WO2020022085A1 - 測定装置 - Google Patents

Abstract

測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が取り付けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路（マイクロストリップ線路）が設けられる伝送基板６０と、を備え、本体部１０は、ベース部２０と、第一接触子１及び第二接触子２を保持する保持部３０と、ベース部２０に取り付けられ保持部３０を支持する支持部４０と、を有し、保持部３０は、測定対象Ｔへの第一接触子１及び第二接触子２の押し付けに伴って、ベース部２０に対して相対移動する。

Description

測定装置

　本発明は、測定装置に関するものである。

　ＪＰ２００５－２２３１７０Ａには、測定対象である複数の集積回路が形成されたウェハを載置する昇降可能なステージと、集積回路の高周波特性を測定する高周波プローブ装置と、を有する高周波特性測定装置が開示されている。この高周波プローブ装置は、略同一平面上に並列に所定の間隔をあけて配置されている、シグナル針とグラウンド針とにより構成されるプローブを有する。

　上記の測定装置では、まず、ステージを上昇させてプローブ（接触子）の先端を測定対象に接触させ、その後、ステージをさらに上昇させることでプローブを撓ませつつ測定対象に安定した姿勢で接触させる。

　しかしながら、上記の測定装置では、プローブが撓む過程において、プローブの先端が測定対象上において移動し、測定対象に接触痕が生じるおそれがある。また、プローブは、撓み量が大きいほどその伝送損失が増加するため、上記の測定装置では、プローブの撓みに起因して高周波特性の測定精度が低下するおそれがある。

　本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、測定対象での接触痕の発生を抑制しつつ測定装置の測定精度を向上させることを目的とする。

　本発明のある態様によれば、測定装置は、それぞれ測定対象に押し付けられる複数の接触子と、複数の接触子が取り付けられる本体部と、複数の接触子が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板と、を備え、本体部は、ベース部と、複数の接触子を保持する保持部と、ベース部に取り付けられ保持部を支持する支持部と、を有し、保持部は、測定対象への複数の接触子の押し付けに伴って、ベース部に対して相対移動する。

　この態様によれば、測定対象への複数の接触子の押し付けに伴って保持部がベース部に対して相対移動するため、保持部によって保持される接触子の各々も、押し付けの方向に沿ってベース部に対して相対移動する。これにより、測定対象へ押し付けられた接触子の過度な移動が抑制され、測定対象における接触痕の発生が抑制される。また、測定対象へ押し付けられた接触子の過度な移動が抑制されることにより、複数の接触子を大きく撓むように構成しなくてもよくなるため、複数の接触子の撓みに起因する伝送損失の増加が抑制される。したがって、測定対象での接触痕の発生を抑制しつつ測定装置の測定精度を向上させることができる。

図１は、本発明の第１実施形態に係る測定装置を示す斜視図である。 図２は、第１実施形態に係る測定装置を示す正面図である。 図３は、第１実施形態に係る測定装置の第一本体部を示す側面図である。 図４は、第１実施形態に係る測定装置の第一接触子を示す斜視図である。 図５は、第１実施形態に係る測定装置の伝送基板を示す平面図である。 図６は、第１実施形態に係る測定装置の伝送基板を示す底面図である。 図７Ａは、第１実施形態に係る接触子の第１変形例を示す平面図である。 図７Ｂは、第１実施形態に係る接触子の第２変形例を示す平面図である。 図８は、第１実施形態の変形例に係る測定装置を示す斜視図である。 図９は、第１実施形態の変形例に係る伝送基板を示す平面図である。 図１０は、第２実施形態に係る測定装置を上方から示す斜視図である。 図１１は、第２実施形態に係る測定装置を示す側面図である。 図１２は、第２実施形態に係る測定装置を下方から示す斜視図である。 図１３は、第２実施形態に係る測定装置の伝送基板の平面図である。 図１４は、第３実施形態に係る測定装置の本体部を示す斜視図である。 図１５は、第３実施形態に係る測定装置を下方から示す斜視図である。 図１６は、第３実施形態の変形例に係る測定装置の本体部を示す斜視図である。

（第１実施形態）
　以下、図面を参照して、本発明の第１実施形態に係る測定装置１００について説明する。

　測定装置１００は、例えば回路基板を電気的に検査する検査装置（図示省略）に用いられる。測定装置１００は、回路基板に含まれる測定対象Ｔ（図３参照）として、配線パターンがプリントされた半導体ウェハや電子回路基板、半導体ウェハや電子回路基板が実装された電子回路実装基板などにおいて発生する電磁波の高周波特性を測定する。

　図１及び図２に示すように、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる複数の接触子としての第一接触子１及び第二接触子２と、第一接触子１及び第二接触子２が取り付けられる本体部１０と、第一接触子１及び第二接触子２が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板６０と、を備える。

　第一接触子１及び第二接触子２は、測定対象Ｔに押し付けられて測定対象Ｔから高周波信号が入力される電極である。第一接触子１及び第二接触子２は、測定対象Ｔの接触面Ｔｓ（図３参照）に垂直な方向から測定対象Ｔに押し付けられる。第一接触子１及び第二接触子２は、焼結によって形成される焼結金属、より具体的には、工具鋼により形成される。

　第一接触子１と第二接触子２は、図２及び図３に示すように、所定の間隔をあけて互いに平行に延び、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに対して傾斜するように本体部１０に取り付けられる。第一接触子１及び第二接触子２は、矩形断面を有するピンであり、その先端部が先細りの形状に形成されて測定対象Ｔに接触する。第一接触子１及び第二接触子２の基端部は、伝送基板６０に接着される。第一接触子１と第二接触子２とは、同一形状である。よって、以下では、第一接触子１を例に具体的構造について説明し、第二接触子２の構造の詳細な説明は、適宜省略する。図４中の括弧内の符号は、第一接触子１の各構成に対応する第二接触子２の構成を示すものである。

　第一接触子１の先端部は、図４に示すように、測定対象Ｔに接触する先端Ｐから基端側に向けて離れるにつれて、幅Ｗ及び厚さＴｈが増加する。ここで、「幅」とは、図２中左右方向であって第一接触子１と第二接触子２とが隣接する方向（隣接方向）の長さである。また、「厚さ」とは、第一接触子１及び第二接触子２が延びる方向（延在方向）と隣接方向とに垂直な方向の長さである。

　以下では、第一接触子１において、伝送基板６０に接着される面を「下面１ａ」、下面１ａに平行な面を「上面１ｂ」、下面１ａ及び上面１ｂに垂直であって互いに平行な面をそれぞれ「側面１ｃ」、「側面１ｄ」と称する。側面１ｃは、第二接触子２に対向する対向面である。

　第一接触子１の先端Ｐは、図２及び図４に示すように、第一接触子１の隣接方向の中央に位置するように設けられる。第一接触子１は、先端Ｐから離れるにつれて、幅Ｗが増加すると共に、下面１ａに向けて厚さＴｈが増加する。第一接触子１の先端部には、下面１ａに接続され測定対象Ｔの接触面Ｔｓに対して傾斜する第一テーパ面１ｅと、それぞれ側面１ｃ及び１ｄに対して傾斜して接続されると共に第一テーパ面１ｅに接続される第二テーパ面１ｆ及び第三テーパ面１ｇと、が形成される。先端Ｐは、上面１ｂ、第一テーパ面１ｅ、第二テーパ面１ｆ、及び第三テーパ面１ｇにより形成される。

　第二接触子２の先端部には、第一接触子１と同様に、接触面Ｔｓに対して傾斜する第一テーパ面２ｅと、それぞれ側面２ｃ及び２ｄに対して傾斜して接続されると共に第一テーパ面２ｅに接続される第二テーパ面２ｆ及び第三テーパ面２ｇと、が形成される。第二接触子２の先端Ｐも、上面２ｂ、第一テーパ面２ｅ、第二テーパ面２ｆ、及び第三テーパ面２ｇにより形成される。第二接触子２も、先端Ｐから離れるにつれて、幅Ｗが増加すると共に、下面２ａに向けて厚さＴｈが増加する。

　このように、第一接触子１及び第二接触子２は、それぞれ先端Ｐに向かうにつれ断面積が小さくなる先細りの形状の先端部を有するため、先端Ｐを測定対象Ｔに接触させやすい。また、第一接触子１及び第二接触子２の下面１ａ，２ａには、測定対象Ｔから離れるように傾斜する第一テーパ面１ｅ，２ｅが形成されるため、先端Ｐ以外での第一接触子１及び第二接触子２と測定対象Ｔとの接触（干渉）を回避できる。

　図１から３に示すように、本体部１０は、ベース部２０と、第一接触子１及び第二接触子２を保持する保持部３０と、ベース部２０に取り付けられ保持部３０を支持する支持部４０と、を有する。

　図１に示すように、ベース部２０は、互いにボルト２０ａにより結合される第一ベース部２１及び第二ベース部２５により構成される。ベース部２０は、検査装置の昇降装置（図示省略）によって鉛直上下方向（測定対象Ｔの接触面Ｔｓに垂直な方向）に移動される。ベース部２０が上下に移動することで、第一接触子１及び第二接触子２が測定対象Ｔに対して接触・離間する。

　保持部３０は、第一接触子１及び第二接触子２（複数の接触子）のそれぞれを個別に保持する複数のホルダ部として第一保持部３１及び第二保持部３５を有する。第一保持部３１は、第一接触子１を保持する。第二保持部３５は、第二接触子２を保持する。また、支持部４０は、第一保持部３１及び第二保持部３５（複数のホルダ部）のそれぞれを個別に支持する複数のホルダ支持部として第一支持部４１及び第二支持部４５を有する。第一支持部４１は、第一ベース部２１に取り付けられ第一保持部３１を支持する。第二支持部４５は、第二ベース部２５に取り付けられ第二保持部３５を支持する。

　第一ベース部２１、第一保持部３１、及び第一支持部４１は、樹脂によって互いに一体成形され、第一本体部１１を構成する。第二ベース部２５、第二保持部３５、及び第二支持部４５は、樹脂によって互いに一体成形され、第二本体部１５を構成する。つまり、第一本体部１１と第二本体部１５とによって本体部１０が構成される。

　第一本体部１１と第二本体部１５とは、図２に示すように、所定の間隔（隙間）をあけて隣接して設けられる。第一本体部１１と第二本体部１５とは、第一接触子１及び第二接触子２に平行であって両者の中間にある仮想の基準面Ｒに対して対称構造を有する。よって、以下では、第一本体部１１の具体的構造について主に説明し、第二本体部１５の構造についての詳細な説明は適宜省略する。図３中の括弧内の符号は、第一本体部１１の構成に対応する第二本体部１２の構成を示すものである。

　図３に示すように、第一保持部３１には、第一接触子１が挿入される第一挿入孔３２が形成される。第一挿入孔３２は、第一保持部３１において第二保持部３５に対向する面に開口するスリット状に形成される。第一挿入孔３２の内周には、第一接触子１に形成される段差面１ｈに接触する第一規制部としてのストッパ面３２ａが形成される。ストッパ面３２ａが第一接触子１の段差面１ｈに接触することで、先端Ｐが第一挿入孔３２内へ向かうような第一接触子１の移動、言い換えれば、測定対象Ｔから離間する方向への移動が規制される。このように、第一接触子１は、ストッパ面３２ａに接触して、位置決めされる。

　第一保持部３１によって第一接触子１を保持させるには、まず、第一接触子１が、伝送基板６０に接着される基端部から第一挿入孔３２に挿入される。第一接触子１は、段差面１ｈがストッパ面３２ａに接触するまで基端部から第一挿入孔３２に挿入される。この状態で第一接触子１と第一保持部３１に接着剤が塗布され、第一接触子１は第一保持部３１に接着される。これにより、第一接触子１は、第一保持部３１から測定対象Ｔに向けて先端Ｐが突出した状態で第一保持部３１によって保持される。

　なお、第一保持部３１と同様に、第二保持部３５には、第二接触子２が挿入される第二挿入孔３７が形成される。第二挿入孔３７の内周には、第二接触子２に形成される段差面２ｈに接触する第二規制部としてのストッパ面３７ａが形成される。ストッパ面３７ａが第二接触子２の段差面２ｈに接触することで、先端Ｐが第二挿入孔３７内へ向かうような第二接触子２の移動が規制される。

　第一支持部４１は、一対のリンク部４２，４３を有するリンク機構により構成される。一対のリンク部４２，４３は、それぞれ接触面Ｔｓに対して平行に延び、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに垂直方向に並ぶ。一方のリンク部４２は、矩形断面を有するロッド部４２ａと、ロッド部４２ａの一端と第一保持部３１とを接続するジョイント部４２ｂと、ロッド部４２ａの他端と第一ベース部２１とを接続するジョイント部４２ｃと、を有する。同様に、他方のリンク部４３は、矩形断面を有するロッド部４３ａと、ロッド部４３ａの一端と第一保持部３１とを接続するジョイント部４３ｂと、ロッド部４３ａの他端と第一ベース部２１とを接続するジョイント部４３ｃと、を有する。一方のリンク部４２のロッド部４２ａは、他方のリンク部４３のロッド部４３ａよりも短く形成される。

　一方のリンク部４２におけるロッド部４２ａと第一ベース部２１及び第一保持部３１との間には、半円状の切り欠きが形成される。同様に、他方のリンク部４３におけるロッド部４３ａと第一ベース部２１及び第一保持部３１との間には、半円状の切り欠きが形成される。各切り欠きは、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに平行で長手方向（図３中左右方向）に対して垂直に延びる。これにより、ロッド部４２ａ，４３ａと第一ベース部２１及び第一保持部３１との間に、ジョイント部４２ｂ，４２ｃ，４３ｂ，４３ｃが設けられる。各ジョイント部４２ｂ，４２ｃ，４３ｂ，４３ｃは、ロッド部４２ａ，４３ａの長手方向に直交する断面積がロッド部４２ａ，４３ａよりも小さく、ロッド部４２ａ，４３ａと比較して弾性変形しやすく構成される。

　第一ベース部２１を鉛直方向下方に移動させて第一接触子１が測定対象Ｔに押し付けられると、その反力（以下、「押し付け反力」とも称する。）によってリンク部４２のジョイント部４２ｂ，４２ｃ及びリンク部４３のジョイント部４３ｂ，４３ｃが弾性変形し、各ロッド部４２ａ，４３ａが第一保持部３１及び第一ベース部２１に対して傾動（相対回転）する。一方のリンク部４２を例に説明すると、一方のジョイント部４２ｂを中心としてロッド部４２ａが第一保持部３１に対して相対回転し、他方のジョイント部４２ｃを中心としてロッド部４２ａが第一ベース部２１に対して相対回転する。このように、第一接触子１を測定対象Ｔに押し付ける際、第一支持部４１が変形することにより、鉛直方向における第一ベース部２１と第一保持部３１との相対移動が許容される。また、一方のロッド部４２ａが他方のロッド部４３ａより短いため、より直線的に第一ベース部２１と第一保持部３１とを鉛直方向へ相対移動させることができる。

　第一支持部４１と同様に、第二支持部４５は、一対のリンク部４６，４７を有するリンク機構により構成される。一方のリンク部４６は、矩形断面を有するロッド部４６ａと、ロッド部４６ａの一端と第二保持部３５とを接続するジョイント部４６ｂと、ロッド部４６ａの他端と第二ベース部２５とを接続するジョイント部４６ｃと、を有する。他方のリンク部４７は、矩形断面を有するロッド部４７ａと、ロッド部４７ａの一端と第二保持部３５とを接続するジョイント部４７ｂと、ロッド部４７ａの他端と第二ベース部２５とを接続するジョイント部４７ｃと、を有する。

　第二接触子２が測定対象Ｔに押し付けられると、第一支持部４１と同様に、第二支持部４５が弾性変形し、第二保持部３５と第二ベース部２５との鉛直方向における相対移動が許容される。第一支持部４１と第二支持部４５とは、両者の間に隙間が設けられそれぞれ独立して第一ベース部２１と第二ベース部２５とに接続されるため、第一保持部３１と第二保持部３５とは、互いに独立して移動することができる。

　また、第一支持部４１及び第二支持部４５は、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付ける際、第一接触子１及び第二接触子２に対して優先して弾性変形する。言い換えれば、第一接触子１及び第二接触子２は、測定対象Ｔに押し付けられる際、第一支持部４１及び第二支持部４５が優先して弾性変形する程度の耐久性を有する。

　伝送基板６０は、柔軟性を有する帯状のフレキシブルプリント基板である。伝送基板６０は、外力により変形が可能である。伝送基板６０の一端部（図５中上端部）には、図１及び図２に示すように、第一接触子１及び第二接触子２が接着される。伝送基板６０の図示しない他端部は、ベース部２０と共に移動するコネクタ（図示省略）を通じて、同軸ケーブル（図示省略）に電気的に接続される。第一接触子１及び第二接触子２から入力される電気信号は、伝送基板６０の高周波伝送線路によって伝送され、同軸ケーブルを通じて制御装置に入力される。

　伝送基板６０は、高周波伝送線路としてマイクロストリップ線路を形成する積層構造を有する基板である。伝送基板６０では、図５及び図６に示すように、絶縁層である基材６１の一方の面（表面）に導体層であるシグナル線６２がプリントされ、他方の面（裏面）には導体層であるグランド線６３がプリントされる。

　伝送基板６０は、第一接触子１及び第二接触子２のそれぞれが接着される複数の接着部として第一接着部６５及び第二接着部６６を有する。第一接着部６５には、第一接触子１が接着される。第二接着部６６には、第二接触子２が接着される。第一接着部６５と第二接着部６６との間には、伝送基板６０の長手方向に延びるスリット６０ａが形成される。第一接着部６５と第二接着部６６とは、スリット６０ａによって隔てられることで、互いに独立して移動可能（変形可能）に構成される。

　基材６１は、柔軟性を有する材質で形成される。伝送基板６０の裏面には、図６に示すように、基材６１を露出させる矩形の複数の凹部６１ａが規則的に並んで設けられている。言い換えれば、伝送基板６０の裏面のグランド線６３は、格子状（メッシュ状）に設けられる。これにより、裏面の全面にグランド線６３が設けられる場合と比較して、伝送基板６０が撓みやすくなる。

　シグナル線６２は、伝送基板６０の幅方向（図５中左右方向）の中央において、所定の幅を有して長手方向に沿って延びて設けられる。シグナル線６２の一端部６２ａは、第一接着部６５上に位置する。第一接着部６５上のシグナル線６２の一端部６２ａは、他の部位と比較して幅広に設けられ、第一接触子１が電気的に接続される。第一接触子１は、シグナル線６２と電気的に接続された状態で、接着剤により第一接着部６５に接着される。

　第二接着部６６の表面には、グランド線６３と電気的に接続される接続層６４が設けられる。第二接着部６６には、表面と裏面とに開口する貫通孔６６ａが設けられる。貫通孔６６ａの内周面には、第二接着部６６の表面の接続層６４と裏面のグランド線６３とを電気的に接続する貫通層６７が設けられる。第二接触子２は、第二接着部６６の接続層６４に電気的に接続され、接着剤によって第二接着部６６に接着される。第二接触子２は、接続層６４及び貫通層６７を通じてグランド線６３と電気的に接続される。

　次に、測定装置１００の作用について説明する。

　本実施形態の測定装置１００では、測定対象Ｔの高周波特性を測定するには、測定対象Ｔに対して垂直に（本実施形態では鉛直方向に）ベース部２０を移動させ、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔの接触面Ｔｓに接触させる。この状態からベース部２０をさらに下方へ移動させることで、所定の押し付け力により第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付けて電気的に接続させる。測定対象Ｔに接触した状態から第一接触子１及び第二接触子２をさらに押し付けるのに伴い、第一接触子１及び第二接触子２に優先して第一支持部４１及び第二支持部４５が弾性変形し、第一保持部３１及び第二保持部３５が第一ベース部２１及び第二ベース部２５に対して相対移動する。このように第一ベース部２１及び第二ベース部２５に対して第一保持部３１及び第二保持部３５が相対移動するため、第一保持部３１に保持される第一接触子１及び第二保持部３５に保持される第二接触子２のぞれぞれも、第一ベース部２１及び第二ベース部２５に対して相対移動する。これにより、第一接触子１及び第二接触子２が弾性変形（撓み変形）しなくても、ベース部２０の移動に伴い第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔへ押し付けることができ、第一接触子１及び第二接触子２の撓みに起因してそれぞれの先端が測定対象Ｔ上で移動することが抑制される。このようにして測定対象Ｔへ押し付けられた第一接触子１及び第二接触子２の過度な移動が抑制されるため、測定対象Ｔにおける接触痕の発生が抑制される。また、測定対象Ｔへ押し付けられた第一接触子１及び第二接触子２の過度な移動が抑制され、第一接触子１及び第二接触子２を大きく撓ませなくてもよいため、第一接触子１及び第二接触子２の撓みに起因する伝送損失の増加が抑制される。したがって、測定対象Ｔでの接触痕の発生を抑制しつつ測定装置１００の測定精度を向上させることができる。

　また、従来の測定装置には、ばね性を有する接触子を積極的に撓ませながら所定の押し付け圧により測定対象に押し付けることで、接触子と測定対象との良好な接触状態を得るものがある。しかしながら、このような測定装置では、接触子にばね性が求められるため、接触子の硬度を高くして耐久性を向上させることが難しい。

　これに対し、本実施形態の測定装置１００では、第一支持部４１及び第二支持部４５の弾性変形によって生じる弾性力により、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付ける押し付け力が確保される。第一接触子１及び第二接触子２に対して第一支持部４１及び第二支持部４５が優先的に弾性変形して押し付け力が確保されるため、第一接触子１及び第二接触子２を積極的に弾性変形させなくてもよい。よって、第一接触子１及び第二接触子２の材質選択の自由度が向上する。測定装置１００では、第一接触子１及び第二接触子２は、焼結金属である工具鋼によって形成されるため、高い耐久性を有する。

　また、一般に、測定装置の測定対象は、測定面に高低差（凹凸）が生じることがある。特に、測定対象が電子回路基板である場合には、半導体ウェハである場合よりも大きな凹凸が生じやすい。測定対象に高低差がある場合、高さが相対的に高い部位に対して一方の接触子が先に接触してしまい、高さが相対的に低い部位には他方の接触子が充分に接触しないおそれがある。このように、測定対象に凹凸が生じる場合には、第一接触子及び第二接触子と測定対象との接触状態が不均一になり、良好な接触状態を得られないおそれがある。

　これに対し、測定装置１００では、第一接触子１を保持する第一保持部３１と第二接触子２を保持する第二保持部３５とは、互いに独立して移動可能に構成される。また、伝送基板６０は変形可能に構成されるものであるため、第一接触子１と第二接触子２とが独立して移動することを妨げない。よって、測定装置１００によれば、測定対象Ｔ（特に回路基板）に凹凸が生じているような場合であっても、第一接触子１及び第二接触子２の一方が測定対象Ｔに接触し、さらに他方が移動して測定対象Ｔに接触することができる。つまり、第一接触子１と第二接触子２とは、測定対象Ｔの高さの差を許容するように、互いに異なる移動量で独立して移動することができるため、第一接触子１及び第二接触子２と測定対象Ｔとの接触状態を均一にすることができる。これにより、第一接触子１及び第二接触子２を所定の押し付け力により測定対象Ｔに押し付けて、良好な接触状態を得ることができる。

　次に、上記第１実施形態の変形例について説明する。以下のような変形例も本発明の範囲内であり、以下の変形例と上記第１実施形態の各構成とを組み合わせたり、以下の変形例同士を組み合わせたりすることも可能である。また、上記第１実施形態の説明において記載された変形例についても同様に、他の変形例と任意に組み合わせることが可能である。また、上記第１実施形態及び以下に記載する第１実施形態の変形例は、技術的に可能な範囲内において、後述する第２及び第３実施形態及びこれらの変形例とも組み合わせることができる。

　上記第１実施形態では、伝送基板６０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板である。これに対し、伝送基板６０は、柔軟性を有する部位と有していない部位とを含むフレックスリジット基板であってもよい。さらに、第一接触子１と第二接触子２とを独立して移動させない場合には、伝送基板６０は、基材６１が柔軟性を有しておらず硬質であるリジット基板であってもよい。

　また、上記第１実施形態では、本体部１０は、互いに対称構造を有する第一本体部１１及び第二本体部１５により構成される分割構造である。また、第一接触子１と第二接触子２とは、互いに独立して移動可能である。これに対し、第一接触子１と第二接触子２の耐久性を向上させるためには、本体部１０を分割構造ではなく一体に形成し、第一接触子１と第二接触子２とは独立して移動可能でなくてもよい。測定装置１００では、第一接触子１と第二接触子２の耐久性を向上させるためには、測定対象Ｔへの第一接触子１と第二接触子２の押し付けに伴い、支持部４０が弾性変形する構造であればよい。

　また、上記第１実施形態では、支持部４０（第一支持部４１，第二支持部４５）は、リンク機構により構成される。これに対し、支持部４０（第一支持部４１，第二支持部４５）は、第一接触子１と第二接触子２に優先して弾性変形する限り、リンク機構に限らず任意の構成とすることができる。

　また、上記第１実施形態では、第一接触子１及び第二接触子２は、矩形断面を有する四角柱状の端子である。これに対し、第一接触子１及び第二接触子２は、これに限られず、例えば、円形断面を有する円柱や、四角形以外の多角形断面を有する角柱（多角柱）に形成されてもよい。なお、いずれの場合であっても、先端部は、上記実施形態のように先細りの形状に形成することが望ましい。

　また、上記第１実施形態では、第一接触子１及び第二接触子２は、互いに同一形状である。第一接触子１及び第二接触子２の先端Ｐは、それぞれの幅方向（隣接方向）の中央に設けられる。これに対し、第一接触子１及び第二接触子２は、互いに同一形状に限られず、任意の形状とすることができる。第一接触子１及び第二接触子２の先端Ｐは、幅方向の中央に限らず、例えば、図７Ａに示すように、それぞれの先端Ｐは、互いに近接するように、互いに対向する側面１ｃ，２ｃ（対向面）上に配置されてもよいし、図７Ｂに示すように、互いに離間するように、側面１ｄ，２ｄ上に配置されてもよい。図７Ａや図７Ｂに示す形状では、第一接触子１と第二接触子２とは、基準面Ｒに対して面対称の構造となる。

　また、上記第１実施形態では、高周波伝送線路は、マイクロストリップ線路である。これに対し、高周波伝送線路は、コプレーナ線路やストリップ線路など、その他のものであってもよい。測定装置１００は、高周波伝送線路の種類に応じた数の接触子を備えるように構成すればよい。つまり、測定装置１００は、高周波伝送線路の種類に応じて、三つ以上の接触子を備えるものでもよい。また、測定装置１００の本体部１０は、接触子の数に応じて、互いに独立して移動可能となるように分割された構造であってもよい。

　また、上記第１実施形態では、高周波伝送線路はマイクロストリップ線路であり、測定装置１００は、シグナル線６２に電気的に接続される第一接触子１とグランド線６３に電気的に接続される第二接触子２との二つの接触子を備える。これに対し、マイクロストリップ線路が高周波伝送線路として設けられる場合には、測定装置は、三つの接触子を備えていてもよい。以下、図８及び図９を参照して、変形例に係る測定装置１００Ａについて具体的に説明する。

　変形例に係る測定装置１００Ａは、図８に示すように、シグナル線６２に電気的に接続される第一接触子１と、グランド線６３に電気的に接続される第二接触子２及び第三接触子３と、を有する。

　測定装置１００Ａの本体部１０は、第一本体部１１、第二本体部１５、及び第三本体部１９を有する。第一本体部１１及び第二本体部１５は、上記実施形態と同様の構成である。第三接触子３が取り付けられる第三本体部１９は、第二本体部１５と共に第一本体部１１を挟むようにして並んで設けられる。第三本体部１９は、第一本体部１１及び第二本体部１５と同様の構成を有するものである。このため、詳細な説明及び図示は省略するが、第三本体部１９は、第三ベース部２９と、第三接触子３を保持するホルダ部である第三保持部３９と、第三保持部３９を移動可能に支持するホルダ支持部である第三支持部４９と、を有する。第一ベース部２１、第二ベース部２５、及び第三ベース部２９は、ボルト２０ａにより結合されベース部２０を構成する。第三保持部３９は、第一保持部３１及び第二保持部３５と共に保持部３０を構成する。第三支持部４９は、第一支持部４１及び第二支持部４５と共に支持部４０を構成し、第一接触子１及び第二接触子２とは独立して第三接触子３を移動可能に支持する。

　伝送基板６０では、上記第１実施形態と同様に、絶縁層である基材６１の一方の面（表面）に導体層であるシグナル線６２がプリントされ、他方の面（裏面）には導体層であるグランド線６３がプリントされる。

　伝送基板６０は複数の接着部として、図９に示すように、第一接触子１が接触される第一接着部６５、第二接触子２が接触される第二接着部６６、及び第三接触子３が接着される第三接着部６８を有する。第一接着部６５と第二接着部６６との間、及び、第二接着部６６と第三接着部６８との間には、伝送基板６０の長手方向に延びるスリット６０ａが形成される。第一接着部６５、第二接着部６６、及び第三接着部６８は、スリット６０ａによって互いに隔てられることで独立して移動可能（変形可能）に構成される。

　第二接着部６６は、上記第１実施形態と同様であり、接続層６４ａ（上記実施形態における接続層６４に相当）と、貫通孔６６ａと、貫通層６７と、を有する。第二接触子２は、第二接着部６６の接続層６４ａに電気的に接続され、接着剤によって第二接着部６６に接着される。第二接触子２は、接続層６４ａ及び貫通層６７を通じてグランド線６３と電気的に接続される。

　第三接着部６８は、第二接着部６６と同様に、グランド線６３と電気的に接続される接続層６４ｂと、表面と裏面とに開口する貫通孔６８ａと、貫通孔６８ａの内周面に設けられ、第三接着部６８の表面の接続層６４ｂと裏面のグランド線６３とを電気的に接続する貫通層６９と、を有する。第三接触子３は、第三接着部６８の接続層６４ｂに電気的に接続され、接着剤によって第三接着部６８に接着される。第三接触子３は、接続層６４ｂ及び貫通層６９を通じてグランド線６３と電気的に接続される。

　このような変形例においても、上記第１実施形態と同様の効果を奏する。

（第２実施形態）
　以下、図１０から図１３を参照して、本発明の第２実施形態に係る測定装置２００について説明する。

　測定装置２００は、例えば回路基板を電気的に検査する検査装置（図示省略）に用いられる。測定装置２００は、回路基板に含まれる測定対象Ｔ（図１１参照）として、配線パターンがプリントされた半導体ウェハや電子回路基板、半導体ウェハや電子回路基板が実装された電子回路実装基板などにおいて発生する電磁波の高周波特性を測定する。

　図１０から図１２に示すように、測定装置２００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる複数の接触子としての第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３と、高周波伝送線路が設けられ、柔軟性を有する伝送基板１１０と、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３が取り付けられる本体部１２０と、を備える。

　第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられて測定対象Ｔから高周波信号が入力される電極である。第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、図１２及び図１３に示すように、互いに同一の円柱形状に形成され、伝送基板１１０の長手方向の一端部に設けられる。

　伝送基板１１０は、柔軟性を有する帯状のフレキシブルプリント基板であり、外力により変形が可能である。

　伝送基板１１０には、図１２及び図１３に示すように、高周波伝送線路としてコプレーナ線路が設けられる。具体的には、伝送基板１１０では、柔軟性を有する絶縁層である基材１１１の下面（測定対象Ｔに対向する面）に、導体層である単一のシグナル線１１２と、導体層である２つのグランド線と、が設けられる。以下では、二つのグランド線の一方を「第一グランド線１１３」、他方を「第二グランド線１１４」と称する。

　シグナル線１１２は、図１３に示すように、所定の幅（図１３中左右方向の長さ）を有し、伝送基板１１０の長手方向（図１３中上下方向）に沿って延びる。第一グランド線１１３及び第二グランド線１１４は、それぞれ所定の幅を有し、伝送基板１１０の長手方向に沿って延びる。シグナル線１１２、第一グランド線１１３、及び第二グランド線１１４の幅は、それぞれ長手方向に均一である。このように、シグナル線１１２、第一グランド線１１３、及び第二グランド線１１４は、互いに平行に延びて設けられる。

　シグナル線１１２は、第一グランド線１１３と第二グランド線１１４との間に、第一グランド線１１３と第二グランド線１１４のそれぞれに対して所定の間隔を空けて設けられる。シグナル線１１２、第一グランド線１１３、及び第二グランド線１１４のそれぞれの幅と互いの間隔は、高周波伝送線路の特性インピーダンスが、測定対象Ｔの特性インピーダンスと整合するように設定される。

　シグナル線１１２には、第一接触子１０１が電気的に接続される。第一接触子１０１は、シグナル線１１２の表面に施されるめっき（例えばニッケルめっき）が積層されることで、シグナル線１１２上に形成される。よって、第一接触子１０１は、シグナル線１１２と一体に成形される。言い換えれば、シグナル線１１２の一部が第一接触子１０１として機能する。

　第一グランド線１１３には、第二接触子１０２が電気的に接続される。第一接触子１０１と同様に、第二接触子１０２は、第一グランド線１１３に施されるめっきが積層されることで、第一グランド線１１３上に形成される。

　第二グランド線１１４には、第三接触子１０３が電気的に接続される。第一接触子１０１及び第二接触子１０２と同様に、第三接触子１０３は、第二グランド線１１４に施されるめっきが積層されることで、第二グランド線１１４上に形成される。

　以上のように、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、それぞれ対応するシグナル線１１２、第一グランド線１１３、第二グランド線１１４と一体的に設けられるため、各接触子１０１，１０２，１０３と伝送基板１１０の高周波伝送線路との間における伝送損失が抑制される。別の観点からいえば、本実施形態における第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３は、針状の接触子のような撓みが生じやすい接触子ではないため、撓みに起因する伝送損失の増加を招くおそれが低く、伝送損失が抑制される。これにより、高周波伝送線路における伝送特性が向上する。

　第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、伝送基板１１０の長手方向に対して垂直な直線上に並んで設けられる。つまり、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、互いに平行に延びるシグナル線１１２、第一グランド線１１３、及び第二グランド線１１４に直交する仮想の直線上に設けられる。第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、測定対象Ｔの接触面Ｔｓ（図１１参照）に垂直な方向から測定対象Ｔに押し付けられる。

　伝送基板１１０の図示しない他端部は、図示しない制御装置（コントローラ）に電気的に接続される。第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３から入力される高周波信号は、伝送基板１１０の高周波伝送線路によって伝送され、制御装置に入力される。

　図１０から１２に示すように、本体部１２０は、ベース部１３０と、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を保持する保持部１４０と、ベース部１３０に取り付けられ保持部１４０を支持する支持部１５０と、を有する。ベース部１３０、保持部１４０、及び支持部１５０は、樹脂によって互いに一体成形される。保持部１４０、支持部１５０、ベース部１３０は、伝送基板１１０の長手方向に並んで構成される。

　ベース部１３０は、直方体形状に形成され、検査装置の昇降装置（図示省略）によって鉛直上下方向（測定対象Ｔの接触面Ｔｓに垂直な方向）に移動される。ベース部１３０が上下に移動することで、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３が測定対象Ｔに対して接触・離間する。ベース部１３０の下面（測定対象Ｔに対向する面）には、図１１に示すように、伝送基板１１０において一端部から長手方向に離間した中間部分が取り付けられる。伝送基板１１０は、張力が作用しないようにベース部１３０に取り付けられる。

　保持部１４０は、直方体形状に形成され、一部がベース部１３０の下面から測定対象Ｔに向けて突出する。ベース部１３０から突出する保持部１４０の下面（測定対象Ｔに対向する面）には、測定対象Ｔへの押し付けに伴う第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３同士の独立した移動を許容する移動許容部としての弾性部材１６０が設けられる。

　弾性部材１６０は、例えばゴムなどで形成され、外力によって伸縮可能である。弾性部材１６０は、接着剤により保持部１４０の下面に接着される。弾性部材１６０には、図１１及び１２に示すように、伝送基板１１０の一端部が接着され、伝送基板１１０を介して第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３が取り付けられる。第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、伝送基板１１０を挟んで、弾性部材１６０に対向する。つまり、保持部１４０は、弾性部材１６０を介して、伝送基板１１０と当該伝送基板１１０に設けられる第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３とを保持する。

　弾性部材１６０は、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３よりも弾性変形しやすい材質であることが望ましい。また、弾性部材１６０は、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を測定対象Ｔに押し付けた際、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３に対して優先して変形することが望ましい。

　支持部１５０は、主に図２に示すように、一対のリンク部１５１，１５５を有するリンク機構により構成される。一対のリンク部１５１，１５５は、それぞれ測定対象Ｔの接触面Ｔｓに対して平行に延び、接触面Ｔｓに垂直な方向に並んで設けられる。

　一方のリンク部１５１は、矩形断面を有するロッド部１５２と、ロッド部１５２の一端と保持部１４０とを接続するジョイント部１５３と、ロッド部１５２の他端とベース部１３０とを接続するジョイント部１５４と、を有する。同様に、他方のリンク部１５５は、矩形断面を有するロッド部１５６と、ロッド部１５６の一端と保持部１４０とを接続するジョイント部１５７と、ロッド部１５６の他端とベース部１３０とを接続するジョイント部１５８と、を有する。

　ロッド部１５２，１５６とベース部１３０及び保持部１４０との間には、半円状の切り欠きが形成される。各切り欠きは、測定対象Ｔの接触面Ｔｓに平行でロッド部１５２，１５６の長手方向（図２中左右方向）に対して垂直に延びる。これにより、ロッド部１５２，１５６とベース部１３０及び保持部１４０との間にジョイント部１５３，１５４，１５７，１５８が設けられる。各ジョイント部１５３，１５４，１５７，１５８は、ロッド部１５２，１５６の長手方向に直交する断面積がロッド部１５２，１５６よりも小さく、ロッド部１５２，１５６と比較して弾性変形しやすく構成される。

　ベース部１３０を鉛直方向下方に移動させて第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３が測定対象Ｔに押し付けられると、その反力（以下、「押し付け反力」とも称する。）によってリンク部１５１のジョイント部１５３，１５４、及びリンク部１５５のジョイント部１５７，１５８が弾性変形し、各ロッド部１５２，１５６が保持部１４０及びベース部１３０に対して傾動（相対回転）する。

　一方のリンク部１５１を例に説明すると、一方のジョイント部１５３を中心としてロッド部１５２が保持部１４０に対して相対回転し、他方のジョイント部１５４を中心としてロッド部１５２がベース部１３０に対して相対回転する。このように、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を測定対象Ｔに押し付ける際、支持部１５０が弾性変形することにより、鉛直方向に沿ったベース部１３０と保持部１４０との相対移動が許容される。また、支持部１５０は、リンク機構により構成されるため、ベース部１３０と保持部１４０とは、鉛直方向において略直線的に相対移動することができる。

　次に、測定装置２００の作用について説明する。

　測定対象Ｔの高周波特性を測定するには、測定対象Ｔに対して垂直に（本実施形態では鉛直方向に）ベース部１３０を移動させ、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を測定対象Ｔの接触面Ｔｓに接触させる。この状態からベース部１３０をさらに下方へ移動させることで、所定の押し付け力により第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を測定対象Ｔに押し付けて電気的に接続させる。測定対象Ｔに接触した状態から第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３をさらに押し付けるのに伴い、支持部１５０が弾性変形し、保持部１４０がベース部１３０に対して相対移動する。このようにベース部１３０に対して保持部１４０が相対移動するため、保持部１４０に保持される第一接触子１０１，第二接触子１０２，及び第三接触子１０３も、ベース部１３０に対して相対移動する。よって、測定対象Ｔへ押し付けられた第一接触子１０１，第二接触子１０２，及び第三接触子１０３の過度な移動が抑制され、測定対象Ｔにおける接触痕の発生が抑制される。また、支持部１５０の弾性変形によって生じる弾性力により、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を測定対象Ｔに押し付ける押し付け力が確保される。つまり、測定対象Ｔへの第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３の押し付けに伴い支持部１５０が弾性変形するため、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を、シグナル線１１２、第一グランド線１１３、及び第二グランド線１１４と一体に形成される円柱形状として構成することができ、第一接触子１０１，第二接触子１０２，及び第三接触子１０３の撓みに起因する伝送損失の発生が抑制できると共に、所定の押し付け圧によって測定対象Ｔに接触させることができる。したがって、測定対象Ｔでの接触痕の発生を抑制しつつ測定装置２００の測定精度を向上させることができる。

　また、一般に、測定装置としては、接触子が設けられるプリント配線基板が、不可逆性を有するセミリジッド型の同軸ケーブルの先端に取り付けられるものがある。このような測定装置において、接触子を測定対象に所定の押し付け力で押し付けると、同軸ケーブルが変形するため、同軸ケーブルにおける特性インピーダンスが変化する。よって、この測定装置では、同軸ケーブルによる伝送損失が増加し、測定装置による高周波特性の測定精度が低下するおそれがある。

　これに対し、測定装置２００では、伝送基板１１０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板であるため、支持部１５０の弾性変形（ベース部１３０と保持部１４０との鉛直方向における相対移動）によって撓む。具体的には、伝送基板１１０は、ベース部１３０に取り付けられる中間部に対して、保持部１４０に取り付けられる一端部が上下（図１１中上下方向）に移動するように変形する。このような伝送基板１１０の変形においては、シグナル線１１２、第一グランド線１１３、及び第二グランド線１１４の相対的な位置関係（間隔）は変化しない。よって、支持部１５０の変形に伴って伝送基板１１０が変形しても、伝送基板１１０における特性インピーダンスは変化せず、伝送基板１１０における伝送損失も抑制される。したがって、測定装置２００の測定精度を向上させることができる。

　また、一般に、測定対象では、測定面に高低差（凹凸）が生じることがある。特に、測定対象が電子回路基板である場合には、半導体ウェハなどと比べて大きな凹凸が生じやすい。測定対象に高低差がある場合、高さが相対的に高い部位に対してある接触子が先に接触してしまい、高さが相対的に低い部位には他の接触子が充分に接触しないおそれがある。このように、測定対象に高低差（凹凸）が生じる場合には、接触子と測定対象との接触状態が不均一になり、良好な接触状態を得られないおそれがある。

　これに対し、測定装置２００では、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、弾性部材１６０を介して保持部１４０に取り付けられる。また、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、柔軟性を有する伝送基板１１０上に設けられる。このため、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３が測定対象Ｔに接触すると、当該接触子に対向する弾性部材１６０が圧縮されると共に、伝送基板１１０が変形する。よって、ある接触子が測定対象Ｔに先に接触しても、弾性部材１６０と伝送基板１１０の変形によって他の接触子と共に保持部１４０を測定対象Ｔに向けてさらに移動させることができる。

　このように、測定装置２００では、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、測定対象Ｔの高さの差を許容するように、互いに異なる移動量で独立して移動（言い換えれば相対移動）することができる。このため、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３と測定対象Ｔとの接触状態を均一にすることができる。これにより、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３のそれぞれを所定の押し付け力により測定対象Ｔに押し付けて、良好な接触状態を得ることができる。

（第３実施形態）
　次に、図１４及び図１５を参照して、本発明の第３実施形態について、説明する。以下では、上記第２実施形態と異なる点を中心に説明し、上記第２実施形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。

　上記第２実施形態では、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を互いに独立して移動させる移動許容部は、保持部１４０に設けられる弾性部材１６０である。上記第２実施形態では、弾性部材１６０が拡縮することで、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３が、互いに独立して移動する。

　これに対し、第３実施形態に係る測定装置３００では、移動許容部は、保持部１４０と一体に形成される弾性構造部２６０である。

　弾性構造部２６０は、保持部１４０に接続される基部２６１と、基部２６１を支点として互いに独立して撓み変形（弾性変形）する複数の変形部と、を有する。

　図１４及び図１５に示すように、変形部は、接触子に対応した数（本実施形態では、３つ）だけ設けられ、それぞれ伝送基板１１０を介して第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３が取り付けられる。以下では、第一接触子１０１が取り付けられる変形部を「第一変形部２６５」、第二接触子１０２が取り付けられる変形部を「第二変形部２６６」、第三接触子１０３が取り付けられる変形部を「第三変形部２６７」とも称する。第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７は、それぞれ基端側が基部２６１から折れ曲がって形成され、基端側から測定対象Ｔに対して平行に延びる。第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７の先端側は、自由端として構成される。

　第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７と保持部１４０との間には、主に図１４に示すように、隙間２６０ａが形成される。隙間２６０ａが設けられることで、第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７と保持部１４０との干渉が防止される。

　また、第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７の間には、互いを隔てるスリット２６０ｂ，２６０ｃが形成される。基部２６１、第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７は、保持部１４０と共に樹脂により一体成形される。

　伝送基板１１０には、図１５に示すように、シグナル線１１２と第一グランド線１１３の間、及び、シグナル線１１２と第二グランド線１１４の間において、長手方向に延びるスリット１１０ａ，１１０ｂが形成される。第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３は、スリット１１０ａ，１１０ｂによって互いに隔てられるため、独立して移動しやすくなる。

　第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７は、それぞれ基部２６１を支点として自由端が鉛直方向上下に移動するように、曲げ変形が可能である。言い換えれば、第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７は、基部２６１を支点として撓み変形が可能である。また、第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７は、スリット２６０ｂ，２６０ｃによって隔てられており、互いに独立して変形可能である。よって、第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７に取り付けられる第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３も互いに独立して移動可能である。このような第４実施形態においても、上記第３実施形態と同様に、測定対象Ｔの高低差を許容して、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３と測定対象Ｔとの接触状態を均一にすることができる。よって、測定対象Ｔに高低差があっても、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３と測定対象Ｔとの接触状態を良好にすることができる。

　なお、上記第２実施形態と同様、測定装置３００では、伝送基板１１０にスリット１１０ａ，１１０ｂを設けない構成としてもよい。この場合には、スリット２６０ｂ，２６０ｃを設けて複数の変形部を設ける構成（図１４の構成）とせずに、図１６に示すように、単一の変形部２６８が基部２６１に接続され、変形部２６８に第一接触子１０１、第二接触子１０２、第三接触子１０３を取り付けるように構成してもよい。

　反対に、上記第２実施形態において、第３実施形態のように、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を隔てるスリット１１０ａ，１１０ｂを伝送基板１１０に設けてもよい。伝送基板１１０にスリット１１０ａ，１１０ｂを設ける場合には、上述のように、第一接触子１０１、第二接触子１０２、及び第三接触子１０３を独立して移動させやすい。一方、伝送基板１１０にスリット１１０ａ，１１０ｂを設けない場合には、スリット１１０ａ，１１０ｂにより生じる空気層が、シグナル線１１２と第一グランド線１１３、及び、シグナル線１１２と第二グランド線１１４との間に形成されることがない。このため、伝送基板１１０にスリット１１０ａ，１１０ｂを設けない場合には、高周波伝送線路の特性インピーダンスを測定対象Ｔの特性インピーダンスに整合させやすい。伝送基板１１０にスリット１１０ａ，１１０ｂを設けるか否かは、高周波伝送線路の特性インピーダンスを考慮して、決定すればよい。

　以上のように、移動許容部である弾性構造部２６０が基部２６１を支点として複数の変形部が互いに独立して撓み変形する第３実施形態においても、第２実施形態と同様の作用効果を奏する。つまり、移動許容部は、上記第２実施形態のように、自身の圧縮（伸縮）により接触子の独立した移動を許容するものでもよいし、上記第３実施形態のように、基部２６１を支点とした複数の変形部（第一変形部２６５、第二変形部２６６、及び第三変形部２６７）の撓み変形により接触子の独立した移動を許容するものでもよい。

　次に、第２及び第３実施形態の変形例について説明する。以下のような変形例も本発明の範囲内であり、以下の変形例と上記実施形態の各構成とを組み合わせたり、以下の変形例同士を組み合わせたりすることも可能である。また、上記実施形態の説明において記載された変形例についても同様に、他の変形例と任意に組み合わせることが可能である。

　上記第２及び第３実施形態では、高周波伝送線路は、コプレーナ線路である。これに対し、高周波伝送線路は、ストリップ線路やマイクロストリップ線路など、その他のものであってもよい。

　また、上記第２及び第３実施形態では、伝送基板１１０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板である。これに対し、伝送基板１１０は、柔軟性を有する部位と有していない部位とを含むフレックスリジット基板であってもよい。特許請求の範囲における「柔軟性を有する伝送基板」とは、全体が柔軟性を有するフレキシブルプリント基板に限らず、一部が柔軟性を有するフレックスリジット基板も含む意味である。

　また、上記第２及び第３実施形態では、支持部１５０におけるリンク部１５１，１５５のロッド部１５２，１５６は、互いに同じ長さを有する。これに対し、ロッド部１５２，１５６は、長さが互いに異なるように構成されてもよい。

　また、上記第２及び第３実施形態では、支持部１５０とは、一対のリンク部１５１，１５５を有するリンク機構により構成される。これに対し、支持部１５０は、測定対象Ｔへの第一接触子１０１，第二接触子１０２，及び第三接触子１０３の押し付けに伴い変形するように構成される限りは、リンク機構に限らず、任意の構成とすることができる。

　また、上記第２及び第３実施形態では、第一接触子１０１、第二接触子１０２、第三接触子１０３は、円柱形状に形成される。これに限らず、第一接触子１０１、第二接触子１０２、第三接触子１０３は、任意の形状に形成することができる。第一接触子１０１、第二接触子１０２、第三接触子１０３は、例えば、角柱、角錐、円錐、角錐台、円錐台などの形状で形成してもよい。

　次に、上記各実施形態の作用効果についてまとめて説明する。

　第１～第３実施形態では、測定装置１００，２００，３００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３と、第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３が取り付けられる本体部１０，１２０と、第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板６０，１１０と、を備え、本体部１２０は、ベース部２０，１３０と、第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３を保持する保持部３０，１４０と、ベース部２０，１３０に取り付けられ保持部３０，１４０を支持する支持部４０，１５０と、を有し、保持部３０，１４０は、測定対象Ｔへの第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３の押し付けに伴い、ベース部２０，１３０に対して相対移動する。

　第１～第３実施形態によれば、測定対象Ｔへの第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３の押し付けに伴って保持部３０，１４０がベース部２０，１３０に対して相対移動するため、保持部３０，１４０によって保持される第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３の各々も、押し付けの方向に沿ってベース部２０，１３０に対して相対移動する。これにより、測定対象Ｔへ押し付けられた第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３の過度な移動が抑制され、測定対象Ｔにおける接触痕の発生が抑制される。また、測定対象Ｔへ押し付けられた第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３の過度な移動が抑制されるため、第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３を大きく撓ませなくてもよく、第一接触子１，１０１、第二接触子２，１０２、第三接触子３，１０３の撓みに起因する伝送損失の増加が抑制される。したがって、測定対象Ｔでの接触痕の発生を抑制しつつ測定装置１００，２００，３００の測定精度を向上させることができる。

　また、第１実施形態では、測定装置１００では、支持部４０は、測定対象Ｔへの第一接触子１及び第二接触子２の押し付けに伴って弾性変形する。

　また、第１実施形態に係る測定装置１００では、支持部４０は、測定対象Ｔへの第一接触子１及び第二接触子２の押し付けに伴い、第一接触子１及び第二接触子２に対して優先して弾性変形するように構成される。

　このような第１実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに押し付ける際には、本体部１０の支持部４０が弾性変形することにより所定の押し付け力で第一接触子１及び第二接触子２を接触させることができる。よって、第一接触子１及び第二接触子２を積極的に撓ませなくてもよく、第一接触子１及び第二接触子２の耐久性を向上させることができる。

　また、第１実施形態に係る測定装置１００では、第一接触子１及び第二接触子２は、それぞれ焼結金属によって形成される。

　また、第１実施形態に係る測定装置１００では、第一接触子１及び第二接触子２は、それぞれ工具鋼によって形成される。

　このような第１実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２は、耐久性が高く、耐摩耗性に優れた材質によって形成されるため、摩耗に伴う測定装置１００の測定精度の低下が抑制される。

　また、第１実施形態では、保持部３０は、ベース部２０に接続され第一接触子１を保持する第一保持部３１と、ベース部２０に接続され第二接触子２を保持する第二保持部３５と、を有し、第一保持部３１と第二保持部３５とは、互いに独立して移動可能にベース部２０に取り付けられる。

　このような第１実施形態によれば、第一接触子１及び第二接触子２は、伝送基板６０に電気的に接続されると共に、互いに独立して移動可能な第一保持部３１及び第二保持部３５によって保持される。これにより、第一接触子１と第二接触子２とが、互いに独立して移動することができる。このように、第一保持部３１及び第二保持部３５の移動により、第一接触子１と第二接触子２とが互いに独立して移動するため、第一接触子１と第二接触子２の移動量を大きく確保することができる。したがって、測定対象Ｔにおいて高低差が生じているような場合であっても、第一接触子１及び第二接触子２を測定対象Ｔに均一に接触させて、接触状態を良好にすることができる。よって、測定装置１００の測定精度が向上する。

　また、第１実施形態では、伝送基板６０は、第一接触子１に接着される第一接着部６５と、第二接触子２に接着される第二接着部６６と、を有し、第一接着部６５と第二接着部６６とは、スリット６０ａによって隔てられ互いに独立して移動可能に構成される。

　このような第１実施形態によれば、第一接着部６５と第二接着部６６が独立して移動可能であるため、第一接触子１と第二接触子２との相対移動が伝送基板６０により阻害されることが抑制される。よって、第一接触子１と第二接触子２とを、より大きく相対移動させることができる。このため、測定対象Ｔの凹凸が大きくても、精度よく測定が可能となる。つまり、本実施形態によれば、精度よく測定するために許容できる測定対象Ｔの凹凸量（高さの差）が大きくなる。

　また、第１実施形態では、本体部１０は、ベース部２０に設けられ第一保持部３１を支持する第一支持部４１と、ベース部２０に設けられ第二保持部３５を支持する第二支持部４５と、をさらに有し、第一支持部４１は、測定対象Ｔへの第一接触子１の押し付けに伴って弾性変形し、第二支持部４５は、測定対象Ｔへの第二接触子２の押し付けに伴って弾性変形する。

　このような第１実施形態によれば、第一支持部４１と第二支持部４５とが独立し、それぞれ弾性変形可能であるため、第一接触子１と第二接触子２とが互いに独立して移動することができる。このため、第一接触子１と第二接触子２を撓ませる場合よりも、第一支持部４１及び第二支持部４５の弾性変形によって、より大きな移動量で第一接触子１と第二接触子２とを独立して移動させることができる。つまり、本体部１０は、第一接触子１及び第二接触子２と比べて大きな部材であるため、独立して移動させる移動量を容易に確保することができる。

　また、第２及び第３実施形態に係る測定装置２００，３００では、伝送基板１１０は、柔軟性を有し、高周波伝送線路は、シグナル線１１２及びグランド線（第一グランド線１１３，第二グランド線１１４）を含み、第一接触子１０１，第二接触子１０２，及び第三接触子１０３は、それぞれ対応するシグナル線１１２及びグランド線（第一グランド線１１３，第二グランド線１１４）に一体的に設けられ、支持部１５０は、測定対象Ｔへの第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３の押し付けに伴って弾性変形する。

　このような第２及び第３実施形態によれば、第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３を測定対象Ｔに押し付ける際には、本体部１２０の支持部１５０が弾性変形することにより所定の押し付け力で第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３を接触させることができる。また、高周波伝送線路は、柔軟性を有する伝送基板１１０に設けられるため、測定対象Ｔに第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３を押し付けるのに伴い伝送基板１１０が変形しても、伝送損失を抑制することができる。したがって、所定の押し付け力で第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３を測定対象Ｔに押し付け、伝送損失を抑制できるため、測定装置２００，３００の測定精度を向上させることができる。

　また、第２及び第３実施形態に係る測定装置２００，３００は、保持部１４０に設けられ、測定対象Ｔへの押し付けに伴う第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３同士の独立した移動を許容する移動許容部（弾性部材１６０、弾性構造部２６０）をさらに備える。

　また、第２実施形態に係る測定装置２００では、移動許容部は、弾性を有する弾性部材１６０であり、第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３は、弾性部材１６０の弾性変形により互いに独立して移動可能に構成される。

　また、第３実施形態に係る測定装置３００では、移動許容部は、保持部１４０に接続される基部２６１と、基部２６１を支点として互いに独立して弾性変形する複数の変形部（第一変形部２６５，第二変形部２６６，第三変形部２６７）と、を有し、第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３は、それぞれ対応する複数の変形部（第一変形部２６５，第二変形部２６６，第三変形部２６７）に取り付けられ、変形部（第一変形部２６５，第二変形部２６６，第三変形部２６７）が基部２６１を支点として弾性変形することにより、互いに独立して移動可能に構成される。

　このような第２及び第３実施形態によれば、第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３が互いに独立して移動することができるため、測定対象Ｔにおいて高低差が生じる場合であっても、第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３の各々を測定対象Ｔに均一に接触させることができる。したがって、第一接触子１０１，第二接触子１０２，第三接触子１０３と測定対象Ｔとの接触状態を良好にすることができ、測定装置２００，３００の測定精度が向上する。

　以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

　本願は２０１８年７月２７日に日本国特許庁に出願された特願２０１８－１４１８３１、特願２０１８－１４１８３２、及び特願２０１８－１４１８３３に基づく優先権を主張し、この出願の全ての内容は参照により本明細書に組み込まれる。

Claims (12)

1. 　測定装置であって、
   　それぞれ測定対象に押し付けられる複数の接触子と、
   　前記複数の接触子が取り付けられる本体部と、
   　前記複数の接触子が電気的に接続される高周波伝送線路が設けられる伝送基板と、を備え、
   　前記本体部は、
   　ベース部と、
   　前記複数の接触子を保持する保持部と、
   　前記ベース部に取り付けられ前記保持部を支持する支持部と、を有し、
   　前記保持部は、前記測定対象への前記複数の接触子の押し付けに伴い、前記ベース部に対して相対移動する、
   測定装置。
2. 　請求項１に記載の測定装置であって、
   　前記支持部は、前記測定対象への前記複数の接触子の押し付けに伴って弾性変形する、
   測定装置。
3. 　請求項２に記載の測定装置であって、
   　前記支持部は、前記測定対象への前記複数の接触子の押し付けに伴い、前記複数の接触子に対して優先して弾性変形するように構成される、
   測定装置。
4. 　請求項２または３に記載の測定装置であって、
   　前記複数の接触子は、それぞれ焼結金属によって形成される、
   測定装置。
5. 　請求項２から４のいずれか１項に記載の測定装置であって、
   　前記複数の接触子は、それぞれ工具鋼によって形成される、
   測定装置。
6. 　請求項１に記載の測定装置であって、
   　前記伝送基板は、柔軟性を有し、
   　前記保持部は、前記複数の接触子のそれぞれを個別に保持する複数のホルダ部を有し、
   　前記複数のホルダ部は、互いに独立して移動可能に前記ベース部に取り付けられる、
   測定装置。
7. 　請求項６に記載の測定装置であって、
   　前記伝送基板は、前記複数の接触子のそれぞれが接着される複数の接着部を有し、
   　前記複数の接着部は、互いにスリットによって隔てられ独立して移動可能に構成される、
   測定装置。
8. 　請求項６または７に記載の測定装置であって、
   　前記支持部は、前記ベース部に設けられ前記複数のホルダ部のそれぞれを個別に支持する複数のホルダ支持部を有し、
   　前記複数のホルダ支持部は、それぞれ対応する前記接触子が前記測定対象に押し付けられるのに伴って弾性変形する、
   測定装置。
9. 　請求項１に記載の測定装置であって、
   　前記伝送基板は、柔軟性を有し、
   　前記高周波伝送線路は、シグナル線及びグランド線を含み、
   　前記複数の接触子は、それぞれ対応する前記シグナル線及び前記グランド線に一体的に設けられ、
   　前記支持部は、前記測定対象への前記複数の接触子の押し付けに伴って弾性変形する、
   測定装置。
10. 　請求項９に記載の測定装置であって、
    　前記保持部に設けられると共に前記複数の接触子が取り付けられ、前記測定対象への押し付けに伴う前記複数の接触子同士の独立した移動を許容する移動許容部をさらに備える、
    測定装置。
11. 　請求項１０に記載の測定装置であって、
    　前記移動許容部は、弾性を有する弾性部材であり、
    　前記複数の接触子は、前記弾性部材の伸縮により互いに独立して移動可能に構成される、
    測定装置。
12. 　請求項１０に記載の測定装置であって、
    　前記移動許容部は、
    　前記保持部に接続される基部と、
    　前記基部を支点として互いに独立して弾性変形する複数の変形部と、を有し、
    　前記複数の接触子は、それぞれ対応する前記複数の変形部に取り付けられ、前記基部を支点として前記複数の変形部が撓み変形することにより、互いに独立して移動可能に構成される、
    測定装置。

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