JP2009250660A - 基板検査用治具及び検査用接触子 - Google Patents

基板検査用治具及び検査用接触子 Download PDF

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Hideo Nishikawa
秀雄 西川
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Abstract

【課題】 簡単な構造で内部抵抗の小さい基板検査用治具及びその基板検査用治具に用いられる検査用接触子の提供。
【解決手段】 基板検査装置本体と該被検査基板の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、導電性を有する接触子群と、接触子群を保持する接触子保持体と、基板検査装置本体に接続される接続電極体を有し、接触子は導電性の棒状部材と該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、棒状部材に貫通されるコイルばねを有し、接触子保持体は接触子の一端を被検査基板の検査点へ案内する案内孔と、コイルばねを収容するコイルばね収容孔を有し、電極部は一端が開放される導電性の中空部材で形成されてなり、接触子と電極部が接触して使用されるに、コイルばねが該中空部材の外側表面に導通接触するとともに、該接触子の棒状部材の他方の端部が該中空部材の内側に収容されることを特徴とする。
【選択図】 図2

Description

本発明は、基板検査用治具及び検査用接触子に関し、より詳しくは、簡単な構造で内部抵抗の小さい基板検査用治具及びその基板検査用治具に用いられる検査用接触子に関する。
尚、本発明はプリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなどの種々の基板や半導体ウェハなどに形成される電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の検査基板を総称して「基板」という。
従来、回路基板上などに設けられる配線パターンは、その回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器などの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回線配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値を測定して、その良否が判断される。
このような判定検査には、配線パターンの断線及び短絡を検査する検査方法が実施されている。このような断線の検査では、検査対象となる配線パターンの2箇所以上の端点に設けられる検査点に、夫々1つずつ接触子を当接させ、その接触子間に所定レベルの測定用電流を流すことによって、その接触子間の電圧値を測定し、この電圧値と予め定められた閾値を比較することにより良否の判定が行われている。
例えば、このような検査に用いられる基板の検査用治具には以下のものが存在する。
特許文献1に記載される基板検査用治具では、針状体(明細書中の符号3)の先端部をガイドするためにリセプタクル支持体(明細書中の符号1)、複数枚の中間ガイド体(明細書中の符号6〜10)及び先端部ガイド体(明細書中の符号11)が一体的に積層される治具が開示されている。
また、特許文献2に記載される基板検査用治具では、プランジャー(明細書中の符号1)を保持するために保護ボード(明細書中の符号2)、プランジャーボード(明細書中の符号3)、スプリングボード(明細書中の符号5)及び接点ボード(明細書中の符号6)が積層される治具が開示されている。
また、特許文献3に記載される基板検査用治具では中間絶縁体(明細書中の符号6)に形成された支持孔(明細書中の符号6a)内に針状部(明細書中の符号2a・12a・13a)及び針状体(明細書中の符号18・19)ないしコイルばね(明細書中の符号5,14,16)が収容される治具が開示されている。
特開平5-215773 特許3691368 特許2532331
しかしながら、特許文献1乃至3に開示されるような接触子の構造では接触子を保持するための部材が複数積層されて形成され、これら積層部材に貫通する孔部が設けられて接触子が収容される構造を有している。このような構造をなしているので、これらの治具の組立には組立工程が困難であった。また、接触子を構成する各部材が直列配置されて構成されているので、各部材が確実に導通接触していなければならない不具合を含んでいた。このため、このような基板検査用治具では、接触性の信頼性が確保できない問題を有していた。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので繊細ピッチにも少ない部品点数で組立を容易にし、接触の信頼性を確保させることができる基板検査用治具及び検査用接触子を提供する。
請求項1記載の発明は、被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と該被検査基板の配線パターンに設けられている複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、前記基板検査用治具は、両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が前記検査点に圧接される導電性を有する棒状の接触子を複数備える接触子群と、前記接触子群を保持する接触子保持体と、前記接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された電極部を備える、前記基板検査装置本体に接続される接続電極体を有し、前記接触子は、導電性の棒状部材と、前記棒状部材の電極部に接触する他方側に配置される該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、前記大径部より他方側に導通接続され、前記棒状部材に貫通されるコイルばねを有し、前記接触子保持体は、前記接触子の一端を前記被検査基板の検査点へ案内する案内孔と、前記コイルばねを収容するコイルばね収容孔を有し、前記コイルばね収容孔の径は、前記棒状部材の径よりも大きく、前記大径部の径よりも小さく形成されている第一孔と、第一孔と連通連結される前記大径部よりも径が大きい第二孔からなり、前記電極部は、一端が開放される導電性の中空部材で形成されてなり、前記接触子と前記電極部が接触して使用されるに、前記コイルばねが該中空部材の外側表面に導通接触するとともに、該接触子の棒状部材の他方の端部が該中空部材の内側に収容されることを特徴とする基板検査治具を提供する。
請求項2記載の発明は、前記接触子保持体は、前記接触子の一方端部を前記検査点に案内する前記案内孔が形成される案内板と、前記接触子の他方端部を前記電極部に案内するとともに前記コイルばねを内部に収容するコイルばね収容孔を形成するコイルばね収容板と、前記棒状部材の径よりも大きいとともに、前記案内孔と前記収容孔を結ぶ直線状に形成される中間孔を具備する中間板を有することを特徴とする請求項1の基板検査治具を提供する。
請求項3記載の発明は、前記接触子保持体が前記接続電極体に保持される場合に、前記接触子のコイルばねは押圧されていることを特徴とする請求項2記載の基板検査用治具を提供する。
請求項4記載の発明は、前記電極部は前記接続電極体の表面から突出して配置されていることを特徴としていることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。
請求項5記載の発明は、被検査物の電気的特性を検査するために、被検査物の電気的特性を算出する検査装置本体の電極部と該検査物に予め設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための電気的接続治具に備えられる接触子であって、一端が前記検査点に導通接触されるとともに他端が前記検査装置本体と電気的に接続される中空状の電極部が備える中空部に収容される導電性の棒状部材と、前記他端側に前記棒状部材を貫通保持している導電性のコイルばねと、前記棒状部材の径よりも大きい径を有するとともに、前記コイルばねより検査点側の位置に配置される大径部を有し、前記大径部に対し他端側は一端側より短く、コイルばね長より長く、前記電気的接続治具に前記接触子が装着される場合に、前記他端側の一部が前記中空部内に収容されることを特徴とする接触子を提供する。
請求項6記載の発明は、前記コイルばねは密巻部と疎巻部からなり、前記大径部は前記導電性のコイルばねの蜜巻部と前記導電性の棒状部材を接合して形成され、前記コイルばねの疎巻部の内径は前記棒状部材の外径より大きいことを特徴とする請求項5記載の接触子を提供する。
請求項1又は5記載の発明によれば、コイルばねの直列配置を避けて接続抵抗を低減することができ、接触子と電極部が安定して導通接続されることになる。また、棒状部材の検査点側が長く、傾斜させることで検査点の位置を電極部に比べ小さくすることができ、微小ピッチの検査が容易にできる。
請求項2記載の発明によれば、案内孔と収容孔を結ぶ直線状に形成される中間孔を具備する中間板を備えることにより、接触子を接触子保持体に装着する際に接触子をコイルばね収容孔側から容易に中間孔を経由させて案内孔に挿通させることができ、基板検査用治具の組立てと交換を容易に行うことができる。
請求項3記載の発明によれば、電極部と接触子が安定した導通接触状態になる。特に、コイルばねが電極部へ押圧された状態となり、ばねが圧縮した付勢状態となり、接触抵抗を低減することができる。
請求項4記載の発明によれば、電極部が電極体の表面から突出して配置されているので、接続電極体に接触子保持体を固着する場合にコイルばねと電極部がずれることなく確実に当接する。
請求項5記載の発明によれば、接触子の他端が電極部の中空部に収納されるので接続の信頼性が向上する。
請求項6記載の発明によれば、棒状部材とコイルばねが接合されて接触子の内部接続信頼性がより向上し、コスト低減に寄与する。
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図1は、本発明に係る基板検査用治具1を使用する場合の全体の概略構成を示している。この図1では、基板検査用治具1は、複数の接触子2、これら接触子2を多針状に保持する接触子保持体3、この接触子保持体3を支持するとともに接触子2と接触して導通となる電極部41を有する接続電極体4、検出される電気信号を処理する検査信号処理部5、及び電極部41と検査信号処理部5を接続する電極線44を示している。
接触子2は、被検査基板に形成される配線パターンの各検査点に接触する端子であり、接触子保持体3は接触子2と電極部41を電気的に接続する。
本発明は、この基板検査用治具1に関する発明であり、特に、接触子2と接触子2と電気的に接続される接続電極体4に設けられる電極部41の構造に関する。
尚、図1は概略を示す図であり、接触子2の本数やワイヤーケーブルの本数は特に限定されるものではない。また、図面中で示される接触子2や接続電極部41は、説明の都合上一本分の構造しか開示しておらず、実際の基板検査用治具1では複数の接触子やその接触子2に対応する複数の電極部41を有している。
図2は、本発明にかかる基板検査用治具1が組み立てられた際の断面図である。
この接触子2は、一方が基板に設定される検査点(図示せず)に導通接触され、他方が後述する電極部41と導通接触する導電性を有する棒状に形成されている。この接触子2は、検査点から電極部41へ、または電極部41から検査点へ電気信号の伝送を行うことになる。
接触子2は、図2で示す如く、棒状部材21と大径部22とコイルばね23を有してなる。この接触子2が電極部41と検査点を電気的に接続することになる。
棒状部材21は棒状に形成される細長の部材であり、特に限定されていないが円柱形状に形成される。
この棒状部材21の一方端部は図2で示すが如き、湾曲形状や半球状又は尖鋭形状に形成されることが好ましい。このように棒状部材21の一方端部が上記の如き形状を有するように形成されることで検査点に接触する場合に安定して接触することができる。棒状部材21の他方端部の形状は特に限定されていないが湾曲形状や半球状が好ましい。
この棒状部材21には、一方端部の付近から大径部22まで絶縁被覆されることが好ましい。このように絶縁被覆されることにより、隣接する接触子2同士が短絡することを防止することができる。
この棒状部材21は、導電性を有する部材(導電物質)で形成されており、例えば、SK鋼(SKH)、ベリリウム銅(BeCu)をあげることができる。棒状部材21は、検査点と大径部22にその両側が圧接された場合に、略撓みが無い程度の強度を有することが好ましい。このような強度を接触子2が有することで、コイルばね23の付勢により検査点に圧接状態を維持することができ、コイルばね23の伸縮方向の圧接力を提供することができる。
棒状部材21の長さや太さは特に限定されるものではなく、その使用に応じて適宜変更することができるとともに、被検査基板に形成される検査点のピッチやの形状と大きさに合わせて適宜設定される。
この棒状部材21の長さや径の大きさは、特に限定されるものではなく使用者により適宜に設定されるが、例えば、その長さを、30〜40mmに形成することができ、また、その径の大きさを、0.2〜0.4mmに形成することができる。
大径部22は、図2で示す如く、棒状部材21の所定の箇所に設けられる。この大径部22は、棒状部材21の径よりも大きい径を有するように、棒状部材21の側周縁を覆うように形成されている。この大径部22は導電性の物質から形成されることが好ましく、大径部22と棒状部材21を導通接続されていることが好ましい。
この大径部22の側面部22aは、後述するコイルばね23の接続面として利用することができる。
この大径部22の径の大きさは特に限定されていないが、後述するコイルばね23の外径と同様に形成される。また、大径部21の長軸方向の長さは、棒状部材21の長軸方向の長さに応じて適宜調整されるため特に限定されないが、1〜3mmの長さを有するように形成される。
この大径部22が設けられる場所は、棒状部材21の電極部41に接触する側に形成されていることが好ましく、後述する接触子保持体3のコイルばね収容板35の内部に収容される位置に形成される。この大径部22が棒状部材21の径よりも大きい径を有するように形成されることにより、接触子保持体3に接触子2を装着した場合に、この大径部22により接触子保持体3から抜け出ることを防止することができるとともに、接触子2に後述する初期荷重を掛けて一端側の高さを揃えることができる。
尚、図2で示される大径部22は棒状部材21の所定位置の外周を覆うように設けられているが、一体型に形成することもできる。
大径部22は、図2で示す如く、棒状部材21の周縁を覆うように配置される中空状の円柱形状に形成される部材を用いることができる。また、この大径部22は、棒状部材21をかしめ加工を行い、棒状部材21の径より大きい平坦部を形成することもできるし、パイプやリング形状の部材を接合することで形成することもできる。
コイルばね23は棒状部材21を内部に収容し、棒状部材21を貫通保持した状態になるように配置される。このコイルばね23は、棒状部材と導通接触される。
コイルばね23が設けられる場所は棒状部材21の大径部22より電極部41に接触する側に形成されている。コイルばね23は、図2で示される如く、棒状部材21のコイルばね保持部21aよりも短く形成されており、棒状部材21の他方端部がコイルばね23から延出するように形成されている。
このコイルばね23は、ピアノ線、ステンレス鋼、ベリリウム銅(BeCu)やタングステン(W)などの導電性を有する部材で形成されており、棒状部材21のコイルばね保持部21aに保持され、大径部22で係止され導通接触されている。コイルばね23は棒状部材21の長軸方向に伸縮することになる。
本発明の接触子2は、上記の如く、棒状部材21、コイルばね23と大径部22を具備してなるが、大径部22はコイルばね23を利用して形成することもできる。
大径部22は、棒状部材21よりも径が大きく形成され、収容孔35aの第一孔33aよりも大きく且つ第二孔34aより小さく形成されることにより、接触子保持体3から接触子2の抜け防止を行うため、コイルばね23の一部を利用することもできる。例えば、図3で示される接触子2の一実施形態の断面図では、点線で示される大径部22が形成されておらず、コイルばね23の検査点側(上側)を大径部23として利用することができるように、コイルばね23の上側を下側よりも密巻に形成している。このようにコイルばね23の上側に密巻部231を形成することにより、棒状部材21との接合部を形成するとともに、大径部22と同様の役割である係止部を形成することができる。
図3の実施形態では、コイルばね23が一端を密巻部231として形成し、他端をこの密巻部231よりもばねの巻きが粗い粗巻部232として形成される。この粗巻部232は、巻き線が粗くまた、その内径が密巻部231の内径よりも大きく形成されている。このように形成されることにより、コイルばね23が伸縮する際に、棒状部材21と摩擦が少なく、容易に行うことができる。
なお、この粗巻部232の電極部41と接触する部分は、電極部41に対して平行面が形成されるように形成される。
接触子保持体3は、複数の接触子2を保持する。この接触子保持体3は、各接触子2の一端を予め設定される検査点へ案内し、各接触子2の他端を予め設定される電極部41へ案内する。
この接触子保持体3は、複数の板状部材で形成されていることが好ましい。図2で示される接触子保持体3では、案内板31、中間板32、コイルばね収容板35を有している。
そして、複数の検査点の位置に対し各々に対応する電極部41の位置は接触子2を傾斜させることで移動することができる。
案内板31は、接触子2の一端を検査点へ案内するための案内孔31aを有している。この案内孔31aは、接触子2の棒状部材21の径よりも僅かに大きく形成されている。このため、接触子2を接触子保持体3に装着した場合には、接触子保持体3の案内板31の案内孔31aから接触子2が突出された状態になる。この場合、複数の接触子2の検査点の最小ピッチは棒状部材21の外径に依存することになる。
なお、図2で示される案内孔31aは、径の相違する二つの孔を連通連結することで形成されているが、複数の相違する径の孔を連通連結することで形成しても、一つの径を有する孔から形成されてもよい。
中間板32は、接触子2を接触子保持体3に装着する場合、コイルばね収容板35のコイルばね収容孔35aから接触子2を案内孔31aへ挿入する場合の挿入を案内する中間孔32aを有している。この中間孔32aは、中間板32を貫通するように形成されている。
この中間孔32aは、案内孔31aより大きい径を有する孔で形成されることが好ましい。
中間板32は、絶縁被膜なしの接触子2に対して短絡を防止することができる。中間板32は、複数枚の構成としても有効である。
コイルばね収容板35は、接触子2の他方端を所定の電極部41へ案内する。このコイルばね収容板35は、棒状部材21の径よりも径が大きく、大径部23の径よりも径が小さい孔33aが形成され、接触子2が係止される。
コイルばね収容板35は、第一収容板33と第二収容板34を有してなる。
第一収容板33は、棒状部材21の径よりも大きく大径部22の径よりも小さく形成されている第一孔33aと連通連結される大径部よりも径が大きい第二孔33bが形成される。
第一孔33aは、棒状部材21を中間孔32aへ案内するように形成され、棒状部材21の径よりも大きく、大径部23の径よりも小さく形成されている。
第二孔33bは、第一孔33aに連通連結されるとともに、大径部23の径よりも大きくまたコイルばね23の径よりも大きく形成される。
第二収容板34は、コイルばね孔34aを有している。このコイルばね孔34aは、第一孔33a及び第二孔33bと同様に、接触子2のコイルばね23及び大径部23を内部に収容できる。このコイルばね孔34aは、第二孔33bと連通連結される。
第一孔33a、第二孔33bとコイルばね23が連通連結されてコイルばね収容孔35aが形成され、このコイルばね収容孔35aが接触子2の他方の端部を電極部41へ案内する。
なお、第一収容板33の第二孔33bとコイルばね孔34aは同じ径を有する孔を形成されていることが好ましい。
接触子保持体3は、案内板31、中間板32、第一収容板33及び第二収容板34からなるコイルばね収容板35を有してなるが、接触子保持体3は容易に接触電極体4から脱着自在に形成されている。このように、接触子保持体3が脱着自在に形成されていることにより、接触子2を接触子保持体3に装着する場合には、接触電極体4から接触子保持体3を取り外し、コイルばね収容板35のコイルばね収容孔35aを上側に、且つ案内板31の案内孔31aを下側に配置して、接触子2を一方の端部を下に向けてコイルばね収容孔35aから落とし入れることにより、接触子2が接触子保持体3に保持されることになる。
この接触子保持体3が接触子2を保持する場合には、コイルばね収容孔35aに接触子2が挿入されるとともに、案内板31の案内孔31aと中間板32の中間孔32aに挿通され固定されることになる。接触子2が装着された接触子保持体3を接続電極体4に固着する場合には、接触子2の他方の端部が電極部41に導通接続するように接続される。
この接触子保持体3と接続電極部4を固定する場合には、接触子保持体3が接触子2のコイルばね23が電極部41と接触子保持体3から押圧されて収縮して付勢状態で保持されることになる。つまり、接触子2は、検査点に接触される前に押圧されて、コイルばね23が付勢状態の所定の初期荷重で保持されている。
接続電極体4は、各接触子2の他端と導通接続して、基板を検査する基板検査装置(図示せず)に接続される。
この接続電極体4は、電極部41、電極部保持板42、電極線保持板43、電極線44を有してなる。
電極部41は、一端が開放される導電性の中空部材で形成される。例えば、図2で示される実施形態では、一端が開放される中空部41aを有する円筒部材で形成されている。
この電極部41は、導電性の円筒部材で形成されており、円筒部材の側表面である外側表面41b及び、円筒部材の内側である内側表面41cに、導電性の部材が接触すれば、その部材との導通接触が可能となる。
この電極部41の形状は、特に限定されないが、接触子2の棒状部材21の形状に沿う形状を有しており、棒状部材21が円柱形に形成されている場合には、円筒形状に形成される。
このように電極部41の形状が、接触子2の断面形状に応じて適宜変更されることによって、電極部41の中空部41aに棒状部材21が収容された場合に、電極部41の内側表面41cと棒状部材21の外側表面の一部が導通接触することがある。
図2で示される電極部41は、コイルばね23と接触を確実にする為に、電極部保持板42の表面から突出するように開口して配置されているのが好ましい。
コイルばね23は棒状部材21で内側を案内されており、棒状部材21と電極部41の外側表面41bとずれることなく確実に当接し導通接触する。
電極部保持板42は、電極部41を所定の位置に配置されるように保持する。この電極部保持板42の大きさや厚みは、特に限定されず、使用により適宜変更することができる。
電極線44は、電極部41の他方側に導通接続されるとともに、基板検査装置本体と導通接続されている。この電極線44を介して、基板検査装置本体へ電気信号が伝送されることになる。この電極線44と電極部41は、溶接45などの手段により導通接続されている。
この電極線44は、導線(ワイヤー)やリード線を用いることができる。
電極線保持板43は、電極線44の径と略同等又は僅かに大きい孔を有しており、この孔に電極線44を挿通させることにより、電極部41の他方開口部41bを案内する。
なお、この電極線保持板43は、電極部41を支持するように形成することもできる。
電極部41の中空部41aは接触子2の径よりも僅かに大きい径であることが好ましく、接触子2が僅かに傾いても収容が可能である。例えば、図2の実施形態では、右側に配置される接触子2は、接続電極体4に対して略直角になるように配置されており、左側に配置される接触子2は、接続電極体に対して右側の接触子2側に傾斜して配置されている。
なお、左側の接触子2のように傾斜して配置される接触子2は、電極部41の中空部41aに棒状部材21が収容された場合の傾斜による他方端部と内部表面41cとの間隙から傾斜量を許容することができる。
以上が、本基板検査用治具の構成の説明である。
次に本発明にかかる基板検査用治具の組み立てについて説明する。
基板検査用治具1を組み立てる場合には、まず、接続電極体4に第一収容板33と第二収容板34を積設し、コイルばね収容板35を形成する。
このとき、接続電極体4には複数の電極部41が設けられており、各電極部41の位置に応じるように、コイルばね収容孔35aが位置決めされて、第一収容板33と第二収容板34に夫々形成されるコイルばね収容孔35aがコイルばね収容板35に位置決めされて形成されている。電極部41の上方には、第二収容板34のコイルばね孔34aが配置されることになる。
第一収容板33は、第二収容板34に当接するように積層され、夫々の収容孔も積層されている。コイルばね収容板35が形成されると、コイルばね収容板35に対応する中間板32と案内板31が、夫々中間孔32aと案内孔31aの位置を調整して配置される。
このとき、コイルばね収容孔35aと中間孔31aと案内孔31aは、接触子2が通過する一直線上に配置されている。
コイルばね収容板35、中間板32と案内板31が配置されると、接触子2の一方の端部をコイルばね収容孔35aから挿入する。このとき、接触子2の一方の端部は、中間孔32aを通り、案内孔31aを貫通して、接触子保持体3に装着される。
このとき、接触子2は、大径部22を有しているので、コイルばね収容孔35aの第二孔33bは通過しても第一孔33aは通過することができず、係止されることになる。
このようにして、接触子2が接触子保持体3に保持されることになる。
接触子2が接触子保持体3に保持されると、接触子保持体3の第二保持板34と接続電極体42を当接させる。このとき、コイルばね収容孔35aに電極部41の先端が収容されるように保持される。
接触子保持体3と接続電極体4が固着されると、接触子2のコイルばね23の端部は電極部41の外側表面41bに圧接されることになるので、コイルばね23(接触子2)は、第一収容板33と電極部41に圧接されることになり、コイルばね23が収縮して付勢状態となる。
つまり、接触子2は、付勢状態(初期荷重)で接触子保持体3に保持されることになる。
またこのとき、接触子2の棒状部材21の他方の端部は、電極部41の中空部41aに収納される。
以上が本基板検査用治具1の組み立ての説明である。
尚、本基板検査用治具1が利用される場合には、検査点に接触子2の棒状部材21の一端が基板に当接されて押圧されることにより、棒状部材21が圧接されてコイルばね23が更に収縮することになる。
本発明に係る基板検査用治具を使用する場合の一実施形態の概略構成を示している。 本発明にかかる基板検査用治具が組み立てられた際の断面図である。 本発明にかかる接触子の断面図である。
符号の説明
1・・・・基板検査用治具
2・・・・接触子
21・・・棒状部材
22・・・大径部
23・・・コイルばね
3・・・・接触子保持体
31・・・案内板
31a・・案内孔
32・・・中間版
32a・・中間孔
33・・・第一収容板
33a・・第一孔
33b・・第二孔
34・・・第二収容板
34a・・コイルばね孔
35・・・コイルばね収容板
4・・・・接続電極体
41・・・電極部
41a・・中空部

Claims (6)

  1. 被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と該被検査基板の配線パターンに設けられている複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、
    前記基板検査用治具は、
    両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が前記検査点に圧接される導電性を有する棒状の接触子を複数備える接触子群と、
    前記接触子群を保持する接触子保持体と、
    前記接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された電極部を備える、前記基板検査装置本体に接続される接続電極体を有し、
    前記接触子は、
    導電性の棒状部材と、
    前記棒状部材の電極部に接触する他方側に配置される該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、
    前記大径部より他方側に導通接続され、前記棒状部材に貫通されるコイルばねを有し、
    前記接触子保持体は、
    前記接触子の一端を前記被検査基板の検査点へ案内する案内孔と、
    前記コイルばねを収容するコイルばね収容孔を有し、
    前記コイルばね収容孔の径は、前記棒状部材の径よりも大きく、前記大径部の径よりも小さく形成されている第一孔と、第一孔と連通連結される前記大径部よりも径が大きい第二孔からなり、
    前記電極部は、
    一端が開放される導電性の中空部材で形成されてなり、
    前記接触子と前記電極部が接触して使用されるに、前記コイルばねが該中空部材の外側表面に導通接触するとともに、該接触子の棒状部材の他方の端部が該中空部材の内側に収容されることを特徴とする基板検査治具。
  2. 前記接触子保持体は、
    前記接触子の一方端部を前記検査点に案内する前記案内孔が形成される案内板と、
    前記接触子の他方端部を前記電極部に案内するとともに前記コイルばねを内部に収容するコイルばね収容孔を形成するコイルばね収容板と、
    前記棒状部材の径よりも大きいとともに、前記案内孔と前記収容孔を結ぶ直線状に形成される中間孔を具備する中間板を有する
    ことを特徴とする請求項1の基板検査治具。
  3. 前記接触子保持体が前記接続電極体に保持される場合に、前記接触子のコイルばねは押圧されていることを特徴とする請求項2記載の基板検査用治具。
  4. 前記電極部は前記接続電極体の表面から突出して配置されていることを特徴としている
    ことを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の基板検査用治具。
  5. 被検査物の電気的特性を検査するために、被検査物の電気的特性を算出する検査装置本体の電極部と該検査物に予め設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための電気的接続治具に備えられる接触子であって、
    一端が前記検査点に導通接触されるとともに他端が前記検査装置本体と電気的に接続される中空状の電極部が備える中空部に収容される導電性の棒状部材と、
    前記他端側に前記棒状部材を貫通保持している導電性のコイルばねと、
    前記棒状部材の径よりも大きい径を有するとともに、前記コイルばねより検査点側の位置に配置される大径部を有し、
    前記大径部に対し他端側は一端側より短く、コイルばね長より長く、
    前記電気的接続治具に前記接触子が装着される場合に、前記他端側の一部が前記中空部内に収容されることを特徴とする接触子。
  6. 前記コイルばねは密巻部と疎巻部からなり、
    前記大径部は前記導電性のコイルばねの蜜巻部と前記導電性の棒状部材を接合して形成され、
    前記コイルばねの疎巻部の内径は前記棒状部材の外径より大きいことを特徴とする請求項5記載の接触子。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011149918A (ja) * 2009-12-24 2011-08-04 Gardian Japan Co Ltd 配線検査治具及び配線検査装置
JP2011153915A (ja) * 2010-01-27 2011-08-11 Inoue Shoji Kk プリント配線板の検査治具
WO2018078946A1 (ja) * 2016-10-24 2018-05-03 株式会社ヨコオ ソケット

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