JP2008096293A - 検査用接触子の製造方法、検査用接触子、検査用治具及び検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】煩雑な工程を経ることなく、検査用接触子を所望する形状に加工することができるとともに簡単に大量の検査用接触子を製造することができる検査用接触子の製造方法を提供する。
【解決手段】検査対象物に接触して検査対象物の電気的特性を検出するための検査用接触子（１）を電解研磨により製造する検査用接触子の製造方法であって、線状に形成される線材（１１）と、電解研磨に対する耐性を有する素材により形成され、線材の所定部位の表面を被覆する被覆部（１２）とを有する検査用接触子（１）を、電解液に浸漬して電解研磨するようになっている。
【選択図】図６

Description

本発明は、電解研磨を用いて製造される検査用接触子、検査用接触子の製造方法及びその関連技術に関するものである。

尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用できる。また、本発明に係る検査用接触子は、ウェハやLSIチップと呼ばれる半導体素子の電気的特性を測定するための電気的接触子に適用できる。

本明細書中では、これら検査可能な種々の基板や半導体素子を総称して検査対象物とする。

従来、検査対象物の電気的特性を検査して、検査対象物の良品又は不良品の検査を行うために利用される検査用接触子に関する発明が数多く提案されている。

このような検査用接触子は、一般的に、芯材としてタングステン（W）やレニウムタングステン（Re-W）が使用され、この芯材の表面にめっき層が積層されたり、更にこのめっき層の所定部位に絶縁層が被覆されたりして形成されている。

例えば、特許文献１に開示される従来のカンチレバー方式のプローブカード用の検査用接触子では、タングステンで形成された金属体（針本体）の表面上に、順次、非酸化性金属膜の下地層として電気メッキ法によって形成されたニッケル（Ni）下地めっき層と、非酸化性金属膜として設けられた白金族金属層、例えばロジウム（Rh）層とが形成されている。

このように形成することによって、この検査用接触子は、電極とのコンタクト回数が多くなっても、先端部を研磨することなく検査用接触子と電極との接触抵抗値の変動を抑えることを提案している。

また、一方で、電解研磨を利用して探針を製造する方法が提案されている。特許文献２に記載される製造方法では、STM用探針作製用のタングステン線の一端を電解液中に浸漬させて、境界となる電解液面を利用して交流電解研磨することで、探針の先端部を鋭利に加工している。
特開２００２−１３１３３４号公報 特開２００１−７４６３４号公報

しかしながら、特許文献１に開示される検査用接触子では、丸棒状の金属材（芯材）にテーパー加工を施し、次いで屈曲加工を施し、基板本体に固定した後、高さ調整のために先端部を研磨して洗浄した芯材の表面にニッケル下地めっき層を被覆し、そのニッケル下地めっき層の上から白金族金属層を積層させている。よって、検査用接触子の形状は芯材の形状をほぼそのまま反映したものとなっている。

このため、検査用接触子の形状を加工するためには、芯材の形状を予め加工する必要があった。また、従来のカンチレバー方式のプローブカードとして芯材群を組み立て後に、プローブカード毎のめっき処理で煩雑な工程を経る必要があった。

また、このような加工工程を経ることにより製造される検査用接触子は、一本一本の加工が煩雑であるため、検査用接触子を大量に製造することが困難な問題を有していた。

一方、特許文献２に開示されるSTM用の探針は、探針の先端形状を10ｎｍ以下の小さい先端湾曲半径を有するように形成することはできるが、電解液面を利用してその先端形状しか加工できない問題点を有していた。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、煩雑な工程を経ることなく、検査用接触子を所望する形状に加工することができるとともに簡単に大量の検査用接触子を製造することができる検査用接触子の製造方法を提供する。

上記の課題を解決するため、請求項１の発明では、検査対象物に接触して検査対象物の電気的特性を検出するための検査用接触子を電解研磨により製造する検査用接触子の製造方法であって、線状に形成される線材と、電解研磨に対する耐性を有する素材により形成され、線材の所定部位の表面を被覆する被覆部とを有する検査用接触子を、電解液に浸漬して電解研磨する。

また、請求項２の発明では、請求項１の発明に係る検査用接触子の製造方法において、前記検査用接触子の前記被覆部は、前記線材の表面のうちの少なくとも周面の全体を覆うように形成された後、前記所定部位以外に位置する部分が除去されて形成される。

また、請求項３の発明では、請求項１又は請求項２の発明に係る検査用接触子の製造方法において、前記検査用接触子の先端部は、電解研磨が施される前に、物理的作用により研磨する物理的研磨により所定形状に加工されている。

また、請求項４の発明では、請求項１ないし請求項３のいずれかの発明に係る検査用接触子の製造方法において、前記被覆部は、完成品である前記検査用接触子の一部を構成する。

また、請求項５の発明では、請求項１ないし請求項４のいずれかの発明に係る検査用接触子の製造方法において、前記被覆部は金属めっきにより形成される。

また、請求項６の発明では、請求項１ないし請求項４のいずれかの発明に係る検査用接触子の製造方法において、前記被覆部は樹脂により形成される。

また、請求項７の発明では、検査対象物に接触して検査対象物の電気的特性を検出するための検査用接触子であって、線状に形成される線材と、電解研磨に対する耐性を有する素材により形成され、線材の所定部位の表面を被覆する被覆部とを有し、電解液に浸漬して電解研磨されている。

また、請求項８の発明では、検査対象物に接触して検査対象物の電気的特性を検出するための検査用接触子であって、線状の芯部を備え、前記芯部は、電解研磨された研磨部と、電解研磨に対する耐性を有する素材により形成された非研磨部とを有する。

また、請求項９の発明では、検査対象物に接触して検査対象物の電気的特性を検出するための検査用接触子であって、線状に形成される線材と、電解研磨に対する耐性を有する素材により形成され、線材の所定部位の表面を被覆する被覆部とを備え、電解液に浸漬されて電解研磨されることにより、前記被覆部が設けられる部分の前記線材の直径が、前記被覆部が設けられない部分の前記線材の直径よりも大きい。

また、請求項１０の発明では、請求項７ないし請求項９のいずれかの発明に係る検査用接触子において、前記検査用接触子の先端は、電解研磨前に、物理的作用により研磨する物理的研磨により所定形状に加工されている。

また、請求項１１の発明では、請求項７ないし請求項１０のいずれかの発明に係る検査用接触子において、前記被覆部は金属めっきにより形成される。

また、請求項１２の発明では、請求項７ないし請求項１０のいずれかの発明に係る検査用接触子において、前記被覆部は樹脂により形成される。

また、請求項１３の発明では、請求項７ないし請求項１２のいずれかの発明に係る検査用接触子と、前記検査用接触子の一端を前記検査対象物の検査点へ案内するとともに、該検査用接触子の他端を前記検査対象物を検査する検査装置の電極部へ案内して保持する保持体とを有する。

また、請求項１４の発明では、請求項１３の発明に係る検査用治具と、前記検査用治具の検査用接触子から検出される検出信号を基に前記検査対象物の電気的特性を検出する検査部とを有する。

請求項１に記載の発明によれば、検査用接触子の線材に被覆部を設け、この検査用接触子を電解研磨するための電解液に浸漬する検査用接触子の製造方法であるので、線材の被覆部で覆われていない部分は電解研磨される一方、線材の被覆部で覆われた部分は電解研磨されないので、電解研磨により検査用接触子を所望の形状に加工することができるとともに、滑らかな研磨面が得られるので表面仕上げも不要である。その結果、煩雑な工程を経ることなく、検査用接触子を所望する形状に加工することができるとともに簡単に大量の検査用接触子を製造することができる。

また、研磨量の制御が容易な電解研磨により検査用接触子を成形するため、完成品である検査用接触子の形状及び電気的特性（例えば、電気抵抗値）を安定させることができ、高品質の検査用接触子が得られる。

また、電解研磨により検査用接触子の先端部の表面を滑らかにすることができるため、検査対象物の検査点との接触時に、検査用接触子の先端部にハンダや端子材料等が付着しにくくできるとともに、仮に付着しても付着物を自然に剥離しやすくすることができる。それ故、検査用接触子の先端部の表面を良好な状態で検査点に接触させることができ、検査の信頼性を向上させることができる。

請求項２に記載の発明によれば、検査用接触子の被覆部は、線材の表面のうちの少なくとも周面の全体を覆うように形成された後、所定部位以外に位置する部分が除去されて形成されるため、被覆部を容易に形成することができ、検査用接触子の形状形成も容易となる。

請求項３に記載の発明によれば、電解研磨の施す前に、検査用接触子の先端部が物理的研磨により所定形状に加工されるため、検査用接触子の先端部の形状をより容易に所望の形状に仕上げることができる。

請求項４に記載の発明によれば、被覆部は電解研磨用マスクとして利用されるとともに、完成品である検査用接触子の一部を構成するようになっているため、電解研磨後に被覆部を除去する必要がなく、製造工程の簡略化が図れるとともに、被覆部の材料を選択することにより、被覆部による種々の付加的な機能が得られる。

請求項５に記載の発明によれば、被覆部が金属めっきにより形成されているため、被覆部を絶縁材料により形成する場合に比して検査用接触子の電気抵抗を小さくすることができる。例えば、検査用接触子の後端部を検査装置側の電極部に接続する際の接触抵抗も小さくすることができる。

また、樹脂により被覆部を形成する処理に比してめっき処理の方が簡単であるとともに、樹脂被覆のように表面に凹凸が生じることがなく、滑らかな表面が得られる。

請求項６に記載の発明によれば、被覆部が樹脂により形成されているため、検査用接触子の被覆部で覆われた部分が絶縁性になる。それ故、検査用接触子を密集配置した際等に被覆部１２により検査用接触子同士の絶縁確保が図れる。

請求項７に記載の発明によれば、研磨量の制御が容易な電解研磨により検査用接触子を成形するため、完成品である検査用接触子の形状及び電気的特性（例えば、電気抵抗値）を安定させることができ、高品質の検査用接触子が得られる。

また、電解研磨により検査用接触子の先端部の表面を滑らかにすることができるため、検査対象物の検査点との接触時に、検査用接触子の先端部にハンダや端子材料等が付着しにくくできるとともに、仮に付着しても付着物を自然に剥離しやすくすることができる。それ故、検査用接触子の先端部の表面を良好な状態で検査点に接触させることができ、検査の信頼性を向上させることができる。

また、検査用接触子を電解液に浸漬して電解研磨を行うことにより、検査用接触子を所望の形状に加工することができるとともに、滑らかな研磨面が得られるので表面仕上げも不要である。その結果、煩雑な工程を経ることなく、検査用接触子を所望する形状に加工することができるとともに簡単に大量の検査用接触子を製造することができる。

また、被覆部は電解研磨用マスクとして利用されるとともに、完成品である検査用接触子の一部を構成するようになっているため、電解研磨後に被覆部を除去する必要がなく、製造工程の簡略化が図れるとともに、被覆部の材料を選択することにより、被覆部による種々の付加的な機能が得られる。

請求項８に記載の発明によれば、研磨量の制御が容易な電解研磨により検査用接触子を成形するため、完成品である検査用接触子の形状及び電気的特性（例えば、電気抵抗値）を安定させることができ、高品質の検査用接触子が得られる。

また、電解研磨により検査用接触子の先端部の表面を滑らかにすることができるため、検査対象物の検査点との接触時に、検査用接触子の先端部にハンダや端子材料等が付着しにくくできるとともに、仮に付着しても付着物を自然に剥離しやすくすることができる。それ故、検査用接触子の先端部の表面を良好な状態で検査点に接触させることができ、検査の信頼性を向上させることができる。

また、検査用接触子を電解液に浸漬して電解研磨を行うことにより、検査用接触子を所望の形状に加工することができるとともに、滑らかな研磨面が得られるので表面仕上げも不要である。その結果、煩雑な工程を経ることなく、検査用接触子を所望する形状に加工することができるとともに簡単に大量の検査用接触子を製造することができる。

また、非研磨部は完成品である検査用接触子の一部を構成しているため、電解研磨後に非研磨部を除去する必要がなく、製造工程の簡略化が図れるとともに、非研磨部の材料を選択することにより、非研磨部による種々の付加的な機能が得られる。

請求項９に記載の発明によれば、研磨量の制御が容易な電解研磨により検査用接触子を成形するため、完成品である検査用接触子の形状及び電気的特性（例えば、電気抵抗値）を安定させることができ、高品質の検査用接触子が得られる。

また、電解研磨により検査用接触子の先端部の表面を滑らかにすることができるため、検査対象物の検査点との接触時に、検査用接触子の先端部にハンダや端子材料等が付着しにくくできるとともに、仮に付着しても付着物を自然に剥離しやすくすることができる。それ故、検査用接触子の先端部の表面を良好な状態で検査点に接触させることができ、検査の信頼性を向上させることができる。

また、検査用接触子を電解液に浸漬して電解研磨を行うことにより、検査用接触子を所望の形状に加工することができるとともに、滑らかな研磨面が得られるので表面仕上げも不要である。その結果、煩雑な工程を経ることなく、検査用接触子を所望する形状に加工することができるとともに簡単に大量の検査用接触子を製造することができる。

また、被覆部は完成品である検査用接触子の一部を構成しているため、電解研磨後に非被覆部を除去する必要がなく、製造工程の簡略化が図れるとともに、被覆部の材料を選択することにより、被覆部による種々の付加的な機能が得られる。

請求項１０に記載の発明によれば、電解研磨の施す前に、検査用接触子の先端部が物理的研磨により所定形状に加工されているため、検査用接触子の先端部の形状をより容易に所望の形状に仕上げることができる。

請求項１１に記載の発明によれば、被覆部が金属めっきにより形成されているため、被覆部を絶縁材料により形成する場合に比して検査用接触子の電気抵抗を小さくすることができる。例えば、検査用接触子の後端部を検査装置側の電極部に接続する際の接触抵抗も小さくすることができる。

また、樹脂により被覆部を形成する処理に比してめっき処理の方が簡単であるとともに、樹脂被覆のように表面に凹凸が生じることがなく、滑らかな表面が得られる。

請求項１２に記載の発明によれば、被覆部が樹脂により形成されているため、検査用接触子の被覆部で覆われた部分が絶縁性になる。それ故、検査用接触子を密集配置した際等に被覆部１２により検査用接触子同士の絶縁確保が図れる。

請求項１３及び請求項１４に記載の発明によれば、請求項７ないし請求項１２のいずれかに記載の検査用接触子を用いることで、安価で高性能の検査用治具及び検査装置を提供できる。

本発明を実施するための最良の形態を説明する。

先ず、本発明の一実施形態に係る検査用接触子の製造方法を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る検査用接触子の製造方法のフローチャートである。

本発明の検査用接触子の製造方法は、検査用接触子の線材の表面全体を被覆材で覆った後、所定部位の被覆材を芯線部から除去する。次いで、所定部位の被覆部が除去された検査用接触子を、電解研磨を行うために電解液に浸漬させる。そして、所定条件下で電解研磨を実施した後、電解液から引き上げて洗浄する。そうすることにより、所望する形状を有する検査用接触子が形成されるとともに、被覆部が施されていない芯線部は滑らかに研磨されることになる。このため、本発明の製造方法を利用することで、煩雑な工程を経ることなく、容易に検査用接触子を所望する形状に加工することができるとともに簡単に大量の検査用接触子を製造することができる。

図１で示される如く、まず、本製造方法で利用される検査用接触子の線状の線材を被覆する（Ｓ１）。

この検査用接触子について説明する。本発明の製造方法では、図２で示される如く、円柱又は棒状等の線状に形成される線材１１を用いる。検査用接触子１は、芯線に相当する線材１１とこの線材１１の側面（周面）を被覆する被覆部１２を有してなる。このような検査用接触子１における線材１１の被覆部１２で被覆されていない部分が電解研磨される研磨部に相当し、線材１１の側面を覆う被覆部１２が非研磨部に相当している。

この線材１１は、線状の形状を有しており、導電性の素材で形成されている。この線材１１は、例えば、タングステン（W）、レニウム−タングステン（Re-W）、ベリリウム銅（Be-Cu）を採用することができる。

この線材１１の直径Ｒ１は、湾曲状にたわまして用いる場合があるため、100μｍ以下、さらに検査対象物が微細ピッチである場合は、70μｍ以下に形成される。線材１１の軸方向長さは、10〜40ｍｍ程度に形成されるが、後述する検査用治具に応じて適宜設定されるので、特に限定されるものではない。

被覆部１２は、線材１１の側面（周面）を被覆するように形成されている（尚、被覆部１２が線材１１の長手方向の一方又は両方の端面も被覆するようにしてもよい）。また、被覆部１２は、後述する電解研磨の電解液に浸漬された際に、研磨されない素材で形成されている。このため、この被覆部１２が被覆される部分の線材１１は電解研磨の影響を受けることがない。被覆部１２の肉厚は、めっき層で0.2〜2μｍ程度になるように形成されるが、特に限定されるわけではない。

被覆部１２は、上記の如く、電解研磨の電解液に浸漬された場合に影響を受けない素材で形成されるが、例えば、金（Au）めっき、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂を例示することができる。

尚、詳細は後述するが、この検査用接触子１は、その一端が検査対象物に、その他端が電極部に接触し、検査対象物と電極部から圧接されることにより、湾曲状に撓まして用いられる。

次に、検査用接触子１の準備が完了されると、図１で示される如く、検査用接触子１の所定部位の被覆部１２を除去する（Ｓ２又はＳ３）。この被覆部１２の選択的な除去により、被覆部１２で覆われていた線材１１の表面の一部が外界にされることになる。このため、電解研磨を行う場合に、被覆部１２は電解研磨の影響を受けないが、被覆部１２が除去された箇所、つまり、線材１１が露出している箇所については、電解研磨の影響を受けることになる。

図３は、検査用接触子の所定部位の被覆部を除去した第１の実施形態の状態を示す概略断面図である。図３（ａ）は検査用接触子１の先端部１ａの被覆部１２の除去と、先端部１ａの成形とを物理的な作用を与えて研磨する物理的研磨により一度に行った場合を示している。図３（ｂ）は、（ａ）の先端部１ａに加えて、検査用接触子１の先端部１ａの後方側（図３では上側）に位置する先端近傍の区間１ｂの被覆部１２を物理的研磨により除去した場合を示している。図３（ｃ）は、（ｂ）の先端部１ａ及び先端近傍の区間１ｂに加えて、検査用接触子１の中央付近に位置する区間１ｃの被覆部１２を物理的研磨により除去した場合を示している。

例えば、図３（ａ）の検査用接触子１では、先端部１ａを先鋭形状に加工されている。これは、電極部又は検査点に検査用接触子１が接触する際に、接点面積をできるだけ小さくすることにより、圧接された際の応力を集中させることができ、検査対象物が、はんだやアルミニウムの場合、その表面の酸化物等を貫通して、安定した接触特性が確保されるからである。尚、この先端部１ａの形状は、先鋭形状に限定されず、突起形状、半球形状や平坦形状らの任意な形状に形成することもできる。

この被覆部１２が除去された箇所は、電解研磨により線材１１が研磨されることになる。尚、図３で示される実施形態では、先端部１ａ、先端近傍の区間１ｂや中央付近に位置する区間１ｃの被覆部１２を除去しているが、除去される被覆部１２の場所は特に限定されるものではなく、任意の場所の被覆部１２が除去される。

この被覆部１２を除去する方法は、線材１１の所望の箇所の被覆部１２を除去することができれば、特に限定されず、例えば、切削加工、研削加工、サンドブラスト加工等の物理的加工方法を採用することができる。

また、被覆部１２を除去する方法として、予め線材１１に被覆部１２を設ける際に、被覆部１２が除去される所定箇所に予めテープのような取り外し可能な離剥部（図示せず）を設け、この離剥部の上から被覆部１２を設ける。被覆部１２が検査用接触子１の側面全体に設けられた後、この剥離部を取り除くと被覆部１２も同時に線材１１から取り除くことができるように設定することもできる。

次に、検査用接触子１の被覆部１２が選択的に除去された後（又は、被覆部１２の選択的除去と同時に線材１１の成形が施された後）、検査用接触子１が電解研磨される（Ｓ４）。この工程では、検査用接触子１が、電解研磨されるための電解液に浸漬される。

図４は、本発明に係る検査用接触子の製造方法において使用される装置の概略構成図である。この装置２０は、電解液を収容する電解液槽２１、電解研磨を行うための電源２２、電解液槽２１内の電極板２３と、検査用接触子１を電解液槽２１の電解液に浸漬させたり、電解液から取り出したりする搬送手段２４を有している。

この電解液槽２１の電解液は、線材１１に対して電解研磨を施すことができるとともに被覆部１２に対して電解研磨の影響を与えない。このような電解液として、水酸化ナトリウム（NaOH）や水酸化カリウム（KOH）などの強アルカリ水溶液を利用することができる。

電源２２は、所定の電圧を検査用接触子１と電極板２３に印加する。電極板２３は、電源２２による電圧を検査用接触子１と対極となるように設定される。搬送手段２４は、上記の如く、検査用接触子１を電解液槽２１の電解液に浸漬させたり、電解液中から取り出したりするために搬送する。図４で示される搬送手段２４は、検査用接触子１を電解液から出し入れするために、検査用接触子１を把持して上下動する移動部（図示せず）が設けられている。

図５は、本発明に係る検査用接触子の製造方法において使用される他の装置の概略構成図である。この装置３０は、電解液を収容する電解液槽２１、電解研磨を行うための電源２２、電解液槽２１の電解液中に設置される電極板２３と、電解液槽２１の電解液中に設置され、図示しない駆動手段により回転駆動される導電性のドラム３１とを有している。この装置３０では、複数の検査用接触子１がドラム３１内に収容され、電源２２が電極板２３に電圧を印加すると同時にドラム３１を介して各検査用接触子１に電圧を印加するようになっている。そして、回転するドラム３１内で攪拌されつつ検査用接触子１に電解研磨が施されるようになっている。これによって、多量の検査用接触子１に均一に電解研磨を行うことができる。このドラム電解研磨は、検査用接触子１の被覆部１２をめっき（例えば、Auめっき）により形成した場合に好適に用いることができる。

検査用接触子１を電解研磨する条件は、電解液の濃度、温度、時間、電圧、電流、交流又は直流、又は、対向電極形状やその配置などをあげることができる。この条件の設定によって、検査用接触子１の線材１１の直径Ｒ１を調整することができる。つまり、これらの条件を調整することによって、電解研磨される被覆部１２から露出した部分の線材１１の太さ（研磨量）を調整することができる。

図６は、図３で示される検査用接触子の電解研磨後の状態を示す断面図である。図６（ａ）は図３（ａ）の検査用接触子の電解研磨後の状態を示し、図６（ｂ）は図３（ｂ）の検査用接触子の電解研磨後の状態を示し、図６（ｃ）は図３（ｃ）の検査用接触子の電解研磨後の状態を示している。

図６（ａ）では、先端部１ａが電解研磨され、滑らかに加工される。このため、先端部１ａの先鋭形状の表面が物理的研磨に比してエッチングにより数μｍ以下の滑らかな面に研磨されることになる。この結果、例えば、この先端部１ａにはんだが付着しにくくなるとともに、はんだが付着した場合であっても検査用接触子１が検査対象物のはんだに圧接される際に、はんだがこの先端１ａから剥がれ易く、削ぎ落とされ易くなる。このようなことから、検査用接触子１の先端部１ａが検査対象物に接触する場合には、検査用接触子１の先端部１ａが真性金属面と接触することになるため、検査用接触子１と検査対象物との接触抵抗値の変動が抑えられることになる。

図６（ｂ）では、先端部１ａと先端近傍の区間１ｂの表面が電解研磨され滑らかに加工される。この場合には、図６（ｂ）で示される如く、区間１ｂの線材１１の直径は、被覆部１２が除去されていない箇所の線材１１の直径よりも電解研磨されるために小さく形成されることになる。このように先端近傍の区間１ｂの被覆部１２を除去することによって、検査用接触子１の先端近傍に段差部を形成することができる。この段差部を利用した構成としては、例えば、検査用接触子１を保持する板部材の検査用接触子１が貫通する貫通孔（図示せず）の直径を区間１ｂの線材１１の直径よりも大きく、段差部の被覆部１２の外面の直径よりも小さく形成することが考えられる。このように形成することによって、検査用接触子１が板部材からの抜け防止とすることができる。

図６（ｃ）では、先端部１ａ、先端近傍の区間１ｂ及び中央付近の区間１ｃの表面が電解研磨され、滑らかに加工される。この場合、図６（ｃ）で示される如く、区間１ｂの線材１１の直径と区間１ｃの線材１１の直径は、電解研磨により略同じ大きさを有するとともに、被覆部１２が除去されていない箇所の線材１１の直径よりも電解研磨されるために小さく形成されている。

この図６（ｃ）で示される如き検査用接触子１では、被覆部１２を除去する区間１ｂ，１ｃの間に被覆部１２を除去しない区間が設けられている。このように被覆部１２を除去することによって、検査用接触子１の周面にリング状の突部１３を形成することができる。この突部１３を利用した構成としては、例えば、検査用接触子１を保持する板部材の検査用接触子１が貫通する貫通孔（図示せず）の直径を区間１ｂの線材１１の直径よりも大きく、突部１３の直径よりも小さく形成することが考えられる。このように形成することによって、検査用接触子１が板部材からの抜け防止とすることができる。

また、図６（ｃ）に示す検査用接触子１では、区間１ｂ，１ｃの研磨量を制御し、その部分の線材１１の直径を調節することにより、検査用接触子１を撓ませつつ治具に装着する際の押圧荷重を容易に調節することができる。例えば、機械加工では困難な極細形状に線材１１を加工し、押圧荷重を大幅に低減させることも可能である。また、線材１１の区間１ｂ，１ｃの直径を調節することにより、検査用接触子１のインピーダンスを容易に調節することもできる。

また、図６（ｃ）に示す検査小接触子１は、その区間１ｃの部分にポリテトラフルオロエチレン（PTFE）をコートし、金属チューブに挿入した構成（同軸プローブ）に利用することができる。

検査用接触子１が電解研磨のための電解液に浸漬され、所定条件での電解研磨が終了すると、検査用接触子１を電解液から取り出し、洗浄する（Ｓ５）。

この結果、検査用接触子１は、電解液から取り出されると、そのままで所望の形状に形成されることになるとともに、滑らかな研磨面が得られるので表面仕上げも不要である
本発明の製造方法を利用する場合には、検査用接触子１をその全体を電解液に浸漬して製造することができるので、一括して検査用接触子１を製造することができる。その結果、煩雑な工程を経ることなく、検査用接触子１を所望する形状に加工することができるとともに簡単に大量の検査用接触子を製造することができる。

また、電解研磨時において、線材１１の太さ（線径）を電解研磨条件に応じて容易に調整することができるので、線材１１の太さを制御することにより弾性率を調整したり、線材１１を同軸構造の芯線とした構造にした場合には、インピーダンスを整合した高品質の検査用接触子１を製造することができる。

また、電解研磨により検査用接触子１の先端部１ａの表面を滑らかにすることができるため、上述の如く、検査対象物の検査点との接触時に、検査用接触子１の先端部１ａにハンダや端子材料等が付着しにくくできるとともに、仮に付着しても付着物を自然に剥離しやすくすることができる。それ故、検査用接触子１の先端部１ａの表面を良好な状態で検査点に接触させることができ、検査の信頼性を向上させることができる。

また、被覆部１２は電解研磨用マスクとして利用されるとともに、完成品である検査用接触子１の一部を構成するようになっているため、電解研磨後に被覆部１２を除去する必要がなく、製造工程の簡略化が図れるとともに、被覆部１２の材料を選択することにより、被覆部１２による種々の付加的な機能が得られる。

また、検査用接触子１の被覆部１２は、線材１１の周面の全体を覆うように形成された後、所定部位以外に位置する部分が除去されて形成されるため、被覆部１２を容易に形成することができ、検査用接触子１の形状形成も容易となる。

また、電解研磨の施す前に、検査用接触子１の先端部１ａが物理的研磨により所定形状に加工されるため、検査用接触子１の先端部１ａの形状をより容易に所望の形状に仕上げることができる。

また、被覆部１２を金属めっきにより形成した場合には、被覆部１２を絶縁材料により形成する場合に比して検査用接触子１の電気抵抗を小さくすることができる。例えば、金等の低抵抗金属を用いることにより、検査用接触子１の後端部を検査装置側の電極部に接続する際の接触抵抗も小さくすることができる。

また、樹脂により被覆部１２を形成する処理に比してめっき処理の方が簡単であるとともに、樹脂被覆のように表面に凹凸が生じることがなく、滑らかな表面が得られる。

一方、被覆部１２を樹脂により形成した場合には、検査用接触子１の被覆部１２で覆われた部分が絶縁性になる。それ故、検査用接触子１を密集配置した際等に被覆部１２により検査用接触子１同士の絶縁確保が図れる。

図７（ａ）及び図７（ｂ）は、検査用接触子１の先端部２ａの線材１１の形状は維持して被覆部１２のみを除去して電解研磨を行った場合の製造途中及び完成品の状態を示す断面図である。

まず図７（ａ）に示す如く、検査用接触子１の先端部２ａにおいて線材１１の形状は維持して被覆部１２のみが除去される。続いて、その検査用接触子１が電解液中に浸漬され、先端部１ａに対する電解研磨が施され、図７（ｂ）に示す如く、先端部１ａが先鋭状に滑らかに加工される。このため、先端部２ａの先鋭形状の表面が物理的研磨に比してエッチングにより数μｍ以下の滑らかな面に研磨されることになる。この結果、例えば、この先端部２ａにはんだが付着しにくくなるとともに、はんだが付着した場合であっても検査用接触子１が検査対象物のはんだに圧接される際に、はんだがこの先端部２ａから剥がれ易く、削ぎ落とされ易くなる。このようなことから、検査用接触子１の先端部２ａが検査対象物に接触する場合には、検査用接触子１の先端部２ａが真性金属面と接触することになるため、検査用接触子１と検査対象物との接触抵抗値の変動が抑えられることになる。

図８は、上述の実施形態に係る製造方法により製造された検査用接触子を用いた検査治具及び検査装置の構成を示す図である。この検査装置４０は、図８に示す如く、検査用治具４１と、検査用治具４１の検査用接触子１から検出される検出信号を基に検査対象物の電気的特性（例えば、配線パターンの抵抗値や断線の有無等）を検出する検査部４２とを備えている。

検査用治具４２は、複数の検査用接触子１と、検査用接触子１の一端（先端）を検査対象物の検査点へ案内するとともに、検査用接触子１の他端（後端）を検査対象物を検査する検査装置の電極部４３へ案内して保持する保持体４４とを備えている。保持体４４は、複数（図８の図示例では２つ）の保持板４５，４６を備えている。

検査用接触子１は、その先端側及び後端側の部分が中間部よりも直径の細い細径部３ａ，３ｂとされている。この細径部３ａ，３ｂ及び先端の先鋭形状は上述のように電解研磨により研磨されて形成されている。電解研磨されていない中間部には前述の被覆部１２（図示せず）が設けられている。

保持体４４の前側の保持板４５には、検査用接触子１の先端側の細径部３ａが挿入される貫通孔４５ａが設けられ、後側の保持板４６には、検査用接触子１の後端側の細径部３ｂ及び電極部４３を保持する貫通孔４６ａが設けられている。貫通孔４５ａの内径は検査用接触子１の中間部の直径よりも小さくかつ細径部３ａの直径よりも大きく設定されており、この貫通孔４５ａに細径部３ａを後方側から挿入することにより、細径部３ａの後端（中間部の先端側端部）が貫通孔４５ａの後方側外周部に当接し、これによって検査用接触子１が前側の保持板４５によって突き当たった状態で保持される。また、電極部４３は略キャップ形の形状を有し、検査用接触子１の後端側の細径部３ｂがその電極部４３内に挿入されて保持される。そして、この電極部４３は検査用接触子１の後端部を保持した状態で後側の保持板４６の貫通孔４６ａ内に保持される。このとき、検査用接触子１は、前後の保持板４５，５６により湾曲するように撓まされた状態で保持される。

このように、上述の実施形態に係る製造方法により製造された検査用接触子１を用いることにより、安価で高性能の検査用治具４２及び検査装置４０を提供できる。

本発明の一実施形態に係る検査用接触子の製造方法のフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る検査用接触子の製造途中の断面図である。 図３（ａ）ないし図３（ｃ）は被覆部の除去形態等が異なる製造途中の検査用接触子の製造途中の断面図である。 図１の検査用接触子の製造方法において使用される装置の概略構成図である。 図１の検査用接触子の製造方法において使用される他の装置の概略構成図である。 図６（ａ）は図３（ａ）の検査用接触子の電解研磨後の状態を示す図であり、、図６（ｂ）は図３（ｂ）の検査用接触子の電解研磨後の状態を示す図であり、図６（ｃ）は図３（ｃ）の検査用接触子の電解研磨後の状態を示す図である。 図７（ａ）及び図７（ｂ）は、検査用接触子の先端部の線材の形状を維持して被覆部のみを除去して電解研磨を行った場合の製造途中及び完成品の状態を示す断面図である。 図１の製造方法により製造された検査用接触子を用いた検査治具及び検査装置の構成を示す図である。

符号の説明

１ 検査用接触子、１１ 線材、１２ 被覆部、４０ 検査装置、４２ 検査用治具、４４ 保持体。

Claims (14)

1. 検査対象物に接触して検査対象物の電気的特性を検出するための検査用接触子を電解研磨により製造する検査用接触子の製造方法であって、
   線状に形成される線材と、電解研磨に対する耐性を有する素材により形成され、線材の所定部位の表面を被覆する被覆部とを有する検査用接触子を、電解液に浸漬して電解研磨することを特徴とする検査用接触子の製造方法。
2. 請求項１に記載の検査用接触子の製造方法において、
   前記検査用接触子の前記被覆部は、前記線材の表面のうちの少なくとも周面の全体を覆うように形成された後、前記所定部位以外に位置する部分が除去されて形成されることを特徴とする検査用接触子の製造方法。
3. 請求項１又は請求項２に記載の検査用接触子の製造方法において、
   前記検査用接触子の先端部は、電解研磨が施される前に、物理的作用により研磨する物理的研磨により所定形状に加工されていることを特徴とする検査用接触子の製造方法。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の検査用接触子の製造方法において、
   前記被覆部は、完成品である前記検査用接触子の一部を構成することを特徴とする検査用接触子の製造方法。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の検査用接触子の製造方法において、
   前記被覆部は金属めっきにより形成されることを特徴とする検査用接触子の製造方法。
6. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の検査用接触子の製造方法において、
   前記被覆部は樹脂により形成されることを特徴とする検査用接触子の製造方法。
7. 検査対象物に接触して検査対象物の電気的特性を検出するための検査用接触子であって、
   線状に形成される線材と、電解研磨に対する耐性を有する素材により形成され、線材の所定部位の表面を被覆する被覆部とを有し、電解液に浸漬して電解研磨されていることを特徴とする検査用接触子。
8. 検査対象物に接触して検査対象物の電気的特性を検出するための検査用接触子であって、
   線状の芯部を備え、
   前記芯部は、電解研磨された研磨部と、電解研磨に対する耐性を有する素材により形成された非研磨部とを有することを特徴とする検査用接触子。
9. 検査対象物に接触して検査対象物の電気的特性を検出するための検査用接触子であって、
   線状に形成される線材と、
   電解研磨に対する耐性を有する素材により形成され、線材の所定部位の表面を被覆する被覆部とを備え、
   電解液に浸漬されて電解研磨されることにより、前記被覆部が設けられる部分の前記線材の直径が、前記被覆部が設けられない部分の前記線材の直径よりも大きいことを特徴とする検査用接触子。
10. 請求項７ないし請求項９のいずれかに記載の検査用接触子において、
    前記検査用接触子の先端は、電解研磨前に、物理的作用により研磨する物理的研磨により所定形状に加工されていることを特徴とする検査用接触子。
11. 請求項７ないし請求項１０のいずれかに記載の検査用接触子において、
    前記被覆部は金属めっきにより形成されることを特徴とする検査用接触子。
12. 請求項７ないし請求項１０のいずれかに記載の検査用接触子において、
    前記被覆部は樹脂により形成されることを特徴とする検査用接触子。
13. 請求項７ないし請求項１２のいずれかに記載の検査用接触子と、
    前記検査用接触子の一端を前記検査対象物の検査点へ案内するとともに、該検査用接触子の他端を前記検査対象物を検査する検査装置の電極部へ案内して保持する保持体とを有することを特徴とする検査用治具。
14. 請求項１３に記載の検査用治具と、
    前記検査用治具の検査用接触子から検出される検出信号を基に前記検査対象物の電気的特性を検出する検査部とを有することを特徴とする検査装置。

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