JP5051947B2 - 導通検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部をプローブ支持体に着脱自在に固定した導通検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、電極パターンを有する基板の回線を電気導通の有無により検査することが行われており、例えば、特開2000−249738号公報に開示された装置がある。この装置は、基板の電極パターンに対し、下面にプローブを突出させたプローブ支持体を移動させて、電極パターンの電極部とプローブを接触させることにより、電極パターンの導通の有無を検査するものである。そして、電極パターンとプローブとの位置決めはCCDカメラによる撮影画像に基づいて行われる。
【0003】
前記装置では、プローブのプローブ支持体への取り付けは、プローブ支持体の内側で圧縮ばねにプローブを支持させることによってなされ、そのプローブの先端部はプローブ支持体の下端に設けられた被取付体の孔を挿通して、被取付体の下面から進退自在になっている。また、従来の他の装置には、プローブ支持体に対して、プローブ基板をねじで固定したり、接着剤で固定したものもある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の装置では、プローブ支持体の被取付体にプローブが挿通するための孔を設けるため、被取付体に取り付けるプローブの数や被取付体の小型化に制限がある。したがって、この装置では、プローブ支持体に多数のプローブを取り付けることができず、複雑な形状の電極パターンの導通検査ができないという問題や、微細電極パターンを有する基板の導通検査ができないという問題がある。
【0005】
また、プローブ基板をねじでプローブ支持体に固定すると、多数のプローブの取付けは可能になるが、プローブ基板がねじ止めされた一部の部分に応力が集中してしまい、プローブ基板が破損し易いという問題がある。一方、プローブ基板を接着剤でプローブ支持体に固定すると、プローブ基板の取替え時の作業性が悪くなるという問題がある。さらに、ねじを用いた場合と接着剤を用いた場合の双方において、プローブ基板と、プローブ基板に接合されるフレキシブル基板との接合部に剥離が生じ易いという問題がある。
【0006】
【発明の概要】
本発明は、上記した問題に対処するためになされたもので、その目的は、プローブ基板に対して応力の集中をなくすことによりプローブ基板の破損を防止するとともに、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部の剥離を防止し、さらには、プローブ基板の着脱が容易になる導通検査装置を提供することである。
【0007】
上記の目的を達成するため、本発明に係る導通検査装置の特徴は、フレキシブル基板とプローブ基板とを重ねた状態で、プローブ支持体と固定部材との間に挟み込んで固定し、プローブ基板のプローブと、電極パターンの電極部とを画像撮影装置および移動機構を用いて位置決めしたのち接触させることにより、電極パターンの導通検査を行う導通検査装置であって、プローブ支持体におけるフレキシブル基板とプローブ基板とが固定される部分を、外形が四角錐に形成されたプローブ固定部で構成し、固定部材を、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部の幅方向の長さよりも長く設定され、中央部にプローブ基板とフレキシブル基板の接合部とを位置決めする凹部が形成された押さえ具と、押さえ具の両端側をプローブ固定部の四角錐の各表面に着脱自在に固定するボルトからなる固定具とで構成し、プローブ固定部の内部中央に、収容凹部と、収容凹部からプローブ固定部の先端を介して外部に通じる通光路とを設け、収容凹部に、画像撮影装置に向けて発光装置を取り付けたことにある。
【0008】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部に押さえ具を当て、その押さえ具の両端側を固定具によって、プローブ支持体の表面に着脱自在に固定することにより、プローブ基板をプローブ支持体に取り付けることができる。そして、前記接合部が当接する押さえ具の長さは接合部の幅よりも長く形成されているため、押さえ具の押圧力による応力が接合部の幅方向全体に分散して、特定箇所に応力が集中するということがなくなり、応力集中によるプローブ基板の破損がなくなる。
【0009】
また、プローブ基板とフレキシブル基板は、プローブ支持体と押さえ具によって、互いに押圧されるようになり、この結果、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部の剥離が防止される。これらの効果を奏することによって、さらに、強固な締め付け固定が可能になる。また、固定具が着脱自在であるため、プローブ基板の取り付けや交換が容易になる。さらに、プローブ基板をプローブ支持体の表面に固定するため、多数のプローブの取り付けが可能になる。また、本発明によると、発光装置からの透過光を利用してプローブや電極パターンの撮影をすることができるため、ハレーションがなくなって、良好な画像を得ることができる。この結果、精度のよい位置決めができ、適正な導通検査が行えるようになる。
【0010】
また、本発明の他の構成上の特徴は、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部と、押さえ具との間に弾性層を介在させたことにある。これによると、接合部に対する接触面が柔らかくなるため、さらに、接合部にかかる応力を分散させることができるとともに、押さえ具の押圧によって、プローブ基板が傷つくといったことが防止できる。
【0011】
また、本発明の他の構成上の特徴は、プローブ基板とフレキシブル基板の間に異方性導電ゴムからなる層を介在させたことにある。これによると、プローブ基板のプローブとフレキシブル基板の配線との導電性が良好になり、プローブとフレキシブル基板の配線の接触部に多少のずれが生じていても正常に導通するようになる。この結果、電極パターンの導通が良好であるにもかかわらず、導通していないと判断するような誤った検査結果がなくなる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図1は同実施形態に係る導通検査装置に備わったプローブヘッドを示す正面図であり、図2はその主要部分の底面図である。このプローブヘッド10は、シート状の基板に設けられた電極パターンが適正に導通しているかどうかを検査するものであり、中央のコネクタ取付け部11と、そのコネクタ取付け部11の側面に連なって取り付けられた2個の枠状のコネクタ取付け部12a,12bと、コネクタ取付け部11の下面に取り付けられたプローブ固定部13とからなるプローブ支持体14を備えている。
【0014】
コネクタ取付け部11は、正面に作業用の窓部11aが設けられ、図3および図4に示すように、左右側面および背面にも同様の作業用の窓部11b,11c,11dが設けられた四角立体の枠状に形成され、その内部に、取付け片11eが設けられている。そして、この取付け片11eに複数個のコネクタ15が取り付けられている。コネクタ取付け部12a,12bは、ともに縦断面形状がコ字状の枠状体に形成され、そのコ字状の縦片12c,12dに、それぞれ複数個のコネクタ15が取り付けられている。
【0015】
プローブ固定部13は、上部側部分の形状が四角状で、下部側部分の形状が略四角錐に形成され、上部側部分がボルト16a,16bおよびボルト16c,16dによって、コネクタ取付け部11の下面に取り付けられている。そして、プローブ固定部13の内部には、収容凹部13aが設けられて、その収容凹部13aの底面に、外部に通じる通光路13bが設けられている。また、収容凹部13a内には、LEDからなる発光体17が収容されて、発光体17から発光される光が通光路13bを通って下方に放射されるようになっている。この発光体17は、2個のボルト17a,17bによって、収容凹部13a内に固定されている。
【0016】
また、プローブ固定部13の下面四箇所には、先端に細線状のプローブ18aが突出したプローブ基板18が、押さえ具としての押さえ板19a,19b,19cと固定具としてのボルト20a,20b,20cによって固定されている。このうち、図3(b)に示した面とその面と対称位置にある面へのプローブ基板18の取り付け構造は、図5および図6に示すようになっている。
【0017】
すなわち、プローブ基板18の上に異方性導電ゴムからなるシート層21を積層し、そのシート層21の上面に、さらにフレキシブル基板22の端部側を積層して接合部22aを形成している。そして、この接合部22aの上面を、弾性ゴム層23を介して、押さえ板19aで押圧した状態で、プローブ固定部13の下面(図5および図6では上面になっている)にボルト20aで固定している。
【0018】
これをより詳しく説明すると、押さえ板19aは、下面中央部に凹部19dが形成され、その凹部19d内に、弾性ゴム層23と、プローブ基板18、シート層21およびフレキシブル基板22からなる接合部22aとを、弾性ゴム層23を凹部19dの奥側にして重ねた状態で位置決めしている。そして、押さえ板19aの両端の肉圧部19eに設けられた挿通穴(図示せず)にボルト20aを挿通させ、このボルト20aのねじ部をプローブ固定部13に設けたねじ穴(図示せず)に螺合させることにより、接合部22aを押さえ板19aの薄肉部19fでプローブ固定部13に押圧した状態で固定している。
【0019】
また、図4(b)示した面とその面と対称位置にある面には、それぞれ内側と外側の2個のプローブ基板18が取り付けられている。内側のプローブ基板18は、幅広の押さえ板19bとボルト20bとによって、図5および図6に示したプローブ基板18と同様、シート層21およびフレキシブル基板22とともに、弾性ゴム層23を介して、プローブ固定部13の下面に固定されている。
【0020】
そして、押さえ板19bの下面に、内側のプローブ18と同様、フレキシブル基板22等とで構成された外側のプローブ基板18の接合部22aが、幅の狭い押さえ板19cおよびボルト20cによって固定されている。なお、押さえ板19aは、押さえ板19bと比較して、幅は略等しく、長さは短く設定されている。また、押さえ板19bは、押さえ板19cと比較して、幅は狭く、長さは略等しく設定されている。
【0021】
これらのプローブ基板18は、それぞれ接合部22aでフレキシブル基板22に接続されたのち、コネクタ取付け部11,12a,12bに設けられたコネクタ15に接続され、さらに、コネクタ15によって接続されたフラットケーブル24を介して図示せぬ検査装置に接続されている。また、このプローブ固定部13の下面に固定される六個のプローブ基板18の先端に突出するプローブ18aの平面上における全体形状は、導通検査が行われる電極パターンにおける電極部(図示せず)と同形になるように設定され、その電極部にプローブ18aの先端部を接触させることにより導通の検査が行えるようになっている。
【0022】
このように構成されたプローブヘッド10は、図7ないし図9に示した導通検査装置の本体部分25に、図10に示した状態に組み付けられる。すなわち、図7は、画像撮影装置および画像撮影装置を移動させる移動機構を含む本体部分25の概略を示す正面図であり、図8および図9はその各部分を示す平面図である。この本体部分25は、台部26の上面に、画像撮影装置としてのCCDカメラ27と、そのCCDカメラ27を移動させるX軸移動機構28およびY軸移動機構29が設けられて構成されている。
【0023】
CCDカメラ27は台部26の上面と平行する水平面内で移動可能に組付けられており、X軸移動機構28によって、X軸方向(図7ないし図9における台部26の長手方向に沿う方向)に移動可能で、Y軸移動機構29によって、X軸方向に直交するY軸方向に移動可能になっている。
【0024】
X軸移動機構28は、台部26の上面に配設されたモータ30と、このモータ30の回転軸30aに連結されX軸方向に延びるボールねじ31と、縦断面形状が凹形のレール部32と、レール部32に沿って移動する移動部材33とで構成されている。レール部32は、支持部材34a,34bを介して台部26の上面にX軸方向に沿って取り付けられており、その凹部内に移動部材33が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材33にはねじ穴(図示せず)が設けられて、このねじ穴にボールねじ31が螺合している。
【0025】
前記レール部32の凹部両端には、それぞれ図示せぬ穴部が設けられた壁部32a,32bが、その上部側を凹部から上方に突出させた状態で取り付けられており、壁部32aの穴部には、モータ30の回転軸30aが挿通し、壁部32bの穴部にはボールねじ31の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ30の駆動により、回転軸30aが回転すると、回転軸30aとともにボールねじ31が回転し、それによって、移動部材33がレール部32に沿って移動する。
【0026】
Y軸移動機構29は、移動部材33の上面に取り付けられたレール部35と、このレール部35の一端に固定されたモータ36と、このモータ36の回転軸36aに連結されたボールねじ37と、レール部35に沿って移動する移動部材(図11(b)参照)38とで構成されている。レール部35はレール部32と同形に形成されており、レール部32と直交するY軸方向に沿って配設され、その凹部内に移動部材38が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材38にはねじ穴38aが設けられて、このねじ穴38aにボールねじ37が螺合している。
【0027】
そして、この移動部材38の下部側の両側には、突条38b,38cが突設され、この突条38b,38cに対応するレール部35の両内側面には突条38b,38cと摺接する溝部がそれぞれ設けられている。これによって、移動部材38は、レール部35から浮き上がったり、がたついたりすることなく、レール部35に沿ってスムーズに移動できる。なお、この突条と溝部は、移動部材33とレール部32にも形成されており、それによって、移動部材33は、レール部32に沿ってスムーズに移動可能になっている。
【0028】
さらに、レール部32と同様、レール部35の両端にも、それぞれ穴部が設けられた壁部35a,35bが取り付けられており、壁部35aの穴部には、モータ36の回転軸36aが挿通し、壁部35bの穴部にはボールねじ37の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ36を駆動させると、回転軸36aおよびボールねじ37が回転し、それによって、移動部材38がレール部35に沿ってY軸方向に移動する。
【0029】
また、移動部材38の上面には、図11(a),(b)に示すような板状のキャリッジベース39が取り付けられ、そのキャリッジベース39の一端に上下調節部40を介してCCDカメラ27が取り付けられている。上下調節部40の下面には、CCDカメラ27の高さを調節する調節ねじ40aが設けられ、前側面には、調節ねじ40aによって調節された高さにCCDカメラ27を固定するための固定ねじ40bが設けられている。また、上下調節部40の上方には、断面L形の取り付け片41が取付けられ、その水平部41aの上面にリング状の照明装置42が取り付けられている。なお、水平部41aには、CCDカメラ27のレンズ部27aが挿通する挿通穴が設けられており、レンズ部27aは、この挿通穴および照明装置42の中心穴を挿通して、その上端を上方に露呈させている。
【0030】
また、キャリッジベース39の他端には、水平状の取り付け片43が取り付けられ、その取り付け片43の上面に、内部がケーブル45を収容する空洞44aになったキャタピラー状のケーブルガイド44の先端部が固定されている。なお、レール部35の先端部にも同様のケーブルガイド46の先端部が固定されている。
【0031】
また、台部26の上面におけるX軸移動機構28の周囲に対応する部分には、それぞれ支柱47a,47b,47c,47dがボルト48a,48b,48c,48dによって固定されている。そして、その支柱47a,47bの上面および支柱47c,47dの上面にそれぞれ、上面が水平面に形成された細板状の基台49aおよび49bが掛け渡されている。
【0032】
さらに、台部26の上面における支柱47a,47bおよび支柱47c,47dを囲む両外側部分には、基台49a,49bの上面と略高さの等しい平板状の支持板50a,50bがボルト51a,51bの固定により立設されている。そして、基台49a,49bおよび支持板50a,50bの上面にそれぞれ架け渡された状態で、5本のシャフト52a,52b,52c,52d,52eが一定間隔を保って載置されている。これらのシャフト52a,52b,52c,52d,52eは、すべて同径同長で真っ直ぐの丸棒で形成されている。
【0033】
また、基台49a,49bおよび支持板50a,50bの上面における各シャフト52a,52b,52c,52d,52eの間およびシャフト52eの前方側部分(シャフト52e側を前方側とし、シャフト52a側を後方側とする。)には、図9に示すように、それぞれ、水平板53a,53b,53c,53d,53e,53fが、各シャフト52a,52b,52c,52d,52eを、多少の自由度を持たせた状態で位置決めするように取り付けられている。なお、水平板53bと53cの間には、CCDカメラ27のレンズ部27aおよび照明装置42を上方に露呈するための窓部となる隙間が設けられ、その隙間に透明のアクリル板からなる透かし部53gが取り付けられている。
【0034】
台部26の上面におけるX軸方向に沿う両側の後方側(シャフト52aの両端側)には、それぞれ柱54a,54bが立設され、各シャフト52a,52b,52c,52d,52eおよび水平板53a,53b,53c,53d,53e,53fの周囲には枠台55が設けられている。そして、枠台55の前方側には、操作パネル56が設けられている。
【0035】
また、台部26の後方には、XYテーブル駆動装置(一部しか図示していない)57が設置されている。このXYテーブル駆動装置57には、X軸移動機構、Y軸移動機構(ともに台部26の内部に設置されている)およびθ軸移動機構58が備わっている。そして、このXY駆動装置57は、図12に示したXYテーブル59を支持するとともに、X軸方向、Y軸方向およびθ軸方向(水平面上で回転する方向)に移動させる。XYテーブル59は、係合穴59aをθ軸移動機構58のモータ58aに連結された係合軸58bに係合させて、XYテーブル駆動装置57のXYテーブル取付部57aに固定されている。そして、モータ58aを駆動させることにより、θ軸方向に回転する。
【0036】
また、台部26の内部に設置されたX軸移動機構、Y軸移動機構は、X軸移動機構28、Y軸移動機構29と同様に構成され、それぞれ備わったモータを駆動させることにより、XYテーブル59をθ軸移動機構58とともに、X軸方向およびY軸方向に移動させる。
【0037】
XYテーブル59の下面には、枠状のベース60が取り付けられ、ベース60の上面に、図13に示した透明アクリル板からなる固定テーブル61が取り付けられている。ベース60の下面両側には、一対の細径のシャフト62が、シャフト支持部62aによって取り付けられている。この一対のシャフト62は、シャフト52b,52c等と直交して点接触できる状態で配設されており、これによってベース60および固定テーブル61の水平度が良好に保たれる。
【0038】
また、ベース60の上面における両側中央部には、ガイドピン63a,63bが立設されており、このガイドピン63a,63bに対応するXYテーブル59における取付け部59bの部分には、挿通穴を有するベアリング等からなる摺動支持部59b,59cが設けられている。このため、摺動支持部59b,59cの挿通穴にガイドピン63a,63bを挿通させることにより、ベース60は、XYテーブル59に対して上下に摺動できるようになっている。
【0039】
固定テーブル61は、複数の電極パターンがプリントされたシート状の基板を固定するためのもので、上面に格子状のエア抜き用線状溝61aおよび幅広の浅い溝61bが設けられている。また、この固定テーブル61には、エア抜き用の吸引装置(図示せず)がホース64aおよび継手64b等を介して接続されており、固定テーブル61上にシート状の基板を設置した状態で、吸引装置を駆動させると、固定テーブル61の上面に基板が吸引固定される。
【0040】
また、柱54a,54bの上端を結ぶ部分にはレール部を備えた支持部(図示せず)が架け渡されており、この支持部に、前述したプローブヘッド10をそれぞれZ軸方向(上下方向)に移動させるためのZ軸移動機構が設けられている。そして、この機構に、連結部材65を介して2個のプローブヘッド10が吊設されている。
【0041】
なお、この導通検査装置には、前述した各装置等の他に、画像処理装置や位置制御用のマイクロコンピュータが設けられており、CCDカメラ27が捉える画像を画像処理して位置データに変換するとともに、電極パターンの電極部とプローブ18aとの二つの位置データの差を補正データとしてX軸移動機構28、Y軸移動機構29およびXYテーブル駆動装置57のX軸移動機構、Y軸移動機構およびθ軸移動機構58に出力する機能を有する。
【0042】
このような構成において、基板に設けられた複数の電極パターンに沿って、その各電極パターンの導通検査を行う際には、CCDカメラ27でプローブヘッド10を撮影しながら、X軸移動機構28およびY軸移動機構29を駆動してCCDカメラ27のレンズ部27aがプローブヘッド10のプローブ18aの真下に位置するようにする。
【0043】
そして、XYテーブル59に取り付けられた固定テーブル61の上面にシート状基板を載置するとともに、エア抜き用の吸引装置を作動させて、固定テーブル61の上面と基板の間を吸気することにより、基板を固定テーブル61上に固定する。ついで、XYテーブル駆動装置57のX軸移動機構およびY軸移動機構を駆動して、ワークの電極パターンの位置が透かし部53gの位置に合うように、固定テーブル61を移動させる。つぎに、θ軸移動機構58を駆動して、電極パターンの縦横の並びがY軸方向およびX軸方向に揃うように、固定テーブル61を回転させる。
【0044】
そして、電極パターンの並びがY軸方向およびX軸方向に揃った状態で、CCDカメラ27によって電極パターンのうちの最初に導通検査をする電極パターンを撮影しながら、XYテーブル駆動装置57のX軸移動機構およびY軸移動機構を駆動して、その電極パターンの位置とプローブヘッド10のプローブ18aの位置を合わせて一致させる。
【0045】
そして、Z軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド10を下降させて、プローブ18aを電極パターンの被接触部に接触させる。これによって、電極パターンが導通しているかどうかの検査ができ、その結果が、検査装置に表示される。ついで、次の電極パターンの検査を行う場合には、Z軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド10を上昇させ、その状態で、X軸移動機構またはY軸移動機構を駆動して、次の電極パターンの位置とプローブヘッド10の位置を合わせる。
【0046】
そして、Z軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド10を下降させて、プローブ18aを電極パターンの電極部に接触させる。これによって、この電極パターンが導通しているかどうかの検査ができる。なお、この導通検査装置には、2個のプローブヘッド10が設けられているため、最初の検査終了後、他のプローブヘッド10の位置にCCDカメラ27を移動させ、そのプローブヘッド10と、その下方の電極パターンの位置決めを行い、その電極パターンの導通検査を行うことができる。このように、プローブヘッド10が2個備わっており、かつ、CCDカメラ27が移動可能になっているため、二箇所で順次操作を進めることができる。
【0047】
上記の操作を繰り返すことにより、すべての電極パターンについて導通検査を行うことができる。また、プローブヘッド10のプローブ基板18を他のプローブ基板と交換する際には、ボルト20a,20b,20cを緩めることによって、押さえ板19a,19b,19cを外し、プローブ基板18とフレキシブル基板22の接合部をプローブ支持体14から離す。つぎに、プローブ基板18を接合部の他の部分から剥離して取り除き、新たに取り付けるプローブ基板の端部をその接合部に組み合わせる。
【0048】
そして、その接合部を、押さえ板19a,19b,19cの凹部19d内に入れた状態で、押さえ板19a,19b,19cをプローブ固定部13の所定位置に位置決めし、ボルト20a,20b,20cで固定する。これによって、プローブ基板の交換ができる。また、全部のプローブ基板を交換するのではなく、破損等が生じて交換の必要がでた場合には、その対象のプローブ基板を固定している押さえ板とボルトを着脱操作することによって、そのプローブ基板の交換を行う。
【0049】
このように、この導通検査装置では、押さえ板19a,19b,19cとボルト20a,20b,20cとで、プローブ基板18とフレキシブル基板22の接合部22aを固定するため、プローブ基板18の着脱が容易になる。また、接合部22aと押さえ板19a,19b,19cの間にそれぞれ弾性ゴム層23を配設しているため、接合部22aにおけるプローブ基板18に破損が生じなくなるとともに、プローブ基板18とフレキシブル基板22の剥離が生じなくなる。このため、検査不良もなくなる。
【0050】
また、押さえ板19a,19b,19cとボルト20a,20b,20cからなる複数個の固定部材を一個のプローブ支持体14に取り付け可能ができるため、多数のプローブ基板18を取り付けることができるようになる。さらに、CCDカメラ27で電極パターンやプローブ18aを撮影する際、CCDカメラ27側に取り付けられた照明装置42で被撮影物側を照射して、鮮明な画像が得られるようにしているとともに、プローブヘッド10に設けた発光体17を発光させることにより、ハレーションの発生を防止し、良好な画像が得られるようにしている。
【0051】
また、透かし部53gおよび固定テーブル61が透明体で構成されているため、CCDカメラ27、電極パターンおよびプローブヘッド10を一直線上に位置させることができる。このため、CCDカメラ27の撮影角度にいわゆるオフセットがなくなって、電極パターンの精度のよい位置決めができ、その結果、適正な導通検査ができるようになる。
【0052】
なお、前記実施形態では、押さえ具を、凹部19dが設けられた押さえ板19a,19b,19cで構成しているが、本発明は、これに限定するものではなく、凹部のない平板でもよいし、断面形状が四角や丸の棒状体でもよい。また、丸棒を複数個連ねて一体化した板状体でもよく、要は、接合部22aの幅方向全体に押さえ具の押圧力による応力を分散させて固定できるものであれば何でも良い。 さらに、弾性層もゴムに限らず、発泡スチロールやスポンジ等、層状に形成でき弾性を有するものであれば何でも使用することができる。また、透かし部53gを透明の板で構成しているが、透かし部53gは何もない単なる窓で構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態による導通検査装置に備わったプローブヘッドの正面図である。
【図2】 プローブヘッドの要部を示す底面図である。
【図3】 (a)はプローブヘッドの左側面図であり、(b)はその下面における一面を説明する図である。
【図4】 (a)はプローブヘッドの背面図であり、(b)はその下面における一面を説明する図である。
【図5】 プローブの固定状態を示す斜視図である。
【図6】 プローブの固定状態を示す縦断面図である。
【図7】 導通検査装置の本体部分を示す概略正面図である。
【図8】 図7の平面図である。
【図9】 導通検査装置の本体部分にシャフトと水平板を並設した状態を示す平面図である。
【図10】 XYテーブルがXYテーブル駆動装置に取り付けられた状態を示す正面図である。
【図11】 (a)はCCDカメラが取り付けられたキャリッジベースの平面図であり、(b)はその正面図である。
【図12】 XYテーブルの平面図である。
【図13】 (a)は固定テーブルの平面図であり、(b)はその一部を切り欠いた正面図である。
【符号の説明】
10…プローブヘッド、13…プローブ固定部、13a…収容凹部、13b…通光路、14…プローブ支持体、17…発光体、18…プローブ基板、18a…プローブ、19a,19b.19c…押さえ板、20a,20b.20c…ボルト、21…シート層、22…フレキシブル基板、22a…接合部、23…弾性ゴム層、27…CCDカメラ、28…X軸移動機構、29…Y軸移動機構。
Claims (3)
- フレキシブル基板とプローブ基板とを重ねた状態で、プローブ支持体と固定部材との間に挟み込んで固定し、
前記プローブ基板のプローブと、
電極パターンの電極部と
を画像撮影装置および移動機構を用いて位置決めしたのち接触させることにより、前記電極パターンの導通検査を行う導通検査装置であって、
前記プローブ支持体における前記フレキシブル基板と前記プローブ基板とが固定される部分を、外形が四角錐に形成されたプローブ固定部で構成し、
前記固定部材を、
前記プローブ基板と前記フレキシブル基板の接合部の幅方向の長さよりも長く設定され、中央部に前記プローブ基板と前記フレキシブル基板の接合部とを位置決めする凹部が形成された押さえ具と、
前記押さえ具の両端側を前記プローブ固定部の四角錐の各表面に着脱自在に固定するボルトからなる固定具と
で構成し、
前記プローブ固定部の内部中央に、収容凹部と、前記収容凹部から前記プローブ固定部の先端を介して外部に通じる通光路とを設け、前記収容凹部に、前記画像撮影装置に向けて発光装置を取り付けたことを特徴とする導通検査装置。 - 前記プローブ基板と前記フレキシブル基板の接合部と、前記押さえ具との間に弾性層を介在させた請求項1に記載の導通検査装置。
- 前記プローブ基板と前記フレキシブル基板の間に異方性導電ゴムからなる層を介在させた請求項1または2に記載の導通検査装置。
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