JP2000338133A - 接触子 - Google Patents

接触子

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JP2000338133A
JP2000338133A JP11151430A JP15143099A JP2000338133A JP 2000338133 A JP2000338133 A JP 2000338133A JP 11151430 A JP11151430 A JP 11151430A JP 15143099 A JP15143099 A JP 15143099A JP 2000338133 A JP2000338133 A JP 2000338133A
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Isao Kimoto
本 軍 生 木
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 集積回路等に構成される電子回路のように回
路端子間隔が小さくなった場合でも、適切な接触圧を確
保でき、プローブの制作誤差、回路端子の機械停止位置
のばらつきにも対応できる、広い調整範囲を有するプロ
ーブの方式と構造を提供すること。 【解決手段】 薄板に適当にスリットまたは空洞を設け
る事により、複数の弾性変形するばねを形成し、そのば
ねの変形による復元力が接触子と被試験回路の回路端子
に作用する接触圧として適切であるように工夫されたも
のである。従って本発明に従えば、集積回路等に構成さ
れる電子回路のように回路端子間隔が小さくなった場合
でも、適切な接触圧を確保でき、接触子の制作誤差、回
路端子の機械停止位置のばらつきにも対応できる、広い
調整範囲を有する接触子を可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路などの電
気的特性試験に利用される接触子に関する。
【0002】
【従来の技術】垂直方向に変形する弾性体の変形と、変
形によって発生する力を利用して接触子と回路端子間に
接触圧を得る方法があった。弾性体には、コイルばねが
利用されていた。しかし近年の目覚しい集積回路の発展
に伴い、回路網が微細化し、これを試験するための接触
子に要求されるピッチも非常に小さくなった。その結果
1個の接触子に割り当てられる弾性体の材料の容量に限
界があり、弾性変形量が大きく、適切な接触圧を有する
接触子を実現することは、簡単な構造では難しかった。
弾性変形量が小さくなると、ばねの変形過程における接
触子機能としての使用範囲が狭くなり、接触子の制作誤
差、プローブカードを内蔵する装置の接触動作時の機械
停止誤差等が発生すると、適切な接触圧が得られないと
いう欠点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の問
題点に鑑みてなされたもので、その目的は集積回路等に
構成される電子回路のように回路端子間隔が小さくなっ
た場合でも、適切な接触圧を確保でき、接触子の制作誤
差、回路端子の機械停止位置のばらつきにも対応でき
る、広い調整範囲を有する接触子の方式と構造を提供す
ることである。
【0004】
【課題を解決するための手段】固定部と先端部間にある
変形部の接続梁形状に関し、限定された応力の基での適
切なばね定数を得るために曲げによる最大応力の生ずる
中立面からの距離を小さくて即ち梁の厚さを薄くし可能
とした。適切な接触力は複数の梁を作用させることとし
た。複数の接続梁は薄板部材の材料除去によって閉ざさ
れたスリット又は空洞と同時に形成した。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、多数枚積層配備して電気試験を行う薄板状接触子に
おいて、被試験回路の回路端子に対応する接触子先端部
と、前記被試験回路の回路端子と前記薄板接触子を一定
の距離を維持するべく配設された外部支持手段により支
持される固定部と、該接触子先端と固定部を接続する薄
板の内部除去により形成された複数の接続粱と、薄板の
内部除去により形成された1又は複数の閉されたスリッ
ト又は空洞部とから成り適切な接触圧と大きい変形動作
ストロークが得られることを特徴とする接触子。
【0006】本発明の請求項2に記載の発明は、前記接
続梁が切り欠き支点を有する請求項1に記載の接触子。
【0007】以下、本発明の実施の形態について図面を
用いて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明を具体化した実施の形態
1の状接触子1の側面図である。図2は実施の形態1の
接触子1を組立てた正面図である。図3は実施の形態1
の接触子1を組立てた平面図である。図1において符号
1は接触子、2は接触部、3は固定部、4は接続梁、4
1は右切欠、42は左切欠、43は梁、44は空洞部、
45はスリットである。21は先端部、31は電気導通
部、6は回路端子である。
【0008】接触子1は接触部2と固定部3と3つの接
続梁4から成り立っている。接触部2は回路端子6と対
向してあり先端部21が鋭利な凸状をなしている。固定
部3は被試験回路の回路端子6と前記薄板状の接触子1
を一定の距離を維持するべく配設された外部支持手段に
より支持される。接続梁4は右切欠41、左切欠42、
梁43から成り立っている。空洞部44、スリット45
は接続梁4を3個所分離独立して一体薄板素材から形成
するために形成されたものである。本実施の形態1にお
いては接続梁4を3つ形成するために空洞部44を4個
所、スリット2個所を設けた。右切欠41及び左切欠4
2は梁43と比べると薄くモーメントが作用すると回転
変形の生じ易い形状である。回路端子6は回路試験時に
は矢印Eで示す方向に往復運動を行う時、即ち接触部2
の先端に回路端子6からの接触力が作用すると接触部2
が上方に移動するべく作用すると右切欠41、左切欠4
2に回転の変形が生ずる。
【0009】本発明の実施の形態1において複数の接続
梁4を空洞部44、スリット45を設ることにより形成
したのは限定された応力の基での適切なばね定数を得る
ために曲げによる最大応力の生ずる中立面からの距離を
小さくて即ち梁の厚さを薄くし可能としている。例えば
1つの接続梁で適切なばね定数を確保するにはより長い
接続梁になる。梁が長くなると装置の大型化、絶縁被覆
の厚さ及び摩擦力管理の煩雑さなどの問題がある。
【0010】接触子1の接触子として電気的機能達成の
ために内部は導電性材料からなり接触部2の先端部21
及び電気導通部31の他は非絶縁材料により被覆されて
被覆厚によってそれぞれの接触子は他の接触子と電気的
に独立して絶縁状態が維持されている。
【0011】図2は実施の形態1の接触子を積層組立て
した正面図、図3は平面図である。図2、図3において
5はベース、6は回路端子、7は支持枠、8は回路基板
である。接触子1の固定部3はベース8上に配置され支
持枠7によって両側面及び上面から規制されベース5に
固定されている。支持枠7とベース5はネジ(図示せ
ず)で連結されている。接触子1の電気導通部31と配
線81は接続されていて先端部21と回路端子6が接触
すると配線81と先端部21の電気的導通が成立する。
配線81と試験装置(図示せず)が接続されているので
回路試験が可能となる。
【0012】以下回路試験動作について説明する。回路
端子6が上方に移動し先端部21に接触下後も変形部4
の変形によって先端部21と回路端子6に接触圧が作用
しながら上昇し図2の破線で示す状態で停止し被試験回
路の検査が実行される。回路電気試験動作終了ご回路端
子6は下方に移動し実践で示す位置で停止する。
【0013】以上説明したように、複数の接続梁4は内
接触子1の内部に空洞及びスリット等が設けられること
によって分離独立となり、曲げによる最大応力の生ずる
中立面からの距離を小さくて即ち梁の厚さを薄くし可能
としているため接続梁4の長さを短く保ちながら、適切
なばね定数及び接触圧を得る事が可能になっている。
【0014】(実施の形態2)図4は本発明を具体化し
た実施の形態2の状接触子11の側面図である。図4に
おいて符号11は接触子、12は接触部、13は固定
部、14は接続梁、145はスリットである。21は先
端部、31は電気導通部、6は回路端子である。
【0015】接触子11は接触部12と固定部13と4
つの接続梁4から成り立っている。接触部12は回路端
子6と対向してあり先端部121が鋭利な凸状をなして
いる。固定部13は被試験回路の回路端子6と前記薄板
状の接触子1を一定の距離を維持するべく配設された外
部支持手段により支持される。接続梁14は殆ど均一な
断面を有する。スリット145は接続梁14を4個所分
離独立して一体薄板素材から形成するために形成された
ものである。本実施の形態2においては接続梁14を4
つ形成するために、スリット3個所を設けた。本実施の
形態2においては接続梁14を4つを形成したが、本発
明の趣旨は接続梁の個数を4に限定するものではなく必
要に応じてその数を決定できる。
【0016】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明は薄板に適当
にスリットまたは空洞を設ける事により、複数の弾性変
形するばねを形成し、そのばねの変形による復元力が接
触子と被試験回路の回路端子に作用する接触圧として適
切であるように工夫されたものである。従って本発明に
従えば、集積回路等に構成される電子回路のように回路
端子間隔が小さくなった場合でも、適切な接触圧を確保
でき、接触子の制作誤差、回路端子の機械停止位置のば
らつきにも対応できる、広い調整範囲を有する接触子を
可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1に係る接触子の側面図
【図2】 実施の形態1の接触子を組立てた正面図
【図3】 実施の形態1の接触子を組立てた平面図
【図4】 本発明の実施の形態2に係る接触子の側面図
【符号の説明】
1 接触子 2 接触部 3 固定部 4 接続梁 5 ベース 6 回路端子 7 支持枠 8 回路基板 11 接触子 12 接触部 13 固定部 14 接続梁 21 先端部 31 電気導通部 41 右切欠 42 左切欠 43 梁 44 空洞部 81 配線 121 先端部 145 スリット

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多数枚積層配備して電気試験を行う薄板
    状接触子において、被試験回路の回路端子に対応する接
    触子の先端部と、前記被試験回路の回路端子と前記薄板
    接触子を一定の距離関係を維持するべく配設された外部
    支持手段により支持される固定部と、該接触子先端と固
    定部を接続する薄板の内部除去により形成された複数の
    接続粱と、薄板の内部除去により形成された1又は複数
    の閉されたスリット又は空洞部とから成り適切な接触圧
    と大きい変形動作ストロークが得られることを特徴とす
    る接触子。
  2. 【請求項2】 前記接続梁が切り欠き支点を有する請求
    項1に記載の接触子。
JP11151430A 1999-05-31 1999-05-31 接触子 Pending JP2000338133A (ja)

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