WO2022091930A1

WO2022091930A1 - 可撓性基板、検査治具

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Publication number: WO2022091930A1
Application number: PCT/JP2021/038915
Authority: WO
Inventors: 久史鈴木; 力三浦
Original assignee: 株式会社ヨコオ
Priority date: 2020-10-27
Filing date: 2021-10-21
Publication date: 2022-05-05
Also published as: EP4240119A1; US20230397329A1; TW202218491A; KR20230093435A; JPWO2022091930A1; CN116458270A

Abstract

部分的に力が加わっても破損しにくい可撓性基板と，この可撓性基板を用いる検査治具を提供する。可撓性基板は，一方の端部と，他方の端部と，少なくとも，一方の端部と他方の端部の間に形成されるパターン部（３１ａ３）と，を備える。パターン部（３１ａ３）は，切れ込み（Ｓ）により形成される舌片（３１ａ４）を有する。舌片（３１ａ４）は，他の部材と電気的に接続される。舌片（３１ａ４）には，他の部材と電気的に接続される部分が複数設けられる。舌片（３１ａ４）は，信号線の端部に形成される。

Description

可撓性基板、検査治具

　本発明は、可撓性基板などに関する。

　従来、特許文献１のように、伸縮自在な可撓性基板が提案されている。

特開２０２０－９２２７７号公報

　しかしながら、可撓性基板に部分的に力が加わった場合に、可撓性基板の一部が折れ曲がるなど破損するおそれがある。

　したがって本発明の目的は、部分的に力が加わっても破損しにくい可撓性基板などを提供することである。

　本発明に係る可撓性基板は、一方の端部と、他方の端部と、少なくとも、一方の端部と他方の端部の間に形成されるパターン部と、を備える。パターン部は、切れ込みにより形成される舌片を有する。舌片は、他の部材と電気的に接続される。

　以上のように本発明によれば、部分的に力が加わっても破損しにくい可撓性基板などを提供することができる。

本実施形態の検査治具の分解斜視図である。コネクタ接触部と、基板保持部と、基板部の分解斜視図である。前側基板組立体の分解斜視図である。前側フレキシブル基板を前側で且つ下側から見た斜視図である。前側フレキシブル基板を後側で且つ下側から見た斜視図である。前側フレキシブル基板の舌片がある領域を前側で且つ下側から見た斜視図である。前側フレキシブル基板と前側コネクタの組立体、前側保持部、前側コネクタベース、前側プローブ群の分解斜視図である。後側基板組立体の分解斜視図である。検査治具を前側で且つ下側から見た斜視図である。検査治具を前側から見た正面図である。第１状態の検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。第１状態の前側フレキシブル基板の舌片がある領域を拡大したｘｚ断面構成図である。第２状態の検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。第３状態の検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。第４状態の検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。第４状態の前側フレキシブル基板の舌片がある領域を拡大したｘｚ断面構成図である。第５状態の検査治具と検査対象コネクタであって、第１バネがある領域を含むｙｚ断面構成図である。第１フレキシブル基板と第２フレキシブル基板と第３フレキシブル基板の斜視図である。別体で構成された前側フレキシブル基板が前側保持部に取り付けられたものを、前側で且つ上側から見た斜視図である。別体で構成された前側フレキシブル基板が前側保持部に取り付けられたものを、後側で且つ上側から見た斜視図である。別体で構成された前側フレキシブル基板が前側保持部に取り付けられ、第１フレキシブル基板のコネクタ接続端に前側コネクタが取り付けられたものを、前側で且つ下側から見た斜視図である。

　以下、本実施形態について、図１～図１７を用いて説明する。なお、実施形態は、以下の実施形態に限られるものではない。また、一つの実施形態に記載した内容は、原則として他の実施形態にも同様に適用される。また、各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが出来る。

　（検査治具１）
　図１に示すように、本実施形態における検査治具１は、コネクタ接触部１０、基板保持部２０、基板部３０、水平位置調整部４０を備える。検査治具１は、コネクタ接触部１０を介して、検査対象の検査対象コネクタ（ＢｔｏＢコネクタ、Board to Boardコネクタ）１００と接触し、内部の前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａと電気的に接続する。なお、図１では、検査対象コネクタ１００の図示を省略している。

　方向を説明するために、２つの基板組立体（前側基板組立体３１、後側基板組立体３２）が並べられる水平方向（前後方向）をｘ方向とし、ｘ方向に垂直で且つ２つの支持部４３が並べられる方向（左右方向）をｙ方向、ｘ方向とｙ方向に垂直な方向（上下方向）をｚ方向として説明する。図１において、ｘｙｚ軸のそれぞれの矢印が指し示す方向をそれぞれ前方向、右方向、上方向と定義する。具体的には、後側基板組立体３２から前側基板組立体３１に向かう方向を前方向と定義する。また、２つの支持部４３のうち図１の右下に位置するものから図１の左上に位置するものに向かう方向を右方向と定義する。また、コネクタ接触部１０から水平位置調整部４０に向かう方向を上方向と定義する。

　（コネクタ接触部１０）
　図２に示すように、コネクタ接触部１０は、フローティングガイド（第１可動部材）１１、第１バネ（第１弾性部材）１３を有する。フローティングガイド１１は、ｚ方向に貫通する孔を有する。フローティングガイド１１の孔には、ｚ方向上側から、下側保持部２１の下端及び基板部３０の下端が挿入される。フローティングガイド１１の孔には、ｚ方向下側から、検査対象コネクタ１００の上端が挿入される。すなわち、フローティングガイド１１には、検査対象コネクタ１００が着脱可能な状態で取り付けられる。

　フローティングガイド１１の孔のｚ方向下側には、検査対象コネクタ１００の挿入を容易にするため、ｚ方向下側の開口が徐々に大きくなるような傾斜形状のガイド部１１ａが設けられるのが望ましい。

　フローティングガイド１１のｚ方向上側は、ネジ止めによって、下側保持部２１に取り付けられる。フローティングガイド１１と、下側保持部２１の間には、第１バネ１３が設けられる。第１バネ１３は、フローティングガイド１１を、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａからｚ方向に離れるように付勢する。このため、検査対象コネクタ１００にｚ方向上側から検査治具１を押し込むなど、ｚ方向で縮む方向に力を加えない限り、第１バネ１３によって、フローティングガイド１１と下側保持部２１は、離れた状態が維持される。

　（基板保持部２０）
　基板保持部２０は、下側保持部（ピンブロックフレーム）２１、上側保持部（接続板）２３を有する。下側保持部２１は、基板部３０のｚ方向下側に設けられる。上側保持部２３は、基板部３０のｚ方向上側に設けられる。下側保持部２１と上側保持部２３は、ｚ方向で基板部３０を挟む。

　下側保持部２１は、ｚ方向に貫通する孔を有する。下側保持部２１の孔には、ｚ方向上側から、基板部３０の下端が挿入される。下側保持部２１のｚ方向下側には凸部が形成される。当該凸部は、フローティングガイド１１の孔にｚ方向上側から嵌め込まれる。

　下側保持部２１のｚ方向上側には、前側基板組立体３１の前側保持部３１ｃ、及び後側基板組立体３２の後側保持部３２ｃが取り付けられる。前側保持部３１ｃの下側保持部２１への取り付けは、ボス孔を使った嵌合と接着によって行われる。後側保持部３２ｃの下側保持部２１への取り付けは、接着によって行われる。

　上側保持部２３のｚ方向下側には、前側基板組立体３１の前側プッシュブロック３１ｉ、及び後側基板組立体３２の後側プッシュブロック３２ｉが取り付けられる。前側プッシュブロック３１ｉの上側保持部２３への取り付けは、ｚ方向上側からで、且つ丸孔を使ったネジ止めによって行われる。後側プッシュブロック３２ｉの上側保持部２３への取り付けは、ｚ方向上側からで、且つｘ方向に延びる長孔を使ったネジ止めによって行われる。上側保持部２３のｘ方向に延びる長孔は、前側プッシュブロック３１ｉを保持する前側保持部３１ｃと後側プッシュブロック３２ｉを保持する後側保持部３２ｃのｘ方向の間隔の調整に用いられる。

　前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃのｘ方向の間隔は、検査対象コネクタ１００の電極位置のｘ方向の間隔に応じて決定される。検査対象コネクタ１００の電極のｘ方向の間隔が狭い場合は、前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃのｘ方向の間隔が狭い状態で、前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃの下側保持部２１への取り付け、及び前側プッシュブロック３１ｉと後側プッシュブロック３２ｉの上側保持部２３への取り付けが行われる。検査対象コネクタ１００の電極のｘ方向の間隔が広い場合は、前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃのｘ方向の間隔が広い状態で、前側保持部３１ｃと後側保持部３２ｃの下側保持部２１への取り付け、及び前側プッシュブロック３１ｉと後側プッシュブロック３２ｉの上側保持部２３への取り付けが行われる。

　すなわち、基板保持部２０は、複数のフレキシブル基板（前側フレキシブル基板３１ａ、後側フレキシブル基板３２ａ）を、ｘ方向の間隔が調整可能な状態で、保持する。

　（基板部３０）
　基板部３０は、前側基板組立体３１、後側基板組立体３２を有する。前側基板組立体３１はｘ方向前側に、後側基板組立体３２はｘ方向後側に配置される。

　（前側基板組立体３１）
　図３に示すように、前側基板組立体３１は、前側フレキシブル基板（可撓性基板）３１ａ、前側コネクタ３１ｂ、前側保持部３１ｃ、前側コネクタベース３１ｄ、前側コネクタ押さえゴム３１ｅ、前側コネクタカバー３１ｆ、前側プローブ群３１ｇ、前側第２バネ３１ｈ、前側プッシュブロック（第２可動部材）３１ｉを有する。

　（前側フレキシブル基板３１ａ）
　図４～図６に示すように、前側フレキシブル基板３１ａは、コネクタ接続端（一方の端部）３１ａ１、保持部接続端（他方の端部）３１ａ２、パターン部３１ａ３を有する。

　コネクタ接続端３１ａ１は、前側フレキシブル基板３１ａのｘ方向前側で且つｚ方向上側の端部であり、コネクタ接続端３１ａ１には、前側コネクタ３１ｂが半田付けなどにより取り付けられる。保持部接続端３１ａ２は、前側フレキシブル基板３１ａのｘ方向後側で且つｚ方向上側の端部であり、前側保持部３１ｃに掛け止めされる。具体的には、保持部接続端３１ａ２に設けられた孔３１ａ２１が、前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１のｚ方向上側に設けられたボス３１ｃ３に嵌め込まれる。ただし、保持部接続端３１ａ２と前側保持部３１ｃの掛け止めは、孔３１ａ２１とボス３１ｃ３の嵌め込みに限るものではない。

　パターン部３１ａ３は、コネクタ接続端３１ａ１と保持部接続端３１ａ２の間の領域である。パターン部３１ａ３のｚ方向下側（表側）の面には、コネクタ接続端３１ａ１から延びる信号線及び接地線のパターンが形成される。パターン部３１ａ３は、ｙ方向から見て略Ｖ字形状になるように曲げられる。パターン部３１ａ３のｚ方向下側の面で、略Ｖ字形状になるように曲げられた状態の下端部には、信号線及び接地線の端部が設けられる。当該信号線及び接地線の端部は、検査対象コネクタ１００の電極と電気的に接続する基板側電極として使用される。また、当該信号線及び接地線の端部の周囲（パターン部３１ａ３の検査対象コネクタ１００と電気的に接続される部分を含む領域）には、スリットＳが設けられる。当該スリットＳにより、略Ｕ字形状の舌片３１ａ４が形成される。スリットＳは、両端が閉口端の切れ込み（切れ目）であるが、一端が開口端で他端が閉口端であってもよい。なお、パターン部３１ａ３のｚ方向下側（表側）の面に設けられるパターンは、信号線及び接地線に限るものではない。パターン部３１ａ３のｚ方向下側（表側）の面において、検査対象コネクタ１００と接続する領域（舌片３１ａ４を含む領域）と、コネクタ接続端３１ａ１の前側コネクタ３１ｂが半田付けされる領域にだけ、複数のスルーホール３１ａ５及び接地線が設けられてもよい。この場合、接地線を設けた領域が少なくなるので、接地線のパターンがパターン部３１ａ３のｚ方向下側（表側）の全面に設けられた場合に比べて、安価となる。

　後述する前側プローブ群３１ｇのプローブＰによりｚ方向下側に変位させる量を多くするためには、舌片３１ａ４を形成するスリットＳの長手方向の長さを長くするのが望ましい。一方、信号線の高周波領域での特性が劣化しないようにするためには、舌片３１ａ４を形成するスリットＳの長手方向の長さを短くするのが望ましい。このため、舌片３１ａ４のｚ方向下側への変位量と、信号線の高周波領域での特性とを考慮しながら、舌片３１ａ４を形成するスリットＳの長手方向の長さが決定される。１つの舌片３１ａ４の中には、信号線若しくは接地線若しくは電力線が１つだけが設けられてもよいし、信号線と接地線と電力線の少なくとも一方が複数設けられてもよい。

　また、スリットＳにより形成される舌片３１ａ４は、略Ｕ字形状に限るものではない。パターン部３１ａ３が伸びない状態で、ｚ方向上側から前側プローブ群３１ｇのプローブＰによりｚ方向下側に変位出来る限り、略Ｖ字形状、略Ｃ字形状、略Ｌ字形状、略溝形状など、他の形状であってもよい。

　パターン部３１ａ３のｚ方向上側（裏側）の面、すなわち、検査対象コネクタ１００と電気的に接続される側と反対側には、ｚ方向下側（表側）の面の接地線とは別の接地線若しくは接地面が設けられる。パターン部３１ａ３には、ｚ方向上側の面とｚ方向下側の面とを電気的に接続するためのスルーホール３１ａ５が複数設けられる。なお、図４～図６は、複数のスルーホール３１ａ５が設けられた例を示す。ただし、部材番号「３１ａ５」の矢印線は、複数のスルーホール３１ａ５のうちの１つにだけ指し示されている。

　パターン部３１ａ３にスルーホール３１ａ５が複数設けられていると、パターン部３１ａ３の一面側（他の部材と電気的に接続される側、表側）のみに他の部材が電気的に接続されても、パターン部３１ａ３の他面側（他の部材と電気的に接続される側の反対側、裏側）と他の部材を電気的に接続させることができる。

　また、検査対象コネクタ１００の仕様によって、パターン部３１ａ３のｚ方向上側の面の接地線若しくは接地面、及び複数のスルーホール３１ａ５は省略されてもよい。また、図４～図６以外の図では、パターン部３１ａ３の信号線及び接地線、スリットＳ、舌片３１ａ４、スルーホール３１ａ５の図示を省略している。

　また、検査対象コネクタ１００と接続する領域（舌片３１ａ４を含む領域）と、コネクタ接続端３１ａ１の前側コネクタ３１ｂが半田付けされる領域にだけ、複数のスルーホール３１ａ５及びｚ方向上側（裏側）の接地領域（接地線若しくは接地面）が設けられてもよい。

　（前側コネクタ３１ｂ）
　図７に示すように、前側コネクタ３１ｂは、前側フレキシブル基板３１ａのコネクタ接続端３１ａ１に取り付けられる。前側コネクタ３１ｂは、前側フレキシブル基板３１ａが、不図示の検査装置と電気的に接続するために使用される。

　（前側保持部３１ｃ）
　前側保持部３１ｃは、ｘ方向前側で前側コネクタベース３１ｄを保持する。前側保持部３１ｃは、ｘ方向後側で前側フレキシブル基板３１ａの保持部接続端３１ａ２を保持する。

　（プローブ受け部３１ｃ１）
前側保持部３１ｃのｘ方向後側で且つｚ方向下側には、前側プローブ群３１ｇを保持するプローブ受け部３１ｃ１が設けられる。プローブ受け部３１ｃ１は、樹脂材で形成される。プローブ受部３１ｃ１が樹脂材で形成される場合、プローブ受け部３１ｃ１が金属材で形成される場合に比べて、軽量であり、加工が容易で安価である。なお、プローブ受け部３１ｃ１が金属材で形成されてもよい。

　プローブ受け部３１ｃ１は、ｚ方向に延びる溝（上溝部３１ｃ１１、下溝部３１ｃ１２）及びｚ方向に延びる孔（上孔部３１ｃ１３、下孔部３１ｃ１４）で構成される。上溝部３１ｃ１１と下溝部３１ｃ１２のｘ方向及びｙ方向の幅は、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのバネ収容部（バレル）Ｐ２の外径よりも大きい。上孔部３１ｃ１３の上端は、上溝部３１ｃ１１の下端と連通し、上孔部３１ｃ１３の下端は、下溝部３１ｃ１２の上端と連通する。上孔部３１ｃ１３の内径は、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのバネ収容部Ｐ２の外径よりも大きい。下孔部３１ｃ１４の上端は、下溝部３１ｃ１２の下端と連通し、下孔部３１ｃ１４の下端は、開口する。下孔部３１ｃ１４の内径は、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰの先端部Ｐ１の外径よりも大きく、バネ収容部Ｐ２の外径よりも小さい。

　（プローブ受け部３１ｃ１の形成方法）
　上溝部３１ｃ１１と下溝部３１ｃ１２は、金型により形成される。上孔部３１ｃ１３と下孔部３１ｃ１４の孔は、ピンなどを使って直方体領域に孔を開けることによって形成される。ただし、プローブ受け部３１ｃ１の形成方法は上述のものに限らない。

　（前側フレキシブル基板３１ａの前側保持部３１ｃへの取り付け）
　前側フレキシブル基板３１ａは、以下の２つの条件を満たすように、前側保持部３１ｃに取り付けられる。第１の条件：前側保持部３１ｃのｚ方向下側が、前側フレキシブル基板３１ａのパターン部３１ａ３のｚ方向上側の面と対向する。第２の条件：前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１の下孔部３１ｃ１４のｚ方向下側に、前側フレキシブル基板３１ａのパターン部３１ａ３の信号線及び接地線の端部が位置する。

　（プッシュブロック用溝部３１ｃ２）
　前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１のｚ方向上側には、ｚ方向上側に開口した溝（プッシュブロック用溝部３１ｃ２）が設けられる。プッシュブロック用溝部３１ｃ２には、ｚ方向上側から前側プッシュブロック３１ｉが差し込まれる（図３参照）。

　（ボス３１ｃ３）
　前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１のｚ方向上側には、ｚ方向上側に延びるボス３１ｃ３が設けられる。ボス３１ｃ３は、前側フレキシブル基板３１ａの保持部接続端３１ａ２を掛け止めするために用いられる。

　（前側コネクタベース３１ｄ）
　前側コネクタベース３１ｄは、ｘ方向前側で前側コネクタ３１ｂを保持する。前側コネクタベース３１ｄは、前側保持部３１ｃよりもｘ方向前側に位置し、前側保持部３１ｃに取り付けられる。

　前側フレキシブル基板３１ａと前側コネクタ３１ｂの組立体は、前側保持部３１ｃと前側コネクタベース３１ｄをｘ方向で挟み、且つ前側保持部３１ｃの下端を包むようにして、前側保持部３１ｃ及び前側コネクタベース３１ｄの組立体に取り付けられる。前側保持部３１ｃの前側コネクタベース３１ｄへの取り付けは、ｘ方向後側からのネジ止めによって行われる。

　（前側コネクタ押さえゴム３１ｅ）
　前側コネクタ押さえゴム３１ｅは、前側コネクタ３１ｂと前側コネクタカバー３１ｆの間に設けられる。前側コネクタ押さえゴム３１ｅは、前側コネクタ３１ｂの高さのバラツキによる検査装置との電気的な接続への悪影響を最小にするために用いられる。また、前側コネクタ押さえゴム３１ｅは、当該検査装置から延びるケーブルの前側コネクタ３１ｂとの着脱時に前側コネクタ３１ｂを動きにくくするために用いられる。

　（前側コネクタカバー３１ｆ）
　前側コネクタカバー３１ｆは、前側フレキシブル基板３１ａのパターン部３１ａ３及び前側コネクタ３１ｂのｘ方向前側を覆う。前側コネクタカバー３１ｆの前側コネクタベース３１ｄへの取り付けは、ｘ方向前側からのネジ止めによって行われる。前側コネクタカバー３１ｆと前側コネクタベース３１ｄは、前側コネクタ３１ｂと前側コネクタ押さえゴム３１ｅをｘ方向で挟む。

　（前側プローブ群３１ｇ）
　前側プローブ群３１ｇは、ｚ方向に伸縮するプローブ（伸縮部材）Ｐを複数有する。複数のプローブＰは、ｙ方向に並べられる。前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれは、ｚ方向下側に先端部Ｐ１を有し、先端部Ｐ１よりもｚ方向上側にバネ収容部Ｐ２を有する。バネ収容部Ｐ２には、バネ（不図示）が収容される。先端部Ｐ１は、バネ収容部Ｐ２のバネにより全長が伸びる方向に付勢される。

　前側フレキシブル基板３１ａが前側保持部３１ｃに取り付けられていない状態で、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれが、前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１に載置された場合、プローブＰの先端部Ｐ１は、プローブ受け部３１ｃ１の下端部の孔（下孔部３１ｃ１４）からｚ方向下側に突出する。ただし、下孔部３１ｃ１４と下溝部３１ｃ１２との段差で、バネ収容部Ｐ２が保持されるので、プローブＰは下孔部３１ｃ１４から落下しない。

　前側フレキシブル基板３１ａが前側保持部３１ｃに取り付けられた状態で、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれが、前側保持部３１ｃのプローブ受け部３１ｃ１に載置された場合、プローブＰの先端部Ｐ１は、前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４がある領域の裏側に接する。例えば、複数のプローブＰのうち、第１のプローブＰは、前側フレキシブル基板３１ａの検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域の１つ（舌片３１ａ４の１つ）と接する位置関係にある。また、複数のプローブＰのうち、第１のプローブＰとは別の第２のプローブＰは、前側フレキシブル基板３１ａの検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域の１つ（舌片３１ａ４の１つ）であって、第１のプローブＰに対応する舌片３１ａ４と別の舌片３１ａ４と接する位置関係にある。ただし、プローブＰは軽いので、接するだけであって、舌片３１ａ４をｚ方向下側に殆ど変位させない。

　前側フレキシブル基板３１ａと前側コネクタ３１ｂの組立体の前側保持部３１ｃと前側コネクタベース３１ｄの組立体への取り付けは、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれが、プローブ受け部３１ｃ１に載置された状態で行われる。

　（前側第２バネ３１ｈ、前側プッシュブロック３１ｉ）
　前側プッシュブロック３１ｉは、ｚ方向に移動可能な状態で、ｚ方向上側から前側保持部３１ｃの溝（プッシュブロック用溝部３１ｃ２）に差し込まれる。前側プッシュブロック３１ｉは、前側プローブ群３１ｇを構成するプローブＰのそれぞれをｚ方向下側に押し下げるために使用される。すなわち、前側プローブ群３１ｇを構成する複数のプローブＰは、前側フレキシブル基板３１ａと前側プッシュブロック３１ｉの間に設けられる。
　前側保持部３１ｃと前側プッシュブロック３１ｉの間には、前側第２バネ３１ｈが設けられる。前側第２バネ３１ｈは、前側プッシュブロック３１ｉを、前側保持部３１ｃからｚ方向に離れるように付勢する。

　ｚ方向で縮む方向に力が加えられた時、第１バネ１３のｚ方向の圧縮が完了した後に、前側第２バネ３１ｈ及び後述する後側第２バネ３２ｈのｚ方向の圧縮が完了するように、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈのバネ特性（バネ圧、バネ定数など）が設定される。すなわち、第１バネ１３が縮んだ後に、前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈが縮む。

　すなわち、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａと検査対象コネクタ１００を接続させるとき、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈとによって、以下のように、フローティングガイド１１と前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａが動作制御される。フローティングガイド１１と前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａとの第１距離ｄ１が短くなった後に、前側プッシュブロック３１ｉと前側フレキシブル基板３１ａとの第２距離ｄ２が短くなり、略同じタイミングで、後側プッシュブロック３２ｉと後側フレキシブル基板３２ａとの第２距離ｄ２が短くなる。

　例えば、第１距離ｄ１は、フローティングガイド１１の下端部（検査対象コネクタ１００が挿入される開口領域）と、前側フレキシブル基板３１ａの下端部（パターン部３１ａ３の検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域）とのｚ方向の距離である。例えば、第２距離ｄ２は、前側プッシュブロック３１ｉの下端部（前側プローブ群３１ｇと接する領域）と、前側フレキシブル基板３１ａの下端部（パターン部３１ａ３の検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域）とのｚ方向の距離である（図９参照）。

　このため、検査対象コネクタ１００にｚ方向上側から検査治具１を押し込むなど、ｚ方向で縮む方向に力を加えても、第１バネ１３が縮まない限り、前側第２バネ３１ｈによって、前側プッシュブロック３１ｉと前側保持部３１ｃは離れた状態が維持され、後側第２バネ３２ｈによって、後側プッシュブロック３２ｉと後側保持部３２ｃは離れた状態が維持される。

　（後側基板組立体３２）
　後側基板組立体３２は、後側フレキシブル基板（可撓性基板）３２ａ、後側コネクタ３２ｂ、後側保持部３２ｃ、後側コネクタベース３２ｄ、後側コネクタ押さえゴム３２ｅ、後側コネクタカバー３２ｆ、後側プローブ群３２ｇ、後側第２バネ３２ｈ、後側プッシュブロック（第２可動部材）３２ｉを有する。

　ｘ方向の向きが反転していること以外、後側基板組立体３２の構成は、前側基板組立体３１の構成と同様である。後側基板組立体３２の後側フレキシブル基板３２ａは、前側基板組立体３１の前側フレキシブル基板３１ａに相当する。後側基板組立体３２の後側コネクタ３２ｂは、前側基板組立体３１の前側コネクタ３１ｂに相当する。後側基板組立体３２の後側保持部３２ｃは、前側基板組立体３１の前側保持部３１ｃに相当する。後側基板組立体３２の後側コネクタベース３２ｄは、前側基板組立体３１の前側コネクタベース３１ｄに相当する。後側基板組立体３２の後側コネクタ押さえゴム３２ｅは、前側基板組立体３１の前側コネクタ押さえゴム３１ｅに相当する。後側基板組立体３２の後側コネクタカバー３２ｆは、前側基板組立体３１の前側コネクタカバー３１ｆに相当する。後側基板組立体３２の後側プローブ群３２ｇは、前側基板組立体３１の前側プローブ群３１ｇに相当する。後側基板組立体３２の後側第２バネ３２ｈは、前側基板組立体３１の前側第２バネ３１ｈに相当する。後側基板組立体３２の後側プッシュブロック３２ｉは、前側基板組立体３１の前側プッシュブロック３１ｉに相当する。

　（水平位置調整部４０）
　水平位置調整部４０は、第３バネ（第３弾性部材）４１、支持部（第３可動部材）４３、ブラケット４５を有する（図１参照）。

　（第３バネ４１、支持部４３）
　支持部４３は、ｙ方向に２つ設けられる。２つの支持部４３のそれぞれは、環状コイルスプリング（不図示）を内蔵する。

　支持部４３は、前側基板組立体３１の前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４がある領域、及び後側基板組立体３２の後側フレキシブル基板３２ａの舌片がある領域に関する、検査対象コネクタ１００の電極とｚ方向で対向する位置からのズレを吸収するために使用される。

　例えば、前側基板組立体３１の前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４がある領域、及び後側基板組立体３２の後側フレキシブル基板３２aの舌片がある領域が、検査対象コネクタ１００の電極とｚ方向で対向する位置からｘｙ平面上でずれているとする。この場合、検査治具１が検査対象コネクタ１００に取り付けられる時に、水平位置調整部４０が移動せずに、コネクタ接触部１０と基板保持部２０と基板部３０が、ｘｙ平面上を移動することができる。

　支持部４３の上側保持部２３への取り付けは、ｚ方向下側からのネジ止めによって行われる。支持部４３と上側保持部２３との間には、第３バネ４１が設けられる。第３バネ４１は、支持部４３を、上側保持部２３からｚ方向に離れるように付勢する。

　ｚ方向で縮む方向に力が加えられた時、第１バネ１３、前側第２バネ３１ｈ、及び後側第２バネ３２ｈのｚ方向の圧縮が完了した後に、第３バネ４１のｚ方向の圧縮が完了するように、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈと第３バネ４１のバネ特性（バネ圧、バネ定数など）が設定される。すなわち、第１バネ１３、前側第２バネ３１ｈ、及び後側第２バネ３２ｈが縮んだ後に、第３バネ４１が縮む。

　すなわち、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａと検査対象コネクタ１００を接続させるとき、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈと第３バネ４１とによって、以下のように、フローティングガイド１１、前側プッシュブロック３１ｉ、後側プッシュブロック３２ｉ、支持部４３が動作制御される。フローティングガイド１１と前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａの第１距離ｄ１が短くなった後に、前側プッシュブロック３１ｉと前側フレキシブル基板３１ａの第２距離ｄ２が短くなり、略同じタイミングで、後側プッシュブロック３２ｉと後側フレキシブル基板３２ａの第２距離ｄ２が短くなる。前側プッシュブロック３１ｉと前側フレキシブル基板３１ａの第２距離ｄ２が短くなり、後側プッシュブロック３２ｉと後側フレキシブル基板３２ａの第２距離ｄ２が短くなった後に、支持部４３と前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａの第３距離ｄ３が短くなる。

　例えば、第３距離ｄ３は、支持部４３の下端部（上側保持部２３とｚ方向で対向する領域）と、前側フレキシブル基板３１ａの下端部（パターン部３１ａ３の検査対象コネクタ１００と電気的に接続される領域）とのｚ方向の距離である。

　このため、検査対象コネクタ１００にｚ方向上側から検査治具１を押し込むなど、ｚ方向で縮む方向に力を加えても、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈが縮まない限り、第３バネ４１によって、支持部４３と上側保持部２３は離れた状態が維持される。

　バネ特性の例としては、第３バネ４１のバネ圧は、前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈのバネ圧よりも高く、前側第２バネ３１ｈ及び後側第２バネ３２ｈのバネ圧は、第１バネ１３のバネ圧よりも高くなるように、各バネのバネ特性が設定される形態が考えられる。

　また、バネ特性の例としては、２つの第３バネ４１の合成バネ定数（弾性係数）は、２つの前側第２バネ３１ｈ及び２つの後側第２バネ３２ｈの合成バネ定数（弾性係数）よりも大きく、２つの前側第２バネ３１ｈ及び２つの後側第２バネ３２ｈの合成バネ定数（弾性係数）は、２つの第１バネ１３の合成バネ定数（弾性係数）よりも大きくなるように、各バネのバネ特性が設定される形態が考えられる。

　（ブラケット４５）
　ブラケット４５は、検査装置、工作機械など、検査治具１を保持し、移動させる装置（不図示）に取り付けられる。ブラケット４５は、２つの支持部４３のｚ方向上側に取り付けられる。ブラケット４５の支持部４３への取り付けは、ｚ方向上側からのネジ止めによって行われる。

　図９～図１０に示すように、第１バネ１３の一部が外部から見えるように、且つ前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈは殆ど外部から見えないように（ｘ方向前側及びｘ方向後側から見えないように）、第１バネ１３と前側第２バネ３１ｈと後側第２バネ３２ｈが配置される。また、第３バネ４１は、伸びた状態において、少なくとも第３バネ４１の一部が外部から見えるように配置される。

　（各部の材料、金属部品、樹脂部品）
　検査治具１を構成する部材のうち、前側フレキシブル基板３１ａなどの導通される領域、前側プローブ群３１ｇ、後側プローブ群３２ｇ、ネジは、金属で構成される。検査治具１を構成するその他の部材は、樹脂など非導電性部材で構成される。

　（検査治具１の検査対象コネクタ１００への接続手順）
　次に、検査治具１をｚ方向上側からｚ方向下側に移動させて、検査対象コネクタ１００に接続させる際の、第１バネ１３の伸縮状態の変化などを説明する（図１１～図１７）。

　なお、後側第２バネ３２ｈは、図１１、図１３～図１５、図１７のｙｚ断面構成図では図示されていない。しかしながら、後側第２バネ３２ｈは、前側第２バネ３１ｈのｘ方向後側に位置しており、前側第２バネ３１ｈと同じように伸縮する。また、後側プッシュブロック３２ｉは、図１１、図１３～図１５、図１７のｙｚ断面構成図では図示されていない。しかしながら、後側プッシュブロック３２ｉは、前側プッシュブロック３１ｉのｘ方向後側に位置しており、前側プッシュブロック３１ｉと同じように移動する。また、後側プローブ群３２ｇは、図１１、図１３～図１５、図１７のｙｚ断面構成図では図示されていない。しかしながら、後側プローブ群３２ｇは、前側プローブ群３１ｇのｘ方向後側に位置しており、前側プローブ群３１ｇと同じように動作する。また、後側フレキシブル基板３２ａの舌片は、図示されていない。しかしながら、後側フレキシブル基板３２ａの舌片は、前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４のｘ方向後側に位置しており、前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４と同じように変位する。

　図１１に示すように、検査治具１が検査対象コネクタ１００と接触する前は、第１バネ１３、前側第２バネ３１ｈ、後側第２バネ３２ｈ、第３バネ４１は、伸びた状態であり、第１距離ｄ１と第２距離ｄ２と第３距離ｄ３はいずれも短くなっていない（第１状態）。このとき、前側プローブ群３１ｇを構成のプローブＰのｚ方向下側の先端部Ｐ１は、前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４に接する（図１２参照）。しかしながら、プローブＰは軽いので、前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４はｚ方向下側に殆ど押し下げられない。同様に、後側プローブ群３２ｇを構成のプローブＰのｚ方向下側の先端部Ｐ１は、後側フレキシブル基板３２ａの舌片に接する。しかしながら、プローブＰは軽いので、後側フレキシブル基板３２ａの舌片はｚ方向下側に殆ど押し下げられない。

　図１３に示すように、検査治具１のフローティングガイド１１の孔に、検査対象コネクタ１００が嵌め込まれた直後は、第１バネ１３、前側第２バネ３１ｈ、後側第２バネ３２ｈ、第３バネ４１は、伸びた状態であり、第１距離ｄ１と第２距離ｄ２と第３距離ｄ３はいずれも短くなっていない（第２状態）。このとき、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａは、検査対象コネクタ１００と接触していない。

　図１４に示すように、第２状態から、検査治具１がｚ方向下側に更に移動すると、第１バネ１３がｚ方向に縮み、下側保持部２１がフローティングガイド１１に近づけられる（第３状態）。

　このとき、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａは、検査対象コネクタ１００と近接した状態になる。このため、第３状態の第１距離ｄ１は、第２状態の第１距離ｄ１と比べて短くなる。ただし、前側第２バネ３１ｈ、後側第２バネ３２ｈ、第３バネ４１は、殆ど縮んでいない。このため、第３状態の第２距離ｄ２は、第２状態の第２距離ｄ２と比べて殆ど短くなっていない。第３状態の第３距離ｄ３は、第２状態の第３距離ｄ３と比べて殆ど短くなっていない。

　図１５に示すように、第３状態から、検査治具１がｚ方向下側に更に移動すると、前側第２バネ３１ｈがｚ方向に縮み、前側プッシュブロック３１ｉが前側保持部３１ｃに近づけられる（第４状態）。同様に、後側第２バネ３２ｈがｚ方向に縮み、後側プッシュブロック３２ｉが後側保持部３２ｃに近づけられる。

　また、前側プッシュブロック３１ｉがｚ方向下側に移動することにより、前側プローブ群３１ｇのプローブＰがｚ方向下側に移動し、プローブＰの先端部Ｐ１が前側フレキシブル基板３１ａの裏側（ｚ方向上側）を押す。これにより、前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４がｚ方向下側に押し下げられる（図１６参照）。すなわち、前側プローブ群３１ｇのプローブＰにより、前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４が、検査対象コネクタ１００の電極に近づけられる。同様に、後側プッシュブロック３２ｉがｚ方向下側に移動することにより、後側プローブ群３２ｇのプローブＰがｚ方向下側に移動し、プローブＰの先端部Ｐ１が後側フレキシブル基板３２ａの裏側（ｚ方向上側）を押す。これにより、後側フレキシブル基板３２ａの舌片がｚ方向下側に押し下げられる。すなわち、後側プローブ群３２ｇのプローブＰにより、後側フレキシブル基板３２ａの舌片が、検査対象コネクタ１００の電極に近づけられる。

　これにより、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａは、検査対象コネクタ１００と電気的に接続した状態になる。また、第４状態の第１距離ｄ１は、第３状態の第１距離ｄ１と比べてさらに短くなる。また、前側プッシュブロック３１ｉ及び後側プッシュブロック３２ｉは、ｚ方向の移動可能範囲の最下端に押し下げられる。このため、第４状態の第２距離ｄ２は、第３状態の第２距離ｄ２とくらべて短くなる。ただし、第３バネ４１は、殆ど縮んでいない。このため、第４状態の第３距離ｄ３は、第３状態の第３距離ｄ３と比べて殆ど短くなっていない。

　図１７に示すように、第４状態から、検査治具１がｚ方向下側に更に移動すると、第３バネ４１がｚ方向に縮み、支持部４３及びブラケット４５が上側保持部２３に近づけられる（第５状態）。このとき、支持部４３は、上側保持部２３と近接した状態になる。このため、第５状態の第３距離ｄ３は、第４状態の第３距離ｄ３と比べて短くなる。

　前側第２バネ３１ｈ、及び後側第２バネ３２ｈが縮んだ状態になったか否かは、ｘ方向前側及びｘ方向後側からは視認出来ない。また、前側プッシュブロック３１ｉ、及び後側プッシュブロック３２ｉがｚ方向下側に移動したか否かは、ｘ方向前側及びｘ方向後側からは視認出来ない。しかしながら、第３バネ４１の一部は、少なくとも伸びた状態の時に外部から視認出来る。このため、第３バネ４１がある領域を外部から見ることで、第３バネ４１が大きく縮み始めたか否か、すなわち、前側プッシュブロック３１ｉなどのｚ方向下側への移動が完了して、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａが、検査対象コネクタ１００と電気的に接続した状態になったか否かを確認することが出来る。

　（検査治具１で２段階の弾性部材を用いることの効果）
　先に、フローティングガイド１１を介して、検査対象コネクタ１００を前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａに近接させてから、前側プッシュブロック３１ｉ、後側プッシュブロック３２ｉ、プローブＰなどを使って、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａを検査対象コネクタ１００に接続させる。このため、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａを大きく変形或いは変位させずに、検査治具１に含まれる前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａと検査対象コネクタ１００との電気的な接続が可能になる。すなわち、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａを含む検査治具１が破損しにくい状態で、検査治具１に含まれる前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａと検査対象コネクタ１００との電気的な接続が可能になる。

　（支持部４３とブラケット４５を設けることの効果）
　支持部４３、ブラケット４５などを介して、工作機械などに検査治具１を取り付けることが可能になる。

　（第３バネ４１を見える箇所に配置することの効果）
　第１バネ１３、前側第２バネ３１ｈ、後側第２バネ３２ｈの圧縮が完了した後に、圧縮による縮みが大きくなる第３バネ４１の伸縮度合いを見て、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａと検査対象コネクタ１００の接続が完了したか否かを判断することが可能になる。このため、必要最小限の力を前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａに加えるだけで、前側フレキシブル基板３１ａ及び後側フレキシブル基板３２ａを検査対象コネクタ１００に接続させることが可能になる。

　（複数の可撓性基板を設けることの効果）
　電極が複数列に並べられた検査対象コネクタ１００を、複数の可撓性基板（前側フレキシブル基板３１ａ、後側フレキシブル基板３２ａ）に電気的に接続させることが可能になる。また、当該複数列の間隔に応じて、複数の可撓性基板（前側フレキシブル基板３１ａ、後側フレキシブル基板３２ａ）の間隔を調整した状態で、検査治具１を構成することが可能になる。

　（プローブＰで個別に押し当てを行うことの効果）
　信号線若しくは接地線における、検査対象コネクタ１００と接触する部分（電極）の高さのバラツキを考慮して、電極ごとに個別にプローブＰなどの伸縮部材を押し当て、それぞれの電極の検査対象コネクタ１００との接続を確実に行うことが可能になる。

　（前側フレキシブル基板３１ａ、後側フレキシブル基板３２ａに舌片を設けることの効果）
　電極の高さのバラツキを吸収するため、プローブＰなどの伸縮部材が押し当てられて、部分的に力が加わった場合、力が加わった部分を含む領域に形成された前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４が、スリットＳを介して、前側フレキシブル基板３１ａの舌片３１ａ４に隣接する他の領域から離れて、当該押された方向（ｚ方向下側）に変位する。また、力が加わった部分を含む領域に形成された後側フレキシブル基板３２ａの舌片が、スリットＳを介して、後側フレキシブル基板３２ａの舌片に隣接する他の領域から離れて、当該押された方向（ｚ方向下側）に変位する。このため、舌片を設けない場合に比べて、変位しても可撓性基板（前側フレキシブル基板３１ａ、後側フレキシブル基板３２ａ）が破損しにくい。

　（１つの舌片に複数の電極を含めることの効果）
　１つの舌片３１ａ４に１つの電極だけを設ける形態に比べて、スリットＳの数を少なく出来るので、狭い領域などに舌片３１ａ４の形成が容易になる。後側フレキシブル基板３２ａの舌片についても同様である。

　（端部を電極として使用することの効果）
　信号線の途中で他の部材との電気的な接続が行われた場合には、当該接続箇所と端部との間がアンテナとして機能してノイズの受発信が行われるおそれがある。端部の近傍で他の部材との電気的な接続を行うことにより、ノイズの受発信を少なくすることが可能になる。なお、接地線の途中で他の部材との電気的な接続が行われた場合には、インピーダンスの整合が崩れるおそれがある。

　（可撓性基板の形状の応用例）
　本実施形態では、可撓性基板（前側フレキシブル基板３１ａ、後側フレキシブル基板３２ａ）は、１枚のフレキシブル基板で構成される例を説明した。しかしながら、当該可撓性基板は、複数のフレキシブル基板で構成されてもよい（図１８～図２１参照）。

　例えば、前側フレキシブル基板３１ａは、ＲＦライン用に信号線を含む第１フレキシブル基板３１１ａと、接地ライン用に接地線を含む第２フレキシブル基板３１２ａと、電源ライン用に電力線を含む第３フレキシブル基板３１３ａを有する。第１フレキシブル基板３１１ａ、第２フレキシブル基板３１２ａ、第３フレキシブル基板３１３ａは、別体で構成される。第１フレキシブル基板３１１ａ、第２フレキシブル基板３１２ａ、第３フレキシブル基板３１３ａのそれぞれは、コネクタ接続端（一方の端部）３１ａ１、保持部接続端（他方の端部）３１ａ２、パターン部３１ａ３を有する。また、第１フレキシブル基板３１１ａ、第２フレキシブル基板３１２ａ、第３フレキシブル基板３１３ａのそれぞれのパターン部３１ａ３には、舌片３１ａ４が形成される。また、第１フレキシブル基板３１１ａのコネクタ接続端３１ａ１には、スルーホール３１ａ５が設けられる。また、第２フレキシブル基板３１２ａのパターン部３１ａ３には、スルーホール３１ａ５が設けられる。

　保持部接続端３１ａ２と前側保持部３１ｃの掛け止めは、以下のように行われる。図２０に示すように、前側保持部３１ｃのｘ方向後側には、複数の上突起３１ｃ４と複数の下突起３１ｃ５が設けられる。下突起３１ｃ５には、保持部接続端３１ａ２に設けられたくびれ形状部分が嵌め込まれる。上突起３１ｃ４には、保持部接続端３１ａ２の当該くびれ形状部分よりも先端側に設けられた孔が嵌め込まれる。上突起３１ｃ４は、保持部接続端３１ａ２の固定の位置出し（長手方向の位置決め）、及び当該固定の際のｘ方向の位置決めに用いられる。下突起３１ｃ５は、上突起３１ｃ４よりもｚ方方向下側に位置し、当該固定の際のｙ方向の位置決めに用いられる。上突起３１ｃ４と比べて舌片３１ａ４に近い下突起３１ｃ５で、ｙ方向の位置決めが行われるので、舌片３１ａ４から離れた位置でｙ方向の位置決めをする形態に比べて、前側フレキシブル基板３１ａの正確な位置決めが可能になる。

　（可撓性基板が複数のフレキシブル基板で構成されていることの効果）
　別体で構成することにより、様々な形状のコネクタ（前側コネクタ３１ｂ、後側コネクタ３２ｂ）、検査装置、及び検査対象コネクタ１００に対応して共用出来るフレキシブル基板を用い易くなる。これにより、特別な形状のフレキシブル基板を個別に用意するケースが少なくなり、製作コストなどの経費削減に貢献出来る。また、別体で構成することにより、１つのフレキシブル基板の一部箇所に幅広部分があって、同一平面上では他のフレキシブル基板と物理的な干渉が生じる場合でも、当該一部箇所が物理的に干渉しないようにずらすことが可能になる。

　図１８～図２１の例では、第１フレキシブル基板３１１ａの一部箇所（コネクタ接続端３１ａ１）に幅広部分がある。このため、第１フレキシブル基板３１１ａのコネクタ接続端３１ａ１は、第２フレキシブル基板３１２ａ及び第３フレキシブル基板３１３ａのコネクタ接続端３１ａ１と、物理的な干渉を避けて同一平面上に構成するのが容易ではない。しかしながら、第１フレキシブル基板３１１ａ、第２フレキシブル基板３１２ａ、第３フレキシブル基板３１３ａは、別体で構成されるので、第１フレキシブル基板３１１ａのパターン部３１ａ３を折り曲げない状態で、第２フレキシブル基板３１２ａ及び第３フレキシブル基板３１３ａのパターン部３１ａ３を折り曲げることが出来る。これにより、第１フレキシブル基板３１１ａのコネクタ接続端３１ａ１は、第２フレキシブル基板３１２ａ及び第３フレキシブル基板３１３ａのコネクタ接続端３１ａ１との物理的な干渉を避けて、異なる平面上に構成することが出来る。

　（可撓性基板を用いることの効果）
　本実施形態では、前側コネクタ３１ｂ若しくは後側コネクタ３２ｂと電気的に接続する基板として、可撓性基板（前側フレキシブル基板３１ａ、後側フレキシブル基板３２ａ）が用いられる。このため、半田付けなどで、前側コネクタ３１ｂ若しくは後側コネクタ３２ｂの線と、可撓性基板の線との電気的な接続を行う際に、可撓性基板を曲げることで、当該２本の線が接続する領域で当該２本の線が交わる角度を自由に設定出来る。例えば、当該２本の線が接続する領域で当該２本の線が略同一直線上に位置する状態で、電気的な接続が行われる。この場合、当該２本の線が接続する領域で当該２本の線が直交する位置関係で、電気的な接続が行われる形態に比べて、反射作用などの高周波特性の悪化を生じにくく出来る。

　本実施形態では、前側フレキシブル基板３１ａのコネクタ接続端３１ａ１で、パターン部３１ａ３から延びる線（前側フレキシブル基板３１ａにおける検査対象コネクタ１００と電気的に接続する領域から延びる線）と、コネクタ接続端３１ａ１に取り付けられる前側コネクタ３１ｂの線（前側フレキシブル基板３１ａの一方の端部に取り付けられる部材の線）とが、同一直線上に位置する状態で、電気的に接続される。同様に、後側フレキシブル基板３２ａのコネクタ接続端で、パターン部から延びる線（後側フレキシブル基板３２ａにおける検査対象コネクタ１００と電気的に接続する領域から延びる線）と、コネクタ接続端に取り付けられる後側コネクタ３２ｂの線（後側フレキシブル基板３２ａの一方の端部に取り付けられる部材の線）とが、同一直線上に位置する状態で、電気的に接続される。

　図２１は、前側フレキシブル基板３１ａのコネクタ接続端３１ａ１で、前側フレキシブル基板３１ａの第１フレキシブル基板３１１ａの線（信号線３１１ａ１）と、前側コネクタ３１ｂの第１フレキシブル基板３１ａと接続するためのものの接続端子３１ｂ１とが、略平行、すなわち略同一直線上に位置する状態で、電気的な接続がされた例を示す。パターン部３１ａ３から延びる線における、前側コネクタ３１ｂの線と接続する領域と、前側コネクタ３１ｂの線における、パターン部３１ａ３から延びる線と接続する領域とは、同じ方向に沿って延びる。例えば、第１フレキシブル基板３１１ａのパターン部３１ａ３から延びる線（信号線３１１ａ１）と前側コネクタ３１ｂの線（接続端子３１ｂ１）とは、当該２つの線が接続する領域で所定の方向ｄｒに沿って延びる。当該所定の方向ｄｒは、ｘ方向後側で且つｚ方向下側の領域とｘ方向前側で且つｚ方向上側の領域を結ぶ線に平行であり、ｙｚ平面及びｘｙ平面と所定の角度をなす。

　（その他の実施形態、プローブ以外の伸縮部材）
　本実施形態では、前側フレキシブル基板３１ａを裏側（ｚ方向上側）からｚ方向下側に押す伸縮部材、及び後側フレキシブル基板３２ａを裏側（ｚ方向上側）からｚ方向下側に押す伸縮部材として、プローブＰを用いる形態を説明した。しかしながら、ｚ方向に伸縮可能な部材であれば、プローブＰに限らず、他の弾性部材が用いられてもよい。

　（その他の実施形態、プローブが２列に限らない）
　本実施形態では、前側プローブ群３１ｇと後側プローブ群３２ｇがｘ方向に並べられる、すなわち、ｙ方向に並べられたプローブ群がｘ方向に２列並べられる形態を説明した。しかしながら、プローブ群の列の数は、検査対象コネクタ１００の電極の配置に応じて、１列、若しくは３列以上であってもよい。

　（その他の実施形態、バネ以外の弾性部材）
　本実施形態では、フローティングガイド１１と下側保持部２１の間に第１バネ１３が設けられ、前側保持部３１ｃと前側プッシュブロック３１ｉの間に前側第２バネ３１ｈが設けられ、後側保持部３２ｃと後側プッシュブロック３２ｉの間に後側第２バネ３２ｈが設けられ、上側保持部２３と支持部４３の間に第３バネ４１が設けられる形態を説明した。しかしながら、ｚ方向に伸縮可能な部材であれば、バネに限らず、他の弾性部材が用いられてもよい。

　本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態及びその変形は、発明の範囲及び要旨に含まれると同様に、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

　本明細書によれば、以下の態様が提供される。
　（態様１）
　可撓性基板は、一方の端部と、他方の端部と、少なくとも、一方の端部と他方の端部の間に形成されるパターン部と、を備える。パターン部は、切れ込みにより形成される舌片を有する。舌片は、他の部材と電気的に接続される。

　プローブなどの伸縮部材が押しつけられて、部分的に力が加わった場合、力が加わった部分を含む領域に形成された可撓性基板の舌片が、切れ込みを介して、可撓性基板の舌片に隣接する他の領域から離れて、当該押された方向に変位する。
　このため、舌片を設けない場合に比べて、部分的に力が加わっても可撓性基板が破損しにくい。

　（態様２）
　好ましくは、舌片には、他の部材と電気的に接続される部分が複数設けられる。

　１つの舌片に１つの電極だけを設ける形態に比べて、切れ込みの数を少なく出来るので、狭い領域などに舌片の形成が容易になる。

　（態様３）
　さらに好ましくは、舌片は、信号線の端部に形成される。

　信号線の途中で他の部材との電気的な接続が行われた場合には、当該接続箇所と端部との間がアンテナとして機能してノイズの受発信が行われるおそれがある。端部の近傍で他の部材との電気的な接続を行うことにより、ノイズの受発信を少なくすることが可能になる。

　（態様４）
　さらに好ましくは、パターン部には、他の部材と電気的に接続される側と、他の部材と電気的に接続される側の反対側と、を電気的に接続するスルーホールが複数設けられる。

　可撓性基板では、一面側に信号線を設けて他面側に接地線を設けた構造をとることが多い。パターン部にスルーホールが複数設けられていると、パターン部の一面側（他の部材と電気的に接続される側）のみに他の部材が電気的に接続されても、パターン部の他面側（他の部材と電気的に接続される側の反対側）と他の部材を電気的に接続させることができる。

　（態様５）
　さらに好ましくは、一方の端部では、パターン部から延びる線と、一方の端部に取り付けられる部材の線とが、同一直線上に位置する状態で、電気的に接続される。

　（態様６）
　さらに好ましくは、態様１～４のいずれかの可撓性基板と、伸縮部材と、を備える。伸縮部材が、他の部材と電気的に接続される部分を含む領域の裏側を押すことで、舌片が他の部材の電気的に接続される。

　（態様７）
　さらに好ましくは、検査治具は、第１可動部材を備える。他の部材は、第１可動部材を介して、可撓性基板に近づけられる。舌片は、伸縮部材により他の部材に近づけられる。

　第１可動部材を介して、他の部材を可撓性基板に近接させ、プローブなどの伸縮部材を使って、可撓性基板の舌片を他の部材に接続させる。このため、可撓性基板を大きく動かさずに、すなわち、可撓性基板が破損しにくい状態で、検査治具に含まれる可撓性基板と他の部材との電気的な接続が可能になる。

　１　検査治具、１０　コネクタ接触部、１１　フローティングガイド（第１可動部材）　１１ａ　ガイド部、１３　第１バネ（第１弾性部材）、２０　基板保持部、２１　下側保持部（ピンブロックフレーム）、２３　上側保持部（接続板）、３０　基板部、３１　前側基板組立体、３１ａ　前側フレキシブル基板（可撓性基板）、３１１ａ　第１フレキシブル基板、３１１ａ１　信号線、３１２ａ　第２フレキシブル基板、３１３ａ　第３フレキシブル基板、３１ａ１　コネクタ接続端、３１ａ２　保持部接続端、３１ａ２１　孔、３１ａ３　パターン部、３１ａ４　舌片、３１ａ５　スルーホール、３１ｂ　前側コネクタ、３１ｂ１　接続端子、３１ｃ　前側保持部、３１ｃ１　プローブ受け部、３１ｃ１１　上溝部、３１ｃ１２　下溝部、３１ｃ１３　上孔部、３１ｃ１４　下孔部、３１ｃ２　プッシュブロック用溝部、３１ｃ３　ボス、３１ｃ４　上突起、３１ｃ５　下突起、３１ｄ　前側コネクタベース、３１ｅ　前側コネクタ押さえゴム、３１ｆ　前側コネクタカバー、３１ｇ　前側プローブ群、３１ｈ　前側第２バネ（第２弾性部材）、３１ｉ　前側プッシュブロック（第２可動部材）、３２　後側基板組立体、３２ａ　後側フレキシブル基板（可撓性基板）、３２ｂ　後側コネクタ、３２ｃ　後側保持部、３２ｄ　後側コネクタベース、３２ｅ　後側コネクタ押さえゴム、３２ｆ　後側コネクタカバー、３２ｇ　後側プローブ群、３２ｈ　後側第２バネ（第２弾性部材）、３２ｉ　後側プッシュブロック（第２可動部材）、４０　水平位置調整部、４１　第３バネ、４３　支持部、４５　ブラケット、１００　検査対象コネクタ、ｄ１　第１距離、ｄ２　第２距離、ｄ３　第３距離、ｄｒ　所定の方向、Ｐ　プローブ（伸縮部材）、Ｐ１　先端部、Ｐ２　バネ収容部、Ｓ　スリット

Claims

　一方の端部と、
　他方の端部と、
　少なくとも、前記一方の端部と前記他方の端部の間に形成されるパターン部と、を備え、
　前記パターン部は、切れ込みにより形成される舌片を有し、
　前記舌片は、他の部材と電気的に接続される、可撓性基板。
　前記舌片には、前記他の部材と電気的に接続される部分が複数設けられる、請求項１に記載の可撓性基板。
　前記舌片は、信号線の端部に形成される、請求項１または請求項２のいずれかに記載の可撓性基板。
　前記パターン部には、前記他の部材と電気的に接続される側と、前記他の部材と電気的に接続される側の反対側と、を電気的に接続するスルーホールが複数設けられる、請求項１～請求項３のいずれかに記載の可撓性基板。
　前記一方の端部では、前記パターン部から延びる線と、前記一方の端部に取り付けられる部材の線とが、同一直線上に位置する状態で、電気的に接続される、請求項１～請求項４のいずれかに記載の可撓性基板。
　請求項１～請求項５のいずれかに記載の可撓性基板と、
　伸縮部材と、を備え、
　前記伸縮部材が、前記他の部材と電気的に接続される部分を含む領域の裏側を押すことで、前記舌片が前記他の部材の電気的に接続される、検査治具。
　第１可動部材を備え、
　前記他の部材は、前記第１可動部材を介して、前記可撓性基板に近づけられ、
　前記舌片は、前記伸縮部材により前記他の部材に近づけられる、請求項６に記載の検査治具。