JP2008039754A - 複数梁合成型接触子組立 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 銅箔が接着された樹脂フィルムを使用し、前記銅箔(ベリリゥームCu等)をエッチング加工して樹脂フィルム上に垂直プローブを含む導電体から成る導電パターンを形成し、この垂直プローブ付の樹脂フィルムを複数枚積層し半導体チップの電極パッドに前記垂直プローブの先端部を一括接触させて半導体チップの回路検査を行うための接触子組立において、直線又は曲線形状を有し一端が固定端で、他端は垂直プローブと接続するする導通梁(実施の形態1では信号線部、図1(d)の15(0))と該導通梁と概略平行で1または複数の変形梁(実施の形態1ではアース線部24、図1(d)の15(1)、15(2))とを有し、導通梁と変形梁は垂直プローブ近傍で機械的には強固に固定され電気的には其々の梁は導通または非導通である、片持ち梁の電気的特性と平行ばね構造の機械的特性を有する複数梁合成型接触子組立である。
【選択図】図4
Description
銅箔が接着された樹脂フィルムを使用し、前記銅箔(ベリリゥームCu等)をエッチング加工して樹脂フィルム上に垂直プローブを含む導電体から成る梁を形成し、この垂直プローブ付の樹脂フィルムを複数枚積層し半導体チップの電極パッドに前記垂直プローブの先端部を一括接触させて半導体チップの回路検査を行うための接触子組立において、直線又は曲線形状を有し一端が固定端で、他端は垂直プローブと接続するする導通梁と該導通梁と概略平行で1または複数の変形梁とを有し、導通梁と変形梁は垂直プローブ近傍で機械的には強固に固定され電気的には其々の梁は導通または非導通であることを特徴とする複数梁合成型接触子組立であり、樹脂フィルムに形成する垂直プローブの形状をカンチレバー構造に近い表面面積の小さい単純な構造とし、片持ちはりの特に静電容量を小さくする電気的特性を有し、静電容量に関係しない変形梁を参加させることにより、導電梁と変形梁間で平行ばね構造を形成し、並進動作によるオーバドライブを大きく出来る機械的特性が垂直プローブに得られる複数梁合成型接触子組立を提供することである。
以下に図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明に係る平行ばね構造の説明図で、図1(a)、(b)、(c)はそれぞれ垂直プローブの先端部の動きを示す動作説明図である。なお、垂直プローブの先端は半導体チップ等のパッド部に接触するまでは垂直状態を保っている。
図3は本発明に係る複数梁合成型接触子組立型接触子の実施の形態2を示す概略側面図である。図3に示すように、1枚の複数梁合成型接触子組立型接触子は銅箔が接着された樹脂フィルム21を使用し、銅箔をエッチング加工して樹脂フィルム21上に垂直プローブ22を含む導電パターン23を形成した構成を有する。そして、この複数梁合成型接触子組立型接触子を複数枚積層して複数梁合成型接触子組立を構成する。
図4は本発明に係る複数梁合成型接触子組立型接触子の実施の形態3を示す側面図である。なお、本実施の形態は、実施の形態2で説明したのと基本的には同じ構成であるので異なる部分について説明する。また、同じ部分は同じ符号を使用する。
次に、図5を使用し本発明の複数梁合成型接触子組立の組立構造について説明する。図5は図4で示した複数梁合成型接触子組立を複数枚積層した組立を示す斜視図である。図では同一形状の複数梁合成型接触子組立を例えば10枚(▲1▼〜▲10▼)、ピッチPの等間隔で配置している。そして、それぞれ同位置に開けられた穴43a、43b、43cに支持棒46a、46b、46cを圧入することによって、所望のピッチの位置で固定することができる。これにより10個の垂直プローブがx方向に一括固定され、同時にz方向の並進運動を可能にしている。また、支持棒を通したことによって垂直プローブのz方向の高さを一定にして固定することができる。
また、信号線の出力端子部が粗く分布することで、端子間で信号の授受を簡易化することができる。
次に本発明の実施の形態6について説明する。上記実施の形態では、接触子組立を同一方向に並列させた構成について説明してきたが、本実施の形態は接触子組立を直交して配列するようにしたものである(図示せず)。直交配列することにより、半導体ウエハ上に形成されたマルチチップの検査に対して一括して適用できる。また、矩形状千鳥配列の電極パッドにも対応することができる。
12 垂直プローブ
13 パッド部
14 支持部
15 平行ばね
15(0) 平行ばね
15(1) 平行ばね
15(2) 平行ばね
21 樹脂フィルム
22 垂直プローブ
23 導電部
24 アース線部
25 導通梁
26 アース線端子部
27 信号線端子部
28a、28b、28c アース
30 支持部
31 固定部
32 切り欠き
33 切り込み
41a、41b、41c ダミー部
42a、42b、42c、42d 絶縁樹脂
43a、43b、43c 穴
44 開口部
45 湾曲部
46a、46b、46c 支持棒
Claims (36)
- 銅箔が接着された樹脂フィルムを使用し、前記銅箔(ベリリゥームCu等)をエッチング加工して樹脂フィルム上に垂直プローブを含む導電体から成る導電パターンを形成し、この垂直プローブ付の樹脂フィルムを複数枚積層し半導体チップの電極パッドに前記垂直プローブの先端部を一括接触させて半導体チップの回路検査を行うための接触子組立において、直線又は曲線形状を有し一端が固定端で、他端は垂直プローブと接続するする導通梁(実施の形態1では信号線部、図1(d)の15(0))と該導通梁と概略平行で1または複数の変形梁(実施の形態1ではアース線部24、図1(d)の15(1)、15(2))とを有し、導通梁と変形梁は垂直プローブ近傍で機械的には強固に固定され電気的には其々の梁は導通または非導通である、片持ち梁の電気的特性と平行ばね構造の機械的特性を有することを特徴とする複数梁合成型接触子組立。
- 銅箔が接着された樹脂フィルムを使用し、前記銅箔をエッチング加工して樹脂フィルム上に垂直プローブを含む導電パターンを形成し、この垂直プローブ付の樹脂フィルムを複数枚積層し半導体チップの電極パッドに前記垂直プローブの先端部を一括接触させて半導体チップの回路検査を行うための接触子組立において、前記垂直プローブと接続する導通梁が平行ばね構造を有する平行ばねのリンク機構を形成し、該平行ばね機構構成に2つ又は2つ以上の変形梁が参加し合成されるとともに、ダミー部が平行ばね機構構成に参加していることを特徴とする複数梁合成型接触子組立。
- 前記導電パターンは、1つ又は複数のアース線と1つ又は複数の信号線で構成されていることを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記平行ばねのリンク構成の位置関係が保持された状態で、平行ばね構成リンクの位置がz方向に複数設けられていることを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記複数梁合成型接触子組立において、導電パターンのうち面積の大きいパターンが導通梁及び変形梁の固定端であることを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 隣接する信号線がグループに分けて配置されたことを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記銅箔をエッチングする際、導電パターン以外の部分も除去せずに残してダミー部を形成し、樹脂フィルムの補強部材としたことを特徴とする請求項2記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記導電パターンとダミー部との間の樹脂フィルム面に絶縁性接着剤を充填したことを特徴とする請求項2記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記樹脂フィルムには、銅箔で形成され導電パターンとは電気的に絶縁状態にあるダミー部が形成され、少なくとも導電パターンと導電パターンの間または導電パターンとダミー部の間には、樹脂印刷部(絶縁性接着剤)が形成されていることを特徴とする請求項2記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記垂直プローブに隣接してダミー部と樹脂印刷部が設けられ、垂直プローブの座屈を抑制することを特徴とする請求項2記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記ダミー部およびアース線部には樹脂フィルムとともに貫通穴が開けられていることを特徴とする請求項2記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記2つ又は2つ以上の導電パターンの参加による平行ばね構造を有する平行ばねのリンク機構からなる夫々の平行ばね型接触子は、一端側に前記垂直プローブを有し、他端側は支持部として水平方向に延びるカンチレバー構造であることを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記2つ又は2つ以上の導電パターンが参加する平行ばね構造が、曲げ変形されたリンク機構であることを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記平行ばね構成を有する2つの対向する導電パターン間の樹脂フィルムに開口部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記平行ばねの支持部近傍の樹脂フィルムに切り欠きを設け、平行ばねの並進運動を可能にすることを特徴とする請求項1記載の接触子組立。
- 前記垂直プローブとの間をリンク機構および導電パターンを介して接続するとともに回路基板の接続パッドと接触する端子部を備えたことを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記端子部は垂直プローブ付樹脂フィルムを積層した時にそれぞれの配置位置が等ピッチでずれる様に配線部が各樹脂フィルムに形成されていることを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記端子部近傍の導電パターンには湾曲部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記リンク機構および端子部はその近傍に切りこみ部を設け、カンチレバー構造としたことを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記複数梁合成型接触子組立は水平方向に対し角度θだけ傾けたリンク構造となっていて、この角度θを変えることにより垂直プローブと被検査ウエハ上にあるパッド間のスクライブ(コスリ)量を可変とすることを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記接触子組立は長さの異なる導電パターンまたは導電配線と該接触子組立の穴に挿入された支持棒とを有し、粗く分布する回路基板の電極と電気的接続を可能とする1列または2列に並んだ垂直プローブを有することを特徴とする請求項1に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記接触子組立は長さの異なる導電パターンまたは導電配線を有し、粗く分布する出力端子(垂直プローブ)を備えたことを特徴とする請求項1に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記接触子組立は長さの異なるアース部出力端子を有し、粗く分布するアース部出力端子を備えたことを特徴とする請求項1に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記垂直プローブの近傍に位置決めダミー部があり、該位置決めダミー部と樹脂フィルムを貫通する穴を設け、連結ダミー部の一端が垂直プローブと近接していることによって垂直プローブと連結ダミー部と位置決めダミー部が同一平面を成すことを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記連結ダミー部の面が垂直プローブの面と正確に同一面内で動作し、他の接触子組立に穴及び穴に挿入する支持棒を介して力の伝達が発生し難いことを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記接触子組立を直交する様に配置したことを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 電気的に絶縁状態にある1つ又は1つ以上の樹脂材料で平行ばねの固定部を固定することを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 電気的に絶縁された2つ以上の接触子(以下は複数の接触子と記す)を平行ばね構造に構成し、複数の接触子間と若干の隙間をもって接続する複数のダミー部を有し、若干の隙間部分は絶縁性樹脂剤が充填され、複数の接触子と複数のダミー部によって平行ばね構造を構成することを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記複数の接触子からなる積層された接触子組立と略同一の接触子組立とをx方向に所望の間隔で配列したことを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記複数の接触子からなる積層された接触子組立を厚さ方向に所望の間隔に積層して複数の配列パッドに対向することを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記銅箔が接着された樹脂フィルムを使用し、前記銅箔をエッチング加工して樹脂フィルム上に垂直プローブを含む導電パターンを形成し、この垂直プローブ付の樹脂フィルムを複数枚積層し半導体チップの電極パッドに前記垂直プローブの先端部を一括接触させて半導体チップの回路検査を行うための接触子組立において、前記垂直プローブを含む導電パターンが平行ばね構造を有する平行ばねのリンク機構を形成し、該平行ばね機構構成に2つ又は2つ以上の前記垂直プローブの導電パターンが参加し合成され、前記垂直プローブを含む導電パターンをx方向に複数配置したことを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記導電パターンに湾曲形状を構成してz方向の垂直移動距離(オーバドライブ量)を短縮することを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記樹脂フィルム上に複数の端子部をz方向の高さが一定となるように形成したことを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記半導体チップの隣接する電極パッドに同時に接触し導通する2つ又は2つ以上の接触子を有することを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記接触子組立を直交して配列し、マルチチップあるいは矩形状千鳥配列の電極パッドに対応することを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
- 前記接触子組立の組立完了状態で、右方向に配線される接触子組立と左方向に配線される接触子組立とを有することを特徴とする請求項1または6に記載の複数梁合成型接触子組立。
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