JP2003098189A

JP2003098189A - プローブシート及びプローブ装置

Info

Publication number: JP2003098189A
Application number: JP2001294674A
Authority: JP
Inventors: Tomoaki Kuga; 智昭久我; Hiroki Saito; 裕樹斉藤
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2001-09-26
Filing date: 2001-09-26
Publication date: 2003-04-03

Abstract

(57)【要約】【課題】プローブ装置自体の交換を不要にするこ
とにある。【解決手段】プローブシートは、絶縁性のフィルム
と、該フィルムの一方の面に左右方向に間隔をおいて前
端部から後方向へ伸びる状態に形成された複数の配線
と、各配線の前端部に配置された突起状の１以上の接触
子と、フィルムの他方の面の前端部に左右方向へ伸びる
状態に配置された弾性体とを含む。そのようなプローブ
シートは、その前端部が前方に突出しかつ配線が下方側
となる状態にプローブホルダの取付部の下面に装着され
て、プローブ装置に組み立てることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル、集積
回路等の平板状被検査体の検査に用いるプローブシート
及びこれを用いるプローブ装置に関する。

【０００２】本発明においては、被検査体と平行な面内
における一方向及び他方向をそれぞれ前後方向（第１の
方向）及び左右方向（第２の方向）といい、被検査体に
垂直な方向を上下方向（第３の方向）という。

【０００３】

【従来の技術】集積回路、液晶パネル等の平板状被検査
体は、一般に、プローブカードのようなプローブ装置を
用いて検査される。この種のプローブ装置の１つとし
て、互いに平行に伸びる複数の配線を電気絶縁性フィル
ムの一方の面に形成し、各配線の一部をプローブ要素と
して利用するプローブシートを用いるものがある。

【０００４】そのようなプローブシートを用いたプロー
ブ装置は、金属細線から形成されたプローブを用いたニ
ードルタイプのプローブ装置、ブレード状のプローブを
用いたブレードタイプのプローブ装置に比べ、針立て作
業が不要であることから、製作が容易で、廉価になる。

【０００５】この種のプローブ装置の１つとして、複数
の配線を電気絶縁性フィルムの一方の面に左右方向に間
隔をおいて前端部から後方向へ伸びる状態に形成し、突
起状の接触子を各配線の前端部に形成したプローブシー
トを用いるものがある（特開２００１−１４１７４７号
公報）。

【０００６】このプローブ装置において、プローブシー
トは、その前端部を前方に突出させかつ配線を下方側と
した状態にプローブホルダに装着され、前端部上面を押
圧機構により下方へ付勢されている。押圧機構は、プロ
ーブシートの前端部上面に接触されたゴム部材をそなえ
ている。

【０００７】このゴム部材は、接触子と被検査体の電極
とが相対的に押圧されたとき、少なくとも部分的に弾性
変形して、プローブシートの前端部と被検査体との非平
行度や、接触子と電極との突出高さの不揃い等を吸収し
て、全ての接触子及び電極を互いに接触させる。

【０００８】

【解決しようとする課題】しかし、従来のプローブ装置
では、被検査体の検査を繰り返し行ううちに、プローブ
シートの前端部が損傷したり、ゴム部材が不規則に永久
変形して被検査体の電極に接触しない接触子が存在する
ようになる。そのようなプローブ装置では、もはや正確
な検査を行うことができないから、プローブ装置自体を
交換しなければならない。

【０００９】本発明の目的は、プローブ装置自体の交換
を不要にすることにある。

【００１０】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係るプローブシー
トは、絶縁性のフィルムと、該フィルムの一方の面に左
右方向に間隔をおいて前端部から後方向へ伸びる状態に
形成された複数の配線と、各配線の前端部に配置された
突起状の１以上の接触子と、前記フィルムの一方の面の
前端部にあって左右方向の各端部に形成されたダミー接
触子と、前記フィルムの他方の面の前端部に左右方向へ
伸びる状態に配置された、矩形の断面積を有する弾性体
とを含む。

【００１１】そのようなプローブシートは、その前端部
が前方に突出しかつ配線が下方側となる状態にプローブ
ホルダの取付部の下面に装着されて、プローブ装置に組
み立てることができる。

【００１２】上記のように組み立てられた状態におい
て、プローブシートは、弾性体が当接機構に当接された
状態で、プローブ装置と被検査体とが上下方向に相対的
に移動されることにより、接触子を被検査体の電極に押
圧される。その状態で各配線に通電されて、被検査体の
検査が行われる。

【００１３】上記のようなプローブシート及びプローブ
装置によれば、プローブシートの前端部が弾性体により
補強されているから、プローブシートの前端部がプロー
ブホルダから突出していても、その前端部の損傷が低減
される。また、プローブシートが損傷したときや、検査
すべき被検査体の種類が変更されたときには、プローブ
装置自体を交換することなく、プローブシート又はプロ
ーブブロックを交換することができる。さらに、プロー
ブシート又はプローブブロックを交換するたびに、弾性
体も交換されるから、新たな弾性体を使用して被検査体
の検査をすることができる。

【００１４】前記弾性体が矩形の断面積を有している
と、接触子を被検査体の電極に均一に押圧することがで
きる。また、前記フィルムの一方の面の前端部にあって
左右方向の各端部に形成されたダミー接触子を備えてい
ると、両ダミー接触子が被検査体に接触するように、プ
ローブ装置と被検査体とを押圧することにより、プロー
ブシートの前端部と被検査体との相対的な傾きが補正さ
れる。

【００１５】プローブ装置は、上記したプローブホルダ
のほかに、さらに、前記プローブホルダが配置された板
状のプローブベースと、前記プローブホルダを前記プロ
ーブベースの下側に解除可能に組み付ける１以上の組み
付け具と、前部及び後部を有するアームであって前記後
部において前記プローブベースに結合されたアームとを
含み、前記当接機構を前記アームの前端部に配置するこ
とができる。そのようにすれば、プローブホルダをプロ
ーブベースに対して着脱することができる。

【００１６】前記アームは前記後部が前記プローブベー
スの上側となる状態に及び左右方向へ伸びる軸線の周り
に枢軸運動可能に前記後部において前記プローブベース
に結合されていることができる。そのようにすれば、プ
ローブベースに対するプローブホルダの着脱時、アーム
をプローブホルダの着脱の妨げにならない位置に変位さ
せることができる。

【００１７】前記当接機構は、左右方向へ伸びるベース
部材であって前記プローブシートの前記弾性体に当接可
能に及び前記アームの先端部に上下方向へ移動可能に配
置されたベース部材と、前記プローブシートの前端部に
対する前記ベース部材の高さ位置を調整すべく前記アー
ムの前端部を上下方向に貫通して前記ベース部材に螺合
する１以上の調整ねじと、前記アームと前記ベース部材
との間に配置されて前記ベース部材を前記アームに対し
下方へ付勢する１以上の弾性部材とを備えることができ
る。そのようにすれば、ベース部材への調整ねじのねじ
込み量を調整することにより、プローブベースに対する
当接機構の高さ位置を調整することができる。また、プ
ローブシートの接触子が被検査体の電極に押圧されたと
き、プローブシートの前端部がその後方の部位に対し大
きく曲げられることを防止することができる。

【００１８】前記当接機構は、さらに、左右方向に間隔
をおいて上下方向へ伸びる複数のガイドピンを備え、該
ガイドピンは前記アーム及び前記ベース部材のいずれか
一方に支持されていると共に前記アーム及び前記ベース
部材の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れられ
ており、また前記弾性部材を貫通して伸びていることが
できる。そのようにすれば、プローブシートの接触子が
被検査体の電極に押圧されたとき、弾性部材が弾性変形
するから、接触子と電極との間の接触圧（針圧）が大き
くなる。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１から図７を参照するに、プロ
ーブ装置１０は、図５に一部を示す液晶パネル１２の検
査装置、特に点灯検査装置すなわち通電検査装置に用い
られる。液晶パネル１２は、長方形の形状をしており、
また複数の電極１４を長方形の隣り合う２つの辺に対応
する縁部に所定のピッチで形成している。

【００２０】プローブ装置１０は、プローブブロック１
６を含む。プローブブロック１６は、図示の例では、プ
ローブシート１８と、プローブシート１８に接続された
第１の接続シート２０と、第１の接続シート２０に接続
された第２の接続シート２２と、それら接続シート１
８，２０及び２２が装着されたプローブホルダ２４とに
より形成されている。

【００２１】プローブシート１８は、その前端部を図８
に示すように、互いに並列的に前後方向へ伸びる複数の
配線２６を印刷配線技術によりポリイミドのような電気
絶縁性フィルム２８の一方の面に形成したフィルム状プ
ローブユニットに形成されている。プローブシート１８
は、平面的にみて配線２６の配列方向（左右方向）に長
い長方形の形状を有する。各配線２６は、フィルム２８
の前端から後端まで伸びている。配線２６の配列ピッチ
は、液晶パネル１２の電極１４の配列ピッチと同じであ
る。

【００２２】プローブシート１８は、また、ニッケルの
ような導電性金属材料から形成された２つの接触子３０
又は３０ａを各配線２６の前端部に有する。各接触子３
０，３０ａは、半球状、角錐状、円錐状等、突起電極の
形状を有している。しかし、接触子３０は、短い円柱
状、短い多角柱状、直方体状、リング状等、他の形状を
有していてもよい。

【００２３】隣り合う配線２６の接触子３０，３０ａ
は、前後方向における位置を同じとされている。しか
し、接触子３０，３０ａがジグザグ状となるように、隣
り合う配線２６の接触子３０，３０ａを前後方向にずら
せてもよい。

【００２４】左右方向における各端部に位置する２つの
配線２６に形成された接触子３０ａは、テスターの駆動
信号（検査信号）用の端子に接続されないダミー接触子
として作用する。しかし、これらのダミー接触子３０ａ
は、それらをアース電位に接続して、アース電極として
用いてもよい。

【００２５】プローブシート１８は、さらに、矩形の断
面形状を有する弾性体３２を前端部の他面、特に接触子
３０，３０ａの形成領域に対応する箇所の他面に有す
る。弾性体３２は、シリコーンゴムのようなゴム材料に
より形成されており、またフィルム２８の前端部上面に
左右方向へ伸びる状態に接着されている。

【００２６】第１の接続シート２０は、図２に示すよう
に、複数の配線３４及び３６を印刷配線技術によりポリ
イミドのような電気絶縁性フィルム３８の一方の面に形
成したタブ（ＴＡＢ）であり、また配線３４，３６に電
気的に接続された駆動用集積回路４０を一方の面に有す
る。

【００２７】第１の接続シート２０の各配線３４は、プ
ローブシート１８の配線２６、特に接触子３０を有する
配線２６に一対一の形に対応されており、対応する配線
２６に電気的に接続されている。集積回路４０は、液晶
パネル１２の駆動に用いられ、駆動用制御信号を配線３
６から受けて、駆動信号を配線３４に出力する。

【００２８】第２の接続シート２２は、図２に示すよう
に、複数の配線４２を印刷配線技術によりポリイミドの
ような電気絶縁性フィルム４４の一方の面に形成したフ
ラットケーブル（ＦＰＣ）である。第２の接続シート２
２の各配線４２は、第１の接続シート２０の配線３６に
一対一の形に対応されており、対応する配線３６に電気
的に接続されている。

【００２９】プローブホルダ２４は、図３に示すよう
に、ほぼ水平の板状部４６と、その前端から下方へ伸び
る板状の取付部４８とにより、逆Ｌ字状の形状をしてお
り、また電気絶縁材料により形成されている。板状部４
６及び取付部４８の下面は、いずれも平坦面とされてい
る。

【００３０】板状部４６の後端上部には、上方及び後方
に開口するＬ字状の断面形状を有する段部５０（図６参
照）が形成されている。この段部５０には、円形の断面
形状を有する棒状の弾性体５２が配置されている。弾性
体５２は、シリコーンゴムのようなゴムで形成すること
ができる。

【００３１】プローブシート１８は、その前端部が取付
部４８の前方へ突出しかつ配線２６がフィルム２８より
下方となる状態に、フィルム２８において取付部４８の
下面に接着剤のような適宜な手段により装着されてい
る。接続シート２０及び２２は、配線３６及び４２が下
側となる状態に、フィルム３８において板状部４６の下
面に接着のような適宜な手段により装着されている。

【００３２】接触子３０を有する各配線２６の前端部、
その前端部に対応するフィルム２８の部位は、接触子３
０と共に、プローブ要素として作用する。したがって、
プローブシート１８の前端部、特に接触子３０が形成さ
れた領域は、プローブ領域として作用する。フィルム２
８の少なくとも前端部は、透明又は半透明とすることが
できる。

【００３３】図３に示すように、プローブシート１８の
後端部は上側に折り返されている。各配線２６は、折り
返された箇所において接続シート２０の対応する配線３
４に、加熱圧着（又は半田のような導電性接着剤）によ
り電気的に接続されている。接続シート２０及び２２の
配線３６及び４２は、接続シート２０及び２２が板状部
４６に取り付けられる前に、導電性のスルーホールや半
田のような適宜な手段により電気的に接続しておくこと
ができる。

【００３４】図３，図４及び図５に示すように、プロー
ブホルダ２４は、また、左右方向の中央を前後方向へ伸
びる凸部５４を板状部４６の上面に備えていると共に、
上方及び後方に開口する溝５６を凸部５４に備えてお
り、さらに上下方向へ伸びる棒状のストッパ５８を凸部
５４の前端部上面に有している。凸部５４は直方体状の
形状をしており、また溝５６は凸字状（逆Ｔ字状）の断
面形状をしている。

【００３５】プローブ装置１０は、また、プローブホル
ダ２４が結合された板状のブロックホルダすなわちプロ
ーブベース６０と、複数のねじ部材によりプローブベー
ス６０の下側に結合された配線部材６２と、プローブベ
ース６０に連結されたアーム６４と、アーム６４の前端
部に配置されてプローブシート１８の弾性体３２に当接
する当接機構６６と、当接機構６６がプローブシート１
８の弾性体を下方へ押圧している状態に解除可能にアー
ム６４を維持する維持ねじ６８とを含む。

【００３６】プローブベース６０は、一対のガイド７０
をプローブブロック１６毎に前部下面に取り付けている
と共に、１以上のプランジャ７２をプローブブロック１
６毎に一方のガイド７０に設けている。両ガイド７０
は、プローブホルダ２４の凸部５４を受け入れる凹所を
形成するように、左右方向へ間隔をおいて前後方向へ平
行に伸びている。

【００３７】プランジャ７２は、止め具、ボール、及
び、止め具とボールとの間にあってボールを止め具と反
対の側に押す弾性体を中空のシリンダ内に配置した市販
のものであり、プローブホルダ２４の凸部５４を他方の
ガイド７０に向けて付勢するように、一方のガイド７０
に組み付けられている。

【００３８】図４に示すように、プローブホルダ２４を
プローブベース６０の下側に解除可能に組み付ける組み
付け手段は、プローブベース６０を厚さ方向に移動可能
に貫通するねじ部材７４と、プローブベース６０の上側
にあってねじ部材７４に螺合されたねじ部材７６と、ね
じ部材７４の上部が貫通するキャップ７８とを備える。

【００３９】ねじ部材７４は、フランジ状の頭部７４ａ
を下端に有しており、また下端部を溝５６に該溝５６の
長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられている。ね
じ部材７６は、ねじ部材７４に形成されたねじ穴に上方
から螺合されている。

【００４０】ねじ部材７４の長手方向中間部には、止め
リング８０が組み付けられている。止めリング８０とキ
ャップ７８との間には、弾性部材８２がねじ部材７４を
常時下方へ付勢するように配置されている。弾性部材８
２は、図示の例では圧縮コイルばねであるが、ゴムのよ
うな他の部材であってもよい。

【００４１】ねじ部材７４が弾性部材８２により常時下
方へ付勢されているため、プローブベース６０の下面と
ねじ部材７４の頭部７４ａとの間隔は、ねじ部材７４に
対するねじ部材７６のねじ込み量を調整することによ
り、調整することができる。溝５６の上面を形成してい
る部位５４ａは、プローブベース６０とねじ部材７４の
頭部７４ａとに挟まれている。

【００４２】配線部材６２は、図２に示すように、複数
の配線８４を印刷配線技術のような適宜な手法により電
気絶縁性基板８６の一方の面に平行に形成した接続基板
である。配線部材６２は、図３に示すように、配線８４
が下方となる状態にプローブベース６０の下面にスペー
サ８８を介して組み付けられている。

【００４３】図６に示すように、配線部材６２の各配線
８４は、第２の接続シート２２の後端部が上側に折り返
されて、弾性体５２によって第２の接続シート２２に押
圧されていることにより、第２の接続シート２２の対応
する配線４２に電気的に接続されている。

【００４４】アーム６４は、前部及び後部によりほぼへ
字状の形をしており、また左右方向へ伸びる枢軸９０に
より、後部がプローブベース６０の上側となりかつ前部
がプローブホルダ２４及びプローブベース６０の前側を
斜め下方へ伸びる状態に後部においてプローブベース６
０に結合されている。

【００４５】アーム６４は、ねじ部材７６を操作する六
角レンチのような工具を通す穴と、維持ねじ６８が貫通
する穴とを後部に有する。維持ねじ６８は、プローブベ
ース６０に形成されたねじ穴に螺合されている。

【００４６】押圧機構すなわち当接機構６６は、アーム
６４の先端部下側に配置された当接部材すなわちベース
部材９２と、アーム６４の前端部を上下方向に貫通して
ベース部材９２に螺合する１以上の調整ねじ９４と、ア
ーム６４とベース部材９２との間に配置されてベース部
材９２をアーム６４に対し下方へ付勢する１以上の弾性
体９６と、調整ねじ９４を間にして左右方向に間隔をお
いて上下方向へ伸びる複数のガイドピン９８とを備え
る。

【００４７】ベース部材９２は、左右方向へ伸びてお
り、また調整ねじ９４及びガイドピン９８によりアーム
６４に上下方向へ移動可能に組み付けられている。ガイ
ドピン９８は、アーム６４及びベース部材９２のいずれ
か一方に支持されていると共にアーム６４及びベース部
材９２の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れら
れており、また弾性部材９６を貫通して伸びている。弾
性部材９６は、図示の例では圧縮コイルばねであるが、
ゴムのような他の部材であってもよい。

【００４８】図９〜図１２に示すように、複数のプロー
ブブロック１６と、複数の配線部材６２と、複数のアー
ム６４と、複数の当接機構６６とが共通のプローブベー
ス６０に左右方向に組み付けられている。プローブベー
ス６０の前端面は、複数のストッパ５８が共に当接する
ストッパ面６０ａとして作用するように、平坦面とされ
ている。

【００４９】検査時、プローブ装置１０と液晶パネル１
２とは、相寄る方向へ相対的に移動される。これによ
り、先ず各接触子３０が液晶パネル１２の電極１４に接
触し、次いでオーバードライブがプローブシート１８の
先端部すなわちプローブ領域に作用する。その状態で各
配線２６に通電されて、液晶パネル１２の検査が行われ
る。その結果、プローブシート１８の前端部は、弾性体
３２，９６の力に抗して弾性変形する。プローブ装置１
０と液晶パネル１２との相対的な押圧が解除されること
により、元の形状に戻る。

【００５０】プローブシート１８の接触子３０が液晶パ
ネル１２の電極１４に押圧されたとき、アーム６４及び
当接機構６６は、プローブシート１８の前端部がその後
方の部位に対し大きく曲げられることを防止する。ま
た、プローブシート１８の接触子３０が液晶パネル１２
の電極１４に押圧されたとき、弾性体３２，９６が弾性
変形するから、接触子３０と電極１４との間の接触圧
（針圧）が大きくなる。

【００５１】プローブシート１８のプローブ領域が弾性
変形するとき、各プローブ要素は、弾性体３２の対応す
る箇所を圧縮変形させつつ、弾性変形するから、プロー
ブ要素の左右方向への変位を、隣り合うプローブ要素が
切り離されていないことと相まって、弾性体３２により
阻止される。

【００５２】プローブシート１８のフィルム２８がポリ
イミドのような透明材料製又は他のフィルムのような半
透明材料製であると、図５に示すように、液晶パネル１
２の電極１４とプローブシート１８の接触子３０とを接
触させるとき、プローブシート１８の配線２６と液晶パ
ネル１２の電極１４との位置関係を、取付部４８より前
方に突出するプローブシート１８の前端部を通して確認
することができる。

【００５３】プローブ装置１０と液晶パネル１２とが相
寄る方向へ相対的に移動されるとき、プローブ装置１０
と液晶パネル１２とが図１３（Ａ）に示すように相対的
に傾いていることがある。そのような場合、ダミー接触
子３０ａを有していないと、左右方向における一端部に
位置する接触子３０が液晶パネル１２に接触して、その
接触子３０に過大な負荷が作用することにより、その接
触子３０のダメージが他の接触子３０に比べて大きくな
る。

【００５４】しかし、左右方向における両端にダミー接
触子３０ａが存在すると、プローブ装置１０と液晶パネ
ル１２との相対的な移動にともなって、先ず左右方向に
おける一方側のダミー接触子３０ａが液晶パネル１２に
接触することにより、接触子３０が保護される。

【００５５】また、その後のプローブ装置１０と液晶パ
ネル１２との相対的な移動にともなって、図１３（Ｂ）
に示すように、弾性体３２，９６が弾性変形することに
より、最終的に両者の相対的な傾きが修正されて、全て
の接触子３０が液晶パネル１２の電極に接触する。

【００５６】プローブブロック１６をプローブベース６
０から外すときは、維持ねじ６８をプローブベース６０
から外してアーム６４を上げ、ねじ部材７６を緩めてプ
ローブホルダ２４の部位５４ａをねじ部材７４の頭部７
４ａとプローブベース６０とによる挟持から解除し、そ
の後プローブブロック１６を前方へ引き出せばよい。

【００５７】プローブブロック１６をプローブベース６
０に組み付けるとき、図９及び図１０に示すように、維
持ねじ６８がプローブベース６０から外されてアーム６
４が立ち上げられていると共に、ねじ部材７６が緩めら
れてねじ部材７４が下方へ移動されている。

【００５８】この状態でストッパ５８がプローブベース
６０の前端面すなわちストッパ面６０ａに当接するま
で、プローブブロック１６の凸部５４が前方から両ガイ
ド７０の間に差し込まれる。これにより、プローブブロ
ック１６は図１１に示すようにプローブベース６０に配
置される。

【００５９】前後方向におけるプローブブロック１６の
位置決めは、ストッパ５８がプローブベース６０のスト
ッパ面６０ａに当接することにより行われる。左右方向
におけるプローブブロック１６の位置決めは、凸部５４
がプランジャ７２によりそれと反対側のガイド７０に押
し当てられることにより行われる。このため、プローブ
ブロック１６の凸部５４をプローブベース６０のガイド
７０の間に差し込むだけで、左右方向及び前後方向にお
けるプローブブロック１６の位置決めがワンタッチで行
われるから、プローブブロック１６の交換作業がより容
易になる。

【００６０】プローブブロック１６をプローブベース６
０に装着するとき、ねじ部材７４が弾性部材８２により
押し下げられているから、溝５６の上面を形成している
部位５４ａはプローブベース６０とねじ部材７４の頭部
７４ａとの間に確実に受け入れられる。

【００６１】プローブブロック１６がプローブベース６
０に上記のように装着された状態において、ねじ部材７
６がねじ部材７４に強く螺合されて、溝５６の上面を形
成している部位５４ａがプローブベース６０とねじ部材
７４の頭部７４ａとの間に強く挟み込まれる。これによ
り、プローブブロック１６は、図３及び図４に示すよう
にプローブベース６０に移動不能に及び解除可能に強く
組み付けられる。

【００６２】次いで、アーム６４が図１２に示すように
所定の位置に変位され、維持ねじ６８がプローブベース
６０のねじ穴に螺合される。これにより、アーム６４及
び当接機構６６が所定の位置に維持される。この状態に
おいて、当接機構６６のベース部材９２は、プローブシ
ート１８の弾性体３２に当接している。

【００６３】その後、当接機構６６によるプローブシー
ト１８の押圧力が調整ねじ９４により調整される。

【００６４】プローブブロックを交換するときは、プロ
ーブベース６０に組み付けられているプローブブロック
を上記のように取り外し、次いで新たなプローブブロッ
クをプローブベース６０に上記のように組み付ければよ
い。この際、ねじ部材７４，７６の締め緩めをすると共
に、プローブブロック１６をプローブベース６０に対し
前後方向へ移動させることにより、プローブブロック１
６をプローブベース６０に対し容易に着脱することがで
きる。

【００６５】プローブ装置１０及びプローブシート１８
によれば、以下のような利点を生じる。

【００６６】プローブシート１８の前端部が弾性体３２
により補強されているから、プローブシート１８の前端
部がプローブホルダ２４から突出していても、その前端
部の損傷が低減される。

【００６７】プローブシート１８が損傷したときや、検
査すべき液晶基板１２の種類が変更されたときには、プ
ローブ装置１０全体を交換することなく、プローブシー
ト１８、これが配置されたプローブホルダ２４又はプロ
ーブブロック１６を交換することができる。

【００６８】プローブシート１８、プローブホルダ２４
又はプローブブロック１６を交換するたびに、弾性体３
２も交換されるから、新たな弾性体３２を使用して液晶
パネル１２の検査をすることができる。

【００６９】アームを上げた状態で、プローブベース６
０に対するプローブブロック１６の着脱作業を行うこと
ができるから、アーム６４及び当接機構６６はプローブ
ホルダ１６の着脱の妨げにならない。

【００７０】上記のように接触子３０と同じ形状のダミ
ー接触子３０ａを用いる代わりに、立方体状のような他
の形状を有するダミー接触子を用いてもよい。

【００７１】図１４を参照するに、プローブシート１０
０は、矩形をしたダミー接触子１０２を配線２６の配列
方向（左右方向）の各端部に備えている。各ダミー接触
子１０２は、大きなランド状に形成されている。このた
め、プローブシート１００によれば、プローブシート１
００が液晶パネルに押圧されても、ダミー接触子１０２
の摩耗が少なくなるし、液晶パネルをダミー接触子によ
り損傷するおそれがない。

【００７２】本発明は、液晶パネルの検査装置に用いる
プローブ装置に適用すると、シート状部材としてタブ
（ＴＡＢ）を用いることができることから好適である。
しかし、本発明は、液用パネル用のガラス基板や集積回
路等、他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ装置
にも適用することができる。

【００７３】本発明は、水平に配置された被検査体用の
プローブ装置のみならず、斜めに傾斜された被検査体用
のプローブ装置にも適用することができる。本発明にお
いては、被検査体と平行な面内における一方向及び他方
向をそれぞれ前後方向及び左右方向といい、被検査体に
垂直な方向を上下方向というから、後者の場合、上下方
向は斜めの方向となる。

【００７４】本発明は、上記実施例に限定されず、その
趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す平
面図である。

【図２】図１に示すプローブ装置の底面図である。

【図３】図１の３−３線に沿って得た断面図である。

【図４】図３の４−４線に沿って得た断面図である。

【図５】プローブブロックの一実施例を示す斜視図であ
る。

【図６】プローブブロックの後端部の拡大断面図であ
る。

【図７】当接機構の拡大断面図である。

【図８】本発明に係るプローブシートの一実施例を示す
図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）底面図、（Ｃ）右
側面図である。

【図９】プローブブロックをプローブベースに装着する
状態を示す断面図である。

【図１０】プローブブロックをプローブベースに装着す
る状態を示す斜視図である。

【図１１】プローブブロックをプローブベースに装着し
た状態を示す斜視図である。

【図１２】アームをプローブベースに正しく組み付けた
状態を示す斜視図である。

【図１３】図１に示すプローブ装置の動作を説明するた
めにプローブ装置の一部を示す正面図あって、（Ａ）は
液晶パネルとプローブシートが相対的に傾いている状態
を示し、（Ｂ）は液晶パネルとプローブシートが相対的
に傾きが修正された状態を示す。

【図１４】プローブシートの他の実施例を示す図であっ
て、（Ａ）は正面図、（Ｂ）底面図、（Ｃ）右側面図で
ある。

【符号の説明】

１０プローブ装置１２液晶パネル１４液晶パネルの電極１６プローブブロック１８，１００プローブシート２０，２２接続シート２４プローブホルダ２６プローブシートの配線２８プローブシートのフィルム３０，１０２接触子３０ａ，１０２ダミー接触子３２弾性体６０プローブベース６４アーム６６押圧機構６８維持ねじ７０ガイド７４，７６ねじ部材８２弾性部材９２ベース部材９４調整ねじ９６当接機構の弾性体９８ガイドピン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G003 AA07 AB01 AG03 AG12 AG20 AH07 2G011 AA03 AA09 AA21 AB01 AB03 AB04 AB05 AB07 AB08 AB09 AC05 AC06 AC14 AE01 AE22 2G132 AA20 AB01 AD15 AF06 AF07 AL03 4M106 AA01 BA01 DD04 DD10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】絶縁性のフィルムと、該フィルムの一方
の面に左右方向に間隔をおいて前端部から後方向へ伸び
る状態に形成された複数の配線と、各配線の前端部に配
置された突起状の１以上の接触子と、前記フィルムの一
方の面の前端部にあって左右方向の各端部に形成された
ダミー接触子と、前記フィルムの他方の面の前端部に左
右方向へ伸びる状態に配置された、矩形の断面積を有す
る弾性体とを含む、プローブシート。
【請求項２】請求項１に記載されたプローブシート
と、前記プローブシートがその前端部を前方に突出させ
かつ前記配線を下方側とした状態に装着された下面を有
する取付部を前部に備えるプローブホルダとを含む、プ
ローブ装置。
【請求項３】さらに、前記プローブホルダが配置され
た板状のプローブベースと、前記プローブホルダを前記
プローブベースの下側に解除可能に組み付ける１以上の
組み付け具と、前部及び後部を有するアームであって前
記後部において前記プローブベースに結合されたアーム
と、前記アームの前端部に配置されて前記プローブシー
トの前記弾性体に当接する当接機構とを含む、請求項２
に記載のプローブ装置。
【請求項４】前記当接機構は、左右方向へ伸びるベー
ス部材であって前記プローブシートの前記弾性体に当接
可能に及び前記アームの先端部に上下方向へ移動可能に
配置されたベース部材と、前記プローブシートの前端部
に対する前記ベース部材の高さ位置を調整すべく前記ア
ームの前端部を上下方向に貫通して前記ベース部材に螺
合する１以上の調整ねじと、前記アームと前記ベース部
材との間に配置されて前記ベース部材を前記アームに対
し下方へ付勢する１以上の弾性部材とを備える、請求項
３に記載のプローブ装置。
【請求項５】前記当接機構は、さらに、左右方向に間
隔をおいて上下方向へ伸びる複数のガイドピンを備え、
該ガイドピンは前記アーム及び前記ベース部材のいずれ
か一方に支持されていると共に前記アーム及び前記ベー
ス部材の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れら
れており、また前記弾性部材を貫通して伸びている、請
求項４に記載のプローブ装置。
【請求項６】前記アームは前記後部が前記プローブベ
ースの上側となる状態に及び左右方向へ伸びる軸線の周
りに枢軸運動可能に前記後部において前記プローブベー
スに結合されている、請求項３，４又は５に記載のプロ
ーブ装置。