KR20160091557A - 공간변형기능을 가진 검사접촉장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사접촉장치에 관한 것으로서; 플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트와; 상기 제1 가이드 플레이트와 평행하게 위치하며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제2 가이드 플레이트와; 상기 제1 가이드 플레이트와 상기 제2 가이드 플레이트 사이에 있으며, 프로브가 관통하는 프로브 홀이 형성되어 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 상대적 위치가 변화 가능한 중간 플레이트와; 상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀에 공통으로 삽입되며, 제1 가이드 플레이트와 제2 가이드 플레이트의 상대적 위치를 고정하는 위치 고정핀과; 상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 중간 플레이트에 형성된 프로브 홀에 공통으로 삽입되며, 하단부가 시험체에 접촉하게 되는 복수의 프로브를 포함하여 구성되며; 상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리가 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리와 서로 다른 것을 특징으로 하는 검사접촉장치를 제공한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 인접한 프로브가 서로 평행하지 않게 되므로, 프로브의 흔들림이 있어도 이웃한 프로브와 합선될 가능성이 매우 낮아지며, 프로브 간의 합선을 방지할 수 있다. 또한, 제2 가이드 플레이트에 있는 프로브 홀의 피치가 시험체 전극의 피치보다 더 크게 되어서, 공간변형기의 기능을 수행하게 된다.

Description

공간변형기능을 가진 검사접촉장치 {Test Contact Device with Space Transform Function}

본 발명은 반도체 웨이퍼 위에 형성된 직접회로의 전기적 특성을 검사하는 프로브 카드(probe card) 등에 구비되는 검사접촉장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 협피치(fine pitch)로 배열된 프로브(probe) 간의 합선을 방지하며, 프로브 간의 거리를 확장시키는 공간변형기(space transformer)의 기능을 갖는 검사접촉장치의 구조에 관한 기술이다.

검사접촉장치는 반도체 직접회로, 반도체 패키지 PCB 등의 전자소자(electric device)가 정확한 사양으로 제조되었는지 검사(test)하기 위해, 전자소자에 접촉되어 전기적 신호를 전달하는 장치이다.

검사접촉장치에 구비된 프로브의 일단은 시험체에 접촉하게 되고, 타단은 공간변형기에 접촉되며, 공간변형기는 회로기판을 통해서 테스터까지 연결되어서 시험체를 검사(test)하게 된다. 즉, 검사접촉장치는 검사공정에서 시험체와 공간변형기를 전기적으로 연결하는 매개체 역할을 한다.

보통의 경우, 검사접촉장치는 공간변형기에 일체로 조립되어 사용된다. 검사접촉장치가 시험체에 밀착되면, 프로브는 시험체와 공간변형기 사이에서 수직으로 눌리게 된다. 프로브의 양쪽 끝은 시험체에 형성된 전극과 공간변형기에 형성된 전극에 각각 접촉하게 되며, 프로브를 통하여 시험체와 공간변형기가 전기적으로 연결되게 된다.

도1은 종래의 검사접촉장치의 구조를 도시한 단면도로서, 검사접촉장치의 개념을 보여 주고 있다. 종래의 검사접촉장치는, 복수의 프로브(51)와, 상기 프로브가 삽입되는 프로브 홀(11)(21)이 형성된 2장의 가이드 플레이트(10)(20)를 포함하여 구성되어 있다. 가이드 플레이트의 가운데 부분에 홈을 파서 얇게 만들고, 이 부분에 프로브 홀을 정밀하게 형성하였다. 프로브 양쪽 끝의 직선 부분은 각각 양쪽 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀에 삽입 설치되어 있다.

시험체인 전자소자의 직접도가 증가하면서, 전자소자의 표면에 형성된 전극이 작아지고, 전극간의 거리도 점점 가까워지고 있다. 이렇게 좁은 피치(pitch)의 전극에 전기적 접촉을 이루기 위해서는, 검사접촉장치에 구비된 프로브들 간의 피치도 동일한 정도로 좁아져야만 한다. 그런데, 이웃한 프로브가 가까워짐에 의해서 프로브 간의 합선이 일어나기 쉬워진다. 종래의 구조에서는 프로브에 절연체를 피복하여 프로브 간의 합선을 방지하는 것이 가능했다. 그러나 프로브 간의 피치가 극단적으로 좁아짐에 따라 프로브의 굵기도 최소한으로 얇아져야만 하며, 프로브의 두께가 굵어지는 절연체 피복은 더 이상 사용할 수 없게 되고 있다.

기존 검사접촉장치의 구조에서는 모든 프로브는 서로 평행을 이루어 배열되어 있으며, 프로브의 하단이 접촉하는 시험체에 형성된 전극의 피치와 프로브의 상단이 접촉하는 공간변형기에 형성된 전극의 피치는 서로 동일하다. 따라서 시험체 전극의 피치가 좁아지면서, 공간변형기의 표면에 형성되는 전극의 피치도 좁아져야 하며, 따라서 공간변형기의 제작도 어려워진다.

본 발명은 시험체의 검사공정 중에 협피치로 배열된 프로브 간의 합선을 방지할 수 있는 검사접촉장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 프로브 간의 공간을 넓히는 공간변형기능을 가지는 검사접촉장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.

상기 문제점을 해결하기 위해서 본 발명에서는, 인접한 두 프로브가 시험체 쪽에서는 서로 가깝지만, 공간변형기 쪽에서는 서로 멀어질 수 있도록, 프로브가 서로 평행하지 않게 설치한다. 종래에는 모든 프로브가 서로 평행하게 설치되었지만, 본 발명의 기술에서는 인접한 프로브가 서로 평행하지 않도록 설치한다. 이를 위해서 시험체에 가까운 가이드 플레이트의 프로브 홀의 피치는 시험체의 전극과 동일한 피치를 가지게 하되, 시험체에서 먼 가이드 플레이트의 프로브 홀의 피치는 시험체 전극의 피치보다 더 큰 피치를 갖도록 형성한다.

플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 시험체와 마주보는 면의 반대편 표면의 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트와;

상기 제1 가이드 플레이트와 평행하게 위치하며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 제1 가이드 플레이트와 마주보는 면의 표면 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제2 가이드 플레이트와;

상기 제1 가이드 플레이트와 상기 제2 가이드 플레이트 사이에 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 서로 평행하게 위치하며, 일측에 프로브가 관통하는 프로브 홀이 형성되어 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 상대적 위치가 변화 가능한 중간 플레이트와;

상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀에 공통으로 삽입되며, 제1 가이드 플레이트와 제2 가이드 플레이트의 상대적 위치를 고정하는 위치 고정핀과;

상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 중간 플레이트에 형성된 프로브 홀에 공통으로 삽입되며, 하단부가 시험체에 접촉하게 되는 복수의 프로브를 포함하여 구성되며;

상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리가 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리와 서로 다른 것을 특징으로 하는 검사접촉장치를 제공한다.

제1 가이드 플레이트에 있는 프로브 홀의 피치에 비해서, 제2 가이드 플레이트에 있는 프로브 홀의 피치를 크게 하면, 프로브 간의 거리는 기존의 구조에 비해서 더 멀어지게 되며, 이로 인해서 프로브 간의 합선을 방지할 수 있다. 또한 프로브 간의 거리를 더 확보함으로 인해서 절연체 피복이 있는 프로브를 사용할 수도 있다.

기존의 구조에서는 모든 프로브는 서로 평행하며, 프로브가 변형하는 과정에서도 모든 프로브가 평행을 유지하며 움직이도록 되어 있다. 이러한 기존의 구조에서는 프로브가 변형하는 과정에서 프로브의 흔들림으로 인해 이웃의 평행한 프로브와 서로 접촉되어서 합선될 확률이 매우 높다. 본 발명에서 제시한 구조에서는 인접한 프로브가 서로 평행하지 않게 되므로, 프로브의 흔들림이 있어도 이웃한 프로브와 합선될 가능성이 매우 낮아진다.

또한 본 발명의 기술에 따르면, 제2 가이드 플레이트에 있는 프로브 홀의 피치가 시험체 전극의 피치보다 더 크게 되어서 검사접촉장치가 공간변형기의 기능을 수행하게 된다. 따라서 기존의 구조에 비해서 공간변형기의 제작이 훨씬 쉬워지며, 경우에 따라서는 공간변형기가 필요 없을 수도 있다. 프로브 간의 피치가 충분히 넓어서 공간변형기가 필요 없는 경우에는, 프로브가 회로기판의 전극에 직접 연결되어 테스터에 연결된다.

도1은 종래의 검사접촉장치의 구조를 도시한 단면도,
도2는 본 발명의 기술이 적용된 예로서, 검사접촉장치의 구조를 도시한 단면도,
도3은 코브라 프로브를 이용하여 본 발명의 원리를 나타내는 개념도,
도4는 와이어 프로브를 이용하여 본 발명의 원리를 나타내는 개념도,
도5는 프로브의 각도에 따른 프로브 간 거리의 변화를 도시한 개념도,
도6은 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 배열을 도시한 평면도,
도7은 본 발명의 기술이 적용된 예로서, 프로브의 변형을 나타내는 사시도.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하도록 한다. 이하의 설명에서는 주로 반도체 웨이퍼를 검사하는 검사접촉장치를 위주로 설명할 것이나, 본 발명은 반도체 웨이퍼 검사에 국한되지 않으며, 복수 개의 수직형 프로브을 갖는 모든 검사접촉장치에 적용 가능하며, 이 또한 본 발명의 기술적 사상에 포함되는 것이 당연함을 밝혀 둔다.

도2는 본 발명의 기술이 적용된 예로서, 검사접촉장치의 구조를 도시한 단면도이다.

플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 위치 고정핀(53)이 삽입되는 위치 고정홀(13)이 1개 이상 형성되어 있으며, 시험체와 마주보는 면의 반대편 표면의 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브(51)가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀(11)이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트(10)와;

상기 제1 가이드 플레이트와 평행하게 위치하며, 위치 고정핀(53)이 삽입되는 위치 고정홀(23)이 1개 이상 형성되어 있으며, 제1 가이드 플레이트와 마주보는 면의 표면 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀(21)이 형성되어 있는 제2 가이드 플레이트(20)와;

상기 제1 가이드 플레이트와 상기 제2 가이드 플레이트 사이에 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 서로 평행하게 위치하며, 일측에 프로브가 관통하는 프로브 홀(31)이 형성되어 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 상대적 위치가 변화 가능한 중간 플레이트(30)와;

상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀에 공통으로 삽입되며, 제1 가이드 플레이트와 제2 가이드 플레이트의 상대적 위치를 고정하는 위치 고정핀(53)과;

상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 중간 플레이트에 형성된 프로브 홀에 공통으로 삽입되며, 하단부가 시험체에 접촉하게 되는 복수의 프로브(51)를 포함하여 구성되며;

상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리가 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리와 서로 다른 것을 특징으로 하는 검사접촉장치이다.

제1 가이드 플레이트와 제2 가이드 플레이트의 상대적 위치를 정확히 맞추기 위해서 각 가이드 플레이트에는 얼라인 홀이 형성될 수 있다. 얼라인 홀에 얼라인 핀을 박아서 양 쪽 가이드 플레이트의 상호 위치를 정한 다음에, 위치 고정핀을 위치 고정홀에 넣고 조여서 양 쪽 가이드 플레이트의 상호 위치를 고정하게 된다. 도2에서 얼라인 홀과 얼라인 핀은 생략하여 나타내지 않았다.

프로브가 삽입된 상태에서 중간 플레이트를 수직 방향으로 조금 이동시킴에 따라 프로브 중간부분에 벤딩을 유발시킬 수 있는데, 중간 플레이트에 의해서 모든 프로브가 한 쪽 방향으로 일정하게 벤딩되게 된다. 모든 프로브가 동일한 움직임을 갖게 되므로 이에 의해서도 프로브 간의 접촉은 크게 감소하게 된다.

이렇게 중간 플레이트는 제1 가이드 플레이트와의 상대적 위치가 변화할 수 있어야만 하기 때문에, 중간 플레이트는 상기 위치 고정핀으로 고정되어서는 안 된다. 따라서 위치 고정핀으로 인해서 중간 플레이트가 고정되지 않도록, 중간 플레이트에는 위치 고정홀이 없든지, 아니면 위치 고정홀의 내경을 위치 고정핀에 비해서 훨씬 크게 형성해야 한다.

도3은 코브라 프로브를 이용하여 본 발명의 원리를 나타내는 개념도이다. 코브라 프로브는 가운데 부분이 곡선으로 형성되어 있으며, 그림에서는 프로브에 절연성 피복이 없는 상태이다. 도3의 (a)에서는 종래의 구조에서 코브라 프로브가 배열된 상태를 나타내고 있다. x방향에서 보면, 도1에서의 프로브들처럼 모든 프로브가 서로 평행을 유지하고 있으며, 프로브 하단의 피치는 프로브 상단의 피치와 동일하다.

도3의 (b)는 본 발명의 구조가 적용되어 있다. x방향에서 보면, 도2에서의 프로브들처럼 가운데 있는 프로브를 중심으로 좌우의 프로브의 상단이 각각 +y 방향과 ?y 방향으로 일정한 거리만큼 이동되어 서로 멀어져 있다. 프로브 상단의 피치는 프로브 하단의 피치보다 넓어져 있으며, 프로브들은 서로 평행하지 않다. 프로브 상단의 피치가 넓어짐으로 인해, 프로브 간의 거리는 멀어지고, 프로브가 서로 접촉하여 합선될 가능성은 크게 낮아진다.

프로브에 절연체 피복을 입혀서 굵기가 굵은 프로브는 사용할 수 없을 정도로 프로브 간의 피치가 좁은 경우에 본 발명의 기술은 매우 유용하다. 경우에 따라서는, 본 발명의 기술을 활용하여 프로브 상단의 피치를 넓히면, 프로브 간의 접촉도 방지할 수 있는 동시에 프로브 간의 거리를 확보할 수 있으므로 피복된 굵은 프로브를 사용할 수 있게 된다. 최소의 피치를 갖는 두 개의 프로브 중에서 하나만 절연체 피복을 입히는 경우에도 절연체 피복은 매우 효과가 있다.

도4는 와이어 프로브를 이용하여 본 발명의 원리를 나타내는 개념도이다. 도4에 나타난 프로브는 전체가 전도성 물질로 이루어져 있으며, 절연성 피복이 없는 상태이다. 와이어 프로브는 조립될 때는 직선의 형태를 가지고 있으며, 중간 플레이트에 의해서 프로브의 중간부분이 벤딩되기 시작하며, 프로브가 시험체에 접촉하게 됨으로써 프로브의 벤딩량은 더욱 커지게 된다. 도4에서는 와이어 프로브가 시험체에 접촉하면서 가운데 부분이 탄성 변형된 상태를 보여주고 있다.

도4의 (a)에서는 종래의 구조에서 프로브가 배열된 상태를 나타내고 있다. x방향에서 보면, 도1에서의 프로브들처럼 모든 프로브가 서로 평행을 유지하고 있으며, 프로브 하단의 피치는 프로브 상단의 피치와 동일하다.

도4의 (b)는 본 발명의 구조가 적용되어 있다. x방향에서 보면, 도2에서의 프로브들처럼 가운데 있는 프로브를 중심으로 좌우의 프로브의 상단이 각각 +y 방향과 ?y 방향으로 일정한 거리만큼 이동되어 서로 멀어져 있다. 프로브 상단의 피치는 프로브 하단의 피치보다 넓어져 있어서 프로브 상호간의 접촉이 방지된다. 도4의 (b)에서는 x 방향으로 프로브 상단이 이동함으로 인해 인접한 프로브가 갖는 변형 곡선이 서로 겹치지 않게 된다. 프로브는 단면이 원형으로서 중간의 가장 불룩한 부분이 서로 닿기 쉬운데, 서로가 평행하지 않아서 프로브의 가장 불룩한 부분이 겹치지 않으므로 프로브가 접촉하여 합선될 가능성은 크게 낮아지게 된다.

도4와 같이 와이어 프로브의 중간 부분이 일제히 동일한 방향으로 탄성변형을 일으키기 위해서는, 상기 프로브가 삽입되는 프로브 홀이 형성되어 있는 중간 플레이트를 상기 제1 가이드 플레이트와 상기 제2 가이드 플레이트의 사이에 1장 이상 설치하는 것이 바람직하다. 중간 플레이트는 모든 프로브가 일정한 방향으로 벤딩될 수 있도록 프로브의 중간부분을 밀어주는 역할을 하게 된다. 따라서 중간 플레이트는 제1 가이드 플레이트를 기준으로 했을 때, 위치가 변화할 수 있어야 한다.

도5는 프로브의 기울어진 각도에 따른 프로브 간 거리 변화를 도시한 개념도이다. 제일 좌측에 있는 프로브는 수직인 반면에, 오른쪽으로 가면서 각각의 프로브는 수직에서 0.48도, 0.96도, 1.43도 기울어져 있다.

검사접촉장치에 많이 사용되는 6mm의 프로브를 가정하여 실제로 어느 정도까지 효과가 있는지를 계산하였다. 프로브가 수직에서 0.48도, 0.96도, 1.43도 기울어짐에 의해서 프로브의 상단은 원래의 피치에 비해서 x 방향으로 각각 50um, 100um, 150um 만큼 더 멀어질 수 있다. 프로브 간의 피치가 100um 이하로 내려가는 고집적 검사접촉장치에 있어서, 원래의 피치보다 수십um에서 수백um까지 피치를 더 넓힐 수 있는 것은, 검사접촉장치의 제작은 물론이고, 검사접촉장치와 연결되는 공간변형기의 제작에 있어서도 대단한 장점이 된다.

더하여 본 발명의 유용함은 프로브의 길이에 있다. 프로브가 수직에서 벗어나 기울어지게 되면, 양 쪽 전극이 더 멀어지므로 프로브의 길이가 더 길어져야만 한다. 즉 프로브의 길이가 모자라게 된다. 그런데, 실제로 도5에서는 프로브 상단의 피치가 50um, 100um, 150um씩 증가함에도 불구하고 프로브 길이 방향인 z 방향으로 모자라는 프로브의 길이는 0.2um, 0.8um, 1.9um에 불과하다. 즉 프로브 상단이 수평으로 150um까지 변화되었음에도 불구하고, 이로 인한 시험체 전극과 공간변형기 전극 간의 수직으로의 거리 변화는 2um 이하로서 무시할 수 있는 수준이다. 즉 프로브의 길이에서는 별다른 변화가 없어도 되므로 길이가 동일한 한 종류의 프로브로 전체 검사접촉장치를 제작할 수 있다.

이렇게 수평방향으로 프로브의 상단을 상당한 거리를 이동하는 경우에도 수직 방향으로는 큰 차이가 없게 되는 원리는 코브라 프로브, 와이어 프로브, 포고 프로브를 포함하는 모든 수직형 프로브에 동일하게 적용될 수 있다. 프로브는 x방향과 y방향으로 각각 기울일 수 있으며, 두 방향을 합쳐서 수직의 프로브에 비해서 기울어진 각도 만큼만 프로브의 길이에 영향을 주게 된다.

도6은 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 배열을 도시한 평면도이다. 도6의 (a)는 종래의 구조에서 일렬로 형성된 프로브 홀(21)을 보여준다. 도6의 (b)는 본 발명의 기술이 적용된 구조로서 제2 가이드 플레이트에 있는 프로브 홀 중 일부를 x방향으로 이동시킨 구조를 보여주고 있다.

이러한 프로브 홀의 배열에서는 기본적으로 도6의 (b)의 프로브 홀의 배열이 가지는 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리가, 도6의 (a)의 프로브 홀의 배열이 가지는 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리에 비해서 더 크기 때문에 프로브 간의 접촉이나 합선이 방지된다. 인접한 프로브 간의 접촉에 있어서, 인접한 프로브 간의 거리의 확대보다 더욱 효과적인 것은 인접한 프로브가 가지는 변형 곡선이 서로 겹치지 않는 것이다. 도6에서 프로브의 중간 부분이 탄성 변형할 때, 벤딩되는 프로브의 중간 부분이 전진하는 방향이 x 방향인 경우에, 제2 가이드 플레이트에 있는 서로 이웃한 프로브 홀 중 하나를 도6의 (b)와 같이 x방향으로 이동하면, 프로브의 변형 곡선이 서로 겹치지 않게 된다. 도6의 (b)의 구조에서는 변형하는 프로브가 서로 겹치지 않으므로, 중간 부분이 y 방향으로 흔들리는 경우에도 이웃한 프로브가 서로 접촉하지 않게 되며, 프로브의 합선이 방지된다.

도7은 본 발명의 기술이 적용된 예로서, 프로브의 변형을 나타내는 사시도이다. 제1 가이드 플레이트에 있는 프로브 홀의 배치가 도6의 (a)와 같고, 제 2 가이드 플레이트에 있는 프로브 홀의 배치는 도6의 (b)와 같으며, 중간 플레이트가 있고, 프로브가 검사체에 접촉한 상태에서 프로브가 곡선으로 탄성 변형된 상태를 보여주고 있다. 도6에서 프로브는 3개만 나타내었다.

앞서 설명한대로 제2 가이드 플레이트에 있는 프로브 홀은 이웃한 프로브 홀과 x방향으로만 서로 상대적 위치가 변화되어 있다. 이러한 x방향으로의 위치 차이로 인해서, 모든 프로브가 휘는 모습은 동일하나, 휘어진 프로브가 이웃한 프로브와 겹치지 않게 되며, 이로 인해 이웃한 프로브 간의 접촉이 방지되는 구조이다. 이렇게 프로브가 휠 때, 브로브의 중간부분이 앞으로 전진하는 방향으로 제2 가이드 플레이트에서 프로브 간의 위치를 변경시키는 것이 이웃한 프로브간의 합선을 방지하는데 효과적이다.

제2 가이드 플레이트에서 프로브 홀의 위치가 이동되면, 이에 상응하게 중간 플레이트의 프로브 홀의 위치도 이동해야만 하다. 중간 플레이트가 제1 가이드 플레이트와 제2 가이드 플레이트의 중간 지점에 있다면, 중간 플레이트에 있는 프로브 홀은 제2 가이드 플레이트의 프로브 홀이 이동한 거리의 절반을 이동시키는 것이 바람직하다.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

10 : 제1 가이드 플레이트 20 : 제2 가이드 플레이트
30 : 중간 플레이트
11, 21, 31 : 프로브 홀 13, 23 : 위치 고정홀
51 : 프로브 53 : 위치 고정핀
58, 59 : 프로브 홀 간 최소 피치

Claims (3)

1. 플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 시험체와 마주보는 면의 반대편 표면의 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트와;
   상기 제1 가이드 플레이트와 평행하게 위치하며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 제1 가이드 플레이트와 마주보는 면의 표면 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제2 가이드 플레이트와;
   상기 제1 가이드 플레이트와 상기 제2 가이드 플레이트 사이에 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 서로 평행하게 위치하며, 일측에 프로브가 관통하는 프로브 홀이 형성되어 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 상대적 위치가 변화 가능한 중간 플레이트와;
   상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀에 공통으로 삽입되며, 제1 가이드 플레이트와 제2 가이드 플레이트의 상대적 위치를 고정하는 위치 고정핀과;
   상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 중간 플레이트에 형성된 프로브 홀에 공통으로 삽입되며, 하단부가 시험체에 접촉하게 되는 복수의 프로브를 포함하여 구성되며;
   상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리가 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리와 서로 다른 것을 특징으로 하는 검사접촉장치.
   
2. 플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 시험체와 마주보는 면의 반대편 표면의 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트와;
   상기 제1 가이드 플레이트와 평행하게 위치하며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 제1 가이드 플레이트와 마주보는 면의 표면 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제2 가이드 플레이트와;
   상기 제1 가이드 플레이트와 상기 제2 가이드 플레이트 사이에 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 서로 평행하게 위치하며, 일측에 프로브가 관통하는 프로브 홀이 형성되어 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 상대적 위치가 변화 가능한 중간 플레이트와;
   상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀에 공통으로 삽입되며, 제1 가이드 플레이트와 제2 가이드 플레이트의 상대적 위치를 고정하는 위치 고정핀과;
   상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 중간 플레이트에 형성된 프로브 홀에 공통으로 삽입되며, 하단부가 시험체에 접촉하게 되는 복수의 프로브를 포함하여 구성되며;
   상기 복수의 프로브 중 적어도 하나는 인접한 다른 프로브와 평행하지 않게 설치된 것을 특징으로 하는 검사접촉장치.
   
3. 플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 시험체와 마주보는 면의 반대편 표면의 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트와;
   상기 제1 가이드 플레이트와 평행하게 위치하며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 제1 가이드 플레이트와 마주보는 면의 표면 일측에 홈이 형성되어 있고, 홈 안에는 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제2 가이드 플레이트와;
   상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀에 공통으로 삽입되며, 제1 가이드 플레이트와 제2 가이드 플레이트의 상대적 위치를 고정하는 위치 고정핀과;
   상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 중간 플레이트에 형성된 프로브 홀에 공통으로 삽입되며, 하단부가 시험체에 접촉하게 되는 복수의 코브라 프로브를 포함하여 구성되며;
   상기 복수의 코브라 프로브 중 적어도 하나는 인접한 다른 코브라 프로브와 평행하지 않게 설치된 것을 특징으로 하는 검사접촉장치.
   

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