JP2009036744A - 複数梁合成型接触子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 垂直方向に延びる垂直プローブと、垂直方向と交差する方向に延び直線又は曲線形状を有し、一端が固定端と接続し他端は垂直プローブと接続する複数の水平梁から構成されるリンク機構を動作原理とする平行ばね型プローブにおいて、複数の水平梁のうち、少なくとも1対の相対する水平梁間距離が垂直方向と交差する方向に沿って変化することを特徴とする複数梁合成型接触子である。
【選択図】図2
Description
従来のカンチレバー構造型プローブにおける弊害を無くすために、図7(b)に示すようにカンチレバー101の構造を平行ばね105によるリンク構造とし、平行ばね105の一端に垂直プローブ106を設けた。このリンク構造によれば、垂直プローブ106に図7(a)と同じ垂直方向の接触荷重が加わったとしても、リンク構造であるため垂直プローブ106の先端部の移動量d1はd1<d0となり、ごく少量に押さえることができる。
が水平方向に距離d1を移動する。
図10において、222はプローブ先端のパッド表面221との接触部近傍における部分形状、223は回転変形部の中心線を示す。図10(a)は、パッド221との接触開始時を示した図であり、プローブ先端222がパッド221と222aの位置で接している。オーバードライブが進行し、図10(b)の状態までパッド221がプローブ222を押し上げると、回転変形部の先端部に回転中心224を中心として回転動作が加わり、プローブ先端とパッドとの接触点が222aから222bへ移動する。さらにオーバードライブが進行し、図10(c)の状態までパッド221がプローブ222を押し上げると、同様に回転動作も進行し、パッドとの接触点が222bから222cへ移動する。このとき回転中心は、オーバードライブの進行とともに224a→224b→224cへと変化して行く。さらに本図では図示していない平行ばね部先端の変位がこれに加わることになる。
なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
以下に図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の実施例に係るプローブの基本的な構造説明図である。図1において、1は垂直プローブ、2は固定端、3及び4は水平梁、5はプローブ先端部、6は非検査回路パッドであり、垂直プローブ1、固定端2、水平梁3及び4によりリンク機構を原理とする平行ばねを形成している。従来の実施例である図7(b)と異なる点は水平梁3と水平梁4との距離が水平方向に沿って異なることである。図1では固定端近傍の水平梁間距離w1に対し、垂直プローブ近傍の水平梁間距離w2が連続して小さくなっている例を示したものである。
図4は本発明の第2の実施例に係るプローブ構造の説明図であり、図3(b)のモデルに対し、プローブ先端部25に直列に回転変形部27を設けた例である。図4において26は回転変形部27の回転中心、28はパッドである。
図5に本発明の第3の実施例に係るプローブ構造を示す。本実施例は、図2におけるプローブ形状の形成を樹脂フィルム上に銅箔をエッチングすることにより実施した例である。図5において樹脂フィルム(例えばポリイミド樹脂)31上に銅箔(例えばベリリウム銅)を接着し、銅箔をエッチング加工することにより垂直プローブ32、固定部33、水平梁34a〜34dを形成する。固定部33は外部支持手段及び検査装置回路(図示せず)に接続される。さらに水平梁34a〜34cと垂直プローブ32との間、及び固定部33との間に絶縁性樹脂を印刷することにより絶縁部37a〜37c及び38a〜38cを形成する。
図6に本発明の第5の実施例に係るプローブ構造を示す。本実施例は、第3の実施例と同様にプローブ形状の形成を樹脂フィルム上に銅箔をエッチングすることにより実施した例である。図6において樹脂フィルム(例えばポリイミド樹脂)41上に銅箔(例えばベリリウム銅)を接着し、銅箔をエッチング加工することにより垂直プローブ42、固定部43、水平梁45a〜45dを形成する。固定部43は外部支持手段(図示せず)により支持される。また、垂直プローブ42の一部を分離し、その分離した部分に絶縁性樹脂を印刷することにより絶縁部48aを形成する。さらに固定部43の一部を分離し、その分離した部分に絶縁性樹脂を印刷することにより絶縁部48bを形成する。また、固定部43の一部より接続して導体部44をエッチングにより形成し、検査装置回路(図示せず)に接続される。
パッド6がプローブ先端部47に接触を開始し検査信号が流れると、垂直プローブ42は絶縁部48aによって、固定部43は絶縁部48bによって電気的に絶縁されているため、水平梁45a、45bによって構成される平行ばね部は非信号線導通部となる。したがって、検査信号は水平梁45c、45dによって構成される平行ばね部を含む図の斜線部で示した信号導通部49のみに流れることになる。これにより、絶縁された水平梁45a〜45b間には電荷が蓄積されることがなく静電容量の小さなプローブを実現することができる。
2 固定部
3、4 水平梁
5 プローブ先端部
6 パッド
7 プローブ
8 垂直プローブ
9 固定部
10a〜10d 水平梁
11a〜11c スリット
12 プローブ先端部
20a、20b プローブ
21a、21b 垂直プローブ
22 固定部
23a−1〜23a−10、23b−1〜23b−10 水平梁
24a−1〜24a−9、24b−1〜24b−9 スリット
25 プローブ先端部
26 回転中心部
27 先端回転部
28 パッド
30 フィルム積層型プローブ
31 樹脂フィルム
32 垂直プローブ
33 固定部
34a〜34d 水平梁
35a〜35c スリット
36 プローブ先端部
37a〜37c 絶縁部
38a〜38c 絶縁部
39 信号導通部
40 フィルム積層型プローブ
41 樹脂フィルム
42 垂直プローブ
43 固定部
44 導通部
45a〜45d 水平梁
46a〜46c スリット
47 プローブ先端部
48a、48b 絶縁部
49 信号導通部
101 カンチレバー
102 垂直プローブ
103 パッド
104 固定部
105 平行梁
106 垂直梁
111 プローブ
112 垂直プローブ
113 固定部
114a〜114d 水平梁
115a〜115c スリット
116 プローブ先端部
200 プローブ
201a〜201b 水平梁
202 垂直プローブ
203 固定部
204 回転中心
205 先端回転部
206 パッド
221 パッド表面
222 プローブ先端の接触部近傍における部分形状
222a〜222c プローブとパッドとの接触点
223 回転変形部の中心線
224 回転中心
224a〜224c 回転中心の移動
Claims (6)
- 垂直方向に延びる垂直プローブと、垂直方向と交差する方向に延び直線又は曲線形状を有し一端が固定端と接続し他端は該垂直プローブと接続する複数の水平梁とから構成される、リンク機構から成る接触子において、
複数の水平梁の少なくとも1対の相対する水平梁間距離が、前記垂直方向と交差する方向に沿って変化することを特徴とする複数梁合成型接触子。 - 該水平梁間距離が、固定端近傍で最大となり垂直プローブ近傍で最も小となるよう、垂直方向と交差する方向に沿って連続に又は不連続に変化することを特徴とする請求項1記載の複数梁合成型接触子。
- 該垂直プローブの先端に直列に回転変形部を有し、該回転変形部は1又は複数の回転中心によりオーバードライブ時に回転し、該回転変形部先端がパッド表面と1点又は限定された範囲内で接触することによりパッド表面と該回転変形部先端に相対的ずれを生じせしめ、スクラブ動作が実施されるべく曲面を有することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の複数梁合成型接触子。
- 垂直方向に延びる垂直プローブと、垂直方向と交差する方向に延び直線又は曲線形状を有し一端が固定端と接続し他端は該垂直プローブと接続する複数の水平梁とから構成される、リンク機構から成る接触子において、
複数の水平梁の一部が、被検査半導体に接触する垂直プローブと導電可能に接続されて信号線導通部となり、他の水平梁は被検査半導体に接触する垂直プローブと電気的に絶縁され信号線非導通部となることを特徴とする複数梁合成型接触子。 - 垂直方向に延びる垂直プローブと、垂直方向と交差する方向に延び直線又は曲線形状を有し一端が固定端と接続し他端は該垂直プローブと接続する複数の水平梁から構成される、リンク機構を動作原理とするプローブにおいて、
該垂直プローブの一部が電気的に絶縁され、被検査半導体と接触する側の垂直プローブは少なくとも1つ又は2つ以上の水平梁と電気的に接続されて信号線導通部となるリンク機構を有し、被検査半導体と接触する側の垂直プローブと電気的に絶縁される側の垂直プローブは他の複数の水平梁の接続部を含む非信号線導通部となるリンク機構を有することを特徴とする複数梁合成型接触子。 - 絶縁部が強固な剛性を有する材質から成り、かつ、該導通部と強固に接続することを特徴とする請求項4又は請求項5記載の複数梁合成型接触子。
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