JP4173145B2 - コンタクトアッセンブリおよびこれを用いた半導体パッケージ用ソケット - Google Patents

コンタクトアッセンブリおよびこれを用いた半導体パッケージ用ソケット Download PDF

Info

Publication number
JP4173145B2
JP4173145B2 JP2005053963A JP2005053963A JP4173145B2 JP 4173145 B2 JP4173145 B2 JP 4173145B2 JP 2005053963 A JP2005053963 A JP 2005053963A JP 2005053963 A JP2005053963 A JP 2005053963A JP 4173145 B2 JP4173145 B2 JP 4173145B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contacts
contact
contact assembly
assembly according
socket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005053963A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006236950A (ja
Inventor
秀幸 高橋
清和 池谷
Original Assignee
株式会社センサータ・テクノロジーズジャパン
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社センサータ・テクノロジーズジャパン filed Critical 株式会社センサータ・テクノロジーズジャパン
Priority to JP2005053963A priority Critical patent/JP4173145B2/ja
Priority to US11/326,302 priority patent/US7217140B2/en
Priority to KR1020060019017A priority patent/KR101178972B1/ko
Priority to CN2006100093675A priority patent/CN1841859B/zh
Publication of JP2006236950A publication Critical patent/JP2006236950A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4173145B2 publication Critical patent/JP4173145B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0483Sockets for un-leaded IC's having matrix type contact fields, e.g. BGA or PGA devices; Sockets for unpackaged, naked chips
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/32Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
    • F04D29/34Blade mountings
    • F04D29/36Blade mountings adjustable
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00Pumping installations or systems
    • F04D25/02Units comprising pumps and their driving means
    • F04D25/08Units comprising pumps and their driving means the working fluid being air, e.g. for ventilation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F7/00Ventilation
    • F24F7/007Ventilation with forced flow
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R12/00Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, specially adapted for printed circuits, e.g. printed circuit boards [PCB], flat or ribbon cables, or like generally planar structures, e.g. terminal strips, terminal blocks; Coupling devices specially adapted for printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures; Terminals specially adapted for contact with, or insertion into, printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures
    • H01R12/70Coupling devices
    • H01R12/7082Coupling device supported only by cooperation with PCB
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05DINDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2210/00Working fluids
    • F05D2210/10Kind or type
    • F05D2210/12Kind or type gaseous, i.e. compressible
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05DINDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2240/00Components
    • F05D2240/20Rotors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2863Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R12/00Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, specially adapted for printed circuits, e.g. printed circuit boards [PCB], flat or ribbon cables, or like generally planar structures, e.g. terminal strips, terminal blocks; Coupling devices specially adapted for printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures; Terminals specially adapted for contact with, or insertion into, printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures
    • H01R12/70Coupling devices
    • H01R12/71Coupling devices for rigid printing circuits or like structures
    • H01R12/712Coupling devices for rigid printing circuits or like structures co-operating with the surface of the printed circuit or with a coupling device exclusively provided on the surface of the printed circuit
    • H01R12/714Coupling devices for rigid printing circuits or like structures co-operating with the surface of the printed circuit or with a coupling device exclusively provided on the surface of the printed circuit with contacts abutting directly the printed circuit; Button contacts therefore provided on the printed circuit
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/646Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00 specially adapted for high-frequency, e.g. structures providing an impedance match or phase match
    • H01R13/6461Means for preventing cross-talk
    • H01R13/6467Means for preventing cross-talk by cross-over of signal conductors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Description

本発明は、半導体パッケージ用ソケットに用いられるコンタクトアッセンブリに関し、特に、BGA、LGA、CSPなどの狭ピッチ端子の半導体パッケージに用いられるコンタクトアッセンブリに関する。
BGAパッケージやLGAパッケージの小型化が進むと、端子の占有スペースが削減され、端子を狭ピッチで配列させる必要が生じる。これに応じて、ソケットに装着されるコンタクトも、端子ピッチに対応するピッチで配置されている。
特許文献1は、BGAやCSPのような表面実装型の半導体装置を装着するソケットに関し、コンタクトの他端の位置を規制するコンタクト規制部材を設けることで、端子の変形量を一定に調整することが可能なソケットを提供している。
特許文献2は、カバー部材の運動に連動する位置決め機構により、載置されたBGAパッケージを対角線方向に位置決めし、かつ保持するようにすることで、コンタクト他端からはんだボールを引き離すときに、BGAパッケージが載置面上で飛び跳ねることを防止するソケットを提供している。
特許第3566691号 特開2004−152554号
BGAやLGAパッケージの端子ピッチが狭くなると、それに対応するピッチでコンタクトを配置するため、端子とコンタクトとの接触面積が小さくなり、接触抵抗が大きくなる傾向がある。さらに、BGAパッケージのようなバンプ形状のはんだボールが端子である場合、はんだボールの最下面の変形を防ぐために、コンタクトの先端の形状を図9に示すようにV字形またはU字形にしているため、これによっても接触抵抗が大きくなってしまう。
接触抵抗が大きくなると、半導体デバイスの試験を行うときの測定精度にも大きな影響を与え、誤差が大きくなるという問題がある。これを解決するために、端子にコンタクトをケルビン接続させる方法がある。しかし、ケルビン接続を行うには、電力供給用と信号測定用のコンタクトをそれぞれ必要とするため、コンタクト数が2倍となる。このため、図9に示すようなコンタクトを2倍にして、それらを配列しただけでは、狭ピッチの半導体パッケージに事実上対処することができない。また、コンタクト数を倍にしてコンタクトのピッチをさらに狭めると、ソケットから突出したコンタクトを接続するためのスルーホールを基板に形成することが困難になってしまう。
そこで本発明は、上記従来の課題を解決し、半導体パッケージの狭ピッチ端子に対応することができる、コンタクトアッセンブリおよびそれを用いたソケットを提供することを目的とする。
さらに本発明は、表面実装用の半導体パッケージの端子とケルビン接続を行うことができるコンタクトアッセンブリを提供し、かつ半導体パッケージの試験を精度よく行うことができるソケットを提供することを目的とする。
本発明に係る、複数のコンタクトを積層したコンタクトアッセンブリは、第1の面内に第1の配列で配された第1組のコンタクトと、第2の面内に第2の配列で配された第2組のコンタクトとを対として、これらを複数対積層し、第1および第2組のコンタクトの第1の端部は、積層する方向に整合され、第1組のコンタクトの第2の端部は、基準線よりも第1の領域側に配され、第2組のコンタクトの第2の端部は、基準線よりも第2の領域側に配され、第1および第2組のコンタクトの第2の端部の面内方向のピッチは、第1および第2組のコンタクトの第1の端部の面内方向のピッチよりも大きいかまたは同一である。
好ましくは、第2組のコンタクトは、第1組のコンタクトに対し180度反転させた位置関係にある。言い換えれば、左右方向に反転させた関係にある。さらに好ましくは、第1および第2組のコンタクトの第2の端部は、積層する方向に千鳥状に配列されている。例えば、積層する方向に第1および第2のコンタクトを反ピッチずらすことにより行われる。
好ましくは第1組のコンタクトと第2組のコンタクトの間に絶縁物が介在されている。絶縁物は、絶縁シート状のもの、あるいは絶縁板状のものが望ましい。また、絶縁物の厚さによって、第1、第2組の第1の端部の積層方向のピッチを決定するようにしてもよい。好ましくは第1および第2組のコンタクトの第1の端部は、半導体パッケージの端子にケルビン接続される。
好ましくは、コンタクトアッセンブリはさらに、複数のセパレータを含み、各セパレータは、第1および第2組のコンタクトを位置決め収容し、各セパレータが積層されている。
コンタクトは、第1の端部と、第1の端部に接続された第1の弾性変形部と、第1の弾性変形部に接続され、かつ第1の端部の軸方向から水平方向にオフセットされた中間部と、中間部に接続され、かつ中間部の軸方向から水平方向にオフセットされた第2の端部とを有する。好ましくは、コンタクトの中間部には係止部が形成され、当該係止部は、セパレータに形成された突起または突出部に係止される。
好ましくは第1の端部は、V字またはU字状の溝を有し、当該溝の対向する斜面のうち、一方の斜面が他方の斜面よりも拡大されている。また、一方の斜面は、第1の弾性変形部が湾曲する方向であり、かつ、一方の斜面が他方の斜面よりも軸方向に高いことが望ましい。
各コンタクトの中間部と第2の端部の間に第2の弾性変形部が形成されているものであっても良い。これによりコンプレッションマウントを行うようにしてもよい。
本発明に係るソケットは、上記特徴を備えたコンタクトアッセンブリを含むものである。ソケットのベースからコンタクトアッセンブリの第2の端部が突出し、第2の端部が基板に電気的に接続される。より好ましくは、第1組のコンタクトは電力供給用であり、第2組のコンタクトは信号測定用とすることで、ケルビン接続が可能となる。
本発明に係るコンタクトアッセンブリによれば、配列パターンの異なる第1組および第2組のコンタクトを対としてこれらを積層するようにしたので、半導体パッケージの狭ピッチ端子に対処することができる。また、第1および第2組のコンタクトを積層することで、第1の端部を半導体パッケージの端子にケルビン接続させることができる。さらに、コンタクトの第2の端部は、第1の端部よりもピッチが拡張されているため、第2の端部を接続する基板のスルーホールの形成も容易になる。
本発明に係るコンタクトアッセンブリは、BGAパッケージを加熱試験(バーンインテスト)するときに用いられるバーンイン・テストソケットにおいて好適に実施される。以下、図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施例に係るコンタクトアッセンブリの平面図である。同図のコンタクトアッセンブリ100は、2組のコンタクトが積層された状態を示している。第1組のコンタクト30は、第1の面内に配置されるコンタクト30−1、30−2、30−3、30−4、30−5を有している。コンタクト30−1〜30−5は、すべて同一の方向を向き、かつほぼ水平に配列されている。第1組のコンタクトの下方には、絶縁シート32を介して第2組のコンタクトが配置されている。第2組のコンタクト40は、第2の面内に配置されたコンタクト40−1、40−2、40−3、40−4、40−5を有している。コンタクト40−1〜40−5は、コンタクト30−1〜30−5と反対の方向、言い換えれば、コンタクト30−1〜30−5を180度反転させた方向にほぼ水平に配列されている。第1組および第2組のコンタクト30、40は、例えばベリリウム銅などの導電性金属からなり、金属板をスタンピングしたり、あるいはリードフレーム状に金属をエッチングして形成することができる。
図2は、コンタクトアッセンブリに用いられるコンタクトの平面図である。図2に示すコンタクトは、図1に示す第1組のコンタクト30−1である。コンタクト30−1の典型的な構成は、BGAのはんだボールと接触する接点部12と、接点部12から延在し湾曲した形状を有する弾性変形部14と、弾性変形部14から延在する直線状の中間部16と、中間部16から斜め方向に傾斜する傾斜部18と、傾斜部18から延在する基板接続部20とを有している。
接点部12には、V字形またはU字形の溝22が形成され、溝22を形成する斜面において、弾性変形部14が弾性変形する側の斜面22aが対向する斜面22bよりも大きく、かつ、軸方向に高くなっている。斜面22aを斜面22bよりも大きな非対称構造とするのは、後述するように、接点部12をBGAパッケージのはんだボールと接触させるときに、はんだボールの脱落を防止するためである。また、溝22によりはんだボールの最下点との間に非接触空間を形成し、はんだボールの最下点の変形を防止している。
弾性変形部14は、円弧状に湾曲しており、接点部12が軸方向Y1に荷重を受けたとき、接点部12が円弧側に回転するように撓む。中間部16は、接点部12からオフセットされた位置にある。すなわち、中間部16の軸方向Y2は、接点部12の軸方向Y1から水平方向へ所定距離X1だけ変位している。中間部16の略中間には、幅広の固定部16aが形成されている。また、基板接続部20は、傾斜部18を介在させることで、その軸方向Y3が中間部16の軸方向Y2から水平方向へ所定距離X2だけ変位している。
図1に示す第1組のコンタクト30−1〜30−5において、接点部12の軸方向Y1から中間部16の軸方向Y2までの水平距離X1は等しいが、中間部16の軸方向Y2から基板接続部20の軸方向Y3の水平距離X2は、基板接続部20の面内のピッチP2が均一となるように可変されている。面内のピッチP2は、基板のスルーホールのピッチに対応し、例えば、1.00mmである。
第1組のコンタクトの接点部12の面内のピッチP1は、BGAパッケージのはんだボールのピッチに対応する。ピッチP1は、0.65mm/0.5mmピッチまたはそれ以下にすることができる。第2組のコンタクトの接点部12の面内のピッチP1は、第1組のコンタクトの接点部12のピッチP1と等しく、言い換えれば、第1組および第2組のコンタクトの接点部12は、積層方向において整合している。
第2組のコンタクト40は、第1組のコンタクトと同様に、基板接続部20の面内のピッチP2が均一となるように、中間部16の軸方向Y2から基板接続部20の軸方向Y3の水平距離X2が可変されている。また、第2組のコンタクト40は、第1組のコンタクト30とは配列方向を180度異にしているため、第2組のコンタクト40の基板接続部20は、第1組のコンタクト30の基板接続部20と基準線Cに関し対称となっている。すなわち、第1組のコンタクトの基板接続部20のすべては基準線Cよりも左側の領域に配列され、第2組のコンタクトの基板接続部20のすべては基準線Cよりも右側の領域に配列されている。
図3(a)は、第1組のコンタクトが収容された状態のセパレータの平面図、図3(b)は、第1組および第2組のコンタクトが収容された状態でのセパレータの概略断面図である。
セパレータ50は、例えばポリエーテルサルフォン(PES)などの熱可塑性樹脂をモールドすることによって成形されたプレート状の部材であって、その外周には壁52が形成されている。セパレータ50の上端部の壁52には、5つの開口54が形成されている。開口54には、第1組および第2組のコンタクトの接点部12が挿入され、そこで位置決めされるようになっている。また、接点部12がはんだボールに接触するとき、弾性変形部の撓みにより接点部12は開口54にガイドされ移動する。開口54の面内方向のピッチは、第1および第2のコンタクトの接点部12のピッチP1に等しい。
セパレータ50のほぼ中央には、複数の矩形状の突起56−1、56−2が形成され、これらが水平方向に10個整列されている。左側半分の突起56−1、56−2は、第1組のコンタクト30の中間部16を位置決め固定するものであり、右側半分は、第2組のコンタクト40(図示省略)の中間部16を位置決め固定するものである。突起56−1、56−2の間隔は、中間部16の固定部16aの軸方向の長さと略等しく、その間に固定部16aが嵌合されるようになっている。
セパレータの下端部の壁52には、基板接続部20を通過させるための10個の開口58が形成されている。開口58のピッチは、基板接続部20のピッチP2に等しい。
図3(a)に示すように、セパレータ50上に、第1組のコンタクト30(コンタクト30−1〜30−5)が位置決めして取り付けられる。このとき、第1組のコンタクトの接点部12が開口54から一定の距離だけ突出し、かつ、基板接続部20が左側半分の開口58から突出する。
次に、絶縁シート32(図中、破線で示す)を第1組のコンタクト30上に取り付ける。好ましくは、絶縁シート32の4隅には開口34が形成され、セパレータ50に形成された円形状の突起60を挿入することで絶縁シート32が位置決めされる。この状態から、第2組のコンタクト40がセパレータ50上に取り付けられる。第2組のコンタクト40の固定部16aが突起56−1、56−2に係合され、かつ接点部12が開口54から一定距離だけ突出し、基板接続部20が右側半分の開口58から突出する。
こうして1つのセパレータ50内に、絶縁シート32によって互いに電気的に絶縁された第1組および第2組のコンタクト30、40が取り付けられる。セパレータ50を複数積層することで、コンタクトアッセンブリが完成される。積層された複数のセパレータは、例えば、固定部材によって位置ずれしないように固定することができる。あるいは、セパレータ50の外周の壁52を、その上に積層されるセパレータ50に形成された穴に係合させるようにしてもよい。さらに、一番最後に積層されたセパレータは、第2組のコンタクト40が露出されることになるので、好ましくは絶縁シートまたは絶縁板によって覆うようにする。
セパレータ50を積層することで、2次元状に配列された接点部12を得ることができる。接点部12の面内方向のピッチはP1であるが、単一のセパレータ内の第1および第2の接点部12の積層方向のピッチは、絶縁シート32の厚さによって調整される。仮に、第1、第2組のコンタクトの各接点部12によりケルビン接続を行う場合には、はんだボールの外径内に2つの接点部12が収まるように絶縁シートの厚さを選択する。また、セパレータ50の厚さT(図3(b)を参照)とすることによって、接点部12の積層する方向のピッチが決定される。
図4は、本実施例に係るコンタクトアッセンブリの動作を説明する図である。同図では、代表的なコンタクトして、第1組のコンタクト30のうちの最も右側のコンタクト30−5と、第2組のコンタクト40のうちの最も左側のコンタクト40−5を示している。
コンタクトアッセンブリ100は、ソケットに形成された開口内に取り付けられる。このとき、コンタクトの接点部12がソケットのパッケージ載置面110より突出している。接点部12は、BGAパッケージ120のはんだだボール130のピッチに応じて配列されているものとする。
BGAパッケージ120をパッケージ載置面110に向けて鉛直方向に押下すると、はんだボール130が対応する接点部12と接触する。図4(b)は、図4(a)と直交する方向からの図であり、1つのはんだボール130に、第1組および第2組の2つの接点部12が接触する。
BGAパッケージの降下に伴い、第1組および第2組のコンタクトは、弾性変形部14の変形により接点部12を下方に変位させる。第1組のコンタクト30は、弾性変形部14の円弧側に向けて倒れるように沈み込み、第2組のコンタクト40も同様に弾性変形部14の円弧側に向けて倒れるように沈み込む。この際、接点部12の溝22は、倒れ込む側の斜面22aが大きくなっているため、はんだボール130が接点部12から脱落することが防止される。さらに、はんだボール130が斜面22aによってワイピングされ、接触安定性を向上させることができる。
図4(c)は、はんだボール130に第1組および第2組のコンタクトの接点部が接触するときの様子を正面から示した図である。第1組と第2組のコンタクトの接点部12が重なり、各接点部の溝22を投影するように合成したときの溝24(破線で示す)は、接点部の中心線に関し線対称となって、その中央に窪みを有することになるため、はんだボール130が溝24に誘い込まれてセンタリングされるという効果がある。
第1組のコンタクト30を電力供給用に用い、第2組のコンタクトを信号検知用に用いることで、はんだボール130とケルビン接続を行うことができる。この場合、第1組のコンタクト30の基板接続部20が中央よりすべて左側に配置され、第2組のコンタクト40の基板接続部20が中央よりすべて右側に配置されているので、ソケットの設計および基板の設計が容易になる。
次に本発明の第2の実施例に係るコンタクトアッセンブリについて図5を参照して説明する。第1の実施例では、接点部12のピッチP1よりも基板接続部20のピッチP2を大きくしたが、このピッチの拡張は、コンタクトを配列する面内の1方向だけであったが、第2の実施例では、基板接続部を積層する方向のピッチも拡張する。
図5(a)に示すように、コンタクトアッセンブリ200は、第1のセパレータ内に収容される第1組のコンタクト30−1〜30−5に対し、第2のセパレータ内に収容される第1組のコンタクト31−1〜31−5が半ピッチ(P2/2)だけ水平方向にずれている。同様に、第1のセパレータ内の第2組のコンタクト40−1〜40−5に積層される関係にある、第2のセパレータの第2組のコンタクト41−1〜41−5が半ピッチだけ水平方向にずれている。この結果、第1および第2組のコンタクト31−1〜31−5、41−1〜41−5の基板接続部20が、第1組および第2組のコンタクト30−1〜30−5、40−1〜40−5の基板接続部20の真中に位置し、千鳥状配列が形成されている。
図5(b)は、基板接続部20を接続する基板のスルーホールのパターンを示している。第1の水平方向の列のスルーホール210は、ピッチP2で配され、第2列のスルーホール220は、半ピッチだけずれたピッチP2で配される。これにより基板接続部20の積層する方向、すなわち、スルーホール210、220の垂直方向のピッチも拡張される。
次に、本発明の第3の実施例について説明する。第1および第2の実施例では、第1組のコンタクト30および第2組のコンタクト40の接点部12の面内方向のピッチP1よりも、基板接続部20の面内方向のピッチP2を拡張する例を示したが、第3の実施例では、そのピッチP1とピッチP2とを等しくするものである。例えば、BGAパッケージのはんだボールピッチが比較的大きい場合には、ピッチP2を必ずしも拡張する必要はなく、ピッチP1と等しいものであってもよい。
次に、本実施例に係るコンタクトアッセンブリを取り付けたソケットについて説明する。本実施例に係るコンタクトアッセンブリを取り付けたソケットは、特に限定されるものではない。例えば、特許文献1および特許文献2に開示されるソケットに適用することができる。
図6は、コンタクトアッセンブリを取り付けたソケットの模式的な断面を示している。ソケット300は、ベース部材310と、ベース部材310に対して往復動可能に取り付けられたカバー部材320とを有している。ベース部材310の中央には開口が形成され、その開口内に第1の実施例または第2の実施例に係るコンタクトアッセンブリが収容されるようになっている。
BGAパッケージ120を装着するとき、カバー部材320をベース部材310に向けて押し下げる。カバー部材320が降下すると、カバー部材320に取り付けられたリンク部材330も押し下げられ、ベース部材310に設けられた溝312に沿ってリンク部材330の他端が移動し、ラッチ部材340を押し下げる。
リンク部材330により押し下げられたラッチ部材340が回転し、その先端342が外側に退避する。カバー部材320を押し下げた状態で、BGAパッケージ120をソケット上方より落し込み、パッケージ載置面130に載置される。その後、カバー部材320を上方に移動させると、リンク部材330も上方に移動し、その他端はラッチ部材340を引き上げ、先端342がBGAパッケージに向けて回転し、先端342がBGAパッケージの上面に接触する。
さらにカバー部材320が上方に移動することで、ラッチ部材340がBGAパッケージを押し下げ、はんだボール130がコンタクトの接点部12と接触する。コンタクトは、弾性変形部14を撓ませ、一定の接圧で接点部12とはんだボール130とを電気的に接続させる。第1組と第2組のコンタクトがはんだボールに接続されているためケルビン接続による測定が可能となる。
BGAパッケージ120をソケットから取り外す場合には、装着するときと同様に、カバー部材320を押し下げ、ラッチ部材340を退避させ、バキューム装置などによりBGAパッケージを120を吸い上げる。
積層された複数のセパレータは、上記したように固定部材によって全体がバラバラにならないように固定したり、あるいは接着剤を用いてセパレータを固定しし、そのように固定されたセパレータをベース部材310に形成された開口内に収容している。
コンタクトアッセンブリの他の好ましい取り付け方法を説明する。図7は、ベース部材に形成された開口の平面図である。同図に示すように、ベース部材310のほぼ中央に形成された開口312内に、セパレータを位置決め固定するための複数のスリット314を形成する。スリット314は、その両側が三角形状の端部314aとなっている。すなわち、開口312の対向する側面に、三角形状の端部314aが平行に整列されている。
一方、セパレータ50の両側部50aも、スリットの端部314aに適合するように三角形状となっている。こうして1つずつセパレータ50がスリット314内に挿入され、スリット内に位置決めされる。この方式によれば、積層されるセパレータを固定部材等によって固定する必要がなく、部品点数を削減することができる。
図8は、コンタクトと基板の接続例を示している。図8(a)に示すように、コンタクトの基板接続部20は、基板400に形成されたスルーホール410内に挿入され、はんだ等によって接続される。
コンタクトの基板接続部20に、第2の弾性変形部21を追加することも可能である。例えば、図8(b)に示すように、円弧状の弾性変形部21を形成することにより、基板接続部20を基板400の電極パッド420に押圧させ、コンプレッションマウントにしてもよい。この場合、ソケットを基板に対して固定する治具等を用い、弾性変形部21を撓ませて電極パッド420に一定の接圧を与えるようにしてもよい。さらに、図8(c)に示すように、弾性変形部21が形成された基板接続部20を基板のスルーホール410内に挿入させる態様であってもよい。
本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明に係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
上記実施例は、BGAパッケージを例に用いたが、これ以外のLGA、CSPなどにおいても有効に利用される。さらにコンタクトの形状、材質、数量などは、本発明の技術的範囲を逸脱しない範囲において適宜変更することが可能である。
本発明に係るコンタクトアッセンブリは、半導体パッケージ、特に、狭ピッチの端子を有するパッケージ用のソケットに利用される。ソケットは、試験用であってもよいし実装用であってもよい。
本発明の第1の実施例に係るコンタクトアッセンブリの構成を示す平面図である。 コンタクトアッセンブリに用いられるコンタクトの構成を示す図である。 図3(a)は、セパレータへ第1組のコンタクトの取り付け状態を示す平面図、図3(b)は、セパレータへ第1組および第2組のコンタクトを取り付けた状態を示す断面図である。 コンタクトアッセンブリの動作を説明する図であり、図4(a)は第1および第2組の代表的なコンタクトによるはんだボールとの接触するときの動作を説明する図、図4(b)は、図4(a)と直交する方向から見たはんだボールとコンタクトの接点部との関係を示す図、図4(c)は、はんだボールと第1および第2組のコンタクトの接点部の拡大図である。 本発明の第2の実施例に係るコンタクトアッセンブリを示す図である。 本発明のコンタクトアッセンブリを用いたソケットの概略構成を示す図である。 ベース部材に形成されたスリットの平面図である。 コンタクトと基板との接続例を示す図である。 従来のソケットのコンタクトの形状を示す図である。
符号の説明
10:コンタクト 12:接点部
14:弾性変形部 16:中間部
16a:固定部 18:傾斜部
20:基板接続部 22:溝
22a、22b:斜面
30(30−1〜30−5、31−1〜31−5):第1組のコンタクト
32:絶縁シート
40(40−1〜40−5、41−1〜41−5):第2組のコンタクト
50:セパレータ 52:壁
54、58:開口 56、60:突起
100:コンタクトアッセンブリ 110:パッケージ載置面
120:BGAパッケージ 130:はんだボール
200:コンタクトアッセンブリ 314:スリット

Claims (17)

  1. 複数のコンタクトを積層したコンタクトアッセンブリであって、
    第1の面内に第1の配列で配された第1組のコンタクトと、第2の面内に第2の配列で配された第2組のコンタクトとを対として、これらを複数対積層し、
    第1組のコンタクトは、第2組のコンタクトに対して線対称となる基準線に関して第2組のコンタクトを180度反転した位置関係にあり、
    第1および第2組のコンタクトの第1の端部は、積層する方向に整合され、
    第1および第2組のコンタクトの第2の端部の面内方向のピッチは、第1および第2組のコンタクトの第1の端部の面内方向のピッチよりも大きいかまたは同一であり、
    第1組および第2組のコンタクトの各々は、第1の端部と第2の端部との間にコンタクトを固定するための固定部と、前記固定部と第1の端部との間に湾曲した形状を有する弾性変形部とを含み、
    前記固定部の軸方向は第1の端部の軸方向から水平方向に一定距離だけ変位し、
    前記第1のコンタクトの第2の端部のすべては、前記基準線より左側の領域側に配され、
    前記第2のコンタクトの第2の端部のすべては、前記基準線より右側の領域側に配されている、
    コンタクトアッセンブリ。
  2. 各コンタクトの第2の端部の軸方向は、前記固定部の軸方向からそれぞれ異なる水平距離で変位している、請求項1に記載のコンタクトアッセンブリ。
  3. 第1および第2組のコンタクトの第2の端部は、積層する方向に千鳥状に配列されている、請求項1または2に記載のコンタクトアッセンブリ。
  4. 第1組のコンタクトと第2組のコンタクトの間に絶縁物が介在されている、請求項1ないし3いずれか1つに記載のコンタクトアッセンブリ。
  5. 第1および第2組のコンタクトの第1の端部は、半導体パッケージの端子にケルビン接続される、請求項1ないし4いずれか1つに記載のコンタクトアッセンブリ。
  6. コンタクトアッセンブリはさらに、複数のセパレータを含み、各セパレータは、第1および第2組のコンタクトを位置決め収容し、各セパレータが積層されている、請求項1ないし5いずれか1つに記載のコンタクトアッセンブリ。
  7. 各コンタクトは、金属板をスタンピングして形成される、請求項1ないし6いずれか1つに記載のコンタクトアッセンブリ。
  8. 各コンタクトの前記固定部には係止部が形成され、当該係止部は、セパレータに形成された突起に係止される、請求項6に記載のコンタクトアッセンブリ。
  9. セパレータは、第1組および第2組のコンタクトの第1の端部を挿入しかつ位置決めする開口を含んでいる、請求項6に記載のコンタクトアッセンブリ。
  10. 第1の端部は、V字またはU字状の溝を有し、当該溝の対向する斜面のうち、一方の斜面が他方の斜面よりも拡大されている、請求項1ないし9いずれか1つに記載のコンタクトアッセンブリ。
  11. 一方の斜面は、前記弾性変形部が湾曲する方向に位置する、請求項7または10に記載のコンタクトアッセンブリ。
  12. 一方の斜面は、他方の斜面よりも軸方向に高い、請求項7ないし11いずれか1つに記載のコンタクトアッセンブリ。
  13. コンタクトの前記固定部と第2の端部の間に他の弾性変形部が形成されている、請求項7ないし12いずれか1つに記載のコンタクトアッセンブリ。
  14. 請求項1ないし13いずれか1つに記載のコンタクトアッセンブリを含むソケット。
  15. ソケットのベースからコンタクトアッセンブリの第2の端部が突出し、第2の端部が基板に電気的に接続される、請求項14に記載のソケット。
  16. 第1組のコンタクトは電力供給用であり、第2組のコンタクトは信号測定用である、請求項14または15に記載のソケット。
  17. ソケットのベースに形成された開口内に複数のスリットが形成され、複数のスリット内に各セパレータが位置決めして挿入される、請求項14ないし16いずれか1つに記載のソケット。
JP2005053963A 2005-02-28 2005-02-28 コンタクトアッセンブリおよびこれを用いた半導体パッケージ用ソケット Expired - Fee Related JP4173145B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005053963A JP4173145B2 (ja) 2005-02-28 2005-02-28 コンタクトアッセンブリおよびこれを用いた半導体パッケージ用ソケット
US11/326,302 US7217140B2 (en) 2005-02-28 2006-01-05 Contact assembly and socket for use with semiconductor packages
KR1020060019017A KR101178972B1 (ko) 2005-02-28 2006-02-27 반도체 패키지에 사용되는 콘택트 어셈블리 및 소켓
CN2006100093675A CN1841859B (zh) 2005-02-28 2006-02-28 与半导体封装结合使用的触头组件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005053963A JP4173145B2 (ja) 2005-02-28 2005-02-28 コンタクトアッセンブリおよびこれを用いた半導体パッケージ用ソケット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006236950A JP2006236950A (ja) 2006-09-07
JP4173145B2 true JP4173145B2 (ja) 2008-10-29

Family

ID=36931303

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005053963A Expired - Fee Related JP4173145B2 (ja) 2005-02-28 2005-02-28 コンタクトアッセンブリおよびこれを用いた半導体パッケージ用ソケット

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7217140B2 (ja)
JP (1) JP4173145B2 (ja)
KR (1) KR101178972B1 (ja)
CN (1) CN1841859B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220050422A (ko) * 2020-10-16 2022-04-25 이승용 인터페이스, 및 그 인테페이스를 포함하는 테스트 소켓과 테스트 소켓 모듈

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5708002B2 (ja) * 2011-02-14 2015-04-30 日本モレックス合同会社 ソケット
US8970238B2 (en) * 2011-06-17 2015-03-03 Electro Scientific Industries, Inc. Probe module with interleaved serpentine test contacts for electronic device testing
US8860446B2 (en) * 2012-05-24 2014-10-14 Texas Instruments Incorporated Multiple contact test probe
CN103389445B (zh) * 2013-07-26 2015-11-18 南车南京浦镇车辆有限公司 多芯连接器配线绝缘耐压测试方法
JP5669285B1 (ja) * 2014-02-21 2015-02-12 日本航空電子工業株式会社 コネクタ
JP2016151573A (ja) * 2015-02-19 2016-08-22 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法およびプローブカード
CN106207543B (zh) * 2015-04-30 2018-09-25 泰科电子(上海)有限公司 端子模组、连接器和端子模组的制造方法
JP6641772B2 (ja) * 2015-08-07 2020-02-05 オムロン株式会社 プローブピン、および、これを備えた検査治具
KR101826663B1 (ko) 2016-03-07 2018-03-23 주식회사 이노글로벌 반도체 디바이스 테스트용 양방향 도전성 소켓, 반도체 디바이스 테스트용 양방향 도전성 모듈 및 이의 제조방법
JP6737002B2 (ja) * 2016-06-17 2020-08-05 オムロン株式会社 プローブピン

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5495179A (en) * 1991-06-04 1996-02-27 Micron Technology, Inc. Carrier having interchangeable substrate used for testing of semiconductor dies
KR100664422B1 (ko) * 1999-05-28 2007-01-04 닛폰 하츠죠 가부시키가이샤 도전성 접촉자
JP2001326046A (ja) * 2000-05-17 2001-11-22 Enplas Corp コンタクトピン集合体、コンタクトピン組立体及び電気部品用ソケット
JP3942823B2 (ja) * 2000-12-28 2007-07-11 山一電機株式会社 検査装置
JP3566691B2 (ja) 2001-12-17 2004-09-15 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 半導体装置用ソケットおよび半導体装置のソケットへの取付け方法
JP3737078B2 (ja) 2002-10-29 2006-01-18 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 半導体装置用ソケットおよび半導体装置のソケットへの着脱方法
JP2005149958A (ja) 2003-11-17 2005-06-09 Yamaichi Electronics Co Ltd 半導体装置用ソケット

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220050422A (ko) * 2020-10-16 2022-04-25 이승용 인터페이스, 및 그 인테페이스를 포함하는 테스트 소켓과 테스트 소켓 모듈
KR102484421B1 (ko) * 2020-10-16 2023-01-03 이승용 인터페이스, 및 그 인테페이스를 포함하는 테스트 소켓과 테스트 소켓 모듈

Also Published As

Publication number Publication date
CN1841859A (zh) 2006-10-04
KR101178972B1 (ko) 2012-09-03
JP2006236950A (ja) 2006-09-07
CN1841859B (zh) 2011-04-13
KR20060095511A (ko) 2006-08-31
US7217140B2 (en) 2007-05-15
US20060192264A1 (en) 2006-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4173145B2 (ja) コンタクトアッセンブリおよびこれを用いた半導体パッケージ用ソケット
JP4868413B2 (ja) ソケット
US6443784B1 (en) Contact and contact assembly using the same
US7263771B2 (en) Method of manufacturing a contact sheet and socket including same
US7918679B2 (en) Test and burn-in socket for integrated circuits (ICs)
JP4956609B2 (ja) ファインピッチ電気接続アセンブリのための複合端子
US7210953B2 (en) Socket for electrical parts
US7448877B1 (en) High density flexible socket interconnect system
JP4598779B2 (ja) コンタクタ及びコンタクタを用いた試験方法
JP3323449B2 (ja) 半導体用ソケット
JP2007127488A (ja) プローブカード
US7445463B2 (en) Land grid array electrical connector
US7591650B2 (en) Electrical connector with improved housing
JP2003317845A (ja) コンタクトピン、コンタクトピンの成形方法、電気部品用ソケット及び電気部品用ソケットの製造方法
JP3252255B2 (ja) Icソケット
JP4427501B2 (ja) Icソケット
EP1611644B1 (en) An electronic assembly having angled spring portions
JP5276430B2 (ja) 電気部品用ソケット
JP4974710B2 (ja) ソケット
WO2006095724A1 (ja) 中継基板
JPH11317270A (ja) コンタクトピン及びこのコンタクトピンを用いた電気部品用ソケット
JP3194708B2 (ja) Ic用ソケット
TW202419878A (zh) 用於積體電路的測試裝置中的彈性觸頭
JP2023112254A (ja) ソケット
TW202340729A (zh) 測試座用觸針及包括其的測試座

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070921

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071002

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071116

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080115

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080220

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080402

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080509

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20080604

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080716

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080717

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080812

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080812

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4173145

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822

Year of fee payment: 3

S303 Written request for registration of pledge or change of pledge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822

Year of fee payment: 3

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S303 Written request for registration of pledge or change of pledge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822

Year of fee payment: 4

S303 Written request for registration of pledge or change of pledge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303

S803 Written request for registration of cancellation of provisional registration

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316803

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822

Year of fee payment: 4

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822

Year of fee payment: 4

S303 Written request for registration of pledge or change of pledge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303

S803 Written request for registration of cancellation of provisional registration

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316803

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822

Year of fee payment: 4

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130822

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S303 Written request for registration of pledge or change of pledge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303

S321 Written request for registration of change in pledge agreement

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316321

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S303 Written request for registration of pledge or change of pledge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303

S321 Written request for registration of change in pledge agreement

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316321

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S321 Written request for registration of change in pledge agreement

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316321

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S303 Written request for registration of pledge or change of pledge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303

S321 Written request for registration of change in pledge agreement

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316321

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S321 Written request for registration of change in pledge agreement

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316321

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S303 Written request for registration of pledge or change of pledge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303

S321 Written request for registration of change in pledge agreement

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316321

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees