JP2001091537A - 接触子及びこれを用いた接触子組立体 - Google Patents
接触子及びこれを用いた接触子組立体Info
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 適切な変形部分の占有空間を確保できる格子
配置型接触子組立体の機構方式を提供すると共に、薄板
状接触子を傾斜して配置する方式に適合する、適切な変
形構造を有する接触子を提供ことである。 【解決手段】 弾性変形部４に多数の形状選択の可能性
を有し、入力部２と出力部３の相対的位置関係を自由選
定可能とする蛇行する弾性変形部の形状の接触子を、ｘ
軸と一定の角度をもって配置することにより、配置ピッ
チの小さい格子配置の接触子組立体を可能にした。
配置型接触子組立体の機構方式を提供すると共に、薄板
状接触子を傾斜して配置する方式に適合する、適切な変
形構造を有する接触子を提供ことである。 【解決手段】 弾性変形部４に多数の形状選択の可能性
を有し、入力部２と出力部３の相対的位置関係を自由選
定可能とする蛇行する弾性変形部の形状の接触子を、ｘ
軸と一定の角度をもって配置することにより、配置ピッ
チの小さい格子配置の接触子組立体を可能にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路端子の配置が
平面状をなす電子デバイスの回路検査等に使用する電気
接続用接触子及び平面状に回路端子が配置され、電子部
品用コネクターとしても使用可能な接触子組立体に関す
る。
平面状をなす電子デバイスの回路検査等に使用する電気
接続用接触子及び平面状に回路端子が配置され、電子部
品用コネクターとしても使用可能な接触子組立体に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】垂直方向に変形する弾性体の変形と、変
形によって発生する力を利用して導電性を有する接触子
と回路端子間に接触圧を得ることにより、上記回路端子
との間で通電を行ない、被試験回路を検査したり、或い
はコネクタを構成したりする技術が従来からあった。こ
のような従来の接触子においては、弾性体として、コイ
ルばねが利用されているものが一般的である。
形によって発生する力を利用して導電性を有する接触子
と回路端子間に接触圧を得ることにより、上記回路端子
との間で通電を行ない、被試験回路を検査したり、或い
はコネクタを構成したりする技術が従来からあった。こ
のような従来の接触子においては、弾性体として、コイ
ルばねが利用されているものが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年に
なって、集積回路の製造技術の発展に伴い、その回路網
がきわめて微細化し、これを試験するための装置の接触
子の通電部に要求されるピッチも非常に小さくなってき
た。また、各種電子機器間を接続するコネクタも小型化
が進み、その結果端子部分に要求されるピッチも非常に
小さくなってきた。その結果１個の接触子に割り当てら
れる弾性体材料の占有できる空間に不足を生じ、適切な
ばね定数を有する接触子を実現することは難しかった。
弾性変形量が小さくなると、動作範囲が狭くなるため、
接触子の製作誤差、接触子を内蔵する装置の接触動作時
の機械停止誤差等が発生すると、適切な接触圧が得られ
ない欠点があった。
なって、集積回路の製造技術の発展に伴い、その回路網
がきわめて微細化し、これを試験するための装置の接触
子の通電部に要求されるピッチも非常に小さくなってき
た。また、各種電子機器間を接続するコネクタも小型化
が進み、その結果端子部分に要求されるピッチも非常に
小さくなってきた。その結果１個の接触子に割り当てら
れる弾性体材料の占有できる空間に不足を生じ、適切な
ばね定数を有する接触子を実現することは難しかった。
弾性変形量が小さくなると、動作範囲が狭くなるため、
接触子の製作誤差、接触子を内蔵する装置の接触動作時
の機械停止誤差等が発生すると、適切な接触圧が得られ
ない欠点があった。
【０００４】本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされ
たもので、その第１の目的は、集積回路等に構成される
電子回路のように回路端子間隔が小さくなった場合でも
適切な動作ストロークと接触圧を確保できる接触子を提
供することである。
たもので、その第１の目的は、集積回路等に構成される
電子回路のように回路端子間隔が小さくなった場合でも
適切な動作ストロークと接触圧を確保できる接触子を提
供することである。
【０００５】本発明の第２の目的は、適切な変形部分の
占有空間を確保でき、接触子の製作誤差、回路端子の機
械停止位置のばらつきにも対応できる接触子組立体を提
供することである。
占有空間を確保でき、接触子の製作誤差、回路端子の機
械停止位置のばらつきにも対応できる接触子組立体を提
供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、接触子の変形部に多数の形状選択の可能性を
有し、入力部と出力部の相対的位置関係を自由選定可能
とする、蛇行する変形構造を採用した。
するため、接触子の変形部に多数の形状選択の可能性を
有し、入力部と出力部の相対的位置関係を自由選定可能
とする、蛇行する変形構造を採用した。
【０００７】また接触子組立体を構成するために、個々
の接触子の配置方向を確実にする固定手段を採用した。
接触子の電子デバイスと接触する入力部近傍に案内手段
を設け高精度化した。上記の接触子を直交座標の座標軸
に対して一定の傾斜角度をもって配置することにより、
入力部および出力部の配置ピッチを小さく設定した格子
配置の接触子組立体を実現可能にした。
の接触子の配置方向を確実にする固定手段を採用した。
接触子の電子デバイスと接触する入力部近傍に案内手段
を設け高精度化した。上記の接触子を直交座標の座標軸
に対して一定の傾斜角度をもって配置することにより、
入力部および出力部の配置ピッチを小さく設定した格子
配置の接触子組立体を実現可能にした。
【０００８】また、被試験回路の回路端子の格子座標軸
と一定角度傾斜させて薄板状接触子を配置し、前記格子
の複数ピッチにまたがる長さで配置しても他の接触子と
の干渉がないものとし、変形動作方向に一定の幅と厚さ
を有し横方向にも長い材料取りを可能にし、撓みに関与
できる材料取り空間を大きくした。
と一定角度傾斜させて薄板状接触子を配置し、前記格子
の複数ピッチにまたがる長さで配置しても他の接触子と
の干渉がないものとし、変形動作方向に一定の幅と厚さ
を有し横方向にも長い材料取りを可能にし、撓みに関与
できる材料取り空間を大きくした。
【０００９】このような各種態様を有する発明として、
本発明の請求項１に記載の発明は、一方に被試験デバイ
スの端子と入力部を有し、他方において回路網端子と接
続される出力部を有する薄板形状材料からなる接触子に
おいて、前記入力部と出力部の間に外力に対して弾性的
に変形する弾性変形部を介在させるとともに、この弾性
変形部は、外力を受けて変形する方向に対して略直角の
方向に蛇行する梁構造を有することを特徴とする接触子
であり、１つの接触子に許容される体積内で、適切な長
さの変形部位が得られるという作用を有する。
本発明の請求項１に記載の発明は、一方に被試験デバイ
スの端子と入力部を有し、他方において回路網端子と接
続される出力部を有する薄板形状材料からなる接触子に
おいて、前記入力部と出力部の間に外力に対して弾性的
に変形する弾性変形部を介在させるとともに、この弾性
変形部は、外力を受けて変形する方向に対して略直角の
方向に蛇行する梁構造を有することを特徴とする接触子
であり、１つの接触子に許容される体積内で、適切な長
さの変形部位が得られるという作用を有する。
【００１０】本発明の請求項２に記載の発明は、請求項
１に記載の接触子において、弾性変形部は、外力が加わ
る方向に関して交差する両方向へ対称に延びる１または
複数往復の湾曲した梁構造を有していることを特徴とす
るものであり、１つの接触子に許容される体積内で、適
切な長さの変形部位が得られるという作用を有する。
１に記載の接触子において、弾性変形部は、外力が加わ
る方向に関して交差する両方向へ対称に延びる１または
複数往復の湾曲した梁構造を有していることを特徴とす
るものであり、１つの接触子に許容される体積内で、適
切な長さの変形部位が得られるという作用を有する。
【００１１】本発明の請求項３に記載の発明は、請求項
１または２に記載の接触子において、出力部は固定部に
設けられており、この固定部の内側には空洞部を有する
ようにしたものであり、組立を容易にするという作用を
有する。
１または２に記載の接触子において、出力部は固定部に
設けられており、この固定部の内側には空洞部を有する
ようにしたものであり、組立を容易にするという作用を
有する。
【００１２】本発明の請求項４に記載の発明は、一端に
被試験電子デバイスの端子と接触する入力部を有する一
方、他端に試験回路網の端子と接続される出力部を有
し、前記入力部と出力部の間に介在せしめられた弾性変
形部を有する薄板状接触子を、複数個配置して成り、ま
た前記複数の接触子は、ｘｙ直交座標系のｘ軸と所定の
角度を成して配置されていることを特徴とする接触子組
立体であり、格子ピッチより長い変形部を有する接触子
が適用可能となる作用を有する。
被試験電子デバイスの端子と接触する入力部を有する一
方、他端に試験回路網の端子と接続される出力部を有
し、前記入力部と出力部の間に介在せしめられた弾性変
形部を有する薄板状接触子を、複数個配置して成り、ま
た前記複数の接触子は、ｘｙ直交座標系のｘ軸と所定の
角度を成して配置されていることを特徴とする接触子組
立体であり、格子ピッチより長い変形部を有する接触子
が適用可能となる作用を有する。
【００１３】本発明の請求項５に記載の発明は、請求項
４記載の接触子組立体において、ｘｙ直交座標系は、前
記被試験電子デバイスの複数の端子または試験回路網の
複数の端子が格子状に配置された平面の、前記格子の行
および列方向にそれぞれ軸を設定したｘｙ直交座標系で
あり、前記複数の接触子は、当該ｘｙ直交座標系のｘ軸
と所定の角度を成して配置されるようにしたものであ
り、格子ピッチより長い変形部を有する接触子が適用可
能となる作用を有する。
４記載の接触子組立体において、ｘｙ直交座標系は、前
記被試験電子デバイスの複数の端子または試験回路網の
複数の端子が格子状に配置された平面の、前記格子の行
および列方向にそれぞれ軸を設定したｘｙ直交座標系で
あり、前記複数の接触子は、当該ｘｙ直交座標系のｘ軸
と所定の角度を成して配置されるようにしたものであ
り、格子ピッチより長い変形部を有する接触子が適用可
能となる作用を有する。
【００１４】本発明の請求項６に記載の発明は、請求項
４または５記載の接触子組立体において、前記複数の接
触子は、前記被試験電子デバイスの複数の端子または試
験回路網の複数の端子が格子状に配置された平面に対し
て、格子ピッチ間を前記所定の角度で横切って、当該格
子ピッチよりも長い寸法範囲にわたって、且つ前記複数
の接触子が互いに干渉することなく配置されているよう
にしたものであり、格子ピッチより長い変形部を有する
接触子が、狭い領域内で干渉することなく適用し得ると
いう作用を有する。
４または５記載の接触子組立体において、前記複数の接
触子は、前記被試験電子デバイスの複数の端子または試
験回路網の複数の端子が格子状に配置された平面に対し
て、格子ピッチ間を前記所定の角度で横切って、当該格
子ピッチよりも長い寸法範囲にわたって、且つ前記複数
の接触子が互いに干渉することなく配置されているよう
にしたものであり、格子ピッチより長い変形部を有する
接触子が、狭い領域内で干渉することなく適用し得ると
いう作用を有する。
【００１５】本発明の請求項７に記載の発明は、請求項
６記載の接触子組立体において、前記格子ピッチ間には
複数の接触子が横切って配置されているようにしたもの
であり、格子ピッチより長い変形部を有する接触子が、
狭い領域の面積を有効に使って適用し得るという作用を
有する。
６記載の接触子組立体において、前記格子ピッチ間には
複数の接触子が横切って配置されているようにしたもの
であり、格子ピッチより長い変形部を有する接触子が、
狭い領域の面積を有効に使って適用し得るという作用を
有する。
【００１６】本発明の請求項８に記載の発明は、請求項
４乃至７のいずれかに記載の接触子組立体において、前
記接触子の固定部と嵌合する少なくとも矩形形状の穴を
有する固定手段と、該固定手段と連結された少なくとも
矩形形状穴を有する前記接触子の案内手段と、前記接触
子の出力部と接続する回路端子を有する回路網とを有す
るようにしたものであり、接触子の組立方向を一定化
し、接触子配置の高精度化を図るという作用を有する。
４乃至７のいずれかに記載の接触子組立体において、前
記接触子の固定部と嵌合する少なくとも矩形形状の穴を
有する固定手段と、該固定手段と連結された少なくとも
矩形形状穴を有する前記接触子の案内手段と、前記接触
子の出力部と接続する回路端子を有する回路網とを有す
るようにしたものであり、接触子の組立方向を一定化
し、接触子配置の高精度化を図るという作用を有する。
【００１７】本発明の請求項９に記載の発明は、回路試
験装置として、一端に被試験電子デバイスの端子と接触
する入力部を有する一方、他端に試験回路網の端子と接
続される出力部を有し、前記入力部と出力部の間に介在
せしめられた弾性変形部を有する薄板状接触子を、複数
個配置した接触子組立体と、前記出力部に接続された試
験回路基板とから成り、前記複数の接触子は、ｘｙ直交
座標系のｘ軸に対して所定の角度を成して配置されてお
り、また前記入力部には被試験回路の端子が接触される
ようにしたものであり、格子ピッチより長い変形部を有
する接触子を用いて集積度の高い被試験回路の試験が行
なえるという作用を有する。
験装置として、一端に被試験電子デバイスの端子と接触
する入力部を有する一方、他端に試験回路網の端子と接
続される出力部を有し、前記入力部と出力部の間に介在
せしめられた弾性変形部を有する薄板状接触子を、複数
個配置した接触子組立体と、前記出力部に接続された試
験回路基板とから成り、前記複数の接触子は、ｘｙ直交
座標系のｘ軸に対して所定の角度を成して配置されてお
り、また前記入力部には被試験回路の端子が接触される
ようにしたものであり、格子ピッチより長い変形部を有
する接触子を用いて集積度の高い被試験回路の試験が行
なえるという作用を有する。
【００１８】本発明の請求項１０に記載の発明は、コネ
クタとして、一端に被試験電子デバイスの端子と接触す
る入力部を有する一方、他端に試験回路網の端子と接続
される出力部を有し、前記入力部と出力部の間に介在せ
しめられた弾性変形部を有する薄板状接触子を、複数個
配置した接触子組立体と、前記出力部に接続されたケー
ブルとから成り、前記複数の接触子は、ｘｙ直交座標系
のｘ軸に対して所定の角度を成して配置されているよう
にしたものであり、格子ピッチより長い変形部を有する
接触子を用いて集積度の高い接続端子を有する電子機器
の接続が行なえるという作用を有する。
クタとして、一端に被試験電子デバイスの端子と接触す
る入力部を有する一方、他端に試験回路網の端子と接続
される出力部を有し、前記入力部と出力部の間に介在せ
しめられた弾性変形部を有する薄板状接触子を、複数個
配置した接触子組立体と、前記出力部に接続されたケー
ブルとから成り、前記複数の接触子は、ｘｙ直交座標系
のｘ軸に対して所定の角度を成して配置されているよう
にしたものであり、格子ピッチより長い変形部を有する
接触子を用いて集積度の高い接続端子を有する電子機器
の接続が行なえるという作用を有する。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明を具体化した実施の形態
１の接触子の正面図、図２は接触子の平面図である。図
１において、符号１は被試験回路と試験回路を電気的に
導通する導電性材料から成る接触子、２は接触子１の一
部で被試験回路の端子と接触する入力部、３は試験回路
の端子と接触ないしは接続して電気的導通状態にある出
力部、４は入力部２と出力部３との間に介在せしめら
れ、入力部２と被試験回路の端子が一定の位置関係の範
囲で配置したとき適切な接触力で接触するべく弾性変形
する弾性変形部である。５は先端部分に上記出力部３が
設けられ、また接触子１の位置及び方向を精度よく保持
する固定部である。この固定部５の両側には凹部５ｂが
切り欠き状に形成され、この凹部５ｂが固定シート（後
出の６）の穴（後出の１２）にハメアイ嵌合により挿入
され固定される。また固定部５には内部に空洞部５ａが
設けられて外部から力を加えると変形可能となってお
り、接触子組立体を組み立てる時に適度の力で圧入作業
することを可能にしている。
て図面を用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明を具体化した実施の形態
１の接触子の正面図、図２は接触子の平面図である。図
１において、符号１は被試験回路と試験回路を電気的に
導通する導電性材料から成る接触子、２は接触子１の一
部で被試験回路の端子と接触する入力部、３は試験回路
の端子と接触ないしは接続して電気的導通状態にある出
力部、４は入力部２と出力部３との間に介在せしめら
れ、入力部２と被試験回路の端子が一定の位置関係の範
囲で配置したとき適切な接触力で接触するべく弾性変形
する弾性変形部である。５は先端部分に上記出力部３が
設けられ、また接触子１の位置及び方向を精度よく保持
する固定部である。この固定部５の両側には凹部５ｂが
切り欠き状に形成され、この凹部５ｂが固定シート（後
出の６）の穴（後出の１２）にハメアイ嵌合により挿入
され固定される。また固定部５には内部に空洞部５ａが
設けられて外部から力を加えると変形可能となってお
り、接触子組立体を組み立てる時に適度の力で圧入作業
することを可能にしている。
【００２０】本実施の形態１において、弾性変形部４
は、図１に示すように入力部２と固定部５との間を接続
する１つの蛇行する梁構造体により構成される。すなわ
ち、この梁構造体は、図１において入力部の根元部分
（４ａとする）から略水平左方向へ所定寸法隔てられた
第１端部（４ｂとする）までを第１の梁部、第１端部４
ｂの直下の第２端部（４ｃとする）から略水平右方向へ
所定寸法隔てられた第３端部（４ｄとする）までを第２
の梁部、第３端部４ｄの直下の第４端部（４ｅとする）
から略水平左方向へ所定寸法隔てられた固定部５の根元
部分（４ｆとする）までを第３の梁部としている。そし
て、梁構造の弾性変形体４全体が曲げ変形することによ
り復元力が発生する。Ｓは接触子１の全長寸法である。
Ｒは入力部２と出力部３との間の正面から見た距離（変
位寸法）でありこの値によって後述するＬが一定であっ
ても変形部４の弾性係数は変化する。従ってＲは適切な
復元力を得るべく決定される。またＲはゼロでなく所定
の変位寸法を保っている（すなわち、入力部２と出力部
３とが同一垂直線上にない）場合は、入力部２から垂直
方向の外力が加えられて梁構造体が変形したとき、接触
子１の両端にある入力部２および出力部３の間で上記外
力の入力方向に対して略直角方向の力が生じ、入力部２
および出力部３の間でズレ変位を起こさせようとするか
ら、Ｒはゼロでないことが好ましい。また、Ｌは本発明
において接触子１の全長寸法として許容できる限界寸法
（すなわち、Ｓのとり得る最大寸法）を示す。
は、図１に示すように入力部２と固定部５との間を接続
する１つの蛇行する梁構造体により構成される。すなわ
ち、この梁構造体は、図１において入力部の根元部分
（４ａとする）から略水平左方向へ所定寸法隔てられた
第１端部（４ｂとする）までを第１の梁部、第１端部４
ｂの直下の第２端部（４ｃとする）から略水平右方向へ
所定寸法隔てられた第３端部（４ｄとする）までを第２
の梁部、第３端部４ｄの直下の第４端部（４ｅとする）
から略水平左方向へ所定寸法隔てられた固定部５の根元
部分（４ｆとする）までを第３の梁部としている。そし
て、梁構造の弾性変形体４全体が曲げ変形することによ
り復元力が発生する。Ｓは接触子１の全長寸法である。
Ｒは入力部２と出力部３との間の正面から見た距離（変
位寸法）でありこの値によって後述するＬが一定であっ
ても変形部４の弾性係数は変化する。従ってＲは適切な
復元力を得るべく決定される。またＲはゼロでなく所定
の変位寸法を保っている（すなわち、入力部２と出力部
３とが同一垂直線上にない）場合は、入力部２から垂直
方向の外力が加えられて梁構造体が変形したとき、接触
子１の両端にある入力部２および出力部３の間で上記外
力の入力方向に対して略直角方向の力が生じ、入力部２
および出力部３の間でズレ変位を起こさせようとするか
ら、Ｒはゼロでないことが好ましい。また、Ｌは本発明
において接触子１の全長寸法として許容できる限界寸法
（すなわち、Ｓのとり得る最大寸法）を示す。
【００２１】図２は実施の形態１の接触子１の平面図で
ある。図１および図２から明らかなように、この実施の
形態に係る接触子１は薄板材料から入力部２、出力部
３、および弾性変形体４を切り出した構造を有する。本
発明の特徴は、接触子１により接触子組立体を構成した
とき、入力部２及び出力部３の格子ピッチＰより接触子
１の全長寸法Ｓがはるかに大きくでき、しかも変位寸法
Ｒの値を限定されたＳの範囲内で選定可能であることに
ある。なお、接触子１は、他の回路の端子と接触する入
力部２および出力部３を除いて、ほぼ全体に絶縁コーテ
ィングが施され、絶縁性が保たれている。
ある。図１および図２から明らかなように、この実施の
形態に係る接触子１は薄板材料から入力部２、出力部
３、および弾性変形体４を切り出した構造を有する。本
発明の特徴は、接触子１により接触子組立体を構成した
とき、入力部２及び出力部３の格子ピッチＰより接触子
１の全長寸法Ｓがはるかに大きくでき、しかも変位寸法
Ｒの値を限定されたＳの範囲内で選定可能であることに
ある。なお、接触子１は、他の回路の端子と接触する入
力部２および出力部３を除いて、ほぼ全体に絶縁コーテ
ィングが施され、絶縁性が保たれている。
【００２２】図３は実施の形態１の接触子１を複数個配
置することにより接触子組立体を構成したときの、接触
子１の配置状態を示す平面図である。図４は図３の正面
図である。図３および図４において、接触子１は複数個
配置されているから、当然のこととして入力部２及び出
力部３もまた複数個配置される。そして、入力部２及び
出力部３はそれぞれｘｙ直交座標上でｘ軸方向およびｙ
軸方向へ配置され、また入力部２及び出力部３は、ｘ軸
方向およびｙ軸方向ともピッチＰで配置されている。こ
のｘｙ直交座標は、被試験電子デバイスの複数の端子ま
たは試験回路網の複数の端子が格子状に配置された平面
の、前記格子の行および列方向にそれぞれ軸を設定した
ｘｙ直交座標系に対応する（すなわち同等である）。ま
た、上記ｘｙ直交座標上でのｘ方向ｙ方向のピッチＰ
は、被試験電子デバイスの複数の端子または試験回路網
の複数の端子が格子状に配置された平面の、前記格子の
ピッチに対応するよう接触子１の配置が行なわれる。
置することにより接触子組立体を構成したときの、接触
子１の配置状態を示す平面図である。図４は図３の正面
図である。図３および図４において、接触子１は複数個
配置されているから、当然のこととして入力部２及び出
力部３もまた複数個配置される。そして、入力部２及び
出力部３はそれぞれｘｙ直交座標上でｘ軸方向およびｙ
軸方向へ配置され、また入力部２及び出力部３は、ｘ軸
方向およびｙ軸方向ともピッチＰで配置されている。こ
のｘｙ直交座標は、被試験電子デバイスの複数の端子ま
たは試験回路網の複数の端子が格子状に配置された平面
の、前記格子の行および列方向にそれぞれ軸を設定した
ｘｙ直交座標系に対応する（すなわち同等である）。ま
た、上記ｘｙ直交座標上でのｘ方向ｙ方向のピッチＰ
は、被試験電子デバイスの複数の端子または試験回路網
の複数の端子が格子状に配置された平面の、前記格子の
ピッチに対応するよう接触子１の配置が行なわれる。
【００２３】また、図３において、角度Φは薄板状構造
の接触子１の長手方向（図１および図２において左右方
向）の接触子端部を結ぶ直線がｘｙ直交座標系のｘ軸と
成す角度である。また、ＳｓｉｎΦ＜ＬｓｉｎΦ＜Ｐの
関係を満足すればｙ方向の配置に関しても接触子１間の
干渉なく配置することが可能であることを示す。すなわ
ち、上記角度Φは、入力部２及び出力部３をそれぞれｘ
ｙ直交座標上でｘ軸方向およびｙ軸方向へ配置するため
に、薄板状構造の接触子１自体は、ｘｙ直交座標上でｘ
軸に対して角度Φだけ傾斜して配置されていることを示
す。更に、図１、図３に示すＬ及びＴは、上述のよう
に、入力部２及び出力部３がピッチＰの格子状に配置さ
れるように接触子１が配置された状態において、干渉を
生じない最大寸法を意味している。
の接触子１の長手方向（図１および図２において左右方
向）の接触子端部を結ぶ直線がｘｙ直交座標系のｘ軸と
成す角度である。また、ＳｓｉｎΦ＜ＬｓｉｎΦ＜Ｐの
関係を満足すればｙ方向の配置に関しても接触子１間の
干渉なく配置することが可能であることを示す。すなわ
ち、上記角度Φは、入力部２及び出力部３をそれぞれｘ
ｙ直交座標上でｘ軸方向およびｙ軸方向へ配置するため
に、薄板状構造の接触子１自体は、ｘｙ直交座標上でｘ
軸に対して角度Φだけ傾斜して配置されていることを示
す。更に、図１、図３に示すＬ及びＴは、上述のよう
に、入力部２及び出力部３がピッチＰの格子状に配置さ
れるように接触子１が配置された状態において、干渉を
生じない最大寸法を意味している。
【００２４】図３に示された接触子１の配置についても
う少し詳細に説明する。図３においては説明のために各
接触子１に個別の符号を付け、最上段に描かれた５個の
接触子をそれぞれ左から接触子１−１、１−２、・・・
１−５とする。次に第２段目に描かれた１０個の接触子
をそれぞれ左から接触子１−６、１−７、・・・１−１
５とする。また、第３段目に描かれた９個の接触子をそ
れぞれ左から接触子１−１６、１−１７、・・・１−２
４とする。第４段目に描かれた５個の接触子をそれぞれ
左から接触子１−２５、１−２６、・・・１−２９とす
る。第５段目に描かれた５個の接触子をそれぞれ左から
接触子１−３０、１−３１、・・・１−３４とする。ま
たそれぞれの接触子１−１、１−２、・・・１−３４に
対応する入力部をそれぞれ２−１、２−２、・・・２−
３４とする。なお図３中においては、同図が不明瞭にな
るのを避けるため、入力については一部の符号のみを記
載し、その他は省略してある。図３において、入力部２
及び出力部３がｘｙ直交座標上でｘ軸方向およびｙ軸方
向へピッチＰの格子状に配置されるように接触子１−１
〜１ー３４がｘ軸に対して角度Φだけ傾斜して配置され
る。隣合う接触子（例えば１−１と１−２）との間には
僅かな隙間が形成されるのみである。このように接触子
１−１〜１ー３４を配置すると、１この接触子は薄板状
であるから、入力部２−１〜２−３４が配置された格子
ピッチの間に複数の接触子が入ることができる。すなわ
ち、格子ピッチ間には複数の接触子が横切って配置され
ていることになる。例えば入力部２−８とこれからｙ軸
方向下方へ１ピッチずれた入力部２−１８との間に注目
すると、この２つの入力部２−８と２−１８との間には
接触子１−８と、１−９と、１−１０と、１−１１と、
１−１６と、１−１７とが延びている。すなわちこの実
施の形態においては格子の１ピッチＰの中に６個の接触
子が配置できるのである。もちろん、接触子を構成する
板材料をもっと薄くすればより多くの接触子を格子の１
ピッチＰの中に配置できる。
う少し詳細に説明する。図３においては説明のために各
接触子１に個別の符号を付け、最上段に描かれた５個の
接触子をそれぞれ左から接触子１−１、１−２、・・・
１−５とする。次に第２段目に描かれた１０個の接触子
をそれぞれ左から接触子１−６、１−７、・・・１−１
５とする。また、第３段目に描かれた９個の接触子をそ
れぞれ左から接触子１−１６、１−１７、・・・１−２
４とする。第４段目に描かれた５個の接触子をそれぞれ
左から接触子１−２５、１−２６、・・・１−２９とす
る。第５段目に描かれた５個の接触子をそれぞれ左から
接触子１−３０、１−３１、・・・１−３４とする。ま
たそれぞれの接触子１−１、１−２、・・・１−３４に
対応する入力部をそれぞれ２−１、２−２、・・・２−
３４とする。なお図３中においては、同図が不明瞭にな
るのを避けるため、入力については一部の符号のみを記
載し、その他は省略してある。図３において、入力部２
及び出力部３がｘｙ直交座標上でｘ軸方向およびｙ軸方
向へピッチＰの格子状に配置されるように接触子１−１
〜１ー３４がｘ軸に対して角度Φだけ傾斜して配置され
る。隣合う接触子（例えば１−１と１−２）との間には
僅かな隙間が形成されるのみである。このように接触子
１−１〜１ー３４を配置すると、１この接触子は薄板状
であるから、入力部２−１〜２−３４が配置された格子
ピッチの間に複数の接触子が入ることができる。すなわ
ち、格子ピッチ間には複数の接触子が横切って配置され
ていることになる。例えば入力部２−８とこれからｙ軸
方向下方へ１ピッチずれた入力部２−１８との間に注目
すると、この２つの入力部２−８と２−１８との間には
接触子１−８と、１−９と、１−１０と、１−１１と、
１−１６と、１−１７とが延びている。すなわちこの実
施の形態においては格子の１ピッチＰの中に６個の接触
子が配置できるのである。もちろん、接触子を構成する
板材料をもっと薄くすればより多くの接触子を格子の１
ピッチＰの中に配置できる。
【００２５】また、これらの接触子１−８と、１−９
と、１−１０と、１−１１と、１−１６と、１−１７
は、格子ピッチ間を角度Φで横切って、当該格子ピッチ
の寸法よりも長い寸法範囲にわたって延びている。しか
も第２段目の接触子の集まり１−６〜１−１５と、第３
段目の接触子の集まり１−１６〜１−２４とに注目する
と、第２段目の接触子１−１２の左斜め延長方向の位置
には第３段目の接触子の集まりに属する接触子１−１６
が配置されており、第２段目の接触子１−１３の左斜め
延長方向の位置には第３段目の接触子の集まりに属する
接触子１−１７が配置されている。そして、接触子１−
１２と接触子１−１６の間には隙間２１が形成され、ま
た接触子１−１３と接触子１−１７の間には隙間２２が
形成されている。これにより接触子はその長手方向およ
び幅方向に隣り合う接触子と干渉することなく配置され
ていることになる。そして、接触子１の長手方向寸法を
最大限にとれば、隙間２１、２２もきわめて小さくする
ことができる。こうすれば、入力部２−１〜２−３４の
配置区域である格子領域（これは被試験電子デバイスの
複数の端子または試験回路網の複数の端子が格子状に配
置された領域でもある。）のほぼ全体面積を使って（す
なわち上記格子領域を埋めつくすようにして）接触子を
配置していることになる。これにより、集積回路の集積
度が高くなってその回路網がきわめて微細化しても、狭
い面積を有効に使って端子との接続を行なうことができ
る。
と、１−１０と、１−１１と、１−１６と、１−１７
は、格子ピッチ間を角度Φで横切って、当該格子ピッチ
の寸法よりも長い寸法範囲にわたって延びている。しか
も第２段目の接触子の集まり１−６〜１−１５と、第３
段目の接触子の集まり１−１６〜１−２４とに注目する
と、第２段目の接触子１−１２の左斜め延長方向の位置
には第３段目の接触子の集まりに属する接触子１−１６
が配置されており、第２段目の接触子１−１３の左斜め
延長方向の位置には第３段目の接触子の集まりに属する
接触子１−１７が配置されている。そして、接触子１−
１２と接触子１−１６の間には隙間２１が形成され、ま
た接触子１−１３と接触子１−１７の間には隙間２２が
形成されている。これにより接触子はその長手方向およ
び幅方向に隣り合う接触子と干渉することなく配置され
ていることになる。そして、接触子１の長手方向寸法を
最大限にとれば、隙間２１、２２もきわめて小さくする
ことができる。こうすれば、入力部２−１〜２−３４の
配置区域である格子領域（これは被試験電子デバイスの
複数の端子または試験回路網の複数の端子が格子状に配
置された領域でもある。）のほぼ全体面積を使って（す
なわち上記格子領域を埋めつくすようにして）接触子を
配置していることになる。これにより、集積回路の集積
度が高くなってその回路網がきわめて微細化しても、狭
い面積を有効に使って端子との接続を行なうことができ
る。
【００２６】接触子１をＸ軸とΦの角度を有する配置理
由は隣接する接触子との干渉を回避しながら格子ピッチ
Ｐより長い変形部を確保するためである。また接触子１
の板厚方向の許容寸法ＴはピッチＰよりはるかに小さい
寸法が望ましいが、現状ではウェハバーンイン試験に関
係するウェハ端子のピッチＰが１５０ミクロン前後対応
する場合においても、板厚が１０〜２０ミクロンの鉄系
ばね鋼等の材料も市販されているので、実施の形態の実
現に関し接触子１の材料からの制約はない。Ｐ／Ｎ（Ｎ
は正の数）の板厚素材を接触子１に使用すれば、ピッチ
Ｐより大きいＳの接触子が得られることは明白である。
由は隣接する接触子との干渉を回避しながら格子ピッチ
Ｐより長い変形部を確保するためである。また接触子１
の板厚方向の許容寸法ＴはピッチＰよりはるかに小さい
寸法が望ましいが、現状ではウェハバーンイン試験に関
係するウェハ端子のピッチＰが１５０ミクロン前後対応
する場合においても、板厚が１０〜２０ミクロンの鉄系
ばね鋼等の材料も市販されているので、実施の形態の実
現に関し接触子１の材料からの制約はない。Ｐ／Ｎ（Ｎ
は正の数）の板厚素材を接触子１に使用すれば、ピッチ
Ｐより大きいＳの接触子が得られることは明白である。
【００２７】図５は実施の形態１の接触子組立体を集積
回路の接続試験に用いる試験装置の概略正面図、図６は
図５の試験装置の分解図。図７は固定シートの穴図、図
８はガイドシートの穴図である。図５、図６において６
は固定シート、７はプリント基板、８は連結ポスト、９
は支持ポスト、１０はガイドシート、１１はウェハであ
る。固定シート６は絶縁性材料から成り、図７に示す傾
斜した矩形と台形の合成した形状の穴１２があり、接触
子１の固定部部５と嵌合関係を保ち挿入され結合され
る。台形形状の部分は固定部５の挿入を容易にし、矩形
部分の穴は結合後の接触子の回転を防止する役目を果た
している。プリント基板７と固定シート６は連結ポスト
８により位置関係が保持され結合されている。尚矩形部
の傾斜はｘ軸と成す角度Φである。固定シート６とガイ
ドシート１０は支持ポスト９により連結固定されてい
る。ガイドシート１０には図８に示すｘ軸とΦの角度を
有する矩形穴１３があり、接触子１の入力部２が挿入さ
れている。矩形穴１３と入力部２は適当なハメアイ関係
にあり接触子１の動作を妨げる力は作用せず、接触子１
の曲がり、倒れ等を防止する案内の役目を果たし、適切
な精度保持を保証するものである。
回路の接続試験に用いる試験装置の概略正面図、図６は
図５の試験装置の分解図。図７は固定シートの穴図、図
８はガイドシートの穴図である。図５、図６において６
は固定シート、７はプリント基板、８は連結ポスト、９
は支持ポスト、１０はガイドシート、１１はウェハであ
る。固定シート６は絶縁性材料から成り、図７に示す傾
斜した矩形と台形の合成した形状の穴１２があり、接触
子１の固定部部５と嵌合関係を保ち挿入され結合され
る。台形形状の部分は固定部５の挿入を容易にし、矩形
部分の穴は結合後の接触子の回転を防止する役目を果た
している。プリント基板７と固定シート６は連結ポスト
８により位置関係が保持され結合されている。尚矩形部
の傾斜はｘ軸と成す角度Φである。固定シート６とガイ
ドシート１０は支持ポスト９により連結固定されてい
る。ガイドシート１０には図８に示すｘ軸とΦの角度を
有する矩形穴１３があり、接触子１の入力部２が挿入さ
れている。矩形穴１３と入力部２は適当なハメアイ関係
にあり接触子１の動作を妨げる力は作用せず、接触子１
の曲がり、倒れ等を防止する案内の役目を果たし、適切
な精度保持を保証するものである。
【００２８】１１は被試験回路網を有するウェハであ
る。図５は接触子１の入力部２とウェハの端子（図示せ
ず）が接触した状態にあり、接触子１の変形部４は下方
に圧縮変形せしめられ適切な接触力が作用している状態
にある。一般には、ウェハ１１を試験するときは、一つ
のウェハ１１が接触子１の入力部２側へ搬送され、ウェ
ハ１１の移動動作によりウェハ１１の端子と接触子１の
入力部２との間の接触が実現する。このとき、ウェハ１
１が接触子１の入力部２を垂直方向へ押圧することによ
り接触子１の弾性変形部４が圧縮変形せしめられるが、
この圧縮動作時に、入力部２にはわずかながら横方向
（水平方向）の力が作用する。これは、上述した接触子
１の構成の説明において、入力部２と出力部３との変位
距離Ｒが所定の値に設定されていることによる。この変
位距離があるために、入力部２に垂直方向の外力が加え
られて弾性変形部４が変形したとき、接触子１の両端に
ある入力部２および出力部３の間で上記外力の入力方向
に対して略直角方向（すなわち水平方向）の力が生じ、
入力部２および出力部３の間でズレ変位を起こさせよう
とするのである。そして出力部３は固定部５により固定
シート６に固定され、その先はプリント基板７に接続さ
れているから静止状態にあり、結局、入力部２の側に上
記ズレ変位が生じる。これにより入力部２は、この入力
部２が接触したウェハ１１の端子に対してわずかなズレ
運動を生じて引っ掻き動作を行ない、両部材間に入り込
んだ塵埃を取り去ったり、端子部分に絶縁物質が残って
いた場合はこの絶縁物質をはぎ取るなどの作用を及ぼ
す。
る。図５は接触子１の入力部２とウェハの端子（図示せ
ず）が接触した状態にあり、接触子１の変形部４は下方
に圧縮変形せしめられ適切な接触力が作用している状態
にある。一般には、ウェハ１１を試験するときは、一つ
のウェハ１１が接触子１の入力部２側へ搬送され、ウェ
ハ１１の移動動作によりウェハ１１の端子と接触子１の
入力部２との間の接触が実現する。このとき、ウェハ１
１が接触子１の入力部２を垂直方向へ押圧することによ
り接触子１の弾性変形部４が圧縮変形せしめられるが、
この圧縮動作時に、入力部２にはわずかながら横方向
（水平方向）の力が作用する。これは、上述した接触子
１の構成の説明において、入力部２と出力部３との変位
距離Ｒが所定の値に設定されていることによる。この変
位距離があるために、入力部２に垂直方向の外力が加え
られて弾性変形部４が変形したとき、接触子１の両端に
ある入力部２および出力部３の間で上記外力の入力方向
に対して略直角方向（すなわち水平方向）の力が生じ、
入力部２および出力部３の間でズレ変位を起こさせよう
とするのである。そして出力部３は固定部５により固定
シート６に固定され、その先はプリント基板７に接続さ
れているから静止状態にあり、結局、入力部２の側に上
記ズレ変位が生じる。これにより入力部２は、この入力
部２が接触したウェハ１１の端子に対してわずかなズレ
運動を生じて引っ掻き動作を行ない、両部材間に入り込
んだ塵埃を取り去ったり、端子部分に絶縁物質が残って
いた場合はこの絶縁物質をはぎ取るなどの作用を及ぼ
す。
【００２９】なお図５および図６に於いては、ウェハ１
１は接触子組立体の上方に位置しているが、通常のウェ
ハ試験装置では、プリント基板７が最上部、接触子組立
体が中間部分（したがって入力部２は下向きに突出）、
ウェハ１１が下部という配置構成になっている場合が多
い。したがって、図５および図６は天地或いは左右逆で
あってもよく、各部材の配置に関して本発明は制約され
ない。
１は接触子組立体の上方に位置しているが、通常のウェ
ハ試験装置では、プリント基板７が最上部、接触子組立
体が中間部分（したがって入力部２は下向きに突出）、
ウェハ１１が下部という配置構成になっている場合が多
い。したがって、図５および図６は天地或いは左右逆で
あってもよく、各部材の配置に関して本発明は制約され
ない。
【００３０】図９は本発明に係る接触子の別の構造例を
示す本発明の第２の実施の形態を示す正面図である。図
９において、符号３１は被試験回路と試験回路を電気的
に導通する導電性材料から成る接触子、３２は接触子１
の一部で被試験回路の端子と接触する入力部、３３は試
験回路の端子と接触ないしは接続して電気的導通状態に
ある出力部、３４は入力部３２と出力部３３との間に介
在せしめられ、入力部３２と被試験回路の端子が一定の
位置関係の範囲で配置したとき適切な接触力で接触する
べく弾性変形する弾性変形部である。３５は先端部分に
上記出力部３３が設けられ、また接触子３１の位置及び
方向を精度よく保持する固定部である。この固定部３５
の両側には凹部３５ｂが切り欠き状に形成され、この凹
部３５ｂが固定シート６の穴１２にハメアイ嵌合により
挿入され固定される。また固定部３５には内部に空洞部
３５ａが設けられて外部から力を加えると変形可能とな
っており、接触子組立体を組み立てる時に適度の力で圧
入作業することを可能にしている。
示す本発明の第２の実施の形態を示す正面図である。図
９において、符号３１は被試験回路と試験回路を電気的
に導通する導電性材料から成る接触子、３２は接触子１
の一部で被試験回路の端子と接触する入力部、３３は試
験回路の端子と接触ないしは接続して電気的導通状態に
ある出力部、３４は入力部３２と出力部３３との間に介
在せしめられ、入力部３２と被試験回路の端子が一定の
位置関係の範囲で配置したとき適切な接触力で接触する
べく弾性変形する弾性変形部である。３５は先端部分に
上記出力部３３が設けられ、また接触子３１の位置及び
方向を精度よく保持する固定部である。この固定部３５
の両側には凹部３５ｂが切り欠き状に形成され、この凹
部３５ｂが固定シート６の穴１２にハメアイ嵌合により
挿入され固定される。また固定部３５には内部に空洞部
３５ａが設けられて外部から力を加えると変形可能とな
っており、接触子組立体を組み立てる時に適度の力で圧
入作業することを可能にしている。
【００３１】本実施の形態２において、弾性変形部３４
は、図９に示すように入力部３２と固定部３５との間を
接続する複数（図では３個）の湾曲構造の梁構造体によ
り構成される。この梁構造体は、外力が加わる方向に関
して交差する両方向（すなわち略直角の両側方向）へ対
称に延びる１または複数往復の湾曲した構造を有してい
る。すなわち、この梁構造体は、長円形状（陸上競技場
のトラックに類似する形状）を有している。そして、梁
構造の弾性変形体４全体が曲げ変形することにより復元
力が発生する。また、接触子３１の機能および配置の方
法は上記第１の実施の形態と同様である。なお、接触子
３１は、上記第１の実施の形態におけると同様、他の回
路の端子と接触する入力部３２および出力部３３を除い
て、ほぼ全体に絶縁コーティングが施され、絶縁性が保
たれている。
は、図９に示すように入力部３２と固定部３５との間を
接続する複数（図では３個）の湾曲構造の梁構造体によ
り構成される。この梁構造体は、外力が加わる方向に関
して交差する両方向（すなわち略直角の両側方向）へ対
称に延びる１または複数往復の湾曲した構造を有してい
る。すなわち、この梁構造体は、長円形状（陸上競技場
のトラックに類似する形状）を有している。そして、梁
構造の弾性変形体４全体が曲げ変形することにより復元
力が発生する。また、接触子３１の機能および配置の方
法は上記第１の実施の形態と同様である。なお、接触子
３１は、上記第１の実施の形態におけると同様、他の回
路の端子と接触する入力部３２および出力部３３を除い
て、ほぼ全体に絶縁コーティングが施され、絶縁性が保
たれている。
【００３２】なお、以上の説明では接触子組立体の用途
として集積回路の試験装置としての適用事例について説
明してきたが、集積された端子の接続を必要とする分野
ではどのような場面でも有効に適用することができる。
例えば本発明の接触子組立体を使って端子の集積密度の
高い接続部に適用可能な高密度コネクタを実現すること
もできる。この場合は、接触子１の入力部２側がコネク
タの差し込み口となり、出力部３側がケーブルに接続さ
れる。
として集積回路の試験装置としての適用事例について説
明してきたが、集積された端子の接続を必要とする分野
ではどのような場面でも有効に適用することができる。
例えば本発明の接触子組立体を使って端子の集積密度の
高い接続部に適用可能な高密度コネクタを実現すること
もできる。この場合は、接触子１の入力部２側がコネク
タの差し込み口となり、出力部３側がケーブルに接続さ
れる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に従えば、
薄板状接触子を傾斜して配置する方式に適合する、適切
な変形構造を有する接触子を提供出来るため、集積回路
等に構成される電子回路のように回路端子間隔が小さく
なった場合、接触子の変形部の材料配置空間がなく、適
切な動作ストロークと接触圧を確保できなかった問題を
解決でき、接触子の製作誤差、回路端子の機械停止位置
のばらつきにも対応でき停止動作マージンの大きい高精
度格子配置の接触子組立体を可能にする。
薄板状接触子を傾斜して配置する方式に適合する、適切
な変形構造を有する接触子を提供出来るため、集積回路
等に構成される電子回路のように回路端子間隔が小さく
なった場合、接触子の変形部の材料配置空間がなく、適
切な動作ストロークと接触圧を確保できなかった問題を
解決でき、接触子の製作誤差、回路端子の機械停止位置
のばらつきにも対応でき停止動作マージンの大きい高精
度格子配置の接触子組立体を可能にする。
【００３４】また、このような接触子組立体を使って端
子の集積密度の高い接続部に適用可能な高密度コネクタ
を実現することもできる。
子の集積密度の高い接続部に適用可能な高密度コネクタ
を実現することもできる。
【図１】本発明を具体化した実施の形態１の接触子の正
面図
面図
【図２】接触子の平面図
【図３】実施の形態１の接触子１の配置を示す平面図
【図４】図３の正面図
【図５】実施の形態１の接触子組立体の正面図
【図６】図５の分解図
【図７】固定シートの穴図
【図８】ガイドシートの穴図
【図９】本発明を具体化した実施の形態２の接触子の正
面図
面図
１ 接触子 ２ 入力部 ３ 出力部 ４ 入力部 ５ 固定部 ５ａ 空洞部 ６ 固定シート ７ プリント基板 ８ 連結ポスト ９ 支持ポスト １０ ガイドシート １１ ウェハ
Claims (10)
- 【請求項１】 一方に被試験デバイスの端子と入力部を
有し、他方において回路網端子と接続される出力部を有
する薄板形状材料からなる接触子において、 前記入力部と出力部の間に外力に対して弾性的に変形す
る弾性変形部を介在させるとともに、この弾性変形部
は、外力を受けて変形する方向に対して略直角の方向に
蛇行する梁構造を有することを特徴とする接触子。 - 【請求項２】 弾性変形部は、外力が加わる方向に関し
て交差する両方向へ対称に延びる１または複数往復の湾
曲した梁構造を有していることを特徴とする請求項１に
記載の接触子。 - 【請求項３】 出力部は固定部に設けられており、この
固定部の内側には空洞部を有することを特徴とする請求
項１または２に記載の接触子。 - 【請求項４】 一端に被試験電子デバイスの端子と接触
する入力部を有する一方、他端に試験回路網の端子と接
続される出力部を有し、前記入力部と出力部の間に介在
せしめられた弾性変形部を有する薄板状接触子を、複数
個配置して成り、また前記複数の接触子は、ｘｙ直交座
標系のｘ軸に対して所定の角度を成して配置されている
ことを特徴とする接触子組立体。 - 【請求項５】 ｘｙ直交座標系は、前記被試験電子デバ
イスの複数の端子または試験回路網の複数の端子が格子
状に配置された平面の、前記格子の行および列方向にそ
れぞれ軸を設定したｘｙ直交座標系であり、前記複数の
接触子は、当該ｘｙ直交座標系のｘ軸と所定の角度を成
して配置されていることを特徴とする請求項４記載の接
触子組立体。 - 【請求項６】 前記複数の接触子は、前記被試験電子デ
バイスの複数の端子または試験回路網の複数の端子が格
子状に配置された平面に対して、格子ピッチ間を前記所
定の角度で横切って、当該格子ピッチよりも長い寸法範
囲にわたって、且つ前記複数の接触子が互いに干渉する
ことなく配置されていることを特徴とする請求項４また
は５記載の接触子組立体。 - 【請求項７】 前記格子ピッチ間には複数の接触子が横
切って配置されていることを特徴とする請求項６記載の
接触子組立体。 - 【請求項８】 前記接触子の固定部と嵌合する少なくと
も矩形形状の穴を有する固定手段と、該固定手段と連結
された少なくとも矩形形状穴を有する前記接触子の案内
手段と、前記接触子の出力部と接続する回路端子を有す
る回路網とを有する請求項４乃至７のいずれかに記載の
接触子組立体。 - 【請求項９】 一端に被試験電子デバイスの端子と接触
する入力部を有する一方、他端に試験回路網の端子と接
続される出力部を有し、前記入力部と出力部の間に介在
せしめられた弾性変形部を有する薄板状接触子を、複数
個配置した接触子組立体と、前記出力部に接続された試
験回路基板とから成り、前記複数の接触子は、ｘｙ直交
座標系のｘ軸に対して所定の角度を成して配置されてお
り、また前記入力部には被試験回路の端子が接触される
ことを特徴とする回路試験装置。 - 【請求項１０】 一端に被試験電子デバイスの端子と接
触する入力部を有する一方、他端に試験回路網の端子と
接続される出力部を有し、前記入力部と出力部の間に介
在せしめられた弾性変形部を有する薄板状接触子を、複
数個配置した接触子組立体と、前記出力部に接続された
ケーブルとから成り、前記複数の接触子は、ｘｙ直交座
標系のｘ軸に対して所定の角度を成して配置されている
ことを特徴とするコネクタ。
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