JP6881343B2 - プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents
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Description
第1接触部および第2接触部と、
前記第1接触部および前記第2接触部の間に配置された中間部と、
前記第1接触部および前記中間部に接続され、前記第1接触部および前記中間部を結んだ第1配列方向に沿って伸縮して、前記第1接触部を前記中間部に対して前記第1配列方向に移動させる第1弾性部と、
前記中間部および前記第2接触部に接続され、前記第2接触部を前記中間部に対して前記第1配列方向に交差する方向に移動させる可動部と
を備え、
前記第1接触部、前記第1弾性部、前記中間部、前記可動部および前記第2接触部が直列的に配置されている。
前記プローブピンと、
前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
を備え、
前記ソケットが、
前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部を前記第1配列方向に沿って前記第1接触部から前記第2接触部に向かう方向において係止する係止部を有している。
前記検査治具を少なくとも1つ備えた。
前記検査ユニットを少なくとも1つ備えた。
本開示の第1実施形態のプローブピン10は、導電性を有し、例えば、図1および図2に示すように、ソケット50に収容された状態で使用され、ソケット50と共に検査治具2を構成する。この検査治具2には、一例として、複数の細長い薄板状の複数のプローブピン10が収容されている。
本開示の第2実施形態のプローブピン10は、図9〜図12に示すように、第2接触部30および可動部12が、第1配列方向に交差する第2配列方向に沿って延びていると共に、可動部12が第5弾性部60を有する点で、第1実施形態と異なっている。
本開示の第3実施形態の検査治具2は、図15および図16に示すように、ソケット50が、第1ハウジング70、第2ハウジング80およびカム部90を有する点で、第1実施形態と異なっている。
第1接触部20および第2接触部30と、
前記第1接触部20および前記第2接触部30の間に配置された中間部40と、
前記第1接触部20および前記中間部40に接続され、前記第1接触部20および前記中間部40を結んだ第1配列方向に沿って伸縮して、前記第1接触部20を前記中間部40に対して前記第1配列方向に移動させる第1弾性部11と、
前記中間部40および前記第2接触部30に接続され、前記第2接触部30を前記中間部40に対して前記第1配列方向に交差する方向に移動させる可動部12と
を備え、
前記第1接触部20、前記第1弾性部11、前記中間部40、前記可動部12および前記第2接触部30が直列的に配置されている。
前記第2接触部30に接続され、前記第2接触部30から前記第1配列方向に交差する方向に突出する突起部13をさらに備え、
前記可動部12が、前記第1配列方向に沿って延び、前記第1配列方向の一端部が前記中間部40に接続されかつ前記第1配列方向の他端部が前記第2接触部30に接続されて、前記第1配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第2弾性部15を有し、
前記第2弾性部15が、前記突起部13を介して前記第2接触部30に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、前記第2接触部30が、前記第2弾性部15および前記中間部40の接続部分16を支点として回動して前記中間部40に対して前記第1配列方向に交差する方向に移動する。
前記突起部13が、前記突起部13の突出方向における前記第2接触部30に近い方の端部に設けられ、前記第1配列方向でかつ前記第1接触部20に接近する方向に弾性変形可能な第3弾性部17を有し、
前記第3弾性部17が、前記突起部13に加えられた前記第1配列方向でかつ前記第1接触部20に接近する方向への外力に応じて弾性変形する。
前記第2接触部30が、
前記第1配列方向に延びていると共に、前記第1配列方向の一端部が前記第2弾性部15に接続され、前記第1配列方向の他端部に接点部31を有し、前記第1配列方向における前記接点部31および前記第2弾性部15の中間に前記突起部13が接続され、
前記第2接触部30の前記第1配列方向における前記接点部31と前記突起部13との間に、前記第1配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第4弾性部18を有し、
前記第4弾性部18が、前記第2接触部30の前記接点部31の前記第1配列方向に交差する方向への移動に応じて弾性変形する。
前記第2接触部30および前記可動部12が、前記第1配列方向に交差する第2配列方向に沿って延びていると共に、
前記可動部12が、前記第2配列方向の一端部が前記中間部40に接続されかつ前記第2配列方向の他端部が前記第2接触部30に接続されて、前記第1配列方向および前記第2配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第5弾性部60を有し、
前記第5弾性部60が、前記第2接触部30に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、前記第2接触部30が、前記第5弾性部60および前記中間部40の接続部分16を支点として回動して前記中間部40に対して前記第1配列方向および前記第2配列方向に交差する方向に移動する。
前記第5弾性部60が、前記第2配列方向に交差する直線帯部601と、前記直線帯部601に接続された湾曲帯部602とが交互に連続する蛇行形状を有している。
前記第2接触部30から前記第2配列方向に交差する方向に突出する突起部13をさらに備え、前記突起部13を介して前記第2接触部30に外力が加えられるように構成されている。
前記態様のプローブピン10と、
前記プローブピン10を収容可能な収容部53を有するソケット50と
を備え、
前記ソケット50が、
前記収容部53に収容された前記プローブピン10の前記中間部40を前記第1配列方向に沿って前記第1接触部20から前記第2接触部30に向かう方向において係止する係止部56を有している。
前記プローブピン10が、第2態様から第4態様のいずれか1つのプローブピン10であり、
前記ソケット50が、前記第1配列方向に交差する方向における前記第2接触部30の移動を規制する移動規制部57を有する。
前記ソケット50が、
前記第1接触部20および前記中間部40を収容する第1ハウジング70と、
前記第2接触部30を収容しかつ前記第1配列方向に交差する方向において前記第1ハウジング70に対して相対的に移動可能な第2ハウジング80と、
前記第2ハウジング80を前記第1配列方向に交差する方向に移動させることが可能なカム部90と
を有する。
請求項8から10のいずれか1つの検査治具2を備えた。
請求項11の検査ユニット1を備えた。
2 検査治具
3 隙間
10 プローブピン
11 第1弾性部
111、112、113、114 帯状弾性片
115 隙間
116 直線帯部
117 湾曲帯部
12 可動部
13 突起部
14 切欠部
15 第2弾性部
151、152 帯状弾性片
16 接続部分
17 第3弾性部
171、172 帯状弾性片
173 隙間
18 第4弾性部
181、182、183 帯状弾性片
184、185 隙間
20 第1接触部
21 第1接点部
30 第2接触部
31 第2接点部
40 中間部
50 ソケット
51 板状部
52 直方体部
53 収容部
54 第1開口部
55 第2開口部
56 係止部
57 移動規制部
60 第5弾性部
601 直線帯部
602 湾曲帯部
61、62、63、66、67 帯状弾性片
64、65、68 隙間
70 第1ハウジング
71 第1収容部
80 第2ハウジング
81 第2収容部
82 傾斜面
90 カム部
91 軸部
100 基板
110 基板対基板コネクタ
111 電極部
120 操作レバー
L1 第1仮想直線
L2 第2仮想直線
L3 第3仮想直線
P1 復帰位置
P2 動作位置
A〜E 矢印
Claims (10)
- 第1接触部および第2接触部と、
前記第1接触部および前記第2接触部の間に配置された中間部と、
前記第1接触部および前記中間部に接続され、前記第1接触部および前記中間部を結んだ第1配列方向に沿って伸縮して、前記第1接触部を前記中間部に対して前記第1配列方向に移動させる第1弾性部と、
前記中間部および前記第2接触部に接続され、前記第2接触部を前記中間部に対して前記第1配列方向に交差する方向に移動させる可動部と
を備え、
前記第1接触部、前記第1弾性部、前記中間部、前記可動部および前記第2接触部が直列的に配置されていると共に、
前記第2接触部に接続され、前記第2接触部から前記第1配列方向に交差する方向に突出する突起部をさらに備え、
前記可動部が、前記第1配列方向に沿って延び、前記第1配列方向の一端部が前記中間部に接続されかつ前記第1配列方向の他端部が前記第2接触部に接続されて、前記第1配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第2弾性部を有し、
前記第2弾性部が、前記突起部を介して前記第2接触部に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、前記第2接触部が、前記第2弾性部および前記中間部の接続部分を支点として回動して前記中間部に対して前記第1配列方向に交差する方向に移動する、プローブピン。 - 前記突起部が、前記突起部の突出方向における前記第2接触部に近い方の端部に設けられ、前記第1配列方向でかつ前記第1接触部に接近する方向に弾性変形可能な第3弾性部を有し、
前記第3弾性部が、前記突起部に加えられた前記第1配列方向でかつ前記第1接触部に接近する方向への外力に応じて弾性変形する、請求項1のプローブピン。 - 前記第2接触部が、
前記第1配列方向に延びていると共に、前記第1配列方向の一端部が前記第2弾性部に接続され、前記第1配列方向の他端部に接点部を有し、前記第1配列方向における前記接点部および前記第2弾性部の中間に前記突起部が接続され、
前記第2接触部の前記第1配列方向における前記接点部と前記突起部との間に、前記第1配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第4弾性部を有し、
前記第4弾性部が、前記第2接触部の前記接点部の前記第1配列方向に交差する方向への移動に応じて弾性変形する、請求項1または2のプローブピン。 - 第1接触部および第2接触部と、
前記第1接触部および前記第2接触部の間に配置された中間部と、
前記第1接触部および前記中間部に接続され、前記第1接触部および前記中間部を結んだ第1配列方向に沿って伸縮して、前記第1接触部を前記中間部に対して前記第1配列方向に移動させる第1弾性部と、
前記中間部および前記第2接触部に接続され、前記第2接触部を前記中間部に対して前記第1配列方向に交差する方向に移動させる可動部と
を備え、
前記第1接触部、前記第1弾性部、前記中間部、前記可動部および前記第2接触部が直列的に配置され、
前記第2接触部および前記可動部が、前記第1配列方向に交差する第2配列方向に沿って延びていると共に、
前記可動部が、前記第2配列方向の一端部が前記中間部に接続されかつ前記第2配列方向の他端部が前記第2接触部に接続されて、前記第1配列方向および前記第2配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第5弾性部を有し、
前記第5弾性部が、前記第2接触部に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、前記第2接触部が、前記第5弾性部および前記中間部の接続部分を支点として回動して前記中間部に対して前記第1配列方向および前記第2配列方向に交差する方向に移動する、プローブピン。 - 前記第5弾性部が、前記第2配列方向に交差する直線帯部と、前記直線帯部に接続された湾曲帯部とが交互に連続する蛇行形状を有している、請求項4のプローブピン。
- 前記第2接触部から前記第2配列方向に交差する方向に突出する突起部をさらに備え、前記突起部を介して前記第2接触部に外力が加えられるように構成されている、請求項4または5のプローブピン。
- 請求項1から3のいずれか1つのプローブピンと、
前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
を備え、
前記ソケットが、
前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部を前記第1配列方向に沿って前記第1接触部から前記第2接触部に向かう方向において係止する係止部を有し、
前記ソケットが、前記第1配列方向に交差する方向における前記第2接触部の移動を規制する移動規制部を有する、検査治具。 - 請求項1から3のいずれか1つのプローブピンと、
前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
を備え、
前記ソケットが、
前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部を前記第1配列方向に沿って前記第1接触部から前記第2接触部に向かう方向において係止する係止部と、
前記第1接触部および前記中間部を収容する第1ハウジングと、
前記第2接触部を収容しかつ前記第1配列方向に交差する方向において前記第1ハウジングに対して相対的に移動可能な第2ハウジングと、
前記第2ハウジングを前記第1配列方向に交差する方向に移動させることが可能なカム部と
を有する、検査治具。 - 請求項7または8の検査治具を備えた検査ユニット。
- 請求項9の検査ユニットを備えた検査装置。
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