KR102429358B1

KR102429358B1 - 프로브 핀 및 이를 구비하는 회로 검사장치

Info

Publication number: KR102429358B1
Application number: KR1020200105399A
Authority: KR
Inventors: 박병규
Original assignee: 주식회사 플라이업; 박병규
Priority date: 2020-01-16
Filing date: 2020-08-21
Publication date: 2022-08-04
Also published as: KR20210092654A

Abstract

본 발명은 프로브 핀에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자부품의 제조공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사에 사용되는 프로브 핀에 관한 것이다.
본 발명은, 길이방향을 따라 신축하는 탄성부(100)와; 상기 탄성부(100)의 길이방향의 일단에 형성되는 제1접촉부(200)와; 상기 탄성부(100)의 길이방향의 타단에 형성되는 제2접촉부(300)를 포함하는 프로브 핀을 개시한다.

Description

프로브 핀 및 이를 구비하는 회로 검사장치{Probe pin and apparatus for inspecting circuit having the same}

본 발명은 프로브 핀 및 이를 구비하는 회로 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자부품의 제조공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사에 사용되는 프로브 핀 이를 구비하는 회로 검사장치에 관한 것이다.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자부품모듈에서는, 그 제조공정에 있어서 도통검사 및 동작 특성검사 등이 행해지며, 이러한 검사를 실시하기 위하여 프로브 핀을 사용하여 전자부품모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속한다.

즉, 전자부품모듈 내의 전극부와 검사장치를 접속하는 데 있어, 프로브 핀을 활용하여 전극부와 검사장치를 전기적으로 접속할 수 있으며, 이때 프로브 핀은 전자부품모듈의 전극 단자와 검사장치의 사이에서 적절한 접촉압력을 통해 안정적으로 접촉될 수 있다.

한편, 안정적인 접촉을 위하여 종래에는, 스프링을 포함하는 포고핀이 사용되었으나, 이 경우 검사 대상물과 검사장치 사이의 통전 경로가 증가하여 전기저항이 증가되고 이에 따라 고전력이 요구되는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은, 상기와 같은 본 발명의 문제점을 해결하기 위하여, 검사 대상물과 검사장치 사이의 접촉 신뢰성이 높으면서도, 접촉 저항이 낮은 프로브 핀 및 이를 구비하는 회로 검사장치를 제공하는 데 있다.

본 발명은, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 길이방향을 따라 신축하는 탄성부(100)와; 상기 탄성부(100)의 길이방향의 일단에 형성되는 제1접촉부(200)와; 상기 탄성부(100)의 길이방향의 타단에 형성되는 제2접촉부(300)를 포함하며, 상기 탄성부(100)는, 상기 제1접촉부(200)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제1탄성부(400)와, 상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제2탄성부(500)와, 상기 제1탄성부(400)로부터 상기 제1접촉부(200)와 상기 2접촉부(300) 사이를 잇는 가상의 수직선(L)에 접근하는 방향으로 연장되어 형성되는 제4탄성부(1000)와, 상기 제4탄성부(1000)로부터 상기 수직선(L)으로부터 이격되는 방향으로 연장되어 형성되는 제5탄성부(1100)와, 상기 제5탄성부(1100)와 상기 제2탄성부(500) 사이에서 상기 수직선(L)에 접근하는 방향으로 형성되는 제6탄성부(1200)를 포함하는 프로브 핀을 개시한다.

상기 제1탄성부(400)는, 상기 제1접촉부(200)와 상기 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제1직선부(410)와, 일단이 상기 제1직선부(410)에 접속되고 타단이 상기 제3탄성부(600)의 일단에 접속되는 원호형의 제1만곡부(420)를 포함할 수 있다.

상기 제1탄성부(400)는, 상기 제1직선부(410)의 저면에 하측으로 돌출되도록 형성되는 돌출부(430)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제2탄성부(500)는, 상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제2직선부(510)와, 일단이 상기 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 상기 제3탄성부(600)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(520)를 포함할 수 있다.

상기 탄성부(100)는, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 한 쌍의 탄성편(110, 120)으로 형성될 수 있다.

상기 탄성부(100)는, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 상기 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 연결하는 적어도 하나의 브릿지(130)를 포함할 수 있다.

상기 제2탄성부(500)는, 상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2직선부(510)와, 일단이 상기 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 상기 제6탄성부(1200)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(520)를 포함할 수 있다.

상기 제2접촉부(300)는, 상기 탄성부(100)의 하측에서 연장되어 상기 수직선(L)에 교차하는 방향으로 형성되는 제2연결부(310)와, 상기 제2연결부(310)로부터 하측으로 돌출형성되어 기판과 접촉하는 제2접촉면(320)과, 상기 제2연결부(310)로부터 상기 수직선(L)측에서 상측으로 돌출형성되는 제2연장부(330)를 포함할 수 있다.

상기 제2직선부(510)는, 상기 제2연장부(330)에 구비될 수 있다.

또한, 본 발명은, 상부에 복수의 수용홈(710)들이 일렬로 배열되어 형성되는 수용지그(700)와;상기 복수의 수용홈(710)들에 장착되는 청구항 제1항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 따른 복수의 프로브 핀(1)들과; 상기 수용지그(700)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 상기 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 개구부(810)가 형성되는 본체부(800)를 포함하는 회로 검사장치를 개시한다.

상기 본체부(800)의 상측에서 상하방향으로 이동가능하도록 설치되어, 가압을 통한 상하이동을 통해 상기 프로브 핀(1)의 적어도 일부를 상측으로 노출시키는 커버부(900)를 포함할 수 있다.

상기 커버부(900)는, 상기 복수의 수용홈(710)들에 대응되어 복수의 개구홈(911)들이 형성되는 커버플레이트(910)와, 상기 커버플레이트(910)와 상기 본체부(800) 사이에 구비되어 압축 및 복원력을 통해 상기 커버플레이트(910)를 상하로 이동하도록 하는 복수의 탄성체(920)들을 포함할 수 있다.

상기 수용지그(700)는, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 하측으로 노출되는 관통홈(721)이 형성되는 베이스(720)와, 상기 복수의 프로브 핀(1)들이 장착되는 상기 복수의 수용홈(710)이 형성되도록 상기 베이스(720)의 상부면에 구비되는 수용부(730)를 포함할 수 있다.

상기 제1접촉부(200)는, 상기 탄성부(100)의 일단에서 상측으로 연장되어 형성되는 제1연결부(210)와, 상기 제1연결부(210)의 끝단에 형성되어 검사대상물의 전극부와 접촉되는 제1접촉면(220)을 포함할 수 있다.

상기 제1접촉면(220)은, 상기 검사대상물 측으로 볼록하게 형성되는 볼록면(221a, 222a, 223a, 224a)과, 상기 볼록면(221a, 222a, 223a, 224a)으로부터 상기 제1연결부(210)를 향해서 연장되어 형성되는 측면부(221b, 222b, 223b, 224c)를 포함하며, 상기 측면부(221b, 222b, 223b, 224c)는, 폭이 상기 제1연결부(210)의 폭보다 작을 수 있다.

상기 제1접촉면(220)은, 상기 측면부(221b)로부터 상기 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 연장형성되는 제1경사부(221c)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제1접촉면(220)은, 상기 측면부(224c)로부터 상기 제1연결부(210)를 향해서 수평방향으로 연장형성되는 연장부(224d)와, 상기 볼록면(224a)의 일측 끝단과 상기 측면부(224c) 사이에 상기 측면부(224c)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제1경사부(224b)를 포함할 수 있다.

상기 제1접촉면(220)은, 상기 측면부(222b)의 일측 끝단과 상기 제1연결부(210) 사이에 상기 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제1경사부(222c)와, 상기 측면부(222b)의 타측 끝단으로부터 상기 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제2경사부(222d)를 포함할 수 있다.

상기 제2경사부(222d)는, 상기 제1경사부(222c)보다 기울기가 작을 수 있다.

본 발명에 따른 프로브 핀은, 길이방향으로 신축가능한 탄성부를 포함함으로써, 검사장치와 검사대상물 사이의 다양한 환경에서도 안정된 접촉을 유지하여, 접촉신뢰성이 높은 이점이 있다.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀은, 길이방향으로 신축가능한 탄성부를 포함함으로써, 다양한 검사대상물에도 적용이 가능하여 범용성이 뛰어난 이점이 있다.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀은, 검사장치와 검사대상물 사이의 접촉 상황에서 접촉경로를 최단거리로 유지함으로써 접촉신뢰성은 높이면서도 접촉저항은 낮은 이점이 있다.

또한, 본 발명에 따른 프로브 핀은, 종래 사용되는 포고핀에 비해 뛰어난 내구성을 가지며, 보다 구체적으로 종래 포고핀이 10만 내지 15만회의 압축 및 팽창이 수행되는 경우 스프링 탄성력이 저하되어 그 내구성이 저하되나, 본 발명에 따른 프로브 핀은 탄성부를 이용하여 80만회 내지 120만회의 압축 및 팽창의 반복 수행에도 내구성이 유지되는 이점이 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 프로브 핀이 구비되는 검사 장치의 모습을 보여주는 사시도이다.
도 2는, 도 1의 검사 장치의 구성을 보여주는 분해 사시도이다.
도 3은, 도 1의 검사 장치의 모습을 보여주는 단면도이다.
도 4는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 일예를 보여주는 측면도이다.
도 5는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 6은, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 7은, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 8은, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 9는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 10은, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 11은, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 12는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 13은, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 14는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀 중 제1접촉부의 제1실시예를 보여주는 도면이다.
도 15는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀 중 제1접촉부의 제2실시예를 보여주는 도면이다.
도 16는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀 중 제1접촉부의 제3실시예를 보여주는 도면이다.
도 17는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀 중 제1접촉부의 제4실시예를 보여주는 도면이다.
도 18는, 도 1의 검사 장치에 사용되는 프로브 핀 중 제1접촉부의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.

이하 본 발명에 따른 프로브 핀 및 그를 가지는 회로 검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 회로 검사장치는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상부에 복수의 수용홈(710)들이 일렬로 배열되어 형성되는 소켓부(700)와; 상기 복수의 수용홈(710)들에 장착되는 복수의 프로브 핀(1)들과; 상기 소켓부(700)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 상기 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 개구부(810)가 형성되는 본체부(800)를 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 본체부(800)의 상부에 상하방향으로 이동가능하도록 결합되어, 가압을 통한 상하이동을 통해 프로브 핀(1)의 적어도 일부를 상측으로 노출시키는 커버부(900)를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 소켓부(700)의 하측면에 탈착가능하도록 구비되며, 프로브 핀(1)의 일단에 접촉되어 검사 대상물를 검사하기 위한 기판을 추가로 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 검사 대상물은, 전기적 접촉을 통해 사용되는 전자부품이면 어떠한 구성도 가능하다.

예를 들면, 상기 검사 대상물은, FPC(Flexible Printed Circuit), FFC(Flexible, Flat Cable), 모바일 등에 사용되는 카메라 모듈, LCD, OLED, B2B 커넥터 등의 검사를 위하여 사용될 수 있다.

상기 소켓부(700)는, 상부에 복수의 수용홈(710)들이 일렬로 배열되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 소켓부(700)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 하측으로 노출되는 관통홈(721)이 형성되는 베이스(720)와, 복수의 프로브 핀(1)들이 장착되는 복수의 수용홈(710)이 형성되도록 베이스(720)의 상부면에 구비되는 수용부(730)를 포함할 수 있다.

즉, 상기 소켓부(700)는, 복수의 프로브 핀(1)들이 장착되며, 본체부(800)와의 탈착이 가능하도록 함으로써, 복수의 프로브 핀(1)들 중 일부가 불량 또는 손상된 경우 본체부(800)로부터 분리하여 프로브 핀(1)들 중 일부 또는 전부를 교체할 수 있다.

상기 베이스(720)는, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 하측으로 노출되는 관통홈(721)이 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 베이스(720)는, 판상의 플레이트로서, 관통홈(721)이 장착되는 프로브 핀(1)들에 대응되도록 형성되어, 후술하는 프로브 핀(1)의 제2접촉부(300)가 하측으로 노출되도록 할 수 있다.

이를 통해, 상기 베이스(720)는, 하측에 구비되는 검사를 위한 기판, 즉 PCB와 전기적으로 접촉될 수 있다.

한편, 상기 베이스(720)는, 적어도 하나, 바람직하게는 모서리에 4개의 베이스볼트공(722)이 형성되어, 후술하는 본체부(800)와 볼트결합을 통해 결합할 수 있다.

상기 수용부(730)는, 복수의 프로브 핀(1)들이 장착되는 복수의 수용홈(710)이 형성되도록 베이스(720)의 상부면에 구비되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 수용부(730)는, 베이스(720)의 상부면에 상측으로 돌출되어 형성되며, 복수의 프로브 핀(1)들이 장착될 수 있도록 일렬로 배열되어 형성되는 복수의 수용홈(710)들을 포함할 수 있다.

한편, 상기 수용부(730)는, 수용홈(710)의 바닥면에 후술하는 프로브 핀(1)의 제2직선부(510)가 면접촉되어 지지되는 지지면(731)이 형성될 수 있다.

또한, 상기 수용부(730)는, 일렬로 배열되는 복수의 수용홈(710)들의 배열방향에 대하여 수직방향으로 한 쌍의 프로브 핀(1)이 서로 대칭되어 삽입되도록 복수의 수용홈(710)들의 배열방향으로 수용홈(710)을 가로질러 구비되는 차단부(732)를 포함할 수 있다.

상기 본체부(800)는, 소켓부(700)의 상측에서 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 개구부(810)가 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 본체부(800)는, 소켓부(700)의 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 개구부(810)가 형성되는 바디부(820)와, 바디부(820)의 하측면에 베이스(720)가 삽입되도록 형성되는 제1단차부(830)와, 제1단차부(830)에 연장되어 수용부(730)가 삽입되도록 형성되는 제2단차부(840)를 포함할 수 있다.

즉, 상기 본체부(800)는, 소켓부(700)의 상측에서 결합되며, 일렬로 배열되는 복수의 수용홈(710)들에 대응되어 평면 상 직사각형 형상의 개구부(810)가 형성되는 바디부(820)를 포함하고, 이때, 수용부(730)와 베이스(720)가 각각 삽입되도록 각각에 대응되는 제2단차부(840) 및 제1단차부(830)가 하부면에 형성될 수 있다.

상기 바디부(820)는, 소켓부(700)에 상측에서 결합되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 바디부(820)는, 소켓부(700)의 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 크기의 개구부(810)가 형성될 수 있으며, 소켓부(700), 보다 상세하게는 베이스(720)와 볼트결합을 위한 바디볼트공(821)이 베이스볼트공(722)에 대응되는 위치에 형성될 수 있다.

이를 통해, 상기 바디부(820)는, 베이스(720)와 볼트결합을 통해 결합될 수 있으며, 볼트를 통해 결합되는 바 소켓부(700)와 쉽게 탈착될 수 있다.

상기 제1단차부(830)는, 바디부(820)의 하측면에 베이스(720)가 삽입되도록 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1단차부(830)는, 베이스(720)의 저면과 바디부(820)의 저면이 수평을 이루도록, 베이스(720)의 두께에 대응되도록 바디부(820)의 하측면에 형성될 수 있으며, 이로써 베이스(720)가 삽입되어 본체부(800)와 결합될 때, 저면이 수평을 이룰 수 있다.

상기 제2단차부(840)는, 제1단차부(830)에 연장되어 수용부(730)가 삽입되도록 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제2단차부(840)는, 소켓부(700)의 상측으로 돌출되어 형성되는 수용부(730)에 대응되는 크기로 형성되어, 수용부(730)가 삽입되도록 제1단차부(830)에 연장되어 형성될 수 있다.

또한, 상기 제2단차부(840)는, 프로브 핀(1)이 장착된 상태의 수용부(730)가 삽입됨으로써, 후술하는 제1직선부(410)의 상부면에 면접촉되어 지지할 수 있다.

상기 커버부(900)는, 본체부(800)의 상측에서 상하방향으로 이동가능하도록 설치되어, 가압을 통한 상하이동을 통해 프로브 핀(1)의 적어도 일부를 상측으로 노출시키는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 커버부(900)는, 복수의 수용홈(710)들에 대응되어 복수의 개구홈(911)들이 형성되는 커버플레이트(910)와, 커버플레이트(910)와 본체부(800) 사이에 구비되어 압축 및 복원력을 통해 커버플레이트(910)를 상하로 이동하도록 하는 복수의 탄성체(920)들을 포함할 수 있다.

상기 커버플레이트(910)는, 복수의 수용홈(710)들에 대응되어 복수의 개구홈(911)들이 형성되어, 상하이동 시, 복수의 수용홈(710)들에 장착되어 설치되는 복수의 프로브 핀(1)의 상측 일부가 노출되도록 하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 커버플레이트(910)는, 상측에 검사 대상물이 위치하며, 검사 대상물이 위치함에 따른 가압으로 하측으로 이동하여, 노출된 프로브 핀(1)의 상측 일부가 검사 대상물의 전극부에 접촉하는 구성일 수 있다.

따라서, 상기 커버플레이트(910)는, 검사 대상물과의 접촉이 수반되는 바, 절연재질로 구비될 수 있다.

또한, 상기 커버플레이트(910)는, 본체부(800)에 볼트 결합되는 볼트(930)가 관통되도록 형성되는 커버볼트공(912)을 포함할 수 있다.

즉, 상기 커버플레이트(910)는, 볼트(930)가 커버볼트공(912)을 관통하여 본체부(800)에 결합되며, 이때 상하이동 가능하도록, 커버볼트공(912)이 볼트(930)의 직경보다 크게 형성될 수 있다.

상기 복수의 탄성체(920)들은, 커버플레이트(910)가 상하이동 가능하도록, 커버플레이트(910)와 본체부(800) 사이에 구비되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 복수의 탄성체(920)들은, 본체부(800)의 상면 또는 커버플레이트(910)의 하부면 중 적어도 하나에 일부가 삽입되도록 구비되며, 검사 대상물의 자중 또는 사용자의 가압에 따라 커버플레이트(910)가 하측으로 이동하는 경우 압축되고, 외력이 제거된 경우에는 복원력에 따라 커버플레이트(910)를 상측으로 이동시키는 구성일 수 있다.

한편, 상기 복수의 탄성체(920)들은, 직사각형 형상의 커버플레이트(910) 및 본체부(800)의 모서리에 각각 구비될 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 하나의 본체부(800)에 복수의 소켓부(700) 및 커버부(900)가 결합될 수 있으며, 이때, 각 소켓부(700)의 수용부(730) 높이를 조절하여 단차를 가지고 형성되는 하나의 본체부(800)에 적용될 수 있다.

상기 복수의 프로브 핀(1)들은, 복수의 수용홈(710)들에 장착되어, 상측에서 검사 대상물의 전극부와 전기적으로 접촉되고, 하측에서 검사를 위한 기판, PCB와 접촉되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

본 발명에 따른 프로브 핀은, 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 길이방향을 따라 신축하는 탄성부(100)와, 탄성부(100)의 길이방향의 일단에 형성되는 제1접촉부(200)와; 탄성부(100)의 길이방향의 타단에 형성되는 제2접촉부(300)를 포함한다.

상기 탄성부(100)는, 길이방향을 따라 신축하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 탄성부(100)는, 제1접촉부(200)와 제2접촉부(300)를 연결하는 길이방향에 대하여, 제1접촉부(200)와 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제1탄성부(400)와, 제2접촉부(300)와 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제2탄성부(500)와, 제1탄성부(400) 및 제2탄성부(500) 사이에서 제1접촉부(200)에 접근하는 방향으로 형성되는 제3탄성부(600)를 포함할 수 있다.

상기 제1탄성부(400)는, 제1접촉부(200)와 제2접촉부(300)를 연결하는 길이방향에 대하여, 제1접촉부(200)와 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1탄성부(400)는, 제1접촉부(200)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제1직선부(410)와 일단이 제1직선부(410)에 접속되고 타단이 제3탄성부(600)의 일단에 접속되는 원호형의 제1만곡부(420)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 제1탄성부(400)는, 제1직선부(410)의 저면에 하측으로 돌출되도록 형성되는 돌출부(430)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제1직선부(410)는, 제1접촉부(200)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1직선부(410)는, 제1접촉부(200)의 하측 끝단에서 굽어져 수평방향으로 형성될 수 있으며, 이를 통해 상부면이 본체부(800)에 면접촉되어 설치될 수 있다.

상기 제1직선부(410)는, 신축성 있는 재질로 형성될 수 있으며, 제1접촉부(200)의 하측으로의 가압 시, 제1접촉부(200)와 접속되는 일단이 하측으로 하강하고, 제1만곡부(420)와 접속되는 타단이 유지됨으로써 전체적으로 길이방향에 대하여 신축하도록 할 수 있다.

한편, 상기 제1직선부(410)는, 접속면이 제1접촉부(200)와 길이방향에 평행하도록 접속될 수 있으며, 다른 예로서 접속면이 제1접촉부(200)와 길이방향에 직교하도록 접속될 수 있고, 접속면이 제1접촉부(200)와 길이방향에 경사를 가지고 교차하도록 접속될 수도 있다.

상기 제1만곡부(420)는, 일단이 제1직선부(410)에 접속되고 타단이 제3탄성부(600)의 일단에 접속되는 원호형의 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1만곡부(420)는, 제1직선부(410)의 제1접촉부(200)와의 접속되는 일단의 반대측 타단에서 연장형성되며, 가상의 중심이 제1직선부(410)의 하측에 위치하도록 원호형으로 형성될 수 있다.

이때, 상기 제1만곡부(420)는, 탄성부(100)의 전체적인 길이방향에 대한 신축을 위하여, 제1직선부(410)가 가압에 따른 변형 시 경사지기 유리하도록 형성될 수 있으며, 이를 위하여 가상의 중심에 대하여 중심각이 180도 이상일 수 있다.

상기 돌출부(430)는, 제1직선부(410)의 저면에 하측으로 돌출되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 돌출부(430)는, 제1직선부(410)의 저면에 제1접촉부(200)와 근거리에서 상대적으로 완만한 경사를 가지고 형성되는 제1돌출면(431)과, 제1돌출면(431)으로부터 연장되며 상대적으로 큰 경사를 가지고 형성되는 제2돌출면(432)을 포함할 수 있다.

즉, 상기 돌출부(430)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 측면 상 제1접촉부(200)측에 이격되는 방향으로 갈수록 하측으로 돌출되는 제1돌출면(431)과, 제1돌출면(431)으로부터 연장되어 제1접촉부(200) 측에 이격되는 방향으로 갈수록 제1직선부(410) 측으로 복원되는 제2돌출면(432)을 포함할 수 있다.

이때의 제1돌출면(431)은, 길이방향과 평행인 가상의 선에 대하여 상대적으로 큰 사잇각을 가질 수 있으며, 제2돌출면(432)은, 길이방향과 평행인 가상의 선에 대하여 상대적으로 작은 사잇각을 가질 수 있다.

즉, 상기 제1돌출면(431)은, 상대적으로 완만한 경사를 가지며, 제2돌출면(432)은 상대적으로 큰 경사를 가지도록 형성될 수 있다.

상기 제2탄성부(500)는, 제2접촉부(300)와 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제2탄성부(500)는, 제2접촉부(300)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제2직선부(510)와, 일단이 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 제3탄성부(600)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(520)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 제2탄성부(500)는, 전술한 돌출부(430)에 대응되는 구성으로서, 제2직선부(510)의 상부면에서 상측으로 제3탄성부(600)를 향하여 형성되는 돌출부분(미도시)을 추가로 포함할 수 있다.

상기 제2직선부(510)는, 제2접촉부(300)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 제2직선부(510)는, 길이방향에 대하여 제1직선부(410)와 같은 방향으로 연장되어 형성될 수 있으며, 소켓부(700)의 수용부(730)의 지지면(731)에 면접촉되어 안착될 수 있다.

상기 제2직선부(510)는, 제1접촉부(200)의 가압 시, 신축을 위하여 지지되는 구성으로서, 신축 가능한 재질일 수 있으나 단단한 재질이어도 무방하다.

즉, 상기 제2직선부(510)는, 수용부(730)의 지지면(731)에 지지되어 제1탄성부(400) 및 제3탄성부(600)가 길이방향으로 신축하도록 일측을 지지하는 구성일 수 있다.

한편, 상기 제2직선부(510)는, 제1직선부(410)와 같이 제2접촉부(300)와의 접속면이 길이방향에 평행하도록 접속될 수 있으며, 다른 예로서, 접속면이 제2접촉부(300)와 길이방향에 직교 또는 경사를 가지고 교차하도록 접속될 수 있다.

상기 제2만곡부(520)는, 일단이 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 제3탄성부(600)의 타단에 접속되는 원호형의 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제2만곡부(520)는, 제2직선부(510)의 제2접촉부(300)와의 접속되는 일단의 반대측 타단에서 연장형성되며, 가상의 중심이 제2직선부(510)의 하측에 위치하도록 원호형으로 형성될 수 있다.

이때, 상기 제2만곡부(520)는, 탄성부(100)의 전체적인 길이방향에 대한 신축을 위하여, 후술하는 제2접속부(620)가 가압에 따른 변형 시 경사지기 유리하도록 형성될 수 있으며, 이를 위하여 가상의 중심에 대하여 중심각이 180도 이상일 수 있다.

상기 제3탄성부(600)는, 제1탄성부(400) 및 제2탄성부(500) 사이에서 제1접촉부(200)에 접근하는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제3탄성부(600)는, 제1탄성부(400)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제1접속부(610)와, 제2탄성부(500)와 길이방향에 교차하는 방향으로 접속하는 제2접속부(620)와, 제1접속부(610) 및 제2접속부(620) 사이에 접속되는 원호형의 제3만곡부(630)를 포함할 수 있다.

상기 제1접속부(610)는, 제1탄성부(400)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1접속부(610)는, 일단이 제3만곡부(630)와 접속하고 타단이 제1만곡부(420)와 접속하도록 형성되며, 길이방향에 교차하는 방향으로 경사를 가지고 형성될 수 있다.

보다 구체적으로, 상기 제1접속부(610)는, 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1만곡부(420)로부터 제3만곡부(630)로 갈수록 상측으로 올라가는 경사를 가질 수 있다.

즉, 상기 제1접속부(610)는, 제1탄성부(400)로부터 제1접촉부(200)를 향하는 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.

이를 통해, 상기 제1접속부(610)는, 탄성부(100)의 압축 시 제3만곡부(630)가 제1직선부(410) 및 제2직선부(510)와 접촉되도록 함으로써, 전체적인 전기저항을 줄일 수 있다.

상기 제2접속부(620)는, 제2탄성부(500)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제2접속부(620)는, 일단이 제3만곡부(630)와 접속하고 타단이 제1만곡부(420)와 접속하도록 형성되며, 길이방향에 교차하는 방향으로 경사를 가지고 형성될 수 있다.

보다 구체적으로, 상기 제2접속부(620)는, 제2만곡부(520)로부터 제3만곡부(630)로 갈수록 하측으로 내려가는 경사를 가질 수 있다.

즉, 상기 제2접속부(620)는, 제2탄성부(500)로부터 제2접촉부(300)를 향하는 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.

이를 통해, 상기 제2접속부(620)는, 탄성부(100)의 압축 시 제3만곡부(630)가 제2직선부(510)와 접촉되도록 함으로써, 전기저항을 줄일 수 있다.

상기 제3만곡부(630)는, 제1접속부(610) 및 제2접속부(620) 사이에 접속되는 원호형의 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제3만곡부(630)는, 제1접속부(610)와 제2접속부(620) 사이에서 원호형으로 형성될 수 있으며, 가상의 중심을 기준으로 중심각이 180도 이상이 되도록 형성될 수 있다.

한편, 상기 탄성부(100)는, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 한 쌍의 탄성편(110, 120)으로 형성될 수 있다.

또한, 상기 탄성부(100)는, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 연결하는 적어도 하나의 브릿지(130)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 한 쌍의 탄성편(110, 120)들은, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상으로 탄성부(100)를 이루는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 한 쌍의 탄성편(110, 120)들은, 신축 가능한 재질로서, 길이방향의 신축성을 증대시키기 위하여 서로 간극을 두고 배치될 수 있다.

상기 브릿지(130)는, 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 가로질러 연결하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 브릿지(130)는, 서로 간극을 가지고 배치되는 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 가로질러 서로 연결할 수 있으며, 이를 통해 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이에 형성되는 간극을 차단할 수 있다.

한편, 상기 브릿지(130)는, 복수개 형성될 수 있으며, 보다 구체적으로는 도 6에 도시된 바와 같이, 제1직선부(410)와 제2접속부(620)에 각각 형성될 수 있다.

이를 통해, 검사 대상물과 검사를 위한 기판 사이의 접촉경로를 짧게하여 전기저항을 감소할 수 있다.

상기 제1접촉부(200)는, 탄성부(100)의 길이방향의 일단에 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

특히, 상기 제1접촉부(200)는, 적어도 일부가 커버부(900)의 상측으로 노출됨으로써, 상측에 위치하는 검사 대상물의 전극부와 접촉되어 통전될 수 있다.

상기 제1접촉부(200)는, 탄성부(100)의 일단에서 상측으로 연장되어 형성되는 제1연결부(210)와, 제1연결부(210)의 끝단에 형성되어 검사 대상물의 전극부와 접촉되는 제1접촉면(220)을 포함할 수 있다.

상기 제1연결부(210)는, 탄성부(100)의 일단, 보다 구체적으로는 제1직선부(410)로부터 상측으로 연장되어 형성될 수 있다.

이때, 상기 제1연결부(210)는, 적어도 일부가 간극을 가지는 띠형상으로 형성될 수 있다.

상기 제1접촉면(220)은, 제1연결부(210)의 끝단에 형성되어 검사 대상물의 전극부와 접촉되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

일예로, 상기 제1접촉면(220)은, 'U'자 형태의 홈을 가지도록 형성됨으로써, 검사 대상물의 전극부와 안정적인 접촉을 유도할 수 있다.

한편, 다른 예로서, 상기 제1접촉면(220)은, 측면 상 경사를 가지도록 형성될 수 있으며, 중심이 볼록한 형상으로 형성될 수도 있다.

상기 제2접촉부(300)는, 탄성부(100)의 길이방향의 타단에 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 제2접촉부(300)는, 적어도 일부가 소켓부(700)의 하측으로 노출됨으로써, 하측에 위치하는 검사를 위한 기판 또는 PCB와 접촉되어 통전되도록 할 수 있다.

상기 제2접촉부(300)는, 탄성부(100)의 타단에서 하측으로 연장되어 형성되는 제2연결부(310)와, 제2연결부(310)의 끝단에 형성되어 기판 또는 PCB와 접촉되는 제2접촉면(320)을 포함할 수 있다.

또한, 상기 제2접촉부(300)는, 제2연결부(310)를 기준으로 제2직선부(510)의 반대측으로 연장형성되는 연장부(330)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제2연결부(310)는, 탄성부(100)의 타단, 보다 구체적으로는 제2직선부(510)로부터 하측으로 연장되어 형성될 수 있다.

상기 제2접촉면(320)은, 제2연결부(310)의 끝단에 형성되어 검사를 위한 기판과 접촉되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

일예로, 상기 제2접촉면(320)은, 'U'자 형태의 홈을 가지도록 형성됨으로써, 검사 대상물의 전극부와 안정적인 접촉을 유도할 수 있다.

한편, 다른 예로서, 상기 제2접촉면(320)은, 측면 상 경사를 가지도록 형성될 수 있으며, 중심이 볼록한 형상으로 형성될 수도 있다.

한편, 다른 실시 예로서 본 발명에 따른 프로브 핀은, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 탄성부(100)가 상기 제1접촉부(200)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제1탄성부(400)와, 상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제2탄성부(500)와, 상기 제1탄성부(400)로부터 상기 제1접촉부(200)와 상기 2접촉부(300) 사이를 잇는 가상의 수직선(L)에 접근하는 방향으로 연장되어 형성되는 제4탄성부(1000)와, 상기 제4탄성부(1000)로부터 상기 수직선(L)으로부터 이격되는 방향으로 연장되어 형성되는 제5탄성부(1100)와, 상기 제5탄성부(1100)와 상기 제2탄성부(500) 사이에서 상기 수직선(L)에 접근하는 방향으로 형성되는 제6탄성부(1200)를 포함할 수 있다.

이때, 제1접촉부(200) 구성은 전술한 구성과 동일하며, 이하 각 구성 중 전술한 실시예와 차이가 있는 구성에 대하여만 설명하고, 전술한 구성의 동일한 내용은 생략한다.

상기 제2탄성부(500)는, 제2접촉부(300)와 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제2탄성부(500)는, 제2접촉부(300)와 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2직선부(510)와, 일단이 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 제6탄성부(1200)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(520)를 포함할 수 있다.

즉, 상기 제2직선부(510)는, 수직선(L)에 교차하는 방향으로 제2접촉부(300)에 구비될 수 있다.

상기 제2접촉부(300)는, 탄성부(100)의 하측에서 연장되어 수직선(L)에 교차하는 방향으로 형성되는 제2연결부(310)와, 제2연결부(310)로부터 하측으로 돌출형성되어 기판과 접촉하는 제2접촉면(320)과, 제2연결부(310)로부터 수직선(L)측에서 상측으로 돌출형성되는 제2연장부(330)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.

상기 제2연결부(310)는, 탄성부(100)의 하측에서 연장되어 제1접촉부(200)와 제2접촉부(300)를 잇는 가상의 선인 수직선(L)에 교차하는 방향으로 형성될 수 있다.

즉, 상기 제2연결부(310)는, 탄성부(100)의 하측에서 수직선(L)에 교차하는 방향으로 형성되어 소켓부(700)의 수용부(730) 중 지지면(731)에 밀착될 수 있다.

이 경우, 상기 제2연결부(310)는, 저면(311)이 수용부(730)의 지지면(731)에 밀착가능하도록 수평을 이루어 형성될 수 있으며, 수직선(L)에 직교하도록 형성될 수 있다.

반면, 상기 제2연결부(310)는, 상면(312)이 제2직선부(510)의 길이방향으로의 탄성력에 따른 유동과의 간섭을 방지하기 위하여, 수직선(L)에서 멀어질수록 하측에 위치하는 기울기를 가질 수 있다.

보다 구체적으로, 상기 제2연결부(310)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상면(312)이 제2직선부(510)의 외력이 존재하지 않을 때의 방향과 평행하도록 형성될 수 있으며, 수직선(L)에 가까워질수록 두께가 두꺼워지도록 경사지게 형성될 수 있다.

상기 제2연장부(330)는, 제2연결부(310)로부터 수직선(L)측에서 상측으로 돌출형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 제2연장부(330)는, 제2연결부(310)로부터 상측으로 돌출형성될 수 있으며, 이를 통해 제2직선부(510)와 연결될 수 있다.

즉, 상기 제2연결부(310)와 평행하도록 형성되는 제2직선부(510)가 수직선(L) 측에 접근하는 방향으로 형성된 상태에서, 제2연결부(310)로부터 수직선(L)측에서 상측으로 돌출형성되는 제2연장부(330)에 연결되어 접속할 수 있다.

상기 제4탄성부(1000)는, 제1탄성부(400)로부터 제1접촉부(200)와 제2접촉부(300) 사이를 잇는 가상의 수직선(L)에 접근하는 방향으로 연장되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제4탄성부(1000)는, 제1탄성부(300)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제4접속부(1010)와, 제5탄성부(1100)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제5접속부(1020)와, 제4접속부(1010) 및 제5접속부(1020) 사이에 접속되는 원호형의 제4만곡부(1030)를 포함할 수 있다.

이때, 상기 제4접속부(1010) 및 제5접속부(1020)는, 길이방향에 직교하는 방향으로 형성될 수 있으며, 다른 예로서, 제4접속부(1010)의 경우 수직선(L)에 접근할수록 상측으로 향하는 방향으로 길이방향에 교차하며, 제5접속부(1020)의 경우 수직선(L)에 접근할수록 하측으로 향하는 방향으로 길이방향에 교차하도록 구비될 수 있다.

상기 제4만곡부(1030)는, 제4접속부(1010)와 제5접속부(1020) 사이에서 원호형으로 형성될 수 있으며, 가상의 중심을 기준으로 중심각이 180도 이상이 되도록 형성될 수 있다.

상기 제5탄성부(1100)는, 제4탄성부(1000)로부터 수직선(L)으로부터 이격되는 방향으로 연장되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제5탄성부(1100)는, 제4탄성부(1000)의 제5접속부(1020)와, 제6탄성부(1000)의 제6접속부(1210) 사이에 구비되는 제5만곡부(1110)를 포함할 수 있다.

이 경우, 상기 제5만곡부(1110)는, 제5접속부(1020)와 제6접속부(1210) 사이에서 원호형으로 형성될 수 있으며, 가상의 중심에 대하여 중심각이 180도 이상이 되도록 형성될 수 있다.

상기 제6탄성부(1200)는, 제5탄성부(1100)로부터 수직선(L)으로부터 이격되는 방향으로 연장되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제6탄성부(1200)는, 제4탄성부(1000)의 구성과 같이, 제5탄성부(1100)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제6접속부(1210)와, 제2탄성부(500)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제7접속부(1220)와, 제6접속부(1210) 및 제7접속부(1220) 사이에 접속되는 원호형의 제6만곡부(1230)를 포함할 수 있다.

이때, 상기 제6접속부(1210) 및 제7접속부(1220)는, 길이방향에 직교하는 방향으로 형성될 수 있으며, 다른 예로서, 제6접속부(1210)의 경우 수직선(L)에 접근할수록 상측으로 향하는 방향으로 길이방향에 교차하며, 제7접속부(1220)의 경우 수직선(L)에 접근할수록 하측으로 향하는 방향으로 길이방향에 교차하도록 구비될 수 있다.

상기 제6만곡부(1230)는, 제6접속부(1210)와 제7접속부(1220) 사이에서 원호형으로 형성될 수 있으며, 가상의 중심을 기준으로 중심각이 180도 이상이 되도록 형성될 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 제1접촉부(200)는, 도 10 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 탄성부(100)의 일단에서 상측으로 연장되어 형성되는 제1연결부(210)와, 제1연결부(210)의 끝단에 형성되어 검사 대상물의 전극부와 접촉되는 제1접촉면(220)을 포함할 수 있으며, 이때, 제1접촉면(220)은 다양한 형상을 가질 수 있다.

예를 들면, 상기 제1접촉면(220)은, 상측으로 향할수록 평면적이 작아지도록 측면 상 상측으로 갈수록 폭이 작아지는 형태로 형성될 수 있으며, 다른 예로서, 상측으로 향할수록 평면적이 커지도록 측면 상 상측으로 갈수록 폭이 넓어지는 형상을 가질 수 있다.

또한, 상기 제1접촉면(220)은, 전극부와 접촉하는 접촉면이 오목한 형상을 가지거나, 볼록한 형상을 가질 수 있으며 다른 예로서, 평평하게 형성될수도 있음은 또한 물론이다.

또한, 본 발명에 따른 제2접촉부(300)은, 도 8 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 탄성부(100)의 타단에서 하측으로 연장되어 형성되는 제2연결부(310)와, 제2연결부(310)의 끝단에 형성되어 기판 또는 PCB와 접촉되는 제2접촉면(320)을 포함할 수 있다.

이때 상기 제2접촉면(320)은, 제2연결부(310)를 기준으로 탄성부(100)가 형성되는 일측에 구비될 수 있으며, 다른 예로서, 탄성부(100)가 형성되는 일측의 반대편인 타측에 치우쳐 구비될 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 프로브 핀은, 도 14 내지 도 18에 도시된 바와 같이, 검사대상물의 전극부와 전기적 및 물리적으로 접촉하는 제1접촉부를 포함하며, 이때의 제1접촉부(200)는, 탄성부(100)의 일단에서 상측으로 연장되어 형성되는 제1연결부(210)와, 제1연결부(210)의 끝단에 형성되어 검사대상물의 전극부와 접촉되는 제1접촉면(220)을 포함한다.

상기 제1연결부(210) 및 상기 제1접촉면(220)은 전술한 바 있으므로, 이하 다른 실시예에 따른 차이점을 설명하고, 동일한 내용은 생략한다.

상기 제1접촉면(220)은, 도 14 내지 도 17에 도시된 바와 같이, 검사대상물 측으로 볼록하게 형성되는 볼록면(221a, 222a, 223a, 224a)과, 볼록면(221a, 222a, 223a, 224a)으로부터 제1연결부(210)를 향해서 연장되어 형성되는 측면부(221b, 222b, 223b, 224c)를 포함한다.

보다 구체적으로, 제1실시예에 따른 상기 제1접촉면(220)은, 도 14에 도시된 바와 같이, 검사대상물측으로 볼록하게 형성되는 볼록면(221a)과, 볼록면(221a)으로부터 제1연결부(210)를 향해서 연장되어 형성되는 측면부(221b)와, 측면부(221b)와 제1연결부(210) 사이에서 제1연결부(210)를 향하여 폭이 증가하면서 형성되는 경사부(221c)를 포함할 수 있다.

이때, 상기 볼록면(221a)은, 검사대상물 측으로 볼록하게 형성되는 접촉면으로서, 어떠한 형상도 적용 가능하다.

상기 측면부(221b)는, 볼록면(221a)으로부터 제1연결부(210) 방향으로 수직으로 연장 형성될 수 있다.

이때, 상기 측면부(221b)는, 폭이 제1연결부(210)의 폭보다 작을 수 있다.

상기 경사부(221c)는, 측면부(221b)의 끝단에서 제1연결부(210) 사이에 형성되는 구성으로서, 폭이 증가하면서 일정한 기울기를 가지고 형성될 수 있다.

한편, 제1실시예에 따른 제1접촉면(220)은, 좌우 대칭으로 형성될 수 있다.

제2실시예에 따른 상기 제1접촉면(220)은, 도 15에 도시된 바와 같이, 검사대상물 측으로 볼록하게 형성되는 볼록면(222a)과, 볼록면(222a)으로부터 제1연결부를 향해서 연장되어 형성되는 측면부(222b)를 포함할 수 있다.

이때, 측면부(222b)는, 전술한 제1실시예와 같이 수직으로 연장 형성될 수 있으며, 폭이 제1연결부(210)의 폭보다 작게 형성될 수 있다.

한편, 제2실시예에 따른 상기 제1접촉면(220)은, 측면부(222b)의 일측 끝단과 제1연결부(210) 사이에 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제1경사부(222c)와, 측면부(222b)의 타측 끝단으로부터 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제2경사부(222d)를 추가로 포함할 수 있다.

또한, 상기 제1접촉면(220)은, 제2경사부(222d)로부터 제1연결부(210)를 향해서 수직으로 연장되어 형성되는 제1측면부(222e)와, 제1측면부(222e)와 제1연결부(210) 사이에 폭이 증가하며 형성되는 제3경사부(222f)를 추가로 포함할 수 있다.

이때, 제2경사부(222d)는, 제1경사부(222c)보다 기울기가 작게 형성될 수 있으며, 제3경사부(222f)는, 제2경사부(222d)보다 기울기가 크게 형성될 수 있다.

상기 제3실시예에 따른 상기 제1접촉면(220)은, 도 16에 도시된 바와 같이, 검사 대상물 측으로 볼록하게 형성되는 볼록면(223a)과, 볼록면(223a)으로부터 제1연결부(210)를 향해서 연장되어 형성되는 측면부(222b)를 포함할 수 있다.

한편, 제3실시예에 따른 상기 제1접촉면(220)은, 측면부(223b)로부터 제1연결부(210)를 향해서 대칭으로 폭이 증가하며 연장형성되는 제1경사부(223c)로부터 제1연결부(210)를 향해서 수직으로 연장형성되는 제1측면부(223d)를 추가로 포함할 수 있다.

또한, 상기 제1접촉면(220)은, 제1측면부(223d)의 일측 끝단과 제1연결부(210) 사이에 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제2경사부(223e)와, 제1측면부(223d)의 타측 끝단으로부터 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제3경사부(223f)를 추가로 포함할 수 있다.

또한, 상기 제1접촉면(220)은, 제2경사부(223f)로부터 제1연결부(210)를 향해서 수직으로 연장되어 형성되는 제2측면부(223g)와, 제2측면부(223g)와 제1연결부(210) 사이에서 폭이 증가하며 형성되는 제3경사부(223h)를 추가로 포함할 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 제4실시예의 제1접촉면(220)은, 도 17에 도시된 바와 같이, 검사대상물 측으로 볼록하게 형성되는 볼록면(222a)과, 볼록면(222a)으로부터 제1연결부를 향해서 연장되어 형성되는 측면부(222b)를 포함할 수 있다.

또한 상기 제1접촉면(220)은, 측면부(224c)로부터 제1연결부(210)를 향해서 수평방향으로 연장형성되는 연장부(224d)와, 볼록면(224a)의 일측 끝단과 측면부(224c) 사이에 측면부(224c)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제1경사부(224b)를 포함할 수 있다.

이때, 연장부(224d)는, 측면부(224c)의 일측에서 제1연결부(210)를 향해서 수평방향으로 연장형성될 수 있으며, 측면부(224c)의 타측에서 제1연결부(210)를 향해서는 경사를 가지고 형성될 수 있다.

더 나아가, 연장부(224d)는 서로 비대칭일 수 있으며, 그 폭 또한 서로 달라 결과적으로 볼록면(224a)의 최고점이 제1연결부(210)의 중심과는 어긋난 형상을 가질 수 있다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

100: 탄성부 200: 제1접촉부
300: 제2접촉부 400: 제1탄성부
500: 제2탄성부 600: 제3탄성부
700: 소켓부 800: 본체부
900: 커버부

Claims

길이방향을 따라 신축하는 탄성부(100)와;
상기 탄성부(100)의 길이방향의 일단에 형성되는 제1접촉부(200)와;
상기 탄성부(100)의 길이방향의 타단에 형성되는 제2접촉부(300)를 포함하며,
상기 탄성부(100)는,
상기 제1접촉부(200)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제1탄성부(400)와, 상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 상기 제1접촉부(200)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제2탄성부(500)와, 상기 제1탄성부(400)로부터 상기 제1접촉부(200)와 상기 2접촉부(300) 사이를 잇는 가상의 수직선(L)에 접근하는 방향으로 연장되어 형성되는 제4탄성부(1000)와, 상기 제4탄성부(1000)로부터 상기 수직선(L)으로부터 이격되는 방향으로 연장되어 형성되는 제5탄성부(1100)와, 상기 제5탄성부(1100)와 상기 제2탄성부(500) 사이에서 상기 수직선(L)에 접근하는 방향으로 형성되는 제6탄성부(1200)를 포함하며,
상기 탄성부(100)는,
상기 제1탄성부(400) 및 상기 제2탄성부(500) 사이에서 상기 제1접촉부(200)에 접근하는 방향으로 형성되는 제3탄성부(600)를 포함하며,
상기 제1접촉부(200)는,
상기 탄성부(100)의 일단에서 상측으로 연장되어 형성되는 제1연결부(210)와, 상기 제1연결부(210)의 끝단에 형성되어 검사대상물의 전극부와 접촉되는 제1접촉면(220)을 포함하며,
상기 제1접촉면(220)은,
상기 검사대상물 측으로 볼록하게 형성되는 볼록면(221a, 222a, 223a, 224a)과, 상기 볼록면(221a, 222a, 223a, 224a)으로부터 상기 제1연결부(210)를 향해서 연장되어 형성되는 측면부(221b, 222b, 223b, 224c)를 포함하며,
상기 측면부(221b, 222b, 223b, 224c)는,
폭이 상기 제1연결부(210)의 폭보다 작으며,
상기 제1접촉면(220)은,
상기 측면부(222b)의 일측 끝단과 상기 제1연결부(210) 사이에 상기 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제1경사부(222c)와, 상기 측면부(222b)의 타측 끝단으로부터 상기 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제2경사부(222d)를 포함하며,
상기 제2경사부(222d)는,
상기 제1경사부(222c)보다 기울기가 작은 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 1에 있어서,
상기 제1탄성부(400)는,
상기 제1접촉부(200)와 상기 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제1직선부(410)와, 일단이 상기 제1직선부(410)에 접속되고 타단이 상기 제3탄성부(600)의 일단에 접속되는 원호형의 제1만곡부(420)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 2에 있어서,
상기 제1탄성부(400)는,
상기 제1직선부(410)의 저면에 하측으로 돌출되도록 형성되는 돌출부(430)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 1에 있어서,
상기 제2탄성부(500)는,
상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제2직선부(510)와, 일단이 상기 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 상기 제3탄성부(600)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(520)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 1에 있어서,
상기 탄성부(100)는,
서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 한 쌍의 탄성편(110, 120)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 5에 있어서,
상기 탄성부(100)는,
서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 상기 한 쌍의 탄성편(110, 120)들 사이를 연결하는 적어도 하나의 브릿지(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 1에 있어서,
상기 제2탄성부(500)는,
상기 제2접촉부(300)와 상기 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2직선부(510)와, 일단이 상기 제2직선부(510)에 접속되고 타단이 상기 제6탄성부(1200)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(520)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 7에 있어서,
상기 제2접촉부(300)는,
상기 탄성부(100)의 하측에서 연장되어 상기 수직선(L)에 교차하는 방향으로 형성되는 제2연결부(310)와, 상기 제2연결부(310)로부터 하측으로 돌출형성되어 기판과 접촉하는 제2접촉면(320)과, 상기 제2연결부(310)로부터 상기 수직선(L)측에서 상측으로 돌출형성되는 제2연장부(330)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 8에 있어서,
상기 제2직선부(510)는,
상기 제2연장부(330)에 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
상부에 복수의 수용홈(710)들이 일렬로 배열되어 형성되는 수용지그(700)와;
상기 복수의 수용홈(710)들에 장착되는 청구항 제1항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 따른 복수의 프로브 핀(1)들과;
상기 수용지그(700)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 상기 복수의 수용홈(710)들에 대응되는 개구부(810)가 형성되는 본체부(800)를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 검사장치.
청구항 10에 있어서,
상기 본체부(800)의 상측에서 상하방향으로 이동가능하도록 설치되어, 가압을 통한 상하이동을 통해 상기 프로브 핀(1)의 적어도 일부를 상측으로 노출시키는 커버부(900)를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 검사장치.
청구항 11에 있어서,
상기 커버부(900)는,
상기 복수의 수용홈(710)들에 대응되어 복수의 개구홈(911)들이 형성되는 커버플레이트(910)와, 상기 커버플레이트(910)와 상기 본체부(800) 사이에 구비되어 압축 및 복원력을 통해 상기 커버플레이트(910)를 상하로 이동하도록 하는 복수의 탄성체(920)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 검사장치.
청구항 10에 있어서,
상기 수용지그(700)는,
프로브 핀(1)의 적어도 일부가 하측으로 노출되는 관통홈(721)이 형성되는 베이스(720)와, 상기 복수의 프로브 핀(1)들이 장착되는 상기 복수의 수용홈(710)이 형성되도록 상기 베이스(720)의 상부면에 구비되는 수용부(730)를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 검사장치.
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청구항 1에 있어서,
상기 제1접촉면(220)은,
상기 측면부(221b)로부터 상기 제1연결부(210)를 향해서 폭이 증가하며 연장형성되는 제1경사부(221c)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 1에 있어서,
상기 제1접촉면(220)은,
상기 측면부(224c)로부터 상기 제1연결부(210)를 향해서 수평방향으로 연장형성되는 연장부(224d)와, 상기 볼록면(224a)의 일측 끝단과 상기 측면부(224c) 사이에 상기 측면부(224c)를 향해서 폭이 증가하며 형성되는 제1경사부(224b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
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