JP2008101938A

JP2008101938A - 検査装置

Info

Publication number: JP2008101938A
Application number: JP2006282834A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Kosaka; 裕小坂; Susumu Otsu; 進大津
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2006-10-17
Filing date: 2006-10-17
Publication date: 2008-05-01

Abstract

【課題】検査精度を維持した状態で、高価な機能を省略してコスト低減を図る。
【解決手段】パネルの電極にプローブを接触させて電気的検査を行う検査装置である。前記パネルを位置決めして支持する支持機構と、前記パネルの各電極に前記各プローブを接触させるコンタクト機構と、前記パネルの各電極に各プローブを接触させて電気的検査を行う制御部とを備えた。前記制御部が、前記支持機構のプッシャーを作動させて前記パネルを位置決めピンに当接させて当該パネルを位置決めする処理と、アライメントカメラで前記パネルの位置決めを確認してコンタクト可能か否かを判定する処理と、コンタクト不可と判定したときに前記支持機構により手動で調整し直す旨を表示する処理と、前記パネルがコンタクト可能な場合に前記コンタクト機構で前記各プローブを前記各電極へ繰り出す処理とを備えた。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶表示パネルのような表示パネルの電気的検査を行う検査装置に関する。

表示パネルの電気的検査を行う検査装置としては種々のものが提案されている。その一例として特許文献１の電気接続装置がある。この電気接続装置は図２４及び図２５に示すように主に、第１のベース１と、第２のベース２と、パネル受け３と、ストッパピン４と、プッシャー５と、接触子ユニット６と、バックライトユニット７と、ステージ本体９とから構成されている。

第１のベース１は、第２のベース２等を支持するための部材である。第１のベース１は、装置本体側に支持されている。第２のベース２は、４枚組み合わされてパネル受け３を構成するための部材である。第２のベース２は、４枚組み合わされて第１のベース１の表面に沿ってＸＹ方向にスライド可能に支持されている。これにより、４枚の第２のベース２で囲まれた開口が、検査対象のパネルの寸法に合わせて拡大され、又は縮小される。

パネル受け３は、パネルを直接に受けて支持するための部材である。このパネル受け３は、第２のベース２の一端部に設けられて、前記４枚の第２のベース２で囲まれた開口の内縁部に形成されて、パネルを直接に支持する。

ストッパピン４は、パネル受け３に支持されたパネルの縁部に当接して位置決めするための部材である。ストッパピン４は、第２のベース２のパネル受け３に望ませて設けられている。プッシャー５は、パネル受け３に支持されたパネルの縁部を押すための部材である。このプッシャー５は、ストッパピン４と対向する位置に設けられ、パネル受け３に支持されたパネルの縁部を押すことで、ストッパピン４と相まってパネルを位置決めして支持する。プッシャー５は、第２のベース２のパネル受け３に望ませて設けられている。

接触子ユニット６は、パネルの電極と接触して電気的に接続され、電気信号をパネルに印加するための部材である。接触子ユニット６の先端に、パネルの電極と直接に接触する接触子(図示せず)が設けられている。

バックライトユニット７は、パネル受け３に支持されたパネルをその背面から照射するための部材である。

ステージ本体９は、第１のベース１、第２のベース２等を支持して位置決めするための部材である。ステージ本体９は、第１のベース１等を介してパネル受け３に支持されたパネルの位置を微調整して、パネルの電極と、接触子ユニット６の先端の接触子とを整合するように位置合わせする。

このような電気接続装置では、点灯検査を行う場合は、パネル受け３にパネルが支持され、ステージ本体９でパネル受け３に支持されたパネルの位置を微調整して、パネルの電極と、接触子ユニット６の先端の接触子とを精密にアライメントさせた後に互いに接触させる。次いで、バックライトユニット７を点灯させた状態で電気信号をパネルに印加して、点灯検査が実施されている。

通常のパネルの場合は、端子のピッチが狭く、ピン数も多いため、高い精度が要求される。即ち、装置の構成として高剛性の精密アライメントステージ、ワークテーブル、プローブユニット、３個以上のアライメントカメラ、画像処理装置等を必要とする。そして、アライメントカメラでアライメントマークを撮影し、画像処理装置で画像処理を行って、ステージ本体を精密に制御している。
特開２００６−１１９０３１号公報

前記従来の検査装置では、通常のパネルを検査する場合は問題なく処理できる。しかし、ショーティングバーを設置したパネルの場合は、端子数が少なく、端子ピッチも大きいため、あまり精密な装置を必要としない。このため、従来の検査装置では、必要以上に精密な装置となってしまい、コスト高になってしまう。

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、検査精度を維持した状態で、高価な機能を省略してコスト低減を図った検査装置を提供することを目的とする。

本発明に係る検査装置は、前記課題を解決するためになされたもので、検査対象板の電極に接触子を接触させて電気的検査を行う検査装置であって、前記検査対象板を位置決めして支持する支持機構と、当該支持機構で支持された前記検査対象板の各電極に前記各接触子を接触させるコンタクト機構と、前記支持機構及びコンタクト機構を制御して前記検査対象板の各電極に各接触子を接触させて電気的検査を行う制御部とを備え、前記支持機構が、前記検査対象板を支持する検査対象板受け部と、当該検査対象板受け部に支持された前記検査対象板を位置決めする位置決めピンと、当該位置決めピンに対向する位置に設けられ前記検査対象板を押して位置決めピンに当接させるプッシャーと、前記検査対象板の位置決め確認のために当該検査対象板を撮影するアライメントカメラと、当該アライメントカメラを支持して位置を調整するカメラ位置調整部とを備え、前記コンタクト機構が、前記検査対象板受け部に支持された状態で前記各接触子を支持して前記各電極へ繰り出す繰り出し部と、当該繰り出し部に設けられ前記各接触子を直接支持して当該各接触子の位置を手動で調整する接触子位置調整部とを備え、前記制御部が、前記支持機構の前記プッシャーを作動させて前記検査対象板を位置決めピンに当接させて当該検査対象板を位置決めする処理と、前記アライメントカメラで前記検査対象板の位置決めを確認してコンタクト可能か否かを判定する処理と、コンタクト不可と判定したときに前記接触子位置調整部により手動で調整し直す旨を表示する処理と、前記検査対象板がコンタクト可能と判定した場合に前記コンタクト機構で前記各接触子を前記各電極へ繰り出す処理とを備えたことを特徴とする。

前記構成により、前記プッシャーを作動させて前記検査対象板を位置決めピンに当接させて、当該検査対象板を簡易的に位置決めする。この場合、正確に位置決めされない場合もあるため、そのときは、前記位置調整部及び前記カメラ位置調整部により手動で調整し直す旨を表示して、作業者によって調整し直された後で、検査処理を行う。

前記支持機構は、前記検査対象板の寸法の違いに応じて開口の大きさを調整する機能を備えることが望ましい。

前記構成により、検査装置の部品交換をしないで、寸法の違う検査対象板を検査することができる。

以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。

ＸＹＺθステージ等の精密な装置を用いず、前記プッシャーと位置決めピンとで前記検査対象板を簡易的に位置決めし、正確に位置決めされない場合は、手動で調整し直すようにしたので、検査処理の精度を損なうことなく高価な機能を省略してコスト低減を図ることができる。

以下、本発明の実施形態に係る検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。

ショーティングバーを設置したパネルの検査において、通常の検査性能を備えた検査装置を用いると、必要以上に精密な装置を用いることになってコスト高になるため、コスト低減目的で検査装置の機能を絞ることが考えられる。具体的には、アライメント機能（画像処理によるステージ制御機能）をなくして、パネルプッシャーでパネルを位置決めピンに押し当てて位置決めを行うコンタクト手段が考えられる。この場合において問題になるのが、位置決めの誤差である。パネルを、その外形を基準にして位置決めされるとき、パネルの外形の誤差や、パネルプッシャーや位置決めピン及びその周辺部品の摩耗等や、ゴミ等の付着により位置決めの誤差を生じてしまう。これらの原因により、０．０〜±０．５程度（σＭＡＸ値）の繰り返し誤差が生じてしまう。そして、この誤差はコンタクトパッド圏内なのか否かが不明なものとなってしまう。このため、コンタクト可能範囲内か否かは、作業者が目視で確認するか、プローブを当ててみるしかないことになる。この場合、位置決め不良のままプローブを当ててしまうと、プローブの破損、パネルの損傷、及び位置決め結果の確認のための生産性低下を招いてしまう。この点を考慮して本実施形態に係る検査装置をなした。

本実施形態に係る検査装置は、装置本体のフレーム(図示せず)に支持されるプローブユニット２０を備えて構成されている。このプローブユニット２０以外は従来の検査装置と同様であるため、ここではプローブユニット２０を中心に説明する。

プローブユニット２０は、品種の違うパネルＰの異なる寸法に応じて開口の大きさを調整してパネルＰを支持すると共に、プローブをコンタクトさせて点灯検査を行うための装置である。このプローブユニット２０は、図２〜６に示すように、パネル支持機構２１と、コンタクト機構２２と、制御部２３（図２２参照）とから構成されている。

パネル支持機構２１は、検査対象板としてのパネルＰを位置決めして支持するための機構である。パネル支持機構２１は、装置本体側に直接的に固定されている。具体的には、図４に示すように、パネル支持機構２１は、装置本体側に直接的に固定された支持部の上に取り付けられている。この支持部は、検査装置の装置本体のフレーム部分に固定されるベース板２４と、このベース板２４に支柱２５を介して支持されたワークテーブルベース２６と、このワークテーブルベース２６とベース板２４の間に設けられて内部に蛍光管２７を有するバックライト２８とから構成されている。ベース板２４は、検査装置のフレーム部分に直接固定され、ＸＹＺθステージ(図示せず)は設けられない。

前記パネル支持機構２１は、前記パネルＰを位置決めして支持するための機構である。このパネル支持機構２１は、パネル受け部３１と、位置決めピン３２と、プッシャー３３と、アライメントカメラ３４と、カメラ位置調整部３５とから構成されている。

パネル受け部３１は、前記パネルＰを正確に位置決めして支持するための検査対象板受け部である。このパネル受け部３１で前記パネルＰを正確に位置決めして支持した状態で、パネルＰをその背面からバックライト１５で照射しながら、そのパネルＰの電極と、接触子としての後述のプローブ１１３とを互いに接触させて、点灯試験を行う。

パネル受け部３１は図２〜６に示すように主に、ワークテーブルベース２６上に４つ組み合わせて矩形状にかつパネルＰの寸法の違いに応じてスライド可能に配置されて開口の大きさを調整する可動ベース３７と、４つの可動ベース３７をそれぞれ移動させるベース移動装置３８と、前記可動ベース３７に支持されて矩形状にかつパネルＰの寸法に合わせて配置されるパネル受け板３９とから構成されている。

各可動ベース３７はその全体形状を、長い板状に形成されている。可動ベース３７の全長は、ワークテーブルベース２６の開口２６Ａの一辺の長さ以上に設定されている。４つの可動ベース３７が組み合わされて可変開口４１が形成されている。即ち、１つの可動ベース３７の長手方向の一端面が、相手側の可動ベース３７の側面に当接することで、四角形の可変開口４１を形成している。さらに、各可動ベース３７は、その長手方向の一端面と、相手側の側面との間で、相手側の側面に沿ってスライド可能に支持されている。これにより、小さなパネルＰに対応した小さな可変開口４１から、前記ワークテーブルベース２６の開口２６Ａとほぼ同じ大きな可変開口４１まで、その大きさを任意に調整できるようになっている。

可動ベース３７は、肉厚平板状に形成されている。４つの可動ベース３７が互いに組み合わされることによって、パネルＰを支持する可変開口４１を形成する。各可動ベース３７は、各ベース移動装置３８によりワークテーブルベース２６に支持されている。ベース移動装置３８は、可動ベース３７を、ワークテーブルベース２６と平行の面内で二次元的にスライド可能に支持している。

このベース移動装置３８は、各可動ベース３７の長手方向と直交する方向（第１の方向）に伸びるようにワークテーブルベース２６の上面に取り付けられた第１のレール４３と、この第１のレール４３にスライド可能に嵌合された第１のガイド４４と、この第１のガイド４４の上側に一体的に取り付けられた連結部材４５と、可動ベース３７の長手方向（第２の方向）に沿って可動ベース３７の下面に一体的に取り付けられた第２のレール４６と、この第２のレール４６にスライド可能に嵌合されると共に前記連結部材４５に一体的に取り付けられた２つの第２のガイド４７と、ワークテーブルベース２６の上面に取り付けられた状態で前記連結部材４５に連結されてこの連結部材４５及びその上側の構造物を第１のレール４３に沿って第１の方向に移動させる駆動部４８とを備えて構成されている。

駆動部４８は、第１のレール４３に沿って回転可能に配設されたボールネジ５０と、このボールネジ５０を回転駆動する駆動モータ５１と、ボールネジ５０にねじ込まれた状態で連結部材４５に固定されてボールネジ５０の回転によって第１のレール４３に沿って連結部材４５を移動させるナット５２とから構成されている。

さらに、可動ベース３７の下側面には、前記第２のレール４６と並行に第３のレール５４が一体的に取り付けられている。この第３のレール５４には第３のガイド５５がスライド可能に嵌合されている。そして、この第３のガイド５５は、可動ベース３７の一端部に一体的に取り付けられている。これにより、各可動ベース３７は、その長手方向の一端面と、直交する相手側の可動ベース３７の側面との間で、相手側の側面に沿ってスライド可能に支持されている。そして、４つの可動ベース３７全てが、この構造で互いに結合されている。この結果、４つの可動ベース３７で形成される可変開口４１は、小さなパネルＰに対応した小さな可変開口４１から、大きなパネルＰに対応した大きな可変開口４１まで、その大きさを任意に調整できるようになっている。具体的には、４つの駆動部４８を同時に作動させて、４つの可動ベース３７を同時に移動させることで、可変開口４１の大きさを任意に調整できるようになっている。

パネル受け板３９は、パネルＰを直接支持するための板材である。このパネル受け板３９は、各可動ベース３７にスペーサー５７を介して支持されて矩形状にかつパネルＰの寸法に合わせて配置されている。

位置決めピン３２は、前記パネル受け部３１に支持されたパネルＰを位置決めするためのピンである。この位置決めピン３２は、図２，３に示すように、前記パネル受け部３１のパネル受け板３９に取り付けられている。この位置決めピン３２は、パネル受け板３９に、設定位置に正確に位置合わせされた状態で固定されている。パネル受け板３９上で正確に位置合わせされた位置決めピン３２にパネルＰが当接することで、パネルＰの一側辺が基準位置に正確に位置合わせされる。パネルＰは、この一側辺を基準として、プローブ１１３等の位置が設定される。寸法の違うパネルＰの場合も、この一側辺を基準として、プローブ１１３等の位置が設定される。位置決めピン３２は、肉厚円盤状に形成されて、その外周面がパネルＰへの当接面となっている。

プッシャー３３は、前記パネルＰを押して位置決めピン３２に当接させるための装置である。このプッシャー３３は、図３，７，１０，１３，１６に示すように、位置決めピン３２が取り付けられたパネル受け板３９に対向する側のパネル受け板３９に設けられている。プッシャー３３は、肉厚円盤状に形成されて、その外周面がパネルＰへの当接面となっている。プッシャー３３は、パネル受け板３９に形成された長溝６０に収納され、スライド機構６１に支持されて、パネルＰの当接辺に直交する方向にスライド可能に設けられている。このスライド機構６１は、パネル受け板３９の裏面に取り付けられたガイド６２と、このガイド６２にスライド可能に嵌合されたレール６３と、このレール６３に取り付けられたプッシャー支持部材６４と、このプッシャー支持部材６４を押して前記プッシャー３３をパネルＰに押し当てる駆動シリンダ６５とから構成されている。駆動シリンダ６５は、制御部２３に電気的に接続されて制御される。

アライメントカメラ３４は、前記パネルＰの位置決め確認のためにこのパネルＰを撮影するためのカメラである。このアライメントカメラ３４は、図１８，１９に示すように、パネルＰに臨まされた状態で、後述するカメラ位置調整部３５に支持されている。

カメラ位置調整部３５は、アライメントカメラ３４を支持して手動でその位置を調整すると共に、アライメントカメラ３４の退避位置と検査位置とを自動的に移動させるための装置である。このカメラ位置調整部３５は、Ｘ軸スライド部材６８と、Ｘ軸調整ツマミ６９と、Ｚ軸スライド部材７０と、Ｚ軸調整ツマミ７１と、Ｙ軸スライド部材７２と、Ｙ軸駆動モータ７３とから構成されている。

Ｘ軸スライド部材６８及びＺ軸スライド部材７０は、それぞれレールとガイドとを備えてＸ軸方向及びＺ軸方向へスライド可能に構成されている。Ｘ軸調整ツマミ６９及びＺ軸調整ツマミ７１は、回転されることで、前記Ｘ軸スライド部材６８及びＺ軸スライド部材７０を、それぞれの方向に僅かずつずらして、アライメントカメラ３４のＸ軸方向及びＺ軸方向の位置調整を行うためのツマミである。アライメントカメラ３４は、Ｚ軸スライド部材７０にカメラ取付部材７５を介して取り付けられている。

Ｙ軸スライド部材７２は、レールとガイドとを備えて、前記Ｘ軸スライド部材６８及びＺ軸スライド部材７０を支持した状態でＹ軸方向へスライド可能に構成されている。Ｙ軸駆動モータ７３は、Ｙ軸スライド部材７２をＹ軸方向へスライドさせるためのモータである。このＹ軸駆動モータ７３は、ボールネジ７６を回転させて、Ｙ軸スライド部材７２をＹ軸方向へスライドさせて、アライメントカメラ３４をその退避位置と検査位置との間で移動させるようになっている。さらに、Ｙ軸駆動モータ７３は、制御部２３に電気的に接続されて、アライメントカメラ３４の検査位置を調整できるようになっている。

前記Ｙ軸スライド部材７２は、Ｘ軸移動機構７８に支持されている。このＸ軸移動機構７８は、カメラ位置調整部３５をパネルＰの縁に沿って大きく移動させるための装置である。寸法の異なるパネルＰに合わせるとき等に用いられる。Ｘ軸移動機構７８は、パネル受け板３９の長手方向に沿って配設されたレール７９と、このレール７９にスライド可能に支持されたガイド８０と、ガイド８０をレール７９に対して調整する際に弛めて調整後に固定するＸ軸調整ノブ８１とから構成されている。

コンタクト機構２２は、パネル支持機構２１で支持されたパネルＰの各電極(図示せず)にプローブ１１３を接触させるための装置である。このコンタクト機構２２は、図２〜４及び図７〜１５に示すように、繰り出し部８４と、位置調整部８５とから構成されている。

繰り出し部８４は、各プローブ１１３を支持してパネルＰの各電極へ繰り出すための装置である。この繰り出し部８４は、前記パネル受け部３１のパネル受け板３９に支持されている。繰り出し部８４は、レール８６と、ガイド８７と、横移動片８８と、縦移動片８９と、駆動シリンダ９０と、ストッパ９１とから構成されている。

レール８６は、横移動片８８をパネルＰへ向けてスライドさせるための部材である。ガイド８７は、横移動片８８を支持した状態でレール８６に嵌合されて、横移動片８８をスライド可能に支持するための部材である。

横移動片８８は、前記レール８６とガイド８７でスライド可能に支持されて、パネルＰへ向けて往復動するための部材である。横移動片８８は図７〜１０及び図１３〜１５に示すように主に、水平板部９４と、垂直板部９５と、上側連結ブロック９６と、下側バネ受けブロック９７から構成されている。水平板部９４は、その下側面に前記ガイド８７が取り付けられて、パネルＰへ向けて往復動可能に支持されている。この水平板部９４のパネルＰ側端部には垂直板部９５が一体的に設けられている。垂直板部９５は、上側連結ブロック９６及び下側バネ受けブロック９７を支持するための部材である。上側連結ブロック９６は、後述する下側連結ブロック１０５を押し下げるための部材である。上側連結ブロック９６は、その側面形状をほぼ三角形状に形成され、その傾斜面が下側を向くように取り付けられている。この傾斜面にはレール９９が設けられている。下側バネ受けブロック９７は、バネ１０１の下端を支持するための部材である。なお、バネ１０１にはその中心にシャフト１０２が通されてバネ１０１を支持している。

縦移動片８９は、前記横移動片８８の上側連結ブロック９６に押されて下方へ押し下げられてプローブ１１３をパネルＰの電極に接触させるための部材である。縦移動片８９は主に、縦板部１０３と、ストッパ係止部１０４と、下側連結ブロック１０５と、上側バネ受けブロック１０６と、ガイド１０７とから構成されている。

縦板部１０３は、ストッパ係止部１０４等の部材を支持するための板片である。縦板部１０３は、長方形の板材で構成されている。ストッパ係止部１０４は、縦移動片８９の前後方向（図１２中の左右方向）への移動を規制するための部材である。ストッパ係止部１０４は、縦板部１０３の両端部から後方（図１２の右方向）へ伸びた支持腕部１１０と、この支持腕部１１０の先端部（後端部）に回転可能に設けられた規制ローラ１１１とから構成されている。この規制ローラ１１１は、ストッパ９１に当接して、縦移動片８９の前後方向への移動を規制して上下方向への移動を許容するようになっている。下側連結ブロック１０５は、前記上側連結ブロック９６と上下逆に取り付けられて、この上側連結ブロック９６によって下方へ押し下げられる部材である。下側連結ブロック１０５は、その側面形状をほぼ三角形状に形成され、その傾斜面が上側を向くように取り付けられている。この傾斜面にはガイド１０７が取り付けられている。このガイド１０７は、上側連結ブロック９６のレール９９にスライド可能に嵌合されている。このガイド１０７とレール９９と規制ローラ１１１とストッパ９１とで、上側連結ブロック９６の前後方向の動作を、下側連結ブロック１０５の上下方向の動作に変換される。上側バネ受けブロック１０６は、バネ１０１の上端を支持するための部材である。縦移動片８９は、ガイド１０７とレール９９とで斜め上下方向にスライド可能に支持された状態で、バネ１０１によって上方へ付勢されている。即ち、横移動片８８の下側バネ受けブロック９７でバネ１０１の下端が支持された状態で、上側バネ受けブロック１０６がバネ１０１で支持されることによって、縦移動片８９がバネ１０１で上方へ付勢されている。

駆動シリンダ９０は、横移動片８８の水平板部９４に連結されて、この水平板部９４をパネルＰ側へ押すためのシリンダである。この駆動シリンダ９０は、設定圧力の圧搾空気で動作するエアシリンダや、移動ナットを移動させるボルトを正確に制御するサーボモータ等で構成され、縦移動片８９に支持されたプローブ１１３をパネルＰの電極に正確に接触させることができるようになっている。この駆動シリンダ９０は、制御部２３に電気的に接続されて制御されている。

ストッパ９１は、縦移動片８９の前後方向の移動を規制して上下方向の移動を許容するための部材である。ストッパ９１は、パネル受け板３９に取り付けられた四角形の支柱によって構成されている。このストッパ９１は、ストッパ係止部１０４の規制ローラ１１１が当接すると、この規制ローラ１１１の前後方向の動を規制して、上下方向の移動を許容する。

以上の構成の繰り出し部８４には位置調整部８５が設けられている。この位置調整部８５は、各プローブ１１３を直接支持して各プローブ１１３の位置を手動で調整するための部材である。位置調整部８５は図７〜９及び図１１〜１５に示すように、レール１１５と、ガイド１１６と、支持板１１７と、固定ブロック１１８と、ガイドバー１１９とから構成されている。

レール１１５は、縦移動片８９の縦板部１０３の下側面に取り付けられている。このレール１１５は、プローブ１１３をパネルＰの一側辺に沿う方向に配設されている。ガイド１１６は、レール１１５にスライド可能に支持されている。支持板１１７は、ガイド１１６に固定されて、レール１１５に沿ってスライド可能に支持されている。支持板１１７にはプローブ１１３が取り付けられている。固定ブロック１１８は、ガイド１１６とレール１１５でスライド可能に支持された支持板１１７を任意の位置で固定するための部材である。固定ブロック１１８は、支持板１１７に一体的に設けられている。固定ブロック１１８の上部には、ガイドバー１１９が嵌合する嵌合孔１２０と、この嵌合孔１２０にガイドバー１１９が嵌合された状態で嵌合孔１２０を締め付ける締め付けネジ１２１とが設けられている。ガイドバー１１９は、固定ブロック１１８の嵌合孔１２０に嵌合されるバーである。このガイドバー１１９は、縦板部１０３の長手方向に沿って配設されている。

制御部２３は、パネル支持機構２１及びコンタクト機構２２を制御して前記パネルＰの各電極に各プローブ１１３を接触させて電気的検査を行うための装置である。この制御部２３は、ＣＰＵやメモリ等の素子によって構成されている。制御部２３は、図２２に示すように、アライメントカメラ３４、駆動モータ５１、駆動シリンダ６５、Ｙ軸駆動モータ７３、駆動シリンダ９０等にそれぞれ接続されて全体を制御する。制御部２３は、必要に応じて検査部等の他の部材にも接続されて、検査装置全体を制御する場合もある。制御部２３には、少なくとも図１に示すフローチャートの処理機能が格納されている。

［動作］
以上のように構成された検査装置は次のように動作する。なおここでは、本願発明の特徴部分である、パネルＰの位置決め機能を中心に説明し、検査装置の一般的な動作については省略する。

パネルＰの寸法がそれまでと異なるものを検査する場合は、可変開口４１をそのパネルＰに合わせて調整する。この場合は、各ベース移動装置３８の駆動モータ５１を駆動させて４枚の可動ベース３７を互いにずらし、可変開口４１をパネルＰの寸法に合わせる。

次いで、初回の検査のときだけ、作業者が手動でプローブ１１３の針合わせを行う。作業者は、締め付けネジ１２１を弛めて固定ブロック１１８をガイドバー１１９に沿って移動させて位置合わせを行う。その後、締め付けネジ１２１を締め付けて固定する。作業者は、針合わせが完了したら、次に手動でアライメントカメラ３４の位置合わせを行う。作業者は、カメラ位置調整部３５のＸ軸調整ツマミ６９及びＺ軸調整ツマミ７１を適宜回転させて、アライメントカメラ３４をアライメントマークが撮影できる位置に合わせる。ここで調整したアライメントカメラ３４で撮影したアライメントマークの位置が基準となり、２枚目意向のパネルＰは、そのアライメントマークと基準のアライメントマークとのずれ量からコンタクト可能か否かが判定される。

次いで、パネルＰの検査処理に移る。図１のフローチャートに示すように、まずパネルＰを搬送する（ステップＳ１）。この場合は、まず搬送装置(図示せず)を制御してパネルＰを検査装置のパネル受け板３９に移動させる。このとき、図２１に示すように、カメラ位置調整部３５のＹ軸駆動モータ７３が駆動されてアライメントカメラ３４が待機位置に移動されている。この状態で、パネルＰがパネル受け板３９に載置され、その後、図２０のように、Ｙ軸駆動モータ７３が駆動されてアライメントカメラ３４が検査位置に移動される。

次いで、パネル位置決め処理を行う（ステップＳ２）。この場合は、スライド機構６１の駆動シリンダ６５が駆動されてプッシャー３３がパネルＰ側へ移動される。これにより、図１６（ｂ）の状態から図１６（ａ）の状態のように、プッシャー３３がパネルＰの一方の辺に当接されて押圧される。これにより、パネルＰの他方の辺が位置決めピン３２に当接してパネルＰの一方の辺がプッシャー３３で押圧されることになる。これにより、パネルＰは、位置決めピン３２で正確に位置決めされてプッシャー３３で固定される。

次いで、アライメントカメラ３４でアライメントマークを撮影して画像処理を行い、コンタクト可能か否かを判定する（ステップＳ３）。例えば、ずれ量が０〜１００μｍの場合はコンタクト可能と判定する。

ここで、コンタクト不可と判定した場合は、手動でプローブ１１３を調整し直し、アライメントカメラ３４も調整し直すように表示し又は警報する（ステップＳ４）。これを受けて作業者は、前記同様にして、手動でプローブ１１３とアライメントカメラ３４の針合わせを行う。

一方、ステップＳ３でコンタクト可能と判定した場合は、コンタクト処理を行う（ステップＳ５）。ここでは、プローブ１１３をパネルＰの各電極へ繰り出すためにまず、コンタクト機構２２の駆動シリンダ９０が駆動されて横移動片８８がパネルＰ側へ移動される。これにより、図１７（ａ）の状態から図１７（ｂ）のように、縦移動片８９に支持されたプローブ１１３が横移動片８８と共にパネルＰ側へ移動される。縦移動片８９は、規制ローラ１１１がストッパ９１に当接するまで移動される。次いで、規制ローラ１１１がストッパ９１で規制された状態で、横移動片８８の上側連結ブロック９６が下側連結ブロック１０５を下方へ押して、縦移動片８９に支持されたプローブ１１３がパネルＰの表面へ向けて降下され、パネルＰの各電極にそれぞれ接触される。

次いで、検査用の電気信号がプローブ１１３を介してパネルＰの各電極に流されて、点灯検査が行われる（ステップＳ６）。

検査終了後は、駆動シリンダ９０で横移動片８８が引き戻されてプローブ１１３が図１７（ｃ）から図１７（ａ）の状態に戻される。次いで、駆動シリンダ６５でプッシャー３３が元に位置に戻されてパネルＰの固定が解除される。その後、搬送装置でパネルＰが搬送されて、次の検査行われる。

［効果］
以上のように、ＸＹＺθステージ等の精密な装置を用いず、前記プッシャー３３と位置決めピン３２とでパネルＰを簡易的に位置決めし、正確に位置決めされない場合は、手動で調整し直すようにした。パネルＰの外形誤差や、プッシャー３３や位置決めピン３２及びその周辺部品の摩耗等や、ゴミ等の付着により位置決めの誤差を生じた場合でも、手動で調整し直すことで、検査処理の精度を保つことができる。これにより、検査処理の精度を損なうことなく高価な機能を省略することができる。この結果、検査装置の製造コストの低減を図ることができる。

［変形例］
前記実施形態では、前記制御部で、コンタクト可能か否かを判定して、コンタクト不可の場合に表示又は警報をするようにしたが、作業者の手動による調整とさらに細かく連携するように制御しても良い。具体的には、以下のようになる。

前記制御部は、前記支持機構の前記プッシャーを作動させて前記検査対象板を押し位置決めピンに当接させて当該検査対象板を位置決めする機能と、前記アライメントカメラで前記検査対象板を撮影して位置決めを確認する機能と、正確に位置決めされていないときに前記位置調整部及び前記カメラ位置調整部により手動で調整し直す旨を表示して手動調整終了まで待つ機能と、前記検査対象板がコンタクト可能な場合に前記コンタクト機構で前記各接触子を前記各電極へ繰り出す機能とを備えた。この構成により、前記プッシャーを作動させて前記検査対象板を位置決めピンに当接させて、当該検査対象板を簡易的に位置決めする。この場合、正確に位置決めされない場合もあるため、そのときは、前記位置調整部及び前記カメラ位置調整部により手動で調整し直す旨を表示して手動調整終了まで待ち、作業者によって調整し直された後で、検査処理を行う。

以上のように構成された検査装置は次のように動作する。図２３のフローチャートに示すように、まずパネルＰの寸法の変更に伴う可変開口４１の調整後の初回の検査か否かを判定する（ステップＳ１１）。このとき、初回の検査でないと判定した場合は、ステップＳ１５に進む。初回の検査であると判定した場合は、作業者に手動で針合わせを行う旨を表示して、プローブ１１３の針合わせが完了するまで待つ（ステップＳ１２）。作業者は、締め付けネジ１２１を弛めて固定ブロック１１８をガイドバー１１９に沿って移動させて位置合わせを行う。その後、締め付けネジ１２１を締め付けて固定する。作業者は針合わせが完了したら、完了ボタン等で処理の進行を指示する。

次いで、作業者に手動でカメラ合わせを行う旨を表示して、アライメントカメラ３４の位置合わせが完了するまで待つ（ステップＳ１３）。作業者は、カメラ位置調整部３５のＸ軸調整ツマミ６９及びＺ軸調整ツマミ７１を適宜回転させて、アライメントカメラ３４をアライメントマークが撮影できる位置に合わせる。作業者はカメラ合わせが完了したら、完了ボタン等で処理の進行を指示する。ここで調整したアライメントカメラ３４で撮影したアライメントマークの位置が基準となり、２枚目意向のパネルＰは、そのアライメントマークと基準のアライメントマークとのずれ量からコンタクト可能か否かが判定される。

次いで、パネルＰが搬送されたか否かを判定する（ステップＳ１４）。搬送されていないと判定した場合は、パネルＰを搬送する（ステップＳ１５）。この場合は、まず搬送装置(図示せず)を制御してパネルＰを検査装置のパネル受け板３９に移動させる。このとき、図２１に示すように、カメラ位置調整部３５のＹ軸駆動モータ７３が駆動されてアライメントカメラ３４が待機位置に移動されている。この状態で、パネルＰがパネル受け板３９に載置され、その後、図２０のように、Ｙ軸駆動モータ７３が駆動されてアライメントカメラ３４が検査位置に移動される。次いで、ステップＳ１６に進む。

一方、ステップＳ１４で、パネルＰが既に搬送されていると判定した場合は、パネル位置決め処理を行う（ステップＳ１６）。この場合は、スライド機構６１の駆動シリンダ６５が駆動されてプッシャー３３がパネルＰ側へ移動される。これにより、図１６（ｂ）の状態から図１６（ａ）の状態のように、プッシャー３３がパネルＰの一方の辺に当接されて押圧される。これにより、パネルＰの他方の辺が位置決めピン３２に当接してパネルＰの一方の辺がプッシャー３３で押圧されることになる。これにより、パネルＰは、位置決ピン３２で正確に位置決めされてプッシャー３３で固定される。

次いで、アライメントカメラ３４でアライメントマークを撮影して画像処理を行い、コンタクト可能か否かを判定する（ステップＳ１７）。例えば、ずれ量が０〜１００μｍの場合はコンタクト可能と判定する。

ここで、コンタクト不可と判定した場合は、さらにその判定が初回の判定か否かを判定する（ステップＳ１８）。初回の判定であると判定した場合は、ステップＳ１６に戻って、もう一度パネルＰの位置決めを行う。初回の判定でないと判定した場合は、ステップＳ１２に戻って手動でプローブ１１３を調整し直し、アライメントカメラ３４も調整し直す。

一方、ステップＳ１７でコンタクト可能と判定した場合は、コンタクト処理を行う（ステップＳ１９）。ここでは、プローブ１１３をパネルＰの各電極へ繰り出すためにまず、コンタクト機構２２の駆動シリンダ９０が駆動されて横移動片８８がパネルＰ側へ移動される。これにより、図１７（ａ）の状態から図１７（ｂ）のように、縦移動片８９に支持されたプローブ１１３が横移動片８８と共にパネルＰ側へ移動される。縦移動片８９は、規制ローラ１１１がストッパ９１に当接するまで移動される。次いで、規制ローラ１１１がストッパ９１で規制された状態で、横移動片８８の上側連結ブロック９６が下側連結ブロック１０５を下方へ押して、縦移動片８９に支持されたプローブ１１３がパネルＰの表面へ向けて降下され、パネルＰの各電極にそれぞれ接触される。

次いで、検査用の電気信号がプローブ１１３を介してパネルＰの各電極に流されて、点灯検査が行われる。

以上のように、ＸＹＺθステージ等の精密な装置を用いず、前記プッシャー３３と位置決めピン３２とでパネルＰを簡易的に位置決めし、正確に位置決めされない場合は、手動で調整し直すようにした。パネルＰの外形誤差や、プッシャー３３や位置決めピン３２及びその周辺部品の摩耗等や、ゴミ等の付着により位置決めの誤差を生じた場合でも、手動で調整し直すことで、検査処理の精度を保つことができる。これにより、検査処理の精度を損なうことなく高価な機能を省略することができる。この結果、検査装置の製造コストの低減を図ることができる。

また、前記実施形態では、制御部２３での処理において、ステップＳ１７で、一例として、ずれ量が０〜１００μｍの場合はコンタクト可能と判定し、１００μｍを超える場合はコンタクト不可と判定したが、これ以外の態様でもよい。例えば、１００μｍを超える場合、ステップＳ１８で初回か否かを判定せずに、ずれ量が１００〜２００μｍの場合はステップＳ１６に進み、２００μｍ以上の場合はステップＳ１２に進むようにしてもよい。

また、前記０〜１００μｍ、１００〜２００μｍ、２００μｍ以上の数値は、諸条件に応じて任意に設定することができる。

この場合も、前記実施形態と同様の効果を奏することができる。

前記実施形態では、パネルＰの寸法の違いに応じてベース移動装置３８で開口を調整する機能を備えた検査装置を例に説明したが、開口を調整する機能を有しない検査装置でも本発明を適用することができる。

この場合も、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。

本発明の実施形態に係る検査装置の制御部の処理機能を示すフローチャートである。本発明の実施形態に係る検査装置のプローブユニットを示す斜視図である。本発明の実施形態に係る検査装置のプローブユニットを示す平面図である。図３のａ−ａ線矢視断面図である。本発明の実施形態に係る検査装置のプローブユニットを示す一部破断斜視図である。本発明の実施形態に係る検査装置のプローブユニットを示す一部破断平面図である。本発明の実施形態に係る検査装置のコンタクト機構を示す斜視図である。本発明の実施形態に係る検査装置のプローブを示す斜視図である。本発明の実施形態に係る検査装置のコンタクト機構を示す一部破断斜視図である。本発明の実施形態に係る検査装置のコンタクト機構を示す分解斜視図である。本発明の実施形態に係る検査装置のコンタクト機構の縦移動片を示す平面図である。図１１のａ−ａ線矢視断面図である。本発明の実施形態に係る検査装置のコンタクト機構を示す平面図である。図１３のａ−ａ線矢視断面図である。図１３のｂ−ｂ線矢視断面図である。図１３のコンタクト機構を除いた状態で示すｃ−ｃ線矢視断面図である。本発明の実施形態に係る検査装置のコンタクト機構の動作を示す側面図である。本発明の実施形態に係る検査装置のカメラ位置調整部を示す斜視図である。本発明の実施形態に係る検査装置のカメラ位置調整部を示す斜視図である。本発明の実施形態に係る検査装置のカメラ位置調整部の動作を示す側面図である。本発明の実施形態に係る検査装置のカメラ位置調整部の動作を示す側面図である。本発明の実施形態に係る検査装置の制御系の構成を示す機能ブロック図である。本発明の変形例に係るフローチャートである。従来の検査装置を示す平面図である。従来の検査装置を示す側面断面図である。

符号の説明

２０：プローブユニット、２１：パネル支持機構、２２：コンタクト機構、２３：制御部、２４：ベース板、２５：支柱、２６：ワークテーブルベース、２６Ａ：開口、２７：蛍光管、２８：バックライト、３１：パネル受け部、３２：位置決めピン、３３：プッシャー、３４：アライメントカメラ、３５：カメラ位置調整部、３７：可動ベース、３８：ベース移動装置、３９：パネル受け板、４１：可変開口、４３：第１のレール、４４：第１のガイド、４５：連結部材、４６：第２のレール、４７：第２のガイド、４８：駆動部、５０：ボールネジ、５１：駆動モータ、５２：ナット、５４：第３のレール、５５：第３のガイド、５７：スペーサー、６０：長溝、６１：スライド機構、６２：ガイド、６３：レール、６４：プッシャー支持部材、６５：駆動シリンダ、６８：Ｘ軸スライド部材、６９：Ｘ軸調整ツマミ、７０：Ｚ軸スライド部材、７１：Ｚ軸調整ツマミ、７２：Ｙ軸スライド部材、７３：Ｙ軸駆動モータ、７５：カメラ取付部材、７６：ボールネジ、７８：Ｘ軸移動機構、７９：レール、８０：ガイド、８１：Ｘ軸調整ノブ、８４：繰り出し部、８５：位置調整部、８６：レール、８７：ガイド、８８：横移動片、８９：縦移動片、９０：駆動シリンダ、９１：ストッパ、９４：水平板部、９５：垂直板部、９６：上側連結ブロック、９７：下側バネ受けブロック、９９：レール、１０１：バネ、１０２：シャフト、１０３：縦板部、１０４：ストッパ係止部、１０５：下側連結ブロック、１０６：上側バネ受けブロック、１０７：ガイド、１１０：支持腕部、１１１：規制ローラ、１１３：プローブ、１１５：レール、１１６：ガイド、１１７：支持板、１１８：固定ブロック、１１９：ガイドバー、１２０：嵌合孔、１２１：締め付けネジ、Ｐ：パネル

Claims

検査対象板の電極に接触子を接触させて電気的検査を行う検査装置であって、
前記検査対象板を位置決めして支持する支持機構と、
当該支持機構で支持された前記検査対象板の各電極に前記各接触子を接触させるコンタクト機構と、
前記支持機構及びコンタクト機構を制御して前記検査対象板の各電極に各接触子を接触させて電気的検査を行う制御部とを備え、
前記支持機構が、前記検査対象板を支持する検査対象板受け部と、当該検査対象板受け部に支持された前記検査対象板を位置決めする位置決めピンと、当該位置決めピンに対向する位置に設けられ前記検査対象板を押して位置決めピンに当接させるプッシャーと、前記検査対象板の位置決め確認のために当該検査対象板を撮影するアライメントカメラと、当該アライメントカメラを支持して位置を調整するカメラ位置調整部とを備え、
前記コンタクト機構が、前記検査対象板受け部に支持された状態で前記各接触子を支持して前記各電極へ繰り出す繰り出し部と、当該繰り出し部に設けられ前記各接触子を直接支持して当該各接触子の位置を手動で調整する接触子位置調整部とを備え、
前記制御部が、前記支持機構の前記プッシャーを作動させて前記検査対象板を位置決めピンに当接させて当該検査対象板を位置決めする処理と、前記アライメントカメラで前記検査対象板の位置決めを確認してコンタクト可能か否かを判定する処理と、コンタクト不可と判定したときに前記接触子位置調整部により手動で調整し直す旨を表示する処理と、前記検査対象板がコンタクト可能と判定した場合に前記コンタクト機構で前記各接触子を前記各電極へ繰り出す処理とを備えたことを特徴とする検査装置。
請求項１に記載の検査装置において、
前記制御部のカメラ位置調整部が、前記アライメントカメラを支持して手動で位置を調整する機能を備え、
前記制御部が、コンタクト不可と判定したときに、前記接触子位置調整部と共に前記カメラ位置調整部でも手動で調整し直す旨を表示することを特徴とする検査装置。
請求項１又は２に記載の検査装置において、
前記支持機構が、前記検査対象板の寸法の違いに応じて開口の大きさを調整する機能を備えたことを特徴とする検査装置。