KR102164358B1 - 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드에 관한 것으로서, 일측에 제1 삽입홀이 형성되는 상부 가이드 플레이트와, 상기 상부 가이드 플레이트의 하부에 상기 상부 가이드 플레이트와 이격되게 배치되고, 상기 제1 삽입홀과 대응되는 위치에 제2 삽입홀이 형성된 하부 가이드 플레이트와, 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트 사이에 개재되어 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트의 간격을 유지하는 갭플레이트와, 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 갭플레이트의 사이영역 또는 상기 하부 가이드 플레이트와 상기 갭플레이트의 사이영역 중 적어도 어느 한 곳에 개재되고, 상하방향으로 이동하면서 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트의 간격을 조절하는 간격조절부재 및 상기 제1 삽입홀 및 상기 제2 삽입홀에 삽입되어 상하단부가 각각 상기 상부 가이드 플레이트 및 상기 하부 가이드 플레이트의 내면 일측에 지지되고, 복수개가 미리 설정된 간격으로 이격되게 설치되는 니들유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 제공한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 니들유닛과, 가이드 플레이트 및 갭플레이트를 분해하지 않더라도 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트의 간극을 조절함으로써 니들 팁 길이조절에 소요되는 작업시간을 크게 단축시킬 수 있을 뿐 아니라 비숙련자도 니들 팁의 길이를 매우 용이하게 재조정할 수 있는 효과가 있다.

Description

니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드{Probe card having adjustable length of needle unit tip}
본 발명은 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 니들유닛과, 가이드 플레이트 및 갭플레이트를 분해하지 않더라도 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트의 간극을 조절함으로써 니들 팁 길이조절에 소요되는 작업시간을 크게 단축시킬 수 있을 뿐 아니라 비숙련자도 니들 팁의 길이를 매우 용이하게 재조정할 수 있는 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제작 공정은 웨이퍼(Wafer)상에 패턴(pattern)을 형성시키는 패브리케이션(fabrication)공정과, 웨이퍼를 구성하고 있는 각각의 칩의 전기적 특성을 검사하는 이디에스(Electrical Die Sorting:EDS)공정과, 패턴이 형성된 웨이퍼를 각각의 칩(chip)으로 조립하는 어셈블리(assembly)공정을 통해서 제조된다.
여기서 EDS공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 칩들 중에서도 불량칩을 판별하기위해 수행하는 것으로 웨이퍼를 구성하는 칩들에 전기적 신호를 인가시켜 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해서 불량을 판단하게 되는 프로브 카드라는 검사장치가 주로 사용되고 있다.
이러한 프로브 카드는 웨이퍼를 구성하는 각 칩의 패턴과 접촉되어 전기적 신호를 인가하는 다수의 니들(Needle)이 구비되는데, 통상 웨이퍼의 각 디바이스의 전극패드에 프로브 카드의 니들이 접촉되게 하면서 이 니들을 통해 특정의 전류를 통전시켜 그때 출력되는 전기적 특성을 측정한다.
이때, 프로브 카드의 니들(Needle)은 웨이퍼의 각 디바이스 검사동작 시 검사동작으로 인해 전극패드에 반복적으로 접촉되면서 물리적인 마모가 발생한다.
한편, 프로브 카드는 니들의 배치방향에 따라 크게 캔틸레버(Cantilever) 타입과, 버티컬(Vertical) 타입으로 구분될 수 있는데, 니들이 외팔보 형상으로 배치되는 캔틸레버 타입에 비해 버티컬(Vertical) 타입은 니들이 수직으로 배치됨에 따라 전극패드에 접촉되는 경우 보다 높은 핀압이 발생하여 마모률이 높은 단점이 있다.
이에 최근에는 수직형 프로브 카드에서 니들 팁이 마모된 경우 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트의 간극을 조절하여 외부로 돌출되는 니들 팁의 길이를 재조정함으로써 니들을 재사용할 수 있는 프로브 카드(한국공개특허 제2015-0140774호)가 개발되어 출원된 바 있다.
도1은 종래의 니들 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 도시한 도면이다.
도1에서 보는 바와 같이 종래의 니들 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드(100)는 상부에 다수의 제1 삽입공(111)이 형성된 상부 가이드 플레이트(110)와, 상부 가이드 플레이트(110)의 하부에 배치되고 다수의 제2 삽입공(121)이 형성된 하부 가이드 플레이트(120)와, 상부 가이드 플레이트(110)와 하부 가이드 플레이트(120) 사이에 개재되는 갭플레이트(130)와, 상부 가이드 플레이트(110)와 갭플레이트(130) 사이에 개재되는 스페이서(140)와, 상단부가 제1 삽입공(111) 내에 배치되고 하단부가 제2 삽입공(121) 내에 배치되는 니들유닛(150)으로 구성된다.
이러한 종래의 니들 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드(100)는 니들유닛(150)이 전극패드에 반복적으로 접촉하여 마모되는 경우 다수의 니들을 외부로 인출하고, 상부 가이드 플레이트(110)와, 갭플레이트(130) 및 스페이서(140)를 분리하여 이들의 결합상태를 해제한 상태에서, 스페이서(140)를 외부로 인출한 후 다시 갭플레이트(130) 및 상부 가이드 플레이트(110)를 하부 가이드 플레이트(120) 상에 차례로 결합함으로써 외부로 인출된 스페이서(140)의 두께만큼 니들의 하단부, 즉 팁(T)이 외부로 돌출되도록 하여 니들유닛(150)을 재사용하게 된다.
그러나, 종래의 니들 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드(100)는 니들유닛(150)의 팁(T) 길이를 재조정하기 위해 다수의 니들유닛(150)은 인출하고, 상부 가이드 플레이트(110)와, 갭플레이트(130) 및 스페이서(140)를 완전히 분리한 후 스페이서(140)를 외부로 인출하고, 상부 가이드 플레이트(110) 및 갭플레이트(130)를 재결합해야 함으로써 니들유닛(150)의 팁(T)의 길이조절동작에 상당한 시간이 요구될 뿐 아니라 그 작업이 매우 번거로운 문제점이 있었다.
특히, 다수의 니들유닛(150)을 인출한 후 이들을 재설치하는 과정이 모두 수작업으로 이루어지는 바 매우 많은 시간이 소요될 뿐 아니라 이들을 설치하고, 조립하는데 상당한 숙련도가 요구되는 바 숙련도에 따라 니들유닛(150)의 팁(T) 길이조절에 소요되는 작업시간이 보다 증대되거나, 일정 숙련도 이상의 작업자 외에는 작업이 불가능한 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 니들유닛과, 가이드 플레이트 및 갭플레이트를 분해하지 않더라도 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트의 간극을 조절함으로써 니들 팁 길이조절에 소요되는 작업시간을 크게 단축시킬 수 있을 뿐 아니라 비숙련자도 니들 팁의 길이를 매우 용이하게 재조정할 수 있는 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트의 간극을 조절하는 과정에서 압축되는 탄성블럭이 타 구성에 간섭되는 것을 방지하여 이에 따른 탄성블럭의 손상을 방지함과 아울러 간격조절수단을 회전하는 동작만으로 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트의 간극 조절동작이 용이하게 이루어질 수 있도록 함으로써 작업시간을 보다 단축시킬 수 있는 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 일측에 제1 삽입홀이 형성되는 상부 가이드 플레이트와, 상기 상부 가이드 플레이트의 하부에 상기 상부 가이드 플레이트와 이격되게 배치되고, 상기 제1 삽입홀과 대응되는 위치에 제2 삽입홀이 형성된 하부 가이드 플레이트와, 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트 사이에 개재되어 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트의 간격을 유지하는 갭플레이트 및 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트 중 어느 하나의 가이드 플레이트와, 상기 갭플레이트간에 결합되고, 결합을 유지한 상태에서 어느 하나의 가이드 플레이트와 상기 갭플레이트간의 간격을 조절하는 간격조절부재 및 상기 제1 삽입홀 및 상기 제2 삽입홀에 삽입되어 상하단부가 각각 상기 상부 가이드 플레이트 및 상기 하부 가이드 플레이트의 내면 일측에 지지되고, 복수개가 미리 설정된 간격으로 이격되게 설치되는 니들유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 제공한다.
그리고, 상기 간격조절부재는 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 갭플레이트의 사이영역 또는 상기 하부 가이드 플레이트와 상기 갭플레이트의 사이영역 중 적어도 어느 한 곳에 개재되는 탄성블럭 및 일측이 상기 상부 가이드 플레이트 또는 상기 하부 가이드 플레이트 중 어느 하나의 가이드 플레이트를 통과하여 상기 갭플레이트 일측에 상하방향으로 이동가능하게 결합되고, 상기 탄성블럭에 근접하는 방향으로 이동하는 경우 상기 어느 하나의 가이드 플레이트를 통해 상기 탄성블럭을 가압하여 상기 탄성블럭이 수축되도록 하는 가압수단을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 탄성블럭은 상기 가압수단과 대응되는 영역에 홀이 형성되되, 상기 홀이 형성된 내면이 상기 가압수단의 외면으로부터 이격되게 형성되는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 가압수단은 일단부가 상기 상부 가이드 플레이트 또는 상기 하부 가이드 플레이트 중 어느 하나의 가이드 플레이트를 통과하여 상기 갭플레이트의 일측에 나사결합되는 나사부 및 상기 나사부의 타단부에 상기 나사부의 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성되고, 어느 하나의 가이드 플레이트 일측에 지지되는 헤드부를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 하부 가이드 플레이트는 상기 상부 가이드 플레이트의 하방으로 이격되게 배치되고, 상기 제1 삽입홀과 대응되는 일측에 제2 삽입홀이 형성된 베이스 플레이트 및 상기 베이스 플레이트의 저면 일측으로부터 하방으로 돌출형성되고, 검사대상물의 상면 일측에 지지되는 지지돌기부를 포함하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 니들유닛과, 가이드 플레이트 및 갭플레이트를 분해하지 않더라도 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트의 간극을 조절함으로써 니들 팁 길이조절에 소요되는 작업시간을 크게 단축시킬 수 있을 뿐 아니라 비숙련자도 니들 팁의 길이를 매우 용이하게 재조정할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 본 발명은 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트의 간극을 조절하는 과정에서 압축되는 탄성블럭이 타 구성에 간섭되는 것을 방지하여 이에 따른 탄성블럭의 손상을 방지함과 아울러 간격조절수단을 회전하는 동작만으로 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트의 간극 조절동작이 용이하게 이루어질 수 있도록 함으로써 작업시간을 보다 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
도1은 종래의 니들 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 도시한 도면,
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 개략적으로 도시한 도면,
도3은 도2에 표시된 'A'의 확대도,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 니들유닛의 팁이 마모된 상태를 도시한 도면,
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 탄성블럭이 수축되는 상태를 도시하 ㄴ도면,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 탄성블럭이 압축되어 니들유닛의 팁 길이가 재조정되는 상태를 도시한 도면,
도7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 니들 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 도시한 도면.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 개략적으로 도시한 도면이고, 도3은 도2에 표시된 'A'의 확대도이다.
도2 및 도3에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드는 상부 가이드 플레이트(10)와, 하부 가이드 플레이트(20)와, 갭플레이트(30)와, 간격조절부재(40) 및 니들유닛(50)을 포함하여 구성된다.
상부 가이드 플레이트(10)는 대략 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 복수개의 제1 삽입홈이 형성되며, 후술하는 니들유닛(50)의 상단부를 지지하는 역할을 한다.
하부 가이드 플레이트(20)는 상부 가이드 플레이트(10)와 같이 대략 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 상기한 복수의 제1 삽입공(11)과 대응되는 일측에 각각 복수개의 제2 삽입공(21)이 형성되며, 상부 가이드 플레이트(10) 하방으로 일정간격 이격되게 배치되어 후술하는 니들유닛(50)의 하단부를 지지하는 역할을 한다.
갭플레이트(30)는 대략 블럭형상으로 형성되고, 상부 가이드 플레이트(10)와 하부 가이드 플레이트(20)의 사이영역 중 외주영역과 대응되는 일측에 개재되어 상부 가이드 플레이트(10)와 하부 가이드 플레이트(20)의 간격이 유지되도록 하는 역할을 한다.
간격조절부재(40)는 하부 가이드 플레이트(20)와 갭플레이트(30)의 사이영역에 개재되는 탄성블럭(41)과, 하부 가이드 플레이트(20) 및 갭플레이트(30)에 상하방향으로 이동가능하게 결합되는 가압수단(42)을 포함하여 구성되며, 하부 가이드 플레이트(20)와 갭플레이트(30)의 간격을 조절하여 외부로 노출되는 니들유닛(50)의 하단, 즉 니들 팁의 길이를 재조정하는 역할을 한다.
탄성블럭(41)은 탄성을 갖는 재질로 형성되고, 하부 가이드 플레이트(20)의 상면과 갭플레이트(30)의 저면 사이에 개재되며, 가압수단(42)에 의해 가압되는 경우 압축되면서 하부 가이드 플레이트(20)와, 갭플레이트(30)의 간격을 조절, 다시 말하면 하부 가이드 플레이트(20)와 상부 가이드 플레이트(10)의 간격이 줄어들도록 함으로써 니들 팁의 길이가 재조정되도록 하는 역할을 한다.
이러한 탄성블럭(41)은 앞서 설명한 바와 같이 탄성을 갖고, 가압수단(42)에 의해 가압되는 경우 압축되면서 하부 가이드 플레이트(20)와 갭플레이트(30)의 간격이 조절될 수 있도록 하는 재질이면 어느 것이든 적용이 가능하다.
일예로, 탄성블럭(41)은 판스프링, 코일스프링, 고무블럭 등이 사용될 수 있는데, 본 실시예에서는 탄성의 고무블럭이 사용된다.
나아가, 탄성블럭(41)은 연성을 갖는 메탈재질의 블럭형상으로도 형성될 수 있는데, 이러한 연성의 메탈블럭은 후술하는 가압수단(42)에 의해 외력이 가해지는 경우 연성특성에 의해 수축될 수 있다.
한편, 탄성블럭(41)은 일측에 가압수단(42)의 나사부(42a)가 통과하는 홀(41a)이 형성되되, 홀(41a)의 직경이 가압수단(42)의 나사부(42a) 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성되는데, 이는 탄성블럭(41)이 압축되어 그 부피가 양측방향으로 늘어나는 경우 탄성블럭(41)의 일측이 가압수단(42)의 나사부(42a)에 접촉되어 탄성블럭(41)이 손상되거나 나사부(42a)의 이동동작에 간섭되는 것을 미연에 방지함으로써 탄성블럭(41)의 수명을 향상시키고, 가압수단(42)의 조작이 용이하게 이루어질 수 있도록 하기 위함이다.
가압수단(42)은 상단부가 하부 가이드 플레이트(20)의 일측을 통과하여 갭플레이트(30)의 저면 일측에 나사결합되는 나사부(42a)와, 나사부(42a)의 하단부에 나사부(42a)의 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성되어 하부 가이드 플레이트(20)의 일측에 지지되는 헤드부(42b)를 포함하여 구성되며, 회전조작에 따라 상하방향으로 이동되되, 상방으로 이동되는 경우 하부 가이드 플레이트(20)를 상방으로 가압하여 하부 가이드 플레이트(20)가 상방으로 이동하면서 탄성블럭(41)을 가압, 압축할 수 있도록 하는 역할을 한다.
니들유닛(50)은 대략 막대형상으로 형성되고, 제1 삽입공(11) 및 제2 삽입공(21)에 차례로 삽입되어 상단부가 제1 삽입공(11)이 형성된 상부 가이드 플레이트(10)의 내면 일측에 지지됨과 아울러 하단부가 제2 삽입공(21)이 형성된 하부 가이드 플레이트(20)의 내면 일측에 지지되어 수직하게 배치된다.
이러한 니들유닛(50)은 하단부, 즉 팁(T)이 검사하고자 하는 전극패드에 접촉하는 경우 전극패드로부터 신호를 전달받아 상부에 연결된 공간변환기를 통해 외부의 테스터기로 전달하는 역할을 한다.
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 니들유닛의 팁이 마모된 상태를 도시한 도면이고, 도5는 본 발명의 일실시예에 따른 탄성블럭이 수축되는 상태를 도시하 ㄴ도면이며, 도6은 본 발명의 일실시예에 따른 탄성블럭이 압축되어 니들유닛의 팁 길이가 재조정되는 상태를 도시한 도면이다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드의 동작을 첨부된 도4 내지 도6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 검사대상물의 검사공정에 따라 니들유닛(50)의 팁(T)이 검사대상물의 전극패드에 반복적으로 접촉되는 경우 니들유닛(50)과 전극패드간 마찰에 의해 니들유닛(50)의 팁(T)이 점차 마모된다.
이에 니들유닛(50)의 팁(T)이 도4에 표시된 m 길이만큼 마모되어 검사작업이 어렵다고 판단되는 경우 니들유닛(50)의 팁(T) 길이를 재조정하게 된다.
이에 작업자가 가압수단(42)을 회전조작하면, 가압수단(42)이 상방으로 이동되고, 가압수단(42)의 헤드부(42b)가 지지된 하부 가이드 플레이트(20)가 상방으로 동반 이동되면서 탄성블럭(41)을 상방으로 가압한다.
하부 가이드 플레이트(20)에 의해 가압되는 탄성블럭(41)은 상하방향으로 압축되며, 그 부피가 양측방향으로 늘어나게 되는데, 본 실시예에서는 탄성블럭(41)과 가압수단(42)의 나사부(42a)간 간극이 제공되므로 탄성블럭(41)의 부피가 양측방향으로 늘어나더라도 탄성블럭(41)이 나사부(42a)에 간섭되지 않아 탄성블럭(41)으로 인한 나사부(42a)의 동작불량을 미연에 방지할 수 있다.
이와 같이 하부 가이드 플레이트(20)가 상방으로 이동됨과 동시에 탄성블럭(41)이 압축되어 하부 가이드 플레이트(20)와 상부 가이드 플레이트(10)의 이격거리가 짧아지게 되고, 니들유닛(50)의 상단부가 상부 가이드 플레이트(10)의 내면 일측에 고정지지된 상태에서 하부 가이드 플레이트(20)와 상부 가이드 플레이트(10)의 이격거리가 짧아짐에 따라 니들유닛(50)의 팁(T)이 외부로 보다 돌출된다.
작업자는 가압수단(42)의 회전량을 조절함으로써 외부로 노출되는 니들유닛(50)의 팁(T) 길이를 조절하여 팁(T)의 길이를 재조정한다.
상기한 바와 같이 본 실시예에 따른 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드는 다수의 니들과, 가이드 플레이트 및 갭플레이트(30)의 분해없이 가압수단(42)을 회전조작하는 것만으로 팁(T)의 길이를 재조정할 수 있어 숙련도가 요구되지 않으면서도 작업시간을 크게 단축시킬 수 있는 특징을 갖는다.
또한, 본 실시예는 제작된 니들유닛(50) 팁(T)의 평탄도에 따라 가압수단(42)을 통해 하부 가이드 플레이트(20)의 평탄도를 미세조정하여 검사 신뢰도를 보다 향상시킬 수 있을 뿐 아니라 이미 프로브 카드(1)의 조립이 완료된 상태에서도 니들유닛(50) 팁(T)의 길이를 자유롭게 조절할 수 있는 특징이 있다.
한편, 본 실시예에서는 간격조절부재(40)가 하부 가이드 플레이트(20)와 갭플레이트(30) 사이에 설치되는 것으로 설명하고 있으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 도6에서 보는 바와 같이 간격조절부재(40)가 상부 가이드 플레이트(10)와 갭플레이트(30) 사이에 추가로 설치되어 니들유닛(50) 팁(T)의 길이를 본 실시예 대비 2배로 재조정가능하게 형성할 수 있다.
도7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 니들 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드를 도시한 도면이다.
도7 실시예의 기본적인 구성은 도2 내지 도6의 실시예와 동일하나, 검사대상물 검사시 검사대상물의 일측을 가압하여 검사대상물의 뒤틀림을 방지하면서 탄성블럭(41)의 탄성력을 이용하여 전극패드에 접촉되는 니들유닛(50)의 접촉동작이 보다 안정적으로 이루어질 수 있는 구조로 형성된 것이다.
도7에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 하부 가이드 플레이트(20')는 베이스 플레이트(21')와, 베이스 플레이트(21')의 저면에 하방으로 돌출형성되는 지지돌기부(22')를 포함하여 구성된다.
여기서, 지지돌기부(22')는 검사대상물의 검사를 위해 프로브 카드(1)가 하방으로 이동되는 경우 검사대상물의 상면 일측을 가압함으로써 검사대상물의 뒤틀림을 방지함과 아울러 베이스 플레이트(21')의 저면에 단차를 형성하여 검사대상물 상면에 잔존하는 이물질이 베이스 플레이트(21')의 저면에 부착되는 것을 방지하는 역할을 한다.
한편, 본 실시예에서는 지지돌기부(22')가 검사대상물의 상면을 가압하는 경우 그 반발력에 의해 베이스 플레이트(21')가 상방으로 이동되고, 베이스 플레이트(21')와 갭플레이트(30) 사이에 개재된 탄성블럭(41)이 수축되는 바 지지돌기부(22')가 검사대상물의 상면을 안정적으로 가압할 수 있으면서도 지지돌기부(22')의 가압력에 의해 검사대상물이 손상되는 것을 방지할 수 있는 특징을 갖는다.
그 외의 구조는 전술한 기본 실시예와 동일하므로 나머지 설명은 생략하기로 한다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
10 : 상부 가이드 플레이트 11 : 제1 삽입공
20 : 하부 가이드 플레이트 21 : 제2 삽입공
20' : 하부 가이드 플레이트 21' : 베이스 플레이트
22' : 지지돌기부 30 : 갭플레이트
40 : 간격조절부재 41 : 탄성블럭
41a : 홀 42 : 가압수단
42a : 나사부 42b : 헤드부
50 : 니들유닛

Claims (5)

  1. 일측에 제1 삽입홀이 형성되는 상부 가이드 플레이트와;
    상기 상부 가이드 플레이트의 하부에 상기 상부 가이드 플레이트와 이격되게 배치되고, 상기 제1 삽입홀과 대응되는 위치에 제2 삽입홀이 형성된 하부 가이드 플레이트와;
    상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트 사이에 개재되어 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트의 간격을 유지하는 갭플레이트; 및
    상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트 중 어느 하나의 가이드 플레이트와, 상기 갭플레이트간에 결합되고, 결합을 유지한 상태에서 어느 하나의 가이드 플레이트와 상기 갭플레이트간의 간격을 조절하는 간격조절부재; 및
    상기 제1 삽입홀 및 상기 제2 삽입홀에 삽입되어 상하단부가 각각 상기 상부 가이드 플레이트 및 상기 하부 가이드 플레이트의 내면 일측에 지지되고, 복수개가 미리 설정된 간격으로 이격되게 설치되는 니들유닛을 포함하되,
    상기 간격조절부재는
    상기 상부 가이드 플레이트와 상기 갭플레이트의 사이영역 또는 상기 하부 가이드 플레이트와 상기 갭플레이트의 사이영역 중 적어도 어느 한 곳에 개재되는 탄성블럭; 및
    일측이 상기 상부 가이드 플레이트 또는 상기 하부 가이드 플레이트 중 어느 하나의 가이드 플레이트를 통과하여 상기 갭플레이트 일측에 상하방향으로 이동가능하게 결합되고, 상기 탄성블럭에 근접하는 방향으로 이동하는 경우 상기 어느 하나의 가이드 플레이트를 통해 상기 탄성블럭을 가압하여 상기 탄성블럭이 수축되도록 하는 가압수단을 포함하며,
    상기 하부 가이드 플레이트는
    상기 상부 가이드 플레이트의 하방으로 이격되게 배치되고, 상기 제1 삽입홀과 대응되는 일측에 제2 삽입홀이 형성된 베이스 플레이트; 및
    상기 베이스 플레이트의 저면 일측으로부터 하방으로 돌출형성되고, 검사대상물의 상면 일측에 지지되는 지지돌기부를 포함하는 것을 특징으로 하는 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 탄성블럭은 상기 가압수단과 대응되는 영역에 홀이 형성되되, 상기 홀이 형성된 내면이 상기 가압수단의 외면으로부터 이격되게 형성되는 것을 특징으로 하는 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가압수단은
    일단부가 상기 상부 가이드 플레이트 또는 상기 하부 가이드 플레이트 중 어느 하나의 가이드 플레이트를 통과하여 상기 갭플레이트의 일측에 나사결합되는 나사부; 및
    상기 나사부의 타단부에 상기 나사부의 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성되고, 어느 하나의 가이드 플레이트 일측에 지지되는 헤드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 니들유닛의 팁 길이조절이 가능한 프로브 카드.
  5. 삭제
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102260983B1 (ko) * 2021-04-16 2021-06-04 윌테크놀러지(주) 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들
KR102285752B1 (ko) * 2021-06-30 2021-08-04 윌테크놀러지(주) 스크럽 제어가 가능한 수직형 프로브 카드용 멀티 니들
KR102450658B1 (ko) 2022-09-01 2022-10-06 윌테크놀러지(주) 니들유닛의 팁 길이조절이 용이한 니들블럭
KR102475883B1 (ko) * 2022-11-09 2022-12-08 윌테크놀러지(주) 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭
WO2023210895A1 (ko) * 2022-04-27 2023-11-02 (주)티에스이 프로브의 돌출길이가 조정되는 프로브 헤드
WO2023210894A1 (ko) * 2022-04-27 2023-11-02 (주)티에스이 프로브의 돌출길이가 조정되는 프로브 헤드

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110088442A (ko) * 2010-01-26 2011-08-03 리노공업주식회사 프로브 카드 및 반도체 디바이스 테스트 소켓
JP2015184283A (ja) * 2014-03-25 2015-10-22 旺▲夕▼科技股▲分▼有限公司 垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部
JP2016008948A (ja) * 2014-06-26 2016-01-18 日本電子材料株式会社 プローブカード
KR20160091557A (ko) * 2015-01-25 2016-08-03 김일 공간변형기능을 가진 검사접촉장치
KR101669591B1 (ko) * 2016-08-04 2016-10-28 주식회사 프로이천 프로브 카드
KR20180052314A (ko) * 2016-11-10 2018-05-18 윌테크놀러지(주) 스크럽 현상이 저감된 수직형 프로브 카드용 니들유닛 및 이를 이용한 프로브 카드
KR101913355B1 (ko) * 2017-09-19 2018-12-28 윌테크놀러지(주) 미세피치 대응이 가능한 수직형 프로브 카드용 니들유닛 및 이를 이용한 프로브 카드
KR20190034502A (ko) * 2016-07-28 2019-04-02 테크노프로브 에스.피.에이. 전자 장치를 위한 프로브 카드

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110088442A (ko) * 2010-01-26 2011-08-03 리노공업주식회사 프로브 카드 및 반도체 디바이스 테스트 소켓
KR20120095335A (ko) * 2010-01-26 2012-08-28 리노공업주식회사 프로브 카드 및 반도체 디바이스 테스트 소켓
JP2015184283A (ja) * 2014-03-25 2015-10-22 旺▲夕▼科技股▲分▼有限公司 垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部
JP2016008948A (ja) * 2014-06-26 2016-01-18 日本電子材料株式会社 プローブカード
KR20160091557A (ko) * 2015-01-25 2016-08-03 김일 공간변형기능을 가진 검사접촉장치
KR20190034502A (ko) * 2016-07-28 2019-04-02 테크노프로브 에스.피.에이. 전자 장치를 위한 프로브 카드
KR101669591B1 (ko) * 2016-08-04 2016-10-28 주식회사 프로이천 프로브 카드
KR20180052314A (ko) * 2016-11-10 2018-05-18 윌테크놀러지(주) 스크럽 현상이 저감된 수직형 프로브 카드용 니들유닛 및 이를 이용한 프로브 카드
KR101913355B1 (ko) * 2017-09-19 2018-12-28 윌테크놀러지(주) 미세피치 대응이 가능한 수직형 프로브 카드용 니들유닛 및 이를 이용한 프로브 카드

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102260983B1 (ko) * 2021-04-16 2021-06-04 윌테크놀러지(주) 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들
KR102285752B1 (ko) * 2021-06-30 2021-08-04 윌테크놀러지(주) 스크럽 제어가 가능한 수직형 프로브 카드용 멀티 니들
WO2023210895A1 (ko) * 2022-04-27 2023-11-02 (주)티에스이 프로브의 돌출길이가 조정되는 프로브 헤드
WO2023210894A1 (ko) * 2022-04-27 2023-11-02 (주)티에스이 프로브의 돌출길이가 조정되는 프로브 헤드
KR102450658B1 (ko) 2022-09-01 2022-10-06 윌테크놀러지(주) 니들유닛의 팁 길이조절이 용이한 니들블럭
KR102475883B1 (ko) * 2022-11-09 2022-12-08 윌테크놀러지(주) 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭

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