JPS63313000A - 探針の製造方法 - Google Patents
探針の製造方法Info
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- JPS63313000A JPS63313000A JP14831587A JP14831587A JPS63313000A JP S63313000 A JPS63313000 A JP S63313000A JP 14831587 A JP14831587 A JP 14831587A JP 14831587 A JP14831587 A JP 14831587A JP S63313000 A JPS63313000 A JP S63313000A
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＦＥ−ＳＥＭにおけるフィードエミッションマ
イクロプローブ、ＦＩＭ、 イオンビーム装置における
イオンマイクロプローブ、ＳＴＭにおけるプローブのよ
うな鋭い先端を有する探針の製造方法に関するものであ
る。
イクロプローブ、ＦＩＭ、 イオンビーム装置における
イオンマイクロプローブ、ＳＴＭにおけるプローブのよ
うな鋭い先端を有する探針の製造方法に関するものであ
る。
本発明は電解研磨、電解エツチングによる鋭い先端を有
する探針の製造方法に関するもので、探針材料の電解液
中の表面付近部以外を電解時に耐性を有するマスキング
剤でマスキングを行い、表面付近でのみ反応を行わせて
、電解液中の部分を探針として得ることを特徴とするも
ので、先端部の再現性を高めたものである。
する探針の製造方法に関するもので、探針材料の電解液
中の表面付近部以外を電解時に耐性を有するマスキング
剤でマスキングを行い、表面付近でのみ反応を行わせて
、電解液中の部分を探針として得ることを特徴とするも
ので、先端部の再現性を高めたものである。
従来、鋭い先端を有する探針の製造方法としては、電解
液中に探針材料を入れ、直流あるいは交流電解を行い、
気−液界面で反応が最も進む場合には、電解液中の部分
が切断し落下する瞬間をとらえて、電解液中の先端部分
が最も反応が進む場合は先端が最も鋭（なった瞬間をと
らえて、電解を止め、探針を作製する方法があった。
液中に探針材料を入れ、直流あるいは交流電解を行い、
気−液界面で反応が最も進む場合には、電解液中の部分
が切断し落下する瞬間をとらえて、電解液中の先端部分
が最も反応が進む場合は先端が最も鋭（なった瞬間をと
らえて、電解を止め、探針を作製する方法があった。
しかしながら従来の方法においては、電解を止める瞬間
の若干のズレが先端の鋭さに大きく影響し、その再現性
が悪く、探針の性能がバラつ（という欠点があった。ま
たこれを少なくするには、設備的に、電解状況のモニタ
リング設備を付けるなどが必要になり、設備が大げさに
なるなどの問題があった。
の若干のズレが先端の鋭さに大きく影響し、その再現性
が悪く、探針の性能がバラつ（という欠点があった。ま
たこれを少なくするには、設備的に、電解状況のモニタ
リング設備を付けるなどが必要になり、設備が大げさに
なるなどの問題があった。
本発明はこのような欠点を除去し、簡単な設備で、常に
同一の鋭い先端を有する探針の製造方法を提供すること
を目的とする。
同一の鋭い先端を有する探針の製造方法を提供すること
を目的とする。
本発明では、電解液中の探針材料の液表面付近部より下
部をマスキング剤にてマスキングし、液表面付近でのみ
電解反応を行わせ、液中に落下する部分を回収し、マス
キング剤を除去して探針としようというものである。
部をマスキング剤にてマスキングし、液表面付近でのみ
電解反応を行わせ、液中に落下する部分を回収し、マス
キング剤を除去して探針としようというものである。
このような製造方法とすることにより、電解液表面付近
で反応が集中し、この部分で材料が切断した瞬間、電解
液中の部分は、液中に落下し、電解反応が止まるため、
常に同じ状態の先端を有する探針が保たれるのである。
で反応が集中し、この部分で材料が切断した瞬間、電解
液中の部分は、液中に落下し、電解反応が止まるため、
常に同じ状態の先端を有する探針が保たれるのである。
以下実施例により本発明の詳細な説明する。
探針材料としては、タングステン、白金、タンタル、炭
化チタンなどの単結晶あるいは多結晶材料が使用され、
その電解液としては、タングステンでは水酸化カリウム
溶液など、白金ではシアン化カリウム溶液など、タンタ
ル、炭化チタンなどでは、フン酸−硫酸溶液などが使用
され、本発明でもこれら一般的に使用されるものを使用
する。
化チタンなどの単結晶あるいは多結晶材料が使用され、
その電解液としては、タングステンでは水酸化カリウム
溶液など、白金ではシアン化カリウム溶液など、タンタ
ル、炭化チタンなどでは、フン酸−硫酸溶液などが使用
され、本発明でもこれら一般的に使用されるものを使用
する。
このような電解液にて、白金に代表される電極と探針材
料とを電解用電源を介して接続し、電源を入れ、電解を
行う。
料とを電解用電源を介して接続し、電源を入れ、電解を
行う。
ここにおいて、探針材料の電解液表面付近部より下部を
マスキング剤にてマスキングし、電解反応が起こらない
ようにする。このようにすることで、液表面付近部で電
解反応を集中させ、探針形状を形成することができる。
マスキング剤にてマスキングし、電解反応が起こらない
ようにする。このようにすることで、液表面付近部で電
解反応を集中させ、探針形状を形成することができる。
ここにおいて、液表面とマスキング部上部との距離を調
整することで、探針先端部のテーパ形状を制御すること
が可能となる。
整することで、探針先端部のテーパ形状を制御すること
が可能となる。
このマスキングにあたっては、電解時にはくり等を発生
せず、電解液に影響がなく、また溶剤等により除去が可
能であれば、種々使用でき、水酸化カリウム溶液、シア
ン化カリウム溶液、フッ酸−硫酸溶液に対しては、Ｋ
Ｂ −２５，３０（太陽インキ製）といったレジストイ
ンキあるいはそれと同系統のものが使用できる。
せず、電解液に影響がなく、また溶剤等により除去が可
能であれば、種々使用でき、水酸化カリウム溶液、シア
ン化カリウム溶液、フッ酸−硫酸溶液に対しては、Ｋ
Ｂ −２５，３０（太陽インキ製）といったレジストイ
ンキあるいはそれと同系統のものが使用できる。
また電解方式としては、探針材料を陽極とした直流電解
、交流電解、交直重畳電解方式などが、材料、電解液に
合わせて選択できる。
、交流電解、交直重畳電解方式などが、材料、電解液に
合わせて選択できる。
このようにして電解を行うと、電解液表面に反応が集中
し、この部分を中心に溶解が進み、ついにはこの部分で
切断し、液中の部分が液中に落下する。
し、この部分を中心に溶解が進み、ついにはこの部分で
切断し、液中の部分が液中に落下する。
これを回収し、マスキング剤を溶剤等で除去することで
、鋭い先端をもった探針が完成する。
、鋭い先端をもった探針が完成する。
このようにして形成された探針は先端の再現性も高く、
その性能も安定したものであった。
その性能も安定したものであった。
以上述べてきたように本発明によれば、電解液表面付近
で非常に鋭い先端となって切断した瞬間自動的に電解が
止まるため、常に同じ先端形状のものが再現性良く、製
造できる。
で非常に鋭い先端となって切断した瞬間自動的に電解が
止まるため、常に同じ先端形状のものが再現性良く、製
造できる。
また設備的にも、従来のように電解をモニタリングする
必要もなく、比較的費用もかからない。
必要もなく、比較的費用もかからない。
図面は本発明の実施例である探針の電解時の状況を示す
概略図である。 ■・・・電解槽 ２・・・電解液 ３・・・電極 ４・・・探針材料 ５・・・マスキング剤 ６・・・電解電源 以上
概略図である。 ■・・・電解槽 ２・・・電解液 ３・・・電極 ４・・・探針材料 ５・・・マスキング剤 ６・・・電解電源 以上
Claims (1)
- 電解液中の探針材料の液表面付近部より下部をマスキン
グ剤にてマスキングした状態で電解を行い、表面付近で
のみ反応を行わせて、電解液中の部分が液中に落下した
後回収し、マスキング剤を除去して、探計とすることを
特徴とする探針の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14831587A JPS63313000A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 探針の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14831587A JPS63313000A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 探針の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63313000A true JPS63313000A (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=15450041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14831587A Pending JPS63313000A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | 探針の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63313000A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02310399A (ja) * | 1989-05-23 | 1990-12-26 | Chem Yamamoto:Kk | チタン又はチタン合金材の溶接などの加熱施工に伴う酸化スケールの除去方法 |
| DE10022652A1 (de) * | 2000-04-28 | 2001-11-08 | Hahn Meitner Inst Berlin Gmbh | Verfahren zum selektiven Entfernen von Fremdphasen an Oberflächen von sulfidhaltigen Chalkopyrithalbleitern |
| JP2008096293A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Nidec-Read Corp | 検査用接触子の製造方法、検査用接触子、検査用治具及び検査装置 |
| CN102650073A (zh) * | 2011-02-24 | 2012-08-29 | 清华大学 | 一种在宏观细丝一端直接获得微纳米线的电化学腐蚀方法 |
| CN111748770A (zh) * | 2020-06-18 | 2020-10-09 | 苏州希声科技有限公司 | 超声旋转编码器的格栅成型工艺 |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP14831587A patent/JPS63313000A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02310399A (ja) * | 1989-05-23 | 1990-12-26 | Chem Yamamoto:Kk | チタン又はチタン合金材の溶接などの加熱施工に伴う酸化スケールの除去方法 |
| DE10022652A1 (de) * | 2000-04-28 | 2001-11-08 | Hahn Meitner Inst Berlin Gmbh | Verfahren zum selektiven Entfernen von Fremdphasen an Oberflächen von sulfidhaltigen Chalkopyrithalbleitern |
| DE10022652C2 (de) * | 2000-04-28 | 2003-04-24 | Hahn Meitner Inst Berlin Gmbh | Verfahren zum selektiven Entfernen von Fremdphasen an Oberflächen von sulfidhaltigen Chalkopyrithalbleitern |
| JP2008096293A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Nidec-Read Corp | 検査用接触子の製造方法、検査用接触子、検査用治具及び検査装置 |
| CN102650073A (zh) * | 2011-02-24 | 2012-08-29 | 清华大学 | 一种在宏观细丝一端直接获得微纳米线的电化学腐蚀方法 |
| CN111748770A (zh) * | 2020-06-18 | 2020-10-09 | 苏州希声科技有限公司 | 超声旋转编码器的格栅成型工艺 |
| CN111748770B (zh) * | 2020-06-18 | 2022-04-05 | 苏州希声科技有限公司 | 超声旋转编码器的格栅成型工艺 |
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