KR102091947B1 - 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치 - Google Patents

Abstract

검사 장치에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물에 접촉 가능한 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공한다.
프로브 핀이, 제1 접촉부 및 제2 접촉부와, 제1 접촉부 및 제2 접촉부 사이에 배치된 중간부와, 제1 접촉부를 중간부에 대하여 제1 배열 방향으로 이동시키는 제1 탄성부와, 제2 접촉부를 중간부에 대하여 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동시키는 가동부를 구비한다.

Description

프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치 {PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}

본 개시는, 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한 것이다.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판에 접속하기 위한 FPC 접촉 전극 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.

이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재되어 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 한 쌍의 콘택트를 연결한 배열 방향을 따라 사행부가 신축되고, 각 콘택트가 이 배열 방향을 따라 왕복 이동함으로써, 각 콘택트가 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 배열 방향으로 접촉하도록 구성되어 있다.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보

근년, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 수반하여, 각 콘택트가 동일한 방향을 따라 왕복 이동하는, 소위 직선형의 상기 프로브 핀으로는 대응하기 곤란한 경우가 증가하고 있다.

예를 들어, 디스플레이 모듈의 검사는, 디스플레이 패널 상에 전극부가 배치된 상태에서 행해지는 경우가 있다. 이러한 검사에 상기 프로브 핀을 사용하면, 한쪽 콘택트가 디스플레이 패널 상의 전극부에 접촉하고, 다른 쪽 콘택트가 검사 장치에 접촉하는데, 디스플레이 패널이 유기 EL과 같은 강도의 약한 재료로 구성되어 있으면, 상기 프로브 핀이 접촉했을 때 디스플레이에 과도한 힘이 작용해버려, 디스플레이 패널이 깨져버릴 가능성이 있다.

본 개시는, 검사 장치에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물에 접촉 가능한 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 개시의 일례의 프로브 핀은,

제1 접촉부 및 제2 접촉부와,

상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부 사이에 배치된 중간부와,

상기 제1 접촉부 및 상기 중간부에 접속되고, 상기 제1 접촉부 및 상기 중간부를 연결한 제1 배열 방향을 따라 신축되고, 상기 제1 접촉부를 상기 중간부에 대하여 상기 제1 배열 방향으로 이동시키는 제1 탄성부와,

상기 중간부 및 상기 제2 접촉부에 접속되고, 상기 제2 접촉부를 상기 중간부에 대하여 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동시키는 가동부를

구비하고,

상기 제1 접촉부, 상기 제1 탄성부, 상기 중간부, 상기 가동부 및 상기 제2 접촉부가 직렬적으로 배치되어 있다.

또한, 본 개시의 일례의 검사 지그는,

상기 프로브 핀과,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓을

구비하고,

상기 소켓이,

상기 수용부에 수용된 상기 프로브 핀의 상기 중간부를 상기 제1 배열 방향을 따라 상기 제1 접촉부로부터 상기 제2 접촉부를 향하는 방향에 있어서 거는 걸림 지지부를 가지고 있다.

또한, 본 개시의 일례의 검사 유닛은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비한다.

또한, 본 개시의 일례의 검사 장치는,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비한다.

상기 프로브 핀에 따르면, 제1 접촉부가, 제1 탄성부에 의해 중간부에 대하여 제1 접촉부 및 중간부를 연결한 제1 배열 방향을 따라 이동 가능하게 구성되고, 제2 접촉부가, 가동부에 의해 중간부에 대하여 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이에 의해, 검사 장치에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물에 접촉 가능한 프로브 핀을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 지그에 따르면, 상기 프로브 핀에 의해 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 지그를 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛에 따르면, 상기 검사 지그에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 유닛을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치에 따르면, 상기 검사 유닛에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.

도 1은, 본 개시의 제1 실시 형태의 검사 유닛 및 검사 지그를 나타내는 사시도이다.
도 2는, 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은, 본 개시의 제1 실시 형태의 프로브 핀의 사시도이다.
도 4는, 도 3의 프로브 핀의 평면도이다.
도 5는, 도 3의 프로브 핀의 제1 변형예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은, 도 3의 프로브 핀의 제2 변형예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 7은, 도 3의 프로브 핀의 제3 변형예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은, 도 1의 검사 유닛 및 검사 지그의 변형예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는, 본 개시의 제2 실시 형태의 검사 유닛 및 검사 지그를 나타내는 사시도이다.
도 10은, 도 9의 X-X선에 따른 단면도이다.
도 11은, 본 개시의 제2 실시 형태의 프로브 핀의 사시도이다.
도 12는, 도 11의 프로브 핀의 평면도이다.
도 13은, 도 11의 프로브 핀의 제1 변형예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 14는, 도 11의 프로브 핀의 제2 변형예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 15는, 본 개시의 제3 실시 형태의 검사 유닛 및 검사 지그를 나타내는 사시도이다.
도 16은, 도 15의 XVI-XVI선을 따른 단면도이다.
도 17은, 도 15의 검사 지그의 제1 변형예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 18은, 도 15의 검사 지그의 제2 변형예를 설명하기 위한 단면도이다.

이하, 본 개시의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 개시, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.

(제1 실시 형태)

본 개시의 제1 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 도전성을 가지고, 예를 들어 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 소켓(50)에 수용된 상태에서 사용되어, 소켓(50)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 이 검사 지그(2)에는, 일례로서 복수의 가늘고 긴 박판 형상의 복수의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.

또한, 검사 지그(2)는, 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 검사 유닛(1)은, 적어도 1개의 검사 지그(2)로 구성되어 있다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 실시 형태에서는, 검사 유닛(1)은, 인접해서 배치된 2개의 검사 지그(2)로 구성되어 있다.

소켓(50)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 대략 직사각형 판 형상의 판상부(51)와, 이 판상부(51)의 긴 쪽 방향의 중앙에 접속된 대략 직육면체 형상의 직육면체부(52)로 구성되고, 대략 T자의 상자 형상을 가지고 있다. 또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 내부에는, 각각에 1개의 프로브 핀(10)을 수용 가능한 복수의 수용부(53)가 마련되어 있다.

각 수용부(53)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 슬릿 형상을 가지고, 각 프로브 핀(10)을 서로 전기적으로 독립하여 수용 가능하고, 또한 보유 지지 가능함과 함께, 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향(즉, 도 2의 상하 방향)에서 보아, 판상부(51)의 긴 쪽 방향(즉, 도 2의 지면 관통 방향)을 따라 일렬로 늘어서고, 또한 등간격으로 배치되어 있다.

각 수용부(53)에 있어서의 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향의 양단부는, 서로 대향하는 제1 개구부(54) 및 제2 개구부(55)에 접속되어 있다. 제1 개구부(54)는, 판상부(51)에 마련되고, 제2 개구부(55)는, 직육면체부(52)에 마련되어 있다. 또한, 제1 실시 형태에서는, 제1 개구부(54)는, 각 수용부(53)에 대하여 2개 마련되어 있고, 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향에서 보아, 판상부(51)의 짧은 쪽 방향(즉, 도 2의 좌우 방향)으로 간격을 두고 배치되어 있다.

또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 각 수용부(53)에 있어서의 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향의 중간에는, 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향에서 보아, 판상부(51)의 짧은 쪽 방향으로 연장되는 걸림 지지부(56)가 마련되어 있다. 이 걸림 지지부(56)는, 수용부(53) 내에서 후술하는 프로브 핀(10)의 중간부(40)를 제1 배열 방향을 따라 제1 접촉부(20)로부터 제2 접촉부(30)를 향하는 방향에 있어서 건다. 또한, 걸림 지지부(56)는, 소켓(50)에 일체로 마련해도 되고, 소켓(50)과는 별체로 마련해도 된다.

각 프로브 핀(10)은, 도 3에 나타내는 바와 같이, 판 형상으로, 제1 접촉부(20) 및 제2 접촉부(30)와, 제1 접촉부(20) 및 제2 접촉부(30) 사이에 배치된 중간부(40)와, 제1 접촉부(20) 및 중간부(40)에 접속된 제1 탄성부(11)와, 중간부(40) 및 제2 접촉부(30)에 접속된 가동부(12)를 구비하고 있다. 각 프로브 핀은, 예를 들어 전주법으로 형성되고, 제1 접촉부(20), 제1 탄성부(11), 중간부(40), 가동부(12) 및 제2 접촉부(30)가, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향에서 보아, 프로브 핀(10)의 긴 쪽 방향(즉, 도 3의 상하 방향)을 따라 직렬적으로 배치되고, 또한 일체로 구성되어 있다.

제1 접촉부(20)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향에서 보아, 프로브 핀(10)의 짧은 쪽 방향으로 연장되는 대략 직사각형 형상을 가지고, 프로브 핀(10)의 긴 쪽 방향의 한쪽 단부에 제1 탄성부(11)가 접속되고, 프로브 핀(10)의 긴 쪽 방향의 다른 쪽 단부에 제1 접점부(21)가 마련되어 있다. 제1 접점부(21)는, 제1 접촉부(20)의 그 연장 방향의 양단부에 각각 마련되어 있다. 각 제1 접점부(21)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 소켓(50)의 수용부(53)에 수용된 상태에서, 제1 개구부(54)를 통해 소켓(50)의 외부로 노출되고, 예를 들어 검사 장치의 기판(100) 상에 마련된 단자(미도시)에 제1 배열 방향으로 접속 가능하게 구성되어 있다. 즉, 각 제1 접점부(21)의 검사 장치의 기판(100) 상에 마련된 단자에 대한 접촉 방향은, 제1 배열 방향과 대략 평행하게 되어 있다.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 각 수용부(53)에 수용된 프로브 핀(10)의 제1 접점부(21)는, 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향(즉, 도 1의 상하 방향)에서 보아, 판상부(51)의 긴 쪽 방향에 평행한 동일한 제1 가상 직선(L1) 상에 배치되어 있다.

제2 접촉부(30)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향에서 보아, 프로브 핀(10)의 긴 쪽 방향으로 연장되어 있고, 그 연장 방향의 일단부에 제2 접점부(31)가 마련되고, 그 연장 방향의 타단부에 가동부(12)가 접속되어 있다. 제2 접점부(31)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 소켓(50)의 수용부(53)에 수용된 상태에서, 제2 개구부(55)를 통해 소켓(50)의 외부로 노출되고, 예를 들어 제1 배열 방향에 교차하는 방향에서 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111)에 접속 가능하게 구성되어 있다. 즉, 제2 접점부(31)의 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111)에 대한 접촉 방향은, 제1 배열 방향에 교차하는 방향과 대략 평행하게 되어 있고, 각 제1 접점부(21)의 검사 장치의 기판(100) 상에 마련된 단자에 대한 접촉 방향과는 상이하다.

또한, 제2 접점부(31)는, 제1 접촉부(20) 및 중간부(40)를 연결한 제1 배열 방향(이하, 간단히 제1 배열 방향이라 한다.)을 따라 연장되고, 또한 한쪽의 제1 접점부(21)(도 4의 좌측의 제1 접점부(21))에 있어서의 제1 배열 방향에 직교하는 방향의 중심을 통과하는 제2 가상 직선(L2)을 따라 배치되어 있다.

또한, 각 수용부(53)에 수용된 프로브 핀(10)의 제2 접점부(31)는, 제1 접점부(21)와 마찬가지로, 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향에서 보아, 판상부(51)의 긴 쪽 방향에 평행한 동일 직선(미도시) 상에 배치되어 있다.

제2 접촉부(30)에는, 제2 접촉부(30)의 제1 배열 방향에 있어서의 제2 접점부(31) 및 가동부(12)(즉, 후술하는 제2 탄성부(15))의 중간으로부터 제1 배열 방향에 교차(예를 들어, 대략 직교)하는 방향으로 돌출되는 돌기부(13)가 마련되어 있다. 이 돌기부(13)는, 일례로서 제2 접촉부(30)로부터 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 대략 직사각형 형상을 가지고, 그 선단부에 있어서의 프로브 핀(10)의 긴 쪽 방향으로, 또한 제2 접점부(31)측의 면에, 반원 형상의 절결부(14)가 마련되어 있다. 이 절결부(14)에는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 조작 레버(120)가 접속되고, 이 조작 레버(120)를 통해, 돌기부(13)에 대하여 제1 배열 방향으로, 또한 제1 접촉부(20)에 접근하는 방향(즉, 도 2의 화살표 A 방향)의 외력이 가해진다.

중간부(40)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 배열 방향에 교차(예를 들어, 직교)하는 방향으로 연장되는 대략 직사각형 판 형상을 가지고 있다. 이 중간부(40)는, 제2 가상 직선(L2)에 대하여 제2 접촉부(30)의 돌기부(13)와 같은 측으로 연장되어 있다.

제1 탄성부(11)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 접촉부(20) 및 중간부(40)에 접속되고, 제1 배열 방향을 따라 신축되고, 제1 접촉부(20)를 중간부(40)에 대하여 제1 배열 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다.

상세하게는, 제1 탄성부(11)는, 서로 간극(115)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는, 4개의 띠 형상 탄성편)(111, 112, 113, 114)으로 구성되어 있다. 각 띠 형상 탄성편(111, 112, 113, 114)은, 제1 배열 방향에 교차(예를 들어, 직교)하는 방향으로 연장되는 복수의 직선대부(116) 및 복수의 만곡대부(117)(이 실시 형태에서는, 일례로서 2개의 직선대부(116) 및 3개의 원호 형상의 만곡대부(117))가, 제1 배열 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 가지고 있다.

제1 탄성부(11) 양단의 만곡대부(117) 각각은, 제2 가상 직선(L2)을 따라 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 제2 접촉부(20) 또는 중간부(40)에 접속되어 있다. 또한, 제1 탄성부(11)의 2개의 직선대부(116)는, 제2 접촉부(20) 또는 중간부(40)에 접속된 만곡대부(117)의 그 연장 방향의 타단부로부터, 제2 가상 직선(L2)에 대하여 제2 접촉부(30)의 돌기부(13) 및 중간부(40)와 같은 측으로 각각 연장되어 있다.

가동부(12)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 중간부(40) 및 제2 접촉부(30)에 접속되고, 제2 접촉부(30)를 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동할 수 있도록 구성되어 있다.

상세하게는, 가동부(12)는, 제1 배열 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 제1 배열 방향의 일단부가 중간부(40)에 접속되고, 또한 제1 배열 방향의 타단부가 제2 접촉부(30)에 접속되어서, 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제2 탄성부(15)를 가지고 있다.

제2 탄성부(15)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 서로 간극(153)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 띠 형상 탄성편)(151, 152)을 가지고, 돌기부(13)를 통해 제2 접촉부(30)에 가해진 외력에 따라서 탄성 변형하고, 제2 접촉부(30)를 제2 탄성부(15) 및 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서 회동시키도록(바꾸어 말하면, 가동시키도록) 구성되어 있다. 즉, 제1 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 조작 레버(120)를 통해 돌기부(13)에 도 2의 화살표 A 방향의 외력이 가해지면, 제2 탄성부(15)가, 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형하고, 제2 접촉부(30)가, 제2 탄성부(15) 및 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서 회동하여 중간부(40)에 대하여 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동하도록 구성되어 있다.

제1 배열 방향에 직교하는 방향의 일방측(즉, 도 4의 좌측)에 배치된 띠 형상 탄성편(151)은, 제1 배열 방향에 평행한 제2 가상 직선(L2)을 따른 직선 형상을 가지고 있다. 또한, 제1 배열 방향에 직교하는 방향의 타방측(즉, 도 4의 우측)에 배치된 띠 형상 탄성편(152)은, 제1 배열 방향에 평행한 제2 가상 직선(L2)을 따라 연장되는 제1 부분(154)과, 제1 부분(154)의 제1 배열 방향의 일단부(즉, 중간부(40)에 접속되어 있는 측의 단부)로부터 중간부(40)를 따라 연장되는 제2 부분(155)으로 구성된 대략 L자 형상을 가지고 있다. 또한, 간극(153)은, 띠 형상 탄성편(151, 152) 및 중간부(40)로 둘러싸여 있고, 대략 L자 형상으로 연장되어 있다.

또한, 조작 레버(120)를 긴 부재로 구성함으로써, 1개의 조작 레버(120)로 복수의 프로브 핀(10)의 돌기부(13)에 대하여 동시에 화살표 A 방향의 외력을 가할 수 있다.

제1 실시 형태의 프로브 핀(10)에서는, 제1 접촉부(20)가, 제1 탄성부(11)에 의해 중간부(40)에 대하여 제1 접촉부(20) 및 중간부(40)를 연결한 제1 배열 방향을 따라 이동 가능하게 구성되고, 제2 접촉부(30)가, 가동부(12)에 의해 중간부(40)에 대하여 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이에 의해, 검사 장치(예를 들어, 검사 장치의 기판(100))에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111))에 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

또한, 제2 접촉부(30)에 접속되고, 제2 접촉부(30)로부터 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 돌기부(13)를 더 구비하고, 가동부(12)가, 제1 배열 방향을 따라 연장되어 있음과 함께 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제2 탄성부(15)를 가지고 있다. 그리고, 제2 탄성부(15)가, 돌기부(13)를 통해 제2 접촉부(30)에 가해진 외력에 따라서 탄성 변형됨으로써, 제2 접촉부(30)가, 제2 탄성부(15) 및 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서 회동하여 중간부(40)에 대하여 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동한다. 이에 의해, 검사 장치에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물에 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.

또한, 각 돌기부(13)에 가하는 외력은, 도 2의 화살표 A 방향으로 한정되지 않고, 돌기부(13)를 통해 제2 접촉부(30)에 가해진 외력에 따라서 탄성 변형하고, 제2 접촉부(30)를 제2 탄성부(15) 및 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서 회동시킬 수 있는 방향이면 된다. 예를 들어, 돌기부(13)에, 각 돌기부(13)를 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로, 또한 제2 접촉부(30)로부터 이격되는 방향(즉, 도 2의 화살표 B 방향)의 외력을 가해도 된다.

또한, 돌기부(13)의 절결부(14)를 반원 형상으로 하고, 조작 레버(120)의 절결부(14)에 대한 접속 부분을 절결부(14)의 반원 형상에 맞춘 반원 형상으로 함으로써, 조작 레버(120)를 화살표 A 방향으로 직선적으로 이동시켰을 때, 돌기부(13) 및 조작 레버(120)의 접속 상태를 확실하게 유지할 수 있어, 제2 접촉부(30)를 확실하게 회동시킬 수 있다.

제1 실시 형태의 검사 지그(2)에 따르면, 프로브 핀(10)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다. 즉, 예를 들어 디스플레이 패널이 유기 EL과 같은 강도의 약한 재료로 구성되어 있었던 경우라도, 디스플레이 패널을 손상시키지 않고, 디스플레이 패널 모듈의 검사를 행할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛(1)에 따르면, 상기 검사 지그(2)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치에 따르면, 상기 검사 유닛(1)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.

또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 검사 지그(2)에서는, 프로브 핀(10)은, 중간부(40)가 걸림 지지부(56)에 접촉된 상태에서, 수용부(53)에 수용되어 있다. 즉, 프로브 핀(10)은, 걸림 지지부(56)에 의해, 프로브 핀(10)의 중간부(40)를 제1 배열 방향을 따라 제1 접촉부(20)로부터 제2 접촉부(30)를 향하는 방향에 있어서, 지지되면서 걸리고 있다. 이에 의해, 제1 접점부(21)가, 예를 들어 검사 장치의 기판(100)에 접촉해서 제1 배열 방향을 따라 제1 접촉부(20)로부터 제2 접촉부(30)를 향해서(즉, 수용부(53)의 내부를 향해) 압박되었다고 해도, 중간부(40)가 걸림 지지부(56)에 의해 지지되면서 걸리고 있으므로, 제1 탄성부(11)의 탄성력이 제2 접촉부(30)에 작용하지 않고, 제2 접촉부(30)를 중간부(40)에 대하여 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 확실하게 이동시킬 수 있다. 즉, 수용된 프로브 핀(10)이, 검사 장치에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물에 접촉할 수 있는 검사 지그(2)를 확실하게 실현할 수 있다.

제1 실시 형태의 프로브 핀(10)의 각 구성은, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라, 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제1 접점부(21) 및 제2 접점부(31) 각각은, 검사 장치 또는 검사 대상물의 다양한 양태에 따라, 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.

또한, 예를 들어 도 5에 나타내는 바와 같이, 돌기부(13)의 돌출 방향에 있어서의 제2 접촉부(30)에 가까운 쪽의 단부에 제1 배열 방향으로, 또한 제1 접촉부(20)에 접근하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제3 탄성부(17)를 마련해도 된다. 도 5의 프로브 핀(10)에서는, 제3 탄성부(17)는, 서로 간극(173)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 띠 형상 탄성편)(171, 172)을 가지고 있다. 한쪽 띠 형상 탄성편(171)은, 제2 탄성부(15)의 직선 형상의 띠 형상 탄성편(151)에 접속되고, 다른 쪽 띠 형상 탄성편(172)은, 제2 탄성부(15)의 대략 L자 형상의 띠 형상 탄성편(152)에 접속되어 있다. 또한, 2개의 띠 형상 탄성편(171, 172) 사이의 간극(173)은, 제2 탄성부(15)의 간극(153)에 접속되어 있다.

또한, 예를 들어 도 6에 나타내는 바와 같이, 제2 접촉부(30)의 제2 접점부(31)와 돌기부(13) 사이에, 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제4 탄성부(18)를 마련해도 된다. 도 6의 프로브 핀(10)에서는, 제4 탄성부(18)는, 서로 간극(184, 185)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는, 3개의 원호 형상으로 만곡된 띠 형상 탄성편)(181, 182, 183)으로 구성되어 있다.

도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 돌기부(13)에 제3 탄성부(17)를 마련하고, 및/또는 제2 접촉부(30)에 제4 탄성부(18)를 마련함으로써, 제2 접촉부(30)에 발생하는 응력을 분산시킬 수 있다. 예를 들어, 도 2에 나타내는 바와 같이, 이러한 프로브 핀(10)을 검사 지그(2)에 사용한 경우, 돌기부(13)에 외력이 가해지고, 제2 접촉부(30)의 제2 접점부(31)가, 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동해서 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111)에 접촉했을 때, 제2 접촉부(30)에 과잉의 응력이 가해지고, 프로브 핀(10)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 예를 들어 도 7에 나타내는 바와 같이, 중간부(40)에 판 두께 방향으로 관통하는 관통 구멍(41)을 마련해도 된다. 이 관통 구멍(41)은, 일례로서 대략 원 형상을 가지고, 대략 원기둥 형상의 연결 막대부(미도시)가 배치 가능하게 되어 있다. 이 연결 막대부는, 복수의 프로브 핀(10)을 일체화하여, 대응하는 수용부(53)에 일부로 수용할 수 있다. 도 7의 프로브 핀(10)을 수용하는 소켓(50)에는, 각 수용부(53)를 그 배열 방향으로 관통하는 연결용 구멍부(미도시)가 마련되고, 이 연결용 구멍부에 연결 막대부가 배치된다. 이 경우, 걸림 지지부(56)를 대신하여(혹은, 걸림 지지부(56)에 더하여), 소켓(50)에 연결 막대부의 양단부를 제1 배열 방향을 따라 제1 접촉부(20)로부터 제2 접촉부(30)를 향하는 방향에 있어서 거는 제2 걸림 지지부(미도시)를 소켓(50)에 마련해도 된다.

또한, 제1 내지 제4 탄성부(11, 15, 17, 18) 각각은, 복수의 띠 형상 탄성편(111, 112, 113, 114, 151, 152, 171, 172, 181, 182, 183)으로 구성되는 경우로 한정되지 않고, 예를 들어 1개의 띠 형상 탄성편으로 구성되어도 된다.

검사 지그(2)는, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 양태에 따라, 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 도 8에 나타내는 바와 같이, 소켓(50)의 제2 개구부(55)측의 단부에 이동 규제부(57)를 마련해도 된다. 이 이동 규제부(57)는, 돌기부(13)에 외력이 가해졌을 때, 제2 접촉부(30)의 제2 접점부(31)가 이동하는 방향(즉, 제1 배열 방향에 교차하는 방향)에 있어서의 제2 접촉부(30)의 이동을 규제한다. 이 이동 규제부(57)에 의해, 돌기부(13)에 외력이 가해지고, 제2 접촉부(30)의 제2 접점부(31)가 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동했을 때, 가동부(12)의 제2 탄성부(15)에 과잉의 응력이 가해져 프로브 핀(10)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 검사 지그(2)를 범용화함으로써, 검사 유닛(1)(나아가서는 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수도 있다.

(제2 실시 형태)

본 개시의 제2 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 도 9 내지 도 12에 나타내는 바와 같이, 제2 접촉부(30) 및 가동부(12)가, 제1 배열 방향에 교차하는 제2 배열 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 가동부(12)가 제5 탄성부(60)를 갖는다는 점에서, 제1 실시 형태와 상이하다.

또한, 제2 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 동일 부분에 동일 참조 번호를 붙여서 설명을 생략하고, 제1 실시 형태와 상이한 점에 대해서 설명한다.

제2 접촉부(30) 및 가동부(12)는, 도 12에 나타내는 바와 같이 제1 배열 방향을 따라 연장되는 제2 가상 직선(L2)에 교차하고, 또한 제5 탄성부(60) 및 중간부(40)의 접속 부분(16)을 통과하는 제3 가상 직선(L3)을 따라 연장되어 있다.

제5 탄성부(60)는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제2 배열 방향의 일단부가 중간부(40)에 접속되고, 또한 제2 배열 방향의 타단부가 제2 접촉부(30)에 접속되어서, 제1 배열 방향 및 제2 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능하게 구성되어 있다.

상세하게는, 제5 탄성부(60)는, 서로 간극(64, 65)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는, 3개의 띠 형상 탄성편)(61, 62, 63)으로 구성되어 있다. 각 띠 형상 탄성편(61, 62, 63)은, 제2 배열 방향을 따라 연장되는 직선형상을 가지고, 제2 접촉부(30)에 가해진 외력에 따라서 탄성 변형됨으로써, 제2 접촉부(30)가, 제5 탄성부(60) 및 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서 회동하여 중간부(40)에 대하여 제1 배열 방향 및 제2 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동하도록 구성되어 있다.

제2 실시 형태의 프로브 핀(10)을 사용한 검사 지그(2)에서는, 다음과 같이 제2 접점부(31)를 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111))에 접속시킨다.

즉, 먼저 도 10에 도시하는 바와 같이, 외력이 가해지지 않은 복귀 위치(P1)에 있는 제2 접촉부(30)를 조작 레버(120)를 통해, 제2 배열 방향에 교차하는 방향으로, 또한 제2 접촉부(30)가 제2 가상 직선(L2)에 접근하는 방향(즉, 도 10의 화살표 C 방향)으로부터 외력을 가하여, 도 10에 나타내는 동작 위치(P2)까지 이동시킨다. 이때, 제5 탄성부(60)는, 제1 배열 방향 및 제2 배열 방향에 교차하고, 또한 제2 접촉부(30) 및 가동부(12)의 연장 방향이 제1 배열 방향에 평행이 되는 방향(즉, 화살표 C 방향)에 탄성 변형한다.

그리고, 제2 접촉부(30)를 동작 위치(P2)에 위치시킨 상태에서 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111)를 이동시키고, 전극부(111)를 제2 가상 직선(L2) 및 제3 가상 직선(L3) 사이에 배치한다. 그 후, 조작 레버(120)를 제거하면, 제5 탄성부(60)의 복귀력에 의해 제2 접촉부(30)가, 제5 탄성부(60) 및 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서, 동작 위치(P2)로부터 복귀 위치(P1)를 향해서 회동하고, 제2 접점부(31) 및 전극부(111)가 접촉한다.

제2 실시 형태의 프로브 핀(10)에서는, 제2 접촉부(30) 및 가동부(12)가, 제1 배열 방향에 교차하는 제2 배열 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 가동부(12)가, 제2 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제5 탄성부(60)를 가지고 있다. 그리고, 제5 탄성부(60)가, 제2 접촉부(30)에 가해진 외력에 따라서 탄성 변형됨으로써, 제2 접촉부(30)가, 제5 탄성부(60) 및 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서 회동하여 상기 중간부에 대하여 상기 제1 배열 방향 및 상기 제2 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동한다. 이에 의해, 검사 장치에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물에 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.

또한, 제5 탄성부(60)는, 도 13에 나타내는 바와 같이, 제2 배열 방향에 교차하는 직선대부(601)과, 직선대부(601)에 접속된 만곡대부(602)가 교대로 연속하는 사행 형상을 가지고 있어도 된다. 도 13의 프로브 핀(10)에서는, 제5 탄성부(60)는, 일례로서 서로 간극(68)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 띠 형상 탄성편)(66, 67)으로 구성되고, 각 띠 형상 탄성편(66, 67)은, 2개의 직선대부(601)와 3개의 만곡대부(602)로 구성되어 있다.

또한, 예를 들어 도 14에 나타내는 바와 같이, 제2 접촉부(20)로부터 제2 배열 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 돌기부(13)를 더 구비하고, 돌기부(13)를 통해 제2 접촉부(30)에 외력이 가해지도록 구성해도 된다. 도 14의 프로브 핀(10)에서는, 반원 형상의 절결부(14)가, 돌기부(13)의 돌출 방향에 있어서의 제2 접촉부(30)로부터 먼 쪽의 단부에 마련되어 있다.

이와 같이, 제2 실시 형태의 프로브 핀(10)의 제5 탄성부(60)는, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라, 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 이에 의해, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

(제3 실시 형태)

본 개시의 제3 실시 형태의 검사 지그(2)는, 도 15 및 도 16에 나타내는 바와 같이, 소켓(50)이, 제1 하우징(70), 제2 하우징(80) 및 캠부(90)를 갖는다는 점에서, 제1 실시 형태와 상이하다.

또한, 제3 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 동일 부분에 동일 참조 번호를 붙여서 설명을 생략하고, 제1 실시 형태와 상이한 점에 대해서 설명한다.

제3 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 돌기부(13)가 마련되어 있지 않다는 점을 제외하고, 제1 실시 형태의 프로브 핀(10)과 동일한 구성을 가지고 있다.

제1 하우징(70)은, 도 15에 나타내는 바와 같이, 판상부(51)와 직육면체부(52)로 구성된 대략 T자의 상자 형상으로, 도 16에 나타내는 바와 같이, 제1 접촉부(20) 및 중간부(40)를 수용하는 복수의 제1 수용부(71)를 가지고 있다. 각 제1 수용부(71)는, 슬릿 형상을 가지고, 각 프로브 핀(10)을 서로 전기적으로 독립하여 수용 가능하고, 또한 유지 가능함과 함께, 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향(즉, 도 16의 상하 방향)에서 보아, 판상부(51)의 긴 쪽 방향(즉, 도 16의 지면 관통 방향)을 따라 일렬로 늘어서서, 또한 등간격으로 배치되어 있다. 또한, 각 제1 수용부(71)의 제1 개구부(55)로부터, 프로브 핀(10)의 가동부(12)가 제1 하우징(70)의 외부로 노출되어 있다.

또한, 제2 하우징(80)은, 도 15에 나타내는 바와 같이, 대략 직육면체 형상으로, 도 16에 나타내는 바와 같이, 제2 접촉부(30)를 수용하는 제2 수용부(81)를 가지고 있다. 각 제2 수용부(81)는, 제1 수용부(71)와 마찬가지로, 슬릿 형상을 가지고, 각 프로브 핀(10)을 서로 전기적으로 독립하여 수용 가능하고, 또한 유지 가능함과 함께, 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향에서 보아, 판상부(51)의 긴 쪽 방향을 따라 일렬로 늘어서서, 또한 등간격으로 배치되어 있다. 각 제2 수용부(81)는, 판상부(51) 및 직육면체부(52)의 접속 방향의 양단부가 개구되어 있고, 각각 프로브 핀(10)의 제2 접점부(31) 및 가동부(12)가, 각 제2 수용부(81)의 외부로 노출되어 있다. 또한, 제2 하우징(80)은, 제1 배열 방향에 교차하는 방향(즉, 도 16의 좌우 방향)에 있어서 제1 하우징(70)에 대하여 상대적으로 이동 가능하게 구성되어 있다.

도 16에 나타내는 바와 같이, 검사 유닛(1)의 인접하는 검사 지그(2) 사이에는, 대략 일정 간격의 간극(3)이 마련되어 있다. 이 간극(3)에, 캠부(90)가 배치되어 있다. 이 캠부(90)는, 각 수용부(71, 81)의 배열 방향을 따라 연장되는 축부(91)를 중심으로 회동 가능한 대략 직육면체 형상을 가지고 있다. 캠부(90)가 회동함으로써, 제2 하우징(80)이 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동하고, 제2 하우징(80)의 이동에 연동해서 프로브 핀(10)의 제2 접촉부(30)가 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동한다.

제3 실시 형태의 검사 지그(2)에서는, 다음과 같이 제2 접점부(31)를 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111))에 접속시킨다.

즉, 먼저, 도 16에 나타내는 바와 같이, 제2 접촉부(30)를 외력이 가해지지 않은 상태에서 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111)를 이동시키고, 제2 접점부(31)에 대하여 캠부(90)의 제1 배열 방향에 있어서의 반대측에 전극부(111)를 인접시킨다. 그리고, 캠부(90)를 회동시키면, 제2 하우징(80)이 제1 배열 방향으로, 또한 캠부(90)로부터 이격되는 방향(즉, 도 18의 화살표 D 방향)으로 이동하고, 프로브 핀(10)의 제2 접촉부(30)를 화살표 D 방향으로 이동시킨다. 이에 의해, 제2 접촉부(30)가, 가동부(12) 및 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서 회동하여 중간부(40)에 대하여 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동하고, 제2 접점부(31) 및 전극부(111)가 접촉한다.

제3 실시 형태의 검사 지그(2)는, 소켓(50)이, 제1 접촉부(20) 및 중간부(40)를 수용하는 제1 하우징(70)과, 제2 접촉부(30)를 수용하고, 또한 제1 배열 방향에 교차하는 방향에 있어서 제1 하우징(70)에 대하여 상대적으로 이동 가능한 제2 하우징(80)과, 제2 하우징(80)을 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 요동가능한 캠부(90)를 가지고 있다. 이와 같이, 검사 지그(2)는, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 양태에 따라, 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 이에 의해, 설계의 자유도가 높고, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

또한, 제3 실시 형태의 검사 지그(2)는, 도 16에 나타내는 프로브 핀(10)으로 한정되지 않고, 예를 들어 도 17에 나타내는 바와 같이, 제2 접촉부(30)의 제2 접점부(31)와 가동부(12) 사이에 제4 탄성부(18)가 마련된 프로브 핀(10)을 사용할 수 있다.

또한, 캠부(90)는, 축부(91) 주위로 회전함으로써, 제2 하우징(80)을 화살표 D 방향을 따라 직선적으로 이동시키도록 구성되어 있는 경우로 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 18에 나타내는 바와 같이, 캠부(90)는, 제1 배열 방향(즉, 도 18의 화살표 E 방향)을 따라 직선적으로 이동함으로써, 제2 하우징(80)을 제1 배열 방향에 직교하는 방향(즉, 도 18의 화살표 D 방향)을 따라 직선적으로 이동시키도록 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 캠부(90)는, 축부(91)를 중심으로 제1 배열 방향으로 이동 가능한 대략 삼각 기둥 형상을 가지고, 측면에 1개가 제1 배열 방향에 직교하도록 배치되어 있다. 또한, 각 제2 하우징(80)은, 캠부(90)의 측면의 1개에 대향하고, 또한 접촉 가능하게 배치된 경사면(82)을 가지고 있다.

본 개시의 프로브 핀(10)은, 제1 접촉부(20) 및 제2 접촉부(30)와, 제1 접촉부(20) 및 제2 접촉부(30) 사이에 배치된 중간부(40)와, 제1 접촉부(20) 및 중간부(40)에 접속되어서 제1 배열 방향을 따라 신축되는 제1 탄성부(11)와, 중간부(40) 및 제2 접촉부(30)에 접속되어서 제2 접촉부(30)를 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동 가능한 가동부(12)를 구비하고, 제1 접촉부(20), 제1 탄성부(11), 중간부(40), 가동부(12) 및 제2 접촉부(30)가 직렬적으로 배치되어 있으면 되고, 제1 내지 제3 실시 형태의 프로브 핀(10)으로 한정되지 않는다.

이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 양태에 대해서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.

본 개시의 제1 양태의 프로브 핀(10)은,

제1 접촉부(20) 및 제2 접촉부(30)와,

상기 제1 접촉부(20) 및 상기 제2 접촉부(30) 사이에 배치된 중간부(40)와,

상기 제1 접촉부(20) 및 상기 중간부(40)에 접속되고, 상기 제1 접촉부(20) 및 상기 중간부(40)를 연결한 제1 배열 방향을 따라 신축되고, 상기 제1 접촉부(20)를 상기 중간부(40)에 대하여 상기 제1 배열 방향으로 이동시키는 제1 탄성부(11)와,

상기 중간부(40) 및 상기 제2 접촉부(30)에 접속되고, 상기 제2 접촉부(30)를 상기 중간부(40)에 대하여 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동시키는 가동부(12)를

구비하고,

상기 제1 접촉부(20), 상기 제1 탄성부(11), 상기 중간부(40), 상기 가동부(12) 및 상기 제2 접촉부(30)가 직렬적으로 배치되어 있다.

제1 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 제1 접촉부(20)가, 제1 탄성부(11)에 의해, 중간부(40)에 대하여 제1 접촉부(20) 및 중간부(40)를 연결한 제1 배열 방향을 따라 이동 가능하게 구성되고, 제2 접촉부(30)가, 가동부(12)에 의해 중간부(40)에 대하여 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이에 의해, 검사 장치(예를 들어, 검사 장치의 기판(100))에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111))에 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제2 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 제2 접촉부(30)에 접속되고, 상기 제2 접촉부(30)로부터 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 돌기부(13)를 더 구비하고,

상기 가동부(12)가, 상기 제1 배열 방향을 따라 연장되고, 상기 제1 배열 방향의 일단부가 상기 중간부(40)에 접속되고, 또한 상기 제1 배열 방향의 타단부가 상기 제2 접촉부(30)에 접속되어서, 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제2 탄성부(15)를 가지고,

상기 제2 탄성부(15)가, 상기 돌기부(13)를 통해 상기 제2 접촉부(30)에 가해진 외력에 따라서 탄성 변형됨으로써, 상기 제2 접촉부(30)가, 상기 제2 탄성부(15) 및 상기 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서 회동하여 상기 중간부(40)에 대하여 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동한다.

제2 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 검사 장치에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물에 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.

본 개시의 제3 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 돌기부(13)가, 상기 돌기부(13)의 돌출 방향에 있어서의 상기 제2 접촉부(30)에 가까운 쪽의 단부에 마련되고, 상기 제1 배열 방향으로, 또한 상기 제1 접촉부(20)에 접근하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제3 탄성부(17)를 가지고,

상기 제3 탄성부(17)가, 상기 돌기부(13)에 가해진 상기 제1 배열 방향으로, 또한 상기 제1 접촉부(20)에 접근하는 방향에 대한 외력에 따라서 탄성 변형한다.

제3 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 예를 들어 검사 지그(2)에 사용한 경우에, 돌기부(13)에 외력이 가해지고, 제2 접촉부(30)의 제2 접점부(31)가, 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동해서 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111)에 접촉했을 때, 제2 접촉부(30)에 과잉의 응력이 가해져, 프로브 핀(10)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

본 개시의 제4 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 제2 접촉부(30)가,

상기 제1 배열 방향으로 연장되어 있음과 함께, 상기 제1 배열 방향의 일단부가 상기 제2 탄성부(15)에 접속되고, 상기 제1 배열 방향의 타단부에 접점부(31)를 가지고, 상기 제1 배열 방향에 있어서의 상기 접점부(31) 및 상기 제2 탄성부(15)의 중간에 상기 돌기부(13)가 접속되고,

상기 제2 접촉부(30)의 상기 제1 배열 방향에 있어서의 상기 접점부(31)와 상기 돌기부(13) 사이에, 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제4 탄성부(18)를 가지고,

상기 제4 탄성부(18)가, 상기 제2 접촉부(30)의 상기 접점부(31)의 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로의 이동에 따라서 탄성 변형한다.

제4 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 예를 들어 검사 지그(2)에 사용한 경우에, 돌기부(13)에 외력이 가해지고, 제2 접촉부(30)의 제2 접점부(31)가, 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동해서 기판 대 기판 커넥터(110)의 전극부(111)에 접촉했을 때, 제2 접촉부(30)에 과잉의 응력이 가해져, 프로브 핀(10)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

본 개시의 제5 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 제2 접촉부(30) 및 상기 가동부(12)가, 상기 제1 배열 방향에 교차하는 제2 배열 방향을 따라 연장되어 있음과 함께,

상기 가동부(12)가, 상기 제2 배열 방향의 일단부가 상기 중간부(40)에 접속되고, 또한 상기 제2 배열 방향의 타단부가 상기 제2 접촉부(30)에 접속되어서, 상기 제1 배열 방향 및 상기 제2 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제5 탄성부(60)를 가지고,

상기 제5 탄성부(60)가, 상기 제2 접촉부(30)에 가해진 외력에 따라서 탄성 변형됨으로써, 상기 제2 접촉부(30)가, 상기 제5 탄성부(60) 및 상기 중간부(40)의 접속 부분(16)을 지지점으로 해서 회동하여 상기 중간부(40)에 대하여 상기 제1 배열 방향 및 상기 제2 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동한다.

제5 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 검사 장치에 대한 접촉 방향과는 상이한 방향으로 검사 대상물에 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.

본 개시의 제6 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 제5 탄성부(60)가, 상기 제2 배열 방향에 교차하는 직선대부(601)와, 상기 직선대부(601)에 접속된 만곡대부(602)가 교대로 연속하는 사행 형상을 가지고 있다.

제6 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제7 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 제2 접촉부(30)로부터 상기 제2 배열 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 돌기부(13)를 더 구비하고, 상기 돌기부(13)를 통해 상기 제2 접촉부(30)에 외력이 가해지도록 구성되어 있다.

제7 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제8 양태의 검사 지그(2)는,

상기 양태의 프로브 핀(10)과,

상기 프로브 핀(10)을 수용 가능한 수용부(53)를 갖는 소켓(50)을

구비하고,

상기 소켓(50)이,

상기 수용부(53)에 수용된 상기 프로브 핀(10)의 상기 중간부(40)를 상기 제1 배열 방향을 따라 상기 제1 접촉부(20)로부터 상기 제2 접촉부(30)를 향하는 방향에 있어서 거는 걸림 지지부(56)을 가지고 있다.

제8 양태의 검사 지그(2)에 따르면, 프로브 핀(10)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

본 개시의 제9 양태의 검사 지그(2)는,

상기 프로브 핀(10)이, 제2 양태 내지 제4 양태 중 어느 1개의 프로브 핀(10)이며,

상기 소켓(50)이, 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향에 있어서의 상기 제2 접촉부(30)의 이동을 규제하는 이동 규제부(57)를 갖는다.

제9 양태의 검사 지그(2)에 따르면, 이동 규제부(57)에 의해, 돌기부(13)에 외력이 가해지고, 제2 접촉부(30)의 제2 접점부(31)가 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동했을 때, 가동부(12)의 제2 탄성부(15)에 과잉의 응력이 가해져, 프로브 핀(10)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

본 개시의 제10 양태의 검사 지그(2)는,

상기 소켓(50)이,

상기 제1 접촉부(20) 및 상기 중간부(40)를 수용하는 제1 하우징(70)과,

상기 제2 접촉부(30)를 수용하고, 또한 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향에 있어서 상기 제1 하우징(70)에 대하여 상대적으로 이동 가능한 제2 하우징(80)과,

상기 제2 하우징(80)을 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동시키는 것이 가능한 캠부(90)를

갖는다.

제10 양태의 검사 지그(2)에 따르면, 설계의 자유도가 높고, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

본 개시의 제11 양태의 검사 유닛(1)은,

제8 양태 내지 제10 양태 중 어느 1개의 검사 지그(2)를 구비한다.

제11 양태의 검사 유닛(1)에 따르면, 상기 검사 지그(2)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제12 양태의 검사 장치는,

제11 양태의 검사 유닛(1)을 구비한다.

제12 양태의 검사 장치에 따르면, 상기 검사 유닛(1)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 대응 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의인 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 다른 실시 형태 또는 실시예 중 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 개시의 프로브 핀은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.

본 개시의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

본 개시의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.

본 개시의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다.

1: 검사 유닛
2: 검사 지그
3: 간극
10: 프로브 핀
11: 제1 탄성부
111, 112, 113, 114: 띠 형상 탄성편
115: 간극
116: 직선대부
117: 만곡대부
12: 가동부
13: 돌기부
14: 절결부
15: 제2 탄성부
151, 152: 띠 형상 탄성편
16: 접속 부분
17: 제3 탄성부
171, 172: 띠 형상 탄성편
173: 간극
18: 제4 탄성부
181, 182, 183: 띠 형상 탄성편
184, 185: 간극
20: 제1 접촉부
21: 제1 접점부
30: 제2 접촉부
31: 제2 접점부
40: 중간부
50: 소켓
51: 판상부
52: 직육면체부
53: 수용부
54: 제1 개구부
55: 제2 개구부
56: 걸림 지지부
57: 이동 규제부
60: 제5 탄성부
601: 직선대부
602: 만곡대부
61, 62, 63, 66, 67: 띠 형상 탄성편
64, 65, 68: 간극
70: 제1 하우징
71: 제1 수용부
80: 제2 하우징
81: 제2 수용부
82: 경사면
90: 캠부
91: 축부
100: 기판
110: 기판 대 기판 커넥터
111: 전극부
120: 조작 레버
L1: 제1 가상 직선
L2: 제2 가상 직선
L3: 제3 가상 직선
P1: 복귀 위치
P2: 동작 위치
A 내지 E: 화살표

Claims (12)

1. 제1 접촉부 및 제2 접촉부와,
   상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부 사이에 배치된 중간부와,
   상기 제1 접촉부 및 상기 중간부에 접속되고, 상기 제1 접촉부 및 상기 중간부를 연결한 제1 배열 방향을 따라 신축되고, 상기 제1 접촉부를 상기 중간부에 대하여 상기 제1 배열 방향으로 이동시키는 제1 탄성부와,
   상기 중간부 및 상기 제2 접촉부에 접속되고, 상기 제2 접촉부를 상기 중간부에 대하여 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동시키는 가동부를
   구비하고,
   상기 제1 접촉부, 상기 제1 탄성부, 상기 중간부, 상기 가동부 및 상기 제2 접촉부가 직렬적으로 배치되어 있는, 프로브 핀으로서,
   상기 제2 접촉부에 접속되고, 상기 제2 접촉부로부터 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 돌기부를 더 구비하고,
   상기 가동부가, 상기 제1 배열 방향을 따라 연장되고, 상기 제1 배열 방향의 일단부가 상기 중간부에 접속되고, 또한 상기 제1 배열 방향의 타단부가 상기 제2 접촉부에 접속되어서, 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제2 탄성부를 가지고,
   상기 제2 탄성부가, 상기 돌기부를 통해 상기 제2 접촉부에 가해진 외력에 따라서 탄성 변형됨으로써, 상기 제2 접촉부가, 상기 제2 탄성부 및 상기 중간부의 접속 부분을 지지점으로 해서 회동하여 상기 중간부에 대하여 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동하는, 프로브 핀.
2. 제1항에 있어서,
   상기 돌기부가, 상기 돌기부의 돌출 방향에 있어서의 상기 제2 접촉부에 가까운 쪽의 단부에 마련되고, 상기 제1 배열 방향으로, 또한 상기 제1 접촉부에 접근하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제3 탄성부를 가지고,
   상기 제3 탄성부가, 상기 돌기부에 가해진 상기 제1 배열 방향으로, 또한 상기 제1 접촉부에 접근하는 방향으로의 외력에 따라서 탄성 변형하는, 프로브 핀.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제2 접촉부가,
   상기 제1 배열 방향으로 연장되어 있음과 함께, 상기 제1 배열 방향의 일단부가 상기 제2 탄성부에 접속되고, 상기 제1 배열 방향의 타단부에 접점부를 가지고, 상기 제1 배열 방향에 있어서의 상기 접점부 및 상기 제2 탄성부의 중간에 상기 돌기부가 접속되고,
   상기 제2 접촉부의 상기 제1 배열 방향에 있어서의 상기 접점부와 상기 돌기부 사이에, 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 탄성 변형 가능한 제4 탄성부를 가지고,
   상기 제4 탄성부가, 상기 제2 접촉부의 상기 접점부의 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로의 이동에 따라서 탄성 변형하는, 프로브 핀.
4. 제1항에 기재된 프로브 핀과,
   상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓을
   구비하고,
   상기 소켓이,
   상기 수용부에 수용된 상기 프로브 핀의 상기 중간부를 상기 제1 배열 방향을 따라 상기 제1 접촉부로부터 상기 제2 접촉부를 향하는 방향에 있어서 거는 걸림 지지부를 가지고 있는, 검사 지그.
5. 제4항에 있어서,
   상기 소켓이, 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향에 있어서의 상기 제2 접촉부의 이동을 규제하는 이동 규제부를 갖는 검사 지그.
6. 제4항에 있어서,
   상기 소켓이,
   상기 제1 접촉부 및 상기 중간부를 수용하는 제1 하우징과,
   상기 제2 접촉부를 수용하고, 또한 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향에 있어서 상기 제1 하우징에 대하여 상대적으로 이동 가능한 제2 하우징과,
   상기 제2 하우징을 상기 제1 배열 방향에 교차하는 방향으로 이동시키는 것이 가능한 캠부를
   갖는 검사 지그.
7. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 검사 지그를 구비한 검사 유닛.
8. 제7항에 기재된 검사 유닛을 구비한 검사 장치.
9. 삭제
10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제

Images