JPH0797114B2 - プローブ - Google Patents
プローブInfo
- Publication number
- JPH0797114B2 JPH0797114B2 JP20823493A JP20823493A JPH0797114B2 JP H0797114 B2 JPH0797114 B2 JP H0797114B2 JP 20823493 A JP20823493 A JP 20823493A JP 20823493 A JP20823493 A JP 20823493A JP H0797114 B2 JPH0797114 B2 JP H0797114B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- conductor pattern
- electrodes
- under test
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高密度電子デバイスの
電気的特性の測定に用いるプローブに係り、特にいわゆ
る触針が横一列に配列されるタイプのプローブの改良に
関する。
電気的特性の測定に用いるプローブに係り、特にいわゆ
る触針が横一列に配列されるタイプのプローブの改良に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のプローブは、例えば図７（ａ）や
図８（ａ）に示すように、プローブ本体５１の幅方向に
多数の金属線を等間隔で横一列に埋設し、それら金属線
の一端（図中左方）をいわゆる触針（５２1 〜５２n ）
とし、他端（図中右方）を測定装置との接続用リード
（５３1 〜５３n ）としたもので、触針の針形状には鈎
針状のもの（図７（ａ））や棒針状のもの（図８
（ａ））等各種のものがある。
図８（ａ）に示すように、プローブ本体５１の幅方向に
多数の金属線を等間隔で横一列に埋設し、それら金属線
の一端（図中左方）をいわゆる触針（５２1 〜５２n ）
とし、他端（図中右方）を測定装置との接続用リード
（５３1 〜５３n ）としたもので、触針の針形状には鈎
針状のもの（図７（ａ））や棒針状のもの（図８
（ａ））等各種のものがある。
【０００３】このブローブは、例えば図７（ｂ）や図８
（ｂ）に示すように、接続用リード５３側のプローブ本
体５１の上端を回動可能に支持して多数の触針５２を一
体的に図示矢印の向きに回動させ、各触針５２の先端を
被試験体５４の対応する電極５５に圧接し、接続用リー
ド５３を測定装置に接続して被試験体５４の各種試験を
行うために使用される。
（ｂ）に示すように、接続用リード５３側のプローブ本
体５１の上端を回動可能に支持して多数の触針５２を一
体的に図示矢印の向きに回動させ、各触針５２の先端を
被試験体５４の対応する電極５５に圧接し、接続用リー
ド５３を測定装置に接続して被試験体５４の各種試験を
行うために使用される。
【０００４】なお、被試験体５４は、例えば高密度化さ
れた液晶パネル、ＦＡＸや感熱式複写機のサーマルヘッ
ド等であるが、電極数は相当に多いので、実際には複数
のプローブを並設して並列的に回動させるのである。
れた液晶パネル、ＦＡＸや感熱式複写機のサーマルヘッ
ド等であるが、電極数は相当に多いので、実際には複数
のプローブを並設して並列的に回動させるのである。
【０００５】従って、この種のプローブでは、各触針の
先端位置は同一平面上となるように調節設定され、また
各触針は弾性力による所定の接触圧を確保するために所
定の長さに設定されるが、被試験体５４は高密度化され
た液晶パネル等の高密度電子デバイスであるので、触針
となる金属線は極細のもので、しかもそれらを１００μ
ｍや２００μｍの狭い間隔で横一列に配列する必要があ
ることから、プローブ本体への取り付け加工や触針の針
部分の加工、先端位置が同一平面上となるようにする位
置合わせ等の組み立て作業は全て顕微鏡下での手作業で
行われる。
先端位置は同一平面上となるように調節設定され、また
各触針は弾性力による所定の接触圧を確保するために所
定の長さに設定されるが、被試験体５４は高密度化され
た液晶パネル等の高密度電子デバイスであるので、触針
となる金属線は極細のもので、しかもそれらを１００μ
ｍや２００μｍの狭い間隔で横一列に配列する必要があ
ることから、プローブ本体への取り付け加工や触針の針
部分の加工、先端位置が同一平面上となるようにする位
置合わせ等の組み立て作業は全て顕微鏡下での手作業で
行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のいわゆ
る触針が横一列に配列されるタイプのプローブでは、次
のような問題がある。まず、触針の先端位置の位置合わ
せや針の部分の加工精度にばらつきが生じ易く、これは
各触針の弾性力を相違させ均一な接触圧の保持を困難に
し、同時に使用される複数のプローブ間の特性を同一に
するのを困難にするが、従来の組立構造では、細心の注
意を払って各触針をばらつきなく均一に組立てる以外に
解決策がなく、また触針間の間隔を一定に保持するため
極細の触針を変形させたり相互に接触させたりすること
のないよう細心の注意を払った取り扱いが要求されるの
で、組み立て作業が非常に繁雑かつ面倒であり、その結
果原価の低減が困難であるという問題がある。
る触針が横一列に配列されるタイプのプローブでは、次
のような問題がある。まず、触針の先端位置の位置合わ
せや針の部分の加工精度にばらつきが生じ易く、これは
各触針の弾性力を相違させ均一な接触圧の保持を困難に
し、同時に使用される複数のプローブ間の特性を同一に
するのを困難にするが、従来の組立構造では、細心の注
意を払って各触針をばらつきなく均一に組立てる以外に
解決策がなく、また触針間の間隔を一定に保持するため
極細の触針を変形させたり相互に接触させたりすること
のないよう細心の注意を払った取り扱いが要求されるの
で、組み立て作業が非常に繁雑かつ面倒であり、その結
果原価の低減が困難であるという問題がある。
【０００７】また、図７（ｃ）や図８（ｃ）に示すよう
に、触針５２には弾性があるので、触針５２の先端は被
試験体５４の電極５５の表面にタッチダウンした際に電
極表面を矢印向きに滑りながら食い込んで接触を得る傾
向にあり、そのため被試験体の電極表面に傷を付けるこ
とが多く改善が望まれている。
に、触針５２には弾性があるので、触針５２の先端は被
試験体５４の電極５５の表面にタッチダウンした際に電
極表面を矢印向きに滑りながら食い込んで接触を得る傾
向にあり、そのため被試験体の電極表面に傷を付けるこ
とが多く改善が望まれている。
【０００８】更に、図７や図８から推察できるように、
触針には塑性変形や異常変形が生じ易いので定期的に点
検し損傷箇所を補修しないと長期に渡る使用が困難であ
るという問題もある。
触針には塑性変形や異常変形が生じ易いので定期的に点
検し損傷箇所を補修しないと長期に渡る使用が困難であ
るという問題もある。
【０００９】加えて、高密度化技術の進展に伴い触針を
１００μｍ以下の間隔で配列したプローブの必要が生じ
てきたが、触針は所定の長さが必要であるので間隔が狭
くなると隣接の触針間で短絡の危険性が増大すること、
触針となる金属線の材質や加工精度にばらつきがあるの
でかかる狭い間隔での触針を手作業で作るのは困難であ
ること等の理由により従来のプローブ構造では、１００
μｍ以下という狭い間隔の要求には応じられないという
問題もある。
１００μｍ以下の間隔で配列したプローブの必要が生じ
てきたが、触針は所定の長さが必要であるので間隔が狭
くなると隣接の触針間で短絡の危険性が増大すること、
触針となる金属線の材質や加工精度にばらつきがあるの
でかかる狭い間隔での触針を手作業で作るのは困難であ
ること等の理由により従来のプローブ構造では、１００
μｍ以下という狭い間隔の要求には応じられないという
問題もある。
【００１０】本発明は、このような問題に鑑みなされた
もので、その目的は、容易に一定の接触圧の確保や安定
した配列間隔の確保を可能とし、被試験体へ与える損傷
や触針の損傷を低減でき、かつ製造及び取り扱いの容易
化による低価格化が図れ、しかも狭い配列間隔に柔軟に
対応できるプローブを提供することにある。
もので、その目的は、容易に一定の接触圧の確保や安定
した配列間隔の確保を可能とし、被試験体へ与える損傷
や触針の損傷を低減でき、かつ製造及び取り扱いの容易
化による低価格化が図れ、しかも狭い配列間隔に柔軟に
対応できるプローブを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明のプローブは次の如き構成を有する。即ち、本発
明のプローブは、一側面に被試験体の端子に１対１対応
で接触できる複数の第１突起電極が形成され他側面に接
触を安定にする弾性体が貼着される触針先端部を一端に
有し、前記複数の第１突起電極に１対１対応で接続され
る導体パターンを有する板状回路部分と； 前記第１突
起電極が被試験体に接触したとき前記弾性体に係合して
第１突起電極に一定の加圧力を与える加圧機構と；前記
第１突起電極が被試験体に接触する前において前記加圧
機構に前記一定の加圧力を形成させるオフセット機構
と； を備えたことを特徴とするものである。
本発明のプローブは次の如き構成を有する。即ち、本発
明のプローブは、一側面に被試験体の端子に１対１対応
で接触できる複数の第１突起電極が形成され他側面に接
触を安定にする弾性体が貼着される触針先端部を一端に
有し、前記複数の第１突起電極に１対１対応で接続され
る導体パターンを有する板状回路部分と； 前記第１突
起電極が被試験体に接触したとき前記弾性体に係合して
第１突起電極に一定の加圧力を与える加圧機構と；前記
第１突起電極が被試験体に接触する前において前記加圧
機構に前記一定の加圧力を形成させるオフセット機構
と； を備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】次に、前記の如く構成される本発明のプローブ
の作用を説明する。触針先端部の複数の第１突起電極
は、従来の横一列に配列される多数の金属線からなる触
針に対応するが、複数の第１突起電極を被試験体に接触
させる前においてオフセット機構により加圧機構に一定
の加圧力を形成させておき、複数の第１突起電極を被試
験体に接触させると、加圧機構による一定の加圧力が弾
性体を介して第１突起電極に加わり、第１突起電極の全
てが被試験体の対応する端子に安定した接触圧で接触す
るようにしてある。
の作用を説明する。触針先端部の複数の第１突起電極
は、従来の横一列に配列される多数の金属線からなる触
針に対応するが、複数の第１突起電極を被試験体に接触
させる前においてオフセット機構により加圧機構に一定
の加圧力を形成させておき、複数の第１突起電極を被試
験体に接触させると、加圧機構による一定の加圧力が弾
性体を介して第１突起電極に加わり、第１突起電極の全
てが被試験体の対応する端子に安定した接触圧で接触す
るようにしてある。
【００１３】従って、従来のようなばらつきを生じさせ
ずに接触の信頼性を確保できる。また、オフセット機構
により加圧時に被試験体への加圧力の変化を少なくでき
るので、被試験体の電極表面に与える損傷を大幅に低減
でき、突起電極も損傷を受けることが少なくなる。
ずに接触の信頼性を確保できる。また、オフセット機構
により加圧時に被試験体への加圧力の変化を少なくでき
るので、被試験体の電極表面に与える損傷を大幅に低減
でき、突起電極も損傷を受けることが少なくなる。
【００１４】更に、突起電極の配列間隔は、周知のプリ
ント技術により任意の間隔でかつ高精度に設定できるの
で、一定の安定した配列間隔を容易に確保でき、また狭
い配列間隔の要求に対し柔軟に対応できる。
ント技術により任意の間隔でかつ高精度に設定できるの
で、一定の安定した配列間隔を容易に確保でき、また狭
い配列間隔の要求に対し柔軟に対応できる。
【００１５】なお、従来のように顕微鏡下で組み立てる
ことを要せずに簡単かつ画一的に製造でき、取り扱いも
従来のような余分な神経を使わず非常に簡便であるの
で、低価格化が可能である。
ことを要せずに簡単かつ画一的に製造でき、取り扱いも
従来のような余分な神経を使わず非常に簡便であるの
で、低価格化が可能である。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は、本発明の一実施例に係るプローブを示
す。図１において、このプローブは、フレキシブルプリ
ント基板１とプローブ本体２と板ばね３とを主要構成要
素とする。
する。図１は、本発明の一実施例に係るプローブを示
す。図１において、このプローブは、フレキシブルプリ
ント基板１とプローブ本体２と板ばね３とを主要構成要
素とする。
【００１７】フレキシブルプリント基板１は、板状回路
部分であるが、図２に示すように、ポリイミド樹脂等か
らなるフレキシブルフィルム１１の一側面（片面）に形
成された銅箔等の導電膜にエッチングを施して長さ方向
の一端（図中左方）と他端とを結ぶ導体パターン１２が
幅方向に所定の間隔で複数個形成され、各導体パターン
の一端にはその先端から略等位置に（第１）突起電極１
３が形成され、他端にも同様に（第２）突起電極１４が
形成されたものである。
部分であるが、図２に示すように、ポリイミド樹脂等か
らなるフレキシブルフィルム１１の一側面（片面）に形
成された銅箔等の導電膜にエッチングを施して長さ方向
の一端（図中左方）と他端とを結ぶ導体パターン１２が
幅方向に所定の間隔で複数個形成され、各導体パターン
の一端にはその先端から略等位置に（第１）突起電極１
３が形成され、他端にも同様に（第２）突起電極１４が
形成されたものである。
【００１８】また、突起電極は、ゴールド・ドットとも
称されるが、次のようにして形成される。突起電極１３
を含む先端部分１５及び突起電極１４の形成部分のみを
露出させ他の部分をホトレジスト等によりマスクし、露
出した部分に金メッキを施しまたはＩＣウェーハにバン
プを形成する際に用いるワイヤボンディング法等によ
り、突起電極１３及び同１４を形成する。
称されるが、次のようにして形成される。突起電極１３
を含む先端部分１５及び突起電極１４の形成部分のみを
露出させ他の部分をホトレジスト等によりマスクし、露
出した部分に金メッキを施しまたはＩＣウェーハにバン
プを形成する際に用いるワイヤボンディング法等によ
り、突起電極１３及び同１４を形成する。
【００１９】次に、プローブ本体２は、幅がフレキシブ
ルプリント基板１と略等幅で長さ方向の一端（図中左
方）に段部が形成され、段部の垂直部に面した水平部の
側面先端部に幅方向に連続する稜状のオフセットバー２
１が突設されたものである。このオフセットバー２１は
オフセット機構として作用するものである。
ルプリント基板１と略等幅で長さ方向の一端（図中左
方）に段部が形成され、段部の垂直部に面した水平部の
側面先端部に幅方向に連続する稜状のオフセットバー２
１が突設されたものである。このオフセットバー２１は
オフセット機構として作用するものである。
【００２０】このプローブ本体２の水平部から長さ方向
の他端に至る側面（下側面）にフレキシブルプリント基
板１が貼着され、また段部の垂直部に板ばね３が調節ね
じ４で取り付けらる。板ばね３と調節ねじ４は全体とし
て加圧機構を構成する。
の他端に至る側面（下側面）にフレキシブルプリント基
板１が貼着され、また段部の垂直部に板ばね３が調節ね
じ４で取り付けらる。板ばね３と調節ねじ４は全体とし
て加圧機構を構成する。
【００２１】具体的には、フレキシブルプリント基板１
は、プローブ本体２の水平部から長さ方向の他端に至る
側面（下側面）に、導体パターン１２が形成されていな
い他側面が、その一端から突起電極１３の形成部分を含
む所定長の位置、つまり図２における先端部分１５の端
部を水平部の先端位置に合わせて貼着されている。
は、プローブ本体２の水平部から長さ方向の他端に至る
側面（下側面）に、導体パターン１２が形成されていな
い他側面が、その一端から突起電極１３の形成部分を含
む所定長の位置、つまり図２における先端部分１５の端
部を水平部の先端位置に合わせて貼着されている。
【００２２】要するに、フレキシブルプリント基板１の
一端にある先端部分１５は、水平部から自由端として外
方に延在しその下面の途中に突起電極１３があり、図３
や図４に示すように被試験体５４の電極５５に接触し従
来の触針と同様の機能を果たすようになっている。
一端にある先端部分１５は、水平部から自由端として外
方に延在しその下面の途中に突起電極１３があり、図３
や図４に示すように被試験体５４の電極５５に接触し従
来の触針と同様の機能を果たすようになっている。
【００２３】なお、この自由端である先端部分１５の上
面にはシリコン樹脂等からなる弾性体５が幅方向に連続
して貼着されている。従って、この先端部分１５は触針
先端部を構成している。
面にはシリコン樹脂等からなる弾性体５が幅方向に連続
して貼着されている。従って、この先端部分１５は触針
先端部を構成している。
【００２４】また、フレキシブルプリント基板１の他端
にある突起電極１４は、プローブ本体２の長さ方向の他
端においてクランプ６により測定装置からのフラットケ
ーブル７と接続される。
にある突起電極１４は、プローブ本体２の長さ方向の他
端においてクランプ６により測定装置からのフラットケ
ーブル７と接続される。
【００２５】ここで、測定装置からのフラットケーブル
７は、一方の片面に接続用導体パターンが形成され他方
の片面は絶縁体であり、本来的にはその一方の片面を直
接被試験体の電極端子に接続して使用するものである。
従って、これを本発明のプローブを介して被試験体の電
極端子に接続する場合、被試験体の回路順序を反転させ
ることなくフラットケーブル７に接続できることが必要
となる。
７は、一方の片面に接続用導体パターンが形成され他方
の片面は絶縁体であり、本来的にはその一方の片面を直
接被試験体の電極端子に接続して使用するものである。
従って、これを本発明のプローブを介して被試験体の電
極端子に接続する場合、被試験体の回路順序を反転させ
ることなくフラットケーブル７に接続できることが必要
となる。
【００２６】即ち、本発明のプローブでは、フレキシブ
ルプリント基板１は導体パターン１２を被試験体の電極
端子側に向けてプローブ本体２の下面に貼着されるが、
この導体パターン１２にフラットケーブル７を水平接続
するとすれば、フラットケーブル７は接続用導体パター
ン形成面を上向きにしなければならず、回路順序が反転
してしまうことになる。
ルプリント基板１は導体パターン１２を被試験体の電極
端子側に向けてプローブ本体２の下面に貼着されるが、
この導体パターン１２にフラットケーブル７を水平接続
するとすれば、フラットケーブル７は接続用導体パター
ン形成面を上向きにしなければならず、回路順序が反転
してしまうことになる。
【００２７】そこで、本実施例では、板状回路部分とし
てフレキシブルプリント基板１を採用し、図１に示すよ
うに、そのフレキシブルプリント基板１の他端をプロー
ブ本体２の他端側に折り曲げて立ち上げ、突起電極１４
の高さ位置にクランプ６を設け、このクランプ６に下側
からフラットケーブル７をその接続用導体パターン形成
面をフレキシブルプリント基板１側に向けて差し込み、
クランプ６により突起電極１４がフラットケーブル７の
接続用導体パターンに圧接接触するようにし、回路順序
の反転が生じないようにしてある。
てフレキシブルプリント基板１を採用し、図１に示すよ
うに、そのフレキシブルプリント基板１の他端をプロー
ブ本体２の他端側に折り曲げて立ち上げ、突起電極１４
の高さ位置にクランプ６を設け、このクランプ６に下側
からフラットケーブル７をその接続用導体パターン形成
面をフレキシブルプリント基板１側に向けて差し込み、
クランプ６により突起電極１４がフラットケーブル７の
接続用導体パターンに圧接接触するようにし、回路順序
の反転が生じないようにしてある。
【００２８】従って、板状回路部分としてリジッドなプ
リント基板等を使用する場合は、本実施例のように他端
を折り曲げることができないので、貼着面側の他端にス
ルーホールを介して突起電極１４を設け、フラットケー
ブル７を水平接続することになる。
リント基板等を使用する場合は、本実施例のように他端
を折り曲げることができないので、貼着面側の他端にス
ルーホールを介して突起電極１４を設け、フラットケー
ブル７を水平接続することになる。
【００２９】次に、板ばね３は、幅がフレキシブルプリ
ント基板１と略等幅で、長さ方向の一端がフレキシブル
プリント基板１の先端部分１５の他側面（上面）に対向
し、途中部分が突起電極１３が被試験体５４に当接して
いない状態では、図３に示すように、オフセットバー２
１に当接して水平部側に向いて湾曲することで一定のオ
フセット加圧力を発生するように他端がプローブ本体２
の段部の垂直部に調節ねじ４で調節可能に取り付けられ
る。
ント基板１と略等幅で、長さ方向の一端がフレキシブル
プリント基板１の先端部分１５の他側面（上面）に対向
し、途中部分が突起電極１３が被試験体５４に当接して
いない状態では、図３に示すように、オフセットバー２
１に当接して水平部側に向いて湾曲することで一定のオ
フセット加圧力を発生するように他端がプローブ本体２
の段部の垂直部に調節ねじ４で調節可能に取り付けられ
る。
【００３０】そして、この板ばね３は、図４に示すよう
に、突起電極１３が被試験体５４の電極表面に押し付け
られると同時に前記途中部分がオフセットバー２１から
離反し突起電極１３の被試験体５４に対する接触圧を前
記オフセット加圧力による一定値に保持する作用をす
る。なお、板ばね３の一端下面の幅方向には金属板等の
剛性体８が貼着され、弾性体５と係合して各突起電極の
接触圧を均一に保持できるようにしてある。
に、突起電極１３が被試験体５４の電極表面に押し付け
られると同時に前記途中部分がオフセットバー２１から
離反し突起電極１３の被試験体５４に対する接触圧を前
記オフセット加圧力による一定値に保持する作用をす
る。なお、板ばね３の一端下面の幅方向には金属板等の
剛性体８が貼着され、弾性体５と係合して各突起電極の
接触圧を均一に保持できるようにしてある。
【００３１】つまり、オフセットバー２１の作用によ
り、突起電極１３が被試験体５４の電極表面にタッチダ
ウンした際の加圧力をほぼ一定とすることができるの
で、突起電極１３の被試験体５４の電極表面上での変化
量ないしは移動量（図７（ｃ）、図８（ｃ）参照）を少
なくでき、損傷や摩耗を低減させ得る。
り、突起電極１３が被試験体５４の電極表面にタッチダ
ウンした際の加圧力をほぼ一定とすることができるの
で、突起電極１３の被試験体５４の電極表面上での変化
量ないしは移動量（図７（ｃ）、図８（ｃ）参照）を少
なくでき、損傷や摩耗を低減させ得る。
【００３２】なお、実際の使用では従来と同様に本発明
のプローブを複数個並設し、それぞれのプローブ本体２
の他端側を回動可能に支持して各プローブの突起電極１
３を同一に回動動作させ、１つの被試験体５４の電極５
５の表面に押し付けるが、かかる並列設置をしても各プ
ローブは、ばらつきなくほぼ同一特性に製造できるの
で、多数の電極端子を有する被試験体の測定を画一的に
容易になし得ることになる。
のプローブを複数個並設し、それぞれのプローブ本体２
の他端側を回動可能に支持して各プローブの突起電極１
３を同一に回動動作させ、１つの被試験体５４の電極５
５の表面に押し付けるが、かかる並列設置をしても各プ
ローブは、ばらつきなくほぼ同一特性に製造できるの
で、多数の電極端子を有する被試験体の測定を画一的に
容易になし得ることになる。
【００３３】ところで、本発明のプローブが上述した構
成となる結果、以下のような種々の対策を容易に採るこ
とができる。
成となる結果、以下のような種々の対策を容易に採るこ
とができる。
【００３４】まず、接触の信頼性は、図１に示すように
第１突起電極たる突起電極１３を、導体パターン１２の
長さ方向に複数個（図示例では２個）並設することで容
易に確保できる。
第１突起電極たる突起電極１３を、導体パターン１２の
長さ方向に複数個（図示例では２個）並設することで容
易に確保できる。
【００３５】即ち、この突起電極１３は、形状、寸法が
比較的小さいので、複数個設けることにより被試験体の
電極端子に対する接触面積を増大させ、接触抵抗値を下
げるのである。
比較的小さいので、複数個設けることにより被試験体の
電極端子に対する接触面積を増大させ、接触抵抗値を下
げるのである。
【００３６】また、測定環境はクリーンルーム等の特別
に管理された環境ではないので、小さなごみや埃等が被
試験体の電極端子に付着することが往々にしてあるが、
たまたまそれが突起電極１３と被試験体の電極端子との
間に挟まった場合に電気的接触が得られない事態が生ず
るので、かかる事態の発生を防止できる。
に管理された環境ではないので、小さなごみや埃等が被
試験体の電極端子に付着することが往々にしてあるが、
たまたまそれが突起電極１３と被試験体の電極端子との
間に挟まった場合に電気的接触が得られない事態が生ず
るので、かかる事態の発生を防止できる。
【００３７】次に、例えば図５に示すように、プローブ
側導体パターン６１に設ける第１突起電極６２を幅方向
（図示例では斜めに交差する方向）に複数個（図示例で
は３個）並設すれば、製造誤差等に起因する接触不良の
発生を防止できる。
側導体パターン６１に設ける第１突起電極６２を幅方向
（図示例では斜めに交差する方向）に複数個（図示例で
は３個）並設すれば、製造誤差等に起因する接触不良の
発生を防止できる。
【００３８】即ち、プローブ側導体パターン６１の幅や
ピッチ間隔は、被試験体の電極端子６３の幅やピッチ間
隔に応じて設定されるので、両者のピッチ間隔は正確に
一致していることが理想であるが、製造誤差や温度変化
等により両者のパターンの機械的センターラインにずれ
が生ずる。
ピッチ間隔は、被試験体の電極端子６３の幅やピッチ間
隔に応じて設定されるので、両者のピッチ間隔は正確に
一致していることが理想であるが、製造誤差や温度変化
等により両者のパターンの機械的センターラインにずれ
が生ずる。
【００３９】この相対的なずれは、図示するように各電
極毎に異なり区々としており、第１突起電極６２が１個
である場合は、第１突起電極６２が被試験体の電極端子
６３の幅の範囲を越えてしまう程度に大きなずれのある
場所では接触不良となる。かかる相対的なずれによる接
触不良の発生を防止できる。
極毎に異なり区々としており、第１突起電極６２が１個
である場合は、第１突起電極６２が被試験体の電極端子
６３の幅の範囲を越えてしまう程度に大きなずれのある
場所では接触不良となる。かかる相対的なずれによる接
触不良の発生を防止できる。
【００４０】更に、第１突起電極は、１００μｍ〜２０
０μｍの狭い間隔で数十個〜数百個設けられるが、本発
明では、各々の第１突起電極が被試験体の電極端子に実
際に接触しているか否かを測定試験前に確認できる手段
を構成できる。
０μｍの狭い間隔で数十個〜数百個設けられるが、本発
明では、各々の第１突起電極が被試験体の電極端子に実
際に接触しているか否かを測定試験前に確認できる手段
を構成できる。
【００４１】即ち、図１に示す導体パターン１２を、図
６に示すように、互いに絶縁された７１ａと７１ｂの２
つの導体パターンで構成し、導体パターン７１ａには第
１突起電極７２ａを、導体パターン７１ｂには第１突起
電極７２ｂをそれぞれ設け、導体パターン７１ａと同７
１ｂとの間で導通試験を行うのである。
６に示すように、互いに絶縁された７１ａと７１ｂの２
つの導体パターンで構成し、導体パターン７１ａには第
１突起電極７２ａを、導体パターン７１ｂには第１突起
電極７２ｂをそれぞれ設け、導体パターン７１ａと同７
１ｂとの間で導通試験を行うのである。
【００４２】具体的には、例えば図６（ａ）（ｂ）や図
６（ｃ）に示すように構成できる。図６（ａ）（ｂ）
は、絶縁体７３の下面に導体パターン７１ａを、上面に
導体パターン７１ｂをそれぞれ形成する２層構造とし、
導体パターン７１ａの途中にスルーホールを設け、そこ
から導体パターン７１ｂの第１突起電極７２ｂを導体パ
ターン７１ａの第１突起電極７２ａと同一のレベルに突
出させたものである。なお、図６（ｂ）では、絶縁体７
３を省略し２つの導体パターンを重ねて示してある。
６（ｃ）に示すように構成できる。図６（ａ）（ｂ）
は、絶縁体７３の下面に導体パターン７１ａを、上面に
導体パターン７１ｂをそれぞれ形成する２層構造とし、
導体パターン７１ａの途中にスルーホールを設け、そこ
から導体パターン７１ｂの第１突起電極７２ｂを導体パ
ターン７１ａの第１突起電極７２ａと同一のレベルに突
出させたものである。なお、図６（ｂ）では、絶縁体７
３を省略し２つの導体パターンを重ねて示してある。
【００４３】また、図６（ｃ）は、７１ａと７１ｂの２
つの導体パターンを同一平面上にいわゆる千鳥配置した
もので、それぞれの先端に第１突起電極（７２ａ、７２
ｂ）を形成したものである。
つの導体パターンを同一平面上にいわゆる千鳥配置した
もので、それぞれの先端に第１突起電極（７２ａ、７２
ｂ）を形成したものである。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のプローブ
は、従来の横一列に配列される多数の金属線からなる触
針に対応する触針先端部の複数の第１突起電極を被試験
体に接触させる前においてオフセット機構により加圧機
構に一定の加圧力を形成させておき、複数の第１突起電
極を被試験体に接触させると、加圧機構による一定の加
圧力が弾性体を介して第１突起電極に加わり、第１突起
電極の全てが被試験体の対応する端子に安定した接触圧
で接触するようにしてある。
は、従来の横一列に配列される多数の金属線からなる触
針に対応する触針先端部の複数の第１突起電極を被試験
体に接触させる前においてオフセット機構により加圧機
構に一定の加圧力を形成させておき、複数の第１突起電
極を被試験体に接触させると、加圧機構による一定の加
圧力が弾性体を介して第１突起電極に加わり、第１突起
電極の全てが被試験体の対応する端子に安定した接触圧
で接触するようにしてある。
【００４５】従って、従来のようなばらつきを生じさせ
ずに接触の信頼性を確保でき、またオフセット機構によ
り加圧時に被試験体への加圧力の変化を少なくできるの
で、被試験体の電極表面に与える損傷を大幅に低減で
き、突起電極も損傷を受けることが少なくなるという効
果がある。
ずに接触の信頼性を確保でき、またオフセット機構によ
り加圧時に被試験体への加圧力の変化を少なくできるの
で、被試験体の電極表面に与える損傷を大幅に低減で
き、突起電極も損傷を受けることが少なくなるという効
果がある。
【００４６】また、突起電極の配列間隔は、周知のプリ
ント技術により任意の間隔でかつ高精度に設定できるの
で、一定の安定した配列間隔を容易に確保でき、また狭
い配列間隔の要求に対し柔軟に対応できる効果がある。
ント技術により任意の間隔でかつ高精度に設定できるの
で、一定の安定した配列間隔を容易に確保でき、また狭
い配列間隔の要求に対し柔軟に対応できる効果がある。
【００４７】更に、従来のように顕微鏡下で組み立てる
ことを要せずに簡単かつ画一的に製造でき、取り扱いも
従来のような余分な神経を使わず非常に簡便であるの
で、低価格化が可能であるという効果がある。
ことを要せずに簡単かつ画一的に製造でき、取り扱いも
従来のような余分な神経を使わず非常に簡便であるの
で、低価格化が可能であるという効果がある。
【００４８】なお、１つの導体パターンに複数個の第１
突起電極を並設すれば、接触の信頼性を向上でき、また
製造誤差等に起因する接触不良の発生を防止でき、加え
て被試験体の１つの電極端子に対応する導体パターンを
互いに絶縁された２つの導体パターンで構成し、それぞ
れに第１突起電極を設ければ、その２つの第１突起電極
が被試験体の電極端子に接触しているかの判定が行える
効果もある。
突起電極を並設すれば、接触の信頼性を向上でき、また
製造誤差等に起因する接触不良の発生を防止でき、加え
て被試験体の１つの電極端子に対応する導体パターンを
互いに絶縁された２つの導体パターンで構成し、それぞ
れに第１突起電極を設ければ、その２つの第１突起電極
が被試験体の電極端子に接触しているかの判定が行える
効果もある。
【図１】本発明の一実施例に係るプローブの斜視図であ
る。
る。
【図２】プローブ本体に貼着されるフレキシブルプリン
ト基板の展開図である。
ト基板の展開図である。
【図３】本発明のプローブと被試験体との関係（測定
前）側面図である。
前）側面図である。
【図４】本発明のプローブと被試験体との関係（測定
時）側面図である。
時）側面図である。
【図５】複数個の第１突起電極を導体パターンの幅方向
に並設した例を示す概略平面図である。
に並設した例を示す概略平面図である。
【図６】第１突起電極と被試験体の電極端子とが接触し
ているかの確認を行う場合の構成例であり、（ａ）は２
層構造の側面図、（ｂ）は（ａ）の概略平面図、（ｃ）
は千鳥構造の概略平面図である。
ているかの確認を行う場合の構成例であり、（ａ）は２
層構造の側面図、（ｂ）は（ａ）の概略平面図、（ｃ）
は千鳥構造の概略平面図である。
【図７】従来のプローブ（鈎針タイプ）を示し、（ａ）
は斜視図、（ｂ）は被試験体の測定時の側面図、（ｃ）
は触針が電極に接触する際の状態概念図である。
は斜視図、（ｂ）は被試験体の測定時の側面図、（ｃ）
は触針が電極に接触する際の状態概念図である。
【図８】従来のプローブ（棒針タイプ）を示し、（ａ）
は斜視図、（ｂ）は被試験体の測定時の側面図、（ｃ）
は触針が電極に接触する際の状態概念図である。
は斜視図、（ｂ）は被試験体の測定時の側面図、（ｃ）
は触針が電極に接触する際の状態概念図である。
１ フレキシブルプリント基板 ２ プローブ本体 ３ 板ばね ４ 調節ねじ ５ 弾性体 ６ クランプ ７ フラットケーブル ８ 剛性体 １１ フレキシブルフィルム １２ 導体パターン １３ 突起電極 １４ 突起電極 １５ 先端部分 ２１ オフセットバー ５４ 被試験体 ５５ 電極 ６１ プローブ側導体パターン ６２ 第１突起電極 ６３ 被試験体電極端子 ７１ａ 導体パターン ７１ｂ 導体パターン ７２ａ 第１突起電極 ７２ｂ 第１突起電極 ７３ 絶縁体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−163973（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−108738（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−206671（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−218472（ＪＰ，Ａ)
Claims (6)
- 【請求項１】 一側面に被試験体の端子に１対１対応で
接触できる複数の第１突起電極が形成され他側面に接触
を安定にする弾性体が貼着される触針先端部を一端に有
し、前記複数の第１突起電極に１対１対応で接続される
導体パターンを有する板状回路部分と； 前記第１突起
電極が被試験体に接触したとき前記弾性体に係合して第
１突起電極に一定の加圧力を与える加圧機構と； 前記
第１突起電極が被試験体に接触する前において前記加圧
機構に前記一定の加圧力を形成させるオフセット機構
と； を備えたことを特徴とするプローブ。 - 【請求項２】 一側面に被試験体の端子に１対１対応で
接触できる複数の第１突起電極が形成され他側面に接触
を安定にする弾性体が貼着される触針先端部を一端に有
し、前記複数の第１突起電極に１対１対応で接続される
導体パターンを有する板状回路部分と； 前記第１突起
電極が被試験体に接触したとき前記弾性体に係合して第
１突起電極に一定の加圧力を与える加圧機構と； 前記
第１突起電極が被試験体に接触する前において前記加圧
機構に前記一定の加圧力を形成させるオフセット機構
と； 前記導体パターンの他端を測定装置からのケーブ
ルに被試験体の回路順序を反転することなく接続する機
構と； を備えたことを特徴とするプローブ。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のプローブ
において； 前記複数の第１突起電極は、それぞれ、前
記導体パターンの長さ方向に複数個並設されたものであ
る； ことを特徴とするプローブ。 - 【請求項４】 請求項１又は請求項２に記載のプローブ
において； 前記複数の第１突起電極は、それぞれ、前
記導体パターンの幅方向に複数個並設されたものであ
る； ことを特徴とするプローブ。 - 【請求項５】 請求項１又は請求項２に記載のプローブ
において； 前記複数の第１突起電極は、それぞれ、互
いに絶縁された２つの導体パターンの一端にそれぞれ形
成される２系統の突起電極からなる； ことを特徴とす
るプローブ。 - 【請求項６】 請求項１又は請求項２に記載のプローブ
において； 前記板状回路部分は、前記複数の第１突起
電極に接続される導体パターンの他端に複数の第２突起
電極を有すること； を特徴とするプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20823493A JPH0797114B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20823493A JPH0797114B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743384A JPH0743384A (ja) | 1995-02-14 |
| JPH0797114B2 true JPH0797114B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=16552879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20823493A Expired - Lifetime JPH0797114B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0797114B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001356134A (ja) | 2000-04-13 | 2001-12-26 | Innotech Corp | プローブカード装置およびそれに用いられるプローブ |
| JP2002328138A (ja) * | 2001-05-01 | 2002-11-15 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブ |
| JP2003043067A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブ |
| JP2003098189A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Micronics Japan Co Ltd | プローブシート及びプローブ装置 |
| JP2008275406A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置及び検査装置 |
| JP5325085B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2013-10-23 | 日本碍子株式会社 | 接続装置 |
| KR101152181B1 (ko) * | 2010-05-06 | 2012-06-15 | 주식회사디아이 | 디스플레이 패널 검사용 프로브 블록 및 프로브 유닛 |
| KR102447833B1 (ko) * | 2018-02-09 | 2022-09-27 | 주성엔지니어링(주) | 전력 인터페이스 |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP20823493A patent/JPH0797114B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0743384A (ja) | 1995-02-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6476626B2 (en) | Probe contact system having planarity adjustment mechanism | |
| KR100312835B1 (ko) | 국부 접점 스크러브의 멤브레인 프로빙 시스템 | |
| US6677771B2 (en) | Probe contact system having planarity adjustment mechanism | |
| US7622937B2 (en) | Electrical signal connector | |
| US6023171A (en) | Dual-contact probe tip for flying probe tester | |
| US5543724A (en) | Method and apparatus for locating conductive features and testing semiconductor devices | |
| JP4022518B2 (ja) | 平面調整機構を有するプローブコンタクトシステム | |
| JPH0797114B2 (ja) | プローブ | |
| JP2799973B2 (ja) | 垂直作動式プローブカード | |
| JPH10206464A (ja) | プローブ装置 | |
| JP3095807B2 (ja) | 半導体デバイスの検査装置 | |
| JPH11201990A (ja) | プローブユニット | |
| US6275056B1 (en) | Prober device having a specific linear expansion coefficient and probe pitch and method of probing thereof | |
| JP3187855B2 (ja) | 表示パネル用プローバ | |
| JPH0562748A (ja) | Ｉｃソケツト | |
| JPH0619403B2 (ja) | 導電性パタ−ンに対する電気的接続装置 | |
| JPH09207366A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2544186B2 (ja) | プロ―ブ装置 | |
| JPH10288629A (ja) | コンタクトプローブおよびこれを備えたプローブ装置 | |
| JP3396316B2 (ja) | 電子部品用コネクタ | |
| JP2985432B2 (ja) | 電気的特性検査装置 | |
| JP2635054B2 (ja) | プロービングカード | |
| JP2948802B2 (ja) | 電気接続用部材 | |
| JPH0212070A (ja) | 検査装置の製造方法 | |
| JP2000147005A (ja) | コンタクトユニット及び電気的接続装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19981013 |