JP2019138709A - プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査装置に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物に接触可能なプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置を提供すること。【解決手段】プローブピンが、第１接触部および第２接触部と、第１接触部および第２接触部の間に配置された中間部と、第１接触部を中間部に対して第１配列方向に移動させる第１弾性部と、第２接触部を中間部に対して第１配列方向に交差する方向に移動させる可動部とを備える。【選択図】図２

Description

本開示は、プローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板に接続するためのＦＰＣ接触電極あるいは実装された基板対基板コネクタ等の電極部と、検査装置とを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトと、一対のコンタクト間に介在して一対のコンタクトを接続する蛇行部とを備えている。前記プローブピンでは、一対のコンタクトを結んだ配列方向に沿って蛇行部が伸縮し、各コンタクトがこの配列方向に沿って往復移動することにより、各コンタクトが電磁部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対して配列方向で接触するように構成されている。

特開２００２−１３４２０２号公報

近年、検査装置および検査対象物の多様化に伴って、各コンタクトが同一方向に沿って往復移動する、いわゆる直線型の前記プローブピンでは対応することが困難な場合が増えている。

例えば、ディスプレイモジュールの検査は、ディスプレイパネル上に電極部が配置された状態で行われる場合がある。このような検査に前記プローブピンを用いると、一方のコンタクトがディスプレイパネル上の電極部に接触し、他方のコンタクトが検査装置に接触するが、ディスプレイパネルが有機ＥＬのような強度の弱い材料で構成されていると、前記プローブピンが接触したときにディスプレイに過度な力が作用してしまい、ディスプレイパネルが割れてしまう可能性がある。

本開示は、検査装置に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物に接触可能なプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置を提供することを目的とする。

本開示の一例のプローブピンは、
第１接触部および第２接触部と、
前記第１接触部および前記第２接触部の間に配置された中間部と、
前記第１接触部および前記中間部に接続され、前記第１接触部および前記中間部を結んだ第１配列方向に沿って伸縮して、前記第１接触部を前記中間部に対して前記第１配列方向に移動させる第１弾性部と、
前記中間部および前記第２接触部に接続され、前記第２接触部を前記中間部に対して前記第１配列方向に交差する方向に移動させる可動部と
を備え、
前記第１接触部、前記第１弾性部、前記中間部、前記可動部および前記第２接触部が直列的に配置されている。

また、本開示の一例の検査治具は、
前記プローブピンと、
前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
を備え、
前記ソケットが、
前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部を前記第１配列方向に沿って前記第１接触部から前記第２接触部に向かう方向において係止する係止部を有している。

また、本開示の一例の検査ユニットは、
前記検査治具を少なくとも１つ備えた。

また、本開示の一例の検査装置は、
前記検査ユニットを少なくとも１つ備えた。

前記プローブピンによれば、第１接触部が、第１弾性部により、中間部に対して第１接触部および中間部を結んだ第１配列方向に沿って移動可能に構成され、第２接触部が、可動部により、中間部に対して第１配列方向に交差する方向に移動可能に構成されている。これにより、検査装置に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物に接触可能なプローブピンを実現できる。

また、前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査治具を実現できる。

また、前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査ユニットを実現できる。

また、前記検査装置によれば、前記検査ユニットにより、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査装置を実現できる。

本開示の第１実施形態の検査ユニットおよび検査治具を示す斜視図。 図１のII-II線に沿った断面図。 本開示の第１実施形態のプローブピンの斜視図。 図３のプローブピンの平面図。 図３のプローブピンの第１の変形例を説明するための平面図。 図３のプローブピンの第２の変形例を説明するための平面図。 図３のプローブピンの第３の変形例を説明するための平面図。 図１の検査ユニットおよび検査治具の変形例を説明するための断面図。 本開示の第２実施形態の検査ユニットおよび検査治具を示す斜視図。 図９のX-X線に沿った断面図。 本開示の第２実施形態のプローブピンの斜視図。 図１１のプローブピンの平面図。 図１１のプローブピンの第１の変形例を説明するための平面図。 図１１のプローブピンの第２の変形例を説明するための平面図。 本開示の第３実施形態の検査ユニットおよび検査治具を示す斜視図。 図１６のXVI-XVI線に沿った断面図。 図１５の検査治具の第１の変形例を説明するための断面図。 図１５の検査治具の第２の変形例を説明するための断面図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

（第１実施形態）
本開示の第１実施形態のプローブピン１０は、導電性を有し、例えば、図１および図２に示すように、ソケット５０に収容された状態で使用され、ソケット５０と共に検査治具２を構成する。この検査治具２には、一例として、複数の細長い薄板状の複数のプローブピン１０が収容されている。

また、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成している。検査ユニット１は、少なくとも１つの検査治具２で構成されている。図１に示すように、第１実施形態では、検査ユニット１は、隣接して配置された２つの検査治具２で構成されている。

ソケット５０は、図１に示すように、略矩形板状の板状部５１と、この基部５１の長手方向の中央に接続された略直方体状の直方体部５２とで構成され、略Ｔ字の箱形状を有している。また、図２に示すように、板状部５１および直方体部５２の内部には、それぞれに１つのプローブピン１０を収容可能な複数の収容部５３が設けられている。

各収容部５３は、図２に示すように、スリット状を有し、各プローブピン１０を相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、板状部５１および直方体部５２の接続方向（すなわち、図２の上下方向）から見て、板状部５１の長手方向（すなわち、図２の紙面貫通方向）に沿って一列に並んでかつ等間隔に配置されている。

各収容部５３における板状部５１および直方体部５２の接続方向の両端部は、相互に対向する第１開口部５４および第２開口部５５に接続されている。第１開口部５４は、板状部５１に設けられ、第２開口部５５は、直方体部５２に設けられている。なお、第１実施形態では、第１開口部５４は、各収容部５３に対して２つ設けられており、板状部５１および直方体部５２の接続方向から見て、板状部５１の短手方向（すなわち、図２の左右方向）に間隔を空けて配置されている。

また、図２に示すように、各収容部５３における板状部５１および直方体部５２の接続方向の中間には、板状部５１および直方体部５２の接続方向から見て、板状部５１の短手方向に延びる係止部５６が設けられている。この係止部５６は、収容部５３内で後述するプローブピン１０の中間部４０を第１配列方向に沿って第１接触部２０から第２接触部３０に向かう方向において係止する。なお、係止部５６は、ソケット５０に一体に設けてもよいし、ソケット５０とは別体に設けてもよい。

各プローブピン１０は、図３に示すように、板状で、第１接触部２０および第２接触部３０と、第１接触部２０および第２接触部３０の間に配置された中間部４０と、第１接触部２０および中間部４０に接続された第１弾性部１１と、中間部４０および第２接触部３０に接続された可動部１２とを備えている。各プローブピンは、例えば、電鋳法で形成され、第１接触部２０、第１弾性部１１、中間部４０、可動部１２および第２接触部３０が、プローブピン１０の板厚方向から見て、プローブピン１０の長手方向（すなわち、図３の上下方向）に沿って直列的に配置されかつ一体に構成されている。

第１接触部２０は、図４に示すように、プローブピン１０の板厚方向から見て、プローブピン１０の短手方向に延びる略矩形状を有し、プローブピン１０の長手方向の一方の端部に第１弾性部１１が接続され、プローブピン１０の長手方向の他方の端部に第１接点部２１が設けられている。第１接点部２１は、第１接触部２０のその延在方向の両端部にそれぞれ設けられている。各第１接点部２１は、図２に示すように、ソケット５０の収容部５３に収容した状態で、第１開口部５４を介してソケット５０の外部に露出し、例えば、検査装置の基板１００上に設けられた端子（図示せず）に第１配列方向で接続可能に構成されている。すなわち、各第１接点部２１の検査装置の基板１００上に設けられた端子に対する接触方向は、第１配列方向と略平行になっている。

なお、図１に示すように、各収容部５３に収容されたプローブピン１０の第１接点部２１は、板状部５１および直方体部５２の接続方向（すなわち、図１の上下方向）から見て、板状部５１の長手方向に平行な同一の第１仮想直線Ｌ１上に配置されている。

第２接触部３０は、図４に示すように、プローブピン１０の板厚方向から見て、プローブピン１０の長手方向に延びており、その延在方向の一端部に第２接点部３１が設けられ、その延在方向の他端部に可動部１２が接続されている。第２接点部３１は、図２に示すように、ソケット５０の収容部５３に収容した状態で、第２開口部５５を介してソケット５０の外部に露出し、例えば、第１配列方向に交差する方向で基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に接続可能に構成されている。すなわち、第２接点部３１の基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に対する接触方向は、第１配列方向に交差する方向と略平行になっており、各第１接点部２１の検査装置の基板１００上に設けられた端子に対する接触方向とは異なっている。

なお、第２接点部３１は、第１接触部２０および中間部４０を結んだ第１配列方向（以下、単に第１配列方向という。）に沿って延びかつ一方の第１接点部２１（図４の左側の第１接点部２１）における第１配列方向に直交する方向の中心を通る第２仮想直線Ｌ２沿いに配置されている。

また、各収容部５３に収容されたプローブピン１０の第２接点部３１は、第１接点部２１と同様に、板状部５１および直方体部５２の接続方向から見て、板状部５１の長手方向に平行な同一直線（図示せず）上に配置されている。

第２接触部３０には、第２接触部３０の第１配列方向における第２接点部３１および可動部１２（すなわち、後述する第２弾性部１５）の中間から第１配列方向に交差（例えば、略直交）する方向に突出する突起部１３が設けられている。この突起部１３は、一例として、第２接触部３０から第１配列方向に交差する方向に延びる略矩形状を有し、その先端部におけるプローブピン１０の長手方向でかつ第２接点部３１側の面に、半円状の切欠部１４が設けられている。この切欠部１４には、図２に示すように、操作レバー１２０が接続され、この操作レバー１２０を介して、突起部１３に対して第１配列方向でかつ第１接触部２０に接近する方向（すなわち、図２の矢印Ａ方向）の外力が加えられる。

中間部４０は、図４に示すように、第１配列方向に交差（例えば、直交）する方向に延びる略矩形板状を有している。この中間部４０は、仮想直線Ｌに対して第２接触部３０の突起部１３と同じ側に延びている。

第１弾性部１１は、図４に示すように、第１接触部２０および中間部４０に接続され、第１配列方向に沿って伸縮して、第１接触部２０を中間部４０に対して第１配列方向に移動させるように構成されている。

詳しくは、第１弾性部１１は、相互に隙間１１５を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、４つの帯状弾性片）１１１、１１２、１１３、１１４で構成されている。各帯状弾性片１１１、１１２、１１３、１１４は、第１配列方向に交差（例えば、直交）する方向に延びる複数の直線帯部１１６および複数の湾曲帯部１１７（この実施形態では、一例として、２つの直線帯部１１６および３つの円弧状の湾曲帯部１１７）が、第１配列方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有している。

第１弾性部１１の両端の湾曲帯部１１７の各々は、直線Ｌ２沿いに配置され、その延在方向の一端部が第２接触部２０または中間部４０に接続されている。なお、第１弾性部１１の２つの直線帯部１１６は、第２接触部２０または中間部４０に接続された湾曲帯部１１７のその延在方向の他端部から、直線Ｌ２に対して第２接触部３０の突起部１３および中間部４０と同じ側にそれぞれ延びている。

可動部１２は、図４に示すように、中間部４０および第２接触部３０に接続され、第２接触部３０を第１配列方向に交差する方向に移動できるように構成されている。

詳しくは、可動部１２は、第１配列方向に沿って延びていると共に、第１配列方向の一端部が中間部４０に接続されかつ第１配列方向の他端部が第２接触部３０に接続されて、第１配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第２弾性部１５を有している。

第２弾性部１５は、図４に示すように、相互に隙間１５３を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片）１５１、１５２を有し、突起部１３を介して第２接触部３０に加えられた外力に応じて弾性変形して、第２接触部３０を第２弾性部１５および中間部４０の接続部分１６を支点として回動させる（言い換えると、可動させる）ように構成されている。すなわち、第１実施形態のプローブピン１０は、操作レバー１２０を介して突起部１３に図２の矢印Ａ方向の外力が加えられると、第２弾性部１５が、第１配列方向に交差する方向に弾性変形して、第２接触部３０が、第２弾性部１５および中間部４０の接続部分１６を支点として回動して中間部４０に対して第１配列方向に交差する方向に移動するように構成されている。

第１配列方向に直交する方向の一方側（すなわち、図４の左側）に配置された帯状弾性片１５１は、第１配列方向に平行な直線Ｌ２に沿った直線状を有している。また、第１配列方向に直交する方向の他方側（すなわち、図４の右側）に配置された帯状弾性片１５２は、第１配列方向に平行な直線Ｌ２に沿って延びる第１部分１５４と、第１部分１５４の第１配列方向の一端部（すなわち、中間部４０に接続されている側の端部）から中間部４０に沿って延びる第２部分１５５とで構成された略Ｌ字状を有している。なお、隙間１５３は、帯状弾性片１５１、１５２および中間部４０で囲まれており、略Ｌ字状に延びている。

なお、操作レバー１２０を長尺部材で構成することで、１つの操作レバー１２０で複数のプローブピン１０の突起部１３に対して同時に矢印Ａ方向の外力を加えることができる。

第１実施形態のプローブピン１０では、第１接触部２０が、第１弾性部１１により、中間部４０に対して第１接触部２０および中間部４０を結んだ第１配列方向に沿って移動可能に構成され、第２接触部３０が、可動部１２により、中間部４０に対して第１配列方向に交差する方向に移動可能に構成されている。これにより、検査装置（例えば、検査装置の基板１００）に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物（例えば、基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１）に接触可能なプローブピン１０を実現できる。

また、第２接触部３０に接続され、第２接触部３０から第１配列方向に交差する方向に突出する突起部１３をさらに備え、可動部１２が、第１配列方向に沿って延びていると共に第１配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第２弾性部１５を有している。そして、第２弾性部１５が、突起部１３を介して第２接触部３０に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、第２接触部３０が、第２弾性部１５および中間部４０の接続部分１６を支点として回動して中間部４０に対して第１配列方向に交差する方向に移動する。これにより、検査装置に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物に接触可能なプローブピン１０を容易に実現できる。

なお、各突起部１３に加える外力は、図２の矢印Ａ方向に限らず、突起部１３を介して第２接触部３０に加えられた外力に応じて弾性変形して、第２接触部３０を第２弾性部１５および中間部４０の接続部分１６を支点として回動させることができる方向であればよい。例えば、突起部１３に、各突起部１３を第１配列方向に交差する方向でかつ第２接触部３０から離れる方向（すなわち、図２の矢印Ｂ方向）の外力を加えてもよい。

また、突起部１３の切欠部１４を半円状にし、操作レバー１２０の切欠部１４への接続部分を切欠部１４の半円状に合わせた半円状にすることで、操作レバー１２０を矢印Ａ方向に直線的に移動させたときに、突起部１３および操作レバー１２０の接続状態を確実に維持することができて、第２接触部３０を確実に回動させることができる。

第１実施形態の検査治具２によれば、プローブピン１０により、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査治具２を実現できる。すなわち、例えば、ディスプレイパネルが有機ＥＬのような強度の弱い材料で構成されていた場合であっても、ディスプレイパネルを損傷させることなく、ディスプレイパネルモジュールの検査を行うことができる。

また、前記検査ユニット１によれば、前記検査治具２により、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査ユニット１を実現できる。

また、前記検査装置によれば、前記検査ユニット１により、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査装置を実現できる。

なお、図２に示すように、前記検査治具２では、プローブピン１０は、中間部４０が係止部５６に接触した状態で、収容部５３に収容されている。すなわち、プローブピン１０は、係止部５６によって、プローブピン１０の中間部４０を第１配列方向に沿って第１接触部２０から第２接触部３０に向かう方向において、支持されつつ係止されている。これにより、第１接点部２１が、例えば、検査装置の基板１００に接触して第１配列方向に沿って第１接触部２０から第２接触部３０に向かって（すなわち、収容部５３の内部に向かって）押圧されたとしても、中間部４０が係止部５６によって支持されつつ係止されているので、第１弾性部１１の弾性力が第２接触部３０に作用することがなく、第２接触部３０を中間部４０に対して第１配列方向に交差する方向に確実に移動させることができる。すなわち、収容されたプローブピン１０が、検査装置に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物に接触できる検査治具２を確実に実現できる。

第１実施形態のプローブピン１０の各構成は、プローブピン１０の設計等に応じて、その形状等を適宜変更できる。例えば、第１接点部２１および第２接点部３１の各々は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、形状および位置などを適宜変更することができる。

また、例えば、図５に示すように、突起部１３の突出方向における第２接触部３０に近い方の端部に、第１配列方向でかつ第１接触部２０に接近する方向に弾性変形可能な第３弾性部１７を設けてもよい。図５のプローブピン１０では、第３弾性部１７は、相互に隙間１７３を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片）１７１、１７２を有している。一方の帯状弾性片１７１は、第２弾性部１５の直線状の帯状弾性片１５１に接続され、他方の帯状弾性片１７２は、第２弾性部１５の略Ｌ字状の帯状弾性片１５２に接続されている。また、２つの帯状弾性片１７１、１７２の間の隙間１７３は、第２弾性部１５の隙間１５３に接続されている。

また、例えば、図６に示すように、第２接触部３０の第２接点部３１と突起部１３との間に、第１配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第４弾性部１８を設けてもよい。図６のプローブピン１０では、第４弾性部１８は、相互に隙間１８４、１８５を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、３つの円弧状に湾曲した帯状弾性片）１８１、１８２、１８３で構成されている。

図５および図６に示すように、突起部１３に第３弾性部１７を設け、および／または、第２接触部３０に第４弾性部１８を設けることで、第２接触部３０に発生する応力を分散させることができる。例えば、図２に示すように、このようなプローブピン１０を検査治具２に用いた場合、突起部１３に外力が加えられ、第２接触部３０の第２接点部３１が、第１配列方向に交差する方向に移動して基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に接触した際、第２接触部３０に過剰な応力が加えられて、プローブピン１０が破損するのを防止できる。

また、例えば、図７に示すように、中間部４０に板厚方向に貫通する貫通孔４１を設けてもよい。この貫通孔４１は、一例として、略円形状を有し、略円柱形状の連結棒部（図示せず）が配置可能になっている。この連結棒部は、複数のプローブピン１０を一体化して、対応する収容部５３に一部に収容することができる。図７のプローブピン１０を収容するソケット５０には、各収容部５３をその配列方向に貫通する連結用孔部（図示せず）が設けられ、この連結用孔部に連結棒部が配置される。この場合、係止部５６に代えて（あるいは、係止部５６に加えて）、ソケット５０に連結棒部の両端部を第１配列方向に沿って第１接触部２０から第２接触部３０に向かう方向において係止する第２の係止部（図示せず）をソケット５０に設けてもよい。

なお、第１〜第４弾性部１１、１５、１７、１８の各々は、複数の帯状弾性片１１１、１１２、１１３、１１４、１５１、１５２、１７１、１７２、１８１、１８２、１８３で構成する場合に限らず、例えば、１つの帯状弾性片で構成してもよい。

検査治具２は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、その構成を適宜変更することができる。例えば、図８に示すように、ソケット５０の第２開口部５５側の端部に移動規制部５７を設けてもよい。この移動規制部５７は、突起部１３に外力が加えられたときに第２接触部３０の第２接点部３１が移動する方向（すなわち、第１配列方向に交差する方向）における第２接触部３０の移動を規制する。この移動規制部５７により、突起部１３に外力が加えられ、第２接触部３０の第２接点部３１が第１配列方向に交差する方向に移動した際、可動部１２の第２弾性部１５に過剰な応力が加えられて、プローブピン１０が破損するのを防止できる。

また、検査治具２を汎用化することで、検査ユニット１（ひいては検査装置）の生産性を向上させることもできる。

（第２実施形態）
本開示の第２実施形態のプローブピン１０は、図９〜図１２に示すように、第２接触部３０および可動部１２が、第１配列方向に交差する第２配列方向に沿って延びていると共に、可動部１２が第５弾性部６０を有する点で、第１実施形態と異なっている。

なお、第２実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。

第２接触部３０および可動部１２は、図１２に示すように、第１配列方向に沿って延びる仮想直線Ｌ２に交差しかつ第５弾性部６０および中間部４０の接続部分１６を通る第３仮想直線Ｌ３に沿って延びている。

第５弾性部６０は、図１２に示すように、第２配列方向の一端部が中間部４０に接続されかつ第２配列方向の他端部が第２接触部３０に接続されて、第１配列方向および第２配列方向に交差する方向に弾性変形可能に構成されている。

詳しくは、第５弾性部６０は、相互に隙間６４、６５を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、３つの帯状弾性片）６１、６２、６３で構成されている。各帯状弾性片６１、６２、６３は、第２配列方向に沿って延びる直線形状を有し、第２接触部３０に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、第２接触部３０が、第５弾性部６０および中間部４０の接続部分１６を支点として回動して中間部４０に対して第１配列方向および第２配列方向に交差する方向に移動するように構成されている。

第２実施形態のプローブピン１０を用いた検査治具２では、次のように第２接点部３１を検査対象物（例えば、基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１）に接続させる。

すなわち、まず、図１０に示すように、外力が加えられていない復帰位置Ｐ１にある第２接触部３０を、操作レバー１２０を介して、第２配列方向に交差する方向でかつ第２接触部３０が直線Ｌ２に接近する方向（すなわち、図１０の矢印Ｃ方向）から外力を加えて、図１０に示す動作位置Ｐ２まで移動させる。このとき、第５弾性部６０は、第１配列方向および第２配列方向に交差しかつ第２接触部３０および可動部１２の延在方向が第１配列方向に平行になる方向（すなわち、矢印Ｃ方向）に弾性変形する。

そして、第２接触部３０を動作位置Ｐ２に位置させた状態で基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１を移動させて、電極部１１１を直線Ｌ２および直線Ｌ３の間に配置する。その後、操作レバー１２０を取り除くと、第５弾性部６０の復帰力により、第２接触部３０が、第５弾性部６０および中間部４０の接続部分１６を支点として、動作位置Ｐ２から復帰位置Ｐ１に向かって回動して、第２接点部３１および電極部１１１が接触する。

第２実施形態のプローブピン１０では、第２接触部３０および可動部１２が、第１配列方向に交差する第２配列方向に沿って延びていると共に、可動部１２が、第２配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第５弾性部６０を有している。そして、第５弾性部６０が、第２接触部３０に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、第２接触部３０が、第５弾性部６０および中間部４０の接続部分１６を支点として回動して前記中間部に対して前記第１配列方向および前記第２配列方向に交差する方向に移動する。これにより、検査装置に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物に接触可能なプローブピン１０を容易に実現できる。

なお、第５弾性部６０は、図１３に示すように、第２配列方向に交差する直線帯部６０１と、直線帯部６０１に接続された湾曲帯部６０２とが交互に連続する蛇行形状を有していてもよい。図１３のプローブピン１０では、第５弾性部６０は、一例として、相互に隙間６８を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片）６６、６７で構成され、各帯状弾性片６６、６７は、２つの直線帯部６０１と、３つの湾曲帯部６０２とで構成されている。

また、例えば、図１４に示すように、第２接触部２０から第２配列方向に交差する方向に突出する突起部１３をさらに備え、突起部１３を介して第２接触部３０に外力が加えられるように構成してもよい。図１４のプローブピン１０では、半円状の切欠部１４が、突起部１３の突出方向における第２接触部３０から遠い方の端部に設けられている。

このように、第２実施形態のプローブピン１０の第５弾性部６０は、プローブピン１０の設計等に応じて、その形状等を適宜変更できる。これにより、設計の自由度が高いプローブピン１０を実現できる。

（第３実施形態）
本開示の第３実施形態の検査治具２は、図１５および図１６に示すように、ソケット５０が、第１ハウジング７０、第２ハウジング８０およびカム部９０を有する点で、第１実施形態と異なっている。

なお、第３実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。

第３実施形態のプローブピン１０は、突起部１３が設けられていない点を除いて、第１実施形態のプローブピン１０と同じ構成を有している。

第１ハウジング７０は、図１５に示すように、板状部５１と直方体部５２とで構成された略Ｔ字の箱形状で、図１６に示すように、第１接触部２０および中間部４０を収容する複数の第１収容部７１を有している。各第１収容部７１は、スリット状を有し、各プローブピン１０を相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、板状部５１および直方体部５２の接続方向（すなわち、図１６の上下方向）から見て、板状部５１の長手方向（すなわち、図１６の紙面貫通方向）に沿って一列に並んでかつ等間隔に配置されている。また、各第１収容部７１の第１開口部５５から、プローブピン１０の可動部１２が第１ハウジング７０の外部に露出している。

また、第２ハウジング８０は、図１５に示すように、略直方体状で、図１６に示すように、第２接触部３０を収容する第２収容部８１を有している。各第２収容部８１は、第１収容部７１と同様に、スリット状を有し、各プローブピン１０を相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、板状部５１および直方体部５２の接続方向から見て、板状部５１の長手方向に沿って一列に並んでかつ等間隔に配置されている。各第２収容部８１は、板状部５１および直方体部５２の接続方向の両端部が開口しており、それぞれ、プローブピン１０の第２接点部３１および可動部１２が、各第２収容部８１の外部に露出している。また、第２ハウジング８０は、第１配列方向に交差する方向（すなわち、図１６の左右方向）において第１ハウジング７０に対して相対的に移動可能に構成されている。

図１６に示すように、検査ユニット１の隣接する検査治具２の間には、略一定間隔の隙間３が設けられている。この隙間３に、カム部９０が配置されている。このカム部９０は、各収容部７１、８１の配列方向に沿って延びる軸部９１を中心に回動可能な略直方体状を有している。カム部９０が回動することにより、第２ハウジング８０が第１配列方向に交差する方向に移動し、第２ハウジング８０の移動に連動してプローブピン１０の第２接触部３０が第１配列方向に交差する方向に移動する。

第３実施形態の検査治具２では、次のように第２接点部３１を検査対象物（例えば、基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１）に接続させる。

すなわち、まず、図１６に示すように、第２接触部３０を外力が加えられていない状態で基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１を移動させて、第２接点部３１に対してカム部９０の第１配列方向における反対側に電極部１１１を隣接させる。そして、カム部９０を回動させると、第２ハウジング８０が第１配列方向でかつカム部９０から離れる方向（すなわち、図１８の矢印Ｄ方向）に移動して、プローブピン１０の第２接触部３０を矢印Ｄ方向に移動させる。これにより、第２接触部３０が、可動部１２および中間部４０の接続部分１６を支点として回動して中間部４０に対して第１配列方向に交差する方向に移動し、第２接点部３１および電極部１１１が接触する。

第３実施形態の検査治具２は、ソケット５０が、第１接触部２０および中間部４０を収容する第１ハウジング７０と、第２接触部３０を収容しかつ第１配列方向に交差する方向において第１ハウジング７０に対して相対的に移動可能な第２ハウジング８０と、第２ハウジング８０を第１配列方向に交差する方向に揺動可能なカム部９０とを有している。このように、検査治具２は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、その構成を適宜変更することができる。これにより、設計の自由度が高く、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査治具２を実現できる。

なお、第３実施形態の検査治具２は、図１６に示すプローブピン１０に限らず、例えば、図１７に示すように、第２接触部３０の第２接点部３１と可動部１２との間に第４弾性部１８が設けられたプローブピン１０を用いることができる。

また、カム部９０は、軸部９１回りに回転することにより、第２ハウジング８０を矢印Ｄ方向に沿って直線的に移動させるように構成されている場合に限らない。例えば、図１８に示すように、カム部９０は、第１配列方向（すなわち、図１８の矢印Ｅ方向）に沿って直線的に移動することにより、第２ハウジング８０を第１配列方向に直交する方向（すなわち、図１８の矢印Ｄ方向）に沿って直線的に移動させるように構成されていてもよい。この場合、カム部９０は、軸部９１を中心に第１配列方向に移動可能な略三角柱状を有し、側面の１つが第１配列方向に直交するように配置されている。また、各第２ハウジング８０は、カム部９０の側面の１つに対向しかつ接触可能に配置された傾斜面８２を有している。

本開示のプローブピン１０は、第１接触部２０および第２接触部３０と、第１接触部２０および第２接触部３０の間に配置された中間部４０と、第１接触部２０および中間部４０に接続されて第１配列方向に沿って伸縮する第１弾性部１１と、中間部４０および第２接触部３０に接続されて第２接触部３０を第１配列方向に交差する方向に移動可能な可動部１２とを備え、第１接触部２０、第１弾性部１１、中間部４０、可動部１２および第２接触部３０が直列的に配置されていればよく、第１〜第３実施形態のプローブピン１０に限らない。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様のプローブピン１０は、
第１接触部２０および第２接触部３０と、
前記第１接触部２０および前記第２接触部３０の間に配置された中間部４０と、
前記第１接触部２０および前記中間部４０に接続され、前記第１接触部２０および前記中間部４０を結んだ第１配列方向に沿って伸縮して、前記第１接触部２０を前記中間部４０に対して前記第１配列方向に移動させる第１弾性部１１と、
前記中間部４０および前記第２接触部３０に接続され、前記第２接触部３０を前記中間部４０に対して前記第１配列方向に交差する方向に移動させる可動部１２と
を備え、
前記第１接触部２０、前記第１弾性部１１、前記中間部４０、前記可動部１２および前記第２接触部３０が直列的に配置されている。

第１態様のプローブピン１０によれば、第１接触部２０が、第１弾性部１１により、中間部４０に対して第１接触部２０および中間部４０を結んだ第１配列方向に沿って移動可能に構成され、第２接触部３０が、可動部１２により、中間部４０に対して第１配列方向に交差する方向に移動可能に構成されている。これにより、検査装置（例えば、検査装置の基板１００）に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物（例えば、基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１）に接触可能なプローブピン１０を実現できる。

本開示の第２態様のプローブピン１０は、
前記第２接触部３０に接続され、前記第２接触部３０から前記第１配列方向に交差する方向に突出する突起部１３をさらに備え、
前記可動部１２が、前記第１配列方向に沿って延び、前記第１配列方向の一端部が前記中間部４０に接続されかつ前記第１配列方向の他端部が前記第２接触部３０に接続されて、前記第１配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第２弾性部１５を有し、
前記第２弾性部１５が、前記突起部１３を介して前記第２接触部３０に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、前記第２接触部３０が、前記第２弾性部１５および前記中間部４０の接続部分１６を支点として回動して前記中間部４０に対して前記第１配列方向に交差する方向に移動する。

第２態様のプローブピン１０によれば、検査装置に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物に接触可能なプローブピン１０を容易に実現できる。

本開示の第３態様のプローブピン１０は、
前記突起部１３が、前記突起部１３の突出方向における前記第２接触部３０に近い方の端部に設けられ、前記第１配列方向でかつ前記第１接触部２０に接近する方向に弾性変形可能な第３弾性部１７を有し、
前記第３弾性部１７が、前記突起部１３に加えられた前記第１配列方向でかつ前記第１接触部２０に接近する方向への外力に応じて弾性変形する。

第３態様のプローブピン１０によれば、例えば、検査治具２に用いた場合に、突起部１３に外力が加えられ、第２接触部３０の第２接点部３１が、第１配列方向に交差する方向に移動して基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に接触した際、第２接触部３０に過剰な応力が加えられて、プローブピン１０が破損するのを防止できる。

本開示の第４態様のプローブピン１０は、
前記第２接触部３０が、
前記第１配列方向に延びていると共に、前記第１配列方向の一端部が前記第２弾性部１５に接続され、前記第１配列方向の他端部に接点部３１を有し、前記第１配列方向における前記接点部３１および前記第２弾性部１５の中間に前記突起部１３が接続され、
前記第２接触部３０の前記第１配列方向における前記接点部３１と前記突起部１３との間に、前記第１配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第４弾性部１８を有し、
前記第４弾性部１８が、前記第２接触部３０の前記接点部３１の前記第１配列方向に交差する方向への移動に応じて弾性変形する。

第４態様のプローブピン１０によれば、例えば、検査治具２に用いた場合に、突起部１３に外力が加えられ、第２接触部３０の第２接点部３１が、第１配列方向に交差する方向に移動して基板対基板コネクタ１１０の電極部１１１に接触した際、第２接触部３０に過剰な応力が加えられて、プローブピン１０が破損するのを防止できる。

本開示の第５態様のプローブピン１０は、
前記第２接触部３０および前記可動部１２が、前記第１配列方向に交差する第２配列方向に沿って延びていると共に、
前記可動部１２が、前記第２配列方向の一端部が前記中間部４０に接続されかつ前記第２配列方向の他端部が前記第２接触部３０に接続されて、前記第１配列方向および前記第２配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第５弾性部６０を有し、
前記第５弾性部６０が、前記第２接触部３０に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、前記第２接触部３０が、前記第５弾性部６０および前記中間部４０の接続部分１６を支点として回動して前記中間部４０に対して前記第１配列方向および前記第２配列方向に交差する方向に移動する。

第５態様のプローブピン１０によれば、検査装置に対する接触方向とは異なる方向で検査対象物に接触可能なプローブピン１０を容易に実現できる。

本開示の第６態様のプローブピン１０は、
前記第５弾性部６０が、前記第２配列方向に交差する直線帯部６０１と、前記直線帯部６０１に接続された湾曲帯部６０２とが交互に連続する蛇行形状を有している。

第６態様のプローブピン１０によれば、設計の自由度が高いプローブピン１０を実現できる。

本開示の第７態様のプローブピン１０は、
前記第２接触部３０から前記第２配列方向に交差する方向に突出する突起部１３をさらに備え、前記突起部１３を介して前記第２接触部３０に外力が加えられるように構成されている。

第７態様のプローブピン１０によれば、設計の自由度が高いプローブピン１０を実現できる。

本開示の第８態様の検査治具２は、
前記態様のプローブピン１０と、
前記プローブピン１０を収容可能な収容部５３を有するソケット５０と
を備え、
前記ソケット５０が、
前記収容部５３に収容された前記プローブピン１０の前記中間部４０を前記第１配列方向に沿って前記第１接触部２０から前記第２接触部３０に向かう方向において係止する係止部５６を有している。

第８態様の検査治具２によれば、プローブピン１０により、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査治具２を実現できる。

本開示の第９態様の検査治具２は、
前記プローブピン１０が、第２態様から第４態様のいずれか１つのプローブピン１０であり、
前記ソケット５０が、前記第１配列方向に交差する方向における前記第２接触部３０の移動を規制する移動規制部５７を有する。

第９態様の検査治具２によれば、移動規制部５７により、突起部１３に外力が加えられ、第２接触部３０の第２接点部３１が第１配列方向に交差する方向に移動した際、可動部１２の第２弾性部１５に過剰な応力が加えられて、プローブピン１０が破損するのを防止できる。

本開示の第１０態様の検査治具２は、
前記ソケット５０が、
前記第１接触部２０および前記中間部４０を収容する第１ハウジング７０と、
前記第２接触部３０を収容しかつ前記第１配列方向に交差する方向において前記第１ハウジング７０に対して相対的に移動可能な第２ハウジング８０と、
前記第２ハウジング８０を前記第１配列方向に交差する方向に移動させることが可能なカム部９０と
を有する。

第１０態様の検査治具２によれば、設計の自由度が高く、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査治具２を実現できる。

本開示の第１１態様の検査ユニット１は、
請求項８から１０のいずれか１つの検査治具２を備えた。

第１１態様の検査ユニット１によれば、前記検査治具２により、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査ユニット１を実現できる。

本開示の第１２態様の検査装置は、
請求項１１の検査ユニット１を備えた。

第１２態様の検査装置によれば、前記検査ユニット１により、検査装置および検査対象物の多様化に対応可能な検査装置を実現できる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示のプローブピンは、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査治具に適用できる。

本開示の検査治具は、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。

本開示の検査ユニットは、例えば、液晶パネルの検査装置に適用できる。

本開示の検査装置は、例えば、液晶パネルの検査に用いることができる。

１ 検査ユニット
２ 検査治具
３ 隙間
１０ プローブピン
１１ 第１弾性部
１１１、１１２、１１３、１１４ 帯状弾性片
１１５ 隙間
１１６ 直線帯部
１１７ 湾曲帯部
１２ 可動部
１３ 突起部
１４ 切欠部
１５ 第２弾性部
１５１、１５２ 帯状弾性片
１６ 接続部分
１７ 第３弾性部
１７１、１７２ 帯状弾性片
１７３ 隙間
１８ 第４弾性部
１８１、１８２、１８３ 帯状弾性片
１８４、１８５ 隙間
２０ 第１接触部
２１ 第１接点部
３０ 第２接触部
３１ 第２接点部
４０ 中間部
５０ ソケット
５１ 板状部
５２ 直方体部
５３ 収容部
５４ 第１開口部
５５ 第２開口部
５６ 係止部
５７ 移動規制部
６０ 第５弾性部
６０１ 直線帯部
６０２ 湾曲帯部
６１、６２、６３、６６、６７ 帯状弾性片
６４、６５、６８ 隙間
７０ 第１ハウジング
７１ 第１収容部
８０ 第２ハウジング
８１ 第２収容部
８２ 傾斜面
９０ カム部
９１ 軸部
１００ 基板
１１０ 基板対基板コネクタ
１１１ 電極部
１２０ 操作レバー
Ｌ１ 第１仮想直線
Ｌ２ 第２仮想直線
Ｌ３ 第３仮想直線
Ｐ１ 復帰位置
Ｐ２ 動作位置
Ａ〜Ｅ 矢印

Claims (12)

1. 第１接触部および第２接触部と、
   前記第１接触部および前記第２接触部の間に配置された中間部と、
   前記第１接触部および前記中間部に接続され、前記第１接触部および前記中間部を結んだ第１配列方向に沿って伸縮して、前記第１接触部を前記中間部に対して前記第１配列方向に移動させる第１弾性部と、
   前記中間部および前記第２接触部に接続され、前記第２接触部を前記中間部に対して前記第１配列方向に交差する方向に移動させる可動部と
   を備え、
   前記第１接触部、前記第１弾性部、前記中間部、前記可動部および前記第２接触部が直列的に配置されている、プローブピン。
2. 前記第２接触部に接続され、前記第２接触部から前記第１配列方向に交差する方向に突出する突起部をさらに備え、
   前記可動部が、前記第１配列方向に沿って延び、前記第１配列方向の一端部が前記中間部に接続されかつ前記第１配列方向の他端部が前記第２接触部に接続されて、前記第１配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第２弾性部を有し、
   前記第２弾性部が、前記突起部を介して前記第２接触部に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、前記第２接触部が、前記第２弾性部および前記中間部の接続部分を支点として回動して前記中間部に対して前記第１配列方向に交差する方向に移動する、請求項１のプローブピン。
3. 前記突起部が、前記突起部の突出方向における前記第２接触部に近い方の端部に設けられ、前記第１配列方向でかつ前記第１接触部に接近する方向に弾性変形可能な第３弾性部を有し、
   前記第３弾性部が、前記突起部に加えられた前記第１配列方向でかつ前記第１接触部に接近する方向への外力に応じて弾性変形する、請求項２のプローブピン。
4. 前記第２接触部が、
   前記第１配列方向に延びていると共に、前記第１配列方向の一端部が前記第２弾性部に接続され、前記第１配列方向の他端部に接点部を有し、前記第１配列方向における前記接点部および前記第２弾性部の中間に前記突起部が接続され、
   前記第２接触部の前記第１配列方向における前記接点部と前記突起部との間に、前記第１配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第４弾性部を有し、
   前記第４弾性部が、前記第２接触部の前記接点部の前記第１配列方向に交差する方向への移動に応じて弾性変形する、請求項２または３のプローブピン。
5. 前記第２接触部および前記可動部が、前記第１配列方向に交差する第２配列方向に沿って延びていると共に、
   前記可動部が、前記第２配列方向の一端部が前記中間部に接続されかつ前記第２配列方向の他端部が前記第２接触部に接続されて、前記第１配列方向および前記第２配列方向に交差する方向に弾性変形可能な第５弾性部を有し、
   前記第５弾性部が、前記第２接触部に加えられた外力に応じて弾性変形することにより、前記第２接触部が、前記第５弾性部および前記中間部の接続部分を支点として回動して前記中間部に対して前記第１配列方向および前記第２配列方向に交差する方向に移動する、請求項１のプローブピン。
6. 前記第５弾性部が、前記第２配列方向に交差する直線帯部と、前記直線帯部に接続された湾曲帯部とが交互に連続する蛇行形状を有している、請求項５のプローブピン。
7. 前記第２接触部から前記第２配列方向に交差する方向に突出する突起部をさらに備え、前記突起部を介して前記第２接触部に外力が加えられるように構成されている、請求項５または６のプローブピン。
8. 請求項１から７のいずれか１つのプローブピンと、
   前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
   を備え、
   前記ソケットが、
   前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部を前記第１配列方向に沿って前記第１接触部から前記第２接触部に向かう方向において係止する係止部を有している、検査治具。
9. 前記プローブピンが、請求項２から４のいずれか１つのプローブピンであり、
   前記ソケットが、前記第１配列方向に交差する方向における前記第２接触部の移動を規制する移動規制部を有する、請求項８の検査治具。
10. 前記ソケットが、
    前記第１接触部および前記中間部を収容する第１ハウジングと、
    前記第２接触部を収容しかつ前記第１配列方向に交差する方向において前記第１ハウジングに対して相対的に移動可能な第２ハウジングと、
    前記第２ハウジングを前記第１配列方向に交差する方向に移動させることが可能なカム部と
    を有する、請求項８の検査治具。
11. 請求項８から１０のいずれか１つの検査治具を備えた検査ユニット。
12. 請求項１１の検査ユニットを備えた検査装置。

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