KR102648231B1 - 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛 - Google Patents

Abstract

프로브 핀이, 제1 방향을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부와, 탄성부의 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와, 탄성부의 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부를 구비한다. 제1 접촉부가, 탄성부의 제1 방향에 교차하는 제2 방향에 있어서의 중심선으로부터 이격되어 배치되고, 또한 제2 방향을 따라 간격을 두고 각각 배치된 복수의 접점부를 갖는다. 복수의 접점부의 각각이, 제2 방향에 있어서 중심선으로부터 이격됨에 따라, 제1 방향에 있어서 상기 탄성부로부터 이격되도록 각각 배치되어 있다.

Description

프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛

본 개시는, 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛에 관한 것이다.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판에 접속하기 위한 단자와, 검사 장치의 단자를 접속함으로써 행해진다.

이러한 프로브 핀으로서는, 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다.

일본 특허 공개 제 2002-134202호 공보

상기 프로브 핀에서는, 각 콘택트가 전극 단자에 대하여 1점에서 접촉하도록 구성되어 있기 때문에, 예를 들어 각 콘택트의 선단에 부도체인 이물이 부착된 경우, 이 이물에 의해, 상기 프로브 핀과 전극 단자 사이에서 도통 불량이 발생하여, 접촉 신뢰성이 저하되는 경우가 있다.

본 개시는, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 및 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 개시의 일례의 프로브 핀은,

제1 방향을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부와,

상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와,

상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부

를 구비하고,

상기 제1 접촉부가,

상기 탄성부의 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향의 중심을 지나 또한 상기 제1 방향으로 연장되는 중심선으로부터 이격되어 배치되고, 또한 상기 제2 방향을 따라 간격을 두고 각각 배치된 복수의 접점부를 갖고,

상기 복수의 접점부의 각각이, 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선으로부터 이격됨에 따라, 상기 제1 방향에 있어서 상기 탄성부로부터 이격되도록 각각 배치되어 있다.

또한, 본 개시의 일례의 검사 지그는,

상기 프로브 핀과,

상기 프로브 핀이 내부에 수용된 하우징

을 구비하고,

상기 프로브 핀이,

상기 제1 접촉부 및 제2 접촉부가 상기 제1 방향에 있어서 접근하도록 상기 탄성부가 탄성 변형되고, 상기 제2 방향으로 연장되는 검사 대상물 또는 검사 장치의 접속 단자에 대하여 상기 복수의 접점부의 각각이 동시에 접촉 가능한 상태로 수용되어 있다.

또한, 본 개시의 일례의 검사 유닛은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비한다.

상기 프로브 핀에 따르면, 제1 방향을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부와, 탄성부의 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와, 탄성부의 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부를 구비한다. 제1 접촉부가, 탄성부의 제1 방향에 교차하는 제2 방향의 중심을 지나 또한 제1 방향으로 연장되는 중심선으로부터 이격되고, 또한 제2 방향을 따라 간격을 두고 각각 배치된 복수의 접점부를 갖는다. 각 접점부가, 제2 방향에 있어서 중심선으로부터 이격됨에 따라서, 제1 방향에 있어서 탄성부로부터 이격되도록 각각 배치되어 있다. 이러한 구성에 의해, 예를 들어 제1 접촉부 및 제2 접촉부가 제1 방향에 접근하도록 프로브 핀을 압축시켰을 때, 접촉 대상물(예를 들어, 검사 대상물 또는 검사 장치)에 대하여 각 접점부를 동시에 접촉시킬 수 있다. 즉, 복수의 접점부의 어느 것에 부도체인 이물이 부착하였다고 해도, 프로브 핀과 접촉 대상물 사이에서 도통 불량이 발생되는 것을 회피할 수 있다. 그 결과, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀을 실현할 수 있다.

상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 지그를 실현할 수 있다.

상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 유닛을 실현할 수 있다.

도 1은 본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도.
도 2는 도 1의 프로브 핀을 구비한 검사 지그의 단면도.
도 3은 도 1의 프로브 핀의 제1 접촉부를 도시하는 확대 평면도.
도 4는 도 1의 프로브 핀의 동작을 설명하기 위한 도 2의 검사 지그의 단면도.
도 5는 도 1의 프로브 핀의 제1 변형예를 도시하는 평면도.
도 6은 도 1의 프로브 핀의 제2 변형예를 도시하는 평면도.
도 7은 도 1의 프로브 핀의 제3 변형예를 도시하는 평면도.
도 8은 도 1의 프로브 핀의 제4 변형예를 도시하는 평면도.
도 9는 도 1의 프로브 핀의 제5 변형예를 도시하는 평면도.
도 10은 도 1의 프로브 핀의 제6 변형예를 도시하는 평면도.

이하, 본 개시의 일례를 첨부 도면에 따라서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 개시, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 반드시 합치하고 있지는 않다.

본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀은, 일례로서, 도 1에 도시하는 바와 같이, 가늘고 긴 박판상으로 도전성을 가지며, 도 2에 도시하는 바와 같이, 절연성 하우징(100)에 수용된 상태로 사용되며, 하우징(100)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 검사 지그(2)에는, 일례로서, 복수의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.

또한, 검사 지그(2)는, 검사 유닛(1)의 일부를 구성할 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 검사 지그(2)로 검사 유닛(1)을 구성한 경우, 각 검사 지그(2)는, 후술하는 프로브 핀(10)의 각 접점부가, 프로브 핀(10)이 연장되어 있는 제1 방향 X에 교차(예를 들어, 직교)하는 제2 방향 Y로 인접하도록 배치된다.

각 하우징(100)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 그 내부에 복수의 수용부(101)(도 2에는, 하나만 도시함)를 갖고 있다. 각 수용부(101)는, 슬릿상을 갖고, 각각 1개의 프로브 핀(10)을 전기적으로 독립적으로 수용 가능하며 또한 보유 지지 가능하게 구성되어 있다. 또한, 각 수용부(101)는, 제1 방향 X 및 제2 방향 Y에 교차하는 방향(즉, 도 2의 지면 관통 방향)을 따라 일렬로 배열하고 또한 등간격으로 배치되어 있다.

각 프로브 핀(10)은, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 제1 방향 X를 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와, 이 탄성부(20)의 제1 방향 X의 양단에 각각 마련된 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(50)를 구비하고 있다. 각 프로브 핀(10)은, 일례로서, 전주법으로 형성되며, 탄성부(20), 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(50)가 제1 방향 X를 따라 직렬적으로 배치되어, 또한 일체로 구성되어 있다.

탄성부(20)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 일례로서, 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 띠상 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 띠상 탄성편)(21, 22)으로 구성되어 있다. 각 띠상 탄성편(21, 22)은, 제2 방향 Y로 각각 연장된 제1 횡대부(24) 및 제2 횡대부(26)와, 각 띠부(24, 26)에 접속된 하나의 만곡대부(25)로 구성되어 있다.

제1 횡대부(24) 및 제2 횡대부(26)의 각각은, 제1 방향 X에 있어서 간극(27)을 두고 배치되어 있다. 제1 횡대부(24)는, 그 연장 방향의 일단이 제1 접촉부(30)에 접속되고, 그 연장 방향의 타단이 만곡대부(25)에 접속되어 있다. 제2 횡대부(26)는, 그 연장 방향의 일단이 제2 접촉부(50)에 접속되고, 그 연장 방향의 타단이 만곡대부(25)에 접속되어 있다. 각 띠상 탄성편(21, 22) 중, 가장 외측의 띠상 탄성편(즉, 제1 횡대부(24)와 제2 횡대부(26) 사이의 제1 방향 X에 있어서의 거리가 가장 이격되어 있는 띠상 탄성편(21))의 제2 횡대부(26)에는, 제2 방향 Y로 연장되는 접촉면(211)이 마련되어 있다. 이 접촉면(211)은, 프로브 핀(10)을 하우징(100)의 수용부(101)에 수용하였을 때, 수용부(101)를 구성하는 하우징(100)의 내면에 대하여 접촉하도록 구성되어 있다. 각 띠부(24, 26)는, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(50)의 각각에 대하여 제2 방향 Y와 같은 측에 배치되어 있다.

만곡대부(25)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 중심을 지나 또한 제1 방향 X로 연장되는 중심선 CL에 대한 제1 접촉부(30)의 본체부(31)의 반대측에서, 제1 횡대부(24) 및 제2 횡대부(26)에 접속되어 있다. 또한, 이 실시 형태에서는, 제1 횡대부(24)와 만곡대부(25)를 합친 부분의 제2 방향 Y에 있어서의 최대 거리 L1의 중심을 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 중심으로 하고 있다.

제1 접촉부(30)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제2 방향 Y에 있어서 탄성부(20)의 중심선 CL로부터 이격되어 배치되며 또한 제2 방향 Y를 따라 간격을 두고 각각 배치된 복수의 접점부(41, 42)를 갖고 있다.

상세하게는, 제1 접촉부(30)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 본체부(31)와, 본체부(31)로부터 제1 방향 X로 또한 본체부(31)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 복수의 돌기부(이 실시 형태에서는, 2개의 돌기부(32, 33))를 갖고 있다.

본체부(31)는, 중심선 CL로부터 이격되어 배치되어, 그 판 두께 방향(즉, 도 3의 지면 관통 방향)으로부터 보아, 제1 방향 X에 대향하는 한 쌍의 측면(311, 312)과, 제2 방향 Y에 대향하는 한 쌍의 측면(313, 314)을 갖고 있다. 본체부(31)의 제2 방향 Y에 대향하는 한 쌍의 측면(313, 314) 중, 중심선 CL에 가까운 측면(313)에, 탄성부(20)의 제1 횡대부(24)의 그 연장 방향의 일단이 접속되어 있다.

본체부(31)의 제1 방향 X에 대향하는 한 쌍의 측면(311, 312) 중, 제2 횡대부(26)에 대향하는 측면(311)은, 제2 방향 Y에 있어서 중심선 CL로부터 이격됨에 따라, 제1 방향 X이며 또한 제2 횡대부(26)로부터 이격되는 방향으로 경사지고 있다. 즉, 본체부(31)는, 제1 방향 X에 있어서 제2 횡대부(26)에 대향함과 함께, 제2 방향 Y에 있어서 중심선 CL로부터 이격됨에 따라, 제1 방향 X이며 또한 제2 횡대부(26)로부터 이격되는 방향으로 경사지는 경사면(311)을 갖고 있다. 이 경사면(311)는, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(50)가 제1 방향 X에 있어서 접근하도록 탄성부(20)를 탄성 변형하였을 때(즉, 탄성부(20)를 제1 방향 X에 있어서 압축하였을 때)에, 본체부(31)와, 탄성부(20)의 제2 횡대부(26) 및 제2 접촉부(50)가 접촉하지 않도록 구성되어 있다.

본체부(31)의 제1 방향 X에 대향하는 한 쌍의 측면(311, 312) 중, 경사면(311)의 반대측 측면(312)의 제2 방향 Y의 대략 중앙에, 각 돌기부(32, 33)가 마련되어 있다. 측면(312)의 각 돌기부(32, 33) 둘레의 에지부는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 프로브 핀(10)을 하우징(100)의 수용부(101)에 수용하였을 때, 수용부(101)를 구성하는 하우징(100)의 내면에 대하여 접촉하도록 구성되어 있다.

각 돌기부(32, 33)는, 제2 방향 Y로 간극(36)을 두고 각각 배치되어, 제1 방향 X에 있어서의 본체부(31)로부터의 돌출량이 서로 다르다. 제2 방향 Y에 있어서, 탄성부(20)의 중심선 CL로부터 먼 돌기부(32)를 제1 돌기부(32)로 하고, 제1 돌기부(32)보다도 중심선 CL에 가까운 돌기부(33)를 제2 돌기부(33)로 한다. 각 돌기부(32, 33)의 제1 방향 X로 또한 본체부(31)로부터 먼 쪽의 단부를 선단부로 하면, 각 돌기부(32, 33)의 선단부는, 각각 만곡되어 있고, 본체부(31)로부터 제1 돌기부(32)의 선단부까지의 제1 방향 X의 최대 거리 L2는, 본체부(31)로부터 제2 돌기부(33)의 선단부까지의 최대 거리 L3보다도 크게 되어 있다.

각 돌기부(32, 33)의 선단부가, 각 접점부(41, 42)를 구성하고 있다. 즉, 각 접점부(41, 42)는, 제2 방향 Y에 있어서 중심선 CL로부터 이격됨에 따라, 제1 방향 X에 있어서 탄성부(20)로부터 이격되도록 각각 배치되어 있다.

제2 접촉부(50)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제1 방향 X로 연장되는 대략 직사각 형상을 갖고 있다. 제2 접촉부(50)의 제1 방향 X로 또한 탄성부(20)로부터 먼 쪽의 선단부는, 만곡된 끝이 가는 형상이고, 접점부(51)를 구성하고 있다.

검사 지그(2)의 프로브 핀(10)의 동작에 대하여, 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 하우징(100)의 수용부(101)에 수용된 프로브 핀(10)의 제1 방향 X의 양단에, 제2 방향 Y로 연장되는 접촉면(113, 114)을 각각 갖는 접촉 대상물(예를 들어, 검사 대상물 또는 검사 장치)의 접속 단자(111, 112)를 배치한다. 도 2에 도시하는 탄성부(20)가 압축되기 전의 상태에서는, 제1 접촉부(30)의 제1 돌기부(32)의 접점부(41)만이 접속 단자(111)에 접촉하고 있다. 이 상태로부터, 제1 접촉부(30)측에 배치된 접속 단자(111)를 제2 접촉부(50)측의 접속 단자(112)에 접근시켜 가면, 제1 접촉부(30)가 수용부(101) 내에 압입되어 만곡대부(25) 둘레로 회전하고, 제2 돌기부(33)의 접점부(42)가 접속 단자(111)에 점차 접근해 간다. 이때, 도 3에 도시하는 바와 같이, 제1 돌기부(32)의 선단부는, 접속 단자(111)의 접촉면(113)을 와이핑하면서 회전한다. 또한, 제1 접촉부(30)측에 배치된 접속 단자(111)를 제2 접촉부(50)측의 접속 단자(112)에 접근시켜 가면, 도 4에 도시하는 바와 같이, 각 접점부(41, 42)가, 접속 단자(111)에 대하여 동시에 접촉한다.

이와 같이, 프로브 핀(10)에서는, 제1 방향 X를 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와, 탄성부(20)의 제1 방향 X의 일단에 마련된 제1 접촉부(30)와, 탄성부(20)의 제1 방향 X의 타단에 마련된 제2 접촉부(50)를 구비한다. 제1 접촉부(30)가 탄성부(20)의 제1 방향 X에 교차하는 제2 방향 Y의 중심을 지나 또한 제1 방향 X로 연장되는 중심선 CL로부터 이격되고, 또한 제2 방향 Y를 따라 간격을 두고 각각 배치된 복수의 접점부(41, 42)를 갖는다. 각 접점부(41, 42)가, 제2 방향 Y에 있어서 중심선 CL로부터 이격됨에 따라, 제1 방향 X에 있어서 탄성부(20)로부터 이격되도록 각각 배치되어 있다. 이러한 구성에 의해, 예를 들어 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(50)가 제1 방향 X로 접근하도록 프로브 핀(10)을 압축시켰을 때, 접촉 대상물에 대하여 각 접점부(41, 42)를 동시에 접촉시킬 수 있다. 즉, 복수의 접점부(41, 42)의 어느 것에 부도체인 이물이 부착되었다고 해도, 프로브 핀(10)과 접촉 대상물 사이에서 도통 불량이 발생되는 것을 회피할 수 있다. 그 결과, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

또한, 제1 접촉부(30)가 중심선 CL로부터 이격되어 배치되어, 탄성부(20)의 일단이 접속된 본체부(31)와, 제2 방향 Y로 간극(36)을 두고 각각 배치되고, 본체부(31)로부터 제1 방향 X이며 또한 본체부(31)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 복수의 돌기부(32, 33)를 갖고 있다. 복수의 돌기부(32, 33)에 있어서의 제1 방향 X로 또한 본체부(31)로부터 이격된 선단부가, 복수의 접점부(41, 42)의 각각을 구성하고 있다. 이러한 구성에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀(10)을 더 간단히 실현할 수 있다.

또한, 탄성부(20)가 제1 접촉부(30)의 본체부(31)로부터 제2 방향 Y로 연장되는 제1 횡대부(24)와, 제1 횡대부(24)에 대하여 제1 방향 X로 간극(27)을 두고 배치된 제2 횡대부(26)와, 중심선 CL에 대한 본체부(31)의 반대측에서, 제1 횡대부(24) 및 제2 횡대부(26)에 접속된 만곡대부(25)를 갖는다. 본체부(31)가 제1 방향 X에 있어서 제2 횡대부(26)에 대향하고, 또한 제2 방향 Y에 있어서 중심선 CL로부터 이격됨에 따라, 제1 방향 X에 있어서 제2 횡대부(26)로부터 이격되는 방향으로 경사지는 경사면(311)을 갖고 있다. 이러한 구성에 의해, 탄성부(20)를 제1 방향 X에 있어서 압축하였을 때, 본체부(31)와, 탄성부(20)의 제2 횡대부(26) 및 제2 접촉부(50)와의 접촉을 회피할 수 있다.

이러한 프로브 핀(10)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다. 또한, 이러한 프로브 핀(10)을 구비한 검사 지그(2)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

또한, 제1 접촉부(30)의 접점부는, 2개의 접점부(41, 42)로 구성되어 있는 경우에 한정되지 않는다. 제1 접촉부(30)의 접점부는, 예를 들어 도 5에 도시하는 바와 같이, 3개의 접점부(41, 42, 43)로 구성해도 되고, 도 6에 도시하는 바와 같이, 4개의 접점부(41, 42, 43, 44)로 구성해도 된다.

도 5의 프로브 핀(10)에서는, 제1 접촉부(30)는, 본체부(31)로부터 제1 방향 X로 또한 본체부(31)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 3개의 돌기부(32, 33, 34)를 갖고, 각 돌기부(32, 33, 34)의 선단부가, 각각 접점부(41, 42, 43)를 구성하고 있다. 각 접점부(41, 42, 43)는, 제2 방향 Y에 있어서 중심선 CL로부터 이격됨에 따라, 제1 방향 X에 있어서 탄성부(20)로부터 이격되도록 각각 배치되어 있다.

도 6의 프로브 핀(10)에서는, 제1 접촉부(30)는, 본체부(31)로부터 제1 방향 X로 또한 본체부(31)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 4개의 돌기부(32, 33, 34, 35)를 갖고, 각 돌기부(32, 33, 34, 35)의 선단부가, 각각 접점부(41, 42, 43, 44)를 구성하고 있다. 각 접점부(41, 42, 43, 44)는, 제2 방향 Y에 있어서 중심선 CL로부터 이격됨에 따라, 제1 방향 X에 있어서 탄성부(20)로부터 이격되도록 각각 배치되어 있다.

각 돌기부(32, 33)의 선단부는, 각각 만곡되어 있는 경우에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 6에 도시하는 바와 같이, 각 돌기부(32, 33, 34, 35)의 각각의 선단부가, 삼각형상이어도 되고, 도 7에 도시하는 바와 같이, 각 돌기부(32, 33)의 어느 선단부가, 사각형상이어도 된다. 즉, 제1 접촉부(30)의 복수의 돌기부의 선단부는, 접촉 대상물의 접속 단자에 대하여 동시에 접촉 가능한 복수의 접점부를 구성하는 것이 가능한 임의의 형상을 채용할 수 있다.

제2 접촉부(50)의 접점부는, 하나의 접점부(51)로 구성되어 있는 경우에 한정되지 않는다. 제2 접촉부(50)의 접점부는, 예를 들어 도 8에 도시하는 바와 같이, 2개의 접점부(51, 52)로 구성해도 된다. 도 8의 프로브 핀(10)에서는, 제2 접촉부(50)는, 제1 방향 X를 따라 선단부로부터 탄성부(20)를 향하여 연장되는 홈(53)을 갖고 있다. 제2 접촉부(50)의 홈(53)으로 칸막이된 제2 방향 Y의 양측의 선단부가, 각각 접점부(51, 52)를 구성하고 있다. 또한, 제2 접촉부(50)의 접점부, 제1 접촉부(30)의 접점부(예를 들어, 도 2, 도 5 및 도 6에 도시하는 접점부(41, 42, 43, 44))와 마찬가지로 구성해도 된다.

탄성부(20)는, 2개의 띠상 탄성편(21, 22)으로 구성되어 있는 경우에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 9에 도시하는 바와 같이, 하나의 띠상 탄성편(121)으로 구성해도 되고, 도 10에 도시하는 바와 같이, 3개의 띠상 탄성편(121, 122, 123)으로 구성해도 된다.

또한, 탄성부(20)는, 제1 횡대부(24), 제2 횡대부(26) 및 만곡대부(25)로 구성되어 있는 경우에 한정되지 않는다. 예를 들어, 탄성부(20)는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 6개의 띠부(24, 26, 124, 125, 126, 127)와, 5개의 만곡대부(25)가 제1 방향 X를 따라 교호로 접속된 사행 형상이어도 된다. 도 10의 프로브 핀(10)에 있어서도, 제1 접촉부(30)에 접속된 제1 횡대부(24)와 만곡대부(25)를 합친 부분의 제2 방향 Y에 있어서의 최대 거리 L1의 중심을 지나, 또한 제1 방향 X로 연장되는 직선을 탄성부(20)의 중심선 CL이라 하고 있다.

또한, 도 10의 프로브 핀(10)에서는, 제1 접촉부(30)의 본체부(31)는, 경사면(311)을 갖고 있지 않다(즉, 경사면(311)은, 생략할 수 있음). 또한, 도 10의 프로브 핀(10)은, 하우징(100)의 수용부(101)에 수용된 경우, 가장 외측의 띠상 탄성편(123)의 제1 접촉부(30)에 접속되어 있는 제1 횡대부(24) 및 제2 접촉부(50)에 접속되어 있는 띠부(127)가 하우징(100)의 내면에 접촉하도록 구성되어 있다.

이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명하였지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일례로서, 참조 부호도 붙여 기재한다.

본 개시의 제1 양태의 프로브 핀(10)은,

제1 방향 X를 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와,

상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향 X의 일단에 마련된 제1 접촉부(30)와,

상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향 X의 타단에 마련된 제2 접촉부(50)

를 구비하고,

상기 제1 접촉부(30)가

상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향 X에 교차하는 제2 방향 Y의 중심을 지나 또한 상기 제1 방향 X로 연장되는 중심선 CL로부터 이격되어 배치되고, 또한 상기 제2 방향 Y를 따라 간격을 두고 각각 배치된 복수의 접점부(41, 42)를 갖고,

상기 복수의 접점부(41, 42)의 각각이, 상기 제2 방향 Y에 있어서 상기 중심선 CL로부터 이격됨에 따라, 상기 제1 방향 X에 있어서 상기 탄성부(20)로부터 이격되도록 각각 배치되어 있다.

제1 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 예를 들어 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(50)가 제1 방향 X로 접근하도록 프로브 핀(10)을 압축시켰을 때, 접촉 대상물에 대하여 각 접점부(41, 42)를 동시에 접촉시킬 수 있다. 즉, 복수의 접점부(41, 42)의 어느 것에 부도체인 이물이 부착되었다고 해도, 프로브 핀(10)과 접촉 대상물 사이에서 도통 불량이 발생되는 것을 회피할 수 있다. 그 결과, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제2 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 제1 접촉부(30)가

상기 중심선 CL로부터 이격되어 배치되고, 상기 탄성부(20)의 상기 일단이 접속된 본체부(31)와,

상기 제2 방향 Y로 간극(36)을 두고 각각 배치되고, 상기 본체부(31)로부터 상기 제1 방향 X이며 또한 상기 본체부(31)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 복수의 돌기부(32, 33)

를 갖고,

상기 복수의 돌기부(32, 33)의 상기 제1 방향 X이며 또한 상기 본체부(31)로부터 이격된 선단부가, 상기 복수의 접점부(41, 42)의 각각을 구성하고 있다.

제2 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀(10)을 더 간단하게 실현할 수 있다.

본 개시의 제3 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 탄성부(20)가

상기 제1 접촉부(30)의 상기 본체부(31)로부터 상기 제2 방향 Y로 연장되는 제1 횡대부(24)와,

상기 제1 횡대부(24)에 대하여 상기 제1 방향 X로 간극(27)을 두고 배치된 제2 횡대부(26)와,

상기 중심선 CL에 대한 상기 본체부(31)의 반대측에서, 상기 제1 횡대부(24) 및 상기 제2 횡대부(26)에 접속된 만곡대부(25)

를 갖고,

상기 본체부(31)가

상기 제1 방향 X에 있어서 상기 제2 횡대부(26)에 대향함과 함께, 상기 제2 방향 Y에 있어서 상기 중심선 CL로부터 이격됨에 따라, 상기 제1 방향 X이며 또한 상기 제2 횡대부(26)로부터 이격되는 방향으로 경사지는 경사면(311)을 갖고 있다.

제3 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 탄성부(20)를 제1 방향 X에 있어서 압축하였을 때, 본체부(31)와, 탄성부(20)의 제2 횡대부(26) 및 제2 접촉부(50)와의 접촉을 회피할 수 있다.

본 개시의 제4 양태의 검사 지그(2)는,

상기 프로브 핀(10)과,

상기 프로브 핀(10)이 내부에 수용된 하우징(100)

을 구비하고,

상기 프로브 핀(10)이

상기 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(50)가 상기 제1 방향 X에 있어서 접근하도록 상기 탄성부(20)가 탄성 변형되고, 상기 제2 방향 Y로 연장되는 검사 대상물 또는 검사 장치의 접속 단자(111)에 대하여 상기 복수의 접점부(41, 42)의 각각이 동시에 접촉 가능한 상태로 수용되어 있다.

제4 양태의 검사 지그(2)에 따르면, 상기 프로브 핀(10)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

본 개시의 제5 양태의 검사 유닛(1)은,

상기 검사 지그(2)를 적어도 하나 구비한다.

제5 양태의 검사 유닛(1)에 따르면, 상기 검사 지그(2)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 개시는, 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술의 숙련된 사람들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정은 명백하다. 그러한 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 개시의 범위로부터 벗어나지 않는 한에 있어서, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.

본 개시의 프로브 핀은, 예를 들어, 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.

본 개시의 검사 지그는, 예를 들어, 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

본 개시의 검사 유닛은, 예를 들어, 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 장치에 적용할 수 있다.

1: 검사 유닛
2: 검사 지그
10: 프로브 핀
20: 탄성부
21, 22, 121, 122, 123: 띠상 탄성편
23: 간극
24: 제1 횡대부
25: 만곡대부
26: 제2 횡대부
27: 간극
124, 125, 126, 127: 띠부
30: 제1 접촉부
31: 본체부
311: 경사면
312, 313, 314: 측면
32, 33, 34, 35: 돌기부
36: 간극
41, 42, 43, 44: 접점부
50: 제2 접촉부
51, 52: 접점부
53: 홈
100: 하우징
101: 수용부
111, 112: 접속 단자
113, 114: 접촉면

Claims (8)

1. 제1 방향을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부와,
   상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와,
   상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부
   를 구비하고,
   상기 제1 접촉부가,
   상기 탄성부의 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향의 중심을 지나 또한 상기 제1 방향으로 연장되는 중심선으로부터 이격되어 배치되고, 또한 상기 제2 방향을 따라 간격을 두고 각각 배치된 복수의 접점부를 갖고,
   상기 복수의 접점부의 각각이, 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선으로부터 이격됨에 따라, 상기 제1 방향에 있어서 상기 탄성부로부터 이격되도록 각각 배치되어 있고,
   상기 제1 접촉부가,
   상기 중심선으로부터 이격되어 배치되어, 상기 탄성부의 상기 일단이 접속된 본체부와,
   상기 제2 방향으로 간극을 두고 각각 배치되고, 상기 본체부로부터 상기 제1 방향에서 또한 상기 본체부로부터 이격되는 방향으로 연장되는 복수의 돌기부
   를 갖고,
   상기 복수의 돌기부의 상기 제1 방향에서 또한 상기 본체부로부터 이격된 선단부가, 상기 복수의 접점부의 각각을 구성하고 있고,
   상기 탄성부가,
   상기 제1 접촉부의 상기 본체부로부터 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 횡대부와,
   상기 제1 횡대부에 대하여 상기 제1 방향으로 간극을 두고 배치된 제2 횡대부와,
   상기 중심선에 대한 상기 본체부의 반대측에서, 상기 제1 횡대부 및 상기 제2 횡대부에 접속된 만곡대부
   를 갖고,
   상기 본체부가,
   상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 횡대부에 대향함과 함께, 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선으로부터 이격됨에 따라, 상기 제1 방향에서 또한 상기 제2 횡대부로부터 이격되는 방향으로 경사지는 경사면을 갖고 있는, 프로브 핀.
2. 제1항의 프로브 핀과,
   상기 프로브 핀이 내부에 수용된 하우징
   을 구비하고,
   상기 프로브 핀이,
   상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부가 상기 제1 방향에 있어서 접근하도록 상기 탄성부가 탄성 변형되고, 상기 제2 방향으로 연장되는 검사 대상물 또는 검사 장치의 접속 단자에 대하여 상기 복수의 접점부의 각각이 동시에 접촉 가능한 상태로 수용되어 있는, 검사 지그.
3. 제2항의 검사 지그를 적어도 하나 구비하는, 검사 유닛.
4. 제1 방향을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부와,
   상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와,
   상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부
   를 구비하고,
   상기 제1 접촉부가,
   상기 탄성부의 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향의 중심을 지나 또한 상기 제1 방향으로 연장되는 중심선으로부터 이격되어 배치된 접점부와,
   상기 중심선으로부터 이격되어 배치되어, 상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단이 접속된 본체부와,
   상기 본체부로부터 상기 제1 방향에서 또한 상기 본체부로부터 이격되는 방향으로 연장되는 돌기부
   를 갖고,
   상기 돌기부의 상기 제1 방향에서 또한 상기 본체부로부터 이격된 선단부가, 상기 접점부를 구성하고,
   상기 탄성부가,
   상기 제2 방향으로 연장되고, 그러한 상기 제2 방향의 일단이 상기 제2 접촉부에 접속되어 있는 제2 횡대부와,
   상기 제2 횡대부에 대하여 상기 제1 방향으로 간극을 두고 배치된 제1 횡대부와,
   상기 중심선에 대한 상기 본체부의 반대측에서, 상기 제1 횡대부 및 상기 제2 횡대부에 접속된 만곡대부
   를 갖고,
   상기 본체부가,
   상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 횡대부에 대향함과 함께, 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선으로부터 이격됨에 따라, 상기 제1 방향에서 또한 상기 제2 횡대부로부터 이격되는 방향으로 경사지는 경사면을 갖고 있는, 프로브 핀.
5. 제1 방향을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부와,
   상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와,
   상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부
   를 구비하고,
   상기 제1 접촉부가,
   상기 탄성부의 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향의 중심을 지나 또한 상기 제1 방향으로 연장되는 중심선으로부터 이격되어 배치된 접점부와,
   상기 중심선으로부터 이격되어 배치되어, 상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단이 접속된 본체부와,
   상기 본체부로부터 상기 제1 방향에서 또한 상기 본체부로부터 이격되는 방향으로 연장되는 돌기부
   를 갖고,
   상기 돌기부의 상기 제1 방향에서 또한 상기 본체부로부터 이격된 선단부가, 상기 접점부를 구성하고,
   상기 탄성부가,
   상기 제1 접촉부의 상기 본체부로부터 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 횡대부와,
   상기 제1 횡대부에 대하여 상기 제1 방향으로 간극을 두고 배치된 제2 횡대부와
   상기 중심선에 대한 상기 본체부의 반대측에서, 상기 제1 횡대부 및 상기 제2 횡대부에 접속된 만곡대부
   를 갖고,
   상기 본체부가,
   상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 횡대부에 대향함과 함께, 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선으로부터 이격됨에 따라, 상기 제1 방향에서 또한 상기 제2 횡대부로부터 이격되는 방향으로 경사지는 경사면을 갖고 있는, 프로브 핀.
6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 탄성부의 상기 제2 방향의 중심은, 상기 제1 횡대부와 상기 만곡대부를 합친 부분의 상기 제2 방향에 있어서의 최대 거리의 중심인, 프로브 핀.
7. 제4항 또는 제5항의 프로브 핀과,
   상기 프로브 핀이 내부에 수용된 하우징
   을 구비하고,
   상기 프로브 핀이,
   상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부가 상기 제1 방향에 있어서 접근하도록 상기 탄성부가 탄성 변형 가능한 상태로 수용되어 있는, 검사 지그.
8. 제7항의 검사 지그를 적어도 하나 구비하는, 검사 유닛.

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