JP2023064802A - 可撓性基板、検査治具 - Google Patents

Abstract

【課題】 部分的に力が加わっても破損しにくい可撓性基板などを提供する。【解決手段】 可撓性基板は、一方の端部と、他方の端部と、少なくとも、一方の端部と他方の端部の間に形成されるパターン部３１ａ３と、を備える。パターン部３１ａ３は、切れ込みにより形成される第１舌片３１ａ４１を有する。第１舌片３１ａ４１は、当該第１舌片３１ａ４１の先端領域である第１領域Ａ１と、第１領域Ａ１と連通し、当該第１舌片３１ａ４１の根元領域である第２領域Ａ２とを含む。第１舌片３１ａ４１は、第１領域Ａ１を介して、他の部材と電気的に接続される。第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１の幅は、第１舌片３１ａ４１の第２領域Ａ２の幅よりもが広い。【選択図】 図６

Description

本発明は、可撓性基板などに関する。

従来、特許文献１のように、伸縮自在な可撓性基板が提案されている。

特開２０２０－９２２７７号公報

しかしながら、可撓性基板に部分的に力が加わった場合に、可撓性基板の一部が折れ曲がるなど破損するおそれがある。

本発明の目的の一例は、部分的に力が加わっても破損しにくい可撓性基板などを提供することである。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。

本発明に係る可撓性基板は、一方の端部と、他方の端部と、少なくとも、一方の端部と他方の端部の間に形成されるパターン部と、を備える。パターン部は、切れ込みにより形成される第１舌片を有する。第１舌片は、第１舌片の先端領域である第１領域と、第１領域と連通し、第１舌片の根元領域である第２領域とを含む。第１舌片は、第１領域を介して、他の部材と電気的に接続される。第１領域の幅は、第２領域の幅よりも広い。

以上のように本発明によれば、部分的に力が加わっても破損しにくい可撓性基板などを提供することができる。

第１実施形態の第１検査治具の分解斜視図である。 コネクタ接触部と、基板保持部と、基板部の分解斜視図である。 前側基板組立体の分解斜視図である。 第１フレキシブル基板を前側で且つ下側から見た斜視図である。 第１フレキシブル基板の舌片がある領域を前側で且つ下側から見た斜視図である。 第１フレキシブル基板の舌片がある領域を下から見た図である。 第１フレキシブル基板と第１コネクタの組立体、前側保持部、前側コネクタベース、前側プローブ群の分解斜視図である。 後側基板組立体の分解斜視図である。 第１検査治具を前側で且つ下側から見た斜視図である。 第１検査治具を前側から見た正面図である。 第１状態の第１検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。 第１状態の第１フレキシブル基板の舌片がある領域を拡大したｘｚ断面構成図である。 第２状態の第１検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。 第３状態の第１検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。 第４状態の第１検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。 第４状態の第１フレキシブル基板の舌片がある領域を拡大したｘｚ断面構成図である。 第５状態の第１検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。 第２実施形態の第２検査治具の斜視図である。 第２検査治具の断面構成図である。 第２実施形態の第１フレキシブル基板の斜視図である。 第３実施形態の第３検査治具の斜視図である。 第３実施形態の第１フレキシブル基板の斜視図である。 第４実施形態の第４検査治具の斜視図である。 第４実施形態の第１フレキシブル基板～第１０フレキシブル基板の斜視図である。 図２４の第１フレキシブル基板の第１舌片と第２舌片がある領域を拡大した斜視図である。

以下、第１実施形態について、図１～図１７を用いて説明する。なお、実施形態は、以下の実施形態に限られるものではない。また、一つの実施形態に記載した内容は、原則として他の実施形態にも同様に適用される。また、各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが出来る。

（第１検査治具１）
図１に示すように、第１実施形態における第１検査治具１は、コネクタ接触部１０、基板保持部２０、基板部３０、水平位置調整部４０を備える。第１検査治具１は、コネクタ接触部１０を介して、検査対象の検査対象コネクタ（ＢｔｏＢコネクタ、Board to Boardコネクタ）１００と接触し、内部の第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａと電気的に接続する。なお、図１では、検査対象コネクタ１００の図示を省略している。

方向を説明するために、２つの基板組立体（前側基板組立体３１、後側基板組立体３２）が並べられる水平方向（前後方向）をｘ方向とし、ｘ方向に垂直で且つ２つの支持部４３が並べられる方向（左右方向）をｙ方向とし、ｘ方向とｙ方向に垂直な方向（上下方向）をｚ方向として説明する。図１において、ｘｙｚ軸のそれぞれの矢印が指し示す方向をそれぞれ前方向、右方向、上方向と定義する。具体的には、後側基板組立体３２から前側基板組立体３１に向かう方向を前方向と定義する。また、２つの支持部４３のうち図１の右下に位置するものから図１の左上に位置するものに向かう方向を右方向と定義する。また、コネクタ接触部１０から水平位置調整部４０に向かう方向を上方向と定義する。

（コネクタ接触部１０）
図２に示すように、コネクタ接触部１０は、フローティングガイド（第１可動部材）１１、第１バネ（第１弾性部材）１３を有する。フローティングガイド１１は、ｚ方向に貫通する孔を有する。フローティングガイド１１の孔には、ｚ方向上側から、下側保持部２１の下端及び基板部３０の下端が挿入される。フローティングガイド１１の孔には、ｚ方向下側から、検査対象コネクタ１００の上端が挿入される。すなわち、フローティングガイド１１には、検査対象コネクタ１００が着脱可能な状態で取り付けられる。

フローティングガイド１１の孔のｚ方向下側には、検査対象コネクタ１００の挿入を容易にするため、ｚ方向下側の開口が徐々に大きくなるような傾斜形状のガイド部１１ａが設けられるのが望ましい。

フローティングガイド１１のｚ方向上側は、ネジ止めによって、下側保持部２１に取り付けられる。フローティングガイド１１と、下側保持部２１の間には、第１バネ１３が設けられる。第１バネ１３は、フローティングガイド１１を、第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａからｚ方向に離れるように付勢する。このため、検査対象コネクタ１００にｚ方向上側から第１検査治具１を押し込むなど、ｚ方向で縮む方向に力を加えない限り、第１バネ１３によって、フローティングガイド１１と下側保持部２１は、離れた状態が維持される。

（基板保持部２０）
基板保持部２０は、下側保持部（ピンブロックフレーム）２１、上側保持部（接続板）２３を有する。下側保持部２１は、基板部３０のｚ方向下側に設けられる。上側保持部２３は、基板部３０のｚ方向上側に設けられる。下側保持部２１と上側保持部２３は、ｚ方向で基板部３０を挟む。

下側保持部２１は、ｚ方向に貫通する孔を有する。下側保持部２１の孔には、ｚ方向上側から、基板部３０の下端が挿入される。下側保持部２１のｚ方向下側には凸部が形成される。当該凸部は、フローティングガイド１１の孔にｚ方向上側から嵌め込まれる。

下側保持部２１のｚ方向上側には、前側基板組立体３１の前側保持部３１ｃ、及び後側基板組立体３２の後側保持部３２ｃが取り付けられる。前側保持部３１ｃの下側保持部２１への取り付けは、ボス孔を使った嵌合と接着によって行われる。後側保持部３２ｃの下側保持部２１への取り付けは、接着によって行われる。

上側保持部２３のｚ方向下側には、前側基板組立体３１の前側プッシュブロック３１ｉ、及び後側基板組立体３２の後側プッシュブロック３２ｉが取り付けられる。前側プッシュブロック３１ｉの上側保持部２３への取り付けは、ｚ方向上側からで、且つ丸孔を使ったネジ止めによって行われる。後側プッシュブロック３２ｉの上側保持部２３への取り付けは、ｚ方向上側からで、且つｘ方向に延びる長孔を使ったネジ止めによって行われる。上側保持部２３のｘ方向に延びる長孔は、前側プッシュブロック３１ｉを保持する前側保持部３１ｃと後側プッシュブロック３２ｉを保持する後側保持部３２ｃのｘ方向の間隔の調整に用いられる。

前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃのｘ方向の間隔は、検査対象コネクタ１００の電極位置のｘ方向の間隔に応じて決定される。検査対象コネクタ１００の電極のｘ方向の間隔が狭い場合は、前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃのｘ方向の間隔が狭い状態で、前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃの下側保持部２１への取り付け、及び前側プッシュブロック３１ｉと後側プッシュブロック３２ｉの上側保持部２３への取り付けが行われる。検査対象コネクタ１００の電極のｘ方向の間隔が広い場合は、前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃのｘ方向の間隔が広い状態で、前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃの下側保持部２１への取り付け、及び前側プッシュブロック３１ｉと後側プッシュブロック３２ｉの上側保持部２３への取り付けが行われる。

すなわち、基板保持部２０は、複数のフレキシブル基板（第１フレキシブル基板３１ａ、第２フレキシブル基板３２ａ）を、ｘ方向の間隔が調整可能な状態で、保持する。

（基板部３０）
基板部３０は、前側基板組立体３１、後側基板組立体３２を有する。前側基板組立体３１はｘ方向前側に、後側基板組立体３２はｘ方向後側に配置される。

（前側基板組立体３１）
図３に示すように、前側基板組立体３１は、第１フレキシブル基板（可撓性基板）３１ａ、第１コネクタ３１ｂ、前側保持部３１ｃ、前側コネクタベース３１ｄ、前側コネクタ押さえゴム３１ｅ、前側コネクタカバー３１ｆ、前側プローブ群３１ｇ、前側第２バネ３１ｈ、前側プッシュブロック（第２可動部材）３１ｉを有する。

（第１フレキシブル基板３１ａ）
図４、図５に示すように、第１フレキシブル基板３１ａは、コネクタ接続端（一方の端部）３１ａ１、保持部接続端（他方の端部）３１ａ２、パターン部３１ａ３を有する。

コネクタ接続端３１ａ１は、第１フレキシブル基板３１ａのｘ方向前側で且つｚ方向上側の端部であり、コネクタ接続端３１ａ１には、第１コネクタ３１ｂが半田付けなどにより取り付けられる。保持部接続端３１ａ２は、第１フレキシブル基板３１ａのｘ方向後側で且つｚ方向上側の端部であり、前側保持部３１ｃに掛け止めされる。具体的には、保持部接続端３１ａ２に設けられた孔３１ａ２１が、前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１のｚ方向上側に設けられたボス３１ｃ３に嵌め込まれる。ただし、保持部接続端３１ａ２と前側保持部３１ｃの掛け止めは、孔３１ａ２１とボス３１ｃ３の嵌め込みに限るものではない。

パターン部３１ａ３は、コネクタ接続端３１ａ１と保持部接続端３１ａ２の間の領域である。パターン部３１ａ３のｚ方向下側（表側）の面には、コネクタ接続端３１ａ１から延びる伝送線路（信号線、接地線、電力線のいずれか）のパターンが形成される。パターン部３１ａ３は、ｙ方向から見て略Ｖ字形状になるように曲げられる。パターン部３１ａ３のｚ方向下側の面で、略Ｖ字形状になるように曲げられた状態の下端部には、伝送線路の端部が設けられる。当該伝送線路の端部は、検査対象コネクタ１００の電極と電気的に接続する基板側電極として使用される。

（スリットＳ、舌片３１ａ４）
図６に示すように、当該伝送線路の端部の周囲（パターン部３１ａ３の検査対象コネクタ１００と電気的に接続される部分を含む領域）には、スリットＳが設けられる。スリットＳは、当該伝送線路の端部よりもコネクタ接続端３１ａ１に近い側に起点Ｓ１と終点Ｓ２を有する。起点Ｓ１と終点Ｓ２は、当該伝送線路を挟む位置関係にある。スリットＳは、起点Ｓ１から当該伝送線路に沿って、当該伝送線路の端部がある側に延び、さらに、当該伝送線路の端部を囲むように延び、さらに当該伝送線路に沿って終点Ｓ２まで延びる。当該スリットＳにより、略Ｕ字形状の舌片３１ａ４が形成される。すなわち、パターン部３１ａ３は、舌片３１ａ４を有する。スリットＳは、両端（起点Ｓ１と終点Ｓ２）が閉口端の切れ込み（切れ目）であるが、一端（起点Ｓ１と終点Ｓ２の一方）が開口端で他端（起点Ｓ１と終点Ｓ２の他方）が閉口端であってもよい。

（第１舌片３１ａ４１、第１舌片３１ａ４１）
舌片３１ａ４は、第１舌片３１ａ４１と第２舌片３１ａ４２とを有する。第１舌片３１ａ４１と第２舌片３１ａ４２のそれぞれは、第１領域（舌片の先端領域）Ａ１と第２領域（舌片の根元領域）Ａ２を有する。第１領域Ａ１は、伝送線路の端部がある領域である。第１舌片３１ａ４１と第２舌片３１ａ４２のそれぞれは、第１領域Ａ１を介して、検査対象コネクタ１００などの他の部材と電気的に接続される。第２領域Ａ２は、第１領域Ａ１と連通する。第２領域Ａ２は、伝送線路が延びる領域で、スリットＳの起点Ｓ１及び終点Ｓ２（切れ込みの端部）を含む。

伝送線路のうち信号線の端部には、第１舌片３１ａ４１が形成されるのが望ましい。第１舌片３１ａ４１は、先端部に幅広領域を含む略Ｕ字形状を有する。第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１の幅は、第１舌片３１ａ４１の第２領域Ａ２の幅よりも広い。具体的には、第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１は、第１舌片３１ａ４１の第２領域Ａ２よりも広い幅（ｙ方向の寸法）の領域を有する。すなわち、第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１は、第１舌片３１ａ４１の第２領域Ａ２と接する領域から最先端部分に向け、徐々に幅が広くなった後、徐々に幅が狭くなる形状を有する。

第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１は、第１舌片３１ａ４１の第２領域Ａ２と比べて、幅が急激に広くなる領域と幅が急激に狭くなる領域の両方を有する。ここで言う「第２領域Ａ２と比べて、幅が急激に広くなる領域」と「第２領域Ａ２と比べて、幅が急激に狭くなる領域」の一方は、第１領域Ａ１の第２領域Ａ２に近い領域であり、他方は、第１領域Ａ１の最先端部分である。

第１実施形態では、第１舌片３１ａ４１の第２領域Ａ２は、２本のスリットＳで挟まれた略矩形形状を有し、第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１は、略円形状を有する。例えば、第１舌片３１ａ４１の第２領域Ａ２を前側、第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１を後側とした場合に、当該後側が当該前側よりも幅が広い領域を有する。すなわち、第１舌片３１ａ４１は、略前方後円型形状を有する。ただし、第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１は、略円形状に限らず、例えば、多角形形状であってもよい。

隣接するスリット若しくはスルーホールと物理的に干渉しないように、第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１の幅が広い領域の幅、及び第１領域Ａ１の形状が決定される。例えば、第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１の幅が広い領域の幅（第１領域Ａ１が円形であれば当該円形の直径）は、第１舌片３１ａ４１の第２領域Ａ２の幅の約２倍である。

伝送線路のうち接地線と電力線の端部には、第２舌片３１ａ４２が形成されるのが望ましい。第２舌片３１ａ４２は、先端部に幅広領域を含まない略Ｕ字形状を有する。第２舌片３１ａ４２の第１領域Ａ１は、第２舌片３１ａ４２の第２領域Ａ２よりも広い幅の領域を有さない。すなわち、第２舌片３１ａ４２の第１領域Ａ１は、第２舌片３１ａ４２の第２領域Ａ２と接する領域から最先端部分に向け、幅が広くなる領域無しで、徐々に幅が狭くなる形状を有する。

第２舌片３１ａ４２の第１領域Ａ１は、第２舌片３１ａ４２の第２領域Ａ２と比べて、幅が急激に広くなる領域と幅が急激に狭くなる領域の一方を有する。ここで言う「第２領域Ａ２と比べて、幅が急激に広くなる領域」と「第２領域Ａ２と比べて、幅が急激に狭くなる領域」の一方は、第１領域Ａ１の最先端部分である。

このため、第２舌片３１ａ４２の第１領域Ａ１の幅広領域は、第２舌片３１ａ４２の第２領域Ａ２と同じ幅（ｙ方向の寸法）を有する。すなわち、第２舌片３１ａ４２の第１領域Ａ１の幅は、第２舌片３１ａ４２の第２領域Ａ２の幅と同じかそれ以下である。

第１実施形態では、第２舌片３１ａ４２の第２領域Ａ２は、２本のスリットＳで挟まれた略矩形形状を有し、第２舌片３１ａ４２の第１領域Ａ１は、略半円形状を有する。ただし、第２舌片３１ａ４２の第１領域Ａ１は、略半円形状に限らず、例えば、半多角形形状であってもよい。

なお、パターン部３１ａ３のｚ方向下側（表側）の面に設けられるパターンは、伝送線路に限るものではない。また、パターン部３１ａ３のｚ方向下側（表側）の面において、検査対象コネクタ１００と接続する領域（舌片３１ａ４の第１領域Ａ１）と、コネクタ接続端３１ａ１の第１コネクタ３１ｂが半田付けされる領域にだけ、複数のスルーホール３１ａ５及び接地線が設けられてもよい。この場合、接地線を設けた領域が少なくなるので、接地線のパターンがパターン部３１ａ３のｚ方向下側（表側）の全面に設けられた場合に比べて、安価となる。

後述する前側プローブ群３１ｇのプローブＰによりｚ方向下側に変位させる量を多くするためには、舌片３１ａ４の第２領域Ａ２を形成するスリットＳの長手方向の長さを長くするのが望ましい。一方、信号線の高周波領域での特性が劣化しないようにするためには、舌片３１ａ４の第２領域Ａ２を形成するスリットＳの長手方向の長さを短くするのが望ましい。このため、舌片３１ａ４のｚ方向下側への変位量と、信号線の高周波領域での特性とを考慮しながら、舌片３１ａ４の第２領域Ａ２を形成するスリットＳの長手方向の長さが決定される。１つの舌片３１ａ４の中には、信号線若しくは接地線若しくは電力線が１つだけが設けられてもよいし、信号線と接地線と電力線の少なくとも一方が複数設けられてもよい。

なお、スリットＳにより形成される第１舌片３１ａ４１は、先端部に幅広領域を有する略Ｕ字形状に限るものではない。パターン部３１ａ３が伸びない状態で、ｚ方向上側から前側プローブ群３１ｇのプローブＰによりｚ方向下側に変位出来る限り、略溝形状など、先端部に幅広領域を有する他の形状であってもよい。

また、スリットＳにより形成される第２舌片３１ａ４２は、略Ｕ字形状に限るものではない。パターン部３１ａ３が伸びない状態で、ｚ方向上側から前側プローブ群３１ｇのプローブＰによりｚ方向下側に変位出来る限り、略Ｖ字形状、略Ｃ字形状、略Ｌ字形状、略溝形状など、他の形状であってもよい。

パターン部３１ａ３のｚ方向上側（裏側）の面、すなわち、検査対象コネクタ１００と電気的に接続される側と反対側には、ｚ方向下側（表側）の面の接地線とは別の接地線若しくは接地面が設けられる。パターン部３１ａ３には、ｚ方向上側の面とｚ方向下側の面とを電気的に接続するためのスルーホール３１ａ５が複数設けられる。なお、図４～図６は、複数のスルーホール３１ａ５が設けられた例を示す。ただし、部材番号「３１ａ５」の矢印線は、複数のスルーホール３１ａ５のうちの１つにだけ指し示されている。

パターン部３１ａ３にスルーホール３１ａ５が複数設けられていると、パターン部３１ａ３の一面側（他の部材と電気的に接続される側、表側）のみに他の部材が電気的に接続されても、パターン部３１ａ３の他面側（他の部材と電気的に接続される側の反対側、裏側）と他の部材を電気的に接続させることができる。

また、検査対象コネクタ１００の仕様によって、パターン部３１ａ３のｚ方向上側の面の接地線若しくは接地面、及び複数のスルーホール３１ａ５は省略されてもよい。また、図４～図６以外の図では、パターン部３１ａ３の伝送線路、スリットＳ、舌片３１ａ４、スルーホール３１ａ５の図示を省略している。

また、検査対象コネクタ１００と接続する領域（舌片３１ａ４の第１領域Ａ１）と、コネクタ接続端３１ａ１の第１コネクタ３１ｂが半田付けされる領域にだけ、複数のスルーホール３１ａ５及びｚ方向上側（裏側）の接地領域（接地線若しくは接地面）が設けられてもよい。

（第１コネクタ３１ｂ）
図７に示すように、第１コネクタ３１ｂは、第１フレキシブル基板３１ａのコネクタ接続端３１ａ１に取り付けられる。第１コネクタ３１ｂは、第１フレキシブル基板３１ａが、不図示の検査装置と電気的に接続するために使用される。

（前側保持部３１ｃ）
前側保持部３１ｃは、ｘ方向前側で前側コネクタベース３１ｄを保持する。前側保持部３１ｃは、ｘ方向後側で第１フレキシブル基板３１ａの保持部接続端３１ａ２を保持する。

（プローブ受け部３１ｃ１）
前側保持部３１ｃのｘ方向後側で且つｚ方向下側には、前側プローブ群３１ｇを保持するプローブ受け部３１ｃ１が設けられる。プローブ受け部３１ｃ１は、樹脂材で形成される。プローブ受部３１ｃ１が樹脂材で形成される場合、プローブ受け部３１ｃ１が金属材で形成される場合に比べて、軽量であり、加工が容易で安価である。なお、プローブ受け部３１ｃ１が金属材で形成されてもよい。

プローブ受け部３１ｃ１は、ｚ方向に延びる溝（上溝部３１ｃ１１、下溝部３１ｃ１２）及びｚ方向に延びる孔（上孔部３１ｃ１３、下孔部３１ｃ１４）で構成される。上溝部３１ｃ１１と下溝部３１ｃ１２のｘ方向及びｙ方向の幅は、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのバネ収容部（バレル）Ｐ２の外径よりも大きい。上孔部３１ｃ１３の上端は、上溝部３１ｃ１１の下端と連通し、上孔部３１ｃ１３の下端は、下溝部３１ｃ１２の上端と連通する。上孔部３１ｃ１３の内径は、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのバネ収容部Ｐ２の外径よりも大きい。下孔部３１ｃ１４の上端は、下溝部３１ｃ１２の下端と連通し、下孔部３１ｃ１４の下端は、開口する。下孔部３１ｃ１４の内径は、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰの先端部Ｐ１の外径よりも大きく、バネ収容部Ｐ２の外径よりも小さい。

（プローブ受け部３１ｃ１の形成方法）
上溝部３１ｃ１１と下溝部３１ｃ１２は、金型により形成される。上孔部３１ｃ１３と下孔部３１ｃ１４の孔は、ピンなどを使って直方体領域に孔を開けることによって形成される。ただし、プローブ受け部３１ｃ１の形成方法は上述のものに限らない。

（第１フレキシブル基板３１ａの前側保持部３１ｃへの取り付け）
第１フレキシブル基板３１ａは、以下の２つの条件を満たすように、前側保持部３１ｃに取り付けられる。第１の条件：前側保持部３１ｃのｚ方向下側が、第１フレキシブル基板３１ａのパターン部３１ａ３のｚ方向上側の面と対向する。第２の条件：前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１の下孔部３１ｃ１４のｚ方向下側に、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４の第１領域Ａ１が位置する。

（プッシュブロック用溝部３１ｃ２）
前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１のｚ方向上側には、ｚ方向上側に開口した溝（プッシュブロック用溝部３１ｃ２）が設けられる。プッシュブロック用溝部３１ｃ２には、ｚ方向上側から前側プッシュブロック３１ｉが差し込まれる（図３参照）。

（ボス３１ｃ３）
前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１のｚ方向上側には、ｚ方向上側に延びるボス３１ｃ３が設けられる。ボス３１ｃ３は、第１フレキシブル基板３１ａの保持部接続端３１ａ２を掛け止めするために用いられる。

（前側コネクタベース３１ｄ）
前側コネクタベース３１ｄは、ｘ方向前側で第１コネクタ３１ｂを保持する。前側コネクタベース３１ｄは、前側保持部３１ｃよりもｘ方向前側に位置し、前側保持部３１ｃに取り付けられる。

第１フレキシブル基板３１ａと第１コネクタ３１ｂの組立体は、前側保持部３１ｃと前側コネクタベース３１ｄをｘ方向で挟み、且つ前側保持部３１ｃの下端を包むようにして、前側保持部３１ｃ及び前側コネクタベース３１ｄの組立体に取り付けられる。前側保持部３１ｃの前側コネクタベース３１ｄへの取り付けは、ｘ方向後側からのネジ止めによって行われる。

（前側コネクタ押さえゴム３１ｅ）
前側コネクタ押さえゴム３１ｅは、第１コネクタ３１ｂと前側コネクタカバー３１ｆの間に設けられる。前側コネクタ押さえゴム３１ｅは、第１コネクタ３１ｂの高さのバラツキによる検査装置との電気的な接続への悪影響を最小にするために用いられる。また、前側コネクタ押さえゴム３１ｅは、当該検査装置から延びるケーブルの第１コネクタ３１ｂとの着脱時に第１コネクタ３１ｂを動きにくくするために用いられる。

（前側コネクタカバー３１ｆ）
前側コネクタカバー３１ｆは、第１フレキシブル基板３１ａのパターン部３１ａ３及び第１コネクタ３１ｂのｘ方向前側を覆う。前側コネクタカバー３１ｆの前側コネクタベース３１ｄへの取り付けは、ｘ方向前側からのネジ止めによって行われる。前側コネクタカバー３１ｆと前側コネクタベース３１ｄは、第１コネクタ３１ｂと前側コネクタ押さえゴム３１ｅをｘ方向で挟む。

（前側プローブ群３１ｇ）
前側プローブ群３１ｇは、ｚ方向に伸縮するプローブ（伸縮部材）Ｐを複数有する。複数のプローブＰは、ｙ方向に並べられる。前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれは、ｚ方向下側に先端部Ｐ１を有し、先端部Ｐ１よりもｚ方向上側にバネ収容部Ｐ２を有する。バネ収容部Ｐ２には、バネ（不図示）が収容される。先端部Ｐ１は、バネ収容部Ｐ２のバネにより全長が伸びる方向に付勢される。

第１フレキシブル基板３１ａが前側保持部３１ｃに取り付けられていない状態で、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれが、前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１に載置された場合、プローブＰの先端部Ｐ１は、プローブ受け部３１ｃ１の下端部の孔（下孔部３１ｃ１４）からｚ方向下側に突出する。ただし、下孔部３１ｃ１４と下溝部３１ｃ１２との段差で、バネ収容部Ｐ２が保持されるので、プローブＰは下孔部３１ｃ１４から落下しない。

第１フレキシブル基板３１ａが前側保持部３１ｃに取り付けられた状態で、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれが、前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１に載置された場合、プローブＰの先端部Ｐ１は、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４の第１領域Ａ１の裏側に接する。例えば、複数のプローブＰのうち、第１のプローブＰは、第１フレキシブル基板３１ａの検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域の１つ（舌片３１ａ４の１つの第１領域Ａ１）と接する位置関係にある。また、複数のプローブＰのうち、第１のプローブＰとは別の第２のプローブＰは、第１フレキシブル基板３１ａの検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域の１つ（舌片３１ａ４の１つ）であって、第１のプローブＰに対応する舌片３１ａ４と別の舌片３１ａ４の第１領域Ａ１と接する位置関係にある。ただし、プローブＰは軽いので、接するだけであって、舌片３１ａ４をｚ方向下側に殆ど変位させない。

第１フレキシブル基板３１ａと第１コネクタ３１ｂの組立体の前側保持部３１ｃと前側コネクタベース３１ｄの組立体への取り付けは、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれが、プローブ受け部３１ｃ１に載置された状態で行われる。

（前側第２バネ３１ｈ、前側プッシュブロック３１ｉ）
前側プッシュブロック３１ｉは、ｚ方向に移動可能な状態で、ｚ方向上側から前側保持部３１ｃの溝（プッシュブロック用溝部３１ｃ２）に差し込まれる。前側プッシュブロック３１ｉは、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれをｚ方向下側に押し下げるために使用される。すなわち、前側プローブ群３１ｇを構成する複数のプローブＰは、第１フレキシブル基板３１ａと前側プッシュブロック３１ｉの間に設けられる。
前側保持部３１ｃと前側プッシュブロック３１ｉの間には、前側第２バネ３１ｈが設けられる。前側第２バネ３１ｈは、前側プッシュブロック３１ｉを、前側保持部３１ｃからｚ方向に離れるように付勢する。

ｚ方向で縮む方向に力が加えられた時、第１バネ１３のｚ方向の圧縮が完了した後に、前側第２バネ３１ｈ及び後述する後側第２バネ３２ｈのｚ方向の圧縮が完了するように、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈのバネ特性（バネ圧、バネ定数など）が設定される。すなわち、第１バネ１３が縮んだ後に、前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈが縮む。

すなわち、第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａと検査対象コネクタ１００を接続させるとき、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈとによって、以下のように、フローティングガイド１１と第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａが動作制御される。フローティングガイド１１と第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａとの第１距離ｄ１が短くなった後に、前側プッシュブロック３１ｉと第１フレキシブル基板３１ａとの第２距離ｄ２が短くなり、略同じタイミングで、後側プッシュブロック３２ｉと第２フレキシブル基板３２ａとの第２距離ｄ２が短くなる。

例えば、第１距離ｄ１は、フローティングガイド１１の下端部（検査対象コネクタ１００が挿入される開口領域）と、第１フレキシブル基板３１ａの下端部（パターン部３１ａ３の検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域）とのｚ方向の距離である。例えば、第２距離ｄ２は、前側プッシュブロック３１ｉの下端部（前側プローブ群３１ｇと接する領域）と、第１フレキシブル基板３１ａの下端部（パターン部３１ａ３の検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域）とのｚ方向の距離である（図９参照）。

このため、検査対象コネクタ１００にｚ方向上側から第１検査治具１を押し込むなど、ｚ方向で縮む方向に力を加えても、第１バネ１３が縮まない限り、前側第２バネ３１ｈによって、前側プッシュブロック３１ｉと前側保持部３１ｃは離れた状態が維持され、後側第２バネ３２ｈによって、後側プッシュブロック３２ｉと後側保持部３２ｃは離れた状態が維持される。

（後側基板組立体３２）
後側基板組立体３２は、第２フレキシブル基板（可撓性基板）３２ａ、第２コネクタ３２ｂ、後側保持部３２ｃ、後側コネクタベース３２ｄ、後側コネクタ押さえゴム３２ｅ、後側コネクタカバー３２ｆ、後側プローブ群３２ｇ、後側第２バネ３２ｈ、後側プッシュブロック（第２可動部材）３２ｉを有する。

ｘ方向の向きが反転していること以外、後側基板組立体３２の構成は、前側基板組立体３１の構成と同様である。後側基板組立体３２の第２フレキシブル基板３２ａは、前側基板組立体３１の第１フレキシブル基板３１ａに相当する。後側基板組立体３２の第２コネクタ３２ｂは、前側基板組立体３１の第１コネクタ３１ｂに相当する。後側基板組立体３２の後側保持部３２ｃは、前側基板組立体３１の前側保持部３１ｃに相当する。後側基板組立体３２の後側コネクタベース３２ｄは、前側基板組立体３１の前側コネクタベース３１ｄに相当する。後側基板組立体３２の後側コネクタ押さえゴム３２ｅは、前側基板組立体３１の前側コネクタ押さえゴム３１ｅに相当する。後側基板組立体３２の後側コネクタカバー３２ｆは、前側基板組立体３１の前側コネクタカバー３１ｆに相当する。後側基板組立体３２の後側プローブ群３２ｇは、前側基板組立体３１の前側プローブ群３１ｇに相当する。後側基板組立体３２の後側第２バネ３２ｈは、前側基板組立体３１の前側第２バネ３１ｈに相当する。後側基板組立体３２の後側プッシュブロック３２ｉは、前側基板組立体３１の前側プッシュブロック３１ｉに相当する。

（水平位置調整部４０）
水平位置調整部４０は、第３バネ（第３弾性部材）４１、支持部（第３可動部材）４３、ブラケット４５を有する（図１参照）。

（第３バネ４１、支持部４３）
支持部４３は、ｙ方向に２つ設けられる。２つの支持部４３のそれぞれは、環状コイルスプリング（不図示）を内蔵する。

支持部４３は、前側基板組立体３１の第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４の第１領域Ａ１、及び後側基板組立体３２の第２フレキシブル基板３２ａの舌片の先端領域に関する、検査対象コネクタ１００の電極とｚ方向で対向する位置からのズレを吸収するために使用される。

例えば、前側基板組立体３１の第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４の第１領域Ａ１、及び後側基板組立体３２の第２フレキシブル基板３２aの舌片の先端領域が、検査対象コネクタ１００の電極とｚ方向で対向する位置からｘｙ平面上でずれているとする。この場合、第１検査治具１が検査対象コネクタ１００に取り付けられる時に、水平位置調整部４０が移動せずに、コネクタ接触部１０と基板保持部２０と基板部３０が、ｘｙ平面上を移動することができる。

支持部４３の上側保持部２３への取り付けは、ｚ方向下側からのネジ止めによって行われる。支持部４３と上側保持部２３との間には、第３バネ４１が設けられる。第３バネ４１は、支持部４３を、上側保持部２３からｚ方向に離れるように付勢する。

ｚ方向で縮む方向に力が加えられた時、第１バネ１３、前側第２バネ３１ｈ、及び後側第２バネ３２ｈのｚ方向の圧縮が完了した後に、第３バネ４１のｚ方向の圧縮が完了するように、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈと第３バネ４１のバネ特性（バネ圧、バネ定数など）が設定される。すなわち、第１バネ１３、前側第２バネ３１ｈ、及び後側第２バネ３２ｈが縮んだ後に、第３バネ４１が縮む。

すなわち、第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａと検査対象コネクタ１００を接続させるとき、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈと第３バネ４１とによって、以下のように、フローティングガイド１１、前側プッシュブロック３１ｉ、後側プッシュブロック３２ｉ、支持部４３が動作制御される。フローティングガイド１１と第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａの第１距離ｄ１が短くなった後に、前側プッシュブロック３１ｉと第１フレキシブル基板３１ａの第２距離ｄ２が短くなり、略同じタイミングで、後側プッシュブロック３２ｉと第２フレキシブル基板３２ａの第２距離ｄ２が短くなる。前側プッシュブロック３１ｉと第１フレキシブル基板３１ａの第２距離ｄ２が短くなり、後側プッシュブロック３２ｉと第２フレキシブル基板３２ａの第２距離ｄ２が短くなった後に、支持部４３と第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａの第３距離ｄ３が短くなる。

例えば、第３距離ｄ３は、支持部４３の下端部（上側保持部２３とｚ方向で対向する領域）と、第１フレキシブル基板３１ａの下端部（パターン部３１ａ３の検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域）とのｚ方向の距離である。

このため、検査対象コネクタ１００にｚ方向上側から第１検査治具１を押し込むなど、ｚ方向で縮む方向に力を加えても、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈが縮まない限り、第３バネ４１によって、支持部４３と上側保持部２３は離れた状態が維持される。

バネ特性の例としては、第３バネ４１のバネ圧は、前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈのバネ圧よりも高く、前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈのバネ圧は、第１バネ１３のバネ圧よりも高くなるように、各バネのバネ特性が設定される形態が考えられる。

また、バネ特性の例としては、２つの第３バネ４１の合成バネ定数（弾性係数）は、２つの前側第２バネ３１ｈ及び２つの後側第２バネ３２ｈの合成バネ定数（弾性係数）よりも大きく、２つの前側第２バネ３１ｈ及び２つの後側第２バネ３２ｈの合成バネ定数（弾性係数）は、２つの第１バネ１３の合成バネ定数（弾性係数）よりも大きくなるように、各バネのバネ特性が設定される形態が考えられる。

（ブラケット４５）
ブラケット４５は、検査装置、工作機械など、第１検査治具１を保持し、移動させる装置（不図示）に取り付けられる。ブラケット４５は、２つの支持部４３のｚ方向上側に取り付けられる。ブラケット４５の支持部４３への取り付けは、ｚ方向上側からのネジ止めによって行われる。

図９～図１０に示すように、第１バネ１３の一部が外部から見えるように、且つ前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈは殆ど外部から見えないように（ｘ方向前側及びｘ方向後側から見えないように）、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈが配置される。また、第３バネ４１は、伸びた状態において、少なくとも第３バネ４１の一部が外部から見えるように配置される。

（各部の材料、金属部品、樹脂部品）
第１検査治具１を構成する部材のうち、第１フレキシブル基板３１ａなどの導通される領域、前側プローブ群３１ｇ、後側プローブ群３２ｇ、ネジは、金属で構成される。第１検査治具１を構成するその他の部材は、樹脂など非導電性部材で構成される。

（第１検査治具１の検査対象コネクタ１００への接続手順）
次に、第１検査治具１をｚ方向上側からｚ方向下側に移動させて、検査対象コネクタ１００に接続させる際の、第１バネ１３の伸縮状態の変化などを説明する（図１１～図１７）。

なお、後側第２バネ３２ｈは、図１１、図１３～図１５、図１７のｙｚ断面構成図では図示されていない。しかしながら、後側第２バネ３２ｈは、前側第２バネ３１ｈのｘ方向後側に位置しており、前側第２バネ３１ｈと同じように伸縮する。また、後側プッシュブロック３２ｉは、図１１、図１３～図１５、図１７のｙｚ断面構成図では図示されていない。しかしながら、後側プッシュブロック３２ｉは、前側プッシュブロック３１ｉのｘ方向後側に位置しており、前側プッシュブロック３１ｉと同じように移動する。また、後側プローブ群３２ｇは、図１１、図１３～図１５、図１７のｙｚ断面構成図では図示されていない。しかしながら、後側プローブ群３２ｇは、前側プローブ群３１ｇのｘ方向後側に位置しており、前側プローブ群３１ｇと同じように動作する。また、第２フレキシブル基板３２ａの舌片は、図示されていない。しかしながら、第２フレキシブル基板３２ａの舌片は、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４のｘ方向後側に位置しており、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４と同じように変位する。

図１１に示すように、第１検査治具１が検査対象コネクタ１００と接触する前は、第１バネ１３、前側第２バネ３１ｈ、後側第２バネ３２ｈ、第３バネ４１は、伸びた状態であり、第１距離ｄ１と第２距離ｄ２と第３距離ｄ３はいずれも短くなっていない（第１状態）。このとき、前側プローブ群３１ｇを構成のプローブＰのｚ方向下側の先端部Ｐ１は、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４の第１領域Ａ１に接する（図１２参照）。しかしながら、プローブＰは軽いので、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４はｚ方向下側に殆ど押し下げられない。同様に、後側プローブ群３２ｇを構成のプローブＰのｚ方向下側の先端部Ｐ１は、第２フレキシブル基板３２ａの舌片の先端領域に接する。しかしながら、プローブＰは軽いので、第２フレキシブル基板３２ａの舌片はｚ方向下側に殆ど押し下げられない。

図１３に示すように、第１検査治具１のフローティングガイド１１の孔に、検査対象コネクタ１００が嵌め込まれた直後は、第１バネ１３、前側第２バネ３１ｈ、後側第２バネ３２ｈ、第３バネ４１は、伸びた状態であり、第１距離ｄ１と第２距離ｄ２と第３距離ｄ３はいずれも短くなっていない（第２状態）。このとき、第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａは、検査対象コネクタ１００と接触していない。

図１４に示すように、第２状態から、第１検査治具１がｚ方向下側に更に移動すると、第１バネ１３がｚ方向に縮み、下側保持部２１がフローティングガイド１１に近づけられる（第３状態）。

このとき、第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａは、検査対象コネクタ１００と近接した状態になる。このため、第３状態の第１距離ｄ１は、第２状態の第１距離ｄ１と比べて短くなる。ただし、前側第２バネ３１ｈ、後側第２バネ３２ｈ、第３バネ４１は、殆ど縮んでいない。このため、第３状態の第２距離ｄ２は、第２状態の第２距離ｄ２と比べて殆ど短くなっていない。第３状態の第３距離ｄ３は、第２状態の第３距離ｄ３と比べて殆ど短くなっていない。

図１５に示すように、第３状態から、第１検査治具１がｚ方向下側に更に移動すると、前側第２バネ３１ｈがｚ方向に縮み、前側プッシュブロック３１ｉが前側保持部３１ｃに近づけられる（第４状態）。同様に、後側第２バネ３２ｈがｚ方向に縮み、後側プッシュブロック３２ｉが後側保持部３２ｃに近づけられる。

また、前側プッシュブロック３１ｉがｚ方向下側に移動することにより、前側プローブ群３１ｇのプローブＰがｚ方向下側に移動し、プローブＰの先端部Ｐ１が第１フレキシブル基板３１ａの裏側（ｚ方向上側）を押す。これにより、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４がｚ方向下側に押し下げられる（図１６参照）。すなわち、前側プローブ群３１ｇのプローブＰにより、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４の第１領域Ａ１が、検査対象コネクタ１００の電極に近づけられる。同様に、後側プッシュブロック３２ｉがｚ方向下側に移動することにより、後側プローブ群３２ｇのプローブＰがｚ方向下側に移動し、プローブＰの先端部Ｐ１が第２フレキシブル基板３２ａの裏側（ｚ方向上側）を押す。これにより、第２フレキシブル基板３２ａの舌片がｚ方向下側に押し下げられる。すなわち、後側プローブ群３２ｇのプローブＰにより、第２フレキシブル基板３２ａの舌片の先端領域が、検査対象コネクタ１００の電極に近づけられる。

これにより、第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａは、検査対象コネクタ１００と電気的に接続した状態になる。また、第４状態の第１距離ｄ１は、第３状態の第１距離ｄ１と比べてさらに短くなる。また、前側プッシュブロック３１ｉ及び後側プッシュブロック３２ｉは、ｚ方向の移動可能範囲の最下端に押し下げられる。このため、第４状態の第２距離ｄ２は、第３状態の第２距離ｄ２とくらべて短くなる。ただし、第３バネ４１は、殆ど縮んでいない。このため、第４状態の第３距離ｄ３は、第３状態の第３距離ｄ３と比べて殆ど短くなっていない。

図１７に示すように、第４状態から、第１検査治具１がｚ方向下側に更に移動すると、第３バネ４１がｚ方向に縮み、支持部４３及びブラケット４５が上側保持部２３に近づけられる（第５状態）。このとき、支持部４３は、上側保持部２３と近接した状態になる。このため、第５状態の第３距離ｄ３は、第４状態の第３距離ｄ３と比べて短くなる。

前側第２バネ３１ｈ、及び後側第２バネ３２ｈが縮んだ状態になったか否かは、ｘ方向前側及びｘ方向後側からは視認出来ない。また、前側プッシュブロック３１ｉ、及び後側プッシュブロック３２ｉがｚ方向下側に移動したか否かは、ｘ方向前側及びｘ方向後側からは視認出来ない。しかしながら、第３バネ４１の一部は、少なくとも伸びた状態の時に外部から視認出来る。このため、第３バネ４１がある領域を外部から見ることで、第３バネ４１が大きく縮み始めたか否か、すなわち、前側プッシュブロック３１ｉなどのｚ方向下側への移動が完了して、第１フレキシブル基板３１ａ及び第２フレキシブル基板３２ａが、検査対象コネクタ１００と電気的に接続した状態になったか否かを確認することが出来る。

（プローブＰで個別に押し当てを行うことの効果）
伝送線路における、検査対象コネクタ１００と接触する部分（電極）の高さのバラツキを考慮して、電極ごとに個別にプローブＰなどの伸縮部材を押し当て、それぞれの電極の検査対象コネクタ１００との接続を確実に行うことが可能になる。

（第１フレキシブル基板３１ａ、第２フレキシブル基板３２ａに舌片を設けることの効果）
電極の高さのバラツキを吸収するため、プローブＰなどの伸縮部材が押し当てられて、部分的に力が加わった場合、力が加わった部分を含む領域に形成された第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４が、スリットＳを介して、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４に隣接する他の領域から離れて、当該押された方向（ｚ方向下側）に変位する。また、力が加わった部分を含む領域に形成された第２フレキシブル基板３２ａの舌片が、スリットＳを介して、第２フレキシブル基板３２ａの舌片に隣接する他の領域から離れて、当該押された方向（ｚ方向下側）に変位する。このため、舌片を設けない場合に比べて、変位しても可撓性基板（第１フレキシブル基板３１ａ、第２フレキシブル基板３２ａ）が破損しにくい。

（１つの舌片に複数の電極を含めることの効果）
１つの舌片３１ａ４に１つの電極だけを設ける形態に比べて、スリットＳの数を少なく出来るので、狭い領域などに舌片３１ａ４の形成が容易になる。第２フレキシブル基板３２ａの舌片についても同様である。

（舌片の先端の幅を太くすることの効果）
舌片（第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４、第１舌片３１ａ４１に相当する第２フレキシブル基板３２ａの舌片）の幅（ｙ方向の寸法）を狭くした場合、舌片の幅が広くした場合に比べて、以下のメリットがある。舌片を軽量に出来、少ない荷重で舌片を変位させることが出来る。舌片を変位させるための荷重が減らすことが出来れば、第１検査治具１にかかる総荷重も少なくなり、第１検査治具１を構成する部品にかかる荷重が減り、当該部品の変形等が少なくなり、第１検査治具１の製品寿命を延ばすことが出来る。

舌片の幅を広くした場合、舌片の幅を狭くした場合に比べて、以下のメリットがある。舌片の幅が広いために、プローブＰとの位置ズレの許容量が多くなり、プローブＰと舌片との位置合わせの精度を高める必要がなくなり、加工が容易になり、第１検査治具１の製作コストが下がる。

第１実施形態では、第１舌片３１ａ４１の先端領域（第１領域Ａ１）、すなわち第１舌片３１ａ４１のプローブＰと接触する領域の幅を第１舌片３１ａ４１の根元領域（第２領域Ａ２）よりも広くする。第１舌片３１ａ４１の根元領域（第２領域Ａ２）を第１舌片３１ａ４１の先端領域（第１領域Ａ１）よりも幅狭にする。これにより、舌片の軽量化を実現しつつ、プローブＰとの接触領域を大きくして、プローブＰとの位置ズレの許容量を多く出来る。従って、第１検査治具１の製品寿命を延ばし且つ製作コストを抑えることが可能になる。

（第１舌片３１ａ４１を前方後円形状にすることの効果）
第１領域Ａ１を略円形とし、第２領域Ａ２を略方形（略矩形）とすることで、他の形状で構成する形態に比べて容易に第１舌片３１ａ４１を形成することが可能になる。また、伝送線路の端部から第１領域Ａ１の縁部までの距離を均一に出来、プローブＰとの接触領域を出来るだけ大きくし、且つプローブＰとの位置ズレの許容量を出来るだけ多く出来る。

（第１舌片３１ａ４１の第１領域Ａ１の幅広領域の幅を、第２領域Ａ２の幅の２倍にすることの効果）
隣接するスリットＳ若しくはスルーホール３１ａ５との物理的な干渉をせずに、第１領域Ａ１の形成を行いやすくなる。

（第１舌片３１ａ４１と第２舌片３１ａ４２を設けたことの効果）
プローブＰとの位置ズレの許容量を多くする伝送線路（信号線）の端部に第１舌片３１ａ４１を設け、当該許容量を多くする必要性が低い伝送線路（接地線及び電力線）の端部に第２舌片３１ａ４２を設けることが出来る。

（端部を電極として使用することの効果）
信号線の途中で他の部材との電気的な接続が行われた場合には、当該接続箇所と端部との間がアンテナとして機能してノイズの受発信が行われるおそれがある。端部の近傍で他の部材との電気的な接続を行うことにより、ノイズの受発信を少なくすることが可能になる。なお、接地線の途中で他の部材との電気的な接続が行われた場合には、インピーダンスの整合が崩れるおそれがある。

（その他の実施形態、プローブ以外の伸縮部材）
第１実施形態では、第１フレキシブル基板３１ａを裏側（ｚ方向上側）からｚ方向下側に押す伸縮部材、及び第２フレキシブル基板３２ａを裏側（ｚ方向上側）からｚ方向下側に押す伸縮部材として、プローブＰを用いる形態を説明した。しかしながら、ｚ方向（可撓性基板を押す方向）に伸縮可能な部材であれば、プローブＰに限らず、他の弾性部材が用いられてもよい。

（その他の実施形態、プローブが２列に限らない）
第１実施形態では、前側プローブ群３１ｇと後側プローブ群３２ｇがｘ方向に並べられる、すなわち、ｙ方向に並べられたプローブ群がｘ方向に２列並べられる形態を説明した。しかしながら、プローブ群の列の数は、検査対象コネクタ１００の電極の配置に応じて、１列、若しくは３列以上であってもよい。例えば、後述する第２検査治具２では、プローブ群が１列設けられる。また、後述する第３検査治具３では、プローブ群が４箇所に設けられる。また、後述する第４検査治具４では、プローブ群が１０列設けられる。

（その他の実施形態、バネ以外の弾性部材）
第１実施形態では、フローティングガイド１１と下側保持部２１の間に第１バネ１３が設けられ、前側保持部３１ｃと前側プッシュブロック３１ｉの間に前側第２バネ３１ｈが設けられ、後側保持部３２ｃと後側プッシュブロック３２ｉの間に後側第２バネ３２ｈが設けられ、上側保持部２３と支持部４３の間に第３バネ４１が設けられる形態を説明した。しかしながら、ｚ方向（可撓性基板を押す方向）に伸縮可能な部材であれば、バネに限らず、他の弾性部材が用いられてもよい。

（その他の実施形態、舌片を含む可撓性基板を用いる検査治具の応用例）
第１実施形態では、プローブＰなどの伸縮部材を介して、第１舌片３１ａ４１を含む可撓性基板（第１フレキシブル基板３１ａなど）を押し、伸縮部材と反対側に位置する検査対象コネクタ１００と接続させる例を説明した。しかしながら、第１舌片３１ａ４１を含む可撓性基板は、他の検査対象部材との接続に用いられてもよい。また、第１舌片３１ａ４１を有する可撓性基板を含む検査治具は、第１検査治具１に限定するものではなく、他の形状で構成された検査治具であってもよい。

例えば、第２検査治具２が、可撓性基板（第１フレキシブル基板３１ａ）を含んでもよい（第２実施形態、図１８～図２０参照）。第２検査治具２は、第１クリップ部材２ａと、第２クリップ部材２ｂと、土台部２ｃと第１フレキシブル基板３１ａと、第１コネクタ３１ｂとを有する。

方向を説明するために、第２クリップ部材２ｂの回転軸（第１回転軸ａｘ１）に垂直な水平方向（前後方向）をｘ方向とし、第１回転軸ａｘ１に平行な方向（左右方向）をｙ方向とし、ｘ方向とｙ方向に垂直な方向（上下方向）をｚ方向として説明する。図１８において、ｘｙｚ軸のそれぞれの矢印が指し示す方向をそれぞれ前方向、右方向、上方向と定義する。具体的には、第１クリップ部材２ａの第１把持領域２ａ１から第１クリップ部材２ａの土台部２ｃを保持する領域に向かう方向を前方向と定義する。また、図１８において、第１クリップ部材２ａのｘ方向前側の右下に位置する領域から第１クリップ部材２ａのｘ方向前側の左上に位置する領域に向かう方向を右方向と定義する。また、第１クリップ部材２ａから第２クリップ部材２ｂに向かう方向を上方向と定義する。

第１クリップ部材２ａは、第１回転軸ａｘ１を中心に回転可能な状態で第２クリップ部材２ｂを保持する。第１クリップ部材２ａは、土台部２ｃを有する。第２クリップ部材２ｂは、第１フレキシブル基板３１ａと第１コネクタ３１ｂを保持する。第２クリップ部材２ｂは、基板保持部２０として機能する。第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４のｚ方向上側には、プローブなどの伸縮部材（不図示）が設けられる。土台部２ｃは、検査対象部材（不図示）を保持する。

第１クリップ部材２ａの第１把持領域２ａ１と第２クリップ部材２ｂの第２把持領域２ｂ１が近づくように力を加えると、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４と、土台部２ｃとの間に隙間が生じる。当該隙間に検査対象部材を入れて、検査対象部材が土台部２ｃに載置されるようにする。第１把持領域２ａ１と第２把持領域２ｂ１が近づくように加えた力を解除すると、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４と、土台部２ｃに載置された検査対象部材とが接する。このとき、伸縮部材が舌片３１ａ４をｚ方向下側に押し、舌片３１ａ４に設けられた伝送線路の端部と検査対象部材とが電気的に接続する。

また、例えば、第３検査治具３が、可撓性基板（第１フレキシブル基板３１ａなど）を含んでもよい（第３実施形態、図２１～図２２参照）。第３検査治具３は、第１押さえ部３ａと、第１基板保持台３ｂと、第１フレキシブル基板３１ａ～第４フレキシブル基板３４ａと、第１コネクタ３１ｂ～第４コネクタ３４ｂとを有する。

方向を説明するために、第１押さえ部３ａの回転軸（第２回転軸ａｘ２）に垂直な水平方向（前後方向）をｘ方向とし、第２回転軸ａｘ２に平行な方向（左右方向）をｙ方向とし、ｘ方向とｙ方向に垂直な方向（上下方向）をｚ方向として説明する。図２１において、ｘｙｚ軸のそれぞれの矢印が指し示す方向をそれぞれ前方向、右方向、上方向と定義する。具体的には、第１基板保持台３ｂにおける第１押さえ部３ａを保持する領域から、第１基板保持台３ｂにおける第１押さえ部３ａの先端部が着脱可能な状態で取り付けられる領域に向かう方向を前方向と定義する。また、図２１において、第１基板保持台３ｂのｘ方向前側の右下に位置する領域から第１基板保持台３ｂのｘ方向前側の左上に位置する領域に向かう方向を右方向と定義する。また、第１押さえ部３ａの先端部が第１基板保持台３ｂに取り付けられた状態で、第１基板保持台３ｂから第１押さえ部３ａに向かう方向を上方向と定義する。

第１押さえ部３ａは、検査対象部材（検査対象モジュール３００）を保持する。第１基板保持台３ｂは、第２回転軸ａｘ２を中心に回転可能な状態で第１押さえ部３ａを保持する。第１基板保持台３ｂは、可撓性基板（第１フレキシブル基板３１ａ～第４フレキシブル基板３４ａ）を保持する。第１基板保持台３ｂは、基板保持部２０として機能する。第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４のｚ方向下側には、プローブなどの伸縮部材（不図示）が設けられる。第２フレキシブル基板３２ａ～第４フレキシブル基板３４ａの構成は、第１フレキシブル基板３１ａの構成と同様である。第２コネクタ３２ｂ～第４コネクタ３４ｂの構成は、第１コネクタ３１ｂと同様である。第２フレキシブル基板３２ａ～第４フレキシブル基板３４ａのそれぞれの舌片のｚ方向下側には、プローブなどの伸縮部材（不図示）が設けられる。第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４を含む領域と、第２フレキシブル基板３２ａの舌片を含む領域と、第３フレキシブル基板３３ａの舌片を含む領域と、第４フレキシブル基板３４ａの舌片を含む領域とが、ｚ方向上側から見て矩形を形成する辺上に位置するように、第１フレキシブル基板３１ａ～第４フレキシブル基板３４ａが配置される。

第１押さえ部３ａ先端部が第１基板保持台３ｂに近づけられると、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４、及び第２フレキシブル基板３２ａ～第４フレキシブル基板３４ａの舌片と、検査対象モジュール３００とが接する。このとき、伸縮部材が舌片３１ａ４などをｚ方向上側に押し、舌片３１ａ４などに設けられた伝送線路の端部と検査対象モジュール３００とが電気的に接続する。

また、例えば、第４検査治具４が、可撓性基板（第１フレキシブル基板３１ａなど）を含んでもよい（第４実施形態、図２３～図２５参照）。第４検査治具４は、第２押さえ部４ａと、第２基板保持台４ｂと、可撓性基板（第１フレキシブル基板３１ａなど）とを有する。第４検査治具４の可撓性基板は、第１フレキシブル基板３１ａ、第２フレキシブル基板３２ａ、第３フレキシブル基板３３ａ、第４フレキシブル基板３４ａ、第５フレキシブル基板３５ａ、第６フレキシブル基板３６ａ、第７フレキシブル基板３７ａ、第８フレキシブル基板３８ａ、第９フレキシブル基板３９ａ、第１０フレキシブル基板３１０ａを含む。

方向を説明するために、第２押さえ部４ａの回転軸（第３回転軸ａｘ３）に垂直な水平方向（前後方向）をｘ方向とし、第３回転軸ａｘ３に平行な方向（左右方向）をｙ方向とし、ｘ方向とｙ方向に垂直な方向（上下方向）をｚ方向として説明する。図２３において、ｘｙｚ軸のそれぞれの矢印が指し示す方向をそれぞれ前方向、右方向、上方向と定義する。具体的には、第２基板保持台４ｂにおける第２押さえ部４ａを保持する領域から、第２基板保持台４ｂにおける第２押さえ部４ａの先端部が着脱可能な状態で取り付けられる領域に向かう方向を前方向と定義する。また、図２３において、第２基板保持台４ｂのｘ方向前側の右下に位置する領域から第２基板保持台４ｂのｘ方向前側の左上に位置する領域に向かう方向を右方向と定義する。また、第２押さえ部４ａの先端部が第２基板保持台４ｂに取り付けられた状態で、第２基板保持台４ｂから第２押さえ部４ａに向かう方向を上方向と定義する。

第２押さえ部４ａは、検査対象部材（ＢＧＡ／ＬＧＡ（Ball Grid Array/Land Grid Array）４００）を保持する。第２基板保持台４ｂは、第３回転軸ａｘ３を中心に回転可能な状態で第２押さえ部４ａを保持する。第２基板保持台４ｂは、第１フレキシブル基板３１ａなどの可撓性基板を保持する。第２基板保持台４ｂは、基板保持部２０として機能する。第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４のｚ方向下側には、プローブなどの伸縮部材（不図示）が設けられる。第１フレキシブル基板３１ａのコネクタ接続端３１ａ１は、コネクタ（不図示）を介して、検査装置（不図示）と電気的に接続される。第２フレキシブル基板３２ａ～第１０フレキシブル基板３１０ａの構成は、第１フレキシブル基板３１ａと同様である。第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４（第１舌片３１ａ４１、第２舌片３１ａ４２）を含む領域と、第２フレキシブル基板３２ａの舌片を含む領域と、第３フレキシブル基板３３ａの舌片を含む領域と、第４フレキシブル基板３４ａの舌片を含む領域と、第５フレキシブル基板３５ａの舌片を含む領域と、第６フレキシブル基板３６ａを含む領域と、第７フレキシブル基板３７ａを含む領域と、第８フレキシブル基板３８ａを含む領域と、第９フレキシブル基板３９ａを含む領域と、第１０フレキシブル基板３１０ａを含む領域とが、ｚ方向上側から見て１方向に並ぶように、第１フレキシブル基板３１ａ～第１０フレキシブル基板３１０ａが配置される。

第２押さえ部４ａの先端部が第２基板保持台４ｂに近づけられると、第１フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４、及び第２フレキシブル基板３２ａ～第１０フレキシブル基板３１０ａの舌片と、ＢＧＡ／ＬＧＡ４００とが接する。このとき、伸縮部材が舌片３１ａ４などをｚ方向上側に押し、舌片３１ａ４などに設けられた伝送線路の端部とＢＧＡ／ＬＧＡ４００とが電気的に接続する。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態及びその変形は、発明の範囲及び要旨に含まれると同様に、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

本明細書によれば、以下の態様が提供される。
（態様１）
可撓性基板は、一方の端部と、他方の端部と、少なくとも、一方の端部と他方の端部の間に形成されるパターン部と、を備える。パターン部は、切れ込みにより形成される第１舌片を有する。第１舌片は、第１舌片の先端領域である第１領域と、第１領域と連通し、第１舌片の根元領域である第２領域とを含む。第１舌片は、第１領域を介して、他の部材と電気的に接続される。第１領域の幅は、第２領域の幅よりも広い。

態様１によると、プローブなどの伸縮部材が押しつけられて、部分的に力が加わった場合、力が加わった部分を含む領域に形成された可撓性基板の第１舌片が、切れ込みを介して、可撓性基板の第１舌片に隣接する他の領域から離れて、当該押された方向に変位する。このため、第１舌片を設けない場合に比べて、部分的に力が加わっても可撓性基板が破損しにくい。また、第１舌片の先端領域（第１領域）、すなわち第１舌片の伸縮部材と接触する領域の幅を第１舌片の根元領域（第２領域）よりも広くする。これにより、舌片の軽量化を実現しつつ、伸縮部材との接触領域を大きくして、伸縮部材との位置ズレの許容量を多く出来る。

（態様２）
好ましくは、第１領域は円形であり、第２領域は方形である。

態様２によると、第１領域を円形とし、第２領域を方形とすることで、他の形状で構成する形態に比べて容易に第１舌片を形成することが可能になる。また、伝送線路の端部から第１領域の縁部までの距離を均一に出来、伸縮部材との接触領域を出来るだけ大きくし、且つ伸縮部材との位置ズレの許容量を出来るだけ多く出来る。

（態様３）
さらに好ましくは、パターン部は、第２舌片を有する。第２舌片の先端領域の幅は、第２舌片の根元領域の幅と同じかそれ以下である。

態様３によると、伸縮部材との位置ズレの許容量を多くする伝送線路の端部に第１舌片を設け、当該許容量を多くする必要性が低い伝送線路の端部に第２舌片を設けることが出来る。

（態様４）
さらに好ましくは、パターン部は信号線と接地線と電力線とを有し、信号線には、第１舌片が形成され、接地線と電力線には、第２舌片が形成される。

態様４によると、伸縮部材との位置ズレの許容量を多くする信号線の端部に第１舌片を設け、当該許容量を多くする必要性が低い接地線及び電力線の端部に第２舌片を設けることが出来る。

（態様５）
さらに好ましくは、検査治具は、態様１～態様４のいずれかの可撓性基板と、伸縮部材と、を備える。伸縮部材が、他の部材と電気的に接続される部分を含む領域の裏側を押すことで、舌片が他の部材の電気的に接続される。

態様５によると、検査治具の製品寿命を延ばし且つ製作コストを抑えることが可能になる。

（態様６）
さらに好ましくは、第１舌片の第２領域は、矩形形状を有する。第１舌片の第１領域の幅が広い領域の幅は、第１舌片の第２領域の幅の２倍である。

態様６によると、隣接する切り欠き若しくはスルーホールとの物理的な干渉をせずに、第１領域の形成を行いやすくなる。

１ 第１検査治具、２ 第２検査治具、２ａ 第１クリップ部材、２ａ１ 第１把持領域、２ｂ 第２クリップ部材、２ｂ１ 第２把持領域、２ｃ 土台部、３ 第３検査治具、３ａ 第１押さえ部、３ｂ 第１基板保持台、４ 第４検査治具、４ａ 第２押さえ部、４ｂ 第２基板保持台、１０ コネクタ接触部、１１ フローティングガイド（第１可動部材） １１ａ ガイド部、１３ 第１バネ（第１弾性部材）、２０ 基板保持部、２１ 下側保持部（ピンブロックフレーム）、２３ 上側保持部（接続板）、３０ 基板部、３１ 前側基板組立体、３１ａ 第１フレキシブル基板（可撓性基板）、３１ａ１ コネクタ接続端、３１ａ２ 保持部接続端、３１ａ２１ 孔、３１ａ３ パターン部、３１ａ４ 舌片、３１ａ５ スルーホール、３１ｂ 第１コネクタ、３１ｃ 前側保持部、３１ｃ１ プローブ受け部、３１ｃ１１ 上溝部、３１ｃ１２ 下溝部、３１ｃ１３ 上孔部、３１ｃ１４ 下孔部、３１ｃ２ プッシュブロック用溝部、３１ｃ３ ボス、３１ｄ 前側コネクタベース、３１ｅ 前側コネクタ押さえゴム、３１ｆ 前側コネクタカバー、３１ｇ 前側プローブ群、３１ｈ 前側第２バネ（第２弾性部材）、３１ｉ 前側プッシュブロック（第２可動部材）、３２ 後側基板組立体、３２ａ 第２フレキシブル基板（可撓性基板）、３２ｂ 第２コネクタ、３２ｃ 後側保持部、３２ｄ 後側コネクタベース、３２ｅ 後側コネクタ押さえゴム、３２ｆ 後側コネクタカバー、３２ｇ 後側プローブ群、３２ｈ 後側第２バネ（第２弾性部材）、３２ｉ 後側プッシュブロック（第２可動部材）、３３ａ 第３フレキシブル基板（可撓性基板）、３３ｂ 第３コネクタ、３４ａ 第４フレキシブル基板（可撓性基板）、３４ｂ 第４コネクタ、３５ａ 第５フレキシブル基板（可撓性基板）、３６ａ 第６フレキシブル基板（可撓性基板）、３７ａ 第７フレキシブル基板（可撓性基板）、３８ａ 第８フレキシブル基板（可撓性基板）、３９ａ 第９フレキシブル基板（可撓性基板）、３１０ａ 第１０フレキシブル基板（可撓性基板）、４０ 水平位置調整部、４１ 第３バネ、４３ 支持部、４５ ブラケット、１００ 検査対象コネクタ（検査対象部材）、３００ 検査対象モジュール（検査対象部材）、４００ ＢＧＡ／ＬＧＡ、ａｘ１ 第１回転軸、ａｘ２ 第２回転軸、ａｘ３ 第３回転軸、ｄ１ 第１距離、ｄ２ 第２距離、ｄ３ 第３距離、Ｐ プローブ（伸縮部材）、Ｐ１ 先端部、Ｐ２ バネ収容部、Ｓ スリット

Claims (5)

1. 一方の端部と、
   他方の端部と、
   少なくとも、前記一方の端部と前記他方の端部の間に形成されるパターン部と、を備え、
   前記パターン部は、切れ込みにより形成される第１舌片を有し、
   前記第１舌片は、前記第１舌片の先端領域である第１領域と、前記第１領域と連通し、前記第１舌片の根元領域である第２領域とを含み、
   前記第１舌片は、前記第１領域を介して、他の部材と電気的に接続され、
   前記第１領域の幅は、前記第２領域の幅よりも広い、可撓性基板。
2. 前記第１領域は円形であり、前記第２領域は方形である、請求項１に記載の可撓性基板。
3. 前記パターン部は、第２舌片を有し、
   前記第２舌片の先端領域の幅は、前記第２舌片の根元領域の幅と同じかそれ以下である、請求項１または請求項２に記載の可撓性基板。
4. 前記パターン部は信号線と接地線と電力線とを有し、信号線には、前記第１舌片が形成され、接地線と電力線には、前記第２舌片が形成される、請求項３に記載の可撓性基板。
5. 請求項１～請求項４のいずれかに記載の可撓性基板と、
   伸縮部材と、を備え、
   前記伸縮部材が、前記他の部材と電気的に接続される部分を含む領域の裏側を押すことで、前記舌片が前記他の部材の電気的に接続される、検査治具。

Images