KR102067936B1

KR102067936B1 - 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치

Info

Publication number: KR102067936B1
Application number: KR1020190078815A
Authority: KR
Inventors: 나오야 사사노; 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이; 시훈 최
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2018-01-11
Filing date: 2019-07-01
Publication date: 2020-01-17
Also published as: JPWO2019138504A1; CN111033273A; KR101911002B1; CN111033273B; KR20190085834A; JP6806269B2; CN114441813A; CN112904057B; CN112904057A; KR102007611B1; KR20190085893A; WO2019138504A1

Abstract

본 발명은 프로브 핀이 탄성부, 제1 접촉부 및 제2 접촉부를 구비한다. 탄성부가 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고, 각 띠 형상 탄성편이 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와, 제1 직선부의 타단부 및 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부를 갖는다.

Description

프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치 {PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한 것이다.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.

이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 사행부에 의해 각 콘택트와 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자의 사이의 접압을 확보하여, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대한 접촉 신뢰성을 높이고 있다.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보

근년, 전자 부품 모듈의 전력 절약화에 따라 검사에 사용하는 프로브 핀의 저저항화가 요구되고 있다.

특허문헌 1의 프로브 핀에 있어서, 높은 접촉 신뢰성을 확보하기 위해 사행부의 절첩의 수를 증가시키면 한 쌍의 콘택트 사이를 흐르는 전류의 경로가 길어진다. 이 경우 프로브 핀의 전기 저항이 증대되어, 저저항화를 도모하는 것이 곤란한 경우가 있다.

본 발명은, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 도통 경로의 전기 저항을 저감할 수 있는 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일례의 프로브 핀은,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,

상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와, 상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부

를 구비하고,

상기 탄성부가,

서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,

상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,

상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,

상기 제2 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와,

상기 제1 직선부의 타단부 및 상기 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부

를 갖는다.

또한, 본 발명의 일례의 검사 지그는,

상기 프로브 핀과,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓

을 구비한다.

또한, 본 발명의 일례의 검사 유닛은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.

또한, 본 발명의 일례의 검사 장치는,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.

상기 프로브 핀에 의하면, 탄성부가 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고, 각 띠 형상 탄성편이 제1 접촉부에 대하여 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 제2 접촉부에 대하여 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와, 제1 직선부의 타단부 및 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부를 갖고 있다. 이 탄성부에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 제1 접촉부 및 제2 접촉부간의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감할 수 있다.

또한, 상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그를 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해, 검사 대상물에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 검사 유닛을 도시하는 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3의 프로브 핀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 프로브 핀의 탄성부 주변의 확대 평면도이다.

이하, 본 발명의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, "상", "하", "우", "좌"를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.

본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은 도전성을 갖고, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)에 수용된 상태에서 사용되어, 소켓(3)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 이 검사 지그(2)에는, 일례로서 복수의 가늘고 긴 박판 상의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.

또한, 검사 지그(2)는 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 검사 유닛(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이 적어도 하나의 검사 지그(2)가 내장된 대략 직육면체상의 베이스 하우징(4)을 구비하고 있다. 이 베이스 하우징(4)은 대략 직사각형 판상의 제1 하우징(5)과, 이 제1 하우징(5)의 판 두께 방향으로 적층된 제2 하우징(6)으로 구성되어 있다.

소켓(3)은, 도 2에 도시한 바와 같이 각 프로브 핀(10)을 수용 가능한 복수의 수용부(7)를 갖고, 제1 하우징(5) 및 제2 하우징(6)으로 유지되어 있다. 각 수용부(7)는 소켓(3)과 베이스 하우징(4)의 제2 하우징(6)으로 둘러싸여 있고, 후술하는 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)의 외부로 각각 노출된 상태에서 각 프로브 핀(10)을 수용 가능하게 구성되어 있다.

각 프로브 핀(10)은, 도 3에 도시한 바와 같이 그 길이 방향(즉, 도 3의 상하 방향)을 따라 신축하는 탄성부(11)와, 탄성부(11)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 한쪽의 단부인 제1 단부(111)에 접속된 판상의 제1 접촉부(12)와, 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되어 탄성부(11)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 타단부인 제2 단부(112)에 접속된 판상의 제2 접촉부(13)를 구비하고 있다.

탄성부(11)는, 도 4에 도시한 바와 같이 서로 간극(61, 62, 63)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는 4개의 띠 형상 탄성편)(21, 22, 23, 24)을 갖고 있다. 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 도 5에 도시한 바와 같이 가늘고 긴 띠 형상이며, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와, 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와, 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖고 있다. 또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 일례로서 대략 동일한 단면 형상을 갖고 있다.

각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)는, 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상을 갖고, 제1 접촉부(12)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측(즉, 도 5의 우측)에 배치되고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 또한, 각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)는, 그 연장 방향의 일단부가 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241)(즉, 탄성부(11)의 제1 단부(111))를 구성하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제1 방향(A)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속되어 있다.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241)와 제1 접촉부(12)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있다. 즉, 제1 직선(L1)은, 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향(즉, 제1 방향(A))에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.

각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)는 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상을 갖고, 제2 접촉부(13)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측(즉, 도 5의 우측)에 배치되고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 또한, 각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)는, 그 연장 방향의 일단부가 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 단부(212, 222, 232, 242)(즉, 탄성부(11)의 제2 단부(112))를 구성하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제2 방향(B)으로부터 제2 접촉부(13)에 접속되어 있다.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 단부(212, 222, 232, 242)와 제2 접촉부(13)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다. 즉, 제2 직선(L2)은, 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향(즉, 제2 방향(B))에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.

또한, 제1 접촉부(12)의 폭 방향은, 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향(즉, 도 4 및 도 5의 지면 관통 방향)으로부터 보아 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 방향(즉, 도 4 및 도 5의 좌우 방향)이다.

각 만곡부(51, 52, 53, 54)는 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상이며, 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아 대략 S자상을 갖고, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 그 연장 방향의 타단부 및 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 각 만곡부(51, 52, 53, 54)는, 제1 만곡부(511, 521, 531, 541)와, 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)와, 제1 만곡부(511, 521, 531, 541) 및 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)를 접속하는 접속부(513, 523, 533, 543)를 갖고 있다.

제1 만곡부(511, 521, 531, 541)는, 그 곡률 중심(CP1)이 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 사이에 배치되며, 180도보다도 크고 360도보다도 작은 중심각 θ1에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)는, 그 곡률 중심(CP2)이 탄성부(11)에 대하여 상이한 측(즉, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)보다도 제2 직선부(41, 42, 43, 44)로부터 이격된 위치)에 배치되며, 제로보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ2에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 접속부(513, 523, 533, 543)는 대략 직선상으로 연장되어 있다.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241) 및 제2 단부(212, 222, 232, 242) 사이의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W1, W2, W3, W4)은 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다.

또한, 도 5에는, 일례로서 제1 만곡부(511, 521, 531, 541)의 곡률 원의 반경 방향에 있어서의 곡률 중심(CP1)에 가장 가까운 띠 형상 탄성편(24)의 만곡부(54)와, 이 띠 형상 탄성편(24)에 인접하는 띠 형상 탄성편(23)의 만곡부(53)의 사이의 직선 거리를 최단 거리(W5)로서 나타내고 있다.

제1 접촉부(12)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제1 단부(111)에 접속되어 있다. 제1 접촉부(12)의 연장 방향의 타단부에는 제1 접점부(121)가 마련되어 있다. 또한, 제2 접촉부(13)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제2 단부(112)에 접속되어 있다. 제2 접촉부(13)의 연장 방향의 타단부에는 제2 접점부(131)가 마련되어 있다.

제1 접점부(121)는, 일례로서 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판(BtoB) 커넥터)의 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 또한, 제2 접점부(131)는, 일례로서 검사 장치의 기판(예를 들어, PCB 패드)에 설치된 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각은, 프로브 핀(10)의 길이 방향 가장자리로 연장되는 가상 직선(L3)을 따라 직렬적으로 배치되어 있다. 즉, 탄성부(11)의 제1 단부(111) 및 제2 단부(112)는, 가상 직선(L3)에 대한 동일한 측(즉, 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측)으로부터 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)에 각각 접속되어 있다.

제1 접촉부(12)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(11)측에는 제1 지지부(122)가 마련되고, 제2 접촉부(13)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(11)측에는 제2 지지부(132)가 마련되어 있다. 제1 지지부(122) 및 제2 지지부(132)는 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)로부터 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)이며 또한 가상 직선(L3)에 대한 탄성부(11)측을 향해 돌출되어 있다.

도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)의 수용부(7)에 프로브 핀(10)을 수용했을 때, 제1 접촉부(12)의 제1 지지부(122)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 접점부(121)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 소켓(3)의 내면에 맞닿도록 구성되고, 제2 접촉부(13)의 제2 지지부(132)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제2 접점부(131)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 제1 하우징(5)에 맞닿도록 구성되어 있다. 즉, 제1 지지부(122) 및 제2 지지부(132)에 의해 프로브 핀(10)이 수용부(7)의 내부에서 지지되도록 구성되어 있다.

또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는 제1 접촉부(12)의 폭(W6) 및 제2 접촉부(13)의 폭(W7)이 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 각각 구성되어 있다. 여기서, 제1 접촉부(12)의 폭(W6)은 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 제1 접촉부(12)의 최단 거리로 하고, 제2 접촉부(13)의 폭(W7)은 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 제2 접촉부(13)의 최단 거리로 한다. 또한, 탄성부(11)의 폭(W8)은, 탄성부(11)의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 양측의 띠 형상 탄성편(21, 24)의 외면(즉, 인접하는 띠 형상 탄성편(22, 23)에 대향하는 내면의 탄성부(11)의 폭 방향에 있어서의 반대측의 면) 사이의 최단 거리로 한다.

이상과 같이, 상기 프로브 핀(10)에 의하면 탄성부(11)가 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 갖고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 제1 접촉부(12)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 제1 방향(A)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와, 제2 접촉부(13)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제2 방향(B)으로부터 제2 접촉부(13)에 접속된 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 타단부 및 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 타단부에 접속된 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖고 있다. 이 탄성부(11)에 있어서, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보 가능한 탄성력을 유지하면서, 탄성부(11)의 경로의 길이를 삭감하며 또한 탄성부(11)의 경로의 단면적을 크게 할 수 있으므로, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13) 사이의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감할 수 있다.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)가, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 일단부와 제2 접촉부(13)가, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다. 이에 의해 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 예를 들어 대략 동일한 단면 형상의 부재가 서로 간극을 두고 병렬로 배치되게 되므로, 그 휨량이 대략 균일해진다. 이로 인해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

또한, 제1 직선(L1)이 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되고, 제2 직선(L2)이 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 이에 의해, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 보다 균일하게 할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 보다 확실하게 실현할 수 있다.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)이 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

또한, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)이 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 전기 저항을 저감할 수 있다.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 만곡부(51, 52, 53, 54)가 중심각 θ1, θ2가 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖고, 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)의 곡률 중심(CP1, CP2)이 탄성부(11)에 대하여 상이한 측에 각각 배치되어 있다. 이에 의해, 탄성부(11)에 발생하는 응력을 분산할 수 있다.

또한, 상기 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛(1)은 검사 장치의 일부를 구성할 수 있다. 이러한 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각은 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.

탄성부(11)는 서로 간극을 두고 배치되며, 제1 직선부(31, 32, 33, 34), 제2 직선부(41, 42, 43, 44) 및 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖는 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 구비하고 있으면 된다.

예를 들어, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)는, 제1 직선(L1) 이외의 직선 상에서 접속되어도 되고, 모든 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)가 동일 직선상에서 접속되지 않아도 된다. 제2 직선부(41, 42, 43, 44)에 대해서도 마찬가지이다.

제1 직선(L1)은, 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있는 경우로 제한되지 않는다. 제2 직선(L2)에 대해서도 마찬가지이다.

각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)은, 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작은 경우로 한정되지 않으며, 커도 된다.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)은, 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 큰 경우로 한정되지 않으며, 작아도 된다.

만곡부(51, 52, 53, 54)는 중심각 θ1, θ2가 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖는 경우로 제한되지 않는다. 예를 들어, 만곡부(51, 52, 53, 54)는 1개의 만곡부로 구성해도 된다.

검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)을 범용화하여, 검사 유닛(1)(나아가서는 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수 있다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.

본 발명의 제1 형태의 프로브 핀(10)은,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부(11)와,

상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제1 단부(111)에 접속된 판상의 제1 접촉부(12)와,

상기 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제2 단부(112)에 접속된 판상의 제2 접촉부(13)

를 구비하고,

상기 탄성부(11)가,

서로 간극(61, 62, 63)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 갖고,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각이,

상기 제1 접촉부(12)에 대하여 상기 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부(111)를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와,

상기 제2 접촉부(13)에 대하여 상기 제1 접촉부(12)의 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부(112)를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부(13)에 접속된 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와,

상기 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 타단부 및 상기 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 타단부에 접속된 만곡부(51, 52, 53, 54)

를 갖는다.

제1 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 탄성부(11)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13) 사이의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감하여, 프로브 핀(10)의 저저항화를 도모할 수 있다.

본 발명의 제2 형태의 프로브 핀(10)은,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 상기 제1 접촉부(12)가 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있고,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 일단부와 상기 제2 접촉부(13)가 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다.

제2 형태의 프로브 핀(10)에 의하면 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 균일하게 하여, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제3 형태의 프로브 핀(10)은,

상기 제1 직선(L1)이 상기 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 상기 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되고,

상기 제2 직선(L2)이 상기 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 상기 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.

제3 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 보다 균일하게 할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 보다 확실하게 실현할 수 있다.

본 발명의 제4 형태의 프로브 핀(10)은,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)이 인접 하는 상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다.

제4 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제5 형태의 프로브 핀(10)은,

상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)이 상기 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 구성되어 있다.

제5 형태의 프로브 핀(10)에 의하면 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 전기 저항을 저감할 수 있으므로, 프로브 핀(10)의 저저항화를 도모할 수 있다.

본 발명의 제6 형태의 프로브 핀(10)은,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 만곡부(51, 52, 53, 54)가 중심각 θ1, θ2이 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖고,

상기 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)의 곡률 중심(CP1, CP2)이 상기 탄성부(11)에 대하여 상이한 측에 각각 배치되어 있다.

제6 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 탄성부(11)에 발생하는 응력을 분산할 수 있다.

본 발명의 제7 형태의 검사 지그(2)는,

상기 프로브 핀(10)과,

상기 프로브 핀(10)을 수용 가능한 수용부(7)를 갖는 소켓(3)

을 구비했다.

제7 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

본 발명의 제8 형태의 검사 유닛(1)은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.

제8 형태의 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제9 형태의 검사 장치는,

상기 검사 유닛(1)을 적어도 하나 구비했다.

제9 형태의 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.

본 발명의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

본 발명의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.

본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다.

1 : 검사 유닛
2 : 검사 지그
3 : 소켓
4 : 베이스 하우징
5 : 제1 하우징
6 : 제2 하우징
7 : 수용부
10 : 프로브 핀
11 : 탄성부
111 : 제1 단부
112 : 제2 단부
12 : 제1 접촉부
121 : 제1 접점부
122 : 제1 지지부
13 : 제2 접촉부
131 : 제2 접점부
132 : 제2 지지부
21, 22, 23, 24 : 띠 형상 탄성편
211, 221, 231, 241 : 제1 단부
212, 222, 232, 242 : 제2 단부
31, 32, 33, 34 : 제1 직선부
41, 42, 43, 44 : 제2 직선부
51, 52, 53, 54 : 만곡부
511, 521, 531, 541 : 제1 만곡부
512, 522, 532, 542 : 제2 만곡부
513, 523, 533, 543 : 접속부
61, 62, 63 : 간극
A : 제1 방향
B : 제2 방향
L1 : 제1 직선
L2 : 제2 직선
θ1, θ2 : 중심각
W1 내지 W4, W6 내지 W8 : 폭
W5 : 최단 거리
CP1, CP2 : 곡률 중심

Claims

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 구비하고,
상기 탄성부가,
상기 제1 접촉부에 대해 상기 제1 접촉부의 폭 방향의 일방 측에 각각 배치되고 또한 상기 제2 접촉부에 대해 상기 제1 접촉부의 상기 폭 방향의 일방 측에 각각 배치되어 있음과 함께 서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 뻗어 있음과 함께, 그 뻗는 방향의 상기 제1 접촉부에 가까운 일단부가 상기 제1 단부를 구성하는 제1 직선부와,
상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 뻗어 있음과 함께, 그 뻗는 방향의 상기 제2 접촉부에 가까운 일단부가 상기 제2 단부를 구성하는 제2 직선부를 포함하고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편 각각의 상기 제2 직선부의 상기 일단부와 상기 제2 접촉부가 제2 직선상에 접속되고,
상기 제2 직선이, 상기 제2 단부의 상기 제2 접촉부에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 뻗어 있는, 프로브 핀.
제1항에 있어서, 상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각의 상기 제1 직선부의 상기 일단부와 상기 제1 접촉부가, 제1 직선 상에서 접속되어 있고,
상기 제1 직선이 상기 제1 단부의 상기 제1 접촉부에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 뻗어 있는, 프로브 핀.
제2항에 있어서, 상기 제1 직선이 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 뻗어있는, 프로브 핀.
제1항에 있어서, 상기 제2 직선이 상기 길이 방향을 따라서 뻗어 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제4항에 있어서,
상기 제1 접촉부가, 상기 제1 접촉부에 대하여 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출하는 제1 지지부를 포함하고,
상기 제1 지지부의 돌출 방향의 길이가, 상기 제1 접촉부로부터 상기 돌출방향에서 상기 제1 접촉부로부터 가장 먼 부분까지의 상기 탄성부의 상기 돌출방향의 길이보다 짧은, 프로브 핀.
제1항 또는 제4항에 있어서,
상기 제2 접촉부가, 상기 제2 접촉부에 대하여 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출하는 제2 지지부를 포함하고,
상기 제2 지지부의 돌출방향의 길이가, 상기 제2 접촉부로부터 상기 돌출방향에서 상기 제2 접촉부로부터 가장 먼 부분까지의 상기 탄성부의 상기 돌출방향의 길이보다 짧은, 프로브 핀.
제1항 또는 제4항에 기재된 프로브 핀과,
상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓
을 구비한 검사 지그.
제7항에 기재된 검사 지그를 적어도 하나 구비한 검사 유닛.
제8항에 기재된 검사 유닛을 적어도 하나 구비한 검사 장치.