JP4838658B2 - 基板検査用治具及び基板検査用治具の電極部構造 - Google Patents
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尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。
特に、近年になって、回路基板上に設けられる配線パターンの微細化が進み、配線パターンの抵抗値が小さくなっており、上記の接触抵抗がこの測定値に及ぼす影響が大きな問題となっていた。
請求項2記載の発明は、前記側部が、前記芯部の硬度より高い硬度を有することを特徴とする請求項1記載の基板検査用治具を提供する。
請求項3記載の発明は、前記芯部が円柱に形成され、前記側部が円筒に形成され、前記芯部と前記側部が同心に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板検査用治具を提供する。
請求項4記載の発明は、前記接触子の他方端部が、曲面状に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を解決する。
このため、基板検査用治具の電極構造を用いることにより、基板検査用治具の耐久性を向上させることができる。
また、側部の内径が前記接触子の外径よりも小さく形成されているので、更なる、長時間使用経過後の安定した接触状態の安定性を提供することができる。
請求項2記載の発明によれば、側部が芯部よりも硬度の高い素材により形成されているので、基板検査用治具の耐久性をさらに向上させることができる。
請求項3記載の発明によれば、芯部が円柱に形成され、側部が円筒に形成され、芯部と側部が同心に配置されているので、長時間使用経過後の接触子と電極部の接触を安定した接触状態とすることができる。
請求項4記載の発明によれば、前記接触子の他方端部が、曲面に形成されているので、接触子が電極部の芯部と側部に同時に接触して、安定した接触状態を提供することができる。
図1は、本発明に係る基板検査用治具の構成の概略を示している。この図1では、複数の接触子2、これら接触子2を多針状に保持する保持体3、この保持体3を支持するとともに接触子2と接触して導通状態となる電極部41を有する接続電極体4、検出される電気信号を処理する検査信号処理部5、及び接触子2検査信号処理部5を接続するワイヤーケーブル51を示している。
接触子2は、被検査基板に形成される配線パターンの各検査点に接触する端子である。接続電極体4は、接触子2により被検査基板に設けられる検査点間のピッチを大きくして検査信号処理部5へと導通接触を行うことを可能とするピッチ変換の役割を担っている。
接続電極体4は、保持体3の配置側に接触子2と電気的に接続する電極部41を有している。
本発明は、長期間使用しても、接触安定性が高い電極部を提案する。
図2は、基板検査用治具ヘッドの一実施形態を示しており、(a)は斜視図を示し、(b)は側面図を示している。この図2で示される如く、基板検査用治具ヘッド11は、複数の接触子2を保持体3により保持している。
この接触子2は、導電性を有する棒状に形成されている。この接触子2は、図2(a)で示す如く、多針状に配置され、その外周には絶縁層が被覆されている。この絶縁被覆は、棒状の導電部の両端を除いた部分を被覆している。
さらに、接触子2は、可撓性を有して且つ弾力性を有している。このため、接触子2が検査点と電極部に圧接された際には、この接触子2が湾曲して撓むことになり、この結果、接触子2が検査点と電極部を押圧することになる。
この接触子2は、上記の説明の如く、表面上に、検査点と電極部に夫々導通接触する導電部と、他の接触子との短絡を防止する絶縁部が形成されることになるが、この導電部と絶縁部の境界は、後述する保持体の内部に配置されることもできるし、二つの保持体間の間に配置することもできる。
尚、この境界部分は、絶縁部と導電部により段差が生じることになるので、この段部と保持体の案内孔の径の大きさを用いて、抜け防止とすることもできる。
この上板部31と下板部32は、夫々対象となる接触子2を案内する案内孔が夫々形成されており、上板部31の案内孔により検査点へ接触子2の端部2aが案内され、下板部32の案内孔により電極部41へ接触子2の他端2bが案内される。
図2(b)で示される治具ヘッド11では、上板部31と下板部32から夫々所定の長さ分だけ接触子2が突出している様子が示されている。
この突出する所定長さは、接触子2の撓み具合に応じて適宜設計者により調整される。
図2で示される治具ヘッド11の上板部31と下板部32は、夫々二枚の板部材により形成されているが、枚数は特に限定されない。
尚、基板検査用治具ヘッド11は、上記の構成に限定されるものではなく、接触子2を保持するとともに、電極部41に導通接触させることができるものであれば特に限定されるものではない。
図3は、接続電極体4の一実施形態の一部を示しており、図3(a)は接続電極体4の表面斜視図を示しており、(b)は接続電極体の一部の側断面を示している。
図3(a)で示す如く、接続電極体4は、接触子2と接触して導通する電極部41と、治具ヘッド11を支持する支持板42を有している。また、接続電極体4は、その表面に複数の電極部41の接触子2と接触する接触面が形成されている。この電極部41の接触面と接触子2が接触することにより電気的導通が行われる。
この芯部412は、銅線などの線状の導電体が用いられており、この芯部412が延設されることによって、上記するワイヤーケーブル51の端部を形成する。
側部411は、芯部412の外周を覆うように配置されるが、例えば、芯部412の外径と略同じ又は僅かに大きい内径を有する筒状部材を用いて、この筒状部材(円筒)の内部に円柱状の芯部412が収容されるようにしてもよい。この芯部412と側部411は、共に導電性材料からなり互いに接触して、電気的導通状態になっている。
このため、側部411と芯部412は、同心に配置されることになる。この結果、電極部41の接触面は、内側に芯部412が配置され、外側に側部411が配置される同心の円形に形成されることになる。
尚、電極部41は、接続電極体4の表面と面一となるように形成されるため、芯部412と側部411も、接続電極体4の表面と面一となるように形成されることになる。
このため、芯部412は、接触子2が繰り返し接触した場合、側部411に比して、摩耗して摩り減ることになる。この結果、芯部412は、側部411よりも電極部41の表面から窪んだ形状となる。
このため、接触子2が電極部41の接触面に接触して摩耗していく場合には、表面内側に配置される芯部412が摩り減ることになる。このため、電極部41の接触面は、凹字形状となる。このため、電極部41が窪みを有する形状となる。
この結果、接触子2が接触面に接触する場合には、接触子2の先端が窪み形状となる芯部412に接触するとともに、接触子2の先端の外周が側部411に接触することになる。このため、接触子2と電極部41は、芯部412及び/又は側部411と接触することになるので、安定した接触状態を提供することができる。
また、接触子2は使用時において一定方向に撓ませて使用することになるが、接触子2が撓んだ場合、接触面に対して所定角度に傾斜して配置されることになるが、側部411が接触子2の滑走を防止することができる。
尚、耐摩耗性に優れた素材として、ニッケル(Ni)、ルテニウム(Ru)、白金(Pt)、クロム(Cr)やロジウム(Rh)を例示することができ、特に、クロムとロジウムは耐磨耗性に優れている。
この側部411と芯部412の素材としては、上記の如く、側部411の硬度が芯部412の硬度よりも高いことが条件であるが、例えばその組み合わせとして、ニッケル(Ni)と銅(Cu)や、ロジウム(Rh)と銅(Cu)、ニッケル(Ni)と黄銅を例示することができる。
このように形成することによって、接触子2の底面が芯部412に接触し、接触子2の側面が側部411に接触することになり、接触子2が芯部412と側部411に接触することになる。
接触子2の外径は、30〜110μmに形成されるので、例えば、芯部412の外径は、20〜100μmに形成され、側部411の外径は、40〜120μmに形成される。
この上板部材421は、接続電極体4の表面側を形成する板状の部材であり、この上板部材421は、径の相違する二つの孔が形成されている。この二つの径の相違する大小の孔(小孔、大孔)は、小孔423は電極部41の側部411の外径よりも僅かに大きい径を有するように形成されており、電極部41の接触面を案内している。
大孔424は、電極部41を固定するための空間として用いられていることができる。例えば、図3(b)では、電極部41を固定するために、電極部41が配置された後に、接着剤43により固定を行っている。この場合、接着剤43が電極部41の外周を覆うようになるが、この大孔424に余分な接着剤が溜まることになり、空間を無駄なく用いることができる。
尚、図3(b)では、上板部材421と下板部材422が、所定空間を有して配置されているが、密接して配置されていてもよい。図3(b)の如き空間を有して配置される際には、この空間を用いることにより、上記の如き余分な接着剤43を吸収することができる。
このため、図3(b)で示す如く、上板部材421の大孔424と下板部材422の大孔426が対向して配置されることになり、上記の説明の如き空間が形成されることになる。
下板部材422の小孔425は、電極部41の位置を案内するとともに芯部412から延びる線部を案内する。この下板部材422の小孔425の径は、側部411の外径よりも僅かに大きい径を有していることが好ましい。このように形成されることによって、電極部41の位置精度を向上させることができるからである。
本発明に係る基板検査用治具1は、初めは図4(a)で示される如く、電極部41が接続電極体4の表面と面一となっている。
一方、基板検査用治具を使用すると、接触子2と電極部41の接触面とが多数回接触することになり、図4(b)で示される如く、電極部41の芯部412が摩耗により摩り減ってくるようになる。
このとき、接触子2が電極部41に接触する場合には、接触子2が芯部412及び/又は側部411に接触するようになる。この結果、通常の電極部に比して、接触子2が電極部41に確実に接触することになる。
以上が本発明に係る基板検査用治具の構成の説明である。
本発明の基板検査用治具1の接続電極体4は、下記の方法により製造することができるが、この方法は単に一実施形態を示しているに過ぎず、他の方法で製造することもできるし、ここに記載される工程の順序を変更して製造することもできる。
まず、基板検査用治具ヘッド11を製造する。このとき、基板検査用治具ヘッド11は、検査対象となる基板が有する配線パターンにおける検査点により、保持する接触子2の本数及び配置位置が決定されることになる。
電極部41の数と位置が決定されるとその数と位置に応じて、支持板42となる上板部材421と下板部材422に、径の相違する二つの小孔、大孔が夫々形成される。
小孔と大孔が夫々形成された上板部材421と下板部材422が用意されると、まず、図5(a)で示される如く、上板部材421を配置して、小孔423へ、電極部41を挿入する。このとき、挿入される電極部41は、芯部412と側部411が所定の長さ以上の長さを有するように形成されている。この所定の長さは、少なくとも上板部材421の厚みよりも長く準備されており、上板部材421の上面(小孔423)から突出している。
尚、上板部材421及び下板部材422を先に積層してから、各部材の孔に電極部41を貫通させても構わない。
この場合、余分な接着剤43は、上板部材421と下板部材422の間に形成される空間に溜まることになるので、上板部材421と下板部材422がこの接着剤43によりずれたりいがんだりすることを防止することができる。
このようにして、基板検査用治具の接続電極体が形成されることになる。
2・・・・接触子
3・・・・保持体
4・・・・接続電極体
41・・・電極部
411・・側部
412・・芯部
Claims (4)
- 被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、
該基板検査用治具は、
両端に電気的な接触により導通可能となる端部を有する接触子であって、その一方の端部が複数の前記基板被検査点の一つに圧接される、それぞれ導電性を有する棒状の接触子、よりなる接触子群と、
前記接触子群を保持する保持体と、
前記接触子群のそれぞれの接触子の他方端部と対向して配置された複数の電極部を備える前記基板検査装置本体に接続される接続電極体とにより構成され、
前記電極部は、導電性を有する線状の芯部と、該芯部の外周を覆う導電性の側部を有し、
前記側部は、前記芯部よりも耐摩耗性に優れた素材により形成され、
前記芯部の端部表面が円形に形成され、前記側部の端部表面が該芯部と同心となる円形に形成され、
前記側部の内径が前記接触子の外径よりも小さく形成され、前記接触子が前記芯部と前記側部とに同時に接触することを特徴とする基板検査用治具。 - 前記側部が、前記芯部の硬度より高い硬度を有することを特徴とする請求項1記載の基板検査用治具。
- 前記芯部が円柱に形成され、前記側部が円筒に形成され、前記芯部と前記側部が同心に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板検査用治具。
- 前記接触子の他方端部が、曲面状に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の基板検査用治具。
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