JP2008268145A - プローブ組立体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブ組立体は、プローブ基板と、基端が前記プローブ基板に支持され、該プローブ基板から間隔をおいてこれにほぼ沿って伸長するアーム部および該アーム部に設けられ前記プローブ基板から離れる方向へ突出する針先部を有するプローブと、前記プローブ基板の前記アーム部に対向する部分に設けられ、前記アーム部の前記針先部に作用する押圧力によって該針先部が前記プローブ基板に向けて変形を生じたときに少なくとも前記アーム部の前記プローブ基板に対向する背面を受けるべく該背面に沿った受圧面を有する支持部とを含む。
【選択図】図3
Description
18 プローブ基板
40 プローブ
40a 取付け部
40b アーム部
40c 針先部
40e 針先部の背面
56 アーム部の背面
58 支持部
58a 支持部の受圧面
Claims (4)
- プローブ基板と、基端が前記プローブ基板に支持され、該プローブ基板から間隔をおいてこれにほぼ沿って伸長するアーム部および該アーム部に設けられ前記プローブ基板から離れる方向へ突出する針先部を有するプローブと、前記プローブ基板の前記アーム部に対向する部分に設けられ、前記アーム部の前記針先部に作用する押圧力によって該針先部が前記プローブ基板に向けて変形を生じたときに少なくとも前記アーム部の前記プローブ基板に対向する背面を受けるべく該背面に沿った受圧面を有する支持部とを含む、プローブ組立体。
- 前記針先部は前記アーム部の先端に形成され、前記支持部材の受圧面は前記アーム部の背面と共に前記針先部の背面に当接可能に該背面に沿った形状を有する、請求項1に記載のプローブ組立体。
- 前記アーム部の基端は、前記プローブ基板へ向けて伸びる取付け部を経て前記プローブ基板に支持されている、請求項1に記載のプローブ組立体。
- 前記アーム部はその自由状態で前記背面が前記プローブ基板の対向面にほぼ等間隔で保持されている、請求項1に記載のプローブ組立体。
Priority Applications (1)
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JP2007115107A JP2008268145A (ja) | 2007-04-25 | 2007-04-25 | プローブ組立体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007115107A JP2008268145A (ja) | 2007-04-25 | 2007-04-25 | プローブ組立体 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014523527A (ja) * | 2011-06-08 | 2014-09-11 | 須藤 健三 | チップ検査用プローブ装置 |
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-
2007
- 2007-04-25 JP JP2007115107A patent/JP2008268145A/ja active Pending
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