JP2012088122A - 絶縁被覆プローブピン及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁被覆プローブピン10は、導電体のプローブピン11と、その検出端側の部分が露出するように外周を被覆する絶縁被覆12とを備える。絶縁被覆12は、プローブピン11の検出端側の端部12aが全周に渡って接続端側の端部よりも厚肉に形成されている。
【選択図】図1
Description
上記絶縁被覆は、上記プローブピンの検出端側の端部が全周に渡って接続端側の端部よりも厚肉に形成されている。
電着液の入った孔を有する電極を用い、該電極の孔内の電着液に、導電体のプローブピンを、その接続端側から所定長浸漬した後、該電極と該プローブピンとの間で通電を行うものである。
図1は本実施形態に係る絶縁被覆プローブピン10を示す。図1に示す本実施形態に係る絶縁被覆プローブピン10において、左側が検出端側及び右側が接続端側である。図2(a)は図1におけるIIA−IIAの部分の横断面を示し、図2(b)は図1におけるIIB−IIBの部分の横断面を示す。図3は図1におけるIII-IIIの部分の縦断面を示す。本実施形態に係る絶縁被覆プローブピン10は、例えば回路基板や半導体素子等を検査する際に用いられるプローバに取り付けられる部品である。
本実施形態に係る絶縁被覆プローブピン10は、プローブピン11を準備し、それに以下に説明する電着塗装を施すことにより製造することができる。
11 プローブピン
12 絶縁被覆
12a 検出端側の端部
12b 接続端側の端部
12’ 被覆膜
20 電着塗装装置
21 電着液槽
22 ブロック状電極
22a 円筒孔
23 ピン把持部材
23a 部材本体
23b 挟持板
L 電着液
Claims (4)
- 導電体のプローブピンと、該プローブピンの検出端側の部分が露出するように該プローブピンの外周を被覆する絶縁被覆と、を備えた絶縁被覆プローブピンであって、
上記絶縁被覆は、上記プローブピンの検出端側の端部が全周に渡って接続端側の端部よりも厚肉に形成されている絶縁被覆プローブピン。 - 請求項1に記載された絶縁被覆プローブピンにおいて、
上記絶縁被覆は、上記検出端側の端部から上記プローブピンの接続端側に向かって漸次薄肉となってテーパ状に形成されている部分を有する絶縁被覆プローブピン。 - 導電体のプローブピンと、該プローブピンの検出端側の部分が露出するように該プローブピンの外周を被覆する絶縁被覆と、を備えた絶縁被覆プローブピンの製造方法であって、
電着液の入った孔を有する電極を用い、該電極の孔内の電着液に、導電体のプローブピンを、その接続端側から所定長浸漬した後、該電極と該プローブピンとの間で通電を行う絶縁被覆プローブピンの製造方法。 - 請求項3に記載された絶縁被覆プローブピンの製造方法において、
上記電極には複数の孔が並列に並ぶように設けられており、該電極の該複数の孔のそれぞれの内の電着液にプローブピンの接続端側から所定長を浸漬する絶縁被覆プローブピンの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010233920A JP2012088122A (ja) | 2010-10-18 | 2010-10-18 | 絶縁被覆プローブピン及びその製造方法 |
TW100137275A TW201221967A (en) | 2010-10-18 | 2011-10-14 | Insulating coating probe pin and manufacturing method thereof |
US13/274,676 US20120091999A1 (en) | 2010-10-18 | 2011-10-17 | Insulated probe pin and method for fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010233920A JP2012088122A (ja) | 2010-10-18 | 2010-10-18 | 絶縁被覆プローブピン及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012088122A true JP2012088122A (ja) | 2012-05-10 |
Family
ID=45933593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010233920A Pending JP2012088122A (ja) | 2010-10-18 | 2010-10-18 | 絶縁被覆プローブピン及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120091999A1 (ja) |
JP (1) | JP2012088122A (ja) |
TW (1) | TW201221967A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140000561A (ko) * | 2012-06-25 | 2014-01-03 | 주식회사 세디콘 | 프로브 카드 |
TWI783074B (zh) * | 2017-11-09 | 2022-11-11 | 義大利商探針科技公司 | 用於測試高頻裝置的測試頭的接觸探針 |
CN114404675B (zh) * | 2022-01-28 | 2023-04-07 | 上海派拉纶生物技术股份有限公司 | 一种医用针绝缘防护生物相容性涂层 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH01168895A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-07-04 | Fujikura Ltd | ホーローパイプの製造法 |
JP3038114U (ja) * | 1996-11-22 | 1997-06-06 | 日本電子材料株式会社 | 絶縁性被膜付きプローブ及びこれを用いたプローブカード |
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-
2010
- 2010-10-18 JP JP2010233920A patent/JP2012088122A/ja active Pending
-
2011
- 2011-10-14 TW TW100137275A patent/TW201221967A/zh unknown
- 2011-10-17 US US13/274,676 patent/US20120091999A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201221967A (en) | 2012-06-01 |
US20120091999A1 (en) | 2012-04-19 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A02 | Decision of refusal |
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