KR20200088378A - 고주파 소자들의 테스트를 위한 테스트 헤드용 콘택 프로브 - Google Patents

Abstract

전자소자 테스트 장치의 테스트 헤드용 콘택 프로브(10)는 제1 말단부(10a)와 제2 말단부(10b) 사이에서 종축(H-H)을 따라 연장된 바디(body)(10')를 포함하되, 상기 제2 말단부(10b)는 피검소자의 패드들(11)에 접촉할 수 있도록 구성되어 있다. 적절하게는, 상기 콘택 프로브(10)는, 상기 제1 말단부(10a)로부터 상기 종축(H-H)을 따라 연장되며 전기적 비도전성 물질로 형성된 제1 섹션(S1) 및 상기 제2 말단부(10b)로부터 상기 제1 섹션(S1)까지 상기 종축(H-H)을 따라 연장된 제2 섹션(S2)을 포함하고, 상기 제2 섹션(S2)은 전기적으로 도전성이며 1000㎛ 미만의 거리에 걸쳐 연장되어 있다.

Description

고주파 소자들의 테스트를 위한 테스트 헤드용 콘택 프로브

본 발명은 반도체 웨이퍼 상에 집적된 전자소자들을 테스트하기 위한 장치의 테스트 헤드용 콘택 프로브에 관한 것으로서, 아래에서는 이 응용 분야를 참조하여 본 발명을 설명하지만, 이것은 오직 설명의 단순화를 위한 목적에 불과하다.

주지된 바와 같이, 프로브 헤드 또는 테스트 헤드는, 본질적으로, 마이크로구조의 콘택 패드들, 특히 웨이퍼 상에 집적된 전자소자의 다수의 콘택 패드들을, 그것에 대한 기능성 테스트, 특히 전기적 기능 테스트 또는 일반적 테스트를 수행하는 테스트 장치의 대응 채널들에 전기적으로 연결할 수 있도록 구성된 디바이스이다.

집적 소자들에 대해 수행되는 상기 테스트는 결함 회로를 생산 단계에서와 같이 가능한 한 빨리 검출하여 분리해 내는데 특히 유용하다. 따라서, 프로브 헤드는 보통은 웨이퍼 상에 집적된 소자들을 커팅하여 칩 격납 패키지(chip containment package) 내로 조립하기 전에 전기적으로 테스트하는데 사용된다.

일반적으로, 프로브 헤드는 우수한 전기적 및 기계적 물성을 갖는 특수 합금으로 형성된 많은 수의 콘택 요소들 또는 콘택 프로브들을 포함하는데, 이들은 피검소자(device under test)의 대응하는 다수의 콘택 패드들을 위한 적어도 하나의 콘택 부분을 구비한다.

소위 "수직형 프로브 헤드"는, 실질적으로 판상형이며 서로 평행한 적어도 한 쌍의 플레이트들(plates) 또는 가이드들(guides)에 의해 보유된 다수의 콘택 프로브들을 본질적으로 포함한다. 상기 가이드들은 적절한 홀들(holes)을 구비하고 있으며, 일정 간격을 두고 서로 떨어져 배열됨으로써 상기 콘택 프로브들의 이동 및 있을 수 있는 변형을 위한 자유 공간 또는 에어 갭이 존재하도록 한다. 특히, 상기 한 쌍의 가이드들은 상부 가이드 및 하부 가이드를 포함하며, 이들 모두는 그 각각의 가이드 홀들을 구비하고, 상기 가이드 홀들 내로 상기 콘택 프로브들이 축방향으로 슬라이딩되며, 상기 콘택 프로브들은 대개 우수한 전기적 및 기계적 물성을 갖는 특수 합금 와이어로 만들어진다.

상기 프로브 헤드를 상기 피검소자 자체에 대해 가압함으로써 상기 콘택 프로브들과 상기 소자의 콘택 패드들 사이에 우수한 접속이 보장되는데, 이때, 상기 상부 및 하부 가이드들에 형성된 상기 가이드 홀들 내에서 이동 가능한 상기 콘택 프로브들이 상기 가압 접촉 동안에 상기 2개의 가이드들 사이의 에어 갭 내에서 밴딩(bending)되며 상기 가이드 홀들 내에서 슬라이딩(sliding)된다.

또한, 도 1에 개략적으로 예시된 바와 같이 상기 에어 갭에서 상기 콘택 프로브들의 밴딩은 상기 프로브들 자체 또는 이들의 가이드들의 적절한 형태를 통해 거들어질 수 있다. 상기 도 1에는, 오직 예시의 단순화를 위한 목적으로, 프로브 헤드에 대개 포함되는 다수의 콘택 프로브들 중 단 하나의 콘택 프로브만이 도시되어 있고, 예시되어 있는 프로브 헤드는 소위 "시프트형-플레이트 타입(shifted-plate type)"이다.

특히, 도 1은 적어도 하나의 상부 플레이트 또는 가이드(2)와 하부 플레이트 또는 가이드(3)를 포함하는 프로브 헤드(1)를 개략적으로 나타내는데, 상기 플레이트들 또는 가이드들은 상부 가이드 홀들(2a)과 하부 가이드 홀들(3a)을 각각 갖고, 각 가이드 홀 내로 적어도 하나의 콘택 프로브(4)가 슬라이딩된다.

상기 콘택 프로브(4)는 적어도 하나의 말단부 또는 콘택 팁(tip)(4a)을 갖는데, 여기서 그리고 아래에서 사용되는 용어인 말단 또는 팁은 말단 부분을 지칭하는데 이것은 반드시 뾰족한 것은 아니다. 특히, 상기 콘택 팁(4a)은 피검소자(5)의 콘택 패드(5a) 상에 접함으로써 상기 소자와 테스트 장치(미표시) 사이의 기계적 및 전기적 접촉을 실현한다.

어떤 경우들에 있어서는 상기 콘택 프로브들이 상기 상부 가이드에서 상기 헤드 자체에 단단히 고정되어 있는데, 이러한 프로브 헤드는 "차단형 프로브 헤드(blocked probe heads)"로 지칭된다. 그렇지 않으면, 프로브 헤드는 비차단형 프로브들(unblocked probes), 즉, 단단히 고정되어 있지 않고 마이크로-콘택 보드를 통해 보드에 접속된 상태로 유지되는 프로브들과 함께 사용되는데, 이러한 프로브 헤드는 "비차단형 프로브 헤드(unblocked probe heads)"로 지칭된다. 상기 마이크로-콘택 보드는 보통 "스페이스 트랜스포머(space transformer)"로 불리는데, 이것이 상기 프로브들과 접촉할 뿐만 아니라, 그 위에 형성된 콘택 패드들이 피검소자 상의 콘택 패드들에 대하여 공간적으로 재분배될 수 있도록 하고, 특히 패드들 자체의 중심들 간의 거리 제약을 완화시킬 수 있기 때문이다.

이 경우, 도 1에 예시된 바와 같이, 상기 콘택 프로브(4)는 상기 스페이스 트랜스포머(6)의 다수의 콘택 패드들(6a)을 향하는 또 다른 콘택 팁(4b)을 갖는데, 상기 콘택 팁은 실무적으로는 콘택 헤드로 지칭된다. 피검소자와의 접촉과 유사하게, 상기 콘택 프로브들(4)의 상기 콘택 헤드들(4b)을 상기 스페이스 트랜스포머(6)의 상기 콘택 패드들(6a) 상으로 가압함으로써 상기 프로브들과 스페이스 트랜스포머 사이의 우수한 전기적 접촉이 보장된다.

상부 다이(2)와 하부 다이(3)가 에어 갭(7)에 의해 적절히 간격을 두고 배치됨으로써, 상기 콘택 프로브들(4)의 변형이 가능하게 되고, 상기 콘택 프로브들(4)의 팁과 콘택 헤드가 피검소자와 스페이스 트랜스포머(6)의 콘택 패드들과 각각 접촉하는 것이 보장될 수 있다. 프로브 헤드의 올바른 작동은 기본적으로 두 가지 파라미터들과 연관된 것으로 알려져 있다: 상기 콘택 프로브들의 수직 이동(vertical movement) 또는 초과 이동(overtravel) 및 상기 콘택 프로브들의 콘택 팁들의 수평 이동(horizontal movement) 또는 스크럽(scrub). 프로브들과 피검소자 사이의 우수한 전기적 접속이 항상 보장되어야 하기 때문에, 상기 특징들이 프로브 헤드의 제조 단계에서 평가되고 교정되어야 한다.

피검소자의 콘택 패드들 상으로 상기 콘택 팁들을 가압 접촉시킬 때 프로브 또는 패드 자체의 손상이 유발될 정도로 지나치게 높은 압력으로 가압되지 않도록 하는 것도 마찬가지로 중요하다.

이러한 문제는 소위 짧은 프로브들(short probes), 즉, 바디(body) 높이의 제한을 갖는 프로브들, 특히 5000㎛ 미만의 치수를 갖는 프로브들에서 강하게 느껴진다. 이러한 타입의 프로브들은 예를 들어 고주파 응용에 사용되며, 프로브들의 축소된 길이는 연관된 자기-인덕턴스(self-inductance) 현상을 제한한다. 특히, "고주파 응용을 위한 프로브들"이란 용어는 1GHz보다 큰 주파수를 갖는 신호들을 전달할 수 있는 프로브들을 지칭한다.

노이즈(예를 들어, 전술한 자기-인덕턴스 현상으로 인한)의 추가 없이 신호가 전달될 수 있도록 하기 위해, 요즘에는 무선주파수(radiofrequencies) 정도까지의 더욱 더 높은 주파수에서 신호를 전달할 수 있는 프로브를 제작할 필요가 있고, 그 결과, 콘택 프로브들의 길이를 대폭적으로 감소시킬 필요가 있다.

그러나, 이 경우에, 프로브들의 바디 길이의 감소는 프로브 자체의 강성(stiffness)을 급격히 증가시킨다. 이것은 각각의 콘택 팁에 의해 피검소자의 콘택 패드들 상에 가해지는 힘이 증가함을 의미하고, 이로 인해 상기 패드들이 파손되어 상기 피검소자의 회복 불가능한 손상이 야기될 수 있는데, 이것은 방지되어야 한다. 더욱 더 위험한 것은, 콘택 프로브의 바디 길이 감소로 인한 그것의 강성 증가가 프로브 자체의 파손 위험도 역시 증가시킨다는 것이다.

본 발명의 기술적 과제는 공지 기술들에 영향을 주는 제한들 및 단점들을 극복할 수 있는 테스트 헤드를 제공하는 것이데, 상기 테스트 헤드의 콘택 프로브들은, 고주파 응용들에서 전달 신호에 노이즈를 야기하지 않으면서도 상기 콘택 프로브들이 사용될 수 있도록 함과 동시에 상기 콘택 프로브들이 충분한 탄성을 유지할 수 있도록 하고, 그 결과, 이들의 파손 위험 및 이들이 접촉하는 피검소자의 콘택 패드들의 파손 위험을 감소시킬 수 있는 구조적 및 기능적 특징들을 갖는다.

본 발명의 근간을 이루는 해결 방안은 콘택 프로브를 제공하는 것인데, 상기 콘택 프로브의 오직 하나의 섹션(피검소자와 접촉하는 콘택 팁을 포함)만이 전기적으로 도전성이며, 이 도전성 섹션은 1000㎛ 미만, 바람직하게는 500㎛ 미만의 길이를 갖고 상기 프로브가 수용되는 테스트 헤드의 가이드의 도전성 트랙 또는 부분에 접촉할 수 있도록 구성되어 있으며, 상기 프로브의 나머지는 전기적으로 비도전성이고, 지지 플레이트 상에 접하는 콘택 헤드를 포함하며, 따라서 이 콘택 헤드는 단지 상기 지지 플레이트와의 기계적 접촉을 구현한다.

이런 해결 방안에 기초하면, 상기 기술적 과제는 전자소자 테스트 장치의 테스트 헤드용 콘택 프로브에 의해 해결되는데, 상기 콘택 프로브는 제1 말단부와 제2 말단부 사이에서 종축을 따라 연장된 바디(body)를 포함하되 상기 제2 말단부는 피검소자의 패드들에 접촉할 수 있도록 구성되어 있고, 상기 콘택 프로브는, 상기 제1 말단부로부터 상기 종축을 따라 연장되며 전기적 비도전성 물질로 형성된 제1 섹션 및 상기 제2 말단부로부터 상기 제1 섹션까지 상기 종축을 따라 연장된 제2 섹션을 포함하고 상기 제2 섹션은 전기적으로 도전성이며 1000㎛ 미만의 거리에 걸쳐 연장된 것을 특징으로 한다.

더욱 구체적으로, 본 발명은 개별적으로 취해지거나 필요할 경우 조합으로 취해지는 다음의 추가적 특징들을 포함한다.

본 발명의 일 관점에 의하면, 상기 콘택 프로브는 상기 종축을 따라 측정되는 전체 길이가 3mm 내지 10mm 사이일 수 있다.

본 발명의 다른 관점에 의하면, 상기 제2 섹션은 전체적으로 도전성 물질로 형성될 수 있고 비도전성의 상기 제1 섹션에 연결될 수 있거나, 또는 이것이 상기 제1 섹션과 동일한 전기적 비도전성 물질로 형성될 수 있고 도전성 코팅 물질로 코팅될 수 있다.

대안적으로, 상기 제1 섹션은 반도체 물질로 형성될 수 있고, 상기 제2 섹션은 상기 제1 섹션과 동일한 반도체 물질로 형성될 수 있는데, 상기 제2 섹션에 있는 상기 반도체 물질은 상기 제2 섹션이 전기적으로 도전성이 되도록 도핑된다.

본 발명은 다수의 콘택 프로브들을 각각 수용하기 위한 다수의 가이드 홀들을 구비한 적어도 하나의 가이드를 포함하는 전자소자 테스트 장치용 테스트 헤드와도 관련이 있는데, 상기 테스트 헤드는, 상기 콘택 프로브들이 위에서 나타낸 바와 같이 형성되고 상기 적어도 하나의 가이드는 상기 콘택 프로브들의 상기 제2 섹션과 전기적으로 접촉될 수 있도록 구성된 전기적 연결 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일 관점에 의하면, 상기 적어도 하나의 가이드는 상기 콘택 프로브의 상기 제2 섹션에 배열되는 하부 가이드일 수 있다. 본 발명의 다른 관점에 의하면, 상기 전기적 연결 수단은 상기 가이드 홀들로부터 연장된 도전성 트랙들(tracks)을 포함할 수 있다.

특히, 상기 도전성 트랙들은 상기 적어도 하나의 가이드의 면(face) 상에 배열될 수 있고/있거나 상기 적어도 하나의 가이드 내에 내재될(embedded) 수 있다.

또한, 상기 도전성 트랙들은 상기 적어도 하나의 가이드 상에 형성된 패드들 각각에 연결될 수 있다.

본 발명의 일 관점에 의하면, 적어도 두 개의 콘택 프로브들이, 상기 도전성 트랙들 중 적어도 하나 및/또는 회로 성분(circuit component)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.

본 발명의 다른 관점에 의하면, 상기 전기적 연결 수단은, 상기 가이드 홀들의 적어도 한 그룹의 홀들을 포함하고 이들을 서로 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 도전부(conductive portion)를 포함할 수 있는데, 상기 그룹은 그에 대응하는 상기 콘택 프로브들의 그룹을 수용한다(housing).

본 발명의 또 다른 관점에 의하면, 상기 적어도 하나의 도전부는 상기 적어도 하나의 가이드의 면 상에 배열될 수 있거나 상기 적어도 하나의 가이드 내에 내재될 수 있다.

또한, 상기 도전부는 다수의 도전층들 형태로 되어 있을 수 있는데, 상기 도전층들 각각은 상기 가이드 홀들의 각 그룹의 홀들을 포함하고 이들을 서로 전기적으로 연결하고, 상기 도전층들 각각은 그에 대응하는 그룹의 상기 콘택 프로브들의 상기 제2 섹션에 접촉할 수 있도록 구성되며, 각 대응 그룹의 콘택 프로브들은 동일한 타입의 신호를 전달할 수 있도록 구성되어 있다.

본 발명의 일 관점에 의하면, 상기 가이드 홀들의 내표면의 적어도 일부는 상기 전기적 연결 수단에 연결된 도전부로 덮일 수 있는데, 상기 콘택 프로브들의 상기 제2 섹션은 상기 가이드 홀들의 상기 도전부에 전기적으로 접촉할 수 있도록 구성된다.

마지막으로, 본 발명의 상기 테스트 헤드는 피검소자로부터 상기 테스트 헤드에 결부되어 있는 지지 플레이트로 신호를 직접 전달할 수 있도록 구성된 추가 콘택 프로브들을 더 포함할 수 있는데, 상기 추가 콘택 프로브들은 상기 피검소자와 상기 지지 플레이트 사이에 전력 신호들 및/또는 접지 신호들 및/또는 저주파 신호들을 전달할 수 있도록 구성된다. 본 발명에 따른 콘택 프로브와 테스트 헤드의 특징들 및 이점들이 그 실시예에 대한 아래의 설명으로부터 명확해질 것인데, 상기 실시예는 첨부의 도면을 참조하여 비제한적 예로서 제시된다.

도면들에서:
- 도1은 선행기술에 따른 테스트 헤드용 콘택 프로브를 개략적으로 나타내고;
- 도 2는 본 발명에 따른 콘택 프로브를 개략적으로 나타내고;
- 도 3은 도 2의 콘택 프로브를 포함하는 테스트 헤드를 개략적으로 나타내고;
- 도 4 및 도 5는 본 발명의 대안적 실시예들에 따른 테스트 헤드를 개략적으로 나타내고;
- 도 6은 본 발명에 따른 테스트 헤드의 사시 단면도(perspective sectional view)를 개략적으로 나타내고 - 상기 테스트 헤드의 가이드는 그 내부에 내재된 표면 도전성 트랙들을 포함함 -;
- 도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 테스트 헤드를 개략적으로 나타내며 - 상기 테스트 헤드의 가이드는 도전부들을 포함함 -;
- 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 헤드를 개략적으로 나타낸다.

상기 도면들, 특히 도 2를 참조하면, 반도체 웨이퍼 상에 집적된 전자소자들을 테스트하기 위한 장치의 테스트 헤드용 콘택 프로브가 도면부호 10으로 전체적 및 개략적으로 표시되어 있다.

상기 도면들은 개략도로서 실제 크기로 그려진 것이 아니라 본 발명의 중요한 특징들이 강조되도록 그려진 것임에 주목할 필요가 있다. 또한, 상기 도면들에서 상이한 구성요소들은 개략적 방식으로 그려지는데, 이들의 형태는 원하는 응용에 따라 변한다. 상기 도면들에서 동일 도면부호들은 형태 또는 기능이 동일한 구성요소들을 지칭한다는 것 역시도 주목하여야 한다. 마지막으로, 도면에 예시된 실시예와 관련하여 설명되는 특정 특징들은 다른 도면들에 예시된 다른 실시예들에도 역시 적용 가능하다.

이하에서 더욱 자세히 예시되는 바와 같이, 콘택 프로브(10)는 고주파 전자소자들을 테스트하기 위한 테스트 헤드에 수용될 수 있도록 구성된다.

상기 콘택 프로브(10)는 제1 말단부 또는 콘택 헤드(10a)와 제2 말단부 또는 콘택 팁(10b) 사이에서 종축(H-H)을 따라 연장된 바디(10')를 포함하는데, 콘택 헤드 및 콘택 팁이란 상기 용어들은, 여기에서 그리고 이하에서, 반드시 뾰족할 필요는 없는 부분들을 가리킨다. 상기 제1 말단부(10a)는 지지 플레이트 상에 접할 수 있도록 구성되는 반면 상기 제2 말단부(10b)는 피검소자의 패드들에 접촉할 수 있도록 구성된다.

본 발명에 따라 유리하게는, 상기 콘택 프로브(10)은 상기 종축(H-H)을 따라 서로 뒤따르는 2개의 섹션들로 분할되어 있는데, 이 섹션들은 상이한 전기적 도전성 물성을 갖는다.

구체적으로, 상기 콘택 프로브(10)는 상기 제1 말단부(10a)로부터 종축(H-H)을 따라 연장되며 전기적 비도전성 물질로 형성된 제1 섹션(S1) 및 상기 제2 말단부(10b)로부터 상기 제1 섹션(S1)까지 종축(H-H)을 따라 연장된 제2 섹션(S2)을 포함하는데, 상기 제2 섹션(S2)은 대신에 전기적으로 도전성이다.

다시 말해, 상기 콘택 프로브(10)의 상기 제1 말단부(10a)는 상기 제2 말단부(10b)를 포함하지 않는 상기 제1 섹션(S1)에만 포함되어 있는 반면, 상기 제2 말단부(10b)는 상기 제1 말단부(10a)를 포함하지 않는 상기 제2 섹션(S2)에만 포함되어 있다.

상기 콘택 프로브(10)는 3 내지 10 mm 사이의 전체 길이를 갖는데, 여기서 이 길이는 상기 종축(H-H)을 따라 측정된 치수를 가리킨다.

적절하게는, 상기 제2 섹션(S2)은 1000㎛ 미만, 바람직하게는 500㎛ 미만의 거리에 걸쳐 연장됨으로써 상기 콘택 프로브(10) 및 이를 수용하는 테스트 헤드가 고주파 소자들의 테스트에 특히 적합하게 된다. 사실, 상기 콘택 프로브(10)의 상기 제2 말단부(10b)는 피검소자의 콘택 패드들과 전기적 및 기계적 접촉을 수행하는 반면, 상기 제1 말단부(10a)는 지지 플레이와의 기계적 접촉만을 수행할 수 있도록 구성된다. 이렇게 하여, 상기 제1 섹션(S1)은 신호 전달을 할 수 있도록 구성되지 않고, 상기 신호는 오직 제2 섹션(S2)에서만 전달되게 되는데, 상기 제2 섹션(S2)은 1000㎛ 미만의 길이, 따라서 상기 콘택 프로브(10)의 전체 길이에 비해 훨씬 짧은 길이만을 갖는다.

이렇게 하여, 상기 제2 섹션(S2)의 길이보다 훨씬 긴 길이를 갖는 상기 제1 섹션(S1)은 상기 콘택 프로브(10)가 피검소자의 콘택 패드들과 접촉하는 동안 상기 콘택 프로브(10)에게 우수한 밴딩 능력(bending capacity)을 보장하고, 따라서 상기 콘택 프로브(10)의 파손 및/또는 피검소자의 콘택 패드들의 파손을 방지한다. 적절하게는, 상기 피검소자와의 접촉 동안에 상기 감쇄 효과(damping effect)를 극대화할 수 있는 물질이 상기 제1 섹션(S1)을 위해 사용된다.

본 발명의 일 실시예의 의하면, 상기 제2 섹션(S2)은 전체적으로 도전성 물질로 형성되고, 예를 들어 접착제(glue), 접착층(adhesive layer) 또는 국부적으로 용접 가능한 금속층(예를 들어, 레이저 용접에 의해 용접 가능한)을 이용하여, 또는 그 밖의 다른 적절한 방식으로 상기 비도전성 제1 섹션(S1)에 적절히 연결된다.

대안적으로, 상기 콘택 프로브(10)의 상기 제2 섹션(S2)은 상기 제1 섹션(S1)과 동일한 전기적 비도전성 물질로 형성되고, 이어서 도전성 코팅 물질로 코팅된다. 이러한 방식으로, 상기 콘택 프로브(10)는 비도전성 물질로 형성된 코어(core)를 포함하게 되며, 오직 상기 제2 섹션(S2)만이 도전성 코팅 물질로 코팅된다.

상기 비도전성 제1 섹션(S1)을 형성하는 물질은 반도체 물질, 바람직하게는 실리콘, 또는 일반적으로 비금속 절연 물질[예를 들어, 강화 고분자 물질(reinforced polymeric material) 같은]로부터 선택되는 반면, 상기 도전성 제2 섹션(S2)을 형성하는 도전성 물질은 금속 물질, 바람직하게는 구리 또는 팔라듐 합금들, 또는 도핑된 반도체로부터 선택됨에 주목하여야 한다.

결과적으로, 본 설명에서는 "전기적 비도전성 물질"이란 용어가 절연 물질 및 반도체 모두를 가리킨다.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 콘택 프로브(10) 전체가 반도체 물질로 형성되고, 상기 제2 섹션(S2)에 해당하는 그 일부만이 도핑되어 상기 도전성 섹션(S2)을 형성한다. 다시 말해, 상기 제1 섹션(S1)은 반도체 물질로 형성되고, 상기 제2 섹션(S2)은 동일한 반도체 물질로 형성되되 도전성 물질로 도핑됨으로써 상기 제2 섹션(S2)이 전기적으로 도전성이 된다. 이 실시예에서, 상기 콘택 프로브(10)의 콘택 저항(contact resistance)을 증가시키기 위하여, 상기 제2 섹션(S2)을 도전성 물질의 추가 층으로 덮는 것도 역시 가능하다.

이 경우에, 전술한 바와 같이, 상기 반도체 물질은 바람직하게는 실리콘인 반면, 상기 도핑 물질은 예를 들어 인(phosphorus) 또는 붕소(boron)로부터 선택된다.

전술한 바와 같이, 반도체 웨이퍼 상에 집적된 전자소자들을 테스트하기 위한 테스트 헤드에 위에서 설명한 타입의 다수의 콘택 프로브들(10)이 수용되는데, 도 3에 개략적으로 예시된 바와 같이, 이 테스트 헤드는 여기서 도면부호 20으로 표시된다.

예시의 단순화를 위하여, 상기 테스트 헤드(20)는, 필요 및/또는 상황에 따라 임의의 개수의 콘택 프로브들을 포함할 수 있다는 것이 자명하다고 하더라도, 도면들에는 제한적 개수의 콘택 프로브들(10)을 포함하는 것으로 표현되어 있으며, 상기 도면들은 단지 본 발명의 비제한적 예로 제공되는 것임에 주목하여야 한다.

각각의 콘택 프로브(10)의 상기 제2 말단부(10b)는 반도체 웨이퍼(12) 상에 집적된 피검소자의 콘택 패드들(11) 상에 접할 수 있도록 구성된 반면, 상기 제1 말단부(10a)는 상기 테스트 헤드(20)와 결부되어 있는 지지 플레이트(13) 상에 접할 수 있도록 구성되는데, 여기서 상기 지지 플레이트는 예를 들어 인쇄회로기판(PCB)일 수 있다.

상기 테스트 헤드(20)는, 대응하는 다수의 콘택 프로브들(10)을 수용할 수 있도록 구성된 다수의 가이드 홀들(22)을 구비한 적어도 하나의 가이드(21)를 포함한다.

본 발명에 따라 유리하게는, 상기 가이드(21)의 가이드 홀들(22)의 내벽들(inner walls)이, 특히 상기 가이드(21)에 포함되어 있는 전기적 연결 수단을 통해, 상기 제2 섹션(S2)에 접촉할 수 있도록, 상기 가이드(21)는 각각의 콘택 프로브(10)의 상기 제2 섹션(S2)에 배열된 하부 가이드이다.

이 점에서, 여전히 도 3을 참조하면, 상기 가이드(21)의 상기 전기적 연결 수단은, 상기 가이드 홀들(22)로부터 연장되며 상기 콘택 프로브들(10), 특히 상기 제2 섹션(S2)에 의해 전달되는 신호를 추출하고 전달할 수 있도록 구성된 적절한 도전성 트랙들(23)을 포함하는데, 이 도전성 트랙들(23)은 상기 제2 섹션(S2)과 전기적으로 접촉되도록 구성된다.

결과적으로, 상기 가이드(21)는 그 안에서 연장되어 있는 상기 도전성 트랙들(23)을 이용하여 신호 라우팅(routing)[예를 들어, 상기 테스트 헤드(20)와 결부되어 있는 PCB 측으로]을 제공하고, 따라서 공지의 테스트 헤드에 결부되어 있는 스페이스 트랜스포머에 의해 대개 수행되는 기능도 역시 수행한다.

도 3의 실시예에서, 상기 도전성 트랙들(23)은 상기 콘택 프로브(10)의 상기 제2 섹션(S2)에 직접 접촉할 수 있도록 구성된다. 즉, 상기 콘택 프로브(10)의 상기 섹션(S2)과 상기 도전성 트랙(23) 사이의 접촉은, 상기 가이드(21) 내에 내재되어 있으며 상기 가이드 홀(22)에서 드러나 있는 상기 도전성 트랙(23) 자체의 두께에 의해 보장되는 슬라이딩 접촉(sliding contact)이다.

도 4에 예시된 바와 같이, 상기 도전성 트랙(23)은 표면 도전성 트랙일 수도 있다. 즉, 이것은 상기 가이드(21)의 면(도면의 예에서는 면 Fa) 상에 배열될 수 있는데, 이 도전성 트랙(23)은 어떠한 경우에 있어서도 항상 상기 가이드 홀(22)에서 드러나 있다.

도 4는 상기 가이드(21)의 면 Fa 상에(즉, 도면의 국부적 참조 시스템에 따르면 이것의 윗면 상에) 배열된 표면 도전성 트랙(23)을 예시하고 있으나, 상기 도전성 트랙(23)은 상기 가이드(21)의 임의의 다른 면은 물론이고 상기 면 Fa의 반대편에 위치한 상기 가이드(21)의 면 Fb 상에(즉, 도면의 국부적 참조 시스템에 따르면 이것의 아랫면 상에) 배열될 수도 있다.

도 5에 예시되어 있는 본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 가이드 홀들(22)의 내표면(inner surface)의 적어도 일부는 도전부(conductive portion)(22w)에 의해 덮여 있다. 더욱 더 바람직하게는, 상기 가이드홀들(22)의 내표면 전체가 상기 도전부(22w)로 덮여 있다. 이렇게 하여, 상기 도전성 섹션(S2)이 슬라이딩 콘택을 통해 상기 가이드 홀들(22)의 상기 도전부(22w)와 접촉할 수 있어, 상기 콘택 프로브(10)에 의해, 특히 상기 섹션 S2에 의해 전달되는 신호가, 상기 도전부(22w)에 연결되어 있는 특히 그로부터 연장되어 있는 상기 도전성 트랙들(23)을 통해 상기 가이드 홀들(22)에서 추출될(extracted) 수 있다.

또한, 상기 가이드(21)는, 도 6에 개략적으로 도시된 바와 같이, 표면 도전성 트랙들 및 그 안에 내재된 도전성 트랙들 모두를 포함할 수 있다.

일반적으로, 수개의 도전성 트랙들(23)이 가이드(21)의 면 Fa 및/또는 면 Fb 상에서 그리고 그 내부에서 연장되어 있는 경우, 이 도전성 트랙들(23)은 상기 가이드(21)의 표면으로부터 상이한 레벨들에 배열된다. 도전성 트랙들(23)이 배열되어 있는 가이드(21)의 레벨들의 개수는 필요 및/또는 상화에 따라, 특히, 전달되는 신호의 개수에 따라, 그리고 가이드(21)에서 수행될 라우팅 패턴의 복잡성에 따라 달라질 수 있다. 예를 들어, 제1 레벨이 제1 타입의 신호를 전달할 수 있도록 구성된 트랙들을 포함하고 제2 레벨이 제2 타입의 신호를 전달할 수 있도록 구성된 트랙들을 포함하는 배열 형태를 제공하는 것이 가능하다.

전술한 바와 같이, 콘택 프로브(10), 특히 이것의 제2 섹션(S2)과 상기 가이드 홀들(22)의 벽들, 바람직하게는 상기 도전부(22w)가 제공되어 있는 벽들 사이의 접촉은, 상기 제2 섹션(S2)과 상기 도전부(22w) 사이의 전기적 연결[또는, 도전성 트랙(23)과 가능한 대로 직접적으로 연결]을 보장하는 슬라이딩 접촉이다.

도 6을 여전히 참조하면, 적절하게는, 상기 도전성 트랙들(23)[특히, 상기 가이드 홀들(22)에 있는 말단의 반대편에 있는 이들의 말단]은 상기 가이드(21)의 일 면(도 6의 예에서는 면 Fa) 상에 배열된 콘택 패드들(25)에 각각 연결된다. 이렇게 하여, 상기 테스트 헤드(20)로부터 각 신호를 추출하여 이것을 예를 들어 상기 테스트 헤드(20)에 연결되어 있는 PCB로 전달하는 것이 가능하다.

또한, 가이드(21) 내에 내재된 도전성 트랙들(23)의 경우, 이 도전성 트랙들(23)의 말단부들이 상기 가이드(21)의 면 상에 드러남으로써 상기 도전성 트랙들(23)과 각각의 상기 콘택 패드들(25) 사이의 전기적 접촉이 가능하게 된다.

이제 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 테스트 헤드(20)는 전기적 연결 수단으로서 작용하는 도전부(conductive portion)(24)를 포함하는데, 이것은 대응하는 그룹의 콘택 프로브들(10)을 수용하는 일 그룹(22')의 가이드 홀들(22)을 포함하고 이들을 전기적으로 연결한다. 상기 도전부(24)는 상기 도전성 트랙들(23)에 더해서 또는 이들을 대체하여 사용될 수 있다.

이런 식으로, 적어도 두 개의 콘택 프로브들(10)이 상기 가이드(21)의 적어도 하나의 도전성 트랙(23) 또는 도전부(24)에 의해 전기적으로 연결될 수 있는데, 이 도전부(24)는 단락될 상기 콘택 프로브들을 수용하는 상기 그룹(22')의 가이드 홀들을 포함하는 상기 가이드(21) 영역을 커버한다.

단지 두 개의 콘택 프로브들(10)만이 단락될 필요가 있는 경우에는 한 개의 도전성 트랙(23)을 이들 사이의 전기적 연결 수단으로 이용하는 것이 바람직한 반면, 다수의 콘택 프로브들(10)이 단락될 필요가 있는 경우에는 도전부(24)를 이들 사이의 전기적 연결 수단으로 이용하는 것이 바람직한데, 상기 도전부(24)는 상기 콘택 프로브들(10)을 위한 공통 도전성 평면(common conductive plane)을 형성한다.

상이한 콘택 프로브들을 전기적으로 연결시킬 수 있다는 것, 특히 상이한 콘택 프로브들의 제2 섹션(S2)을 전기적으로 연결시킬 수 있다는 것은, 피검소자의 2개 이상의 콘택 패드들이 단락될 필요가 있는 경우에 특히 유리하다. 이것은 신호 경로를 상당히 단축시키면서 루프백(loop-back) 타입의 배열 형태를 구현하는 것이 가능하기 때문인데, 테스트 장치로부터 그리고 테스트 장치 측으로 신호가 전달될 때 상기 신호가 콘택 프로브 전체를 통과하지 않고 도전성 트랙 또는 공통 도전성 평면에서 멈춤으로써 결과적으로 상기 테스트 헤드(20) 전체의 주파수 성능 면에서 유리하다.

여전히 도 7을 참조하면, 상기 도전부(24)는 상기 가이드(21) 내에 내재되어 상기 가이드(21) 내부에 도전성 평면(conductive plane)을 형성하고, 이 도면에 본 발명의 비제한적 예로서 예시된 테스트 헤드(20)는 내재된 도전부(24) 및 표면 도전성 트랙(23)을 포함한다.

대안적으로, 도면들에 예시되어 있지 않은 실시예에 의하면, 상기 도전부(24)는 상기 가이드(24)의 표면 부분 상에, 특히 그것의 면 Fa 또는 그 반대면 Fb 상에 배열될 수 있거나, Fa 및 Fb 면들 모두의 위에 배열될 수 있다.

또한, 도 8에 도시된 실시예에 의하면, 상기 도전부(24)는 다수의 중첩된 도전층들(24a-24n)의 형태로 되어 있고, 이들 각각은 대응하는 그룹(22a-22n)의 가이드 홀들(22)을 포함하고 이들을 서로 전기적으로 연결한다. 이러한 식으로, 각각의 도전층(24a-24n)은 그에 대응하는 그룹의 본 발명에 따른 콘택 프로브들(10), 특히 이들의 제2 섹션(S2)에 접촉할 수 있도록 구성되는데, 여기서, 각 대응 그룹의 콘택 프로브들은 동일한 타입의 신호를 전달할 수 있도록 구성된다.

이런 식으로, 상기 가이드(21)는 다수의 비도전층들, 바람직하게는 세라믹 다중층을 포함하는 다중층이고, 상기 도전층들(24a-24n)은 상기 비도전층들 상에 배열되어 있으며, 상기 비도전층들은 도전층을 그 다음의 도전층으로부터 전기적으로 절연시킨다.

특히, 상기 도전층들(24a-24n) 각각은 상기 가이드(21)의 대응하는 비도전층의 면 상에 배열되고 상기 면의 면적보다 적은 면적을 갖는다.

대안적으로, 상기 도전층들(24a-24n) 각각은, 단락되지 말아야 할 콘택 프로브들을 수용하는 가이드 홀들이 형성된 영역을 제외하고는, 대응하는 비도전층의 면을 덮는다.

명백히, 상기 도전층들(24a-24n)은, 상기 가이드(21)의 노출면들(Fa, Fb) 중 적어도 하나 위에 배열된 표면층들을 포함할 수도 있고, 또는 도 8에 예시된 것과 같이 오직 상기 가이드(21) 내에 내재되어 있기만 할 수도 있다.

단락되어야 할 콘택 프로브들이 단락되지 말아야 할 콘택 프로브들과 근접한 경우(예를 들어, 교대로 배치된 경우), 상이한 신호들을 전달하기로 되어 있는 콘택 프로브들이 전기적으로 연결되지 않도록 하기 위하여, 상기 도전부(24)[또는, 대안적으로 각각의 도전층(24a-24n)]은 비도전성 구역(zone)에 의해 국부적으로 차단된다. 따라서, 상기 비도전성 구역은 상이한 신호들을 전달하기로 되어 있는 서로 인접한 콘택 프로브들 사이의 전기적 연결을 국부적으로 방지한다.

예를 들어, 다수의 도전층들(24a-24n)의 경우, 특정 도전층의 비도전성 구역은 이 특정 도전층에 의해 단락되지 말아야 할 콘택 요소들을 수용하는 가이드 홀들에 형성되는 반면, 이 특정 층은 이것에 의해 단락되어야 할 콘택 요소들을 수용하는 가이드 홀들의 벽들을 적어도 부분적으로 덮는다.

또한, 도면에 예시되어 있지 않은 실시예에 의하면, 상기 프로브들(10)의 상기 제2 섹션(S2)과 접촉하고 있는, 2개의 가이드 홀들의 금속화들(metalizations) 또는 심지어 2개의 도전부들(24)의 금속화들이, 루프백(loop-back) 기술의 최적화를 위하여 예를 들어 필터링 커패시터와 같은 회로 성분을 이용하여 전기적으로 연결될 수 있는데, 이것은 이 필터링 커패시터가 상기 프로브들의 콘택 팁들에 가능한 한 가깝게 위치하기 때문이다.

명백히, 상기 회로 성분은 특정 요구에 맞춰 조정된 임의의 다른 회로 성분일 수도 있는데, 예를 들어 인덕터(inductor) 또는 저항기(resistor) 또는 심지어 릴레이(relay)와 같은 회로 성분일 수 있다.

상기 테스트 헤드(20)는 상기 하부 가이드(21) 외에 본 기술분야의 공지기술에 따른 하나 이상의 가이드, 예를 들어 중간 가이드 및/또는 상부 가이드를 더 포함할 수도 있음을 더 유의하여야 한다.

상기 프로브 헤드(20)는 본 발명에 따른 콘택 프로브들(10)에 더하여 선행기술에 따라 제조된 콘택 프로브들(10bis)(즉, 전체가 도전성 물질로 형성된)도 포함할 수 있는데, 이 콘택 프로브들(10bis)은 도 9에 예시된 바와 같이 대응하는 가이드 홀들(22bis)에 수용된다. 따라서, 상기 테스트 헤드(20)는 본 발명에 따른 콘택 프로브들(10)의 제1 그룹과 선행기술에 따른 콘택 프로브들(10bis)의 제2 그룹을 일반적으로 포함한다.

상기 콘택 프로브들(10)은 이들의 제2 도전성 섹션(S2)의 감소된 길이 덕분에 고주파 신호를 전달할 수 있도록 바람직하게 구성되지만, 상기 콘택 프로브들 10bis는 일반적으로 접지 또는 전력 신호 또는 심지어 저주파 입력/출력 신호, 즉 자기-인덕턴스 문제 없이 공지된 유형의 프로브들에 의해서도 전달될 수 있는 신호들을 전달할 수 있도록 구성되는데, 어떤 경우에도 상기 가이드(21)에 의한 신호 라우팅이 상당히 단순화된다.

이 경우, 상기 콘택 프로브들(10bis)은 따라서 신호를 피검소자로부터 지지 플레이트(13)로 직접 전달할 수 있도록 구성되는데, 상기 지지 플레이트(13)는 적절한 도전성 패드들(14)을 포함하고, 상기 프로브들(10bis)의 콘택 헤드들이 상기 도전성 패드들(14)에 접하도록 구성된다.

마지막으로, 본 발명에 따른 콘택 프로브들(10)과 관련하여 위에서 설명한 내용은 공지된 유형의 콘택 프로브들(10bis)에 대해서도 역시 유효하다는 것, 즉 상기 공지된 유형의 콘택 프로브들(10bis)을 단락시킬 도전부들을 제공하는 것도 가능하다는 것에 주목하여야 한다.

결론적으로, 본 발명은 콘택 프로브를 제공하되, 이것의 오직 한 섹션, 즉 피검소자와 접촉하는 콘택 팁을 포함하는 섹션만이 전기적으로 도전성이고, 이 도전성 섹션은, 1000㎛ 미만, 바람직하게는 500㎛ 미만의 길이를 가지며, 상기 프로브가 수용되는 테스트 헤드의 가이드의 도전성 트랙 또는 도전부와 접촉할 수 있도록 구성되고, 상기 프로브의 나머지 부분은, 전기적으로 비도전성이고, 지지 플레이트 상에 접하는 콘택 헤드를 포함하며, 따라서 이 콘택 헤드는 상기 지지 플레이트와 단지 기계적 접촉만을 실현한다.

본 발명에 따라 유리하게는, 상기 예시된 테스트 헤드는 상기 콘택 프로브들의 도전성 섹션의 감소된 치수 덕분에 특히 고주파 응용에서 작동하는데, 상기 섹션은 신호를 전달하도록 되어 있고 1000㎛ 미만의 길이를 가짐으로써 선행기술에 따른 콘택 프로브들의 길이보다 훨씬 짧은 길이를 갖는다.

따라서, 본 발명의 독특한 특징은 신호를 오직 상기 도전성 섹션만을 통해 프로브 헤드의 하부 가이드 상에 형성된 도전성 트랙으로 전달할 수 있다는 것이고, 상기 프로브의 나머지 부분은 비도전성으로서 기계적 지지체로서만 작용하는데, 이를 통해 지지 플레이트(즉, PCB 또는 임의의 다른 지지체)와의 접촉 및 콘택 프로브의 바람직한 밴딩을 보장하고, 그와 동시에, 상기 프로브의 남아 있는 비도전성 부분이 안테나 또는 스터브(stub)로 작용하는 것을 방지하는데 이것은 신호가 그 안에서는 전달되지 않기 때문이다.

다시 말해, 본 발명에 따른 콘택 프로브의 상기 도전성 섹션은 매우 짧은 프로브로서 작용하고 따라서 공지된 유형의 프로브들이 갖고 있는 불리한 자기-인덕턴스 문제를 제거하고, 상기 제2 비도전성 부분의 존재 덕분에 기계적 관점에서 볼 때도 상기 콘택 프로브는 완벽히 작동한다. 따라서, 본 발명의 기술적 과제가 해결된다.

따라서, 제안된 상기 해결방안은 고주파 소자들의 효과적 테스트를 가능하게 하고, 짧은 프로브의 강성을 배제시키고, 콘택 프로브들 자체의 파손 가능성을 대폭적으로 감소시킴과 동시에 이들에 의해 가해지는 압력의 적절한 감소를 보장하며, 상기 콘택 패드들이 접하게 될 피검소자의 콘택 패드들이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

적절한 회로 성분들, 특히 2개의 콘택 프로브들을 서로 연결시키는 커패시터 덕분에, 신호 필터링 면에서 성능이 향상된 테스트 헤드를 얻는 것도 가능하다.

마지막으로, 추가 콘택 프로브들이 특정 신호를 전달할 수 있도록 구성되어 있는 하이브리드 배열 형태를 채택하는 것이 가능하기 때문에, 본 발명에 따라 스페이스 트랜스포머로서 작용하는 상기 가이드에 의한 신호 라우팅이 대단히 단순화될 수 있다. 이것은 테스트 헤드를 통해 전달될 신호가 수개인 경우에 주로 유용하다. 예를 들어, 이러한 추가 콘택 프로브들을 이용하여 전력 신호 및/또는 접지 신호, 즉 특별히 짧은 콘택 프로브를 요하지 않는 신호들을 전달하는 것이 가능한 반면, 자기-인덕턴스 문제를 방지하기 위해서는 짧은 프로브가 요구되는 고주파 신호는 본 발명에 따른 프로브의 도전성 섹션에서 전달된다.

명백히, 당업자는 특정 요구 및 사양을 충족시키기 위해 전술한 콘택 프로브 및 테스트 헤드에 다양한 수정 및 변경을 가할 수 있으며, 이들은 모두 아래의 청구항들에 의해 정의되는 본 발명의 보호범위에 포함된다.

Claims (15)

1. 전자소자 테스트 장치의 테스트 헤드용 콘택 프로브(10)에 있어서,
   상기 콘택 프로브(10)는 제1 말단부(10a)와 제2 말단부(10b) 사이에서 종축(H-H)을 따라 연장된 바디(body)(10')를 포함하되, 상기 제2 말단부(10b)는 피검소자의 패드들(11)에 접촉할 수 있도록 구성되어 있고,
   상기 콘택 프로브(10)는, 상기 제1 말단부(10a)로부터 상기 종축(H-H)을 따라 연장되며 전기적 비도전성 물질로 형성된 제1 섹션(S1) 및 상기 제2 말단부(10b)로부터 상기 제1 섹션(S1)까지 상기 종축(H-H)을 따라 연장된 제2 섹션(S2)을 포함하고, 상기 제2 섹션(S2)은 전기적으로 도전성이며 1000㎛ 미만의 거리에 걸쳐 연장된 것을 특징으로 하는,
   콘택 프로브(10).
2. 제1항에 있어서,
   상기 콘택 프로브(10)는 상기 종축(H-H)을 따라 측정되는 전체 길이가 3mm 내지 10mm 사이인 것을 특징으로 하는,
   콘택 프로브(10).
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제2 섹션(S2)은 전체적으로 도전성 물질로 형성되고 비도전성의 상기 제1 섹션(S1)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하거나, 또는
   상기 제2 섹션(S2)은 상기 제1 섹션(S1)과 동일한 전기적 비도전성 코팅 물질로 형성되고 도전성 물질로 코팅된 것을 특징으로 하는,
   콘택 프로브(10).
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 섹션(S1)은 반도체 물질로 형성되고 상기 제2 섹션(S2)은 상기 제1 섹션(S1)과 동일한 반도체 물질로 형성되며, 상기 제2 섹션(S2)에 있는 상기 반도체 물질은 상기 제2 섹션(S2)이 전기적으로 도전성이 되도록 도핑된 것을 특징으로 하는,
   콘택 프로브(10).
5. 전자소자 테스트 장치용 테스트 헤드(20)에 있어서,
   다수의 콘택 프로브들(10)을 각각 수용하기 위한 다수의 가이드 홀들(22)을 구비한 적어도 하나의 가이드(21)를 포함하고,
   상기 콘택 프로브들(10)은 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 따라 형성되고, 상기 적어도 하나의 가이드(21)는 상기 콘택 프로브들(10)의 상기 제2 섹션(S2)과 전기적으로 접촉될 수 있도록 구성된 전기적 연결 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는,
   테스트 헤드(20).
6. 제5항에 있어서,
   상기 적어도 하나의 가이드(21)는 상기 콘택 프로브(10)의 상기 제2 섹션(S2)에 배열되는 하부 가이드인 것을 특징으로 하는,
   테스트 헤드(20).
7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
   상기 전기적 연결 수단은 상기 가이드 홀들(22)로부터 연장된 도전성 트랙들(tracks)(23)을 포함하는 것을 특징으로 하는,
   테스트 헤드(20).
8. 제7항에 있어서,
   상기 도전성 트랙들(23)은 상기 적어도 하나의 가이드(21)의 면(Fa, Fb) 상에 배열되고/배열되거나 상기 적어도 하나의 가이드(21) 내에 내재된(embedded) 것을 특징으로 하는,
   테스트 헤드(20).
9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
   상기 도전성 트랙들(23)은 상기 적어도 하나의 가이드(21) 상에 형성된 패드들(25)에 각각 연결된 것을 특징으로 하는,
   테스트 헤드(20).
10. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 두 개의 콘택 프로브들(10)이, 상기 도전성 트랙들(23) 중 적어도 하나 및/또는 회로 성분(circuit component)에 의해 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는,
    테스트 헤드(20).
11. 제5항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전기적 연결 수단은, 상기 가이드 홀들(22)의 적어도 한 그룹(22')의 홀들을 포함하고 이들을 서로 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 도전부(conductive portion)(24)를 포함하고,
    상기 그룹(22')은 그에 대응하는 그룹의 상기 콘택 프로브들(10)을 수용하는 것을 특징으로 하는,
    테스트 헤드(20).
12. 제11항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 도전부(24)는 상기 적어도 하나의 가이드(21)의 면(Fa, Fb) 상에 배열되거나 상기 적어도 하나의 가이드(21) 내에 내재된 것을 특징으로 하는,
    테스트 헤드(20).
13. 제11항에 있어서,
    상기 도전부(24)는 다수의 도전층들(24a-24n) 형태로 되어 있고,
    상기 도전층들(24a-24n) 각각은 상기 가이드 홀들(22)의 각 그룹(22a-22n)의 홀들을 포함하고 이들을 서로 전기적으로 연결하고,
    상기 도전층들(24a-24n) 각각은 그에 대응하는 그룹의 상기 콘택 프로브들(10)의 상기 제2 섹션(S2)에 접촉할 수 있도록 구성되며,
    각 대응 그룹의 콘택 프로브들은 동일한 타입의 신호를 전달할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는,
    테스트 헤드(20).
14. 제5항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가이드 홀들(22)의 내표면의 적어도 일부는 상기 전기적 연결 수단에 연결된 도전부(22w)로 덮이고, 상기 콘택 프로브들(10)의 상기 제2 섹션(S2)은 상기 가이드 홀들(22)의 상기 도전부(22w)에 전기적으로 접촉할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는,
    테스트 헤드(20).
15. 제5항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    피검소자로부터 상기 테스트 헤드(20)에 결부되어 있는 지지 플레이트(13)로 신호를 직접 전달할 수 있도록 구성된 추가 콘택 프로브들(10bis)을 더 포함하되, 상기 추가 콘택 프로브들(10bis)은 상기 피검소자와 상기 지지 플레이트(13) 사이에 전력 신호들 및/또는 접지 신호들 및/또는 저주파 신호들을 전달할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는,
    테스트 헤드(20).

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