検査に用いることができる。

１ 検査ユニット
２ 検査治具
３ ソケット
４ ベースハウジング
５ 第１ハウジング
６ 第２ハウジング
７ 収容部
１０ プローブピン
１１ 弾性部
１１１ 第１端部
１１２ 第２端部
１２ 第１接触部
１２１ 第１接点部
１３ 第２接触部
１３１ 第２接点部
１３２ 貫通孔部
１３３、１３４ 脚部
２１、２２、２４、２５ 帯状弾性片
２１１、２２１ 第１端部
２１２、２２２ 第２端部
２３ 隙間
３１、３２ 第１直線部
４１、４２ 第１湾曲部
５１、５２ 第２直線部
６１、６２ 第２湾曲部
７１、７２ 第３直線部
８１、８２ 第３湾曲部
９１、９２ 第４直線部
１００ 基板
１１０ 検査対象物
１２０ 端子
θ１、θ２、θ３ 中心角
Ｌ１、Ｌ２ 直線
Ｗ１、Ｗ２ 幅
Ｗ３ 最短距離

Claims (5)

1. 長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
   前記弾性部の前記長手方向の第１端部に接続された板状の第１接触部と、
   前記第１接触部に対して直列的に配置され、前記弾性部の前記長手方向の第２端部に接続された板状の第２接触部と
   を備え、
   前記弾性部が、
   前記長手方向に交差する方向に延びると共に、その延在方向の一端部が前記第１接触部に接続された第１直線部と、
   前記長手方向に交差する方向でかつ前記第１接触部から離れる方向に突出した円弧状に延びていると共に、その延在方向の一端部が前記第１直線部のその延在方向の他端部に接続された湾曲部と、
   前記長手方向に交差する方向に延びると共に、その延在方向の一端部が前記湾曲部のその延在方向の他端部に接続された第２直線部と
   を有し、
   前記湾曲部の中心角が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように構成されている、プローブピン。
2. 前記弾性部が、相互に隙間を空けて配置された複数の帯状弾性片で構成され、
   前記複数の帯状弾性片の各々の幅が、隣接する前記複数の帯状弾性片間の最短距離よりも小さくなるように構成されている、請求項１のプローブピン。
3. 請求項１または２のプローブピンと、
   前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
   を備え、
   前記プローブピンが、前記湾曲部の中心角が、９０度よりも大きく１８０度よりも小さくなるように、前記収容部に収容されている、検査治具。
4. 請求項３の検査治具を少なくとも１つ備えた、検査ユニット。
5. 請求項４の検査ユニットを少なくとも１つ備えた検査装置。

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