CN102183680B

CN102183680B - 连接装置

Info

Publication number: CN102183680B
Application number: CN201010606118.0A
Authority: CN
Inventors: 三轮一生
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 2009-12-24
Filing date: 2010-12-23
Publication date: 2015-06-10
Anticipated expiration: 2030-12-23
Also published as: KR20110074437A; JP5325085B2; TWI519793B; US8742783B2; JP2011133330A; TW201131172A; US20110156737A1; CN102183680A

Abstract

本发明提供一种连接装置，用于更容易地对检查对象的电气特性进行检查。连接装置(20)具备：形成了能够与形成在检查对象(10)上的电极(12)接触、分离的触点(31)，并形成了具有柔性以及导电性的基板配线(32)的FPC(30)；在触点(31)与FPC(30)重合，对触点(31)向按压方向施加作用力的弹性部件(40)；在向外部突出的状态下将弹性部件(40)固定在预定的固定位置，并且从外部电气连接了FPC(30)的主体部件(50)。这样，通过分别用不同材料形成基板配线(32)和弹性部件(40)，能够自由地使触点(31)的作用力和导电性的组合更适当。另外，基板配线(32)或弹性部件(40)不在主体部件(50)内部滑动，能够进一步抑制异物的产生。

Description

连接装置

技术领域

本发明涉及连接装置。

背景技术

以往，作为连接装置，提出了在作为圆筒形的主体部件的导电管的内侧具备弹簧以及作为触点的柱塞，通过弹簧使柱塞向检查对象的电极按压，对检查对象的电气连接状态进行检查的连接装置(例如参照专利文献1)。在该连接装置中，通过在导电管的闭塞侧穿设通孔，可以抑制尘埃的侵入。另外，作为连接装置，提出了具有柔性的，并且从主体部件的两面突出地形成一端侧与检查对象的电极接触，另一端侧与检测器的端子连接的连接电极，对检查对象的电气连接状态进行检查的连接装置(例如参照专利文献2)。在该连接装置中，连接电极的一端比主体部件的表面凹陷，另一端存在于主体部件的保持孔内，可以提高耐久性。另外，作为连接装置，提出了具备与检查对象的电极接触的接触片、与配线基板的端子电极接触的接触片、以及将这些接触片电气连接的连接部的连接装置(例如参照专利文献3)。在该连接装置中，可以实现低成本和长寿命化。

但是，在专利文献1记载的连接装置中，虽然通过在闭塞侧穿设通孔来抑制尘埃的侵入，但是由于柱塞在圆筒内部滑动，因此容易产生金属粉等，金属粉阻碍滑动或污染被检查物等，有时妨碍检查。另外，当对检查对象的按压方向与轴方向倾斜时发生更偏的滑动，存在容易发生同样的不良情况等问题。另外，在专利文献2中记载的连接装置中，在与被检查物接触的探针和检测器间具有多个连接电极，因此为了得到稳定的电气连接需要进一步提高连接电极的高度方向的精度，难以制作。另外，为了形成连接电极的形状也需要花费工夫。另外，在专利文献3中记载的连接装置中，有时通过接触片的部件同时提供导电性和按压力，当使用导电性优先的部件(例如铜、铜合金等)时，产生按压力的耐久性劣于使按压力优先的部件(例如弹簧钢或不锈钢)，需要导电性的电气连接的稳定耐久性有时不够。于是，希望在充分获得电气连接的同时具有足够的机械耐久性，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查的连接装置。

【专利文献1】日本特开2003-344450号公报

【专利文献2】日本特开2009-25026号公报

【专利文献3】日本特开2001-266983号公报

发明内容

本发明是鉴于这样的课题而提出的，其主要目的在于提供可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查的连接装置。

本发明为了达成上述目的，采用了以下的手段。

即，本发明的连接装置能够与形成在检查对象上的电极接触、分离，用于检查具有该电极的电路的电气特性，具备：一个以上导电部件，在所述导电部件上形成有能够与所述电极接触、分离的触点，且所述导电部件具有柔性以及导电性；弹性部件，其在所述触点与所述导电部件重合，对该触点向预定的按压方向施加作用力；以及主体部件，所述弹性部件在向外部突出的状态下被固定在所述主体部件的预定的固定位置，并且所述导电部件从外部电气连接。

该连接装置在主体部件上，在预定的固定位置固定了对触点向按压方向施加作用力的弹性部件，并且，电气连接了形成有触点的导电部件。并且，该导电部件和弹性部件在触点重合，弹性部件对该触点向按压方向施加作用力。这样，通过分别用不同的材料形成导电部件和弹性部件，能够自由地使触点的作用力和导电性的组合更加适当。另外，例如与导电部件或弹性部件在主体部件内部滑动的情况相比，能够进一步抑制异物的产生。因此，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。在此，“预定的按压方向”可以设为配置检查对象的方向。另外，关于“预定的固定位置”，只要是弹性部件能够对触点施加作用力的位置，则可以是主体部件的任意位置。

在本发明的连接装置中，所述导电部件形成在具有柔性的配线基板上，所述触点形成在配线基板的检查面上，所述检查面为在进行检查时与所述检查对象相对置的面，所述弹性部件在所述检查面的相反侧的面上与所述导电部件重合，从所述触点的背侧对该触点向所述按压方向施加作用力。于是，能够通过配线基板这样的简单的构造形成导电部件，因此，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。此时，在所述配线基板上与所述触点邻接地形成有多个狭缝。于是，例如即使检查对象的电极在各个高度方向上波动，也能够通过狭缝分别吸收电极的高度方向上的触点的波动，因此可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。

在本发明的连接装置中，所述导电部件可以通过具有导电性的弹簧电极与所述主体部件电气连接。于是，例如与通过焊接将导电部件和主体部件电气连接的情况相比，导电部件的拆卸或安装容易，并且可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。

在本发明的连接装置中，把对于按压方向从所述触点偏移的位置作为所述固定位置，把所述弹性部件固定在所述主体部件上。于是，触点对于按压方向偏移移动，触点一边向检查对象的电极偏移一边与其接触，由此，进一步提高触点和电极的电气连接，因此，更容易对检查对象的电气特性进行检查。

在本发明的连接装置中，所述弹性部件是固定在所述主体部件的板弹簧。于是，可以通过构造比较简单的板弹簧对触点施加作用力，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。

在具有狭缝的配线基板上形成了导电部件的方式的本发明的连接装置中，所述弹性部件可以是具有对应于狭缝形成了切口的栉齿部的板弹簧，所述狭缝对应于所述触点而设置。于是，通过栉齿部可以对在导电部件上形成的触点施加作用力，容易吸收电极的高度方向的波动，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。另外，通过个别地调整栉齿部的切口长度，能够针对每个电极调整按压力，因此，针对多种材质的检查对象的电极，可以更容易地检查电气特性。

或者，在本发明的连接装置中，所述弹性部件可以是容纳了流体的中空部件。于是，可以使用中空部件，通过比较容易的构造更容易地对检查对象的电气特性进行检查。在此，作为“流体”，列举出空气或氮气等气体、水或油等液体等。此时，所述导电部件可以是在所述弹性部件的表面上形成的配线。于是，能够进一步减少结构部件，容易制作连接装置，并且，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。此外，在本发明的连接装置中，所述弹性部件也可以是没有中空部的实心部件。

附图说明

图1是表示本发明一实施方式的连接装置20的概要结构的结构图。

图2是连接装置20的下面侧的说明图。

图3是连接装置20的分解立体图。

图4是FPC30的制作的说明图。

图5是说明连接装置20的动作的说明图。

图6是连接装置120的说明图。

图7是连接装置220的说明图。

图8是连接装置320的说明图。

符号说明

10检查对象；12电极；20、120、220、320连接装置；21连接器；22检查面；24相反面；30柔性印刷基板(FPC)；30A第1部件；30B第2部件；31触点；31B触点窗口；32、332基板配线；34、334弹簧电极；34A连接部窗口；34B连接窗口；35连接部；36、36A、36B狭缝；38固定板；40、140、240、340弹性部件；41、141、241、341固定部；42板状部；44栉齿部；48固定部件；50、150、250、350主体部件；51、151、251、351主体基板；52辅助基板；53第1连接电极；54主体配线；55第2连接电极；242、342圆筒部

具体实施方式

使用附图说明用于实施本发明的实施方式。图1是表示本发明一实施方式的连接装置20的概要结构的结构图，图2是连接装置20的下面侧的说明图，图3是连接装置20的分解立体图。本实施方式的连接装置20，例如构成为与在连接器等检查对象10上形成的电极12接触、分离，检查具有该电极12的电路的电气特性(连接特性等)的检查用连接装置。该连接装置20具备：作为配线基板的柔性印刷基板(FPC)30；向预定的按压方向对FPC30施加作用力的弹性部件40；电气连接FPC30并且固定了弹性部件40的主体部件50。

FPC30由具有绝缘性以及柔性的树脂覆盖，在其内部形成了作为具有柔性以及导电性的多个导电部件的基板配线32。在FPC30中，在配置检查对象10的一侧(图1中的下端侧)形成触点31，在主体部件50一侧(图1中的上端侧)形成了向主体部件50进行电气连接的弹簧电极34。基板配线32在其一端形成了触点31，在另一端形成了弹簧电极34。该FPC30以从弹簧电极34侧向触点31侧宽度缩小的方式形成了其外形，以小于弹簧电极34的间距形成了触点31。另外，对于FPC30，与各个触点31相邻地形成了作为贯通槽的狭缝36。即，在具有与触点31对应设置的狭缝36的FPC30上形成了基板配线32。关于该FPC30，作为一端侧的弹簧电极34侧通过固定板38固定在主体部件50上，并且，作为另一端侧的触点31侧通过固定部件48固定在弹性部件40上。在该连接装置20中，主体部件50和固定板38夹着FPC30地固定固定板38，由此固定FPC30，并且实现了FPC30和主体部件50的电气连接。因此，通过拆卸固定板38，可以容易地拆卸FPC30。

在此说明FPC30的制作方法。图4是FPC30的制作的说明图。FPC30的覆盖部件只要是具有柔性以及绝缘性的片状部件则不特别限定，例如列举出聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、橡胶等有机化合物。该覆盖部件的厚度优选为25μm以上1mm以下，更优选为25μm以上50μm以下。首先，在以触点31侧的宽度变窄的方式形成了外形的第1部件30A上，加工插入连接部35的多个连接部窗口34A和作为与触点31邻接设置的贯通槽的多个狭缝36A(图4的左端)。该第1部件30A是相反面24侧的覆盖部件，可以对与弹性部件40接触的一侧的面进行梨地纹加工(pear-skin working)。然后，在第1部件30A的表面上形成基板配线32(图4的左起第2个)。基板配线32的形成也可以使用金属箔，通过电铸或金属材料膏的印刷等来制作。接着，在基板配线32的一端粘贴弹簧电极34，在另一端侧形成触点31(图4的左起第3个)。触点31和弹簧电极34的材质等可以适宜使用上述材质。并且，在形成了触点31、基板配线32以及弹簧电极34的第1部件30A上粘贴第2部件30B，完成FPC30。第2部件30B是检查面22侧的覆盖部件，设置了使弹簧电极34露出的连接窗口34B和使触点31露出的触点窗口31B、作为贯通槽的狭缝36B。这样，可以制作基板配线32不露出到外部，在检查面22侧触点31露出，在相反面24侧连接部35露出的柔性的FPC30。

触点31与电极12的配置间隔相匹配地形成，与电极12接触/分离，在配置检查对象10的一侧的面、即检查面22上侧突出地形成。触点31例如可以使用Pd、Pt、Ag等贵金属、Cu、Ni等导电材料，因为导电性高并且材质硬的材料与电极12的电气接触良好，所以优选这样的材料，例如更理想的是贵金属等。该触点31可以通过与基板配线32相同的材质制作，也可以通过不同的材质形成，即使是相同材质也可以用贵金属等涂布表面。例如优选是在Ni基底(3μm以下等)上进行镀铜(0.76μm以下)而得的材质，或者是在Ni基底(3μm以下等)上涂布Pd合金(0.3μm以下等)而得的材质等。基板配线32优选是柔性以及导电性比较高，作为资源存在很多的材料，例如可以通过Cu或Cu合金等形成。做制成箔的情况下，可以使厚度为12μm以上0.1mm以下，优选为12μm以上50μm以下的范围。另外，可以使用Ag等的丝网印刷用膏来形成基板配线32，在这种情况下可以使厚度为10μm以下。弹簧电极34是向主体部件50进行电气连接的部件，具有形成为反U字形的连接部35(参照图3)。该连接部35向主体部件50侧倾斜，作为具有导电性以及柔性的板弹簧而工作，由此进行触点31和主体部件50的电气连接。该弹簧电极34例如可以用Cu或Cu合金等形成。在制成箔的情况下，可以使厚度为12μm以上0.1mm以下，优选为12μm以上50μm以下的范围。

弹性部件40固定在主体部件50的与电气连接了FPC30的一侧不同的一侧上，构成为在触点31与基板配线32重合，对触点31向按压方向施加作用力的板弹簧。弹性部件40，在FPC30的检查面22的相反侧的面、即相反面24上与FPC30重合，从触点31的背侧对该触点31向按压方向施加作用力。按压方向可以为配置检查对象10的方向。该弹性部件40与FPC30(基板配线32等)相比，优选使用作用力强、弹簧耐久性高的材料形成，例如优选用铁或不锈钢、工程塑料等形成。另外，考虑到绝缘性，弹性部件40可以用绝缘材料(例如绝缘树脂等)对表面进行涂布，还可以进行防锈处理，为了确保与FPC30的摩擦，可以进行梨地纹加工。该弹性部件40的厚度可以为50μm以上0.5mm以下，可以根据材料的杨氏模量、弹簧设定尺寸等选择该厚度。

该弹性部件40具备：在主体部件50上固定的固定部41；与固定部41连接，向图1的下方倾斜形成的板状部42；形成在板状部42的前端，对触点31施加作用力的栉齿部44(参照图2、图3)。固定部41如图2所示，是矩形的板状体，把对于按压方向从触点31偏移的位置作为固定位置，把固定部41固定在主体部件50上。在该连接装置20中，相对于其上下运动，栉齿部44的前端以固定部41为支点以描绘圆弧的方式移动。另外，固定部41固定在主体部件50的与电气连接FPC30的一侧不同的一侧上。因此，在连接装置20中，通过FPC30和弹性部件40形成了与电极12接触的大体U字状的接触部。该弹性部件40，与对应于触点31设置的狭缝36对应地形成了切口，即，形成为具有对应于触点31形成了切口的栉齿部44的板弹簧。在该连接装置20中，各个栉齿部44对与狭缝36邻接的各个触点31从其背侧施加作用力，因此，针对每个触点31可以在上下方向上具有自由度地对各触点31施加作用力。该栉齿部44的前端向主体部件50侧弯曲，防止FPC30的相反面24的覆盖部件的破碎等。另外，在板状部42和栉齿部44的大致中间，以夹着FPC30的前端的方式配置用于固定FPC30和弹性部件40的固定部件48。因此，通过固定部件48的拆卸，可以容易地进行FPC30的拆卸。关于该固定部件48，详细来说，当考虑后述的触点31的擦拭效应(wiping effect)时，优选设置在离触点31较近的位置。此外，在图1中，相对于触点31在固定部41侧设置了固定部件48，但也可以相对于触点31在栉齿部44的前端侧设置固定部件48。

把主体部件50构成为固定弹性部件40并且电气连接FPC30的部件。主体部件50由以下构成：与检测电极12的电气连接状态的未图示的检测器电气连接的板状体，即主体基板51；以及配置在主体基板51上，固定弹性部件40的板状体，即辅助基板52。在该主体部件50中，以向主体部件50的框体外部突出的状态固定弹性部件40，并且从主体部件50的框体外部与FPC30电气连接。此外，在该主体部件50中，在相对于主体基板51垂直的方向上配置了辅助基板52。在主体基板51上形成有：在其中央部与弹簧电极34对应地形成的多个第一连接电极53、与各个第一连接电极53连接的主体配线54、与各个主体配线54连接，并经由连接器21与检测器连接的第二连接电极55。在该主体基板51中，以第二连接电极55的间距大于第一连接电极53的方式配置各个电极。因此，即使触点31间距更狭窄，也可以不使连接器21与该狭窄间距相匹配，而是将其制作成较大的尺寸。

接着，说明如此构成的连接装置20的动作。图5是说明连接装置20的动作的说明图。该连接装置20固定在未图示的连接器检查装置上，在对设置在检查对象10上的电极12的电极连接进行检查时使用。连接器检查装置的固定了连接装置20的部分能够相对于检查对象10在垂直方向(按压方向)上移动，将连接装置20的触点31构成为能够与检查对象10的电极12接触、分离。另外，连接装置20经由连接器21与未图示的检测器电气连接，连接装置20的触点31在与检查对象10的电极12接触的状态下，通过该检测器提供电气信号，由此检测检查对象10的电路的电气连接。而且，当开始检查对象10的检查时，如图5的左图所示使连接装置20在按压方向上移动。并且，触点31与电极12电气接触。此时，进一步使连接装置20向检查对象10侧继续移动。于是，如图5的右图所示，通过固定板38以及固定部件48固定的FPC30跟随着栉齿部44柔性地动作。另外，通过弹性部件40的栉齿部44的高作用力，保持触点31与电极12接触的状态。另外，固定部41处于相对于按压方向从触点31偏移的位置，因此，触点31以描绘圆弧的方式移动。于是，伴随连接装置20向按压方向的移动，触点31一边相对于按压方向偏移，一边在电极12上移动，因此可以消除在电极12的表面形成的氧化膜等的电阻的影响(也将其称为擦拭效应)，更容易进行检查对象10的检查。而且，通过狭缝36，各个触点31在高度方向上具有自由度，因此，容易吸收多个电极12的高度方向的波动。并且，当重复进行检查对象10的检查时产生了触点31的劣化等，但是通过拆卸FPC30对其进行更换可以更高效地进行检查。

关于以上详细描述的本实施方式的连接装置20，在主体部件50上，在从触点31在按压方向上偏移的位置上，通过固定部41在预定的固定位置上固定对触点31向按压方向施加作用力的弹性部件40。另外，形成了触点31的FPC30与主体部件50电气连接。并且，该FPC30和弹性部件40在触点31的背侧重合，弹性部件40对该触点31向按压方向施加作用力。这样，通过分别用不同的材料形成FPC30和弹性部件40，能够自由地恰当地设置向触点31的作用力和导电性的组合。因此，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。

另外，在具有柔性的配线基板(FPC30)上形成基板配线32(导电部件)，在检查面22上形成触点31，弹性部件40在相反面24上与FPC30重合，从触点31的背侧对触点31向按压方向施加作用力，因此，能够通过配线基板这样的简单的构造形成导电部件，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。而且，基板配线32形成在具有对应于触点31设置的狭缝36的FPC30上，即使在检查对象10的电极31分别在高度方向上波动的情况下，也能够通过狭缝36吸收电极12的高度方向的触点的波动，因此，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。另外，弹性部件40具有与对应于触点31设置的狭缝36相对应地形成了切口的栉齿部44，因此，通过栉齿部44能够对在FPC30上形成的触点31施加作用力，容易吸收电极12的高度方向的触点的波动，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。另外，通过个别地调整栉齿部44的切口长度，能够针对每个电极调整按压力，对于多个材质的检查对象电极，可以更容易地检查电气特性。而且，基板配线32通过具有导电性的弹簧电极34与主体部件50电气连接，因此，例如与通过焊接将基板配线32和主体部件50电气连接的情况相比，FPC30的更换容易，并且更容易对检查对象10的电气特性进行检查。并且，把对于按压方向从触点31偏移的位置作为固定位置，来把弹性部件40固定在主体部件50上，因此，触点31对于按压方向偏移移动，触点31通过偏移开始接触检查对象的电极12，由此进一步提高了触点和电极的电气连接，因此更容易对检查对象的电气特性进行检查。并且，弹性部件40是固定在主体部件50的与电气连接了FPC30的一侧不同的一侧上的板弹簧，因此，能够通过比较简单的构造，即板弹簧对触点31施加作用力，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。

另外，连接装置20通过FPC30和板弹簧的弹性部件40可以进行触点31和电极12的电气连接以及连接解除，因此，例如与柱塞那样在主体部件内部滑动的部件相比难以产生金属片等，可以进行更准确的检查。而且，当重复使用时，把可以比较简单地制作的FPC30作为消耗品来更换即可，因此可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。

此外，本发明不受上述实施方式的任何限定，只要属于本发明的技术范围，当然可以通过各种形态来实施。为了便于说明，对与上述结构同样的结构赋予相同符号，以下省略其说明。

例如，在上述实施方式中，通过FPC30进行触点31和第一连接电极53之间的电气连接，但只要可以实现触点31和第一连接电极53之间的电气连接，则不特别限定于此。

在上述实施方式中，通过固定板38和弹簧电极34进行在FPC30一端侧的基板配线32和第一连接电极53的电气连接，但是，例如也可以代替弹簧电极34而使用平板状的端子，也可以将基板配线32和第一连接电极53焊接。只要基板配线32和第一连接电极53可以电气连接即可。另外，通过固定部件48固定FPC30的另一端侧，但也可以代替固定部件48，做成进行螺钉固定的方式，也可以用粘合剂与弹性部件40粘合。另外，在弹性部件40中，在向触点31更近的位置通过固定板38固定FPC30，抑制栉齿部44和触点31的偏移来获得擦拭效应，但不特别限定于此，例如也可以通过主体部件50固定FPC30的另一端侧，也可以固定在配置在主体部件50等上的其它固定部件上。

在上述实施方式中，在FPC30上与触点31邻接地设置了狭缝36，但也可以将其省略。这样一来，难以吸收电极12的高度方向的波动，但可以简化FPC30的制作过程。另外，在弹性部件40的前端形成了栉齿部44，但也可以将其省略。这样一来，难以吸收电极12的高度方向的波动，但可以简化弹性部件40的制作过程。

在上述实施方式中，把相对于按压方向从触点31偏移的位置作为固定位置，把弹性部件40固定在主体部件50上，但是，也可以把相对于按压方向相同的位置作为固定位置，把弹性部件40和触点31固定在主体部件50上。于是，难以获得触点31的擦拭效应，但是，分别通过不同材料形成导电部件和弹性部件，能够自由地使触点的作用力或导电性的组合更适当，因此可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。此外，弹性部件40的固定位置，只要是弹性部件40能够对触点31向按压方向施加作用力的位置，则可以是主体部件50的任意位置。

在上述实施方式中，主体部件50具备电气连接FPC30的主体基板51和固定弹性部件40的辅助基板52，但是也可以如图6的连接装置120所示，在一个部件上电气连接FPC30并且固定弹性部件40。图6是连接装置120的说明图。该连接装置20具备由电气连接FPC30并且固定弹性部件40的主体基板151形成的主体部件150。于是，减少了构成部件，使连接装置20的制作容易，并且可以更容易地对检查对象10的电气特性进行检查。此外，在上述实施方式中，主体部件50由两个部件构成，但也可以由3个以上的部件构成。

在上述实施方式中，弹性部件40是在主体部件50的与电气连接FPC30的一侧不同的一侧上固定的板弹簧，但是也可以如图6的连接装置120所示，是在主体部件50的与电气连接了FPC30的一侧相同的一侧上固定的板弹簧。在该连接装置120中，弹性部件140被固定在FPC30的固定位置的附近。这样也能够通过比较简单的构造，即板弹簧对触点31施加作用力，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。

在上述实施方式中，说明了对触点31向按压方向施加作用力的弹性部件是板弹簧的情况，但是，只要能够对触点31向按压方向施加作用力，则不特别限定于此。例如，如图7的连接装置220所示，可以是作为容纳了流体的中空部件的弹性部件240。图7是连接装置220的说明图。该连接装置220在由主体基板251构成的主体部件250上电气连接了FPC30的一端侧，并且，在主体部件250上通过固定部241固定了圆柱状的弹性部件240。另外，FPC30的另一端侧通过固定部件48固定在弹性部件240的圆筒部242的表面上。弹性部件240具有通过弹性体(例如树脂等)形成为中空的圆筒状的圆筒部242。关于在该弹性部件240中容纳的流体，列举出空气或氮气等气体、水或油等液体等。另外，可以使连接装置220直接向按压方向移动来进行向电极12的电气接触，也可以通过未图示的泵以及管道向弹性部件240的圆筒部242的内部供给流体，使弹性部件240膨胀来进行对电极12的电气接触(参照后述的图8)。此外，弹性部件240优选通过具有能够对触点31施加足够的作用力的弹性力，此外具有能够吸收电极12的高度方向的波动的程度的弹性的材料形成。这样，分别通过不同的材料形成导电部件和弹性部件，能够自由地使触点的作用力和导电性的组合更适当，可以更容易地对检查对象的电气特性进行检查。

或者，通过连接装置220的弹性部件240连接了FPC30，但也可以如图8所示的连接装置320那样，在弹性部件340上形成基板配线332。图8是连接装置320的说明图。该连接装置320在由主体基板351形成的主体部件350上，通过固定部341固定了中空圆柱状的弹性部件340。弹性部件340具有通过弹性体(例如树脂等)形成中空的圆筒状的圆筒部342。另外，在该弹性部件340上直接形成了基板配线332，在该基板配线332的一端形成触点31，在基板配线332的另一端连接了弹簧电极334。，可以直接使连接装置320向按压方向移动来进行对电极12的电气接触(图8的右上部)，也可以通过用未图示的泵以及管道向弹性部件340的圆筒部342的内部供给流体，使弹性部件340膨胀来进行对电极12的电气接触(图8的右下部)。于是，能够进一步减少结构部件，容易制作连接装置，并且可以更容易地对检查对象10的电气特性进行检查。此外，在连接装置220、320中把弹性部件40做成了中空部件，但只要能够充分对触点31施加作用力，则也可以做成在内部没有空间的实心部件。

在上述实施方式中，触点31或基板配线32等形成了6个，但只要是1个以上则不特别限定，可以设置与检查对象10匹配的数量。

在上述实施方式中，以向辅助基板52的框体外部突出的状态固定弹性部件40，并且，从主体基板51的框体外部电气连接FPC30，即在主体部件50的外表面上固定FPC30或弹性部件40，但不特别限定于此，例如也可以在主体基板51的内部电气连接FPC30，也可以在辅助基板52的内部固定弹性部件40。

Claims

1.一种连接装置，其能够与形成在检查对象上的电极接触、分离，用于检查具有该电极的电路的电气特性，其特征在于，具备：

一个以上导电部件，在所述导电部件上形成有能够与所述电极接触、分离的触点，且所述导电部件具有柔性以及导电性；

弹性部件，其在所述触点与所述导电部件重合，对该触点向预定的按压方向施加作用力；以及

主体部件，所述弹性部件在向外部突出的状态下被固定在所述主体部件的预定的固定位置，并且所述导电部件从外部电气连接，

所述导电部件形成在具有柔性的配线基板上，所述触点形成在配线基板的检查面上，所述检查面为在进行检查时与所述检查对象相对置的面，

在所述配线基板上与所述触点邻接地形成有多个狭缝，

所述弹性部件是具有对应于狭缝形成了切口的栉齿部的板弹簧，所述狭缝对应于所述触点而设置。

2.根据权利要求1所述的连接装置，其特征在于，

所述弹性部件在所述检查面的相反侧的面上与所述导电部件重合，从所述触点的背侧对该触点向所述按压方向施加作用力。

3.根据权利要求1所述的连接装置，其特征在于，

所述导电部件通过具有导电性的弹簧电极与所述主体部件电气连接。

4.根据权利要求2所述的连接装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的连接装置，其特征在于，

把对于按压方向从所述触点偏移的位置作为所述固定位置，把所述弹性部件固定在所述主体部件上。

6.根据权利要求2所述的连接装置，其特征在于，

7.根据权利要求3所述的连接装置，其特征在于，

8.根据权利要求4所述的连接装置，其特征在于，

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的连接装置，其特征在于，

所述弹性部件是固定在所述主体部件的板弹簧。