JP2016522404A - 電気コンタクト装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 検査機構と電気的に結合可能な少なくとも一つの導体基体と、少なくとも一つのコンタクト部間隔変換器と、電気コンタクト要素を具備した少なくとも一つのコンタクトヘッドとを備えた、コンタクト方向に行われる被検体、とりわけウエハの電気的接触コンタクトのための電気コンタクト装置において、前記コンタクトヘッド(3)が前記導体基体(2)と前記コンタクト部間隔変換器(4)の間に配置されていることを特徴とする電気コンタクト装置。
- 前記コンタクト要素(9)が、実質的にコンタクト方向(15)にバネ性のある又は実質的にコンタクト方向(15)にバネ性に作用するバネコンタクト要素(16)として形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電気コンタクト装置。
- 前記被検体(5)の前記電気的接触コンタクトのための検査コンタクト部(19)が、前記コンタクト部間隔変換器(4)に移動可能に保持されていること、又は前記被検体(5)の前記電気的接触コンタクトのための検査コンタクト部(19)が、前記コンタクト部間隔変換器(4)に固定されており、前記検査コンタクト部(19)がそれぞれ、剛性の検査コンタクト部(19)として又はバネ性のある検査コンタクト部(19)として形成されていること、とりわけ、コンタクト方向(15)に剛性の検査コンタクト部(19)として又はコンタクト方向(15)にバネ性のある若しくはコンタクト方向(15)にバネ性に作用する検査コンタクト部(19)として形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気コンタクト装置。
- 前記コンタクト要素(9)が前記検査コンタクト部(19)と接触コンタクトしていること、又は前記コンタクト要素(9)が前記検査コンタクト部(19)と取り外し不可の結合により電気的に結合されていること、又は前記コンタクト要素(9)と前記検査コンタクト部(19)が相互に一体的に形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記コンタクト部間隔変換器(4)が、バネ支持(41)により、コンタクト方向(15)にバネ性をもって若しくは実質的にコンタクト方向(15)にバネ性をもって配置されていること、又は前記コンタクト部間隔変換器(4)が、コンタクト方向(15)に移動可能に若しくは実質的にコンタクト方向(15)に移動可能にガイド支持によって配置され、且つ実質的にコンタクト方向(15)にバネ性のある若しくは実質的にコンタクト方向(15)にバネ性に作用するバネコンタクト要素(16)によりバネ性をもって突っ張り支持されており、又は別個のバネ構成によりバネ性をもって突っ張り支持されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記コンタクト部間隔変換器(4)のための中心センタリング装置(48)を特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記バネ支持(41)又は前記ガイド支持が、前記コンタクト部間隔変換器(4)のための前記中心センタリング装置(48)を一緒に形成することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記バネ支持(41)が少なくとも一つの板バネ要素(45)を備えていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記板バネ要素(45)が、コンタクト方向(15)に対して横断方向に、とりわけ直角に又は実質的に直角に延びている板面を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記板バネ要素(45)は、第1の端部領域(46)が、前記コンタクト部間隔変換器(4)の側辺に存在する側辺凹部(47)内に移動可能に差し込まれて配置されていること、並びに前記板バネ要素(45)のもう一方のさらなる端部領域が固定式に及び/又は前記コンタクトヘッド(3)で直接的若しくは間接的に保持されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- それぞれ互いの間に角度を挟んでおり、第1の端部領域(46)が互いに向かっている少なくとも二つの、好ましくは三つ又は四つの板バネ要素(45)が設けられており、とりわけ一つの板バネ(42)に形成された板バネ要素(45)が設けられており、前記板バネ要素が、前記コンタクト部間隔変換器(4)の異なる側辺にある側辺凹部(47)内で、移動可能に差し込まれて配置されていることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記板バネ(42)が、複数葉のクローバーの葉のような、とりわけ三つ葉のクローバーの葉又は四つ葉のクローバーの葉のような貫通口(43)を有しており、その際、前記クローバーの葉のそれぞれ二つの隣接する葉(44)の間に前記板バネ要素(45)の一つが形成されていることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記板バネ要素(45)の各々が、割り当てられた前記側辺凹部(47)と共に、前記コンタクト部間隔変換器(4)を径方向に移動可能に支持するための径方向支持部を構成することを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 各々の径方向支持部の前記径方向が、軸方向である前記コンタクト方向(15)に対して横断方向に、とりわけ垂直に又は実質的に垂直に延びていることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記コンタクトヘッド(3)の前記コンタクト要素(9)が、前記コンタクトヘッド(3)がさらなるコンタクト部間隔変換器(23)を構成するように形成及び/又は配置されていることを特徴とする請求項1から14のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記コンタクト要素(9)の少なくとも一つのバネ定数が、帰属の又はそれぞれ帰属の前記検査コンタクト部(19)のバネ定数より大きい又は小さいことを特徴とする請求項1から15のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
- 前記検査コンタクト部(19)の少なくとも一つのバネ圧縮ストロークが、帰属の又はそれぞれ帰属の前記コンタクト要素(9)の前記バネ圧縮ストロークが完全に行ききる前に、ストッパ(39)によって制限されることを特徴とする請求項1から16のいずれか一項に記載の電気コンタクト装置。
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