CN112771387A - 测量装置 - Google Patents

Abstract

本发明的测量装置(100)具备：分别按压至测量对象(T)的第一接触件(1)和第二接触件(2)；装配有第一接触件(1)和第二接触件(2)的主体部(10)；以及设有电连接于第一接触件(1)和第二接触件(2)的高频传输线路(微带线路)的传输基板(60)，主体部(10)具有：基座部(20)、保持第一接触件(1)和第二接触件(2)的保持部(30)以及装配于基座部(20)，支承保持部(30)的支承部(40)，保持部(30)随着第一接触件(1)和第二接触件(2)向测量对象(T)的按压，相对于基座部(20)相对移动。

Description

测量装置

技术领域

本发明涉及一种测量装置。

背景技术

在日本JP2005－223170A中公开了一种高频特性测量装置，具有：能升降的工件台，载置作为测量对象的形成有多个集成电路的晶圆；以及高频探针装置，对集成电路的高频特性进行测量。该高频探针装置具有探针，该探针由以隔开规定的间隔的方式并列地配置于大致同一平面上的信号针和接地针构成。

发明内容

在上述的测量装置中，首先，使工件台上升而使探针(接触件)的顶端接触测量对象，之后，使工件台进一步上升，由此使探针挠曲并且以稳定的姿势使其接触测量对象。

然而，在上述的测量装置中，在探针挠曲的过程中，探针的顶端会在测量对象上移动，恐怕会在测量对象产生接触痕。此外，挠曲量越大，探针的传输损失越增加，因此，在上述的测量装置中，恐怕会因探针的挠曲而导致高频特性的测量精度降低。

本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于，抑制测量对象上的接触痕的产生，并且提高测量装置的测量精度。

根据本发明的某个方案，测量装置具备：多个接触件，分别按压至测量对象；主体部，装配有多个接触件；以及传输基板，设有电连接于多个接触件的高频传输线路，主体部具有：基座部；保持部，保持多个接触件；以及支承部，装配于基座部，支承保持部，保持部随着多个接触件向测量对象的按压，相对于基座部相对移动。

根据该方案，保持部随着多个接触件向测量对象的按压而相对于基座部相对移动，因此，由保持部保持的接触件也分别沿着按压的方向相对于基座部相对移动。由此，抑制了向测量对象按压的接触件的过度的移动，抑制了测量对象上的接触痕的产生。此外，抑制了向测量对象按压的接触件的过度的移动，由此，也可以不用构成为使多个接触件大幅挠曲，因此，会抑制因多个接触件的挠曲引起的传输损失的增加。因此，能抑制测量对象上的接触痕的产生，并且提高测量装置的测量精度。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的测量装置的立体图。

图2是表示第一实施方式的测量装置的主视图。

图3是表示第一实施方式的测量装置的第一主体部的侧视图。

图4是表示第一实施方式的测量装置的第一接触件的立体图。

图5是表示第一实施方式的测量装置的传输基板的俯视图。

图6是表示第一实施方式的测量装置的传输基板的仰视图。

图7A是表示第一实施方式的接触件的第一变形例的俯视图。

图7B是表示第一实施方式的接触件的第二变形例的俯视图。

图8是表示第一实施方式的变形例的测量装置的立体图。

图9是表示第一实施方式的变形例的传输基板的俯视图。

图10是从上方示出第二实施方式的测量装置的立体图。

图11是表示第二实施方式的测量装置的侧视图。

图12是从下方示出第二实施方式的测量装置的立体图。

图13是第二实施方式的测量装置的传输基板的俯视图。

图14是表示第三实施方式的测量装置的主体部的立体图。

图15是从下方示出第三实施方式的测量装置的立体图。

图16是表示第三实施方式的变形例的测量装置的主体部的立体图。

具体实施方式

(第一实施方式)

以下，参照附图，对本发明的第一实施方式的测量装置100进行说明。

测量装置100用于对例如电路基板进行电检查的检查装置(省略图示)。测量装置100对在电路基板中所包括的测量对象T(参照图3)中产生的电磁波的高频特性进行测量，所述电路基板中所包括的测量对象T是印刷有布线图案的半导体晶圆、电子电路基板、安装有半导体晶圆、电子电路基板的电子电路安装基板等。

如图1和图2所示，测量装置100具备：作为分别按压至测量对象T的多个接触件的第一接触件1和第二接触件2；装配有第一接触件1和第二接触件2的主体部10；以及设有电连接于第一接触件1和第二接触件2的高频传输线路的传输基板60。

第一接触件1和第二接触件2是按压至测量对象T而从测量对象T输入高频信号的电极。第一接触件1和第二接触件2从与测量对象T的接触面Ts(参照图3)垂直的方向按压至测量对象T。第一接触件1和第二接触件2由通过烧结形成的烧结金属形成，更具体而言，由工具钢形成。

如图2和图3所示，第一接触件1和第二接触件2以隔开规定的间隔相互平行延伸，相对于测量对象T的接触面Ts倾斜的方式装配于主体部10。第一接触件1和第二接触件2是具有矩形剖面的销，其顶端部形成为逐渐变细的形状而与测量对象T接触。第一接触件1和第二接触件2的基端部粘接于传输基板60。第一接触件1和第二接触件2为同一形状。因此，以下，以第一接触件1为例对具体的构造进行说明，适当省略第二接触件2的构造的详细的说明。图4中的括号内的附图标记表示与第一接触件1的各结构对应的第二接触件2的结构。

如图4所示，第一接触件1的顶端部随着从与测量对象T接触的顶端P朝向基端侧远离而宽度W和厚度Th增加。在此，“宽度”是指图2中的左右方向即第一接触件1与第二接触件2邻接的方向(邻接方向)的长度。此外，“厚度”是指与第一接触件1和第二接触件2延伸的方向(延伸方向)和邻接方向垂直的方向的长度。

以下，在第一接触件1，将粘接于传输基板60的面称为“下表面1a”，将与下表面1a平行的面称为“上表面1b”，将与下表面1a和上表面1b垂直且相互平行的面分别称为“侧面1c”、“侧面1d”。侧面1c是与第二接触件2对置的对置面。

如图2和图4所示，第一接触件1的顶端P设为位于第一接触件1的邻接方向的中央。第一接触件1随着远离顶端P而宽度W增加，并且厚度Th朝向下表面1a增加。在第一接触件1的顶端部形成有：第一锥形面1e，与下表面1a连接，相对于测量对象T的接触面Ts倾斜；以及第二锥形面1f和第三锥形面1g，分别相对于侧面1c和1d倾斜地连接，并且与第一锥形面1e连接。顶端P由上表面1b、第一锥形面1e、第二锥形面1f以及第三锥形面1g形成。

在第二接触件2的顶端部，与第一接触件1同样地形成有：第一锥形面2e，相对于接触面Ts倾斜；以及第二锥形面2f和第三锥形面2g，分别相对于侧面2c和2d倾斜地连接，并且与第一锥形面2e连接。第二接触件2的顶端P也由上表面2b、第一锥形面2e、第二锥形面2f以及第三锥形面2g形成。第二接触件2也随着远离顶端P而宽度W增加，并且厚度Th朝向下表面2a增加。

如此，第一接触件1和第二接触件2分别具有随着朝向顶端P而剖面积变小的逐渐变细的形状的顶端部，因此，容易使顶端P接触测量对象T。此外，在第一接触件1和第二接触件2的下表面1a、2a形成有以远离测量对象T的方式倾斜的第一锥形面1e、2e，因此，能避免在顶端P以外的第一接触件1和第二接触件2与测量对象T的接触(干扰)。

如图1～3所示，主体部10具有：基座部20；保持部30，保持第一接触件1和第二接触件2；以及支承部40，装配于基座部20，支承保持部30。

如图1所示，基座部20由通过螺栓20a彼此结合的第一基座部21和第二基座部25构成。基座部20通过检查装置的升降装置(省略图示)在铅直上下方向(与测量对象T的接触面Ts垂直的方向)移动。通过基座部20上下移动，第一接触件1和第二接触件2与测量对象T接触、分离。

保持部30具有第一保持部31和第二保持部35，以作为分别单独地保持第一接触件1和第二接触件2(多个接触件)的多个保持器部。第一保持部31保持第一接触件1。第二保持部35保持第二接触件2。此外，支承部40具有第一支承部41和第二支承部45，以作为分别单独地支承第一保持部31和第二保持部35(多个保持器部)的多个保持器支承部。第一支承部41装配于第一基座部21，支承第一保持部31。第二支承部45装配于第二基座部25，支承第二保持部35。

第一基座部21、第一保持部31以及第一支承部41由树脂相互一体成型，并构成第一主体部11。第二基座部25、第二保持部35以及第二支承部45由树脂相互一体成型，并构成第二主体部15。就是说，由第一主体部11和第二主体部15构成主体部10。

如图2所示，第一主体部11和第二主体部15设为隔开规定的间隔(间隙)而邻接。第一主体部11和第二主体部15相对于虚拟的基准面R具有对称构造，所述基准面R与第一接触件1和第二接触件2平行且处于两者的中间。因此，以下，主要对第一主体部11的具体的构造进行说明，适当省略对于第二主体部15的构造的详细的说明。图3中的括号内的附图标记表示与第一主体部11的结构对应的第二主体部12的结构。

如图3所示，在第一保持部31形成有供第一接触件1插入的第一插入孔32。第一插入孔32在第一保持部31形成为在与第二保持部35对置的面开口的狭缝状。在第一插入孔32的内周形成有作为与形成于第一接触件1的台阶面1h接触的第一限制部的止动面32a。止动面32a与第一接触件1的台阶面1h接触，由此，限制顶端P朝向第一插入孔32内的第一接触件1的移动，换言之，限制向与测量对象T分离的方向的移动。如此，第一接触件1与止动面32a接触而被定位。

在通过第一保持部31保持第一接触件1时，首先，第一接触件1从粘接于传输基板60的基端部插入第一插入孔32。第一接触件1从基端部插入第一插入孔32直到台阶面1h与止动面32a接触为止。在该状态下，在第一接触件1和第一保持部31涂布粘接剂，第一接触件1粘接于第一保持部31。由此，第一接触件1以顶端P从第一保持部31朝向测量对象T突出的状态由第一保持部31保持。

需要说明的是，与第一保持部31同样，在第二保持部35形成有供第二接触件2插入的第二插入孔37。在第二插入孔37的内周形成有作为与形成于第二接触件2的台阶面2h接触的第二限制部的止动面37a。止动面37a与第二接触件2的台阶面2h接触，由此限制顶端P朝向第二插入孔37内的第二接触件2的移动。

第一支承部41由具有一对连接部42、43的连接机构构成。一对连接部42、43分别相对于接触面Ts平行延伸，在与测量对象T的接触面Ts垂直方向排列。一方的连接部42具有：杆部42a，具有矩形剖面；关节部42b，连接杆部42a的一端与第一保持部31；以及关节部42c，连接杆部42a的另一端与第一基座部21。同样，另一方的连接部43具有：杆部43a，具有矩形剖面；关节部43b，连接杆部43a的一端与第一保持部31；以及关节部43c，连接杆部43a的另一端与第一基座部21。一方的连接部42的杆部42a形成得比另一方的连接部43的杆部43a短。

在一方的连接部42的杆部42a与第一基座部21和第一保持部31之间形成有半圆状的凹槽。同样，在另一方的连接部43的杆部43a与第一基座部21和第一保持部31之间形成有半圆状的凹槽。各凹槽与测量对象T的接触面Ts平行且相对于长尺寸方向(图3中左右方向)垂直地延伸。由此，在杆部42a、43a与第一基座部21和第一保持部31之间设有关节部42b、42c、43b、43c。各关节部42b、42c、43b、43c构成为与杆部42a、43a的长尺寸方向正交的剖面积小于杆部42a、43a，比杆部42a、43a容易弹性变形。

当使第一基座部21向铅直方向下方移动而将第一接触件1按压至测量对象T时，因其反作用力(以下也称为“按压反作用力”。)使连接部42的关节部42b、42c和连接部43的关节部43b、43c弹性变形，各杆部42a、43a相对于第一保持部31和第一基座部21倾斜(相对旋转)。以一方的连接部42为例进行说明，杆部42a以一方的关节部42b为中心相对于第一保持部31相对旋转，杆部42a以另一方的关节部42c为中心相对于第一基座部21相对旋转。如此，在将第一接触件1按压至测量对象T时，第一支承部41变形，由此允许铅直方向上的第一基座部21与第一保持部31的相对移动。此外，一方的杆部42a比另一方的杆部43a短，因此能更直线性地使第一基座部21和第一保持部31向铅直方向相对移动。

与第一支承部41同样，第二支承部45由具有一对连接部46、47的连接机构构成。一方的连接部46具有：杆部46a，具有矩形剖面；关节部46b，连接杆部46a的一端与第二保持部35；以及关节部46c，连接杆部46a的另一端与第二基座部25。另一方的连接部47具有：杆部47a，具有矩形剖面；关节部47b，连接杆部47a的一端与第二保持部35；以及关节部47c，连接杆部47a的另一端与第二基座部25。

当将第二接触件2按压至测量对象T时，与第一支承部41同样，第二支承部45弹性变形，允许第二保持部35和第二基座部25的铅直方向上的相对移动。第一支承部41和第二支承部45在两者之间设有间隙，分别独立地连接于第一基座部21和第二基座部25，因此，第一保持部31和第二保持部35能相互独立地移动。

此外，在将第一接触件1和第二接触件2按压至测量对象T时，第一支承部41和第二支承部45会相对于第一接触件1和第二接触件2优先弹性变形。换言之，第一接触件1和第二接触件2具有在被按压至测量对象T时第一支承部41和第二支承部45优先弹性变形的程度的耐久性。

传输基板60是具有柔性的带状的柔性印刷基板。传输基板60能因外力而变形。如图1和图2所示，在传输基板60的一端部(图5中上端部)粘接有第一接触件1和第二接触件2。传输基板60的未图示的另一端部通过与基座部20一同移动的连接器(省略图示)与同轴电缆(省略图示)电连接。从第一接触件1和第二接触件2输入的电信号通过传输基板60的高频传输线路传输，通过同轴电缆输入控制装置。

传输基板60是作为高频传输线路具有形成微带(microstrip)线路的层叠构造的基板。如图5和图6所示，在传输基板60，在作为绝缘层的基材61的一面(表面)印刷有作为导体层的信号线62，在另一面(背面)印刷有作为导体层的接地线63。

传输基板60具有第一粘接部65和第二粘接部66，以作为分别粘接有第一接触件1和第二接触件2的多个粘接部。在第一粘接部65粘接有第一接触件1。在第二粘接部66粘接有第二接触件2。在第一粘接部65与第二粘接部66之间形成有在传输基板60的长尺寸方向延伸的狭缝60a。第一粘接部65和第二粘接部66构成为由狭缝60a分隔，由此能相互独立地移动(能变形)。

基材61由具有柔性的材质形成。如图6所示，在传输基板60的背面规则地排列设有使基材61露出的矩形的多个凹部61a。换言之，传输基板60的背面的接地线63设为格子状(网眼状)。由此，与在背面的整个面设置接地线63的情况相比，传输基板60容易挠曲。

信号线62在传输基板60的宽度方向(图5中左右方向)的中央设为具有规定的宽度并沿长尺寸方向延伸。信号线62的一端部62a位于第一粘接部65上。第一粘接部65上的信号线62的一端部62a设为比其他的部位宽度宽，电连接第一接触件1。第一接触件1以与信号线62电连接的状态通过粘接剂粘接于第一粘接部65。

在第二粘接部66的表面设有与接地线63电连接的连接层64。在第二粘接部66设有在表面和背面开口的贯通孔66a。在贯通孔66a的内周面设有将第二粘接部66的表面的连接层64与背面的接地线63电连接的贯通层67。第二接触件2电连接于第二粘接部66的连接层64，通过粘接剂粘接于第二粘接部66。第二接触件2通过连接层64和贯通层67与接地线63电连接。

接着，对测量装置100的作用进行说明。

在本实施方式的测量装置100中，在对测量对象T的高频特性进行测量时，使基座部20相对于测量对象T垂直地(在本实施方式中为铅直方向)移动，使第一接触件1和第二接触件2与测量对象T的接触面Ts接触。使基座部20从该状态进一步向下方移动，由此，通过规定的按压力将第一接触件1和第二接触件2按压至测量对象T而使其电连接。随着从与测量对象T接触的状态进一步按压第一接触件1和第二接触件2，第一支承部41和第二支承部45优先于第一接触件1和第二接触件2而弹性变形，第一保持部31和第二保持部35相对于第一基座部21和第二基座部25相对移动。如此，第一保持部31和第二保持部35相对于第一基座部21和第二基座部25相对移动，因此，保持在第一保持部31的第一接触件1和保持在第二保持部35的第二接触件2也分别相对于第一基座部21和第二基座部25相对移动。由此，即使第一接触件1和第二接触件2不弹性变形(挠曲变形)，也能随着基座部20的移动而将第一接触件1和第二接触件2向测量对象T按压，抑制因第一接触件1和第二接触件2的挠曲而各自的顶端在测量对象T上移动的情况。如此，抑制了向测量对象T按压的第一接触件1和第二接触件2的过度的移动，因此，会抑制测量对象T上的接触痕的产生。此外，抑制了向测量对象T按压的第一接触件1和第二接触件2的过度的移动，也可以不使第一接触件1和第二接触件2大幅挠曲，因此，会抑制因第一接触件1和第二接触件2的挠曲而引起的传输损失的增加。因此，能抑制测量对象T上的接触痕的产生，并且提高测量装置100的测量精度。

此外，在现有的测量装置中，一边使具有弹性的接触件主动地挠曲，一边通过规定的按压压力按压至测量对象，由此得到接触件与测量对象的良好的接触状态。然而，在这样的测量装置中，要求接触件具有弹性，因此，难以提高接触件的硬度以提高耐久性。

与之相对，在本实施方式的测量装置100中，通过由第一支承部41和第二支承部45的弹性变形产生的弹性力，确保将第一接触件1和第二接触件2按压至测量对象T的按压力。第一支承部41和第二支承部45相对于第一接触件1和第二接触件2优先弹性变形而确保按压力，因此，也可以不主动使第一接触件1和第二接触件2弹性变形。因此，提高了第一接触件1和第二接触件2的材质选择的自由度。在测量装置100中，第一接触件1和第二接触件2由作为烧结金属的工具钢形成，因此具有高耐久性。

此外，一般而言，测量装置的测量对象有时会在测量面产生高低差(凹凸)。特别是，在测量对象为电子电路基板的情况下，与测量对象为半导体晶圆的情况相比容易产生较大的凹凸。在测量对象存在高低差的情况下，一方的接触件会先接触高度相对高的部位，另一方的接触件恐怕不会充分接触高度相对低的部位。如此，在测量对象产生凹凸的情况下，第一接触件和第二接触件与测量对象的接触状态不均匀，恐怕无法得到良好的接触状态。

对此，在测量装置100中，保持第一接触件1的第一保持部31和保持第二接触件2的第二保持部35构成为能相互独立地移动。此外，传输基板60构成为能变形，因此，不妨碍第一接触件1和第二接触件2独立地移动。因此，根据测量装置100，即使在测量对象T(特别是电路基板)产生凹凸这样的情况下，第一接触件1和第二接触件2的一方也能与测量对象T接触，而且，另一方能移动而与测量对象T接触。就是说，第一接触件1和第二接触件2能独立地移动彼此不同的移动量，以允许测量对象T的高度差，因此能使第一接触件1和第二接触件2与测量对象T的接触状态均匀。由此，能以规定的按压力将第一接触件1和第二接触件2按压至测量对象T并得到良好的接触状态。

接着，对上述第一实施方式的变形例进行说明。如下所述的变形例也在本发明的范围内，也能将以下的变形例与上述第一实施方式的各结构组合，或将以下的变形例彼此组合。此外，对于在上述第一实施方式的说明中记载的变形例也同样能与其他的变形例任意地组合。此外，上述第一实施方式和以下记载的第一实施方式的变形例能在技术上可能的范围内与后述的第二和第三实施方式以及这些的变形例组合。

在上述第一实施方式中，传输基板60是具有柔性的柔性印刷基板。与之相对，传输基板60也可以是包含具有柔性的部位和不具有柔性的部位的刚柔结合(flex rigid)基板。而且，在不使第一接触件1和第二接触件2独立地移动的情况下，传输基板60也可以是基材61不具有柔性而为硬质的刚性基板。

此外，在上述第一实施方式中，主体部10是由具有彼此对称构造的第一主体部11和第二主体部15构成的分割构造。此外，第一接触件1和第二接触件2能相互独立地移动。与之相对，为了提高第一接触件1和第二接触件2的耐久性，也可以将主体部10一体形成，而不是形成分割构造，使第一接触件1与第二接触件2不能独立地移动。在测量装置100中，为了提高第一接触件1和第二接触件2的耐久性，只要是支承部40随着第一接触件1和第二接触件2向测量对象T的按压而弹性变形的构造即可。

此外，在上述第一实施方式中，支承部40(第一支承部41、第二支承部45)由连接机构构成。对此，支承部40(第一支承部41、第二支承部45)只要优先于第一接触件1和第二接触件2而弹性变形，就不限于连接机构，能采用任意的构成。

此外，在上述第一实施方式中，第一接触件1和第二接触件2是具有矩形剖面的四棱柱状的端子。与之相对，第一接触件1和第二接触件2不限于此，例如也可以形成为具有圆形剖面的圆柱、具有四边形以外的多边形剖面的棱柱(多棱柱)。需要说明的是，即使在任意的情况下，理想的是，顶端部如上述实施方式所述形成为逐渐变细的形状。

此外，在上述第一实施方式中，第一接触件1和第二接触件2为彼此相同的形状。第一接触件1和第二接触件2的顶端P设于各自的宽度方向(邻接方向)的中央。与之相对，第一接触件1和第二接触件2不限于彼此相同的形状，也能采用任意的形状。第一接触件1和第二接触件2的顶端P不限于宽度方向的中央，例如也可以如图7A所示，各自的顶端P以彼此接近的方式配置于相互对置的侧面1c、2c(对置面)上，也可以如图7B所示，以彼此分离的方式配置于侧面1d、2d上。在图7A、图7B所示的形状中，第一接触件1和第二接触件2相对于基准面R为面对称的构造。

此外，在上述第一实施方式中，高频传输线路为微带(microstrip)线路。与之相对，高频传输线路也可以是共面(coplanar)线路、带状(strip)线路等其他线路。测量装置100只要构成为具备与高频传输线路的种类相应的个数的接触件即可。就是说，测量装置100可以根据高频传输线路的种类具备三个以上的接触件。此外，测量装置100的主体部10也可以是根据接触件的个数分割成能相互独立地移动的构造。

此外，在上述第一实施方式中，高频传输线路为微带线路，测量装置100具备与信号线62电连接的第一接触件1和与接地线63电连接的第二接触件2这两个接触件。与之相对，在设置微带线路作为高频传输线路的情况下，测量装置也可以具备三个接触件。以下，参照图8和图9，对变形例的测量装置100A具体进行说明。

如图8所示，变形例的测量装置100A具有与信号线62电连接的第一接触件1和与接地线63电连接的第二接触件2和第三接触件3。

测量装置100A的主体部10具有：第一主体部11、第二主体部15以及第三主体部19。第一主体部11和第二主体部15是与上述实施方式同样的结构。装配有第三接触件3的第三主体部19以与第二主体部15一同夹住第一主体部11的方式排列设置。第三主体部19具有与第一主体部11和第二主体部15同样的结构。因此，省略详细的说明和图示，但是，第三主体部19具有第三基座部29、作为保持第三接触件3的保持器部的第三保持部39以及作为支承第三保持部39以使其能移动的保持器支承部的第三支承部49。第一基座部21、第二基座部25以及第三基座部29由螺栓20a结合而构成基座部20。第三保持部39与第一保持部31和第二保持部35一同构成保持部30。第三支承部49与第一支承部41和第二支承部45一同构成支承部40，且独立于第一接触件1和第二接触件2地支承第三接触件3以使其能移动。

在传输基板60，与上述第一实施方式同样，在作为绝缘层的基材61的一面(表面)印刷有作为导体层的信号线62，在另一面(背面)印刷有作为导体层的接地线63。

如图9所示，传输基板60具有供第一接触件1接触的第一粘接部65、供第二接触件2接触的第二粘接部66以及供第三接触件3粘接的第三粘接部68，以作为多个粘接部。在第一粘接部65与第二粘接部66之间以及第二粘接部66与第三粘接部68之间形成有在传输基板60的长尺寸方向延伸的狭缝60a。第一粘接部65、第二粘接部66以及第三粘接部68构成为由狭缝60a彼此分隔，由此能独立地移动(能变形)。

第二粘接部66与上述第一实施方式同样，具有连接层64a(相当于上述实施方式的连接层64)、贯通孔66a以及贯通层67。第二接触件2电连接于第二粘接部66的连接层64a，通过粘接剂粘接于第二粘接部66。第二接触件2通过连接层64a和贯通层67与接地线63电连接。

第三粘接部68与第二粘接部66同样，具有：与接地线63电连接的连接层64b、在表面和背面开口的贯通孔68a以及设于贯通孔68a的内周面，将第三粘接部68的表面的连接层64b与背面的接地线63电连接的贯通层69。第三接触件3电连接于第三粘接部68的连接层64b，通过粘接剂粘接于第三粘接部68。第三接触件3通过连接层64b和贯通层69与接地线63电连接。

在这样的变形例中也起到与上述第一实施方式同样的效果。

(第二实施方式)

以下，参照图10～图13，对本发明的第二实施方式的测量装置200进行说明。

测量装置200例如用于对电路基板进行电检查的检查装置(省略图示)。测量装置200对在电路基板中所包括的测量对象T(参照图11)中产生的电磁波的高频特性进行测量，所述电路基板中所包括的测量对象T是印刷有布线图案的半导体晶圆、电子电路基板、安装有半导体晶圆、电子电路基板的电子电路安装基板等。

如图10～图12所示，测量装置200具备：作为分别按压至测量对象T的多个接触件的第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103；设有高频传输线路，具有柔性的传输基板110；以及装配有第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103的主体部120。

第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103是分别按压至测量对象T而从测量对象T输入高频信号的电极。如图12和图13所示，第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103形成为彼此相同的圆柱形状，设于传输基板110的长尺寸方向的一端部。

传输基板110是具有柔性的带状的柔性印刷基板，能因外力而变形。

如图12和图13所示，在传输基板110设有共面线路作为高频传输线路。具体而言，在传输基板110，在作为具有柔性的绝缘层的基材111的下表面(与测量对象T对置的面)设有作为导体层的单条信号线112和作为导体层的两条接地线。以下，将两条接地线中的一方称为“第一接地线113”，将另一方称为“第二接地线114”。

如图13所示，信号线112具有规定的宽度(图13中左右方向的长度)，沿传输基板110的长尺寸方向(图13中上下方向)延伸。第一接地线113和第二接地线114分别具有规定的宽度，沿传输基板110的长尺寸方向延伸。信号线112、第一接地线113以及第二接地线114的宽度分别在长尺寸方向上是均匀的。如此，信号线112、第一接地线113以及第二接地线114设为相互平行延伸。

信号线112设为在第一接地线113与第二接地线114之间分别相对于第一接地线113和第二接地线114隔开规定的间隔。信号线112、第一接地线113以及第二接地线114的各自的宽度和彼此的间隔设定为高频传输线路的特性阻抗与测量对象T的特性阻抗匹配。

在信号线112电连接第一接触件101。第一接触件101通过层叠对信号线112的表面实施的镀敷(例如镀镍)而形成于信号线112上。因此，第一接触件101与信号线112一体成型。换言之，信号线112的一部分作为第一接触件101发挥功能。

在第一接地线113电连接第二接触件102。与第一接触件101同样，第二接触件102通过层叠对第一接地线113实施的镀敷而形成于第一接地线113上。

在第二接地线114电连接第三接触件103。与第一接触件101和第二接触件102同样，第三接触件103通过层叠对第二接地线114实施的镀敷而形成于第二接地线114上。

如上所述，第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103分别与对应的信号线112、第一接地线113、第二接地线114一体设置，因此，抑制了各接触件101、102、103与传输基板110的高频传输线路之间的传输损失。如果从另一观点来说，本实施方式的第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103不是针状的接触件这样容易产生挠曲的接触件，因此，因挠曲而导致的传输损失的增加的顾虑较低，抑制了传输损失。由此，提高了高频传输线路的传输特性。

第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103排列设置在相对于传输基板110的长尺寸方向垂直的直线上。就是说，第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103设于与相互平行延伸的信号线112、第一接地线113以及第二接地线114正交的虚拟的直线上。第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103从与测量对象T的接触面Ts(参照图11)垂直的方向按压至测量对象T。

传输基板110的未图示的另一端部电连接于未图示的控制装置(控制器)。从第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103输入的高频信号通过传输基板110的高频传输线路传输，输入至控制装置。

如图10～12所示，主体部120具有基座部130、保持第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103的保持部140以及装配于基座部130，支承保持部140的支承部150。基座部130、保持部140以及支承部150由树脂相互一体成型。保持部140、支承部150、基座部130构成为在传输基板110的长尺寸方向排列。

基座部130形成为长方体形状，通过检查装置的升降装置(省略图示)在铅直上下方向(与测量对象T的接触面Ts垂直的方向)移动。通过基座部130上下移动，第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103与测量对象T接触、分离。如图11所示，在基座部130的下表面(与测量对象T对置的面)装配有在传输基板110从一端部向长尺寸方向分离的中间部分。传输基板110以不作用张力的方式装配于基座部130。

保持部140形成为长方体形状，一部分从基座部130的下表面朝向测量对象T突出。在从基座部130突出的保持部140的下表面(与测量对象T对置的面)设有作为移动允许部的弹性构件160，所述移动允许部允许伴随于向测量对象T的按压的第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103彼此的独立的移动。

弹性构件160例如由橡胶等形成，能通过外力伸缩。弹性构件160通过粘接剂粘接于保持部140的下表面。如图11和12所示，在弹性构件160粘接有传输基板110的一端部，经由传输基板110装配有第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103。第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103隔着传输基板110与弹性构件160对置。就是说，保持部140经由弹性构件160保持传输基板110和设于该传输基板110的第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103。

理想的是，弹性构件160为比第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103容易弹性变形的材质。此外，理想的是，在将第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103按压至测量对象T时，弹性构件160优先于第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103而变形。

主要如图2所示，支承部150由具有一对连接部151、155的连接机构构成。一对连接部151、155分别相对于测量对象T的接触面Ts平行延伸，在与接触面Ts垂直的方向排列设置。

一方的连接部151具有：杆部152，具有矩形剖面；关节部153，连接杆部152的一端与保持部140；以及关节部154，连接杆部152的另一端与基座部130。同样，另一方的连接部155具有：杆部156，具有矩形剖面；关节部157，连接杆部156的一端与保持部140；以及关节部158，连接杆部156的另一端与基座部130。

在杆部152、156与基座部130和保持部140之间形成有半圆状的凹槽。各凹槽与测量对象T的接触面Ts平行且相对于杆部152、156的长尺寸方向(图2中左右方向)垂直地延伸。由此，在杆部152、156与基座部130和保持部140之间设有关节部153、154、157、158。各关节部153、154、157、158构成为与杆部152、156的长尺寸方向正交的剖面积小于杆部152、156，比杆部152、156容易弹性变形。

当使基座部130向铅直方向下方移动而将第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103按压至测量对象T时，因该反作用力(以下也称为“按压反作用力”。)使连接部151的关节部153、154和连接部155的关节部157、158弹性变形，各杆部152、156相对于保持部140和基座部130倾斜(相对旋转)。

以一方的连接部151为例进行说明，杆部152以一方的关节部153为中心相对于保持部140相对旋转，杆部152以另一方的关节部154为中心相对于基座部130相对旋转。如此，在将第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103按压至测量对象T时，支承部150弹性变形，由此允许沿铅直方向的基座部130与保持部140的相对移动。此外，支承部150由连接机构构成，因此，基座部130和保持部140能在铅直方向上大致直线地相对移动。

接着，对测量装置200的作用进行说明。

在对测量对象T的高频特性进行测量时，使基座部130相对于测量对象T垂直地(在本实施方式中为铅直方向)移动，使第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103与测量对象T的接触面Ts接触。使基座部130从该状态进一步向下方移动，由此，通过规定的按压力将第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103按压至测量对象T而使其电连接。随着从与测量对象T接触的状态进一步按压第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103，支承部150弹性变形，保持部140相对于基座部130相对移动。如此，保持部140相对于基座部130相对移动，因此，保持在保持部140的第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103也相对于基座部130相对移动。因此，抑制了向测量对象T按压的第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103的过度的移动，抑制了测量对象T上的接触痕的产生。此外，通过因支承部150的弹性变形而产生的弹性力确保了将第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103按压至测量对象T的按压力。就是说，随着第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103向测量对象T的按压，支承部150弹性变形，因此，能将第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103构成为与信号线112、第一接地线113以及第二接地线114一体形成的圆柱形状，能抑制因第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103的挠曲引起的传输损失的产生，并且能通过规定的按压压力使其与测量对象T接触。因此，能抑制测量对象T上的接触痕的产生，并且提高测量装置200的测量精度。

此外，一般作为测量装置，有设有接触件的印刷布线基板装配于具有不可逆性的半刚性型的同轴电缆的顶端的装置。在这样的测量装置中，当以规定的按压力将接触件按压至测量对象时，同轴电缆变形，因此，同轴电缆的特性阻抗会变化。因此，在该测量装置中，恐怕由同轴电缆导致的传输损失会增加，且由测量装置实现的高频特性的测量精度会降低。

对此，在测量装置200中，传输基板110是具有柔性的柔性印刷基板，因此，因支承部150的弹性变形(基座部130和保持部140在铅直方向的相对移动)而挠曲。具体而言，传输基板110以装配于保持部140的一端部相对于装配于基座部130的中间部上下(图11中上下方向)移动的方式变形。在这样的传输基板110的变形中，信号线112、第一接地线113以及第二接地线114的相对的位置关系(间隔)不变化。因此，即使传输基板110随着支承部150的变形而变形，传输基板110的特性阻抗也不变化，也抑制了传输基板110的传输损失。因此，能提高测量装置200的测量精度。

此外，一般在测量对象，有时会在测量面产生高低差(凹凸)。特别是，在测量对象为电子电路基板的情况下，与半导体晶圆等相比容易产生较大的凹凸。在测量对象存在高低差的情况下，某个接触件会先接触高度相对高的部位，其他接触件恐怕不会充分接触高度相对低的部位。如此，在测量对象产生高低差(凹凸)的情况下，接触件与测量对象的接触状态不均匀，恐怕无法得到良好的接触状态。

对此，在测量装置200中，第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103经由弹性构件160装配于保持部140。此外，第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103设于具有柔性的传输基板110上。因此，当第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103与测量对象T接触时，与该接触件对置的弹性构件160被压缩，并且传输基板110变形。因此，即使某个接触件先接触测量对象T，也能通过弹性构件160和传输基板110的变形来使保持部140与其他的接触件一同朝向测量对象T进一步移动。

如此，在测量装置200中，第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103能独立地移动(换言之相对移动)彼此不同的移动量，以允许测量对象T的高度差。因此，能使第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103与测量对象T的接触状态均匀。由此，能以规定的按压力将第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103分别按压至测量对象T并得到良好的接触状态。

(第三实施方式)

接着，参照图14和图15，对本发明的第三实施方式进行说明。以下，以与上述第二实施方式不同的点为中心进行说明，对与上述第二实施方式相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

在上述第二实施方式中，使第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103相互独立地移动的移动允许部是设于保持部140的弹性构件160。在上述第二实施方式中，通过弹性构件160进行膨胀收缩，使第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103相互独立地移动。

与之相对，在第三实施方式的测量装置300中，移动允许部是与保持部140一体形成的弹性构造部260。

弹性构造部260具有连接于保持部140的基部261和以基部261为支点相互独立地挠曲变形(弹性变形)的多个变形部。

如图14和图15所示，变形部设有与接触件对应的个数(在本实施方式中为三个)，分别经由传输基板110装配有第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103。以下，也将装配有第一接触件101的变形部称为“第一变形部265”，也将装配有第二接触件102的变形部称为“第二变形部266”，也将装配有第三接触件103的变形部称为“第三变形部267”。第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267由各基端侧从基部261折曲而形成，从基端侧相对于测量对象T平行延伸。第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267的顶端侧构成为自由端。

主要如图14所示，在第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267与保持部140之间形成有间隙260a。通过设有间隙260a，防止第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267与保持部140的干扰。

此外，在第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267之间形成有彼此分隔的狭缝260b、260c。基部261、第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267与保持部140一同由树脂一体成型。

如图15所示，在传输基板110，在信号线112与第一接地线113之间和信号线112与第二接地线114之间形成有在长尺寸方向延伸的狭缝110a、110b。第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103由狭缝110a、110b彼此分隔，因此容易独立地移动。

第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267能弯曲变形，以使自由端以各基部261为支点在铅直方向上下移动。换言之，第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267能以基部261为支点挠曲变形。此外，第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267由狭缝260b、260c分隔，且能相互独立地变形。因此，装配于第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267的第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103也能相互独立地移动。在这样的第四实施方式中，也与上述第三实施方式同样，能允许测量对象T的高低差，使第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103与测量对象T的接触状态均匀。因此，即使测量对象T存在高低差，也能使第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103与测量对象T的接触状态良好。

需要说明的是，与上述第二实施方式同样，在测量装置300中，可以采用不在传输基板110设置狭缝110a、110b的构成。在该情况下，可以不采用设置狭缝260b、260c并设置多个变形部的构成(图14的构成)，而是如图16所示，构成为单个变形部268连接于基部261，在变形部268装配有第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103。

相反，在上述第二实施方式中，也可以如第三实施方式所示，将分隔第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103的狭缝110a、110b设于传输基板110。在传输基板110设置狭缝110a、110b的情况下，如上所述，容易使第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103独立地移动。另一方面，在不在传输基板110设置狭缝110a、110b的情况下，不会在信号线112与第一接地线113和信号线112与第二接地线114之间形成由狭缝110a、110b产生的空气层。因此，在不在传输基板110设置狭缝110a、110b的情况下，容易使高频传输线路的特性阻抗与测量对象T的特性阻抗匹配。对于是否在传输基板110设置狭缝110a、110b，只要是考虑高频传输线路的特性阻抗来确定即可。

如上所述，在作为移动允许部的弹性构造部260以基部261为支点多个变形部相互独立地挠曲变形的第三实施方式中也起到与第二实施方式同样的作用效果。就是说，移动允许部可以如上述第二实施方式所示地通过自身的压缩(伸缩)而允许接触件的独立的移动，也可以如上述第三实施方式所示地通过以基部261为支点的多个变形部(第一变形部265、第二变形部266以及第三变形部267)的挠曲变形而允许接触件的独立的移动。

接着，对第二和第三实施方式的变形例进行说明。如下所述的变形例也在本发明的范围内，也能将以下的变形例与上述实施方式的各结构组合，或将以下的变形例彼此组合。此外，对于在上述实施方式的说明中记载的变形例也同样能与其他的变形例任意地组合。

在上述第二和第三实施方式中，高频传输线路为共面线路。与之相对，高频传输线路也可以是带状线路、微带线路等其他的线路。

此外，在上述第二和第三实施方式中，传输基板110是具有柔性的柔性印刷基板。与之相对，传输基板110也可以是包含具有柔性的部位和不具有柔性的部位的刚柔结合基板。权利要求书中的“具有柔性的传输基板”是指不限于整体具有柔性的柔性印刷基板，也包含一部分具有柔性的刚柔结合基板的意思。

此外，在上述第二和第三实施方式中，支承部150中的连接部151、155的杆部152、156具有彼此相同的长度。与之相对，杆部152、156也可以构成为长度彼此不同。

此外，在上述第二和第三实施方式中，支承部150由具有一对连接部151、155的连接机构构成。对此，支承部150只要是构成为随着第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103向测量对象T的按压而变形，就不限于连接机构，能采用任意的构成。

此外，在上述第二和第三实施方式中，第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103形成为圆柱形状。不限于此，第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103能形成为任意的形状。第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103例如可以形成为棱柱、棱锥、圆锥、棱锥台、圆锥台等形状。

接着，对上述各实施方式的作用效果进行总结说明。

在第一至第三实施方式中，测量装置100、200、300具备：分别按压至测量对象T的第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103；装配有第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103的主体部10、120；以及设有电连接于第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103的高频传输线路的传输基板60、110，主体部120具有：基座部20、130；保持第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103的保持部30、140；以及装配于基座部20、130，支承保持部30、140的支承部40、150，保持部30、140随着第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103向测量对象T的按压，相对于基座部20、130相对移动。

根据第一至第三实施方式，保持部30、140随着第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103向测量对象T的按压而相对于基座部20、130相对移动，因此，由保持部30、140保持的第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103也分别沿着按压的方向相对于基座部20、130相对移动。由此，抑制了向测量对象T按压的第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103的过度的移动，抑制了测量对象T上的接触痕的产生。此外，抑制了向测量对象T按压的第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103的过度的移动，因此，也可以不使第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103大幅挠曲，抑制了因第一接触件1、101、第二接触件2、102、第三接触件3、103的挠曲引起的传输损失的增加。因此，能抑制测量对象T上的接触痕的产生，并且提高测量装置100、200、300的测量精度。

此外，在第一实施方式中，在测量装置100中，支承部40随着第一接触件1和第二接触件2向测量对象T的按压而弹性变形。

此外，在第一实施方式的测量装置100中，支承部40构成为随着第一接触件1和第二接触件2向测量对象T的按压，优先于第一接触件1和第二接触件2而弹性变形。

根据这样的第一实施方式，在将第一接触件1和第二接触件2按压至测量对象T时，主体部10的支承部40弹性变形，由此能以规定的按压力使第一接触件1和第二接触件2接触。因此，也可以不主动使第一接触件1和第二接触件2挠曲，能提高第一接触件1和第二接触件2的耐久性。

此外，在第一实施方式的测量装置100中，第一接触件1和第二接触件2分别由烧结金属形成。

此外，在第一实施方式的测量装置100中，第一接触件1和第二接触件2分别由工具钢形成。

根据这样的第一实施方式，第一接触件1和第二接触件2由耐久性高、耐磨耗性优异的材质形成，因此，抑制了伴随磨耗的测量装置100的测量精度的降低。

此外，在第一实施方式中保持部30具有连接于基座部20并保持第一接触件1的第一保持部31和连接于基座部20并保持第二接触件2的第二保持部35，第一保持部31和第二保持部35以能相互独立地移动的方式装配于基座部20。

根据这样的第一实施方式，第一接触件1和第二接触件2电连接于传输基板60，并且由能相互独立地移动的第一保持部31和第二保持部35保持。由此，第一接触件1和第二接触件2能相互独立地移动。如此，通过第一保持部31和第二保持部35的移动，第一接触件1和第二接触件2相互独立地移动，因此，能大幅地确保第一接触件1和第二接触件2的移动量。因此，即使在测量对象T产生高低差这样的情况下，也能使第一接触件1和第二接触件2均匀地接触测量对象T，使接触状态保持良好。因此，提高了测量装置100的测量精度。

此外，在第一实施方式中，传输基板60具有粘接于第一接触件1的第一粘接部65和粘接于第二接触件2的第二粘接部66，第一粘接部65和第二粘接部66构成为由狭缝60a分隔且能相互独立地移动。

根据这样的第一实施方式，第一粘接部65和第二粘接部66能独立地移动，因此，抑制了第一接触件1和第二接触件2的相对移动被传输基板60阻碍。因此，能使第一接触件1和第二接触件2更大幅地相对移动。因此，即使测量对象T的凹凸较大，也能高精度地进行测量。就是说，根据本实施方式，为了高精度地测量而能够允许的测量对象T的凹凸量(高度差)会增大。

此外，在第一实施方式中，主体部10还具有设于基座部20并支承第一保持部31的第一支承部41和设于基座部20并支承第二保持部35的第二支承部45，第一支承部41随着第一接触件1向测量对象T的按压而弹性变形，第二支承部45随着第二接触件2向测量对象T的按压而弹性变形。

根据这样的第一实施方式，第一支承部41和第二支承部45能独立地分别弹性变形，因此，第一接触件1和第二接触件2能相互独立地移动。因此，与使第一接触件1和第二接触件2挠曲的情况相比，能根据第一支承部41和第二支承部45的弹性变形，使第一接触件1和第二接触件2独立地移动更大的移动量。就是说，主体部10是比第一接触件1和第二接触件2大的构件，因此能容易地确保使其独立地移动的移动量。

此外，在第二和第三实施方式的测量装置200、300中，传输基板110具有柔性，高频传输线路包括信号线112和接地线(第一接地线113、第二接地线114)，第一接触件101、第二接触件102以及第三接触件103与各自对应的信号线112和接地线(第一接地线113、第二接地线114)一体设置，支承部150随着第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103向测量对象T的按压而弹性变形。

根据这样的第二和第三实施方式，在将第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103按压至测量对象T时，主体部120的支承部150弹性变形，由此能以规定的按压力使第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103接触。此外，高频传输线路设于具有柔性的传输基板110，因此，即使传输基板110随着将第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103按压至测量对象T而变形，也能抑制传输损失。因此，能以规定的按压力将第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103按压至测量对象T，并抑制传输损失，因此，能提高测量装置200、300的测量精度。

此外，第二和第三实施方式的测量装置200、300还具备移动允许部(弹性构件160、弹性构造部260)，其设于保持部140，允许伴随于向测量对象T的按压的第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103彼此的独立的移动。

此外，在第二实施方式的测量装置200中，移动允许部是具有弹性的弹性构件160，第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103构成为能通过弹性构件160的弹性变形而相互独立地移动。

此外，在第三实施方式的测量装置300中，移动允许部具有连接于保持部140的基部261和以基部261为支点相互独立地弹性变形的多个变形部(第一变形部265、第二变形部266、第三变形部267)，第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103装配于各自对应的多个变形部(第一变形部265、第二变形部266、第三变形部267)，构成为能通过变形部(第一变形部265、第二变形部266、第三变形部267)以基部261为支点弹性变形而相互独立地移动。

根据这样的第二和第三实施方式，第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103能相互独立地移动，因此，即使在测量对象T产生高低差的情况下，也能使第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103分别均匀地接触测量对象T。因此，能使第一接触件101、第二接触件102、第三接触件103与测量对象T的接触状态良好，提高了测量装置200、300的测量精度。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但上述实施方式仅示出本发明应用例的一部分，并不意图将本发明的技术范围限定为上述实施方式的具体结构。

本申请主张基于在2018年7月27日向日本专利局提出申请的日本特愿2018－141831、日本特愿2018－141832以及日本特愿2018－141833的优先权，并通过参照将该申请的全部内容引入本说明书。

Claims (12)

1.一种测量装置，具备：

多个接触件，分别按压至测量对象；

主体部，装配有所述多个接触件；以及

传输基板，设有电连接于所述多个接触件的高频传输线路，

所述主体部具有：

基座部；

保持部，保持所述多个接触件；以及

支承部，装配于所述基座部，支承所述保持部，

所述保持部随着所述多个接触件向所述测量对象的按压，相对于所述基座部相对移动。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

所述支承部随着所述多个接触件向所述测量对象的按压而弹性变形。

3.根据权利要求2所述的测量装置，其中，

所述支承部构成为随着所述多个接触件向所述测量对象的按压，优先于所述多个接触件而弹性变形。

4.根据权利要求2或3所述的测量装置，其中，

所述多个接触件分别由烧结金属形成。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的测量装置，其中，

所述多个接触件分别由工具钢形成。

6.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

所述传输基板具有柔性，

所述保持部具有分别单独地保持所述多个接触件的多个保持器部，

所述多个保持器部以能相互独立地移动的方式装配于所述基座部。

7.根据权利要求6所述的测量装置，其中，

所述传输基板具有供所述多个接触件分别粘接的多个粘接部，

所述多个粘接部构成为彼此由狭缝分隔且能独立地移动。

8.根据权利要求6或7所述的测量装置，其中，

所述支承部具有多个保持器支承部，所述多个保持器支承部设于所述基座部，分别单独地支承所述多个保持器部，

所述多个保持器支承部随着各自对应的所述接触件按压至所述测量对象而弹性变形。

9.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

所述传输基板具有柔性，

所述高频传输线路包括信号线和接地线，

所述多个接触件与各自对应的所述信号线和所述接地线一体地设置，

所述支承部随着所述多个接触件向所述测量对象的按压而弹性变形。

10.根据权利要求9所述的测量装置，其中，

还具备移动允许部，所述移动允许部设于所述保持部并且装配有所述多个接触件，允许伴随于向所述测量对象的按压的所述多个接触件彼此的独立的移动。

11.根据权利要求10所述的测量装置，其中，

所述移动允许部为具有弹性的弹性构件，

所述多个接触件构成为能通过所述弹性构件的伸缩相互独立地移动。

12.根据权利要求10所述的测量装置，其中，

所述移动允许部具有：

基部，连接于所述保持部；以及

多个变形部，以所述基部为支点相互独立地弹性变形，

所述多个接触件装配于各自对应的所述多个变形部，并构成为能通过所述多个变形部以所述基部为支点挠曲变形而相互独立地移动。

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