JP2002102952A - 超微細穿孔パンチの製作方法及びその装置 - Google Patents
超微細穿孔パンチの製作方法及びその装置Info
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- B23H3/00—Electrochemical machining, i.e. removing metal by passing current between an electrode and a workpiece in the presence of an electrolyte
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- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 超微細穿孔パンチを製作する方法及びその装
置を提供する。 【解決手段】 電解加工を用いた超微細穿孔パンチの製
作方法は、用意された電解液（３）内に加工される少な
くとも１つの電極（１）と陰極（２）とをそれぞれ一定
の深さに浸漬させた後、これら電極（１）と陰極（２）
との間に設定された電圧を印加しながら、電極（１）の
浸漬深さを所定の比率で減らしていくようにして電極
（１）を超微細穿孔パンチとして製作する。また、この
製作装置は、電解液（３）を入れる電解槽（３０）と、
電解液（３）内で加工される少なくとも１つの電極
（１）と陰極（２）とを一定の深さに位置させるための
ホルダー手段と、電極（１）および／もしくは電解槽
（３０）を移送させながら、電極（１）の浸漬深さを減
らしていくための移送手段と、電極（１）と陰極（２）
との間に設定された電圧を印加させるための制御装置
（４）とを有する。
置を提供する。 【解決手段】 電解加工を用いた超微細穿孔パンチの製
作方法は、用意された電解液（３）内に加工される少な
くとも１つの電極（１）と陰極（２）とをそれぞれ一定
の深さに浸漬させた後、これら電極（１）と陰極（２）
との間に設定された電圧を印加しながら、電極（１）の
浸漬深さを所定の比率で減らしていくようにして電極
（１）を超微細穿孔パンチとして製作する。また、この
製作装置は、電解液（３）を入れる電解槽（３０）と、
電解液（３）内で加工される少なくとも１つの電極
（１）と陰極（２）とを一定の深さに位置させるための
ホルダー手段と、電極（１）および／もしくは電解槽
（３０）を移送させながら、電極（１）の浸漬深さを減
らしていくための移送手段と、電極（１）と陰極（２）
との間に設定された電圧を印加させるための制御装置
（４）とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、直径１００μｍ以
下の超微細穿孔パンチを製作するための方法及びその装
置に関し、特に、電解質溶液（以下、電解液という）を
用いて電解加工を行う超微細穿孔パンチの製作方法及び
その装置に関する。
下の超微細穿孔パンチを製作するための方法及びその装
置に関し、特に、電解質溶液（以下、電解液という）を
用いて電解加工を行う超微細穿孔パンチの製作方法及び
その装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、システムの大きさが次第に小さく
なることによって、μｍ単位の構造物を成形するために
数多くの研究がなされている。簡単な例として、インク
ジェットプリンタや繊維放射ノズルなどを製作するため
には、数乃至数十μｍの微細孔を大量に生産する必要が
ある。
なることによって、μｍ単位の構造物を成形するために
数多くの研究がなされている。簡単な例として、インク
ジェットプリンタや繊維放射ノズルなどを製作するため
には、数乃至数十μｍの微細孔を大量に生産する必要が
ある。
【０００３】このような構造物を得るためには、既存の
機械加工方法だけでは不可能であるため、ＩＣ製造技術
を拡張させて応用したり、放電加工や微細パンチングを
小型化するなど、色々な方法への研究が進んでいる。金
属性材料の単純な孔形状は、現在ほとんどこの微細パン
チングによって得ている。
機械加工方法だけでは不可能であるため、ＩＣ製造技術
を拡張させて応用したり、放電加工や微細パンチングを
小型化するなど、色々な方法への研究が進んでいる。金
属性材料の単純な孔形状は、現在ほとんどこの微細パン
チングによって得ている。
【０００４】現在、この微細パンチングは、約３０μｍ
の直径を有する微細孔を製作するために使用されている
が、この製作は単純であり、且つ、速い加工速度を有し
ているため、微細機械加工の最も基本的な要素として認
められている。
の直径を有する微細孔を製作するために使用されている
が、この製作は単純であり、且つ、速い加工速度を有し
ているため、微細機械加工の最も基本的な要素として認
められている。
【０００５】このような微細機械加工を行うためには、
微細孔に類似している形状を有する微細穿孔パンチを製
作しなければならない。現在は、微細穿孔パンチを製作
するために主にワイヤ放電研削（Ｗｉｒｅ Ｅｌｅｃｔ
ｒｏｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ）のような
機械加工に依っているが、この方法は、一度の工程を通
じて一つのパンチしか生産できず、パンチの加工に約１
００分という長時間を要するなど、生産性効率面が良く
ないという短所がある。
微細孔に類似している形状を有する微細穿孔パンチを製
作しなければならない。現在は、微細穿孔パンチを製作
するために主にワイヤ放電研削（Ｗｉｒｅ Ｅｌｅｃｔ
ｒｏｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ）のような
機械加工に依っているが、この方法は、一度の工程を通
じて一つのパンチしか生産できず、パンチの加工に約１
００分という長時間を要するなど、生産性効率面が良く
ないという短所がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来の技術の問題点に鑑みてなされたものであって、
本発明の目的は、テーパ部分を有し、このテーパ部分の
先端部に均一な直径を有する超微細穿孔パンチを製作す
る方法及びその装置を提供することにある。
な従来の技術の問題点に鑑みてなされたものであって、
本発明の目的は、テーパ部分を有し、このテーパ部分の
先端部に均一な直径を有する超微細穿孔パンチを製作す
る方法及びその装置を提供することにある。
【０００７】また、本発明の他の目的は、生産効率を高
め、短時間で多量に超微細穿孔パンチを製作することが
できるようにすることにある。
め、短時間で多量に超微細穿孔パンチを製作することが
できるようにすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の具体的な方法において、電解加工を用いた
超微細穿孔パンチの製作方法は、用意された電解液内に
超微細穿孔パンチとして加工される少なくとも１つの電
極と陰極とをそれぞれ一定の深さに浸漬させた後、これ
ら電極と陰極との間に設定された電圧を印加しながら、
この電極の浸漬深さを所定の比率で減らしていくように
して前記電極を超微細穿孔パンチとして製作したことを
特徴とする。
めの本発明の具体的な方法において、電解加工を用いた
超微細穿孔パンチの製作方法は、用意された電解液内に
超微細穿孔パンチとして加工される少なくとも１つの電
極と陰極とをそれぞれ一定の深さに浸漬させた後、これ
ら電極と陰極との間に設定された電圧を印加しながら、
この電極の浸漬深さを所定の比率で減らしていくように
して前記電極を超微細穿孔パンチとして製作したことを
特徴とする。
【０００９】また、目的を達成するための本発明の具体
的な装置において、電解加工を用いた超微細穿孔パンチ
の製作装置は、電解液を入れる電解槽と、この電解液内
に超微細穿孔パンチとして加工される少なくとも１つの
電極と陰極とを一定の深さに位置させるためのホルダー
手段と、前記電極および／もしくは電解槽を移送させな
がら、この電極の浸漬深さを減らしていくための移送手
段と、前記電極と陰極との間に設定された電圧を印加さ
せるための制御装置とを有することを特徴とする。
的な装置において、電解加工を用いた超微細穿孔パンチ
の製作装置は、電解液を入れる電解槽と、この電解液内
に超微細穿孔パンチとして加工される少なくとも１つの
電極と陰極とを一定の深さに位置させるためのホルダー
手段と、前記電極および／もしくは電解槽を移送させな
がら、この電極の浸漬深さを減らしていくための移送手
段と、前記電極と陰極との間に設定された電圧を印加さ
せるための制御装置とを有することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】まず、本発明を理解するために役
立つ電解プロセスの原理を簡単に説明する。
立つ電解プロセスの原理を簡単に説明する。
【００１１】図１のように、電解液（Ｅｌｅｃｔｒｏｌ
ｙｔｅ）に浸漬した２つの金属材料の間に電圧を印加さ
せると、陽極（Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）では、金属が電子
を失いながら金属イオンの形態に変わって電解液内へ溶
解される酸化反応が起こる。反対に、陰極（Ｃａｔｈｏ
ｄｅ）では、周辺のイオンが電子を得て分子に変わって
析出される還元反応が起こる。電解プロセスは、陽極の
酸化反応を用いて加工対象物を加工していく方法であ
る。
ｙｔｅ）に浸漬した２つの金属材料の間に電圧を印加さ
せると、陽極（Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）では、金属が電子
を失いながら金属イオンの形態に変わって電解液内へ溶
解される酸化反応が起こる。反対に、陰極（Ｃａｔｈｏ
ｄｅ）では、周辺のイオンが電子を得て分子に変わって
析出される還元反応が起こる。電解プロセスは、陽極の
酸化反応を用いて加工対象物を加工していく方法であ
る。
【００１２】この電解プロセスは、化学反応によって加
工対象物を分子単位で加工するため、数μｍの直径を有
する微細電極の製作も可能であり、かつ、なめらかな表
面形状を得ることができる。また、化学反応を用いた非
接触方式であるので、タングステンのように剛性の高い
材料の加工が容易である。さらに、このような材料を、
単に電解液内に浸漬した後、これらの材料の間にかける
電圧の調節だけで加工がなされるため、装置の構造が簡
単であり、低廉なことが特徴である。
工対象物を分子単位で加工するため、数μｍの直径を有
する微細電極の製作も可能であり、かつ、なめらかな表
面形状を得ることができる。また、化学反応を用いた非
接触方式であるので、タングステンのように剛性の高い
材料の加工が容易である。さらに、このような材料を、
単に電解液内に浸漬した後、これらの材料の間にかける
電圧の調節だけで加工がなされるため、装置の構造が簡
単であり、低廉なことが特徴である。
【００１３】以下、添付された図面を参照して本発明の
実施の形態を詳細に説明する。
実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】図２は、本発明の電解加工システムの概略
図である。ホルダー（図示せず）に固定され、電解槽３
０内の電解液３で超微細穿孔パンチ（以下、パンチとい
う）として加工される、それぞれ制御装置４の陽極
（＋）及び陰極（−）端子に連結された電極１および電
極（陰極）２が、それぞれ一定の深さに浸漬されてい
る。
図である。ホルダー（図示せず）に固定され、電解槽３
０内の電解液３で超微細穿孔パンチ（以下、パンチとい
う）として加工される、それぞれ制御装置４の陽極
（＋）及び陰極（−）端子に連結された電極１および電
極（陰極）２が、それぞれ一定の深さに浸漬されてい
る。
【００１５】この状態において、これら電極１および陰
極２の間に設定した電圧を印加させると、電極１には金
属が溶解される酸化反応が、陰極２には還元反応が起こ
る。この時、加工状態に従って、電極１を通して流れる
電流密度値を調節し、均一な直径を有するように加工す
ることができる。即ち、加工中、所定の比率で電極１を
電解液３から好ましくは上方へ垂直に移送させていく
と、図３のような多段階形状の多段階部１−１を含む電
極１を得ることができる。
極２の間に設定した電圧を印加させると、電極１には金
属が溶解される酸化反応が、陰極２には還元反応が起こ
る。この時、加工状態に従って、電極１を通して流れる
電流密度値を調節し、均一な直径を有するように加工す
ることができる。即ち、加工中、所定の比率で電極１を
電解液３から好ましくは上方へ垂直に移送させていく
と、図３のような多段階形状の多段階部１−１を含む電
極１を得ることができる。
【００１６】上記のように得られた多段階形状の製作方
法を用いて、電極１の段階の間を減らしていくことによ
って、図４に示すように、各段階の直径が大きいものか
ら矢印方向に沿って次第に小さいものとすることができ
る。つまり、右図に示すように、多段階形状の部分が初
期直径の部分からテーパ形状をなすテーパ部分を有し、
このテーパ部分の先端部には均一な直径を有する電極
１、即ち、パンチを製作することができる。
法を用いて、電極１の段階の間を減らしていくことによ
って、図４に示すように、各段階の直径が大きいものか
ら矢印方向に沿って次第に小さいものとすることができ
る。つまり、右図に示すように、多段階形状の部分が初
期直径の部分からテーパ形状をなすテーパ部分を有し、
このテーパ部分の先端部には均一な直径を有する電極
１、即ち、パンチを製作することができる。
【００１７】この時、使用した電極１は、純度９９．９
％のタングステンであり、この電極１の直径は、０．５
ｍｍの円柱形である。また、電解液には、５．０ｍＭの
ＫＯＨ（水酸化カリウム）を用いた。この電極１のホル
ダーは、光学用ステージとステップモータとから構成さ
れたステップ状に移送する移送装置のチャックに噛み合
わされて移送される。
％のタングステンであり、この電極１の直径は、０．５
ｍｍの円柱形である。また、電解液には、５．０ｍＭの
ＫＯＨ（水酸化カリウム）を用いた。この電極１のホル
ダーは、光学用ステージとステップモータとから構成さ
れたステップ状に移送する移送装置のチャックに噛み合
わされて移送される。
【００１８】そして、これら電極１及び陰極２の両端に
は、これらの間にかける電圧の調節が可能な制御装置４
が連結されている。電流密度１４ｍＡ／ｍｍ２、加工温
度２６．５℃で電極１の加工が行われ、その他の加工条
件は、パンチのテーパ部分と先端部との形状によって決
められる値であり、浸漬深さ、加工時間などが考慮され
る。
は、これらの間にかける電圧の調節が可能な制御装置４
が連結されている。電流密度１４ｍＡ／ｍｍ２、加工温
度２６．５℃で電極１の加工が行われ、その他の加工条
件は、パンチのテーパ部分と先端部との形状によって決
められる値であり、浸漬深さ、加工時間などが考慮され
る。
【００１９】図６は加工されたパンチの形状を示し、こ
のパンチのテーパ部分１ａの長さは０．７２ｍｍ、先端
部の直径は６０μｍの円柱形であるように加工され、テ
ーパ形状に加工するためのステップ状に移送する段階の
間は２０μｍである。実際に加えられた電流は、すべて
の時間について１４ｍＡ／ｍｍ２を維持するように流れ
るため、初期には３５．６ｍＡであった電流は、終了直
前には５．０ｍＡにまで減らされている。この時の総加
工時間は９０３秒であり、流れ込んだ総電荷量は１７．
１Ｃである。
のパンチのテーパ部分１ａの長さは０．７２ｍｍ、先端
部の直径は６０μｍの円柱形であるように加工され、テ
ーパ形状に加工するためのステップ状に移送する段階の
間は２０μｍである。実際に加えられた電流は、すべて
の時間について１４ｍＡ／ｍｍ２を維持するように流れ
るため、初期には３５．６ｍＡであった電流は、終了直
前には５．０ｍＡにまで減らされている。この時の総加
工時間は９０３秒であり、流れ込んだ総電荷量は１７．
１Ｃである。
【００２０】電解液の表面張力がない場合であれば、図
４の右図ような形状のテーパ部分の製作のためには、加
工中、電極１を等速で上昇させなければならない。しか
し、表面張力の効果とその流動性とを考慮すると、数十
μｍ程度のステップ状の移送だけでも十分にテーパ形状
を得ることができる。
４の右図ような形状のテーパ部分の製作のためには、加
工中、電極１を等速で上昇させなければならない。しか
し、表面張力の効果とその流動性とを考慮すると、数十
μｍ程度のステップ状の移送だけでも十分にテーパ形状
を得ることができる。
【００２１】超微細穿孔パンチの形状は、テーパ部分の
長さ、先端部の直径、そして、テーパ部分の角度に従っ
て左右される。このような形状は、電解液の濃度と温
度、電極１の浸漬深さ、初期直径、材料定数、並びに、
加工中の電圧の変化などによって決められる。
長さ、先端部の直径、そして、テーパ部分の角度に従っ
て左右される。このような形状は、電解液の濃度と温
度、電極１の浸漬深さ、初期直径、材料定数、並びに、
加工中の電圧の変化などによって決められる。
【００２２】このように、パンチの形状を決めるための
制御要素と、これら制御要素が決められるパンチ形状と
の関係は、図５に示されている。
制御要素と、これら制御要素が決められるパンチ形状と
の関係は、図５に示されている。
【００２３】図５の左列は制御要素、右列は加工形状を
意味している。電極１の浸漬深さによって加工する長さ
が定められ、初期直径を始めとし、電極１の材料定数値
などと共に加えられる電圧に従って電極１の直径が変化
する。
意味している。電極１の浸漬深さによって加工する長さ
が定められ、初期直径を始めとし、電極１の材料定数値
などと共に加えられる電圧に従って電極１の直径が変化
する。
【００２４】パンチの製作において、テーパ部分の線形
化程度と、先端部の均一な直径部分の直進度とは、その
形状において重要な要素である。
化程度と、先端部の均一な直径部分の直進度とは、その
形状において重要な要素である。
【００２５】図６の点線部分を拡大したものが図７に示
されているが、加工されたテーパ部分の形状に対して線
形化を行い、並びに、テーパ部分と先端部の均一な直径
部分との連結部の曲率半径を測定するために、長さ方向
へ２０μｍずつ移動させながら直径を測定した。測定に
は４００倍の倍率を有する光学式顕微鏡を用い、最大測
定誤差は０．５μｍである。図８に示す部分は、均一な
直径部分とテーパ部分とに分かれており、これらの間
は、曲率半径１４０μｍで連結されている。このパンチ
のテーパ部分の角度は２２．４°である。そして、この
テーパ部分における各部分の直径の値を線形化し、この
線形化した値と実測値との誤差は、図９に図示されてい
る。この図から分かるように、これら誤差は、最大で
２．５μｍである。
されているが、加工されたテーパ部分の形状に対して線
形化を行い、並びに、テーパ部分と先端部の均一な直径
部分との連結部の曲率半径を測定するために、長さ方向
へ２０μｍずつ移動させながら直径を測定した。測定に
は４００倍の倍率を有する光学式顕微鏡を用い、最大測
定誤差は０．５μｍである。図８に示す部分は、均一な
直径部分とテーパ部分とに分かれており、これらの間
は、曲率半径１４０μｍで連結されている。このパンチ
のテーパ部分の角度は２２．４°である。そして、この
テーパ部分における各部分の直径の値を線形化し、この
線形化した値と実測値との誤差は、図９に図示されてい
る。この図から分かるように、これら誤差は、最大で
２．５μｍである。
【００２６】また、この図９を見ると、加工がなされな
かった部分となされた部分との連結部で、連続的に直径
の変化が起こる追加加工がなされたことを確認すること
ができる。この追加加工とは、電極１および陰極２が電
解液に浸漬した後、これら電極および陰極の間にかける
電圧が印加されるとき、表面張力によって電解液面より
やや上部分の電解液が引かれた部分で追加に加工されて
現われる現象である。この実験の条件では、表面張力に
よって発生した液面上昇の効果が現われたので、テーパ
部分の長さが短いパンチを要求する場合、その形状をま
ともに得ることができない。
かった部分となされた部分との連結部で、連続的に直径
の変化が起こる追加加工がなされたことを確認すること
ができる。この追加加工とは、電極１および陰極２が電
解液に浸漬した後、これら電極および陰極の間にかける
電圧が印加されるとき、表面張力によって電解液面より
やや上部分の電解液が引かれた部分で追加に加工されて
現われる現象である。この実験の条件では、表面張力に
よって発生した液面上昇の効果が現われたので、テーパ
部分の長さが短いパンチを要求する場合、その形状をま
ともに得ることができない。
【００２７】従って、短いテーパ部分を得る時には、良
くない結果が得られる。次に示す表１は、テーパ部分の
長さ変化に従って得られるテーパ部分の角度に対する実
験結果である。
くない結果が得られる。次に示す表１は、テーパ部分の
長さ変化に従って得られるテーパ部分の角度に対する実
験結果である。
【００２８】
【表１】
【００２９】初期直径０．５ｍｍの電極１から約１００
μｍの先端部の直径を得る場合、可能な最大のテーパ部
分の角度は、２４°である。
μｍの先端部の直径を得る場合、可能な最大のテーパ部
分の角度は、２４°である。
【００３０】本実験では、直径０．５ｍｍの材料からテ
ーパ部分の先端部が均一な直径の円柱形となる電極１を
得る方法を用いて超微細穿孔パンチを製作した。また、
電解液内に電極１が浸漬する深さを調節することによっ
て、色々なテーパ部分の角度が得られる。
ーパ部分の先端部が均一な直径の円柱形となる電極１を
得る方法を用いて超微細穿孔パンチを製作した。また、
電解液内に電極１が浸漬する深さを調節することによっ
て、色々なテーパ部分の角度が得られる。
【００３１】これまで、１本の電極について説明した
が、電極１は、複数でも良い。また、パンチの製作方法
として、電極１を上方に移送させる方法を示したが、電
極１の代わりに電解槽３０を下方に移送させても良く、
さらに、電極１を上方に、電解槽３０を下方に移送させ
て電極１の浸漬深さを減らしても良い。
が、電極１は、複数でも良い。また、パンチの製作方法
として、電極１を上方に移送させる方法を示したが、電
極１の代わりに電解槽３０を下方に移送させても良く、
さらに、電極１を上方に、電解槽３０を下方に移送させ
て電極１の浸漬深さを減らしても良い。
【００３２】ここで得られた超微細穿孔パンチによっ
て、超微細放電加工とパンチングとを用いて同一な形状
を有する微細孔が得られる。
て、超微細放電加工とパンチングとを用いて同一な形状
を有する微細孔が得られる。
【００３３】一方、図５のような形状決定要素などの詳
しい解釈を通じて、浸漬深さ、及び、電圧の調節を行う
ことによって、所望の形状が得られる。
しい解釈を通じて、浸漬深さ、及び、電圧の調節を行う
ことによって、所望の形状が得られる。
【００３４】ここで、本実施の形態では、設定した電圧
を印加することによってパンチの加工を行ったが、設定
した電流を流すことによってパンチの加工を行っても良
い。
を印加することによってパンチの加工を行ったが、設定
した電流を流すことによってパンチの加工を行っても良
い。
【００３５】これまで、実施の形態について図面を参照
しながら具体的に説明したが、本発明は、上述した実施
の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で行なわれるすべての実施を含む。
しながら具体的に説明したが、本発明は、上述した実施
の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で行なわれるすべての実施を含む。
【００３６】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、超微
細穿孔パンチの製作が簡単になり、且つ、電解液に電極
を浸漬して加工することによって、多量の超微細穿孔パ
ンチを短時間で生産できるという有利な長所を有する。
細穿孔パンチの製作が簡単になり、且つ、電解液に電極
を浸漬して加工することによって、多量の超微細穿孔パ
ンチを短時間で生産できるという有利な長所を有する。
【図１】図１は、電解加工の概念図である。
【図２】図２は、本発明に係る超微細穿孔パンチの製作
システムの構成図である。
システムの構成図である。
【図３】図３は、本発明に係る多段階形状を有する超微
細穿孔パンチの製作方法の概念図である。
細穿孔パンチの製作方法の概念図である。
【図４】図４は、本発明に係る多段階形状の縮小による
超微細穿孔パンチのテーパ形成過程を説明した例示図で
ある。
超微細穿孔パンチのテーパ形成過程を説明した例示図で
ある。
【図５】図５は、超微細穿孔パンチの形状を決めるため
の制御要素と、これら制御要素が決められるパンチ形状
との関係図である。
の制御要素と、これら制御要素が決められるパンチ形状
との関係図である。
【図６】図６は、本発明に係る加工を完了した超微細穿
孔パンチの加工形状図である。
孔パンチの加工形状図である。
【図７】図７は、図６の点線部位の拡大図である。
【図８】図８は、図７のテーパ部分の先端部の直径変化
線図である。
線図である。
【図９】図９は、図７のテーパ部分の先端部の直径誤差
線図である。
線図である。
１…電極、１ａ…テーパ部分、１−１…多段階部、２…
電極（陰極）、３…電解液、４…制御装置、３０…電解
槽
電極（陰極）、３…電解液、４…制御装置、３０…電解
槽
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年３月６日（２００１．３．６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】この時、使用した電極１は、純度９９．９
％のタングステンであり、この電極１の直径は、０．５
ｍｍの円柱形である。また、電解液には、５．０Ｍｏｌ
のＫＯＨ（水酸化カリウム）を用いた。この電極１のホ
ルダーは、光学用ステージとステップモータとから構成
されたステップ状に移送する移送装置のチャックに噛み
合わされて移送される。
％のタングステンであり、この電極１の直径は、０．５
ｍｍの円柱形である。また、電解液には、５．０Ｍｏｌ
のＫＯＨ（水酸化カリウム）を用いた。この電極１のホ
ルダーは、光学用ステージとステップモータとから構成
されたステップ状に移送する移送装置のチャックに噛み
合わされて移送される。
フロントページの続き (72)発明者 林亨俊 大韓民国、大田廣域市儒城區九城洞373− １番地 Ｆターム(参考） 3C059 AA02 AB03 CF01 CG03 CH01 CJ03 HA17 4E050 JA02 JB06 JD07
Claims (5)
- 【請求項１】 電解加工を用いた超微細穿孔パンチの製
作方法であって、 用意された電解液内に超微細穿孔パンチとして加工され
る少なくとも１つの電極と陰極とをそれぞれ一定の深さ
に浸漬させた後、これら電極と陰極との間に設定された
電圧を印加しながら、この電極の浸漬深さを所定の比率
で減らしていくようにして前記電極を超微細穿孔パンチ
として製作したことを特徴とする超微細穿孔パンチの製
作方法。 - 【請求項２】 前記電極は、円形断面を有することを特
徴とする、請求項１に記載の製作方法。 - 【請求項３】 前記電極は、前記電解液の濃度および温
度、前記電極の浸漬深さ、初期直径、材料定数、加工中
の電圧の変化によって決められた形状を有することを特
徴とする、請求項２に記載の製作方法。 - 【請求項４】 前記電極の浸漬深さを減らしていく速度
を変化させ、前記電極の初期直径から先端部の直径に至
るまで直径の変化を多様にすることを可能としたことを
特徴とする、請求項２もしくは３に記載の製作方法。 - 【請求項５】 電解加工を用いた超微細穿孔パンチの製
作装置であって、 電解液を入れる電解槽と、 この電解液内に超微細穿孔パンチとして加工される少な
くとも１つの電極と陰極とを一定の深さに位置させるた
めのホルダー手段と、 前記電極および／もしくは電解槽を移送させながら、こ
の電極の浸漬深さを減らしていくための移送手段と、 前記電極と陰極との間に設定された電圧を印加させるた
めの制御装置とを有することを特徴とする超微細穿孔パ
ンチの製作装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2000-56179 | 2000-09-25 | ||
| KR10-2000-0056179A KR100384131B1 (ko) | 2000-09-25 | 2000-09-25 | 전해가공을 이용한 초미세 천공펀치의 제작방법 및 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002102952A true JP2002102952A (ja) | 2002-04-09 |
Family
ID=19690268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000321542A Pending JP2002102952A (ja) | 2000-09-25 | 2000-10-20 | 超微細穿孔パンチの製作方法及びその装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002102952A (ja) |
| KR (1) | KR100384131B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006528905A (ja) * | 2003-05-13 | 2006-12-28 | ウルトラデント プロダクツ インコーポレイテッド | 歯内療法器具の製造方法 |
| JP2009142824A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Komatsu Ltd | 鋼管の拡管成形方法 |
| CN114952306A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-08-30 | 河南省优普密封科技有限公司 | 一种液态模具0.25毫米进胶孔加工工艺 |
-
2000
- 2000-09-25 KR KR10-2000-0056179A patent/KR100384131B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-10-20 JP JP2000321542A patent/JP2002102952A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006528905A (ja) * | 2003-05-13 | 2006-12-28 | ウルトラデント プロダクツ インコーポレイテッド | 歯内療法器具の製造方法 |
| JP2010115534A (ja) * | 2003-05-13 | 2010-05-27 | Ultradent Products Inc | 歯内療法器具の製造方法 |
| JP2009142824A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Komatsu Ltd | 鋼管の拡管成形方法 |
| CN114952306A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-08-30 | 河南省优普密封科技有限公司 | 一种液态模具0.25毫米进胶孔加工工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100384131B1 (ko) | 2003-05-14 |
| KR20020024436A (ko) | 2002-03-30 |
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