TWI764262B

TWI764262B - 測量裝置

Info

Publication number: TWI764262B
Application number: TW109130431A
Authority: TW
Inventors: 小林昌史
Original assignee: 日商日置電機股份有限公司
Priority date: 2019-09-05
Filing date: 2020-09-04
Publication date: 2022-05-11
Also published as: TW202124966A; CN112098749A; CN112098749B

Abstract

一種測量裝置，具備：第一接觸件和第二接觸件，係被按壓向測量對象；基部，係安裝有第一接觸件和第二接觸件；驅動機構，係驅動基部，將第一接觸件和第二接觸件按壓向測量對象；同軸傳輸部，係傳輸電信號；以及傳輸基板，係設有包含信號線和接地線的傳輸線路，將同軸傳輸部與第一接觸件和第二接觸件電連接，並且具有柔軟性。

Description

測量裝置

本發明涉及一種測量裝置。

在日本JP2005-223170A中公開一種高頻特性測量裝置，其具有：可升降的工作臺，載置晶圓，該晶圓形成有作為測量對象的複數個積體電路；以及高頻探針裝置，對積體電路的高頻特性進行測量。

在對測量對象的高頻特性進行測量的測量裝置中，當發生傳輸測量用的電信號的傳輸路徑上的特性阻抗的不匹配時，會有測量精度降低的隱患。因此，要求測量裝置以良好的精度匹配傳輸路徑的特性阻抗來提高測量精度。

本發明的目的在於提供一種能以良好的精度測量高頻特性的測量裝置。

根據本發明的某個型態，測量裝置具備：第一接觸件和第二接觸件，係被按壓向測量對象，隨著被按壓向測量對象而發生變形；基部，係安裝有第一接觸件和第二接觸件；驅動機構，係驅動基部，將第一接觸件和第二接觸件按壓向測量對象；同軸傳輸部，傳輸電信號；以及傳輸基板，設有包含信號線和接地線的傳輸線路，將同軸傳輸部與第一接觸件和第二接觸件電連接，並且具有柔軟性。

根據本發明的另一個型態，測量裝置具備：第一接觸件和第二接觸件，係分別被按壓向測量對象；傳輸部，係傳輸電信號；傳輸基板，係將第一接觸件和第二接觸件與傳輸部之間電連接；以及殼體，係設定為接地電位，且支承第一接觸件、第二接觸件、傳輸部以及傳輸基板，在傳輸基板設有高頻傳輸路，該高頻傳輸路包含與第一接觸件電連接的接地線和與第二接觸件電連接的信號線，從傳輸部往測量對象的電信號的接地傳輸路徑係通過導通線與殼體電連接。

根據本發明的另一個型態，測量裝置具備：第一接觸件和第二接觸件，係分別被按壓向測量對象；基部，係安裝有第一接觸件和第二接觸件；傳輸部，係傳輸電信號；傳輸基板，係將傳輸部與第一接觸件和第二接觸件電連接；第一安裝構件，係將第一接觸件安裝至基部；以及第二安裝構件，係將第二接觸件安裝至基部，第一接觸件和第二接觸件中的至少一方被配置為與用於將自身安裝至基部的第一安裝構件或第二安裝構件絕緣。

根據本發明的另一個型態，測量裝置具備：第一接觸件和第二接觸件，係分別被按壓向測量對象；傳輸部，係傳輸電信號；以及傳輸基板，係設有高頻傳輸路，將第一接觸件和第二接觸件與傳輸部電連接，高頻傳輸路具有：信號線，其一端與傳輸部中的信號傳輸路電連接，另一端與第一接觸件電連接；第一接地線，其一端與傳輸部中的接地傳輸路電連接，另一端與第二接觸件電連接；第二接地線，其一端與傳輸部中的接地傳輸路電連接；以及合流線，係將第一接地線和第二接地線電連接。

根據本發明的另一個型態，測量裝置具備：第一接觸件和第二接觸件，係被按壓向測量對象；基部，係安裝有第一接觸件和第二接觸件；驅動機構，係驅動基部，將第一接觸件和第二接觸件沿規定的按壓方向按壓向測量對象；傳輸部，係傳輸電信號；以及連接部，係將傳輸部與第一接觸件和第二接觸件電連接，並且隨著基部被驅動而發生變形，允許第一接觸件和第二接觸件相對於傳輸部的相對移動，第一接觸件具有：第一安裝部，係安裝於基部，且與傳輸部電連接；以及第一端子部，係被按壓向測量對象，隨著被按壓向測量對象而優先於第一安裝部發生彈性變形，第二接觸件具有：第二安裝部，係安裝於基部，且與傳輸部電連接；以及第二端子部，係被按壓向測量對象，隨著被按壓向測量對象而優先於第二安裝部發生彈性變形，第一接觸件的第一端子部和第二接觸件的第二端子部分別從第一安裝部和第二安裝部以相互沿循的方式延伸。

1:殼體

2:第一托架

3:第二托架

4:第三托架

5:支承構件

5a,5b:通過孔

5c:隔壁

5d:槽部

5e:第三螺紋孔

10:第一接觸件

10a:第一對置面

10b:第一前端對置面

11:第一安裝部

11a:第一平坦面

12:第一安裝孔

12a:第一缺口部

15:第一端子部

15a:垂直面

16:第一傾斜面

20:第二接觸件

20a:第二對置面

20b:第二前端對置面

21:第二安裝部

21a:第二平坦面

22:第二安裝孔

22a:第二缺口部

25:第二端子部

25a:垂直面

26:第二傾斜面

30,330:基部

31:移動板

32:第一基部

32a:第一螺紋孔

33:第二基部

33a:第二螺紋孔

34a:第一彈簧

34b:第二彈簧

35a:第一彈簧引導件

35b:第二彈簧引導件

36:止動件

37:引導部

37a:軌道

37b:從動件

40:驅動機構

41:電動馬達

42:滾珠螺桿機構

42a:滾珠螺桿

42b:滾珠螺帽

50:同軸電纜

51:中心導體

52:絕緣體

53:外部導體

55:連接器

60:傳輸基板

60a:狹縫

60b,60c:基端狹縫

61:基材

62:第一接地線

62a:第一插通孔

62b:第一背側接地線

63:信號線

63a:第二插通孔

63b:基板缺口部

64:第二接地線

64b:第二背側接地線

65:觸件側端部

65a:第一安裝端部

65b:第二安裝端部

66:連接器側端部

66a:連接器連接部

66b:第一突出部

66c:第二突出部

66e:通孔

67:基板主體部

67a:第一主體部

67b:第二主體部

67c:通孔

67d:通孔

69a:第一合流線

69b:第二合流線

70:分支部

70a:第三插通孔

71:第一分支部

72:第二分支部

73:導通線

73a:背側部

75:第三安裝螺栓

80:第一安裝螺栓

80a,85a:頭部

80b,85b:螺紋部

81:第一樹脂墊圈

85:第二安裝螺栓

86:第二樹脂墊圈

100:測量裝置

101:檢查裝置

102:輸送裝置

103:輸送台

103a:容納槽

104:按壓構件

105:控制裝置

110:第一接觸件

112:第三安裝孔

112a:第三缺口部

120:第二接觸件

122:第四安裝孔

122a:第四缺口部

160:傳輸基板

161:第一銅箔基板

162:第二銅箔基板

165:第三插通孔

165a:第一基板缺口部

166:第四插通孔

166a:第二基板缺口部

180:第一連結螺栓

181:第一連結墊圈

185:第二連結螺栓

186:第二連結墊圈

200:測量裝置

300:測量裝置

310:第一接觸件

311a:第一狹小面

311b:第一廣大面

311c:第一前端面

315:第一端子部

316:第一接觸部

316a:垂直面

317:第一曲部

317a:第一曲部

317b:第一曲部

317c:第一曲部

320:第二接觸件

321:第二安裝部

321a:第二狹小面

321b:第二廣大面

321c:第二前端面

325:第二端子部

326:第二接觸部

326a:垂直面

327:第二曲部

327a:第二曲部

327b:第二曲部

327c:第二曲部

360:傳輸基板

361:第一銅箔基板

362:第二銅箔基板

400:測量裝置

410:第一接觸件

411:第一安裝部

415:第一端子部

416:第一接觸部

417:第一傾斜部

420:第二接觸件

421:第二安裝部

425:第二端子部

426:第二接觸部

427:第二傾斜部

460:傳輸基板

461:基材

462:接地線

463:信號線

600:測量裝置

610:第一接觸件

611:第一安裝部

611a:第一狹小面

611b:第一廣大面

611c:第一前端面

611d:缺口

612:薄壁部

612a:平行端面

613:厚壁部

615:第一端子部

616:第一接觸部

617:第一曲部

620:第二接觸件

621:第二安裝部

621a:第二狹小面

621b:第二廣大面

621c:第二前端面

625:第二端子部

626:第二接觸部

627:第二曲部

630:基部

660:傳輸基板

661:基材

662:接地線

663:信號線

700:測量裝置

G1:間隙

O1,O2:中心

P1:第一假想平面

P2:第二假想平面

T:測量對象

T1:頂部

T2:頂部

圖1係表示本發明的第一實施型態的測量裝置的主視圖。

圖2係表示第一實施型態的測量裝置和檢查裝置的局部剖視圖。

圖3係第一實施型態的測量裝置的側視圖。

圖4係第一實施型態的測量裝置的省略了部分結構的主視圖。

圖5係第一實施型態的同軸電纜的剖視圖。

圖6係第一實施型態的測量裝置的立體圖。

圖7係第一實施型態的第一接觸件的立體圖。

圖8係第一實施型態的第二接觸件的立體圖。

圖9係表示第一實施型態的第一接觸件和第二接觸件的主視圖。

圖10係沿圖4中的X-X線的剖視圖。

圖11係表示第一實施型態的傳輸基板的表面的俯視圖。

圖12係表示第一實施型態的傳輸基板的背面的仰視圖。

圖13係沿圖6中的XIII-XIII線的剖視圖。

圖14係表示第一實施型態的測量裝置的傳輸基板的分支部的周邊的主視圖。

圖15係表示第一實施型態的變形例的測量裝置的主視圖。

圖16係表示第一實施型態的變形例的測量裝置的側視圖。

圖17係表示第一實施型態的變形例的第一接觸件和第二接觸件的主視圖。

圖18係表示第一實施型態的變形例的傳輸基板的主視圖。

圖19係表示第一實施型態的比較例的主視圖。

圖20係表示第二實施型態的測量裝置的主視圖。

圖21係放大了圖20的雙點鏈線部分的放大圖。

圖22係第二實施型態的測量裝置的側視圖。

圖23係表示第二實施型態的第一接觸件的立體圖。

圖24係表示第二實施型態的第二接觸件的立體圖。

圖25係表示在第二實施型態的測量裝置中使第一接觸件和第二接觸件與測量對象接觸的狀態的主視圖。

圖26係表示在第二實施型態的測量裝置中將第一接觸件和第二接觸件按壓向測量對象的狀態的主視圖。

圖27係表示第二實施型態的第一變形例的第一接觸件和第二接觸件的主視圖。

圖28係表示第二實施型態的第二變形例的第一接觸件和第二接觸件的主視圖。

圖29係表示第二實施型態的第三變形例的第一接觸件和第二接觸件的一個型態的主視圖。

圖30係表示第二實施型態的第三變形例的第一接觸件和第二接觸件的另一個型態的主視圖。

圖31係表示第三實施型態的測量裝置的立體圖。

圖32係表示第三實施型態的傳輸基板的主視圖。

圖33係表示第三實施型態的第一接觸件和第二接觸件的主視圖。

圖34係表示第四實施型態的測量裝置的立體圖。

圖35係表示第五實施型態的測量裝置的立體圖。

圖36係表示第五實施型態的測量裝置的主視圖。

圖37係表示第五實施型態的第一接觸件的立體圖。

圖38係表示第五實施型態的第二接觸件的立體圖。

圖39A係表示第五實施型態的傳輸基板的表面的主視圖。

圖39B係表示第五實施型態的傳輸基板的背面的後視圖。

以下，參照圖式對本發明的各實施型態的測量裝置進行說明。另外，在各附圖中，為了便於說明，適當變更了各結構的比例尺，不一定嚴格地進行圖示。

(第一實施方式)

首先，參照圖1~圖5對第一實施方式的測量裝置100的整體結構進行說明。以下，為了便於說明，如圖1等所示，設定相互正交的X、Y以及Z之三個軸，對測量裝置100的結構進行說明。在本實施方式中，Z軸方向是與鉛直方向平行的方向。圖1係測量裝置100的主視圖。圖2係表示測量裝置100和檢查裝置101的局部剖視圖。圖3係測量裝置100的側視圖。圖4係測量裝置100的主視圖，為從圖1的記載中省略了部分結構的圖。圖5係作為後述的傳輸部的同軸電纜50的剖視圖。

如圖1和圖2所示，測量裝置100被用於對例如芯片部件之測量對象T(參照圖2)進行電氣測試的檢查裝置101。

如圖1所示，檢查裝置101具備：測量裝置100，係用於對測量對象T的電特性進行測量；輸送裝置102，係向用於測量電特性的測量位置輸送測量對象T；以及控制裝置105，係接收施加於測量對象T的電信號，並進行預定的信號處理。

如圖2所示，測量裝置100是為了對測量對象T的高頻特性等電特性進行測量，而從鉛直方向的下方將第一接觸件10和第二接觸件20按壓向處於測量位置的測量對象T，並在測量對象T與控制裝置105(參照圖1)之間傳輸電信號的傳輸機構。例如，測量裝置100對測量對象T施加如數百MHz~數GHz的特定頻率的電磁波，並將隨之於測量對象T中產生的高頻信號傳輸給控制裝置105。由此進行測量對象T的高頻特性的測量。另外，以下說明中，也將第一接觸件10和第二接觸件20對測量對象T的按壓動作稱為“探測(probing)”。

輸送裝置102具有：輸送台103，係形成有複數個容納測量對象T的容納槽103a；以及分度機構(省略圖示)，係使輸送台103以旋轉軸為中心間歇地旋轉。輸送台103為圓板狀的構件。複數個容納槽103a(在圖2中僅圖示出了一個容納槽103a)以從輸送台103的外周面向徑向延伸的方式而形成為輻射狀。分度機構使輸送台103以輸送台103的中心軸為旋轉軸間歇地旋轉。由此，容納在輸送台103的容納槽103a內的測量對象T被輸送至測量位置，由測量裝置100進行高頻特性的測量。此外，利用分度機構使輸送台103旋轉，由此將完成了高頻特性的測量的測量對象T從測量位置移出。

在輸送台103的鉛直方向的上方設有按壓構件104，該按壓構件104抑制測量對象T隨著被第一接觸件10和第二接觸件20從鉛直方向下方按壓而上浮。在輸送台103的鉛直方向的下方設有支承構件5，該支承構件5構成後述的殼體1的一部分，支承測量對象T。在支承構件5形成有允許第一接觸件10和第二接觸件20通過的通過孔5a、5b。通過孔5a、5b被隔壁5c隔開。測量對象T被隔壁5c從鉛直方向下方支承，而被限制從輸送台103的容納槽103a脫落。

接著，對測量裝置100的結構進行說明。另外，在除了圖1和圖2之外的各圖中，適當省略了測量對象T、輸送台103等結構的圖示。

如圖1、圖3以及圖4所示，測量裝置100具備：第一接觸件10和第二接觸件20，係分別被按壓向測量對象T；基部30，係安裝有第一接觸件10和第二接觸件20；以及驅動機構40，係驅動基部30，將第一接觸件10和第二接觸件20沿規定的按壓方向按壓向測量對象T。此外，測量裝置100具備：同軸電纜50，係作為傳輸部而傳輸對於控制裝置105做輸入、輸出的電信號；傳輸基板60，係作為連接部，將第一接觸件10和第二接觸件20電連接於同軸電纜50；以及連接器55，係將同軸電纜50和傳輸基板60電連接。在本實施方式中，按壓方向是與Z軸平行的方向。

此外，如圖1所示，測量裝置100中，作為構成殼體1的構件，具備第一托架2、第二托架3以及第三托架4。測量裝置100的殼體1為直接或間接地支承第一接觸件10和第二接觸件20、同軸電纜50以及傳輸基板60中的至少任一方的金屬製的構造體。殼體1設定為接地電位。

在第一托架2安裝有支承構件5。第二托架3安裝於第一托架2，支承連接器55。第三托架4為L型托架，係安裝於第一托架2，並支承同軸電纜50。如此，第一托架2、第二托架3、第三托架4以及支承構件5被一體化。

第一接觸件10和第二接觸件20是分別由導體形成並被按壓向測量對象T而被輸入高頻信號的電極。在本實施方式中，第一接觸件10係設定為接地電位的接地電極，第二接觸件20係設定為信號電位的信號電極。

如圖3和圖4所示，基部30具有：移動板31，係由驅動機構40驅動而在按壓方向進退；以及第一基部32和第二基部33，係以能夠沿按壓方向移動的方式設置在移動板31上。第一基部32和第二基部33分別經由引導部37安裝於移動板31上，被配置為能夠在按壓方向上相對於移動板31相對移動。第一基部32和第二基部33被配置為能夠相互獨立地移動。

第一接觸件10在電連接於傳輸基板60的高頻傳輸路的狀態下藉由作為第一安裝構件的金屬製的第一安裝螺栓80被安裝於第一基部32。第二接觸件20在電連接於傳輸基板60的高頻傳輸路的狀態下通過作為第二安裝構件的金屬製的第二安裝螺栓85被安裝於第二基部33。關於第一接觸件10和第二接觸件20的具體結構和對於基部30的安裝構造，在後文中參照圖7~圖10等進行詳細說明。

如圖4所示，在基部30設有：第一彈簧34a，係作為第一彈推構件將第一基部32朝向測量對象T沿按壓方向彈推；以及第二彈簧34b，係作為第二彈推構件將第二基部33朝向測量對象T沿按壓方向彈推。第一彈簧34a和第二彈簧34b分別是用於確保第一接觸件10和第二接觸件20對於測量對象T的按壓力的彈性構件。在移動板31上設有：支承第一彈簧34a的第一彈簧引導件35a、支承第二彈簧34b的第二彈簧引導件35b以及與第一基部32和第二基部33抵接的止動件36(參照圖3)。

第一彈簧34a和第二彈簧34b分別是線圈彈簧。第一彈簧34a以壓縮狀態設於第一基部32與第一彈簧引導件35a之間。第二彈簧34b以壓縮狀態設於第二基部33與第二彈簧引導件35b之間。止動件36(參照圖3)與第一基部32和第二基部33抵接，由此限制第一基部32因第一彈簧34a的彈推力而朝向測量對象T移動和限制第二基部33因第二彈簧34b的彈推力而朝向測量對象T移動。

引導部37具有：軌道37a，係安裝於移動板31並沿按壓方向設置；以及從動件37b，係安裝於第一基部32或第二基部33，被配置為能夠沿軌道37a滑動。

驅動機構40係使基部30的移動板31沿著一個方向進退的致動器。驅動機構40對基部30的驅動方向相當於第一接觸件10和第二接觸件20對測量對象T的按壓方向(在本實施方式中為與Z軸平行的方向)。通過驅動機構40使移動板31進退，由此，第一接觸件10和第二接觸件20與第一基部32和第二基部33一起進退。就是說，通過驅動機構40使基部30沿按壓方向進退，由此，第一接觸件10和第二接觸件20與測量對象T接觸、分離。

如圖1、圖3等所示，驅動機構40具有電動馬達41和將電動馬達41的旋轉轉換為直線運動的滾珠螺桿機構42。

滾珠螺桿機構42具有：滾珠螺桿42a，係沿著按壓方向(Z軸方向)設置，並藉由電動馬達41進行旋轉；以及滾珠螺帽(省略圖示)，係伴隨著滾珠螺桿42a的旋轉而沿滾珠螺桿42a的軸線方向移動。

基部30的移動板31安裝於滾珠螺桿機構42的滾珠螺帽。當電動馬達41被旋轉驅動時，滾珠螺桿42a的旋轉被轉換為滾珠螺帽的直線運動，滾珠螺帽在軸向移動。由此，安裝於滾珠螺帽的基部30的移動板31與第一基部32和第二基部33一起沿按壓方向被直線驅動。另外，驅動機構40只要能夠使基部30沿著一個方向進退即可，並不限於本實施方式的結構。例如，驅動機構40也可以使用流體壓力缸或螺線管(所謂推挽式螺線管)來代替電動馬達41和滾珠螺桿機構42的組合。

如圖1所示，同軸電纜50與收發特性測量用的電信號的控制裝置105電連接，傳輸由控制裝置105收發的電信號。如圖5所示，同軸電纜50是在同心圓上配置有作為信號傳輸路的中心導體51、設於中心導體51的周圍的作為絕緣層的絕緣體52以及設於絕緣體52的周圍的作為接地傳輸路的外部導體53而成的同軸傳輸部。

如圖1所示，傳輸基板60是具有柔軟性的帶狀的柔性印刷基板，具有形成共面線路和共面帶狀線路來作為高頻傳輸線路的層疊構造。在傳輸基板60中，在作為絕緣層的基材61的一個面上分別印刷有作為導體層的第一接地線62、信號線63以及第二接地線64。

第一接地線62的一個端部與第一接觸件10電連接。信號線63的一個端部與第二接觸件20電連接。第二接地線64的一個端部與第一接地線62電連接。第一接地線62的另一個端部和第二接地線64的另一個端部通過連接器55與同軸電纜50的外部導體53(參照圖5)電連接。信號線63的另一個端部通過連接器55與同軸電纜50的中心導體51(參照圖5)電連接。關於傳輸基板60的具體結構，在後文參照圖11~圖13進行詳細說明。

如圖6所示，連接器55與同軸電纜50連接並且夾持傳輸基板60的另一個端部，將傳輸基板60的第一接地線62、信號線63以及第二接地線64分別與同軸電纜50電連接。另外，連接器55可以採用公知的結構，因此省略進一步的具體說明。

為了對測量對象T的高頻特性進行測量，使基部30向按壓方向的前方(鉛直方向的上方)移動，使第一接觸件10和第二接觸件20從鉛直方向的下方與由支承構件5支承的測量對象T接觸。

在第一接觸件10和第二接觸件20與測量對象T接觸的狀態下使基部30進一步向鉛直方向上方移動，由此，以規定的按壓力將第一接觸件10和第二接觸件20按壓向測量對象T而使其與該測量對象T電連接。在與測量對象T接觸的狀態下進一步按壓第一接觸件10和第二接觸件20，隨之，第一基部32和第二基部33分別以壓縮第一彈簧34a和第二彈簧34b的方式(克服彈推力)相對於移動板31相對移動(參照圖3等)。通過第一彈簧34a和第二彈簧34b因被壓縮而產生的彈性力，確保將第一接觸件10和第二接觸件20按壓向測量對象T的按壓力。

從第一接觸件10和第二接觸件20輸出的電信號藉由傳輸基板60的高頻傳輸線路被傳輸，通過同軸電纜50被輸入控制裝置105(參照圖1)。傳輸基板60能夠因外力而發生變形，隨著基部30被驅動機構40(參照圖1)驅動而撓曲變形。由此，允許基部30、第一接觸件10以及第二接觸件20沿著按壓方向相對於同軸電纜50和連接器55相對移動。

接著，主要參照圖7~圖10，對第一接觸件10和第二接觸件20的具體結構進行說明。

如圖7和圖8所示，第一接觸件10和第二接觸件20分別形成為具有均勻的厚度的板狀並形成為彼此相同的形狀。此外，如圖9所示，第一接觸件10和第二接觸件20在與按壓方向垂直的一個方向(X方向。以下，也稱為“鄰接方向”。)上隔開預定的間隙G1並排設置。

就是說，第一接觸件10和第二接觸件20形成為通用的部件，隔開間隙G1相互對稱(面對稱)地配置。因此，以下，主要對第一接觸件10的具體結構進行說明，對第二接觸件20的結構適當省略說明。此外，以下，如圖9所示，分別從第一接觸件10和第二接觸件20觀察，也將第一接觸件10與第二接觸件20的間隙G1側稱為鄰接方向的“內側”並將遠離間隙G1的方向稱為“外側”。

如圖7所示，第一接觸件10具有：第一安裝部11，係安裝於基部30的第一基部32，與傳輸基板60的第一接地線62電連接；以及第一端子部15，係被按壓向測量對象T。此外，在第一接觸件10設有第一對置面10a，該第一對置面10a係與按壓方向平行且與板厚方向平行的面，也就是與YZ平面平行的面。第一對置面10a以遍及第一安裝部11和第一端子部15的方式設置。換言之，第一安裝部11和第一端子部15在鄰接方向的內側經由第一對置面10a以無高低差之方式連接。

第一安裝部11形成為具有與按壓方向平行的第一平坦面11a的板狀。在第一安裝部11，供第一安裝螺栓80(參照圖4)插通的第一安裝孔12以在第一平坦面11a處形成開口的方式貫通第一平坦面11a的板厚方向(Y方向)而形成。此外，在第一安裝部11形成有與第一安裝孔12連通並在第一安裝部11的外緣開口的第一缺口部12a。第一缺口部12a以從第一安裝孔12沿鄰接方向朝向外側延伸的方式形成(參照圖9)。由此，第一安裝孔12被構成為藉由第一缺口部12a在第一安裝部11的外緣形成開口的孔(開放的孔)而不是閉合的孔。

第一端子部15以從第一安裝部11朝向測量對象T向按壓方向突出的方式形成。第一端子部15的前端的端面形成為與按壓方向垂直的垂直面15a。第一端子部15的垂直面15a與測量對象T接觸。

此外，第一端子部15形成為寬度尺寸(X軸方向的尺寸)從與測量對象T接觸的前端向連接於第一安裝部11的基端變大。更具體而言，第一端子部15中，鄰接方向的內側(第二接觸件20側)形成為與按壓方向平行的第一對置面10a，外側(第二接觸件20的相反側)形成為相對於按壓方向傾斜的第一傾斜面16。如圖9所示，第一傾斜面16形成為第一安裝孔12的中心O1配置於比包含第一傾斜面16的第一假想平面P1更靠鄰接方向上的內側。

與第一接觸件10同樣，如圖8所示，第二接觸件20具有第二安裝部21和第二端子部25。在第二安裝部21形成有供第二安裝螺栓85插通的第二安裝孔22和與第二安裝孔22連通並在第二安裝部21的外緣形成開口的第二缺口部22a。第二端子部25的前端的垂直面25a與測量對象T接觸。在第二接觸件20，遍及第二安裝部21和第二端子部25設有第二對置面20a。此外，在鄰接方向的第二端子部25的外側形成有第二傾斜面26。如圖9所示，第二傾斜面26形成為第二安裝孔22的中心O2配置於比包含第二傾斜面26的第二假想平面P2更靠鄰接方向上的內側。

在對測量對象T的探測中，探測的反作用力通過第一接觸件10和第二接觸件20傳遞給第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85(參照圖4等)。相對於此，在本實施型態中，第一安裝孔12的中心O1配置於比包含第一傾斜面16的第一假想平面P1靠鄰接方向上的內側，第二安裝孔22的中心O2配置於比包含第二傾斜面26的第二假想平面P2靠鄰接方向上的內側。由此，探測的反作用力分別傳遞給第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85，以使該反作用力作用於第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85的中心軸。如此，能使探測的反作用力作用於第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85的中心軸，因此能抑制第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85因反作用力而鬆動。

需要說明的是，在本實施方式中，第一傾斜面16和第二傾斜面26分別是直線狀(平坦面狀)的錐形面。相對於此，第一傾斜面16和第二傾斜面26並不限於錐形面。第一傾斜面16和第二傾斜面26只要形成為相對於按壓方向傾斜即可，例如也能以曲面形成。

第一接觸件10和第二接觸件20被設為第一對置面10a和第二對置面20a隔開預定的間隔相互平行對置，且沿鄰接方向並排配置。第一對置面10a和第二對置面20a分別是與鄰接方向垂直的平面。第一對置面10a與第二對置面20a的間隔被設定為使第一安裝部11與第二安裝部21的結合強度達到期望的強度，換言之，使傳輸路徑達到期望的特性阻抗(例如50Ω)。

此外，第一對置面10a和第二對置面20a形成為被按壓向測量對象T的前端側的一部分的間隔比其他部分的間隔寬。具體而言，與第一端子部15的前端的垂直面15a連續的前端側的第一對置面10a的一部分(以下，稱為“第一前端對置面10b”。)位於比第一對置面10a的其他部分靠鄰接方向的外側。同樣地，與第二端子部25的前端的垂直面25a連續的前端側的第二對置面20a的一部分(以下，稱為“第二前端對置面20b”。)位於比第二對置面20a的其他部分靠鄰接方向的外側。第一前端對置面10b與第二前端對置面20b的鄰接方向的間隔被設定為與接觸第一接觸件10和第二接觸件20的測量對象T的大小相符。因此，第一前端對置面10b位於比第一對置面10a更靠鄰接方向的內側，第二前端對置面20b位於比第二對置面20a更靠鄰接方向的內側。

接著，主要參照圖10，對第一接觸件10和第二接觸件20的安裝構造進行說明。

如圖10所示，第一安裝螺栓80具有頭部80a和與形成於第一基部32的第一螺紋孔32a螺合的螺紋部80b。同樣地，第二安裝螺栓85具有頭部85a和與形成於第二基部33的第二螺紋孔33a螺合的螺紋部85b。

在第一接觸件10的第一安裝部11與第一安裝螺栓80的頭部80a之間設有由作為絕緣材料的樹脂形成的作為絕緣構件的第一樹脂墊圈81。第一安裝螺栓80插通第一樹脂墊圈81、第一安裝部11的第一安裝孔12、後述的傳輸基板60的第一插通孔62a，與第一基部32的第一螺紋孔32a螺合。由此，第一接觸件10和傳輸基板60通過第一安裝螺栓80安裝於第一基部32。此外，藉由第一樹脂墊圈81來避免第一接觸件10的第一安裝部11與第一安裝螺栓80的頭部80a直接接觸，由此使第一接觸件10與第一安裝螺栓80絕緣。

與第一接觸件10同樣，在第二接觸件20的第二安裝部21與第二安裝螺栓85的頭部85a之間設有作為絕緣構件的樹脂製的第二樹脂墊圈86。第二安裝螺栓85插通第二樹脂墊圈86、第二安裝部21的第二安裝孔22、後述的傳輸基板60的第二插通孔63a，與第二基部33的第二螺紋孔33a螺合，由此將第二接觸件20和傳輸基板60安裝於第二基部33。此外，通過第二樹脂墊圈86使第二接觸件20與第二安裝螺栓85絕緣。另外，第一絕緣構件和第二絕緣構件不限於樹脂製，就絕緣材料而言亦可由其他的材料形成。

接著，主要參照圖11~圖13，對傳輸基板60的具體結構進行說明。圖11是從傳輸基板60的一個面(正面)觀察到的俯視圖，圖12是從傳輸基板60的另一個面(背面)觀察到的仰視圖。

傳輸基板60的基材61由具有柔軟性的材質形成。第一接地線62、第二接地線64以及信號線63被設為沿著帶狀延伸的基材61的長邊方向分別以具有預定的寬度的方式延伸。信號線63被設於在與傳輸基板60的長邊方向正交的寬度方向(圖11中左右方向)上夾在第一接地線62與第二接地線64之間的位置，且與第一接地線62和第二接地線64隔開預定的間隔。

傳輸基板60在其長邊方向上被分為：安裝有第一接觸件10和第二接觸件20的接觸件側端部65；經由連接器55(參照圖1)與同軸電纜50連接的連接器側端部66；以及設於接觸件側端部65與連接器側端部66之間的基板主體部67。

第一接地線62和信號線63被設為從連接於連接器55的傳輸基板60的連接器側端部66延伸至安裝有第一接觸件10和第二接觸件20的傳輸基板60的接觸件側端部65。另一方面，第二接地線64僅設於從連接器側端部66至基板主體部67的長邊方向的中間部。

在傳輸基板60的接觸件側端部65形成有在傳輸基板60的長邊方向延伸的狹縫60a。由此，傳輸基板60的接觸件側端部65被狹縫60a分隔為安裝有第一接觸件10的第一安裝端部65a和安裝有第二接觸件20的第二安裝端部65b。

在第一安裝端部65a設有第一接地線62的一個端部，並且供第一安裝螺栓80插通的第一插通孔62a以貫通第一接地線62的方式形成。以下，也將第一接地線62中與第一接觸件10直接接觸的部分稱為第一接地線62的“前端部”。

在第二安裝端部65b設有信號線63的一個端部，並且供第二安裝螺栓85插通的第二插通孔63a以貫通信號線63的方式形成。第一安裝端部65a和第二安裝端部65b被狹縫60a隔開，由此被配置為能夠相互獨立地移動(能夠變形)。此外，第一安裝端部65a和第二安裝端部65b與所安裝的第一接觸件10和第二接觸件20的形狀相符，寬度尺寸形成為寬幅。

狹縫60a被設為從傳輸基板60的接觸件側端部65的前端部(前端緣)沿長邊方向以超過第一接觸件10和第二接觸件20的方式延伸至連接器55側(參照圖6)。

此外，在第二安裝端部65b形成有與第二安裝端部65b的外緣和第二插通孔63a連通的基板缺口部63b。就是說，第二插通孔63a與第一接觸件 10的第一安裝孔12和第二接觸件20的第二安裝孔22同樣形成為藉由基板缺口部63b在傳輸基板60的第二安裝端部65b的外緣形成開口的孔(開放的孔)而不是周向閉合的孔。基板缺口部63b形成為在第一接觸件10與第二接觸件20的鄰接方向(換言之，與傳輸基板60的長邊方向正交的寬度方向)延伸的直線狀。

傳輸基板60的連接器側端部66被連接器55在厚度方向(與長邊方向和寬度方向正交的方向。圖11中的紙面垂直方向)夾持，由此與連接器55連接(參照圖6)。連接器側端部66設有：連接器連接部66a，係並排設有第一接地線62、信號線63、第二接地線64並被連接器55夾持；以及第一突出部66b和第二突出部66c，係從傳輸基板60的寬度方向上的連接器連接部66a的兩側分別向寬度方向的外側延伸。第一突出部66b和第二突出部66c也被連接器55夾持。

在第一突出部66b的一個面設有第一接地線62。在第二突出部66c的一個面設有第二接地線64。此外，第一突出部66b和第二突出部66c相對於基板主體部67隔開規定的間隙排列在傳輸基板60的寬度方向上。亦即，在傳輸基板60的寬度方向上，在第一突出部66b和第二突出部66c與基板主體部67之間分別形成有沿傳輸基板60的長尺寸方向延伸的基端狹縫60b、60c。由此，基板主體部67容易相對於連接器側端部66相對移動。

此外，如圖12所示，作為導體層，在連接器側端部66的背面設有第一背側接地線62b和第二背側接地線64b。第一背側接地線62b穿過通孔66d而與表面的第一接地線62電連接。第二背側接地線64b穿過通孔66e而與表面的第二接地線64電連接。與在背面未設置導體層(基材61露出)的部分相比，設有第一背側接地線62b和第二背側接地線64b的部分更厚。由此，比其他部分更厚的設有第一背側接地線62b的部分和設有第二背側接地線64b的部分被連接器55確實地夾持。因此，能通過連接器55(參照圖1)將第一接地線62和第二接地線64確實地連接於同軸電纜50的外部導體53。以下，第一接地線62中，也將被連接器55夾持而與連接器55直接接觸的部分稱為第一接地線62的“基端部”。

如圖11所示，基板主體部67具有：第一主體部67a，係設有第一接地線62、第二接地線64以及信號線63；以及第二主體部67b，係設有第一接地線62和信號線63，但不設置第二接地線64。第一主體部67a與連接器側端部66連接，第二主體部67b與接觸件側端部65連接。由於設置有第二接地線64，使第一主體部67a的寬度比第二主體部67b寬，且在第一主體部67a與第二主體部67b之間形成有臺階。

亦即，在連接器側端部66和基板主體部67的第一主體部67a，作為高頻傳輸路設有具有G(接地)-S(信號)-G(接地)之線路結構的所謂共面線路。此外，在基板主體部67的第二主體部67b和接觸件側端部65，作為高頻傳輸路設有具有G-S之線路結構的所謂共面帶狀線路。

如圖12所示，在第一主體部67a的背面形成有作為將第一接地線62與第二接地線64電連接的導體層的合流線。在本實施方式中，作為合流線設有第一合流線69a和第二合流線69b之兩者。第一合流線69a通過通孔67c與傳輸基板60的表面的第一接地線62電連接，並且通過通孔67d與表面的第二接地線64電連接。此外，第二合流線69b通過通孔67c與傳輸基板60的表面的第一接地線62電連接，並且通過通孔67d與表面的第二接地線64電連接。

如此，在本實施方式中，藉由第一合流線69a和第二合流線69b將第一接地線62和第二接地線64電連接，由此將高頻傳輸線路從連接器側端部66的G-S-G之共面面線路轉換為G-S之共面帶狀線路。

此外，如圖11所示，在傳輸基板60的接觸件側端部65的基材61中以從第一安裝端部65a的側部分支的方式設有分支部70。換言之，分支部70是基材61的一部分。分支部70具有：第一分支部71，係基端連接於第一安裝端部65a的側部並從基端向傳輸基板60的寬度方向延伸；以及第二分支部72，係從第一分支部71的端部沿傳輸基板60的長邊方向延伸，該分支部70在俯視觀察時形成為大致L字狀。

在分支部70設有將第一接地線62和殼體1的支承構件5(參照圖6)電連接的導通線73。導通線73設於構成分支部70的基材61的一個面。導通線73是與第一接地線62連續並形成於基材61的一側的面的導體層(印刷佈線)。藉由以與第一接地線62連續的導體層的形式構成導通線73，容易形成導通線73。

如圖6和圖13所示，第二分支部72藉由作為第三安裝構件的金屬製的第三安裝螺栓75安裝於支承構件5。在第二分支部72形成有供第三安裝螺栓75插通的第三插通孔70a(參照圖11)。

此外，如圖12所示，導通線73穿過第三插通孔70a設置至基材61的背面。在導通線73的背側部73a與支承構件5(參照圖6)的表面接觸的狀態下，分支部70通過第三安裝螺栓75被固定於支承構件5。如此，通過導通線73將第一接地線62和支承構件5電連接。另外，導通線73與第一接地線62的連接部分(以下，也稱為“導通部”。)被設置在第一接地線62中向前端部遠離基端部的位置。導通部向前端部遠離基端部係指導通部與基端部是互不相同的部分而不是同一部分。

如圖13所示，在支承構件5形成有容納傳輸基板60的分支部70而供分支部70安裝的槽部5d。在槽部5d形成有供安裝分支部70的第三安裝螺栓75螺合的第三螺紋孔5e。槽部5d以相對於按壓方向(Z軸方向)和與第一接觸件10的第一平坦面11a(第二接觸件20的第二平坦面21a)垂直的方向(X軸方向)中的任一方向均為傾斜的角度形成。就是說，分支部70的第二分支部72以將XZ平面配置在以X軸為中心旋轉(傾斜)的平面上的方式安裝於支承構件5。由此，安裝分支部70的第三安裝螺栓75的中心軸相對於按壓方向傾斜。

如圖1等所示，測量裝置100採用整體在包含按壓方向的XZ平面上延伸的結構。因此，在第三安裝螺栓75的中心軸與XZ平面平行地延伸的情況下，使螺栓旋轉的驅動器等器具容易與測量裝置100的組成部件發生干涉。藉由以本實施型態之方式將第三安裝螺栓75配置為相對於XZ平面傾斜，避免器具與組成部件的干涉，容易進行安裝作業。

此外，分支部70安裝於支承構件5，因此，在探測時相對於傳輸基板60的接觸件側端部65相對移動。當分支部70以與按壓方向平行的方式(換言之，以分支部70在包含按壓方向的XZ平面上延伸的方式)安裝於支承構件5時，分支部70由於與傳輸基板60的接觸件側端部65之間的相對移動而在傳輸基板60的厚度方向上發生變形。這樣的厚度方向的變形有時會以朝向Y軸方向的一方凸出的方式變形，另一方面，有時也會與上述情形相反地以凹陷的方式變形，缺乏再現性。因此，在分支部70以與按壓方向平行的方式安裝於支承構件 5的情況下，會有傳輸路徑的特性阻抗會發生波動的隱患。由此，有測量精度降低的隱患。

另一方面，在本實施方式中，分支部70的第二分支部72為相對於按壓方向傾斜的結構，換言之，如圖13所示，為藉由與X軸平行的折曲軸折曲而安裝於支承構件5的結構。因此，當由於探測而產生與傳輸基板60的接觸件側端部65的相對移動時，如圖中箭頭A所示，分支部70在彎曲的方向變形，吸收相對移動。如此，通過折曲地設置分支部70，能提高因與接觸件側端部65的相對移動而發生的變形的再現性，因此，能抑制伴隨分支部70的變形而產生的特性阻抗的波動，提高測量精度。

在此，為了便於本實施型態的理解，參照圖19，對本實施方式的比較例的測量裝置300進行說明。需要說明的是，在比較例中，對於與上述實施型態相同的結構，標註與上述實施型態相同的元件符號並省略說明。

一般而言，在對測量對象的高頻特性進行測量的測量裝置中，當發生高頻特性測量用的傳輸路徑中的特性阻抗的不匹配時，會有測量裝置的測量精度降低的隱患。因此，要求測量裝置以良好的精度匹配傳輸路徑的特性阻抗來提高測量精度。

比較例的測量裝置300與上述實施方式之不同點在於，不具備上述實施型態中的設於傳輸基板60的分支部70和導通線73，第一接觸件10與第一安裝螺栓80之間的第一樹脂墊圈81和第二接觸件20與第二安裝螺栓85之間的第二樹脂墊圈86，分別形成於第一接觸件10和第二接觸件20的第一缺口部12a和第二缺口部22a，形成於傳輸基板60的第二安裝端部65b的基板缺口部63b及第二接地線64。

在這樣的比較例中，第一接觸件10和第二接觸件20的接近部有可能會與位於接地電位的周圍的殼體1(更具體而言，具有供第一接觸件10和第二接觸件20插入的通過孔5a、5b的支承構件5)電容耦合(圖中B部)。由此，有可能會藉由第一接觸件10、第一接地線62、連接器55和包含支承構件5、第一托架2、第二托架3的殼體1，而如圖19中的箭頭所示形成不希望的傳輸路徑。

另一方面，在傳輸路徑的長度比測量用的電信號的波長短的情況下(例如，在傳輸路徑長為波長的1/20左右以下的情況下)，可以將電信號的傳輸路徑看作所謂集中常數電路，可以無視傳輸路徑中的電位的變動。然而，在傳輸路徑的長度比測量用的電信號的波長長的情況下，則會作為所謂分佈常數電路發揮作用，在傳輸路徑中，例如，電位沿著傳輸路徑以示出正弦波的方式振動。亦即，由於測量用的電信號越高頻則波長越短，因此容易產生作為分佈常數電路的作用。

因此，當因第一接觸件10與支承構件5的電容耦合而產生不希望的傳輸路徑且該傳輸路徑作為分佈常數電路發揮作用時，設定為接地電位的該路徑中的第一接觸件10和支承構件5的電位會振動。當第一接觸件10和支承構件5的接地電位振動而變得不穩定時，傳輸測量用的電信號的原本的傳輸路徑(同軸電纜50、傳輸基板60、第一接觸件10和第二接觸件20)上的特性阻抗會變得無法充分匹配。

相對於此，在本實施方式的測量裝置100中，第一接地線62的導通部藉由導通線73與支承構件5電連接。由此，即使在因第一接觸件10與支承構件5的電容耦合而形成不希望的傳輸路徑的情況下，如圖14所示，也不會由包含第一接地線62的整體和殼體1的一部分的路徑來構成不希望的傳輸路徑，而會由如第一接觸件10、從第一接觸件10到導通線73的第一接地線62的一部分、導通線73、支承構件5中從連接有導通線73的部分到與第一接觸件10電容耦合的部分之間的比較短的路徑來構成不希望的傳輸路徑。因此，傳輸路徑的長度變得比電信號的波長短，因此能抑制設定為接地電位的傳輸路徑上的電位的變動。

亦即，在測量裝置100中，處於傳輸路徑的中途的第一接地線62的導通部也設置了接地，因此，能抑制傳輸路徑上的電位的振動，能充分實現傳輸路徑上的特性阻抗的匹配。因此，能提高測量裝置100的測量精度。

此外，為了縮短非期望地形成的傳輸路徑的路徑長度，較佳為如本實施型態之方式，第一接地線62的導通部形成為與其前端部直接連接。從另一個觀點來看，較佳為前端部的一部分作為導通部發揮功能並藉由導通線73連接於支承構件5。然而，只要導通部位於第一接地線62上，也可以將導通部設於任意位置。

此外，較佳為導通線73機械地直接連接於與第一接觸件10和第二接觸件20電容耦合的支承構件5。然而，例如，導通線73也可以連接於第一托架2等連接於支承構件5的支承構件5以外的殼體1的組成部件。換言之，導通線73也可以經由殼體1的其他構件間接地連接於支承構件5。此外，導通線73並不限於設於傳輸基板60的表面的印刷佈線。

此外，在比較例的測量裝置300中，金屬製的第一安裝螺栓80與第一接觸件10直接接觸，與第一接觸件10不絕緣。同樣，金屬製的第二安裝螺栓85與第二接觸件20直接接觸，與第二接觸件20不絕緣。

因此，第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85在傳輸路徑上被配置為短截線(stub)。從傳輸基板60的高頻傳輸路傳輸給第一接觸件10和第二接觸件20的電信號除了從高頻傳輸路直接傳輸給第一接觸件10和第二接觸件20的部分以外，一部分還從高頻傳輸路通過被構成為短截線的第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85傳輸給第一接觸件10和第二接觸件20。就是說，在高頻傳輸路與第一接觸件10和第二接觸件20之間傳輸的電信號的一部分經由第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85迂回地傳輸。於如此之迂回的傳輸路徑中通過的信號成為相對於不迂回地直接傳輸的信號而言相位發生了偏移的信號。因此，包含相位發生了偏移的信號的電信號被輸入測量對象T，因此高頻特性的測量精度降低。

此外，在電信號直接傳輸給測量對象T的路徑與迂回的傳輸路徑合流時，也會產生信號的反射，因此傳輸特性會變差。從另一個觀點來看，相對於高頻傳輸路與第一接觸件10和第二接觸件20之間的傳輸路徑，第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85電連接而構成短截線，因此，第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85電連接的部分的特性阻抗相對於其他傳輸路徑的特性阻抗會有差異。由此，產生特性阻抗的不匹配，傳輸特性變差。

相對於此，在本實施方式中，第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85分別藉由第一樹脂墊圈81和第二樹脂墊圈86而相對於第一接觸件10和第二接觸件20絕緣。由此，第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85不在傳輸路徑上被構成為短截線，因此能提高傳輸特性，換言之，能使特性阻抗匹配，能提高測量精度。

而且，在比較例的測量裝置300中，第一接觸件10的第一安裝部11的第一安裝孔12、第二接觸件20的第一安裝部11的第二安裝孔22以及傳輸基板60的第二安裝端部65b的第二插通孔63a分別形成為閉合的圓形的孔。因此，在傳輸路徑上傳輸的電信號在第一安裝孔12、第二安裝孔22以及第二插通孔63a的周圍環繞而產生磁場。亦即，電信號以環繞第一安裝孔12、第二安裝孔22以及第一插通孔62a的周圍的方式流動，藉此在外觀上構成環形天線，電信號的能量的一部分以電磁波的形式輻射到空間中。由此，施加給測量對象T的電信號衰減，因此測量裝置300的測量精度降低。

相對於此，在本實施方式中，第一接觸件10的第一安裝孔12、第二接觸件20的第二安裝孔22以及傳輸基板60的第二插通孔63a分別與第一缺口部12a、第二缺口部22a以及基板缺口部63b連通。通過第一缺口部12a、第二缺口部22a以及基板缺口部63b，第一安裝孔12、第二安裝孔22以及第二插通孔63a分別被配置為開放的孔，防止電信號環繞周圍。由此，能抑制電信號的輻射，防止測量精度降低。

此外，一般而言，在測量裝置中，由於檢查裝置或測量對象的規格等原因，有可能會產生必須將接觸件僅設為第一接觸件和第二接觸件之兩個接觸件的限制。在這種情況下，一般而言，會如比較例的測量裝置300之方式，在傳輸基板60設有一條接地線62和一條信號線63，就是說，設有具有G-S之線路結構的共面帶狀線路。

相對於此，在本實施方式中，在傳輸基板60的接觸件側端部65設有具有G-S線路結構的共面帶狀線路，另一方面，在傳輸基板60的連接器側端部66設有具有G-S-G線路結構的共面線路。在傳輸基板60中，藉由設於基板主體部67的第一合流線69a和第二合流線69b將第一接地線62和第二接地線64相互連接，高頻傳輸路從共面線路轉換為共面帶狀線路。共面線路比共面帶狀線路更能抗雜訊，而抑制了從同軸電纜50轉換時的特性阻抗的變動，因此比共面帶狀線路更容易實現特性阻抗的匹配。如此，在測量裝置100中，即使在接觸件被限定為兩個的情況下，由於高頻傳輸路中的傳輸線路的一部分被配置為共面線路，因此，與傳輸基板60的高頻傳輸路僅由共面帶狀線路構成的比較例相比，更能容易實現阻抗匹配，能提高測量精度。

接著，對上述實施型態的變形例進行說明。如下所述的變形例也在本發明的範圍內，可以將以下的變形例與上述實施型態的各結構組合，或者將以下的變形例相互組合。此外，在各變形例中，對於與上述實施型態相同的結構標註相同的元件符號並省略說明。

(1)在上述實施型態中，連接部是具有柔軟性的傳輸基板60(柔性印刷基板)。相對於此，只要至少能允許第一接觸件10和第二接觸件20(換言之，基部30)與同軸電纜50的相對移動，連接部也可以不具有柔軟性。

在圖15~圖18所示的第一變形例中，作為連接部的傳輸基板160包括：第一銅箔基板161，係作為將同軸電纜50的外周的外部導體53和第一接觸件110電連接之接地線；以及第二銅箔基板162，係作為將處於同軸電纜50的中心的中心導體51和第二接觸件120電連接之信號線。第一銅箔基板161和第二銅箔基板162分別由板構件構成，以在鄰接方向上相互隔開預定的間隔的方式設置(參照圖15)。

如圖16所示，第一銅箔基板161中，一端藉由焊接等手段連結於同軸電纜50的外部導體53，另一端藉由第一連結螺栓180連結於第一接觸件 110和第一基部32。第二銅箔基板162中，一端分別藉由焊接等手段連結於同軸電纜50的中心導體51，另一端藉由第二連結螺栓185連結於第二接觸件120和第二基部33。

此外，如圖15所示，在第一接觸件110與第一連結螺栓180之間設有作為絕緣構件的樹脂製的第一連結墊圈181。在第二接觸件120與第二連結螺栓185之間設有第二連結墊圈186。由此，能避免第一連結螺栓180和第二連結螺栓185在傳輸路徑上被構成為短截線，能提高測量裝置200的測量精度。

此外，在第一變形例中，如圖17所示，在第一接觸件110除了形成有與供將第一接觸件110安裝於第一基部32的第一安裝螺栓80插通的第一安裝孔12和第一安裝孔12連通的第一缺口部12a之外，還形成有供第一連結螺栓180插通的第三安裝孔112和與第三安裝孔112連通並在第一接觸件110的外緣形成開口的第三缺口部112a。在第二接觸件120，除了形成有供將第二接觸件120安裝於第二基部33的第二安裝螺栓85插通的第二安裝孔22和第二缺口部22a之外，還形成有供第二連結螺栓185插通的第四安裝孔122和與第四安裝孔122連通並在第二接觸件120的外緣形成開口的第四缺口部122a。

如圖18所示，在第一銅箔基板161形成有供第一連結螺栓180插通的第三插通孔165，和與第三插通孔165連通並在第一銅箔基板161的外緣形成開口的第一基板缺口部165a。在第二銅箔基板162形成有供第二連結螺栓185插通的第四插通孔166和與第四插通孔166連通並在第二銅箔基板162的外緣形成開口的第二基板缺口部166a。

如此，形成於傳輸路徑上的第一接觸件110的第一安裝孔12和第三安裝孔112、第二接觸件120的第二安裝孔22和第四安裝孔122、第一銅箔基板161的第三插通孔165、第二銅箔基板162的第四插通孔166分別被配置為開放的孔而不是閉合的孔。因此，與上述實施型態同樣地，能抑制電信號在第一安裝孔12、第二安裝孔22、第三安裝孔112、第四安裝孔122、第三插通孔165以及第四插通孔166各自的周圍環繞，能提高測量裝置200的測量精度。

此外，在第一變形例中，雖然省略了圖示，但也可以與上述實施型態同樣設有作為接地線的將第一銅箔基板161和支承構件5電連接的導通線。由此，即使在因第一接觸件10與支承構件5的電容耦合而非預料地形成了傳輸路徑的情況下，由於在第一銅箔基板161設置了接地，因此也能縮短非預料的傳輸路徑的路徑長度，能抑制接地傳輸路上的電位的變動。因此，能抑制傳輸路徑上的電位的振動，能充分實現傳輸路徑上的特性阻抗的匹配。因此，能提高測量裝置100的測量精度。

(2)此外，在上述實施型態中，傳輸基板60是具有柔軟性的柔性印刷基板。相對於此，就具有柔軟性的傳輸基板而言，亦可為包含具有柔軟性的部位和不具有柔軟性的部位的軟硬結合基板。

(3)此外，在上述實施型態中，如圖5等所示，在第一接觸件10與金屬製的第一安裝螺栓80之間設有第一樹脂墊圈81，第一接觸件10與第一安裝螺栓80絕緣。同樣，在第二接觸件20與金屬製的第二安裝螺栓85之間設有第二樹脂墊圈86，第二接觸件20與第二安裝螺栓85絕緣。

相對於此，作為使第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85與第一接觸件10和第二接觸件20絕緣的結構，也可以是，第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85自身藉由作為絕緣材料的樹脂形成，而不利用第一樹脂墊圈81和第二樹脂墊圈86。在該情況下，也能避免第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85在傳輸路徑上被構成為短截線，因此能提高測量裝置100的測量精度。

另外，從抑制因第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85構成短截線而導致的測量精度的降低的角度來看，理想為第一接觸件10和第二接觸件20分別與第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85絕緣。然而，從抑制因短截線而導致的測量精度的降低的角度來看，第一接觸件10和第二接觸件20雙方與第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85絕緣的結構並非必須的，只要至少一方與對應的(用於將自身安裝於基部30的)第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85絕緣即可。

(4)此外，第一安裝構件和第二安裝構件並不限於第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85。作為第一安裝構件和第二安裝構件，亦可利用被壓入第一基部32和第二基部33的壓入銷。此外，第一安裝構件和第二安裝構件亦可並非如第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85構成為拆裝自如。在這些情況下，可利用樹脂墊圈使第一安裝構件和第二安裝構件與第一接觸件10和第二接觸件20分別絕緣，亦可使第一安裝構件和第二安裝構件自身由絕緣材料形成從而與第一接觸件10和第二接觸件20絕緣。

(5)此外，在上述實施方式中，導通線73將傳輸基板60的第一接地線62與支承構件5電連接。相對於此，只要能使如上所述的非預期形成的傳輸路徑的長度縮短構成，導通線73並不限於將第一接地線62與支承構件5電連接的結構。

例如，在測量裝置100中，也可以設有將連接器55與支承構件5電連接的導通線。此外，也可以設有將第一接觸件10與支承構件5電連接的導通線。在這些情況下，即使產生了非預期形成的傳輸路徑，也能使路徑長度短於比較例(參照圖19)，因此能發揮與上述實施型態相同的作用效果。就是說，導通線只要為將從同軸電纜50往測量對象T的電信號的接地傳輸路徑中的任意的部位與支承構件5(殼體1)電連接的結構即可，只要採用這樣的結構，就能發揮與上述實施型態相同的作用效果。另外，從同軸電纜50往測量對象T的電信號的接地傳輸路徑包括連接器55、傳輸基板60以及第一接觸件10，不包括同軸電纜50。亦即，接地傳輸路徑係指在將第一接觸件10和第二接觸件20按壓至測量對象T的狀態下同軸電纜50與測量對象T之間的傳輸路徑。

接著，對本說明書中記載的第一實施型態及其變形例的作用效果進行總結說明。

測量裝置100具備：第一接觸件10和第二接觸件20，係分別被按壓向測量對象T；傳輸部(同軸電纜50)，係傳輸電信號；傳輸基板60，係具有柔軟性，將第一接觸件10和第二接觸件20與傳輸部之間電連接；以及殼體1，係設定為接地電位，支承第一接觸件10、第二接觸件20、傳輸部以及傳輸基板60；在傳輸基板60設有包含與第一接觸件10電連接的接地線(第一接地線62)和與第二接觸件20電連接的信號線63的高頻傳輸路，從傳輸部往測量對象T的電信號的接地傳輸路徑通過導通線73與殼體電連接。

此外，在測量裝置100中，導通線73將構成接地傳輸路徑的一部分的傳輸基板60的接地線與殼體1電連接。

此外，在測量裝置100中，殼體1具有支承構件5，該支承構件5設有供第一接觸件10和第二接觸件20插入的通過孔5a、5b並支承測量對象T，接地線的導通部與支承構件5電連接。

根據這些結構，在從傳輸部往測量對象T的接地傳輸路徑的中途也設置了接地，因此，能抑制傳輸路徑上的電位的振動，能充分實現傳輸路徑上的特性阻抗的匹配。因此，能提高測量裝置100的測量精度。

此外，在測量裝置100中，導通線73與傳輸基板60形成為一體，與接地線連續。

根據該結構，能同時形成導通線73與接地線，因此容易形成導通線73。

此外，在測量裝置100中，第一接觸件10具有：端子部(第一端子部15)，係被按壓向測量對象T；以及安裝部(第一安裝部11)，係形成為具有與端子部對於測量對象T的按壓方向為平行的平坦面的平板狀，與傳輸基板60電連接；導通線73設於從傳輸基板60的側部分支出的分支部70，分支部70以相對於與安裝部的平坦面垂直的方向和平行的方向中的任一方向傾斜的角度連接於殼體1。

在該結構中，隨著第一接觸件10和第二接觸件20被按壓向測量對象T而產生的傳輸基板60與分支部70的相對移動藉由分支部70的撓曲變形被吸收。分支部70以相對於與安裝部的平坦面在垂直的方向和平行的方向均傾斜的角度連接於殼體1，由此提高分支部70的撓曲變形的再現性。因此，能抑制因分支部70的撓曲變形而產生的特性阻抗的波動，提高測量裝置100的測量精度。

此外，測量裝置100具備：第一接觸件10和第二接觸件20，係分別被按壓向測量對象T；基部30，係安裝有第一接觸件10和第二接觸件20；以及驅動機構40，係驅動基部30，將第一接觸件10和第二接觸件20按壓向測量對象T。而且，測量裝置100具備：傳輸部(同軸電纜50)，係傳輸電信號；連接部(傳輸基板60)，係將傳輸部與第一接觸件10和第二接觸件20電連接，並且隨著基部30被驅動而發生變形，允許第一接觸件10和第二接觸件20相對於傳輸部的相對移動；第一安裝構件(第一安裝螺栓80)，係將第一接觸件10安裝於基部30；以及第二安裝構件(第二安裝螺栓85)，係將第二接觸件20安裝於基部30；第一接觸件10和第二接觸件20中的至少一方被構成為與用於將自身安裝於基部30的第一安裝構件或第二安裝構件絕緣。

此外，在測量裝置100中，第一接觸件10和第二接觸件20中的至少一方被構成為藉由絕緣構件(第一樹脂墊圈81、第二樹脂墊圈86)與用於將自身安裝至基部30的第一安裝構件或第二安裝構件絕緣，該絕緣構件設於第一接觸件10和第二接觸件20中的至少一方與第一安裝構件或第二安裝構件之間，且由絕緣材料形成。

此外，在變形例的測量裝置100中，第一安裝構件(第一安裝螺栓80)和第二安裝構件(第二安裝螺栓85)中的至少一方被配置為由絕緣材料形成而與第一接觸件10或第二接觸件20絕緣。

根據這些結構，第一安裝構件(第一安裝螺栓80)和第二安裝構件(第二安裝螺栓85)中的至少一方與第一接觸件10和第二接觸件20絕緣，因此，用於測量高頻特性的電信號變得不易流過第一安裝構件(第一安裝螺栓80)和第二安裝構件(第二安裝螺栓85)。由此，能夠抑制第一安裝構件(第一安裝螺栓80)和第二安裝構件(第二安裝螺栓85)對於傳輸基板60的高頻傳輸路與第一接觸件10和第二接觸件20中的至少一方之間的電信號的傳輸造成影響。因此，能充分實現測量用的傳輸路徑上的特性阻抗的匹配，能提高測量裝置100、200的測量精度。

此外，在測量裝置100中，第一接觸件10具有：第一端子部15，係被按壓向測量對象T；以及第一安裝部11，係形成有供第一安裝構件插通的第一安裝孔12，且安裝於基部30；第二接觸件20具有：第二端子部25，係被按壓向測量對象T；以及第二安裝部21，係形成有供第二安裝構件插通的第二安裝孔22，安裝於基部30。

並且，在第一接觸件10的第一安裝部11形成有與第一安裝孔12連通並在第一接觸件10的外緣開口的第一缺口部12a，在第二接觸件20的第二安裝部21形成有與第二安裝孔22連通並在第二接觸件20的外緣開口的第二缺口部22a。

在該結構中，藉由第一缺口部12a和第二缺口部22a，第一安裝孔12和第二安裝孔22分別形成為開放的孔而不是閉合的孔。由此，防止電信號以環繞第一安裝孔12和第二安裝孔22的周圍的方式流通，因此抑制了因電信號環繞而產生的信號的輻射。因此，能提高測量裝置100的測量精度。

此外，在測量裝置100中，第一接觸件10和第二接觸件20在與第一接觸件10和第二接觸件20向測量對象T按壓的方向垂直的規定的鄰接方向上隔開間隔地並排設置，第一端子部15具有在鄰接方向上設於第二接觸件20的相反側並相對於按壓方向傾斜的第一傾斜面16，第二端子部25具有在鄰接方向上設於第一接觸件10的相反側並相對於按壓方向傾斜的第二傾斜面26，第一安裝孔12的中心O1配置為在鄰接方向上比包含第一傾斜面16的第一假想平面 P1更靠第二接觸件20側，第二安裝孔22的中心O2配置為在鄰接方向上比包含第二傾斜面26的第二假想平面P2更靠第一接觸件10側。

在該結構中，第一安裝孔12的中心配置於比第一假想平面P1更靠第二接觸件20側，第二安裝孔22的中心配置於比第二假想平面P2更靠第一接觸件10側。由此，對第一接觸件10和第二接觸件20向測量對象T的按壓力的反作用力以作用於第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85的中心軸的方式分別被傳遞給第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85。由於能使第一接觸件10和第二接觸件20按壓向測量對象T的按壓力的反作用力作用於第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85的中心軸，因此能抑制第一安裝螺栓80和第二安裝螺栓85因反作用力而鬆動。

此外，測量裝置100具備：第一接觸件10和第二接觸件20，係分別被按壓向測量對象T；傳輸部(同軸電纜50)，係傳輸電信號；傳輸基板60，係設有高頻傳輸路，將第一接觸件10和第二接觸件20與傳輸部電連接；高頻傳輸路具有：信號線63，係一端與傳輸部中的信號傳輸路(中心導體51)電連接，另一端與第一接觸件10電連接；第一接地線62，係一端與傳輸部中的接地傳輸路(外部導體53)電連接，另一端與第二接觸件20電連接；第二接地線64，係一端與傳輸部中的接地傳輸路電連接；以及合流線(第一合流線69a、第二合流線69b)，係將第一接地線62與第二接地線64電連接。

此外，在測量裝置100中，傳輸基板60還具有基材61，信號線63、第一接地線62以及第二接地線64設於基材61的一側的面上，第一接地線62和第二接地線64被配置為在基材61的一側的面上隔著信號線63。

此外，在測量裝置100中，合流線(第一合流線69a、第二合流線69b)設於作為一側的面的相反側的基材61的另一側的面上。

根據這些結構，傳輸基板60的高頻傳輸路中的傳輸路徑的一部分係由一條信號線63和兩條接地線構成的所謂共面線路。共面線路比共面帶狀線路更能抗雜訊，抑制了從同軸電纜50轉換時的特性阻抗的變動，因此容易實現特性阻抗的匹配。因此，根據上述方案，能提高測量裝置100的測量精度。

此外，測量裝置100還具備：連接器55，係將傳輸部(同軸電纜50)與傳輸基板60連接；傳輸基板60具有被連接器55夾持的連接器側端部66；連接器側端部66具有：連接器連接部66a，係並排設有信號線63、第一接地線62以及第二接地線64；以及第一突出部66b和第二突出部66c，係從傳輸基板60的寬度方向上的連接器連接部66a的兩側分別向寬度方向的外側延伸；在第一突出部66b設有第一接地線62，在第二突出部66c設有第二接地線64，在連接器連接部66a與第一突出部66b之間和在連接器連接部66a與第二突出部66c之間分別形成有在傳輸基板60的長邊方向延伸的基端狹縫60b、60c。

在該結構中，傳輸基板60容易相對於連接器側端部66相對移動。

此外，在測量裝置100中，在連接器側端部66的一個面設有信號線63、第一接地線62以及第二接地線64，在連接器側端部66的另一個面設有與第一接地線62電連接的第一背側接地線62b和與第二接地線64電連接的第二背側接地線64b，連接器側端部66中，設有第一背側接地線62b和第二背側接地線64b的部分的厚度形成為比其他部分更厚。

在該結構中，設有第一背側接地線62b和第二背側接地線64b的部分形成為比其他部分更厚，由此，能通過連接器55確實地夾持該部分。因此，能通過連接器55將第一接地線62和第二接地線64可靠地連接於同軸電纜50的外部導體53。

(第二實施型態)

接著，參照圖20~圖26對第二實施型態的測量裝置400進行說明。以下，對於與上述第一實施方式相同的結構標註相同的元件符號並適當省略說明。此外，以下，與第一實施型態同樣，如圖20等所示，設定相互正交的X、Y以及Z這三個軸，對測量裝置的結構進行說明。在本實施型態中，Z軸方向為與鉛直方向平行的方向。

圖20係本實施型態的測量裝置400的主視圖。圖21係放大了圖20中由二點鏈線表示的部分的放大圖。如圖20和圖21所示，測量裝置400被用於對例如晶片部件之測量對象T進行電氣測試的檢查裝置101。

如圖20所示，檢查裝置101具備：測量裝置400，係用於對測量對象T的電特性進行測量；輸送裝置102，係向用於測量電特性的測量位置輸送測量對象T；以及控制裝置105，係接收施加於測量對象T的電信號，進行預定的信號處理。

測量裝置400為一種傳輸機構，係為了對測量對象T的高頻特性等的電特性進行測量而從鉛直方向的下方將第一接觸件310和第二接觸件320按壓向位於測量位置的測量對象T，並在測量對象T與控制裝置105之間傳輸電信號。例如，測量裝置400對測量對象T施加如數百MHz~數GHz的特定頻率的電磁波，並將隨之於測量對象T中產生的高頻信號傳輸給控制裝置105。由此，進行測量對象T的高頻特性的測量。

如圖21所示，輸送裝置102具有：輸送台103，係形成有複數個容納測量對象T的容納槽103a；以及分度機構(省略圖示)，係使輸送台103以旋轉軸為中心間歇地旋轉。輸送台103為圓板狀的構件。複數個容納槽103a以從輸送台103的外周面向徑向延伸的方式形成為輻射狀。分度機構使輸送台103以輸送台103的中心軸為旋轉軸間歇地旋轉。由此，容納在輸送台103的容納槽103a內的測量對象T被輸送至測量位置，由測量裝置400進行高頻特性的測量。此外，利用分度機構使輸送台103旋轉，由此將完成了高頻特性的測量的測量對象T從測量位置中移出。

在輸送台103的鉛直方向的上方設有按壓構件104，該按壓構件104抑制測量對象T隨著被第一接觸件310和第二接觸件320從鉛直方向下方按壓而上浮。在輸送台103的鉛直方向的下方設有支承測量對象T的支承構件5。在支承構件5形成有允許第一接觸件310和第二接觸件320通過的通過孔5a、5b。通過孔5a、5b被隔壁5c隔開。測量對象T被隔壁5c從鉛直方向下方支承，而限制從輸送台103的容納槽103a脫落。

接著，主要參照圖20和圖22，對測量裝置400的結構進行說明。圖22係測量裝置400的側視圖。需要說明的是，圖22中僅圖示了測量裝置400，省略了測量對象T、輸送台103等結構的圖示。

如圖20和圖22所示，測量裝置400具備：第一接觸件310和第二接觸件320，係分別被按壓向測量對象T；基部330，係安裝有第一接觸件310和第二接觸件320；驅動機構40，係驅動基部330，將第一接觸件310和第二接觸件320沿規定的按壓方向按壓向測量對象T；同軸電纜50，係作為傳輸部而傳輸對於控制裝置105做輸入、輸出的電信號；以及傳輸基板360，係作為連接部將第一接觸件310和第二接觸件320與同軸電纜50電連接。在本實施方式中，按壓方向為與Z軸平行的方向。

第一接觸件310和第二接觸件320係分別由導體形成並被按壓向測量對象T而被輸入高頻信號的電極。在本實施方式中，第一接觸件310是接地電極，第二接觸件320是信號電極。關於第一接觸件310和第二接觸件320的具體結構將在後文詳細說明。

在基部330藉由螺栓等安裝手段(省略圖示)安裝有第一接觸件310和第二接觸件320。

驅動機構40係使基部330沿著一個方向進退的致動器。驅動機構40對基部330的驅動方向相當於第一接觸件310和第二接觸件320對測量對象T的按壓方向(在本實施方式中為與Z軸平行的方向)。通過驅動機構40使基部330沿按壓方向進退，由此，第一接觸件310和第二接觸件320與測量對象T接觸/分離。

如圖22所示，驅動機構40具有：電動馬達41；滾珠螺桿機構42，係將電動馬達41的旋轉轉換為直線運動；以及引導部37，係用於引導基部330的直線運動。

滾珠螺桿機構42具有：滾珠螺桿42a，係沿著按壓方向(Z軸方向)設置，通過電動馬達41進行旋轉；以及滾珠螺帽42b，係伴隨著滾珠螺桿42a的旋轉而沿滾珠螺桿42a的軸線方向移動。

引導部37具有沿著按壓方向設置的軌道37a。滾珠螺桿機構42的滾珠螺帽42b以能沿著引導部37的軌道37a滑動的方式安裝於引導部37。

基部330安裝於滾珠螺桿機構42的滾珠螺帽42b。當電動馬達41被旋轉驅動時，滾珠螺桿42a的旋轉被轉換為滾珠螺帽42b的直線運動，滾珠螺帽42b一邊被引導部37的軌道37a引導並一邊沿軸向移動。由此，安裝於滾珠螺帽42b的基部330一邊被軌道37a引導並一邊沿著按壓方向被直線驅動。另外，驅動機構40只要能使基部330沿著一個方向進退，並不限於本實施型態的結構。例如，驅動機構40也可以使用流體壓力缸來代替電動馬達41與滾珠螺桿機構42的組合。

如圖20所示，同軸電纜50與收發特性測量用的電信號的控制裝置105電連接，傳輸由控制裝置105收發的電信號。如圖22所示，同軸電纜50係在同心圓上配置有中心導體51、設於中心導體51的周圍的作為絕緣層的絕緣體52以及設於絕緣體52的周圍的外部導體53的同軸傳輸部。

傳輸基板360包括：第一銅箔基板361，係將同軸電纜50的外周的外部導體53與第一接觸件310電連接；以及第二銅箔基板362，係將處於同軸電纜50的中心的中心導體51與第二接觸件320電連接。第一銅箔基板361和第二銅箔基板362分別形成為平板狀，以相互隔開預定的間隔的方式設置(參照圖20)。如圖22所示，第一銅箔基板361係一端藉由焊接等手段連結於同軸電纜50的外部導體53，另一端藉由螺栓等手段連結於第一接觸件310和基部330。第二銅箔基板362係一端分別藉由焊接等手段連結於同軸電纜50的中心導體51，另一端藉由螺栓等手段連結於第二接觸件320和基部330。

接著，主要參照圖20、圖23以及圖24，對第一接觸件310和第二接觸件320的具體結構進行說明。圖23是第一接觸件310的立體圖。圖24是第二接觸件320的立體圖。

如圖20和圖23所示，第一接觸件310具有：第一安裝部311，係安裝於基部330，與第一銅箔基板361電連接；以及第一端子部315，係被按壓向測量對象T，並隨著被按壓向測量對象T而比第一安裝部311更優先發生彈性變形。

第一接觸件310的第一安裝部311形成為平板狀，安裝於基部330。如圖23所示，第一安裝部311具有：平坦地形成的第一狹小面311a；平坦地形成並具有比第一狹小面311a大的面積的第一廣大面311b；以及具有比第一廣大面311b小的面積並連接有第一端子部315的第一前端面311c。第一狹小面311a、第一廣大面311b以及第一前端面311c是相互正交的平面。第一接觸件310以使第一安裝部311的第一廣大面311b與Y軸垂直並與包含X軸和Z軸的XZ平面平行的方式安裝於基部330(參照圖20)。沿著Y軸方向的第一狹小面311a的尺寸(以下，也稱為“第一狹小面311a的寬度”、“第一安裝部311的板厚”。)比沿著X軸方向的第一廣大面311b的尺寸更小。

第一端子部315具有與第一安裝部311相同的板厚(Y軸方向的尺寸)。亦即，第一接觸件310具有均勻的板厚。如圖23所示，第一端子部315具有：第一接觸部316，係沿著按壓方向(平行於Z軸方向)延伸，並被按壓向測量對象T；以及第一曲部317，係從第一接觸部316彎曲地形成。

第一接觸部316的前端的端面形成為與按壓方向垂直的垂直面316a。第一接觸部316的垂直面316a與測量對象T接觸。

第一曲部317從第一接觸部316彎曲地形成。具體而言，第一曲部317以在與XZ平面平行的平面上(圖20中的紙面上)分別相對於按壓方向(Z軸方向)和X軸方向傾斜的方式呈直線狀延伸。

如圖20和圖24所示，第二接觸件320具有：第二安裝部321，係安裝於基部330，與第二銅箔基板362電連接；以及第二端子部325，係被按壓向測量對象T，隨著被按壓向測量對象T而優先於第二安裝部321發生彈性變形。

第二接觸件320的第二安裝部321形成為平板狀，並安裝於基部330。如圖24所示，第二安裝部321具有：平坦地形成的第二狹小面321a；平坦地形成並具有比第二狹小面321a大的面積的第二廣大面321b；以及具有比第二廣大面321b小的面積並連接有第二端子部325的第二前端面321c。第二狹小面321a、第二廣大面321b以及第二前端面321c是相互正交的平面。第二接觸件320以使第二安裝部321的第二廣大面321b與Y軸垂直並與包含X軸和Z軸的XZ平面平行的方式安裝於基部330。沿著Y軸方向的第二狹小面321a的寬度(以下，也稱為“第二安裝部321的寬度”、“第二安裝部321的板厚”。)比沿著X軸方向的第二廣大面321b的寬度小。此外，第一狹小面311a的寬度和第二狹小面321a的寬度彼此相等，第一廣大面311b的寬度和第二廣大面321b的寬度彼此相等。

第二端子部325具有與第二安裝部321相同的板厚。亦即，第二接觸件320具有均勻的板厚，其板厚與第一接觸件310的板厚相同。第二端子部325形成為與第一端子部315對應的形狀。具體而言，第二端子部325具有：第二接觸部326，係沿按壓方向延伸，被按壓向測量對象T；以及第二曲部327，係從第二接觸部326彎曲地形成。

第二接觸部326的前端的端面形成為與按壓方向垂直的垂直面326a。第二接觸部326的垂直面326a與測量對象T接觸。第一接觸部316的前端(垂直面316a)和第二接觸部326的前端(垂直面326a)以按壓方向上的位置大致相同的方式設置。

第二曲部327從第二接觸部326彎曲地形成，以在與XZ平面平行的平面上分別相對於按壓方向(Z軸方向)和X軸方向傾斜的方式成直線狀延伸。

第一接觸件310和第二接觸件320如圖20所示以如下方式設置：第一安裝部311和第二安裝部321與XZ平面平行，並處於與XZ平面平行的同一平面上。更具體而言，第一安裝部311的第一狹小面311a和第二安裝部321的第二狹小面321a與作為按壓方向的Z軸平行。因此，第一狹小面311a和第二狹小面321a相互平行地對置。此外，第一廣大面311b和第二廣大面321b被配置在與XZ平面平行的同一平面上。

第一安裝部311的第一狹小面311a和第二安裝部321的第二狹小面321a相互平行地對置，因此，第一狹小面311a與第二狹小面321a的間隔大致固定。第一狹小面311a與第二狹小面321a的間隔被設定為使第一安裝部311與第二安裝部321的結合強度達到所期望的強度，換言之，使傳輸路徑達到期望的特性阻抗(例如50Ω)。

此外，第一端子部315和第二端子部325形成為分別從第一安裝部311和第二安裝部321以相互沿循的方式延伸。第一接觸部316與第二接觸部326的間隔係根據測量對象T的形狀，以使傳輸路徑的特性阻抗達到期望值的方式設定。

從另一個角度來看，圖23和圖24所示的第一曲部317和第二曲部327形成為不與X軸和Z軸的任一個軸平行的直線狀。第一曲部317和第二曲部327的直線部分以朝向同一個方向相互沿循的方式平行地形成。由此，第一曲部317與第二曲部327的間隔(由第一曲部317和第二曲部327構成的傳輸路徑的間隔)被保持為固定，因此能使第一曲部317和第二曲部327的特性阻抗保持固定。

另外，第一曲部317和第二曲部327從第一接觸部316和第二接觸部326“彎曲地形成”係意指，第一端子部315和第二端子部325並非僅由沿著按壓方向的直線狀的部位形成的結構(圖27所示的結構)。“彎曲地形成”為表現第一曲部317和第二曲部327的形狀，而並非指藉由彎曲加工來形成。第一曲部317和第二曲部327除了包括彎曲加工的塑性加工以外，還可以藉由沖切、切削等機械加工來形成。

接著，參照圖25和圖26，對測量裝置400的作用進行說明。圖25係表示使第一接觸件310和第二接觸件320與測量對象T接觸的狀態的圖。圖26係表示從圖25的狀態使第一接觸件310和第二接觸件320往朝向測量對象T之按壓方向的前方移動，而按壓至測量對象T的狀態的圖。另外，在圖25和圖26中，僅圖示出測量對象T、第一接觸件310以及第二接觸件320，省略了其他結構的圖示。此外，在圖26中，用虛線示出了圖25的狀態下的第一接觸件310和第二接觸件320。

為了對測量對象T的高頻特性進行測量，使基部330向按壓方向的前方(鉛直方向的上方)移動，使第一接觸件310的第一接觸部316和第二接觸件320的第二接觸部326從鉛直方向的下方與測量對象T接觸(圖25所示的狀態)。此時，第一銅箔基板361和第二銅箔基板362(參照圖22)由於基部330的移動而發生彈性變形。由此，允許第一接觸件310、第二接觸件320以及基部330相對於同軸電纜50向按壓方向的相對移動。

從第一接觸部316和第二接觸部326與測量對象T接觸的狀態進一步使基部330向鉛直方向上方移動，由此，利用預定的按壓力將第一接觸件310和第二接觸件320按壓向測量對象T而進行電連接。伴隨著從與測量對象T接觸的狀態進一步按壓第一接觸部316和第二接觸部326，如圖26所示，使第一接觸件310的第一端子部315和第二接觸件320的第二端子部325比包含第一安裝部311和第二安裝部321的測量裝置400的其他部分更優先發生彈性變形。更具體而言，第一曲部317以將與第一安裝部311的邊界部分B12為支點而撓曲的方式發生彈性變形。同樣，第二曲部327以將與第二安裝部321的邊界部分B22作為支點而撓曲的方式發生彈性變形。由此，通過因第一曲部317和第二曲部327的彈性變形而產生的彈性力，確保將第一接觸部316和第二接觸部326按壓向測量對象T的按壓力。

在此，一般而言，在測量裝置中，伴隨著將接觸件按壓向測量對象，接觸件、同軸電纜、傳輸基板等會發生變形。當接觸件、同軸電纜、傳輸基板等中的任一個發生變形時，在變形的部位，接地線路與信號線路的相對位置關係(更具體而言為間隔)發生變化，特性阻抗會發生變化。由此，有可能會發生傳輸路徑上的特性阻抗的不匹配。當在傳輸路徑上發生特性阻抗的不匹配時，由於會在不匹配部位反射電信號，因此會產生傳輸損耗。

相對於此，在本實施方式中，第一接觸件310的第一端子部315和第二接觸件320的第二端子部325以相互沿循的方式延伸。第一端子部315的第一接觸部316和第二端子部325的第二接觸部326相互平行地延伸，並且，第一端子部315的第一曲部317和第二端子部325的第二曲部327相互平行地延伸。此外，第一接觸部316的前端和第二接觸部326的前端在按壓方向上的位置彼此相同。因此，即使將第一接觸部316和第二接觸部326從與測量對象T接觸的狀態進一步向測量對象T按壓，第一曲部317和第二曲部327也會在同一方向以相同程度的變形量發生變形。因此，第一端子部315與第二端子部325的間隔在變形的前後沒有變化。如此，即使第一端子部315和第二端子部325發生變形，間隔也不會變化，因此能抑制因向測量對象T按壓第一端子部315和第二端子部325而引起的特性阻抗的變化，抑制傳輸損耗的產生。

接著，參照圖27~圖30，對第二實施型態的變形例進行說明。

(1)圖27係表示第二實施型態的第一變形例的第一接觸件310和第二接觸件320的主視圖。在上述實施型態中，如圖25等所示，第一端子部315具有第一曲部317，第二端子部325具有第二曲部327。相對於此，在圖27所示的第一變形例中，第一端子部315不具有第一曲部317，形成為與按壓方向平行的直線狀。此外，第二端子部325不具有第二曲部327，形成為與按壓方向平行的直線狀。

在這樣的第一變形例中，第一端子部315和第二端子部325也形成為相互對應的形狀，向同一個方向以相互沿循的方式延伸。因此，第一端子部315與第二端子部325的間隔也固定。因此，能使第一接觸件310和第二接觸件320中的特性阻抗匹配，能以良好的精度測量高頻特性。

(2)圖28係表示第二實施型態的第二變形例的第一接觸件310和第二接觸件320的主視圖。在上述實施型態中，如圖25等所示，第一接觸件310的第一曲部317和第二接觸件320的第二曲部327分別形成為相對於按壓方向傾斜的直線狀。相對於此，如圖28所示，第二變形例中的第一曲部317a和第二曲部327a形成為弧形彎曲的形狀。在該情況下，第一曲部317a和第二曲部327a也呈相互對應的形狀，形成為以相互沿循的方式延伸。這樣的第二變形例亦發揮與上述實施型態相同的作用效果。此外，雖然省略了圖示，但圖25等所示的第一曲部317和第二曲部327也可以形成為將直線狀的形狀和彎曲的形狀組合的形狀。

(3)圖29係表示第二實施型態的第三變形例的第一接觸件310和第二接觸件320的主視圖。在上述實施方式中，如圖25所示，第一曲部317與第一接觸部316的邊界部分B11相對於第一曲部317與第一安裝部311的邊界部分B12在與按壓方向垂直的方向(X軸方向，圖25中左右方向)上偏移。同樣地，第二曲部327與第二接觸部326的邊界部分B21相對於第二曲部327與第二安裝部321的邊界部分B21在與按壓方向垂直的方向(X軸方向，圖25中左右方向)上偏移。

相對於此，在第三變形例中，如圖29所示，第一曲部317b形成為向與按壓方向垂直的一個方向(圖29中左方向)凸出而成的半圓弧形。因此，第一曲部317b與第一接觸部316的邊界部分B11和第一曲部317b與第一安裝部311的邊界部分B21沿著按壓方向配置。第一曲部317b的凸出的頂部T1係設成於按壓方向(Z軸方向)上的位置成為第一曲部317b與第一接觸部316的邊界部分B11和第一曲部317b與第一安裝部311的邊界部分B12的中央。

此外，第二曲部327b形成為與第一曲部317b向同一個方向凸出而成的半圓弧形。第二曲部327b與第二接觸部326的邊界部分B21和第二曲部327b與第二安裝部321的邊界部分B22沿著按壓方向設置。第二曲部327的凸出的頂部T2係設成於按壓方向上的位置成為第二曲部327b與第二接觸部326的邊界部分B21和第二曲部327b與第二安裝部321的邊界部分B22的中央。

如此，在第三變形例中，第一曲部317b和第二曲部327b形成為相互對應的形狀，相互沿循地形成。因此，第一曲部317b與第二曲部327b的間隔也固定。這樣的第三變形例亦發揮與上述第一實施型態相同的作用效果。

此外，第一曲部317b和第二曲部327b形成為如上所述的形狀，因此，當沿著按壓方向將第一接觸件310和第二接觸件320按壓向測量對象T時，第一曲部317b和第二曲部327b以使第一接觸部316和第二接觸部326沿著按壓方向移動的方式發生彈性變形。就是說，第一曲部317b和第二曲部327b以第一接觸部316和第二接觸部326不會在與按壓方向垂直的方向上移動的方式變形。第一接觸部316和第二接觸部326不會在與按壓方向垂直的方向上移動，因此，能使第一接觸部316和第二接觸部326以穩定的姿勢與測量對象T接觸。而且，第一接觸部316和第二接觸部326不會在與按壓方向垂直的方向上移動，因此還能抑制兩者的間隔的變化。因此，能進一步抑制隨著被按壓向測量對象T而引起的第一接觸件310和第二接觸件320中的傳輸損耗的產生、特性阻抗的變化。

需要說明的是，只要第一曲部和第二曲部以使第一接觸部316和第二接觸部326沿著按壓方向移動的方式變形，第一曲部和第二曲部的形狀並不限於半圓弧形。例如，如圖30所示，第一曲部317c和第二曲部327c也可以由直線部構成，形成為在與按壓方向垂直的一個方向上凸出的“ㄑ”字形。此外，第一曲部和第二曲部也可以是將彎曲成弧形的部分和直線狀延伸的部分組合的形狀。

此外，第一曲部317b、317c與第一接觸部316的邊界部分B11和第一曲部317b、317c與第一安裝部311的邊界部分B12“沿著按壓方向設置”係意指，如圖29和圖30所示，第一曲部317b、317c與第一接觸部316的邊界部分B11和第一曲部317b、317c與第一安裝部311的邊界部分B12被配置在與按壓方向平行的同一條假想線L1上。第二曲部327b、327c與第二接觸部326的邊界部分B21和第二曲部327b、327c與第二安裝部321的邊界部分B22“沿著按壓方向設置”之涵義也同樣係意指被配置在與按壓方向平行的同一條假想線L2上。

(4)接著，對其他變形例進行說明。

在上述第二實施型態、第二實施型態的第二變形例以及第三變形例中，第一曲部317、317a、317b、317c和第二曲部327、327a、327b、327c並不排除包含與按壓方向平行的直線部分。也可以是，在第一曲部317、317a、317b、317c和第二曲部327、327a、327b、327c的一部分設有與按壓方向平行的直線部分。

(第三實施型態)

接著，參照圖31~圖33對第三實施型態的測量裝置500進行說明。以下，以與上述第二實施型態之不同點為中心進行說明，對於與上述第二實施型態相同的結構標註相同的元件符號並適當省略說明。

測量裝置500具備具有柔軟性的傳輸基板460來作為連接部，以代替上述第二實施型態中的由第一銅箔基板361和第二銅箔基板362構成的傳輸基板360。此外，測量裝置500中，第一接觸件410的第一安裝部411和第二接觸件420的第二安裝部421的結構與上述第二實施型態相同，另一方面，第一端子部415和第二端子部425的結構與上述第二實施型態不同。以下進行具體說明。

傳輸基板460係具有柔軟性的帶狀的柔性印刷基板。在傳輸基板460的一個端部(圖32中上端部)接著有第一接觸件410和第二接觸件420。傳輸基板460的另一個端部經由連接器55(參照圖31)與同軸電纜50電連接。另外，連接器55可以採用公知的結構，因此省略具體的說明。此外，連接器55並不是必需的結構，也可以不經由連接器55而將傳輸基板460和同軸電纜50直接連接。

從第一接觸件410和第二接觸件420輸出的電信號通過傳輸基板460的高頻傳輸線路被傳輸，通過同軸電纜50被輸入控制裝置105(參照圖20)。傳輸基板460能夠因外力而發生變形，隨著基部330被驅動機構40(參照圖20)驅動而撓曲變形。由此，允許基部330、第一接觸件410以及第二接觸件420沿著按壓方向相對於同軸電纜50和連接器55相對移動。

如圖32所示，傳輸基板460係形成共面帶狀線路來作為高頻傳輸線路之具有層疊構造的基板。傳輸基板460中，在作為絕緣層的基材461的一個面印刷有作為導體層的接地線462和作為導體層的信號線463。

基材461由具有柔軟性的材質形成。接地線462和信號線463以分別具有預定的寬度並沿基材461的長邊方向延伸的方式設置。接地線462的一個端部與第一接觸件410的第一安裝部411電連接，信號線463的一個端部與第二接觸件420的第二安裝部421電連接(參照圖31)。圖32中省略了圖示的接地線462的另一個端部經由連接器55與同軸電纜50的外部導體53電連接。省略了圖示的信號線463的另一個端部經由連接器55與同軸電纜50的中心導體51電連接。

與第二實施方式同樣地，第一接觸件410的第一端子部415隨著被按壓向測量對象T而比第一安裝部411更優先發生彈性變形。此外，第二接觸件420的第二端子部425隨著被按壓向測量對象T而比第二安裝部421更優先發生彈性變形。

如圖33所示，在本實施方式中，第一接觸件410的第一端子部415和第二接觸件420的第二端子部425並非相互沿循地設置。第一端子部415具有：第一接觸部416，係與測量對象T接觸；以及第一傾斜部417，係以相對於按壓方向傾斜的方式從第一接觸部416彎曲地形成。第二端子部425具有：第二接觸部426，係與測量對象T接觸；以及第二傾斜部427，係以相對於按壓方向傾斜的方式從第二接觸部426彎曲地形成。

第一傾斜部417形成為相對於按壓方向以預定的角度傾斜並延伸的直線狀。第二傾斜部427形成為以與第一傾斜部417不同的角度相對於按壓方向傾斜並延伸的直線狀。如此，在本實施方式中，第一傾斜部417和第二傾斜部427並不相互沿循，而是以互不相同的角度相對於按壓方向傾斜。在本實施型態中，第一傾斜部417和第二傾斜部427被配置為以相對於與按壓方向平行的基準線呈線對稱的“

字”形的方式延伸。

接著，對測量裝置500的作用進行說明。

與上述第二實施型態同樣，為了對測量對象T的高頻特性進行測量，使圖22所示的基部330向鉛直方向的上方移動，使第一接觸件410的第一接觸部416和第二接觸件420的第二接觸部426從鉛直方向的下方與測量對象T接觸。此時，傳輸基板460由於基部330的移動而發生撓曲變形。由此，允許第一接觸件410、第二接觸件420以及基部330相對於同軸電纜50的相對移動。

從第一接觸部416和第二接觸部426與測量對象T接觸的狀態進一步使基部330向鉛直方向上方移動，由此，以預定的按壓力將第一接觸件410和第二接觸件420按壓向測量對象T而使其電連接。伴隨著從與測量對象T接觸的狀態進一步按壓第一接觸部416和第二接觸部426，第一接觸件410的第一端子部415和第二接觸件420的第二端子部425比測量裝置500的其他部分更優先發生彈性變形。

更具體而言，如圖33所示，第一傾斜部417和第二傾斜部427分別以將第一傾斜部417與第一安裝部411的邊界部分B12和第二傾斜部427與第二安裝部421的邊界部分B22作為支點而撓曲的方式，優先發生彈性變形。由此，藉由因第一傾斜部417和第二傾斜部427的彈性變形而產生的彈性力，確保將第一接觸部416和第二接觸部426按壓向測量對象T的按壓力。

在此，一般而言，在測量裝置中，當為了將接觸件按壓向測量對象而對基部進行直線驅動時，將同軸電纜與接觸件電連接的傳輸基板會變形。當傳輸基板變形時，與接觸件變形的情況同樣，傳輸基板上的接地線與信號線的相對位置關係會發生變化，會有發生特性阻抗的不匹配的隱患。

而且，基部被驅動機構驅動，因此，由於驅動機構的工作誤差等的影響，基部的移動嚴格上來說不會在每次按壓接觸件時均為固定。因此，因基部的移動而引起的傳輸基板的變形也不固定，在基部每次的移動(每次將接觸件按壓向測量對象T)時都不同。如此，在傳輸基板的變形缺乏再現性的情況下，即使執行測量裝置的校準，也難以測量正確的高頻特性。

相對於此，在本實施方式中，傳輸基板460是具有柔軟性的柔性印刷基板而不是剛性的基板。柔性印刷基板中，即使發生了變形，接地線462與信號線463的相對位置關係也幾乎不會變化。因此，即使在傳輸基板460由於基部330的移動而發生變形，或基部330的移動缺乏再現性的情況下，也會抑制傳輸基板460中的特性阻抗的變化。由此，能高精度地進行測量裝置500的校準，能提高測量裝置500的測量精度。

(第四實施型態)

接著，參照圖34對第四實施型態的測量裝置600進行說明。第四實施型態係將上述第二實施型態與第三實施型態組合而成的實施型態。以下，對於與上述第二實施型態和第三實施型態相同的結構標註相同的元件符號並適當省略說明。

第四實施型態的測量裝置600具備第二實施型態的第一接觸件310和第二接觸件320，並且具備第三實施型態的傳輸基板460來作為連接部。

在這樣的第四實施方式中，第一接觸件310的第一端子部315和第二接觸件320的第二端子部325以相互沿循的方式延伸，因此，相對位置關係(彼此的間隔)亦不會由於對於測量對象T的按壓而發生變化。因此，能抑制向測量對象T的按壓時的由第一接觸件310和第二接觸件320構成的傳輸路徑的特性阻抗的變化，抑制傳輸損耗的產生。

此外，傳輸基板460是具有柔軟性的柔性印刷基板，即使為了按壓第一接觸件310和第二接觸件320而使基部330移動從而傳輸基板460發生變形，設於傳輸基板460的接地線462與信號線463的相對位置關係也不會變化。因此，即使在向測量對象T按壓第一接觸件310和第二接觸件320時，也能抑制傳輸基板460中的特性阻抗的變化，抑制傳输損耗的產生。

在此，例如，在傳輸基板中特性阻抗的不匹配程度大的情況下，電信號在傳輸基板中基本都會被反射，即使在第一接觸件和第二接觸件中取得了阻抗匹配，傳輸特性也會變差。相反的情況也同樣，在第一接觸件和第二接觸件中特性阻抗的不匹配程度大的情況下，即使在傳輸基板中取得了阻抗匹配，傳輸特性也會變差。如此，當在傳輸路徑中存在特性阻抗的不匹配程度大的部位時，即使在傳輸路徑的其他部位使特性阻抗匹配，也難以提高傳輸特性。

相對於此，在第四實施型態中，在將第一接觸件310和第二接觸件320按壓向測量對象T時，能抑制第一接觸件310和第二接觸件320中的特性阻抗的變化，並且能抑制傳輸基板460中的特性阻抗的變化。由此，能在傳輸路徑整體中使特性阻抗匹配，因此，能以更良好的精度更穩定地提高傳輸特性。

(第五實施型態)

接著，參照圖35~圖39對第五實施型態的測量裝置700進行說明。以下，以與上述第四實施方式不同的點為中心進行說明，對於與上述第四實施方式相同的結構標註相同的元件符號並適當省略說明。

第五實施型態的測量裝置700與第四實施型態相同，第一接觸件610的第一端子部615和第二接觸件620的第二端子部625以相互沿循的方式延伸，並且具備具有柔軟性的傳輸基板(柔性印刷基板)660來作為連接部。

第一接觸件610和第二接觸件620安裝於基部630。基部630與上述第二至第四實施型態中的基部330形狀不同，其功能相同，因此省略詳細說明。

第一接觸件610主要如圖35和圖37所示，具有形成為板狀的第一安裝部611和從第一安裝部611延伸的第一端子部615。

如圖36和圖37所示，與上述第二~第四實施型態相同，第一安裝部611具有第一狹小面611a、第一廣大面611b以及第一前端面611c。此外，在第一安裝部611的第一廣大面611b形成有缺口611d。藉由形成缺口611d，在第一安裝部611形成有板厚相對薄的薄壁部612和板厚相對厚的厚壁部613。薄壁部612具有與第一廣大面611b平行的端面(以下稱為“平行端面612a”)。

第一端子部615主要如圖35和圖37所示，具有與按壓方向平行地延伸的第一接觸部616和相對於按壓方向傾斜地延伸的第一曲部617。第一曲部617連接於第一安裝部611的薄壁部612。第一曲部617沿按壓方向延伸，並且在X軸方向延伸。亦即，第一曲部617沿作為與板狀的第一安裝部611垂直的方向(換言之，第一安裝部611的板厚方向)的X軸方向延伸。此外，第一曲部617以越趨向第一接觸件610則傳輸路徑的寬度(在本實施方式中為沿著Y軸的尺寸)越小的方式形成。第一接觸部616的寬度(沿著Y軸方向的尺寸)，換言之第一端子部615的最小寬度形成為比第一端子部615的板厚大。另外，第一端子部615的板厚為均勻的厚度。

如圖35和圖38所示，第二接觸件620的第二安裝部621具有形成為板狀的第二安裝部621和從第二安裝部621延伸的第二端子部625。

如圖38所示，第二安裝部621形成為平板狀。與上述各實施型態相同，第二安裝部具有第二狹小面621a、第二廣大面621b以及第二前端面621c。

第二端子部625具有第二接觸部626和第二曲部627。第二曲部627與第一曲部617相同，在按壓方向延伸並且在作為第二安裝部621的板厚方向的X軸方向延伸。此外，第二曲部627以越趨向第二接觸件620則傳輸路徑的寬度越小的方式形成。第二接觸部626的寬度(第二端子部625的最小寬度)形成為比第二端子部625的板厚大。另外，第二端子部625的板厚為均勻的厚度。

在本實施型態中，第一接觸件610和第二接觸件620以第一安裝部611和第二安裝部621相互平行且面對面的方式配置。具體而言，第一安裝部611的薄壁部612的平行端面612a和第二安裝部621的第二廣大面621b相互隔開預定的間隔平行地對置(參照圖36)。此外，第一安裝部611的第一廣大面611b和第二安裝部621的第二廣大面621b隔開傳輸基板660的厚度程度的間隔而對置。第一廣大面611b和第二廣大面621b分別與作為按壓方向的Z軸平行並與X軸垂直。就是說，第一接觸件610和第二接觸件620沿X軸方向並排配置。

此外，第一端子部615和第二端子部625形成為相互對應的形狀並以相互沿循的方式延伸。因此，能使第一端子部615與第二端子部625的間隔固定。

如圖39A、圖39B所示，在傳輸基板660中設有微帶(micro strip)線路來作為高頻傳輸線路。在基材661的一個面(正面)形成有信號線663(參照圖39A)，在相反側的面(背面)形成有接地線662(參照圖39B)。

如圖35所示，傳輸基板660的一個面的信號線663與第二接觸件620的第二安裝部621電連接。傳輸基板660的另一個面的接地線662與第一接觸件610的第一安裝部611電連接，更具體而言，與第一安裝部611的厚壁部613電連接(參照圖36)。就是說，傳輸基板660以夾在第一接觸件610中的第一安裝部611的厚壁部613(第一廣大面611b)與第二接觸件620的第二安裝部621(第二廣大面621b)之間的方式與第一接觸件610和第二接觸件620連接。

第一端子部615的板厚和第一安裝部611的薄壁部612的板厚形成為相同。由此，第一端子部615與第二端子部625的間隔和第一安裝部611的薄壁部612與第二安裝部621(第二廣大面621b)的間隔相同。換言之，藉由在第一安裝部611形成缺口611d，能使第一安裝部611與第二安裝部621的間隔和第一端子部615與第二端子部625的間隔一致。由此，能抑制測量裝置700中的傳輸線路的結合強度的變化。

接著，對測量裝置700的作用進行說明。

為了對測量對象T的高頻特性進行測量，使基部630向鉛直方向的上方移動，使第一接觸件610的第一接觸部616和第二接觸件620的第二接觸部626從鉛直方向的下方與測量對象T接觸。此時，傳輸基板660由於基部630的移動而撓曲變形。由此，允許第一接觸件610、第二接觸件620以及基部630相對於同軸電纜50相對移動。

從第一接觸部616和第二接觸部626與測量對象T接觸的狀態進一步使基部630向鉛直方向上方移動，由此，通過規定的按壓力將第一接觸件610和第二接觸件620按壓向測量對象T而使其電連接。伴隨著從與測量對象T接觸的狀態進一步按壓第一接觸部616和第二接觸部626，第一接觸件610的第一端子部615和第二接觸件620的第二端子部625優先於測量裝置700的其他部分發生彈性變形。更具體而言，第一曲部617和第二曲部627分別以將第一曲部617與第一安裝部611的邊界部分B12和第二曲部627與第二安裝部621的邊界部分B22為支點而撓曲的方式發生彈性變形。由此，藉由因第一曲部617和第二曲部627的彈性變形而產生的彈性力，確保將第一接觸部616和第二接觸部626按壓向測量對象T的按壓力。

在本實施型態中，第一接觸件610的第一端子部615和第二接觸件620的第二端子部625以相互沿循的方式延伸，相對位置關係(彼此的間隔)不會由於向測量對象T的按壓而發生變化。因此，能抑制向測量對象T按壓時的第一接觸件610和第二接觸件620的特性阻抗的變化，抑制傳輸損耗的產生。

此外，傳輸基板660為具有柔軟性的柔性印刷基板，即使為了按壓第一接觸件610和第二接觸件620而使基部630移動從而傳輸基板660發生變形，設於傳輸基板660的接地線662與信號線663的相對位置關係也不會變化。因此，即使在向測量對象T按壓第一接觸件610和第二接觸件620時，也能抑制傳輸基板660中的特性阻抗的變化，抑制傳輸損耗的產生。

如此，在本實施型態中，在將第一接觸件610和第二接觸件620按壓向測量對象T時，能抑制第一接觸件610和第二接觸件620中的特性阻抗的變化，並且能抑制傳輸基板660中的特性阻抗的變化。由此，能在傳輸路徑整體中維持特性阻抗的匹配狀態，因此，能以更良好的精度更穩定地提高傳輸特性。

而且，在本實施型態中，第一接觸件610的第一安裝部611與第二接觸件620的第二安裝部621平行地對置。換言之，第一安裝部611的第一狹小面611a與第二安裝部621的第二狹小面621a並非對置，第一廣大面611b與第二廣大面621b對置。因此，能不限制第一接觸件610和第二接觸件620的板厚而加工第一端子部615和第二端子部625，因此，能容易地增大第一端子部615和第二端子部625的寬度。由此，能增大第一端子部615與第二端子部625對置的面積，進一步提高傳輸路徑的結合強度。因此，能容易地使特性阻抗達到期望的值(例如50Ω)，使測量裝置700可測量的頻段擴展到更高頻側。

此外，在例如第二實施型態之方式，於第一曲部和第二曲部沿著與平板狀的第一安裝部和第二安裝部平行的平面延伸的情況下，第一曲部和第二曲部容易在該平面上變形。因此，即使將第一接觸件和第二接觸件按壓向測量對象而第一曲部和第二曲部變形，第一曲部與第二曲部的相對位置關係也幾乎不變。然而，在這樣的結構中，在第一曲部和第二曲部的板厚與寬度之比(板厚/寬度)過小時或者第一曲部和第二曲部的長度相對於板厚過長時等情況下，第一曲部和第二曲部容易朝向板厚方向(Y軸方向)變形。由此，即使將第一接觸件和第二接觸件按壓向測量對象，與在平行於第一安裝部和第二安裝部的平面上產生的變形之預期發生的變形相比，也有可能會產生如在板厚方向上產生變形之非預期的變形。當產生這種非預期的變形時，第一端子部與第二端子部的相對位置關係會變化，因此會有發生特性阻抗的不匹配的隱患。

相對於此，在本實施型態中，第一曲部617和第二曲部627形成為朝向第一接觸件610和第二接觸件620的板厚方向即X軸方向延伸。由此，即使在第一曲部和第二曲部的板厚與寬度之比過小的情況下，預期會產生變形的方向與容易變形的方向一致，因此能抑制因非預期的變形而產生的特性阻抗的不匹配。因此，第一曲部617和第二曲部627的變形的再現性提高，因此，能依照大致相同的條件重複進行高頻特性的測量，提高測量裝置700的測量精度。

此外，在本實施方式中，設於傳輸基板660的高頻傳輸線路係在基材661的正面形成有信號線663並在背面形成有接地線662的微帶線路。微帶線路中，與接地線662和信號線663設於同一面的高頻傳輸線路相比，決定特性阻抗的因素(參數)更少，隨之誤差因素也更少。因此，藉由將高頻傳輸線路設為微帶線路，使傳輸基板660的特性阻抗容易與期望的值匹配，能得到更良好的傳輸特性。

此外，在本實施型態中，第一接觸件610的第一安裝部611和第二接觸件620的第二安裝部621以相互平行並面對面的方式設置。傳輸基板660以被夾在第一接觸件610的第一安裝部611與第二接觸件620的第二安裝部621之間的方式設置。由此，能容易地將處於傳輸基板660的一側的第一接觸件610與背面的接地線662電連接，並且能容易地將處於傳輸基板660的另一側的第二接觸件620與正面的信號線663電連接。因此，較佳為設於傳輸基板660的高頻傳輸路為如本實施型態之微帶線路。

接著，對第五實施型態的變形例進行說明。

在上述實施型態中，第一接觸件610的第一曲部617和第二接觸件620的第二曲部627分別形成為相對於按壓方向傾斜的直線狀。

相對於此，第五實施型態中的第一曲部617和第二曲部627也可以與第二實施型態中的第二變形例同樣形成為彎曲為弧形的形狀。此外，第一曲部617和第二曲部627亦可為將直線狀的形狀和彎曲的形狀組合的形狀。這樣的變形例亦發揮與上述第二至第四實施型態相同的作用效果。

此外，第一接觸件610的第一曲部617也可以如第二實施型態的第三變形例(參照圖29、圖30)之方式構成為第一曲部617與第一接觸部616的邊界部分B11和第一曲部617與第一安裝部611的邊界部分B12沿按壓方向排列。在該情況下，與第一曲部617對應，第二曲部627構成為第二曲部627與第二接觸部626的邊界部分B21和第二曲部627與第二安裝部621的邊界部分B22沿按壓方向排列即可。根據這樣的變形例，與第二實施型態的第三變形例相同，讓欲使第一曲部617和第二曲部627變形的方向與容易變形的方向一致，並且第一接觸部616和第二接觸部626沿按壓方向移動。由此，更進一步抑制第一端子部615與第二端子部625的相對位置關係的變化，並且更進一步穩定第一接觸部616和第二接觸部626相對於測量對象T的接觸姿勢。因此，測量裝置700中的傳輸特性的再現性提高，重複進行之測量的測量精度提高。

此外，在上述實施型態中，將第一接觸件610和第二接觸件620與同軸電纜50連接的連接部係作為柔性印刷基板的傳輸基板660。相對於此，在第五實施型態的測量裝置700中，也可以將第二實施型態中的第一銅箔基板361和第二銅箔基板362設為連接部來代替傳輸基板660。換言之，在第二實施型態中，亦可以應用第五實施型態中的第一接觸件610和第二接觸件620來代替第一接觸件310和第二接觸件320。

接著，對第二、第三、第四以及第五實施型態的作用效果進行總結說明。

第二、第四、第五實施型態的測量裝置400、600、700具備：第一接觸件310、610和第二接觸件320、620，係被按壓向測量對象T；基部330、630，係安裝有第一接觸件310、610和第二接觸件320、620；驅動機構40，係驅動基部330、630，將第一接觸件310、610和第二接觸件320、620沿預定的按壓方向按壓向測量對象T；同軸電纜50，係傳輸電信號；以及傳輸基板360、460、660，係將同軸電纜50與第一接觸件310、610和第二接觸件320、620電連接，並且隨著基部330、630被驅動而發生變形，允許第一接觸件310、610和第二接觸件320、620相對於同軸電纜50相對移動；第一接觸件310、610具有：第一安裝部311、611，係安裝於基部330、630，與同軸電纜50電連接；以及第一端子部315、615，係被按壓向測量對象T，隨著被按壓向測量對象T而比第一安裝部311、611更優先發生彈性變形；第二接觸件320、620具有：第二安裝部321、621，係安裝於基部330、630，與同軸電纜50電連接；以及第二端子部325、625，係被按壓向測量對象T，隨著被按壓向測量對象T而比第二安裝部321、621更優先發生彈性變形；第一接觸件310、610的第一端子部315、615和第二接觸件320、620的第二端子部325、625分別從第一安裝部311、611和第二安裝部321、621以相互沿循的方式延伸。

根據第二、第四、第五實施型態，第一端子部315、615和第二端子部325、625以相互沿循的方式延伸，因此容易使第一端子部315、615與第二端子部325、625的間隔保持固定，即使在向測量對象T按壓時，間隔也不易變化。因此，容易在由第一接觸件310、610和第二接觸件320、620構成的傳輸路徑中保持特性阻抗固定，實現與同軸電纜50的特性阻抗的匹配，因此能以良好的精度對測量對象T的高頻特性進行測量。

此外，在第二實施型態、第二實施型態的第二變形例和第三變形例、第四實施型態、第五實施型態中，第一端子部315、615具有：第一接觸部316、616，係沿按壓方向延伸並被按壓向測量對象T；以及第一曲部317、317b、317c、617，係從第一接觸部316、616彎曲地形成，第二端子部325、625具有：第二接觸部326、626，係沿按壓方向延伸並被按壓向測量對象T；以及第二曲部327、327b、327c、627，係從第二接觸部326、626彎曲地形成，並且以沿著第一曲部317、317b、317c、617的方式形成。

根據第二實施型態、第二實施型態的第二變形例和第三變形例、第四實施型態、第五實施型態，第二曲部327、327b、327c、627沿著第一曲部 317、317b、317c、617形成，因此，在將第一接觸部316、616和第二接觸部326、626按壓向測量對象T時，第一曲部317、317b、317c、617和第二曲部327、327b、327c、627在同一方向上以相同程度的變形量發生變形。因此，第一端子部315、615與第二端子部325、625的間隔在變形的前後沒有變化。如此，由於即使第一端子部315、615和第二端子部325、625發生變形，間隔也不會變化，因此能抑制因向測量對象T按壓第一端子部315、615和第二端子部325、625而引起的特性阻抗的變化，抑制傳輸損耗的產生。

此外，在第二實施型態的第三變形例中，第一曲部317b、317c隨著第一接觸部316被按壓向測量對象T而以第一接觸部316沿按壓方向移動的方式發生彈性變形，第二曲部327b、327c隨著第二接觸部326被按壓向測量對象T而以第二接觸部326沿按壓方向移動的方式發生彈性變形。

此外，在第二實施型態的第三變形例的測量裝置400中，第一曲部317b、317c和第二曲部327b、327c形成為向垂直於按壓方向的一個方向凸出，第一曲部317b、317c與第一接觸部316的邊界部分B11和第一曲部317b、317c與第一安裝部311的邊界部分B12沿按壓方向設置，第一曲部317b、317c的凸出的頂部T1以沿著按壓方向的位置成為第一曲部317b、317c與第一接觸部316的邊界部分B11和第一曲部317b、317c與第一安裝部311的邊界部分B12的中央的方式設置，第二曲部327b、327c與第二接觸部326的邊界部分B21和第二曲部327b、327c與第二安裝部321的邊界部分B22沿著按壓方向設置，第二曲部327b、327c的凸出的頂部T2以沿著按壓方向的位置成為第二曲部327b、327c與第二接觸部326的邊界部分B21和第二曲部327b、327c與第二安裝部321的邊界部分B22的中央的方式設置。

根據第二實施型態的第三變形例，當將第一接觸件310和第二接觸件320按壓向測量對象T時，第一曲部317b、317c和第二曲部327b、327c以第一接觸部316和第二接觸部326沿按壓方向移動的方式發生彈性變形。亦即，第一曲部317b、317c和第二曲部327b、327c以第一接觸部316和第二接觸部326在與按壓方向垂直的方向上不移動的方式變形。第一接觸部316和第二接觸部326在與按壓方向垂直的方向上不移動，因此，能使第一接觸部316和第二接觸部326以穩定的姿勢與測量對象T接觸，並且還能抑制第一接觸部316與第二接觸部326的間隔的變化。因此，能更進一步抑制隨著按壓向測量對象T而產生的第一接觸件310和第二接觸件320中的傳輸損耗。

此外，在第二至第五實施型態中，第一接觸件310、410、610的第一安裝部311、411、611和第二接觸件320、420、620的第二安裝部321、421、621分別形成為與按壓方向平行的板狀，被配置為相互對置。

此外，在第五實施型態中，第一端子部615和第二端子部625從第一安裝部611和第二安裝部621朝向與第一安裝部611和第二安裝部621垂直的方向並且向朝向對測量對象T的按壓方向的前方延伸。

根據第五實施型態，第一曲部617和第二曲部627形成為朝向第一接觸件610和第二接觸件620的板厚方向即X軸方向延伸。由此，預期會產生變形的方向和容易變形的方向一致，能抑制因非預期的變形而引起的特性阻抗的不匹配的產生。因此，第一曲部617和第二曲部627的變形的再現性提高，因此重複進行的測量對象T的電特性的測量的再現性提高，測量精度提高。

此外，第三、第四、第五實施型態的測量裝置500、600、700具備：第一接觸件310、410、610和第二接觸件320、420、620，係被按壓向測量對象T，隨著被按壓向測量對象T而發生變形；基部330、630，係安裝有第一接觸件310、410、610和第二接觸件320、420、620；驅動機構40，係驅動基部330、630，將第一接觸件310、410、610和第二接觸件320、420、620按壓向測量對象T；同軸電纜50，係傳輸電信號；以及傳輸基板460、660，係設有包含信號線463、663和接地線462、662的高頻傳輸線路，將同軸電纜50與第一接觸件310、410、610和第二接觸件320、420、620電連接，並且具有柔軟性。

根據第三實施型態，傳輸基板460、660具有柔軟性，因此，即使傳輸基板460、660變形，傳輸基板460、660的接地線462、662與信號線463、663的相對位置關係也幾乎不會變化。因此，使基部330、630移動而將第一接觸件310、410、610和第二接觸件320、420、620按壓向測量對象T時的傳輸基板460、660中的特性阻抗的變化被抑制。由此，能高精度地進行測量裝置500、600、700的校準，能提高測量裝置500、600、700的測量精度。

此外，在第五實施型態中，第一接觸件610和第二接觸件620以第一安裝部611和第二安裝部621相互平行且面對面的方式配置，在傳輸基板660的一個面形成有能與第二接觸件620的第二安裝部621電連接的信號線663，在傳輸基板660的另一個面形成有能與第一接觸件610的第一安裝部611電連接的接地線662。

接著，對第二~第五實施型態之間共通的變形例進行說明。以下說明的變形例也在本發明的範圍內，也可以將以下的變形例與上述各實施型態的各構成組合，或者將以下的變形例相互組合。此外，上述實施型態的說明中記載的變形例也同樣可以與其他變形例任意組合。

在上述各實施型態中，較佳為接地線路和信號線路的路徑長度形成為相等。具體而言，較佳為連接部中的接地線路(第一銅箔基板361、傳輸基板460、660中的接地線462、662)與信號線路(第二銅箔基板362、傳輸基板460、660中的信號線463、663)的路徑長度相等，第一接觸件310、410、610與第二接觸件320、420、620的路徑長度相等。由此，接地線路與信號線路的結合強度容易保持固定，能抑制特性阻抗的不匹配。然而，各實施型態並不限於接地線路與信號線路的路徑長度相等，路徑長度亦可不同。

此外，在上述第三、第四、第五實施型態中，傳輸基板460、660係具有柔軟性的柔性印刷基板。相對於此，具有柔軟性的傳輸基板460、660亦可為包含具有柔軟性的部位和不具有柔軟性的部位的軟硬結合基板。

此外，在上述第三和第四實施型態中，設於傳輸基板460的高頻傳輸線路為共面帶狀線路。此外，在第五實施型態中，設於傳輸基板660的高頻傳輸線路是微帶線路。相對於此，高頻傳輸線路並不限於上述實施型態中記載的結構，亦可為其他結構。接觸件構成為具備有與高頻傳輸線路的種類相應的數量即可。亦即，測量裝置500、600、700亦可根據高頻傳輸線路的種類而具備三個以上的接觸件。

以上，對本發明的實施型態進行了說明，但上述實施型態僅為示出了本發明的應用例的一部分，並不旨在將本發明的技術範圍限定於上述實施型態的具體結構。在本說明書中，“平行”、“垂直”、“正交”、“同一”、“均勻”、“恆定”、“整體相同”等用語並非嚴格的意思，在不脫離本發明的技術思想的範圍內允許有偏差。