JP5210550B2 - 電気的接続装置 - Google Patents
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Description
12 リジッド配線基板
14 ばね部材
16 ブロック
18 プローブシート(フレキシブル多層配線基板)
18a プローブシートの中央部分
18b プローブシートの張出部分
34 ブロックの支持面
34a 支持面の直線縁部
36 接触子領域
40 フランジ部材(ブロックのフランジ部)
40a 取付け穴
44 アライメントピン
44a アライメントピンの下端面(先端面)
50 プローブ(接触子)
50a プローブの針先
A 被検査体(半導体ウエハ)
B 電極パッド
Claims (2)
- 複数の配線路が形成されたリジッド配線基板と、該リジッド配線基板の板厚方向へ変位可能にばね部材を介して前記リジッド配線基板に弾性支持されるブロックと、前記配線路に対応する導電路が形成されたフレキシブル多層配線基板であって裏面で前記ブロックに支持される接触子領域及び該接触子領域から前記ブロックの縁部を越えて前記リジッド配線基板に向けて角度的に伸長し、前記導電路が対応する前記配線路に接続されるように前記リジッド配線基板に結合される張出領域を有するフレキシブル多層配線基板と、前記接触子領域の表面に設けられ、対応する前記導電路に接続された複数の接触子とを含み、
前記ブロックは、本体とフランジ部とを有し、
前記本体は、前記リジッド配線基板にほぼ平行な支持面を有し、該支持面でリジッド配線基板の前記接触子領域が支持され、
該接触子領域は、その裏面で前記支持面に固着され、
前記フランジ部は、前記フレキシブル配線基板の前記本体の縁部に沿った曲がり角度を緩和すべく前記張出領域を裏面で支持し、前記本体を取り巻いて該本体に取り外し可能に配置されるフランジ部材で構成され、
該フランジ部材は前記本体の挿通を許す取付け穴が形成された全体に環状のフランジ部材であり、その外縁は多角形であり、外径を異にする複数のフランジ部材が選択的に取り付け可能であり、
該フランジ部材には、前記接触子の位置決めに用いられるアライメントピンであって前記フレキシブル多層配線基板を貫通して該多層配線基板から突出する先端面がアライメントマークとして作用するアライメントピンが設けられ、
前記張出領域には、前記本体の縁部との当接部によって曲げられた第1の曲げ部及び前記フランジ部の外縁との当接部によって曲げられた第2の曲げ部がそれぞれ形成され、
前記張出領域と前記ブロックとの間には、前記本体の縁部と前記フランジ部の外縁との間で空隙が形成されており、前記フランジの外縁は非接着状態で前記張出領域に接する、電気的接続装置。 - 前記アライメントピンの前記先端面は前記接触子領域の平面レベルよりも前記リジッド配線基板側に後退した位置にある、請求項1に記載の電気的接続装置。
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