JP2021502549A - 高周波デバイスを試験するための試験ヘッド用のコンタクトプローブ - Google Patents
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Abstract
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Claims (15)
- 電子デバイスを試験するための装置の試験ヘッド用のコンタクトプローブ(10)であって、
前記コンタクトプローブ(10)は、第1の端部(10a)と第2の端部(10b)との間の長手方向軸(H−H)に沿って延在する本体(10’)を備え、
前記第2の端部(10b)は、被試験デバイスのパッド(11)に接触するように構成され、
前記コンタクトプローブ(10)は、前記第1の端部(10a)から前記長手方向軸(H−H)に沿って延在し、および非導電性材料でできている第1のセクション(S1)と、前記第1のセクション(S1)まで前記第2の端部(10b)から前記長手方向軸(H−H)に沿って延在する第2のセクション(S2)と、を備え、
前記第2のセクション(S2)は、導電性を有しており、1000μm未満の距離にわたって延在する、コンタクトプローブ(10)。 - 前記長手方向軸(H−H)に沿って測定される3mm〜10mmの全体長さを有する、請求項1に記載のコンタクトプローブ(10)。
- 前記第2のセクション(S2)は全部が導電性材料でできており、非導電性の前記第1のセクション(S1)に接続されており、または、
前記第2のセクション(S2)は、前記第1のセクション(S1)と同じ非導電性材料でできており、導電性被覆材料によって被覆されている、請求項1または2に記載のコンタクトプローブ(10)。 - 前記第1のセクション(S1)は半導体材料でできており、前記第2のセクション(S2)は前記第1のセクション(S1)と同じ半導体材料でできており、前記第2のセクション(S2)における前記半導体材料は、前記第2のセクション(S2)が導電性を有するようにドープされている、請求項1または2に記載のコンタクトプローブ(10)。
- 電子デバイスを試験するための装置用の試験ヘッド(20)であって、
複数のコンタクトプローブ(10)のそれぞれを収容するための複数のガイド穴(22)を備えた少なくとも1つのガイド(21)を備え、
前記コンタクトプローブ(10)は請求項1〜4のいずれか1項に記載のコンタクトプローブ(10)であり、
前記少なくとも1つのガイド(21)は、前記コンタクトプローブ(10)の前記第2のセクション(S2)によって電気的に接触させられるように構成された電気的接続手段を備える、試験ヘッド(20)。 - 前記少なくとも1つのガイド(21)は、前記コンタクトプローブ(10)の前記第2のセクション(S2)において配置された下方ガイドである、請求項5に記載の試験ヘッド(20)。
- 前記電気的接続手段は、前記ガイド穴(22)から延在する導電トラック(23)を備える、請求項5または6に記載の試験ヘッド(20)。
- 前記導電トラック(23)は、前記少なくとも1つのガイド(21)の面(Fa、Fb)上に配置され、および/または前記少なくとも1つのガイド(21)に埋め込まれる、請求項7に記載の試験ヘッド(20)。
- 前記導電トラック(23)は前記少なくとも1つのガイド(21)上に形成されたそれぞれのパッド(25)に接続される、請求項7または8に記載の試験ヘッド(20)。
- 少なくとも2つの前記コンタクトプローブ(10)は、前記導電トラック(23)の少なくとも1つにより、および/または、回路部品により、電気的に接続される、請求項7〜9のいずれか1項に記載の試験ヘッド(20)。
- 前記電気的接続手段は、前記複数のガイド穴(22)の少なくとも1つの群(22’)の複数の穴を含み、互いに電気的に接続する少なくとも1つの導電部(24)を備え、前記群(22’)は、前記コンタクトプローブ(10)の対応する群を収容する、請求項5〜10のいずれか1項に記載の試験ヘッド(20)。
- 前記少なくとも1つの導電部(24)が、前記少なくとも1つのガイド(21)の面(Fa、Fb)上に配置され、または前記少なくとも1つのガイド(21)に埋め込まれる、請求項11に記載の試験ヘッド(20)。
- 前記導電部(24)は、複数の導電層(24a、24n)の形態であり、前記複数の導電層(24a、24n)のそれぞれは、前記複数のガイド穴(22)のそれぞれの群(22a〜22n)の複数の穴を含み、および互いに電気的に接続し、前記複数の導電層(24a、24n)のそれぞれは、前記コンタクトプローブ(10)の対応する群の前記第2のセクション(S2)に接触するように構成され、それぞれの対応する群のコンタクトプローブは同じタイプの信号を搬送するように構成される、請求項11に記載の試験ヘッド(20)。
- 前記ガイド穴(22)の内面の少なくとも一部分が前記電気的接続手段に接続された導電部(22w)によって覆われ、前記コンタクトプローブ(10)の前記第2のセクション(S2)は、前記ガイド穴(22)の前記導電部(22w)に電気的に接触するように構成された、請求項5〜13のいずれか1項に記載の試験ヘッド(20)。
- 前記試験ヘッド(20)に関連付けられた支持板(13)へ直接、被試験デバイスからの信号を搬送するように構成されたさらなるコンタクトプローブ(10bis)を備え、前記さらなるコンタクトプローブ(10bis)は、前記被試験デバイスと前記支持板(13)との間の電源信号および/またはグラウンド信号および/または低周波信号を搬送するように構成された、請求項5〜14のいずれか1項に記載の試験ヘッド(20)。
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