JP2002014627A

JP2002014627A - 表示用パネルの検査装置

Info

Publication number: JP2002014627A
Application number: JP2000195760A
Authority: JP
Inventors: Kamihito Oishi; 上人尾石; Isao Ueki; 勲植木; Yutaka Kosaka; 裕小坂; Shinji Fujiwara; 慎治藤原
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2000-06-29
Filing date: 2000-06-29
Publication date: 2002-01-18

Abstract

(57)【要約】【目的】再接触指令を容易に入力可能とすること【解決手段】表示用パネルの検査装置は、少なくとも
検査部を有する本体と、検査すべき表示用パネルを受け
るべく前記本体内に配置された検査ステージと、該検査
ステージに受けられた表示用パネルの電極に押圧される
複数の接触子を有するプローブユニットであって前記検
査部に配置されたプローブユニットとを含む。前記本体
は、前記電極と前記接触子とを再度接触させて再度検査
をする再接触指令を発生する１以上の再接触指令スイッ
チを前記検査部の近傍に備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような表示用パネルの通電試験を行う検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】四角形の隣り合う少なくとも２つの辺に
対応する縁部のそれぞれに複数の電極を配置した液晶表
示パネルのような表示用パネルは、一般に、仕様書通り
に製造されたか否かの通電試験をされる。この種の通電
試験は、一般に、表示用パネルの電極に押圧される接触
子を有する複数のプローブを備えた１以上のプローブユ
ニットと、検査すべき表示用パネルを受ける検査ステー
ジ（測定ステージ）とを本体に配置した検査装置（プロ
ーバ）を用いて行われる。

【０００３】プローブユニットは、針先を接触子とする
ニードルタイプのプローブ（プローブ針）、及び、電気
絶縁性フィルムの一方の面に形成された複数の配線の先
端部又はその先端部に形成された突起電極を接触子とす
るフィルム状（又は、シート状）プローブ（プローブ要
素）のいずれか一方又は双方をプローブとして用いてい
る。

【０００４】本体は、表示用パネルの検査をする検査部
と、検査ステージに対する前記表示用パネルの受け渡し
をするローダ部とを備える。検査ステージは、検査部と
ローダ部とに移動可能である。プローブユニットは、検
査部に配置されて、複数のねじ部材により本体に移動不
能に装着されている。

【０００５】検査ステージは、受けた表示用パネルをこ
れと平行の面内で二次元的に移動させると共に、表示用
パネルと直交する方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回
転させる。これにより、表示用パネルは、その電極をプ
ローブの接触部に正しく位置決められる。

【０００６】検査ステージは、また、受けた表示用パネ
ルをこれと直交する方向へ移動させる。これにより、表
示用パネルは、その電極をプローブの接触子に押圧され
ることにより、プローブにオーバードライブを作用さ
せ、その状態で通電試験をされ、その後電極をプローブ
から離される。

【０００７】プローブのオーバードライブ量、電極と接
触子との接触圧等の検査条件は、本体に隣接して備えら
れたタッチパネル式の操作盤により予め設定することが
でき、また、検査ステージ及びプローブユニットの作動
開始指令、表示用パネルの電極とプローブの接触子との
相対的な位置決め（アライメント）指令等の制御指令
は、通電試験時に作業者が操作盤を操作することにより
行うことができる。

【０００８】一回の検査の結果、不良品と判定される表
示用パネルがある。それらのうち何割かは、電極と接触
子とのアライメント不良又は接触不良に起因する。した
がって、それら不良品を電極と接触子とを再度接触させ
て再度検査をすると、良品と判定されるものもある。こ
のようなことから、検査装置は、少なくとも一回不良品
と判定された表示用パネルについては、電極と接触子と
を再度接触させて再度検査をする再接触指令（再検査指
令）を操作盤から入力するように構成されている。

【０００９】

【解決しようとする課題】しかし、従来の検査装置で
は、操作盤が本体の近傍に設けられているため、再接触
指令を入力する際に、作業者は、姿勢を大きく変更する
か、又は操作盤の位置まで移動しなければならず、その
操作が面倒である。

【００１０】それゆえに、表示用パネルの検査装置にお
いては、再接触指令を容易に入力可能とすることが重要
である。

【００１１】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係る表示用パネル
の検査装置は、少なくとも検査部を有する本体と、検査
すべき表示用パネルを受けるべく前記本体内に配置され
た検査ステージと、該検査ステージに受けられた表示用
パネルの電極に押圧される複数の接触子を有するプロー
ブユニットであって前記検査部に配置されたプローブユ
ニットとを含む。前記本体は、前記電極と前記接触子と
を再度接触させて再度検査をする再接触指令を発生する
１以上の再接触指令スイッチを前記検査部の近傍に備え
る。

【００１２】再接触指令スイッチが操作されると、検査
装置は、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験
を行う。再接触スイッチの操作は、再接触スイッチが本
体の検査部近傍に設けられているから、再接触スイッチ
が本体とは別の機器に設けられている場合に比べ、極め
て容易である。したがって、再接触指令を容易に入力可
能とすることができる。

【００１３】前記再接触指令スイッチは、前記電極と前
記接触子との相対的な位置決めをするアライメントを再
度行わせた後に、前記再度接触指令を発生する第１のス
イッチと、前記電極と前記接触子との相対的な位置決め
をするアライメントを再度行わせかつ前記電極と前記接
触子との相対的な接触圧を増加した後に、前記電極と前
記再度接触指令を発生する第２のスイッチと、前記電極
と前記接触子との相対的な位置決めをするアライメント
を再度行わせかつ前記表示用パネルと前記プローブユニ
ットとを前記表示用パネルと平行な面内で互いに交差す
る第１及び第２の方向における少なくとも一方に変位さ
せた後に、前記再度接触指令を発生する第３のスイッチ
とから選択される１以上のスイッチとを含むことができ
る。そのようにすれば、少なくともアライメントが行わ
れた後、電極と接触子が再度接触されて、再度通電試験
をされるから、その表示用パネルが良品と判定される可
能性が高くなる。

【００１４】検査装置は、さらに、前記本体の近傍に配
置された操作盤であって少なくとも前記検査ステージ及
び前記プローブユニットの動作条件の設定及び操作をす
る操作盤を含むことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１から図７を参照するに、検査
装置１０は、液晶を封入した液晶表示パネルを検査すべ
き表示用パネル１２とする目視点灯検査装置として用い
られる。表示用パネル１２は、長方形の平面形状を有し
ており、また図示してはいないが長方形の対向する２つ
の長辺（Ｘ辺）とそれら両辺の間の１つの短辺（Ｙ辺）
とにそれぞれ複数の電極を有する。しかし、表示用パネ
ルの電極が形成される辺は、表示用パネルの種類により
異なる。

【００１６】検査装置１０は、長尺の複数のチャンネル
部材を組み立てた本体フレームと、該本体フレームに取
り外し可能に取り付けられた複数のパネルとにより、筐
体の形に形成された本体１４を含む。本体１２の前面上
部は、斜め上向きの傾斜面部１６とされている。

【００１７】図１に示すように、本体１４は、表示用パ
ネル１２の検査部（すなわち、測定部）２０とされた左
側領域と、表示用パネル１２の受け渡しのためのローダ
部２２とされた右側領域とに分けられている。本体１４
は、表示用パネル１２の形状に類似した長方形の開口２
４及び２６を傾斜面部１６にあって検査部２０及びロー
ダ部２２にそれぞれ有し、また後に詳細に説明する遮光
板２８をローダ部２２に有する。

【００１８】図３から図８に示すように、本体１２内に
は、検査ステージ（測定ステージ）３０が配置されてい
る。検査ステージ３０は、表示用パネル１２を本体１４
の傾斜面部１６とほぼ平行の斜め上向きの状態に受けた
状態で、搬送ステージ３２により検査部２０とローダ部
２２とに選択的に移動される。表示用パネル１２は、そ
の長手方向を左右方向とした状態に、検査ステージ３０
に受けられる。検査ステージ３０への表示用パネル１２
の受け渡しは、作業者によりローダ部２２において行わ
れる。

【００１９】以下、説明を簡略にし、かつ、容易に理解
し得るようにするために、検査ステージ３０に受けられ
た表示用パネル１２と平行の面内における左右方向及び
斜め上下の方向（斜め前後方向）をそれぞれＸ方向及び
Ｙ方向といい、その表示用パネル１２に垂直の方向をＺ
方向という。また、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向へ伸びる
軸線を、それぞれ、Ｘ軸線、Ｙ軸線及びＺ軸線という。

【００２０】検査ステージ３０は、表示用パネル１２を
受けるチャックトップ３４と、チャックトップ３４が組
み付けられたバックライトユニット３６と、チャックト
ップ３４及びバックライトユニット３６を表示用パネル
１２と平行の面内で二次元的に移動させると共にＺ軸線
の周りに角度的に回転させるアライメントステージ３８
とを備える。検査ステージ３０及び搬送ステージ３２に
ついては、後に詳細に説明する。

【００２１】図１から図４に示すように、検査部２０に
は、複数の検査（測定）用プローブユニット４０と、各
プローブユニット４０に個々に対応されて対応するプロ
ーブユニット４０をＺ方向に移動させるＺ移動装置４２
とが傾斜面部１６の開口２４に配置されている。プロー
ブユニット４０は、表示用パネル１２の辺のうち、電極
が設けられた辺に対応する箇所のそれぞれに配置されて
いる。

【００２２】図示の例では、プローブユニット４０及び
Ｚ移動装置４２は、長方形の対向する２つの長辺（Ｘ
辺）及び１つの短辺（Ｙ辺）に配置されている。また、
他の短辺（Ｙ辺）にもＺ移動装置４２が配置されてい
る。しかし、プローブユニット４０及びＺ移動装置４２
は、検査すべき表示用パネル１２の電極の配置位置及び
検査の種類に応じて、１つの辺、隣り合う２つの辺又は
３つの辺に配置される。

【００２３】各プローブユニット４０は、複数のプロー
ブブロック４４を矩形の板状プローブベース４６に取り
付け、プローブベース４６を移動装置４２に備えられた
板状の可動テーブル（ベースプレート）４８の上に配置
している。可動テーブル４８については、移動装置４２
と共に、後に詳細に説明する。

【００２４】各プローブブロック４４は、その下側に並
列的に組み付けられた複数のプローブを有する。各プロ
ーブは、先端を接触子とするポゴピンタイプのプロー
ブ、針先を接触子とするニードルタイプ又はブレードタ
イプのプローブ（プローブ針）、若しくは、電気絶縁性
のフィルムの一方の面に形成された複数の配線の先端部
又はこの先端部に形成された突起電極を接触子とするフ
ィルム状プローブ（プローブ要素）である。そのような
各プローブブロックの１つとして、特開平１０−１３２
８５３号公報に記載されている公知のものを用いること
ができる。

【００２５】Ｘ辺に配置されたプローブユニット４０の
各プローブベース４６は、少なくともプローブブロック
４４が可動テーブル４８から本体１４内に突出するよう
に、Ｘ方向へ伸びるリニアガイド５０によりＸ方向へ移
動可能に可動テーブル４８に組み付けられていると共
に、Ｘ駆動機構５２によりＸ方向における位置を調整さ
れる。

【００２６】各リニアガイド５０は、Ｘ方向へ伸びるガ
イドレールと、該ガイドレールにこれの長手方向へ移動
可能に嵌合されたスライドガイドとを備える市販されて
いる一般的なリニアガイドである。図示の例では、ガイ
ドレールは可動テーブル４８に組み付けられており、ス
ライドガイドはプローブベース４６に組み付けられてい
る。しかし、ガイドレールをプローブベース４６に組み
付け、スライドガイドを可動テーブル４８に組み付けて
もよい。

【００２７】Ｙ辺に配置された各プローブユニット４０
は、少なくともプローブブロック４４が可動テーブル４
８から本体１４内に突出するように、プローブベース４
６においてスペーサ４６ａにより可動テーブル４８に組
み付けられている。

【００２８】各Ｘ駆動機構５２は、Ｘ軸モータ５４を可
動テーブル４８に組み付け、Ｘ方向へ伸びるリードスク
リュー５６をＸ軸モータ５４に結合させ、リードナット
５８をプローブベース４６に組み付けると共に、リード
スクリュー５６に螺合させている。

【００２９】各Ｘ駆動機構５２は、リードスクリュー５
６をＸ軸モータ５４により回転させて、リードスナット
５８をＸ方向へ移動させることにより、プローブベース
４６を可動テーブル４８に対してＸ方向へ変位させる。
これにより、長方形の短辺に配置されたプローブユニッ
ト４０の接触子に対する長辺に配置されたプローブユニ
ット４０の接触子の位置を調整することができる。

【００３０】Ｙ辺に配置されたプローブユニット４０
は、その長手方向の各端部にテレビカメラ６０を有して
おり、またＸ辺に配置された各プローブユニット４０
は、Ｙ辺に配置されたプローブユニット４０の側と反対
の側の端部にテレビカメラ６０を有している。

【００３１】各テレビカメラ６０は、表示用パネル１２
に形成されているアライメントマークを撮影するよう
に、プローブベース４６に配置されている。テレビカメ
ラ６０の出力信号は、表示用パネル１２とプローブユニ
ット４０との相対的な位置決め（アライメント）に用い
られる。位置決めは、表示用パネル１２のアライメント
マークがテレビカメラ６０の視野内の所定の座標位置に
なるように、表示用パネル１２を検査ステージ３０のア
ライメントステージ３８により移動させることにより行
われる。

【００３２】各Ｚ移動装置４２は、前記した可動テーブ
ル４８のほかに、さらに、可動テーブル４８を本体１４
に装着している一対のリニアガイド６２と、可動テーブ
ル４８を第１の方向へ移動させるＺ移動機構６４とを備
える。

【００３３】各可動テーブル４８は、長方形の対応する
辺の方向に伸びる板状部材から形成されており、またリ
ニアガイド６２及びＺ移動機構６４により本体１４の傾
斜面部１６と平行に支持されている。

【００３４】各リニアガイド６２は、Ｚ方向へ伸びるガ
イドレール６６と、ガイドレール６６にＺ方向へ移動可
能に嵌合されたスライドガイド６８とを含む一般的なリ
ニアガイドである。ガイドレール６６は開口２４を形成
する面に組み付けられており、スライドガイド６８は可
動テーブル４８に組み付けられている。

【００３５】各Ｚ移動機構６４は、開口２４を形成する
面に配置された中空モータ７０と、中空モータ７０の中
空部に螺合されたリードスクリュー７２とにより形成す
ることができる。中空モータ７０はその回転軸線がＺ方
向へ伸びるように傾斜面部１６に組み付けられており、
リードスクリュー７２はＺ方向へ伸びるように可動テー
ブル４８に回転可能に組み付けられている。

【００３６】待機時、検査ステージ３０の移動時及び検
査ステージ３０への表示用パネル１２の受け渡し時、Ｚ
移動機構６４は、各プローブユニット４０を検査ステー
ジ３０及びそれに受けられた表示用パネル１２から離し
ている。

【００３７】しかし、検査ステージ３０が表示用パネル
１２を受けた状態で、検査部２０に移動され、その状態
で表示用パネル１２とプローブユニット４０との位置決
めをするとき、Ｚ移動機構６４はプローブユニット４０
を１回以上検査ステージ３０に接近させる。

【００３８】また、上記位置決めが終了すると、Ｚ移動
機構６４は、プローブユニット４０を検査ステージ３０
に向けて移動させて、プローブの接触子を表示用パネル
１２の電極に押圧する。この状態で通電試験が行われ
る。

【００３９】通電試験が終了すると、Ｚ移動機構６４
は、プローブユニット４０を検査ステージ３０に対して
Ｚ方向へ移動させて、待機位置に待避させる。

【００４０】図１に示すように、操作盤７４が本体１４
の近傍に配置されており、また目視検査の補助装置とし
て用いる光学顕微鏡７６と、自動点灯検査装置の場合に
テレビカメラのような撮像装置により撮影した表示用パ
ネル１２の画像を映し出すために用いられるテレビジョ
ン受像機（モニタ）７８とが配置されている。

【００４１】操作盤７４は、作業者が、プローブのオー
バードライブ量、電極と接触子との接触圧等の検査条件
の設定、検査ステージ及びプローブユニットの作動開始
指令、表示用パネルの電極とプローブの接触子との相対
的な位置決め指令等の制御指令の入力をし、それにより
検査装置１０を作動させるためのものである。

【００４２】図１及び図１１に示すように、検査部２０
には、また、少なくとも電極と接触子とを再度接触させ
て再度検査をする再接触指令を発生する複数の再接触指
令スイッチ８０，８２，８４，８６が開口２４の近傍に
設けられている。

【００４３】再接触指令スイッチ８０は、電極と接触子
との相対的な位置決めを再度行わせた後に、再度接触指
令を発生する。スイッチ８０が操作されると、検査装置
１０は、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験
を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定さ
れる可能性が高くなり、良品を不良品と判定される可能
性が低くなる。

【００４４】再接触指令スイッチ８２は、電極と接触子
との相対的な位置決めを再度行わせかつ電極と接触子と
の相対的な接触圧を増加した後に、電極と再度接触指令
を発生する。スイッチ８２が操作されると、検査装置１
０は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行った
後に、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験を
行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定され
る可能性がより高くなり、良品を不良品と判定される可
能性がより低くなる。

【００４５】再接触指令スイッチ８４は、第２のスイッ
チと、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行わせ
かつ表示用パネル１２をプローブユニット４０に対しＸ
方向に変位させた後に、再度接触指令を発生する。スイ
ッチ８４が操作されると、検査装置１０は、電極と接触
子との相対的な位置決めを再度行い、表示用パネル１２
をプローブユニット４０に対しＸ方向に所定量変位させ
た後に、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験
を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定さ
れる可能性がより高くなり、良品を不良品と判定される
可能性がより低くなる。

【００４６】再接触指令スイッチ８６は、電極と接触子
との相対的な位置決めを再度行わせかつ表示用パネルを
プローブユニットに対しＹ方向に変位させた後に、再度
接触指令を発生する。スイッチ８６が操作されると、検
査装置１０は、電極と接触子との相対的な位置決めを再
度行い、表示用パネル１２をプローブユニット４０に対
しＹ方向に所定量変位させた後に、電極と接触子を再度
接触させて、再度通電試験を行う。したがって、その表
示用パネルが良品と判定される可能性がより高くなり、
良品を不良品と判定される可能性がより低くなる。

【００４７】スイッチ８０，８２，８４，８６の操作
は、これらのスイッチが本体の検査部近傍に設けられて
いるから、制御盤７４を操作して上記のような指令を発
生する場合に比べ、極めて容易である。したがって、再
接触指令を容易に入力可能とすることができる。

【００４８】再接触指令スイッチによる上記動作を実行
するために、検査装置１０は、例えば、プローブユニッ
ト４０がＺ移動装置４２により検査ステージ３０から離
された後に、スイッチ８０，８２，８４，８６のいずれ
が圧下されたを確認し、圧下されたスイッチに応じて上
記動作を実行する。

【００４９】図３から図９に示すように、チャックトッ
プ３４は、表示用パネル１２を解除可能に真空吸着する
ワークテーブル（すなわち、真空チャック）である。チ
ャックトップ３４は、バックライトユニット３６からの
光が表示用パネル１２に達することを許す矩形の開口９
０を有すると共に、表示用パネル１２を真空的に吸着す
る複数の吸着溝９２を開口９０の周りに有する。

【００５０】開口９０の上端は、ガラス板のような透明
板９４により閉塞されている（図９参照）。透明板９４
は、チャックトップ３４自体の上端面と共に、表示パネ
ル１２を受けるパネル受け面９６とされている。各吸着
溝９２は、パネル受け面９６に開放されている。図示の
例では、チャックトップ３４は、仮想的な矩形の隣り合
う２つの辺に個々に対応されて対応する辺に沿って伸び
る２つの吸着溝９２を有している。

【００５１】しかし、仮想的な矩形の、１つ、３つ又は
４つの辺に個々に対応されて対応する辺に沿って伸び
る、１つ、３つ又は４つの吸着溝９２を有していてもよ
い。また、各辺の吸着溝は、その辺の方向に連続してい
てもよいし、複数に分割されていてもよい。さらに、複
数の吸着溝を各辺に複数列に設けていてもよい。

【００５２】バックライトユニット３６は、チャックト
ップ３４に受けられた表示用パネル１２をその背後から
照明する機能を有しており、したがって箱状のケース内
に白色ランプのような１以上の光源を収容している。

【００５３】図６及び図７に示すように、チャックトッ
プ３４とバックライトユニット３６とは、複数の支柱９
８によりＺ方向に隔てられて、両者の間に空間１００を
形成している。遮光板２８は、組み付け具１０２（図７
参照）により本体１４の内側に片持ち梁状に組み付けら
れており、またＺ方向における空間１００の位置にあっ
て表示用パネル１２と平行に維持されている。

【００５４】遮光板２８は、検査ステージ３０がローダ
部２２に移動されるときローダ部２２近傍において空間
１００に受け入れられ始め、検査ステージ３０がローダ
部２２に完全に位置されたとき図６から図８に示すよう
に空間１００に完全に受け入れられる。

【００５５】また、遮光板２８は、検査ステージ３０が
ローダ部２２から離され始めるとき空間１００から離さ
れ始め、検査ステージ３０がローダ部２２から完全に離
されることにより空間１００から完全に離される。

【００５６】これにより、検査ステージ３０がローダ部
２２に移動されていると、バックライトユニット３６か
らチャックトップ３４に向かう光は遮光板２８により遮
断される。これに対し、検査ステージ３０がローダ部２
２から完全に離されると、バックライトユニット３６か
らの光は遮光板２８により遮断されることなく、チャッ
クトップ３４に向かう。このため、チャックトップ３４
に対する表示用パネル１２の着脱時に、バックライトユ
ニット３６を消灯させなくても、バックライトユニット
３６からの光は本体１４の外に指向されることを防止さ
れて、作業者はバックライトユニット３６からの強い光
にさらされることを防止される。

【００５７】アライメントステージ３８は、Ｘ，Ｙ，Ｚ
の３つの軸線のうち、２つの軸線（Ｘ，Ｙ軸線）の方向
への平行移動と、残りの１つの軸線（Ｚ軸線）の周りの
角度的回転を回転移動テーブルに与える２軸平行・１軸
旋回テーブル装置である。そのような装置は、例えば、
特開平１１−２４５１２８号公報に記載されている。

【００５８】２軸平行・１軸旋回テーブル装置をアライ
メントテーブル３８として検査ステージ３０に用いる
と、回転移動テーブルをＺ軸線の周りに角度的に回転さ
せるθステージと、回転移動テーブルをＹ軸線の方向へ
移動させるＹステージと、回転移動テーブルをＸ軸線の
方向へ移動させるＸステージとをアライメントステージ
として用いた検査ステージに比べ、Ｚ軸線方向における
検査ステージの高さ寸法が著しく小さくなる。

【００５９】搬送ステージ３２は、本体１４内に斜め上
向きに配置された支持板１０４に配置されており、また
アライメントステージ３８を支持している。

【００６０】図５，図８及び図９に示すように、検査ス
テージ３０は、また、表示用パネル１２をチャックトッ
プ３４に対して位置決める２組のストッパ１０６と、表
示用パネル１２をストッパ１０６に押圧する複数の第１
のプッシャー機構１０８と、表示用パネル１２の縁部を
パネル受け面９６に解除可能に押圧する複数の第２のプ
ッシャー機構１１０とを有する。ストッパ１０６並びに
第１及び第２のプッシャー機構１０８及び１１０は、い
ずれも、チャックトップ３４に配置されている。

【００６１】一方の組のストッパ１０６は、表示用パネ
ル１２の下端面を受けるようにＹ方向に間隔をおいて、
パネル受け面９６にねじ部材により取り付けられてい
る。このため、チャックトップ３４に載置された表示用
パネル１２は、パネル受け面９６が傾斜していても、下
端面が一方のストッパ１０６に当接し、それによりチャ
ックトップ３４から落下することを防止される。

【００６２】これに対し、他方の組のストッパ１０６
は、表示用パネル１２の左右方向における一方の端面を
受けるようにＸ方向に間隔をおいて、パネル受け面９６
にねじ部材により取り付けられている。

【００６３】図示の例では、Ｘ辺及びＹ辺のそれぞれに
１つの第１のプッシャー機構１０８が設けられている。
Ｘ辺の第１のプッシャー機構１０８は、Ｘ方向におい
て、一方の組のストッパ１０６と反対側（上方側）に配
置されている。Ｙ辺の第１のプッシャー機構１０８は、
Ｘ方向において、他方の組のストッパ１０６と反対側に
配置されている。

【００６４】図５及び図１０に示すように、各第１のプ
ッシャー機構１０８は、チャックトップ３４に支持され
た逆転可能の回転機構１１２と、回転機構１１２により
表示用パネル１２に垂直の方向（Ｚ方向）へ伸びる軸線
の周りに角度的に回転されて表示用パネル１２を押す揺
動体１１４とを備える。

【００６５】各回転機構１１２は、その出力回転軸がＺ
方向へ伸びるように、チャックトップ３４に支持されて
いる。各回転機構１１２として、回転式のシリンダ機
構、回転式のソレノイド機構、電動機等を用いることが
できる。

【００６６】各揺動体１１４は、一端部において回転機
構１１２の出力回転軸に取り付けられたアーム１１６
と、アーム１１６の他端部にチャックトップ３４のパネ
ル受け面からＺ方向へわずかに突出する状態に取り付け
られたピン１１８とで構成することができる。

【００６７】各第１のプッシャー機構１０８は、回転機
構１１２が一方向へ所定の角度回転することにより、揺
動体１１４が一方向に所定角度回転されて、表示用パネ
ル１２を対応するストッパ１０６に押す。これにより、
表示用パネル１２は、検査ステージ３０に対して位置決
められて、その状態に維持される。

【００６８】回転機構１１２が所定の角度逆転される
と、各第１のプッシャー機構１０８は、揺動体１１４が
所定角度逆回転されて、対応するストッパ１０６への表
示用パネル１２の押圧を解除する。

【００６９】図５及び図９に示すように、各第２のプッ
シャー機構１１０は、パネル受け面９６と交差する方向
へ伸びる軸線（Ｚ軸線）を有するシリンダ１２６及びこ
れに受け入れられたピストン１２８を有するシリンダ機
構１２０と、シリンダ機構１２０のピストン１２８に先
端部に組み付けられた板状アーム１２２と、板状アーム
１２２の先端部に配置されたゴム板１２４とを備える。

【００７０】シリンダ機構１２０は、そのピストン１２
８が流体によりシリンダ１２６に対し軸線の周りに角度
的に回転しつつその軸線の方向へ移動するスイングシリ
ンダ機構である。図示の例では、Ｘ方向における両端部
のそれぞれに２つのシリンダ機構１２０がＹ方向に間隔
をおいて配置されている。

【００７１】板状アーム１２２は、弾性変形可能の板バ
ネから製作されており、また一端においてピストン１２
８の上端部に装着されている。ゴム板１２４は、シリコ
ーンゴムのように弾性変形可能の材料から製作されてお
り、また表示パネル１２の縁部に当接可能に板状アーム
１２２の他端部下面に装着されている。

【００７２】図９（Ａ）に示すように、ピストン１２８
がシリンダ１２６から突出していると、板状アーム１２
２が表示用パネル１２からＸ方向及びＺ方向に離されて
いる。

【００７３】図９（Ａ）に示す状態において、ピストン
１２８がシリンダ１２６内に後退されると、ピストン１
２８が下降されつつその軸線の周りに角度的に回転され
るから、板状アーム１２２が図９（Ｂ）に示すように回
転されつつ下降されて、ゴム板１２４が表示用パネル１
２の縁部の上方に移動される。

【００７４】ピストン１２８がシリンダ１２６内にさら
に後退されると、板状アーム１２２が図９（Ｃ）に示す
ようにさらに下降されて、ゴム板１２４が表示用パネル
１２の縁部に当接する。

【００７５】ピストン１２８がシリンダ１２６内にさら
に後退されると、板状アーム１２２が図９（Ｄ）に示す
ようにさらに下降されるから、ゴム板１２４が表示用パ
ネル１２の縁部をパネル受け面９６に押圧する。この状
態において、板状アーム１２２は弾性変形によりわずか
に撓み、ゴム板１２４は弾性変形する。

【００７６】上記の結果、表示用パネル１２の縁部がＸ
方向一端部に位置する吸着溝９２の開放部に押圧されて
密着するから、その吸着溝９２又は全ての吸着溝９２が
吸引源に接続されることにより、表示用パネル１２の縁
部はその吸着溝９２又は全ての吸着溝９２に吸着され、
その状態に安定に維持される。

【００７７】表示用パネル１２の縁部の押圧を解除する
とき、各第２のプッシャー機構１１０は、ピストン１２
８がシリンダ１２６から突出されることにより、上記と
逆に作動される。

【００７８】吸着溝９２は、検査ステージ３０が表示用
パネルを受けたときから、検査が終了して、検査ステー
ジ３０がローダ部２２に達するまでの間は、吸引源に接
続される。しかし、検査ステージ３０に対する表示用パ
ネルの着脱時には、吸着溝９２は、吸引源から切り離さ
れる。

【００７９】第１のプッシャー機構１０８は、表示用パ
ネル１２と検査ステージの相対的な位置決めを行うとき
だけ、表示用パネル１２をストッパ１０６に押する。ま
た、第２のプッシャー機構１１０は、表示用パネル１２
を吸着溝９２に吸着させるときだけ、表示用パネル１２
の縁部をパネル受け面９６に押圧する。しかし、第１及
び第２のプッシャー機構１０８及び１１０のいずれも、
それ以外のときにも表示用パネルを押圧するようにして
もよい。

【００８０】しかし、検査ステージ３０に対する表示用
パネルの着脱時には、全ての吸着溝９２は吸引源から切
り離され、全ての第１のプッシャー機構１０８はストッ
パ１０６への表示用パネル１２の押圧を解除し、全ての
各第２のプッシャー機構１１０はパネル受け面９６への
表示用パネル１２の押圧を解除する。

【００８１】検査装置１０において、検査ステージ３０
がローダ部２２に位置するとき、検査済みの表示用パネ
ル１２が検査ステージ３０から除去され、未検査の表示
用パネル１２が検査ステージ３０に配置される。この受
け渡し作業は、人手により行われる。

【００８２】表示用パネル１２の受け渡し作業が終了す
ると、検査装置１０は、本体１２の検査部２０に備えら
れた開始スイッチ（図示せず）が操作されることによ
り、以下の動作を開始する。

【００８３】先ず、表示用パネル１２が第１のプッシャ
ー機構１０８によりストッパ９６に押圧されて、検査ス
テージ３０に対する表示用パネルの位置決めが行われ
る。

【００８４】次いで、表示用パネル１２の縁部が第２の
プッシャー機構１１０によりパネル受け面９６に押圧さ
れると共に、全ての吸着溝９２が吸引源に接続される。
これにより、表示用パネル１２は検査ステージ３０に保
持される。

【００８５】次いで、検査ステージ３０が検査部２０に
移動され、検査部２０においてプローブユニット４０に
対して位置決められる。このアライメントのとき、表示
用パネル１２は、チャックトップ３４及びバックライト
ユニット３６がアライメントステージ３８により移動さ
れることにより、プローブユニット４０に対して移動さ
れる。また、各プローブユニット４０がＺ移動装置４２
により検査ステージ３０に対し１回以上移動される。

【００８６】次いで、各プローブユニット４０がＺ移動
装置４２により検査ステージ３０に向けて移動されて、
プローブの接触子が表示用パネル１２の電極に押圧され
る。この状態で、表示用パネルに通電されて、作業者に
よる目視点灯検査が行われる。

【００８７】検査の結果、不良であると、いずれかの再
接触指令スイッチが圧下されることにより、少なくとも
アライメントが再度行われた後、接触子と電極とが再接
触されて再検査が行われる。

【００８８】検査が終了すると、各プローブユニット４
０がＺ移動装置４２により検査ステージ３０から離され
た後、検査ステージ３０がローダ部２２に向けて移動さ
れる。

【００８９】上記工程は、表示用パネル１２毎に繰り返
される。

【００９０】検査装置１０は、プローブユニット４０を
表示用パネル１２に対しＺ方向に個々に移動させるか
ら、表示用パネル１２とプローブユニット４０とをＺ方
向へ相対的に移動させる移動機構を検査ステージ３０に
設ける必要がなく、したがってＺ方向における検査ステ
ージ３０の高さ寸法が小さくなり、プローブユニット３
０に対する表示用パネル１２の位置が安定する。

【００９１】また、各プローブユニット４０が対応する
移動装置４２により表示用パネル１２に対しＺ方向に移
動されるから、移動装置４２によるＺ方向へのプローブ
ユニット４０の移動量をプローブユニット４０毎に設定
することができ、したがって、全てのプローブを共通の
プローブベース４６に配置した場合に比べ、プローブ相
互間のオーバードライブ量及び針圧の差を小さくするこ
とができる。

【００９２】さらに、各プローブユニット４０が複数の
プローブブロック４０をプローブベース４６に配置し
て、オーバードライブ及び針圧をプローブプローブベー
ス４６毎に設定すると、オーバードライブ及び針圧をプ
ローブブロック４４毎に設定する場合に比べ、オーバー
ドライブ及び針圧の設定作業が容易になる。

【００９３】これに対し、表示用パネルの電極を検査ス
テージによりプローブの接触子に押圧する従来の検査装
置では、プローブの接触子の高さ位置が正確に一致して
いないと、オーバードライブが不足するプローブが存在
することになる。その結果、そのプローブの接触子と表
示用パネルの電極との接触圧（針圧）が不足し、正確な
試験結果を得ることができない。

【００９４】これを防止すべく全てのプローブが所定の
値以上のオーバードライブを受けるようにすると、大き
な押圧力が必要になるし、オーバードライブが過剰にな
るプローブが存在することになる。その結果、プローブ
が短命になるし、表示用パネルの電極を損傷するおそれ
がある。

【００９５】検査装置１０によれば、Ｚ移動装置４２を
プローブユニット４０側に配置しているのみならず、プ
ローブユニット４０毎に配置しているから、従来の検査
装置による上記の問題が解決される。

【００９６】本発明は、表示用パネルの受け渡しを人手
により行う装置のみならず、搬送ロボットのような自動
化装置を用いて行う装置にも適用することができる。ま
た、本発明は、目視検査を人の肉眼により行う目視点灯
装置のみならず、撮像装置、画像処理装置等を用いて自
動的に行う自動点灯検査装置にも適用することができる
し、自動検査及び目視検査の両者を選択的に行うことが
できる装置にも適用することができる。さらに、本発明
は、表示用パネルを斜めにした状態で検査する装置のみ
ならず、表示用パネルをほぼ水平にした状態で検査する
装置のような他の形式の装置にも適用することができ
る。

【００９７】本発明は、液晶を封入した液晶表示パネル
のみならず、薄膜トランジスタを形成したガラス基板、
プラスマ表示パネルのように、液晶表示パネル以外の表
示パネル等、他の表示用パネルの検査装置にも適用する
ことができる。

【００９８】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す正面図

【図２】図１に示す検査装置の検査部の詳細を示す図

【図３】図２における３−３線に沿って得た断面図

【図４】図２における４−４線に沿って得た断面図

【図５】図１に示す検査装置の検査ステージの詳細を示
す図

【図６】検査ステージの配置状態を示す概略的な断面図

【図７】図６における７−７線に沿って得た断面図

【図８】図７に示す状態における検査ステージの図

【図９】第２のプッシャー機構の動作を説明するための
図

【図１０】第１のプッシャー機構の一実施例を示す図

【図１１】再接触指令スイッチを示す図

【符号の説明】

１０検査装置１２表示用パネル１４本体１６傾斜面部２０検査部２２ローダ部２４，２６本体の開口３０検査ステージ３２搬送ステージ３４チャックトップ３６バックライトユニット３８アライメントステージ４０プローブユニット４２Ｚ移動装置４４プローブブロック７４制御盤８０，８２，８４，８６再接触指令スイッチ

フロントページの続き (72)発明者小坂裕東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者藤原慎治東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号株式会社日本マイクロニクス内Ｆターム(参考） 2G011 AA21 AC06 2G032 AA00 AE04 AF04 2H088 FA11 FA30 MA20 5G435 AA19 BB12 EE41 GG21 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも検査部を有する本体と、検査
すべき表示用パネルを受けるべく前記本体内に配置され
た検査ステージと、該検査ステージに受けられた表示用
パネルの電極に押圧される複数の接触子を有するプロー
ブユニットであって前記検査部に配置されたプローブユ
ニットとを含み、前記本体は、前記電極と前記接触子とを再度接触させて
再度検査をする再接触指令を発生する１以上の再接触指
令スイッチを前記検査部の近傍に備える、表示用パネル
の検査装置。
【請求項２】前記再接触指令スイッチは、前記電極と前記接触子との相対的な位置決めをするアラ
イメントを再度行わせた後に、前記再度接触指令を発生
する第１のスイッチと、前記電極と前記接触子との相対的な位置決めをするアラ
イメントを再度行わせかつ前記電極と前記接触子との相
対的な接触圧を増加した後に、前記電極と前記再度接触
指令を発生する第２のスイッチと、前記電極と前記接触子との相対的な位置決めをするアラ
イメントを再度行わせかつ前記表示用パネルと前記プロ
ーブユニットとを前記表示用パネルと平行な面内で互い
に交差する第１及び第２の方向における少なくとも一方
に変位させた後に、前記再度接触指令を発生する第３の
スイッチとから選択される１以上のスイッチを含む、請
求項１に記載の検査装置。
【請求項３】さらに、前記本体の近傍に配置された操
作盤であって少なくとも前記検査ステージ及び前記プロ
ーブユニットの動作条件の設定及びその操作をする操作
盤を含む、請求項１又は２に記載の検査装置。