JP2005274488A - プローブ組立体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 組立作業を容易にすると共に、プローブの後端針先とフラットケーブルの配線との接続状態を安定化させることにある。
【解決手段】 プローブ組立体は、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを第1の方向に間隔をおいて該第1の方向と交差する第2の方向へ伸びる状態に配置したプローブブロックと、複数の配線を有するフラットケーブルと、該フラットケーブルの一端部が取り付けられた接続ブロックであって前記フラットケーブルをその配線が後端針先に接触した状態にプローブブロックに接続する接続ブロックと、該接続ブロックをプローブブロックの後端針先側に結合している結合部材とを含む。
【選択図】 図12
Description
12 表示用基板
14a,14b 被検査領域
16a,16b 電極群
20 フレーム
22 開口
24 フレーム本体
26 可動フレーム
26a 可動フレームの中間領域
32,34 プローブ取付板
36,38 プローブ組立体
50 プローブブロック
52 フラットケーブル
54 接続ブロック
56 支持ブロック
58 取付ブロック
62 位置決め具
64 ガイドブロック
66 プローブ
68 電気絶縁性ブロック
70 側板
72 取付バー
74 スリットバー
76 ガイドフィルム
78 コネクタ
79 位置決め穴
80 位置決めピン
81 ねじ穴
82,90,104,106 ねじ部材
84 突出部
86 ガイド部
88 ストッパピン
92 プッシャー
94 調整ねじ
98 リニアガイド
100 L型部材
102 板状ベース
110,112 第1及び第2の部材
116 結合ピン
118 弾性体
120 長尺部材
122 位置決め部材
Claims (7)
- 先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを第1の方向に間隔をおいて該第1の方向と交差する第2の方向へ伸びる状態に配置したプローブブロックと、
複数の配線を有するフラットケーブルと、
該フラットケーブルの一端部が取り付けられた接続ブロックであって前記フラットケーブルをその前記配線が前記後端針先に接触した状態に前記プローブブロックに接続する接続ブロックと、
該接続ブロックを前記プローブブロックの後端針先側に結合している結合部材とを含む、プローブ組立体。 - さらに、前記プローブの配列方向に伸びる状態に前記プローブブロックの先端部及び後端部に配置された一対のガイドバーを含み、各ガイドバーは、前記第1及び第2の方向と交差する第3の方向における一方側に開放する複数の溝であって前記第1の方向に間隔をおいて該第1の方向と交差する第2の方向へ伸びる複数の溝を備え、前記プローブの先端針先及び後端針先は前記溝に配置されている、請求項1に記載のプローブ組立体。
- 前記接続ブロックは、前記第3の方向における一方側及び先方側に向く逆L字状の段部を前端部に備え、
前記プローブブロックは、さらに、前記第3の方向における他方側及び後方側に向くL字状の段部を後端部に備え、
前記プローブブロック及び前記接続ブロックは両段部を対向させた状態に結合されている、請求項2に記載のプローブ組立体。 - さらに、前記プローブブロック及び前記接続ブロックのいずれか一方に備えられた位置決めピンであって前記プローブブロック及び前記接続ブロックの他方に備えられた位置決め穴に嵌合された位置決めピンを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブ組立体。
- さらに、前記フラットケーブルに取り付けられたガイドフィルムを含み、
該ガイドフィルムは、前記後端針先を個々に受け入れて前記配線の一端部と前記後端針先とを接触させるべく前記第1の方向に間隔をおいた複数のガイド穴を備える、請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブ組立体。 - さらに、前記プローブブロックが支持された支持ブロックと、前記プローブブロックを支持ブロックに取り付ける取り付けねじとを含み、
前記支持ブロック及び前記プローブブロックの一方は前記プローブの長手方向へ伸びる溝を備え、
前記支持ブロック及び前記プローブブロックの他方は前記溝に嵌合される凸部を備える、請求項1から5のいずれか1項に記載のプローブ組立体。 - さらに、前記支持ブロックを検査装置に取り付ける取付ブロックを含み、
該取付ブロックと前記支持ブロックとは、前記第1及び第2の方向と交差する第3の方向に相対的移動可能に組み合わされていると共に、ねじにより結合されており、前記支持ブロックは、弾性部材により前記取付ブロックに対し、前記第3の方向における一方側に付勢されている、請求項6に記載のプローブ組立体。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007271572A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Micronics Japan Co Ltd | 可動式プローブユニット及び検査装置 |
JP2007322158A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニット及び検査装置 |
KR100833813B1 (ko) | 2007-04-13 | 2008-05-30 | 나노세미텍(주) | 이방성 실리콘커넥터와 탈부착식 조인트플레이트를 갖는일체형 프로브블록 |
KR100922097B1 (ko) | 2007-01-17 | 2009-10-16 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 프로브 유닛 및 검사 장치 |
CN101968501A (zh) * | 2009-07-27 | 2011-02-09 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 探针装置 |
JP2011053203A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-03-17 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニット及びこれを用いる試験装置 |
JP2011133462A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-07-07 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
KR102081609B1 (ko) * | 2019-04-17 | 2020-02-26 | 우리마이크론(주) | 원장 패널 이송 장치, 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 설비 |
KR102127728B1 (ko) * | 2019-02-14 | 2020-06-29 | (주)티에스이 | 개선된 그립핑 구조를 가지는 프로브 핀 |
WO2020213901A1 (ko) * | 2019-04-17 | 2020-10-22 | 우리마이크론(주) | 원장 패널 이송 장치, 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 설비 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03218472A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-26 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 表示パネル用プローブとその組み立て方法 |
JPH10132853A (ja) * | 1996-10-28 | 1998-05-22 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体およびプローブ |
JP2001004662A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-12 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
JP2001337111A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Micronics Japan Co Ltd | プローブシート及びこれを用いたプローブ装置 |
JP2003098189A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Micronics Japan Co Ltd | プローブシート及びプローブ装置 |
-
2004
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03218472A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-26 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 表示パネル用プローブとその組み立て方法 |
JPH10132853A (ja) * | 1996-10-28 | 1998-05-22 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体およびプローブ |
JP2001004662A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-12 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
JP2001337111A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Micronics Japan Co Ltd | プローブシート及びこれを用いたプローブ装置 |
JP2003098189A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Micronics Japan Co Ltd | プローブシート及びプローブ装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007271572A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Micronics Japan Co Ltd | 可動式プローブユニット及び検査装置 |
JP2007322158A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニット及び検査装置 |
KR100922097B1 (ko) | 2007-01-17 | 2009-10-16 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 프로브 유닛 및 검사 장치 |
KR100833813B1 (ko) | 2007-04-13 | 2008-05-30 | 나노세미텍(주) | 이방성 실리콘커넥터와 탈부착식 조인트플레이트를 갖는일체형 프로브블록 |
CN101968501B (zh) * | 2009-07-27 | 2013-04-24 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 探针装置 |
JP2011027580A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-02-10 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
CN101968501A (zh) * | 2009-07-27 | 2011-02-09 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 探针装置 |
JP2011053203A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-03-17 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニット及びこれを用いる試験装置 |
JP2011133462A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-07-07 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ装置 |
KR102127728B1 (ko) * | 2019-02-14 | 2020-06-29 | (주)티에스이 | 개선된 그립핑 구조를 가지는 프로브 핀 |
KR102081609B1 (ko) * | 2019-04-17 | 2020-02-26 | 우리마이크론(주) | 원장 패널 이송 장치, 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 설비 |
WO2020213901A1 (ko) * | 2019-04-17 | 2020-10-22 | 우리마이크론(주) | 원장 패널 이송 장치, 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 설비 |
KR20200122222A (ko) * | 2019-04-17 | 2020-10-27 | 우리마이크론(주) | 원장 패널 이송 장치, 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 설비 |
KR102286588B1 (ko) | 2019-04-17 | 2021-08-05 | (주)메가센 | 원장 패널 이송 장치, 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 설비 |
JP2022528975A (ja) * | 2019-04-17 | 2022-06-16 | メガセン・カンパニー・リミテッド | マザーガラスパネル移送装置、ディスプレイパネル検査装置およびディスプレイパネル検査設備 |
JP7202483B2 (ja) | 2019-04-17 | 2023-01-11 | メガセン・カンパニー・リミテッド | マザーガラスパネル移送装置、ディスプレイパネル検査装置およびディスプレイパネル検査設備 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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